DE3687041T2

DE3687041T2 - Maskenanordnung fuer vakuumbeschichtungsvorrichtungen.

Info

Publication number: DE3687041T2
Application number: DE8686115835T
Authority: DE
Inventors: Katsuki Sagawa
Original assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Current assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Priority date: 1985-11-15
Filing date: 1986-11-14
Publication date: 1993-03-25
Anticipated expiration: 2006-11-15
Also published as: US4745878A; EP0229914A3; EP0229914B1; EP0229914A2; DE3687041D1; JPH0373627B2; JPS62116761A

Description

Die Erfindung betrifft im allgemeinen die Technik der Dampfbeschichtung von Metall in einem Vakuum, und insbesondere eine Dampfmaskierungsvorrichtung zum Gebrauch während der Durchführung einer Sputter-Technik zur Ausbildung eines dünnen Filmes aus Aluminium auf Scheiben, die im allgemeinen als "Compakt Disc" bekannt sind.
Fig. 2 zeigt eine Kompaktdisc D, die nunmehr als hochentwickeltes Produkt kommerziell erhältlich ist, das als zukünftiger Ersatz für Schallplatten angesehen werden kann, wobei die Kompaktdisc äußere und innere Umfangsränder OM und IM aufweist, die nichtbespielte Bereiche sind und koaxial mit ihrem Mittelloch sind, wobei ein bespielter Bereich zwischen den Umfangsrändern OM und IM angeordnet ist. Wenn es zur Herstellung der Kompaktdisc kommt, müssen der äußere und der innere Umfangsbereich gegen den Aluminiumdampf während der Durchführung einer Sputter-Technik maskiert werden, so daß ein dünner Aluminiumfilm nur in dem Bereich zwischen dem äußeren und dem inneren Umfangsbereich abgeschieden werden kann.
Eine Art der bislang für die Maskierung des äußeren und des inneren Umfangsbereichs der Platte verwendeten Maskierungsvorrichtung ist beispielsweise in der offengelegten japanischen Gebrauchsmusterveröffentlichung Nr. 57-173134, veröffentlich am 1. November 1982, offenbart. Gemäß dieser Veröffentlichung ist die Maskierungsvorrichtung dargestellt mit einer Trägerplatte, in der eine ringförmige Ausnehmung definiert ist, deren Form vollständig komplementär zur Form der Disc ist, mit einer Tiefe, die ihrer Dicke entspricht. Diese Trägerplatte umfaßt einen klappbar auf der Trägerplatte befestigten Deckel und eine kreisförmige Öffnung mit einem Durchmesser, der zum Abschirmen des äußeren Umfangsbereichs der innerhalb der ringförmigen Ausnehmung plazierten Disc erforderlich ist.
Diese Maskierungsvorrichtung umfaßt ferner ein Mittenstück mit einem radial nach außen stehenden ringförmigen Flansch, das zum abnehmbaren Aufschrauben an die Mittenbefestigung der Trägerplatte, die radial innerhalb der ringförmigen Ausnehmung angeordnet ist, ausgebildet ist, wobei das Mittenstück ein von der Trägerplatte separates Element ist.
Beim Gebrauch wird die Disc, das heißt "Scheibe", in der ringförmigen Öffnung befestigt, und dann wird der Deckel in eine geschlossene Position geschwenkt. Während nur eine der sich gegenüberliegenden Seiten der so befestigten Scheibe durch die Öffnung des Deckels nach außen freiliegt, wobei der äußere Umfangsbereich der Scheibe durch den Umfangslippenbereich des Deckels um die Öffnung abgedichtet ist, wird das Mittenstück dann auf die Mittenbefestigung geschraubt, so daß der ringförmige Flansch den inneren Umfangsbereich der Scheibe abdecken kann.
Eine weitere Art der Maskierungsvorrichtung, die ebenfalls heute in Gebrauch ist, ist in Fig. 4 dargestellt. Die soweit dargestellte, bekannte Maskierungsvorrichtung umfaßt vier Maskierungseinheiten, die jeweils im wesentlichen ähnlich wie die in der vorgenannten Veröffentlichung aufgebaut sind, aber sich dadurch unterscheiden, daß der Deckel 22 separat von der Trägerplatte ausgebildet ist und ferner dadurch, daß das Mittenstück 21 durch den Deckel 22 mittels eines Paares im wesentlichen U-förmiger Verbindungsbrücken 23 getragen wird. Das Paar Verbindungsbrücken 23, von denen jede aus einem dünnen Metallstab gefertigt ist, spreizt sich über eine ringförmige Öffnung zwischen dem Deckel 22 und dem Mittenstück 21, während sich die Brücken radial in entgegengesetzte Richtungen zueinander erstrecken, so daß das Mittenstück 21 in Position innerhalb der Öffnung des Deckels 22 koaxial damit gehalten wird.
