DE3641728A1 - Verfahren zur herstellung von endstuecken, insbesondere fuer vakuumvorrichtungen, und damit hergestellte endstuecke - Google Patents
Verfahren zur herstellung von endstuecken, insbesondere fuer vakuumvorrichtungen, und damit hergestellte endstueckeInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für Endstücke für
Vakuumvorrichtungen insbesondere, und die durch die Anwendung des Verfahrens
hergestellten Endstücke.
Der Gegenstand der Erfindung gehört in den technischen Bereich der
Mikroelektronik.
Es ist bekannt, für Vakuumvorrichtungen Endstücke zu verwenden, die
so ausgebildet sind, daß sie bestimmte Komponenten, insbesondere
Siliziumplättchen, durch Ansaugen greifen können. Diese Endstücke sind im allgemeinen aus
Quarz oder rostfreiem Stahl hergestellt.
Die Endstücke aus Quarz bringen verhältnismäßig hohe Selbstkosten
mit sich und sind empfindlich in der Anwendung. Bei Endstücken aus Stahl
treten aufgrund der technologischen Bauweise Probleme der Verunreinigung der
Plättchen und die Gefahr von Luftlecks auf, was das richtige Greifen der
Plättchen beeinträchtigen kann.
Angesichts dieser Probleme bezweckt die vorliegende Erfindung, diesen
Nachteilen Abhilfe zu schaffen mittels der Ausarbeitung eines
Herstellungsverfahrens, das sich durch die folgenden Schritte auszeichnet :
- Ausgegangen wird von einer hohlen Röhre eines bestimmten
Durchmessers, aus rostfreiem Stahl,
- die Röhre wird über eine bestimmte Länge eingezogen, der übrige Teil
abgeflacht, so daß zwei sich gegenüberliegende, nicht aneinanderstoßende flache
Flächen gebildet werden,
- in eine Fläche wird ein Ausschnitt, in die andere Fläche ein Loch
eingebracht,
- zwischen die beiden Flächen wird ein Schieber eingefügt, der
ausgehend von einem Rand einen axialen Einschnitt aufweist,
- die beiden flachen Flächen werden auf dem Schieber abgeflacht,
- durch das in einer der Flächen gebildete Loch wird ein Pulver
eingebracht, das nach Erhitzen eine Mikrolötung gewährleistet,
- das Ganze wird in einen Ofen eingebracht, um das Zusammenfügen des
Schiebers mit den abgeflachten Teilen und gleichzeitig das Füllen der zwischen
dem Schieber und den abgeflachten Teilen verbliebenen Hohlräumen mit Löt zu
gewährleisten,
- die Enden der abgeflachten Greifteile werden abgerundet,
- die abgeflachten Greifzonen werden geschliffen.
Die Erfindung wird nachstehend weiter im Einzelnen anhand von
Abbildungen erläutert, die lediglich eine Ausführungsmethode darstellen :
- Die Fig. 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 und 9 stellen die Hauptschritte
des Verfahrens dar,
-Fig. 2 ist ein Querschnitt nach der Linie 2.2 aus Fig. 1,
-Fig. 4 ist ein Querschnitt nach der Linie 4.4 aus Fig. 2,
-Fig. 6 ist ein Querschnitt größeren Maßstabs des Greifteils, vor
dem Quetschen der gegenüberliegenden flachen Flächen,
-Fig. 7 ist ein Querschnitt größeren Maßstabs des Greifteils, nach
dem Quetschen der gegenüberliegenden flachen Flächen,
-Fig. 10 ist eine Perspektivzeichnung eines Ausführungsbeispiels
des nach dem erfindungsgemäßen Verfahren gefertigten Endstücks.
Zur konkreteren Erläuterung des Gegenstands der Erfindung wird dieser
nun auf nicht beschränkende Weise unter Bezugnahme auf die
Ausführungsbeispiele der Abbildungen beschrieben.
