DE3514302A1

DE3514302A1 - Optische abtastvorrichtung

Info

Publication number: DE3514302A1
Application number: DE19853514302
Authority: DE
Inventors: Lars Täby Karlsson
Original assignee: Pharos AB
Current assignee: Pharos AB
Priority date: 1984-04-26
Filing date: 1985-04-19
Publication date: 1985-10-31
Also published as: SE442067B; GB2157845B; GB8506975D0; JPS60239706A; US4632503A; SE8402294D0; SE8402294L; GB2157845A; FR2563636A1; FR2563636B1

Description

Optische Abtastvorrichtung

Die Erfindung bezieht sich auf eine optische Abtastvorrichtung gemäß der Gattung des Patentanspruchs 1.

Somit betrifft die Erfindung eine optische Abtastvorrichtung zur Ausführung einer optischen Abtastung über eine Fläche hinweg in wenigstens einer Dimension. Sie umfaßt eine drehbare Trommel mit einer Vielzahl von reflektierenden Facetten, die gleichförmig um deren Umfang herum verteilt sind, sowie einen Lichtbündeldetektor oder eine Lichtbündelquelle, die am Ende des Bündelpfades innerhalb der Abtastvorrichtung angeordnet sind, ferner stationäre optische Elemente mit Bündelablenkungseigenschaften, die derart angeordnet sind, daß sie den Bündelpfad in solcher Weise gegen die Trommel führen und wieder zurückführen, daß die Ausdehnung der Reflexion auf einer Facette auf der Trommel, die am nächsten am Detektor oder der Bündelquelle liegt, im Verhältnis zur Ausdehnung der Facette klein ist.

Ein guter Qualitätsfaktor für eine optische Abtastvorrichtung, beispielsweise eine Vorrichtung zur Linienabtastung, ist die optische Invariante E = 0 · <K / wobei 0 die Apertur der Abtastvorrichtung ist, d.h. der Querschnitt des Bündels, das am Eingang der Vorrichtung vorliegt und durch das System geleitet wird, während £< der Abtastfeldwinkel ist. Einfacher

ausgedrückt ist es beispielsweise im Falle einer Infrarot-Abtastvorrichtung mit einer gegebenen Invariante E möglich, die thermische Empfindlichkeit gegen geometrische Auflösung und umgekehrt auszutauschen, was bedeutet, daß die folgende Gleichung gilt:

F /v^ Element/Linie
NETD

wobei NETD die sogenannte Rauschäquivalenz-Tamperaturdifferenz ist, die ein Maß der Empfindlichkeit des Systems darstellt.

Dies bedeutet, daß es in einem optischen Abtastsystem für infrarotes Licht und mit einer vorgegebenen optischen Invariante notwendig ist, einen Kompromiß zwischen der Bildauflösung und der Empfindlichkeit zu schließen. Eine Vergrößerung der optischen Invariante bietet eine größere Möglichkeit, diese beiden Eigenschaften zu verbessern. Folglich wurden bereits Anstrengungen unternommen, die optische Invariante zu verbessern.

Wenn beispielsweise eine Linienabtastung mit Hilfe einer rotierenden Trommel ausgeführt wird, die um ihren Umfang herum mit reflektierenden Facetten versehen ist, so daß sie ein reflektierendes Polygon bildet, dann kann gezeigt werden, daß ausschließlich mit Reflexion an der Trommel, was den üblichsten Fall darstellt, die folgende Beziehung gilt:

wobei D der Abstand zwischen zwei zueinander entgegengesetzten ebenen Seiten des Polygons ist, d.h. die Breite über die ebenen Flächen hinweg, während N die Anzahl der Facetten ist und λ* der Abtastwirkungsgrad, der von dem

Verhältnis zwischen der Ausbreitung des Bündels über den Facetten und der Größe der Facetten abhängt. Wenn die Abtastung mit hoher Geschwindigkeit durchgeführt werden soll, ist es notwendig, entweder die Trommel mit äußerst hoher Geschwindigkeit zu drehen oder das Polygon muß viele Seiten oder Facetten besitzen. Wenn ein Polygon viele Facetten haben soll, damit sich eine hohe optische Invariante E einstellt, dann muß es einen großen Durchmesser aufweisen. Dies gilt insbesondere dann, wenn der Abtastwirkungsgrad hoch ist (d.h. nahe an 1), da in diesem Fall jede Facette im Verhältnis zum Durchmesser des reflektierten Bündels groß ist.