Bei der Ausgestaltung der in Fig. 4 dargestellten Maskierungsvorrichtung muß jede der Verbindungsbrücken, deren entgegengesetzten Enden fest mit dem Deckel 22 und dem Mittenstück 21 verbunden sind, lateral nach außen vorstehen, und zwar sowohl vom Deckel 22 als auch vom Mittenstück 21, um einen Abstand, der groß genug ist, um die Möglichkeit zu vermeiden, daß der dünne Aluminiumfilm, der auf der Oberfläche der Scheibe mittels der Sputter-Technik zu formen ist, Markierungen der Verbindungsbrücken 23 trägt. Anderenfalls bilden die Verbindungsbrücken 23 Hindernisse bei der Abscheidung des Aluminiumdampfes auf der Oberfläche der Scheibe, wobei die Dicke des Aluminiumfilms folglich ungleichmäßig wird. Die Notwendigkeit des relativ großen Abstandes, in dem sich die Verbindungsbrücken seitlich nach außen erstrecken, macht die Maskierungsvorrichtung als Ganzes sehr groß.
Eine Vorrichtung, die wie oben aufgebaut ist, und die Merkmale des Oberbegriffs des Patentanspruchs 1 aufweist, ist in "Patents Abstracts of Japan", Vol.9, Nr. 48 (P-338) 1771 , 28. Februar 1985, entsprechend JP-A-59 185051, beschrieben.
Dementsprechend wurde die Erfindung im Hinblick auf die Vermeidung der Probleme der vorbekannten Maskierungsvorrichtungen entwickelt und ihr liegt die wesentliche Aufgabe zugrunde, eine verbesserte Maskierungsvorrichtung zu schaffen, die in der Größe kompakt ist und zumindest ein Paar Scheiben während der Durchführung der Vakuumdampfabscheidung aufnehmen.
Diese Aufgabe wird durch die in Anspruch 1 definierte Dampf-Maskierungsvorrichtung gelöst; die abhängigen Ansprüche betreffen weitere Entwicklungen der Erfindung.
Erfindungsgemäß wird eine verbesserte Maskierungsvorrichtung geschaffen, die zumindest eine erste Maskierungseinrichtung und eine zweite Maskierungseinrichtung aufweist. Die erste Maskierungseinrichtung umfaßt eine untere erste Maskierungseinrichtung zum Maskieren eines inneren Umfangsbereichs einer unteren Scheibe, einen Halteständer und einen Abstandshalter, die beide in der ersten Maskierungseinrichtung vorgesehen sind, wobei der Halteständer ausgebildet ist, um durch die Mittenöffnung in der unteren Scheibe zu passieren, und der Abstandshalter ausgebildet ist, um auf dem Halteständer zur Bildung einer Lücke zwischen der unteren Scheibe und einer oberen Scheibe, die darüber montiert wird, zu bilden, und eine obere Maskierungseinrichtung, die ausgebildet ist, um auf dem Halteständer zum Maskieren des inneren Umfangsbereichs der oberen Scheibe montiert zu werden.
Die zweite Maskierungseinrichtung umfaßt eine untere zweite Maskierungseinrichtung mit einer Montageöffnung, die mit einem scheibenaufnahmebereich zum Abdecken eines äußeren Umfangsbereichs der unteren Scheibe, die in der ersten Maskierungseinrichtung montiert ist, versehen ist, und einer oberen zweiten Maskierungseinrichtung, die eine Öffnung aufweist, deren Größe ausreichend ist, um den äußeren Umfangsbereich der oberen Scheibe abzudecken, die dann in der ersten Maskierungseinrichtung montiert und in der Scheibenmontageöffnung aufgenommen ist, während ein anderer Bereich als dieser zur Außenseite hin freiliegt.
Bei dem erfindungsgemäßen Aufbau werden die äußeren Umfangsbereiche der entsprechenden in der ersten Maskierungseinrichtung montierten Scheiben durch die zweite Maskierungseinrichtung gehalten und deshalb sind keine Verbindungsmittel wie die Verbindungsbrücken der bekannten Maskierungsvorrichtung von Fig. 4 erforderlich.
Diese und andere Ziele und Merkmale der Erfindung werden aus der folgenden Beschreibung in Verbindung mit bevorzugten Ausführungsformen mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen klar, in denen:
Fig. 1(a) eine teilweise geschnittene Seitenansicht einer Maskierungsvorrichtung gemäß der Erfindung in einer ersten Arbeitsposition,
Fig. 1(b) eine der Fig. 1(a) entsprechende Ansicht der Maskierungsvorrichtung in einer weiteren Arbeitsposition,
Fig. 2 eine Aufsicht auf eine kommerziell erhältliche Kompaktdisc,
Fig. 3 eine Perspektivansicht eines Teils der erfindungsgemäßen Maskierungsvorrichtung in einer weiteren Ausführungsform und