Das Endstück wird ausgehend von einer hohlen Röhre (1) insbesondere
aus rostfreiem Stahl und bestimmten Durchmessers gefertigt (Fig. 1 und 2).
Erfindungsgemäß wird das Ende der Röhre (1) über eine bestimmte Länge (1 a) eingezogen.
So hat beispielsweise die Röhre (1) einen Ausgangsdurchmesser von
9 mm; nach dem Einziehen beträgt der Durchmesser 6,2 mm (Fig. 4). Der übrige
Teil wird abgeflacht, so daß zwei parallele flache Flächen (1 b) und (1 c) gebildet
werden, die sich gegenüberliegen und dabei nicht aneinanderstoßen
(Fig. 3 und 5).
In die Stärke einer Fläche (1 b) wird ein länglicher axialer Ausschnitt
(1 b 1), in die andere Fläche ein Loch (1 c 1) gearbeitet (Fig. 3). Anschließend
wird ein Schieber (2) der gleichen Art wie die Röhre (1) zwischen die beiden
gegenüberliegenden Flächen (1 b) und (1 c) eingefügt.
Dieser Schieber weist ausgehend von einem seiner Querränder einen
axialen Einschnitt (2 a) auf. Nach dem Einfügen des Schiebers (2) in den abgeflachten
Teil wird der Einschnitt seitens der eingezogenen Röhre (1 a)
positioniert und beläßt in Verbindung mit dem entsprechenden Rand des Ausschnitts
(1 b 1) eine freie Zone (a), die als Vakuumvorrat dient und die Greifkraft des
Endstücks bestimmt.
Anschließend werden die beiden flachen Flächen (1 b) und (1 c) auf dem
Schieber (2) abgeflacht (Fig. 6) und durch das Loch (1 c 1) ein Pulver eingeführt,
das nach Erhitzen eine Mikrolötstelle sicherstellt. Anschließend wird
die Einheit in einen Ofen eingebracht, um das Zusammenlöten des Schiebers (2)
mit dem abgeflachten Teil (1 b-1 c) und gleichzeitig das Füllen der verbliebenen
Hohlräume insbesondere zwischen dem Schieber (2) und dem abgeflachten Teil zu
gewährleisten (Fig. 7).
Die Enden des abgeflachten Teils werden abgerundet (Fig. 8) und dieser
anschließend geschliffen. Die so gebildete Greifzone kann nunmehr gemäß
einem im Hinblick auf die geplante Anwendung festgelegten Winkel ( ) gebogen
werden.
Die Endstück-Einheit wird mit einem mechanisch hochfesten fluorierten
Copolymer unter Einleitung von Stickstoff beschichtet, um jegliches Verstopfen
und Verunreinigungen zu vermeiden. Diese Beschichtung kann beispielsweise die
unter dem Namen HALAR bekannte Beschichtung sein.
Die Endstück-Einheit kann aber auch gemäß einer vorzugsweisen
Ausführungform eine im Handel unter der Markenbezeichnung PEEK bekannte
Polyätherätherketon-Beschichtung erhalten.
Die Vorteile gehen klar aus der Beschreibung hervor. Zu unterstreichen
ist insbesondere, daß die abgerundeten Ecken und die äußere Beschichtung
die Gefahren von Verunreinigung und Verkratzen der Plättchen in hohem Maße
vermindern. Ebenso bewirkt die Mikro-Lötung die Vermeidung jeglicher Leckgefahr.
Schließlich kann nach dem erfindungsgemäßen Verfahren, insbesondere
angesichts des Vorgangs des Einziehens der Röhre, die Breite des Greifteils des
Endstücks verringert werden, was für das Greifen bestimmter Plattchen in
größtmöglicher Nähe ihres Randes ohne Gefahr der Beschädigung der Chips besonders
interessant ist.