Die schwedische Patentanmeldung Nr. 8201306-1 der Anmelderin der vorliegenden Anmeldung beschreibt eine optische Abtastvorrichtung, die eine wirksamere Abtastung liefert und bei der die aktive Linienabtastungseinrichtung eine drehbare Trommel umfaßt, die mit reflektierenden Facetten versehen ist und die nachstehend als Spiegelpolygon bezeichnet wird. Ein gemeinsames Merkmal der in der vorstehend genannten Patentanmeldung beschriebenen Ausführungsformen besteht darin, daß bei der Ausführung einer Linienabtastung der Bündelpfad zweimal an dem gleichen rotierenden Spiegelpolygon reflektiert wird. Im Augenblick der einen Reflexion ist der Bündeldurchmesser verhältnismäßig klein. Die Leistung der Abtastvorrichtung wird an dieser Stelle bestimmt. Diese Reflexion trägt nur mäßig zur tatsächlichen Abtastung einer Linie bei, während im Augenblick der zweiten Reflexion das Bündel die Facetten ausfüllt und diese während eines Liniendurchlaufs begleitet. Dieser Vorgang liefert einen größeren Beitrag zur Abtastung. Es ist möglich, mit einem Spiegelpolygon auf diese Weise eine verhältnismäßig große optische Invariante E zu erzielen, und zwar trotz der Tatsache, daß das Polygon viele Facetten und geringe Breitenabmessungen über die Ebenen hinweg besitzt. Die optische Invariante be-

trägt dabei im besten Fall:

Eine weitere Verbesserung der optischen Invariante E wird mit einer erfindungsgemäßen Vorrichtung erzielt, die sich dadurch auszeichnet, daß die stationären optischen Elemente derart angeordnet sind, daß der Bündelpfad wenigstens dreimal zur Reflexion an das Polygon geführt wird, daß ferner der Bündelpfad bei jeder Reflexion am Polygon zusätzlich zu der Reflexion, die am nächsten am Detektor oder der Bündelquelle gelegen ist, der Bewegung des Polygons im wesentlichen getreu folgen kann und in der Rotationsrichtung des Polygons eine im wesentlichen vollständige Ausdehnung über jede Facette besitzt, an der eine Reflexion stattfindet, und daß die gegenseitigen Reproduktionen zwischen den Facetten mit einer Reflexion von im wesentlichen vollständiger Ausdehnung an diametral gegenüberliegenden Facetten mit einer Vergrößerung von ungefähr -1 stattfinden können.

Gemäß einem Merkmal der Erfindung besitzt das Polygon zwei Reihen von reflektierenden Facetten, von denen die erste Reihe konvex gekrümmte Facetten umfaßt und die zweite Reihe ebene Facetten, wodurch die Reflexion, die am nächsten am Detektor oder der Bündelquelle gelegen ist, an einer Facette in der ersten Reihe stattfindet und die übrigen Reflexionen an einander gegenüberliegenden Facetten in der zweiten Reihe stattfinden.

Gemäß einem weiteren Merkmal der Erfindung besitzt das Polygon eine einzige Reihe von planaren Facetten. Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung umfassen die optischen Elemente zwischen den Reflexionen am Polygon, welche der Rotationsbewegung des Polygons getreu folgen, einen gekrümmten Feldspiegel und einen konkaven Spiegel.