Fig. 4 eine Perspektivansicht einer bekannten Maskierungsvorrichtung, die bereits beschrieben wurde, sind.
Gemäß der Fig. 1(a) und 1(b) dient eine Maskierungsvorrichtung zum Gebrauch während der Durchführung einer beliebigen Vakuumbeschichtungstechnik, zum Beispiel einer Sputter-Technik, gleichzeitig als Träger zum Positionshalten von im Vakuum zu beschichtenden Scheiben innerhalb der Vakuumkammer. Die dargestellte Maskierungsvorrichtung umfaßt einen Scheibenhalter, der allgemein mit 1 bezeichnet ist, zum Halten eines Paares von Scheiben D1 und D2 übereinander in koaxial beabstandeter Beziehung zueinander und ferner zum Maskieren entsprechender innerer Umfangsbereiche der Scheiben D1 und D2 um ihre Mittenöffnungen.
Der Scheibenhalter 1 umfaßt einen im wesentlichen zylindrischen Halteständer 3 eines Durchmessers, der im wesentlichen gleich dem Innendurchmesser jeder Scheibe ist, d. h. der Durchmesser der Mittenöffnung in jeder Scheibe, wobei an einem Ende ein radial nach außen vorstehender Maskierungsflansch befestigt oder einstückig ausgebildet ist, wobei der Durchmesser des Maskierungsflansches 2 so ausgewählt ist, daß er die gewünschte oder erforderliche Breite des nichtbespielten inneren Umfangsrandes EM (Fig. 2) der Scheibe bestimmt. Ein Bereich des Halteständers 3 angrenzend an sein entgegengesetztes Ende ist mit einer sich über den Umfang erstreckenden Sperrnut 3a versehen, deren Funktion später beschrieben werden wird. Es soll jedoch festgestellt werden, daß der Maskierungsflansch 2 eine untere Maskierungseinrichtung zur Maskierung des inneren Umfangsbereichs einer der Scheiben bildet, die mit ihm in Kontakt positioniert sind, d. h. die untere Scheibe D1 in Fig. 1a und 1b.
Der Scheibenhalter 1 umfaßt ferner einen ringförmigen Abstandshalter 4, der koaxial auf dem Halteständer 3 montiert werden kann, um die untere und die obere Scheibe D1 und D2 voneinander beabstandet zu halten, und eine im wesentlichen zylindrische Maskierungskappe 5, die zum entfernbaren Aufstecken auf das freie Ende des Halteständers 3, entfernt vom Maskierungsflansch 2, ausgebildet ist. Die Maskierungskappe umfaßt einen Sockel 5a, der darin definiert ist, zum Aufnehmen des freien Endes des Halteständers 3 und hat einen äußeren Durchmesser, der gleich dem Durchmesser des Maskierungsflansches 2 ist, wobei die Maskierungskappe 5 eine obere Maskierungseinrichtung zum Maskieren des inneren Umfangsbereiches der oberen Platte D2 bildet.
Die Maskierungskappe 5, die eine obere erste Maskierungseinrichtung zum Maskieren des inneren Umfangsbereichs der oberen Scheibe D2 bildet, kann auf das freie Ende des Halteständers 3 aufgeklinkt werden, um jede mögliche ungewünschte Trennung von dem Halteständer 3 zu vermeiden, und aus diesem Grund trägt die Maskierungskappe 5 eine Sperrkugel 7, die in einer radialen Bohrung in der Kappe 5 aufgenommen ist und normalerweise durch eine in der Radialbohrung aufgenommene Spannfeder 6 vorgespannt ist, so daß sie teilweise in den Sockel 5a vorsteht. Wenn die Maskierungskappe 5 auf dem Halteständer 3 montiert ist, wobei das freie Ende des Ständers 3 sich in den Sockel 5a einschmiegt, ist die Sperrkugel 7 kollabierend in der Sperrnut 3a des Halteständers 3 aufgenommen, so daß die Kappe 5 auf dem Ständer 3 gehalten wird.
Der Scheibenhalter 2 mit dem oben beschriebenen Aufbau ist so ausgebildet, daß er die untere und die obere Platte D1 und D2 in koaxial beabstandeter Beziehung zueinander hält, nachdem die-untere und die obere Scheibe D1 und D2 nacheinander auf dem Halteständer 3 montiert wurden, wobei der ringförmige Abstandshalter 4 dazwischen positioniert wurde und die Maskierungskappe 5 anschließend auf das freie Ende des Halteständers 3 aufgesteckt wurde, wie es in Fig. 1(b) dargestellt ist.