Die Erfindung beschränkt sich keinesfalls auf die besonders aufgeführte
Verwendungsart noch auf die besonders aufgeführten Ausführungsarten ihrer
verschiedenen Teile; sie umfaßt im Gegenteil sämtliche Abarten. Beispielsweise
kann das Endstück in der beschriebenen Ausführung, das heißt mit insbesondere
einem eingezogenen zylindrischen Teil (1 a) zum Einfügen im Körper einer Vakuumvorrichtung
und einem Greifteil (1 b-1 c) veränderlichen Durchmessers und
verringerter Breite, aus jedem beliebigen Werkstoff, insbesondere aus Quarz,
gefertigt werden.
Vorgesehen ist ebenfalls die Fertigung dieser besonderen Endstückform
im Formverfahren, durch Einspritzen eines unter der Markenbezeichung PEEK
bekannten Polyätherätherketon-Stoffs.
Claims (7)
- -1- Verfahren für die Herstellung anpaßbarer Endstücke, insbesondere für Vakuumvorrichtungen, dadurch gekennzeichnet, daß:
- von einer hohlen Röhre (1) bestimmten Durchmessers aus rostfreiem Stahl ausgegangen wird,
- die Röhre (1) über eine bestimmte Länge (1 a) eingezogen und der übrige Teil abgeflacht wird, so daß zwei gegenüberliegende flache, nicht aneinandergrenzende Flächen (1 b) und (1 c) gebildet werden,
- in eine der abgeflachten Flächen (1 b) ein Ausschnitt (1 b 1) und in die andere Fläche ein Loch (1 c 1) angebracht wird,
- zwischen die beiden Flächen (1 b) und (1 c) ein Schieber (2) eingefügt wird, der ausgehend von einem Rand einen axialen Einschnitt (2 a) aufweist,
- die beiden flachen Flächen (1 b) und (1 c) auf dem Schieber (2) abgeflacht werden,
- durch das Loch (1 c 1) in einer der Flächen ein Pulver eingebracht wird, das so beschaffen ist, daß es nach Erhitzen eine Mikrolötung gewährleistet,
- die Einheit in einen Ofen eingebracht wird, um die Lötverbindung des Schiebers (2) mit den abgeflachten Teilen und gleichzeitig das Füllen von zwischen den Schiebern und den abgeflachten Teilen verbliebenen Hohlräumen zu gewährleisten,
- die Enden der abgeflachten Greifteile abgerundet werden,
- die abgeflachten Greifzonen geschliffen werden. - -2- Verfahren nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß die Greifzone mit einem Winkel ( ) gebogen wird.
- -3- Verfahren nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß das gesamte Endstück eine Oberflächenbehandlung erfährt, um eine Beschichtung aus mechanisch hochfestem fluorierten Copolymer unter Einleiten von Stickstoff zu erhalten.
- -4- Verfahren nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß das gesamte Endstück eine Oberflächenbehandlung erfährt, um eine Beschichtung aus Polyätherätherketon, im Handel unter der Markenbezeichnung PEEK bekannt, zu erhalten.
- -5- Endstück, direkt durch die Anwendung des Verfahrens nach einem beliebigen der Ansprüche 1, 2, 3 und 4 erhalten, dadurch gekennzeichnet, daß es einen eingezogenen zylindrischen Teil (1 a) zum Einstecken und einen Greifteil (1 b) (1 c) variablen Durchmessers und geringer Breite aufweist.
- -6- Endstück nach Anspruch 5 dadurch gekennzeichnet, daß es aus Quarz gefertigt ist.
- -7- Herstellungsverfahren für Endstücke zur Anpassung an Vakuumvorrichtungen, mit einem eingezogenen zylindrischen Teil (1 a) zum Einstecken und einem Greifteil (1 b)-(1 c) variabler Neigung und geringen Durchmessers, dadurch gekennzeichnet, daß das Endstück im Formverfahren durch Einspritzen eines Materials aus Polyätherätherketon, im Handel unter der Markenbezeichnung PEEK bekannt, gefertigt wird.
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