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Auch die optischen Elemente zwischen derjenigen Reflexion am Polygon, die am nächsten am Detektor stattfindet, und der nächstfolgenden Reflexion am Polygon können einen gekrümmten Feldspiegel und eine konkaven Spiegel umfassen; alle Reflexionen am Polygon erfolgen an abwechselnd gegenüberliegenden Facetten am Polygon.

In der Zeichnung ist die Erfindung beispielsweise veranschaulicht; es zeigen:

Fig. 1 das Prinzip, durch das mittels eines außen reflektierenden Polygons eine zusätzliche

Facettenverfolgungssequenz erzielt wird;

Fig. 2 das Prinzip, durch das mittels eines innen reflektierenden Polygons eine zusätzliche Facettenverfolgungssequenz erzielt wird;

Fig. 3 eine teilweise geschnittene Seitenansicht einer ersten Ausfuhrungsform einer Vorrichtung gemäß der Erfindung;

Fig. 4 eine perspektivische Ansicht einer zweiten Ausführungsform einer Vorrichtung gemäß der Erfindung;

Fig· 5 eine teilweise geschnittene Seitenansicht einer dritten Ausführungsform einer Vorrichtung gemäß der Erfindung; und

Fig. 6 ein Diagramm, das das durch die Erfindung erzielte Ergebnis veranschaulicht.

Wie schon vorstehend angemerkt, besteht das Ziel der Erfindung darin, die optische Invariante E für gegebene Werte von D, N und /n weiter zu erhöhen. Dies wird dadurch erzielt, daß man das Bündel mehr als zweimal an einer aktiven Abtastungseinrichtung in Gestalt eines Drehspiegelpolygons reflektieren läßt, und zwar derart, daß die Bündelstrahlen eine Facette ausfüllen und diese in ihrer Bewegung mit dem Polygon begleiten oder verfolgen. Natürlich ist es nicht möglich, eine Facette willkürlich zu verfolgen, und tatsächlich kann dies nur erreicht werden, wenn gewisse vorbestimmte Regeln

beachtet werden, die nachstehend angegeben sind.

Bei Beachtung dieser Regeln nimmt die optische Invariante die folgende Formel an:

E »ί4 π ² ~ Ti(k-n)

ir

wobei k die Anzahl der Reflexionen an den Facetten des Polygons ist.

Die Fig. 1 zeigt die Art und Weise,in der jede zusätzliche Facettenverfolgungssequenz mit einem außen reflektierenden Drehpolygon erreicht wird. Der Bündelpfad ist vorbestimmt, so daß das Bündel die Bewegung des Polygons 1 begleitet und die Facette A ausfüllt. Die Art und Weise, in der dieses erreicht wird, wird nachstehend mit Bezug auf die Fig. 3 bis 5 beschrieben. Die Facette A wird auf oder in der Nähe der diametral gegenüberliegenden Facette B mit einer Vergrößerung von angenähert -1 reproduziert, und zwar mit Hilfe von in dem Bündelpfad angeordneten optischen Komponenten, wie den beiden dargestellten gekrümmten Spiegeln 2 und 3. Es sollte in dieser Hinsicht berücksichtigt werden, daß der . durch die Abtastvorrichtung hindurchtretende tatsächliche Bündelpfad seine jeweiligen Abtastpunkte nicht auf den Facetten hat. Das Bündel begleitet oder verfolgt diesen Vorgang der Reproduzierung der Facette A auf oder in der Nähe der Facette B mit einer Vergrößerung von -1 und füllt überdies die Facette B aus, wodurch er einen weiteren hohen Beitrag zur optischen Invariante E liefert.

Die Fig. 2 zeigt das Prinzip, durch welches mit einem innen reflektierenden Polygon 4 eine zusätzliche Facettenverfolgungssequenz erzielt wird. Die bei der Reproduzierung der Facette a auf der Facette b mit einer Vergößerung von -1 wirksamen optischen Komponenten sind hier durch eine

einzige Linse 5 gegeben.