Die Maskierungsvorrichtung umfaßt ferner eine Trägerplatte 10, deren Dicke vorzugsweise etwas größer ist als die Summe der entsprechenden Dicken der unteren und der oberen Platte D1 und D2 und der Dicke des Abstandshalters 4, und umfaßt eine Scheibenmontageöffnung 9, deren Durchmesser im wesentlichen gleich dem äußeren Durchmesser jeder der Scheiben D1 und D2 ist, wobei die die Montageöffnung definierende Umfangswandung so ausgebildet ist, daß sie einen ringförmigen Sitz 9a aufweist, der sich von ihr an einem unteren Ende der Montageöffnung 9 nach innen vorstehend erstreckt. Ein Umfangskantenbereich der Trägerplatte 10 um die Montageöffnung 9, der entfernt vom ringförmigen Sitz 9a angeordnet ist, ist bei 9b nach außen abgeschrägt zu einem Durchmesser, größer als der Außendurchmesser jeder der Scheiben D1 und D2, so daß die Scheiben D1 und D2 ist, die auf dem Scheibenhalter 1 wie oben beschrieben montiert sind, in einfacher Weise in der Montageöffnung 9 aufgenommen werden können. Mit anderen Worten, die Anwesenheit der abgeschrägten Kante 9b um die Montageöffnung 9 kann das schnelle Montieren der Scheiben D1 und D2, die durch den Scheibenhalter 1 getragen werden, in der Montageöffnung 9 erleichtern. Es soll festgestellt werden, daß wenn die Scheiben D1 und D2 innerhalb der Montageöffnung 9 aufgenommen sind, wie am besten in Fig. 1b dargestellt ist, der äußere Umfangsbereich der unteren Scheibe D1 auf dem ringförmigen Sitz 9a mit einer Breite, die so ausgewählt ist, daß sie den gewünschten bzw. erforderlichen Bereich des nichtbespielten äußeren Umfangsrandes OM (Fig. 2) bestimmt, sitzt und von ihm maskiert wird, während eine obere Oberfläche der oberen Scheibe D2, entgegengesetzt zur unteren Scheibe D1 fluchtend mit der oberen Oberfläche der Trägerplatte 10 gehalten wird. Der einstückig mit der Trägerplatte 10 vorgesehene ringförmige Sitz 9a bildet eine untere zweite Maskierungseinrichtung zur Maskierung des äußeren Umfangsbereichs der unteren Scheibe D1.
Die Maskierungsvorrichtung umfaßt ferner eine Halteanordnung, die allgemein mit 8 bezeichnet ist und eine Abdeckplatte 12 und eine Halteplatte 15 aufweist, die übereinander angeordnet sind, so daß sie parallel zueinander liegen. Die Deckplatte 12 umfaßt eine Zugriffsöffnung 11 eines Durchmessers, der gleich dem Durchmesser der Montageöffnung abzüglich der doppelten Breite des ringförmigen Sitzes 9a ist, so daß der äußere Umfangsbereich der oberen Platte D2 dadurch, wie im folgenden beschrieben wird, maskiert werden kann. Die Halteplatte 15 weist ebenfalls eine Zugriffsöffnung 20 auf, deren Durchmesser größer ist als der der Zugriffsöffnung 11 in der Abdeckplatte 12 und trägt die Abdeckplatte 12 für Bewegungen relativ zur Abdeckplatte 12 in einer Richtung aufeinander zu oder von der Abdeckplatte 12 weg. Im einzelnen sind zumindest zwei Splinte 13, die jeweils einen Kopf 13a an ihrem einen Ende aufweisen, lose durch die Halteplatte 15 geführt an Positionen auf gegenüberliegenden Seiten der Zugriffsöffnung, und sie sind dann an die Abdeckplatte 12 festgeschweißt oder geschraubt, während die Zugriffsöffnungen 11 und 20 zueinander ausgerichtet sind. Die so miteinander verbundene Abdeckplatte 12 und Halteplatte 15 werden zusammendrückbar voneinander beabstandet gehalten durch Spannfedern 14, die zwischen ihnen um die Splinte 13 angeordnet sind. In diesem Zustand wird die Halteplatte 15 gegen die entsprechenden Köpfe 13a der Splinte 13 gedrückt, ohne von der Abdeckplatte 12 getrennt zu werden. Zur Zentrierung der Halteanordnung 8 relativ zur Trägerplatte 10, wobei die Zugriffsöffnungen 11 und 20 exakt mit der Montageöffnung 9 ausgerichtet sind, besitzt die Trägerplatte 10 ein Paar beabstandet angeordneter Stifte 16, die auf ihr starr montiert sind, so daß sie rechtwinkelig zu ihr vorstehen und mit entsprechenden Positionierungslöchern 17 in der Abdeckplatte 12 in Eingriff kommen können.
Es soll festgestellt werden, daß die Abdeckplatte 12 eine obere zweite Maskierungseinrichtung zur Maskierung des äußeren Umfangsbereichs der oberen Scheibe D2 bildet.
Zum Halten der Halteanordnung 8 in einer geschlossenen Position wie in Fig. 1b dargestellt ist, mit der Abdeckplatte 12 in Kontakt mit der Trägerplatte 10, nachdem das Paar Scheiben D1 und D2, das vom Scheibenhalter 1 gehalten wird, in der Montageöffnung 9 montiert wurde, sind zumindest zwei identische Sperrvorrichtungen 21, von denen nur eine dargestellt ist, eingesetzt. Jede Sperrvorrichtung 21 umfaßt eine Halterung 19, die starr auf der Trägerplatte 10 befestigt ist, und einen Sperriegel 18, der verschiebbar durch die Halterung gelagert ist, zur Bewegung zwischen einer zurückgezogenen Position, die in Fig. 1a dargestellt ist, und in einer vorstehenden Position, die in Fig. 1b dargestellt ist, in einer Richtung radial zur Montageöffnung 9.
Wie aus Fig. 1b ersichtlich ist, nachdem die Halteanordnung 8 auf der Trägerplatte 10 montiert wurde, wobei die Scheiben D1 und D2 innerhalb der Montageöffnung zusammen mit dem Scheibenhalter 1 aufgenommen wurden und die Sperriegel 18 der entsprechenden Sperrvorrichtungen 21 anschließend von der zurückgezogenen Position in die vorstehende Position verschoben wurden, ist die Halteanordnung 8 in der geschlossenen Position gehalten, wobei die Sperriegel 18 teilweise auf der Halteplatte 15 liegen, während sie die Halteplatte 15 leicht gegen die Spannfedern 14 in Richtung auf die Abdeckplatte 12 drücken. Auf diese Weise ist klar, daß, während die inneren Umfangsbereiche der unteren und der oberen Platte D1 und D2 durch den Maskierungsflansch 2 bzw. durch die Maskierungskappe 5 maskiert sind, der äußere Umfangsbereich der gleichen Scheiben D1 und D2 durch den ringförmigen Sitz 9a, die einstückig mit der Trägerplatte 10 ist, bzw. einen innerer Umfangsbereich der Abdeckplatte 12 um die Zugriffsöffnung 11 maskiert sind. Die die Scheiben D1 und D2 tragende Maskierungsvorrichtung wird dann in einer bekannten Vakuumkammer plaziert zur Durchführung einer bekannten Dampfbeschichtungstechnik, beispielsweise einer Sputtertechnik. Soweit dargestellt, sind nur die entsprechenden Oberflächen der oberen und der unteren Platte D1 und D2, die in entgegengesetzte Richtungen weg voneinander weisen, innerhalb der Vakuumkammer dem Metalldampf, beispielsweise Aluminium, ausgesetzt, der ggf. auf den Zwischenbereich jeder Platte abgeschieden wird, der durch die zugeordneten Öffnungen 9 oder 11 freigelassen wurde.
Wie in den Fig. 1a und 1b dargestellt und mit Bezug auf diese Figuren beschriebene Maskierungsvorrichtung ist so ausgebildet, daß nur ein Paar Scheiben gleichzeitig aufgenommen wird. Sie kann jedoch so ausgebildet sein, daß sie eine Anzahl von Scheibenpaaren aufnimmt, wie es in Fig. 3 dargestellt ist. In der Ausführungsform der Fig. 3, in der gleiche Teile mit den in Fig. 1a und 1b verwendeten Bezugsziffern bezeichnet sind, wird der Scheibenhalter 1 in einer Anzahl benötigt, die gleich der Anzahl der Scheibenpaare ist, die durch die Maskierungsvorrichtung aufgenommen werden können, und die Trägerplatte 10 besitzt Montierungsöffnungen 9 in gleicher Anzahl wie die Anzahl der verwendeten Scheibenhalter. Entsprechend haben sowohl die Abdeckplatte 12 als auch die Halteplatte 15 die vorgeordneten Zugriffsöffnungen 11 oder 20 in gleicher Anzahl wie Montierungsöffnungen 9 in der Trägerplatte 10.
Aus der vorstehenden Beschreibung der Erfindung ist nunmehr klar, daß in der in Fig. 4 dargestellten und mit Bezug auf Fig. 4 beschriebenen Vorrichtung die Scheiben einzeln aus entgegengesetzten Richtungen gleichzeitig montiert werden müssen und daß die Vorrichtung gemäß der Erfindung vorteilhaft ist, da das oder jedes Scheibenpaar gleichzeitig aus einer seitlichen Richtung montiert werden kann, nachdem sie auf dem Scheibenhalter montiert wurden.
Obwohl die Erfindung vollständig in Zusammenhang mit bevorzugten Ausführungsformen und mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben wurde, soll festgestellt werden, daß verschiedene Änderungen und Modifikationen für den Fachmann möglich sind. Beispielsweise kann, obwohl die Halteanordnung so beschrieben und dargestellt wurde, daß sie eine Deckplatte und die Halteplatte aufweist, die miteinander für elastisch nachgiebige Verschiebungen relativ zueinander in einer Richtung aufeinander zu oder voneinander weg, verbunden sind, kann auch nur die Abdeckplatte vorgesehen sein.
Dementsprechend sollen solche Änderungen und Modifikationen als den Umfang der vorliegenden Erfindung einschließend verstanden werden, wie er durch die beigefügten Ansprüche definiert ist, sofern sie nicht davon abweichen.

Claims

1. Bedampfungs-Maskierungsvorrichtung zum Maskieren kreisförmiger Scheiben mit einer Mittenöffnung mit zumindest einer ersten Maskierungseinrichtung mit einer unteren ersten Maskierungseinrichtung (2) zum Maskieren eines inneren Umfangsbereiches (IM) einer ersten Scheibe (D1),

einem Halteständer (3), der in der ersten Maskierungseinrichtung vorgesehen ist und ausgebildet ist, durch die Mittenöffnung der ersten Scheibe (D1) zu passieren,

einer zweiten Maskierungseinrichtung mit einer unteren zweiten Maskierungseinrichtung (10), in der eine Scheibenmontageöffnung (9) mit einem scheibenaufnahmebereich (9a) zum Abdecken eines äußeren Umfangsbereichs (OM) für die erste in der zweiten Maskierungseinrichtung montierte ersten Scheibe (D1) gebildet ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Halteständer (3) ausgebildet ist, um ferner durch die Mittenöffnung einer zweiten Scheibe (D2) durchzudringen, während er die erste und die zweite Scheibe (D1, D2) in axial beabstandeter und konzentrischer Beziehung miteinander trägt,

wobei die erste Maskierungseinrichtung ferner aufweist eine obere erste Maskierungseinrichtung (5), die ausgebildet ist, um auf dem Halteständer (3) zur Maskierung eines inneren Umfangsbereichs (IM) der zweiten Scheibe (D2) befestigt zu werden,

und daß die zweite Maskierungseinrichtung eine obere zweite Maskierungseinrichtung aufweist mit einer Deckplatte (12), die in sich eine Öffnung (11) ausreichender Größe aufweist zum Freigeben des gesamten Bereichs außer des äußeren Umfangsbereichs (OM) der zweiten Scheibe (D2), wenn die die erste und die zweite Scheibe (D1, D2) haltende erste Maskierungseinrichtung lösbar in der Montierungsöffnung (9) der zweiten Maskierungseinrichtung (10) plaziert ist, wobei im Gebrauch die Öffnung (11) der zweiten oberen Maskierungseinrichtung (12) konzentrisch mit der Montageöffnung (9) ausgerichtet ist.

2. Bedampfungs-Maskierungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die untere zweite Maskierungseinrichtung eine Trägerplatte (10) mit zumindest einer darin ausgebildeten Montageöffnung (9) aufweist, wobei die Trägerplatte (10) ferner einen ringförmigen Sitz (9a) aufweist, der sich angrenzend an eine der einander gegenüberliegenden Oberflächen der Trägerplatte (10) um eine vorgegebene Strecke radial nach innen in die Montageöffnung (9) erstreckt, wobei die Montageöffnung (9) zur Aufnahme des vom Scheibenhalter (3) gehaltenen Paares Scheiben (D1, D2) ausgebildet ist, wobei ein äußerer Umfangsbereich einer der Scheiben, die an die eine der gegenüberliegenden Oberflächen der Trägerplatte angrenzt, auf dem ringförmigen Sitz (9a) ruht,

daß die obere Maskierungseinrichtung eine im wesentlichen plattenförmige Halteanordnung (8) mit zumindest einer darin ausgebildeten Zugriffsöffnung (11) mit einem Durchmesser aufweist, der gleich dem Durchmesser der Montageöffnung (9) abzüglich der doppelten Breite des ringförmigen Sitzes (9a) ist, wobei die Halteanordnung (8) im Gebrauch, nachdem das von dem Scheibenhalter (3) getragene Paar Scheiben (D1, D2) innerhalb der Montageöffnung (9) plaziert wurde, über der Trägerplatte (10) plaziert wird, wobei die Zugriffsöffnung (11) konzentrisch mit der Montageöffnung (9) in der Trägerplatte ausgerichtet ist, um einen äußeren Umfangsbereich (OM) der anderen der Platten abzudecken, und

mit einer Einrichtung (16, 17) zum Positionieren der Halteanordnung (8) relativ zur Trägerplatte (10) in einer Weise, in der die Zugriffsöffnung (11) konzentrisch mit der Nontageöffnung (9) ausgerichtet ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, wobei der Halteständer (3) einen Durchmesser aufweist, der gleich dem Durchmesser der Mittenöffnung jeder Platte ist, wobei der Ständer (3) an einem Ende mit einem Maskierungsflansch (2), der von ihm radial um einen vorgegebenen Durchmesser nach außen vorsteht, ausgebildet ist, und mit einer Maskierungskappe (6) mit einem Durchmesser, der gleich dem vorgegebenen Durchmesser des Maskierungsflansches (2) ist, wobei die Maskierungskappe (6) zum entfernbaren Befestigen am andern Ende des Ständers (3) ausgebildet ist, und mit einem ringförmigen Abstandshalter (4), der zur Montage zwischen den Scheiben um den Ständer (3) ausgebildet ist, zum Halten der Scheiben in beabstandeter Beziehung zueinander.

4. Vorrichtung nach Anspruch 2, wobei ein Umfangskantenbereich (9b) der Wandung, die die Montageöffnung (9) entfernt vom ringförmigen Sitz (9a) und angrenzend an die andere der gegenüberliegenden Oberflächen der Trägerplatte (10) definiert, radial nach außen abgeschrägt ist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 2, mit ferner zumindest zwei Sperrvorrichtungen (21) zum Verbinden der Trägerplatte (10) und der Halteanordnung (8) miteinander, wobei die vom Halteständer (3) getragenen Scheiben (D1, D2) in der Montageöffnung gehalten sind.

6. Vorrichtung nach Anspruch 2, wobei die Halteanordnung (8) eine Deckplatte (12) und eine zweite Platte (15), die miteinander parallel zueinander und beabstandet zueinander verbunden sind, aufweist zum elastisch nachgebenden Verschieben in einer Richtung aufeinander zu oder voneinander weg, wobei die Abdeckplatte und die Halteplatte (12, 15) entsprechende konzentrische Öffnungen (11, 20) in sich aufweisen, die zusammen die Zugriffsöffnung der Halteanordnung (8) bilden.