Die Fig. 3 und 4 zeigen zwei unterschiedliche Ausführungsformen mit äußerer Reflexion, bei denen ein rotierendes Polygon insgesamt drei Reflexionen ergibt, von denen zwei eine Facettenverfolgungssequenz umfassen.

Das Polygon 6 der Ausführungsform der Fig. 3 weist zwei parallele Reihen 7 und 8 von Facetten auf. Die Facetten in der oberen Reihe 7 sind konvex und können entweder zylindrisch oder sphärisch sein. Jede Facette in der Reihe 7 wirkt daher als aktives optisches Bündelauslenkungselement. Damit die in den Figuren dargestellten Abtastvorrichtungen leichter verstanden werden können, werden sie mit dem Detektor als Startpunkt beschrieben, obgleich der Bündelpfad tatsächlich in umgekehrter Richtung verläuft.

Bei dem in der Fig. 3 gezeigten Ausführungsbeispiel wird der Detektor D1 an einer Stelle P1 in der Nähe einer Facette in der Reihe 7 mittels einer Relais- bzw. Übertragungsoptik reproduziert, die zwei Linsen 9 und 10 und eine Blende 11 umfaßt. Der Bündelpfad wird von der Facette reflektiert, die als Feldspiegel wirkt. Ein konkaver Spiegel 12, der im wesentlichen sphärisch oder toroidförmig sein kann, führt das Bündel zum Polygon 6 auf eine Facette A1 in der unteren Reihe 8 der Fig. 3 zurück. Die Facette A1 ist in geeigneter Weise unmittelbar unterhalb derjenigen Facette in der oberen Reihe 7 angeordnet, an der die erste Reflexion stattfindet. Nach der Reflexion an der Facette A1 in der Reihe 8 wird das Bündel an die Stelle P2 fokussiert. Der Spiegel 12, das Polygon 6 und die Lage der Stelle P2 sind derart bemessen, daß das Bündel bei Reflexion an der Facette A1 diese Facette ausfüllt, und zwar wenigstens in Richtung der Rotation des Polygons. Während des Verlaufs einer Abtastung bewegt sich die Stelle bzw. der Fleck P2 durch eine bogen-

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förmige Kurve im Raum. Auf oder nahe dieser bogenförmigen Kurve ist ein konkaver Spiegel 13 gelegen, der von geeigneter zylindrischer oder sphärischer Gestalt ist. Der Spiegel 13 wirkt als Feldspiegel und lenkt das Bündel auf einen weiteren konkaven Spiegel 14, der im wesentlichen von sphärischer oder toroidförmiger Gestalt sein kann. Der Spiegel 14 fokussiert das Bündel wiederum auf einen Punkt P3, und zwar nach der Reflexion an einer Facette B1 in der unteren Facettenreihe 8, wobei diese Facette der Facette A1 gegenüberliegt. Die Dimensionierung der Spiegel 13 und 14 in Relation zum Polygon ist derart, daß die Facette A1 auf der Facette B1 mit einer Vergrößerung von -1 reproduziert wird.

Ein konkaver Spiegel 15 fokussiert das Bündel auf das Objekt, dessen infrarote Strahlung reproduziert werden soll. Wenn das Objekt entfernt gelegen ist, wird der Bündelpfad stromabwärts des Spiegels 15 praktisch kollimiert. Ein Abtastspiegel 16 ist in oder nahe der Pupille des Bündelpfades während einer Linienabtastung gelegen. Der Abtastspiegel 16 lenkt den Bündelpfad vertikal ab, um eine vertikale Abtastung zu erzielen.

Bei der in der Fig. 4 dargestellten Ausführungsform weist das rotierende Polygon 17 nur eine Reihe von Facetten auf, die in diesem Fall eben sind. In der Ausführungsform der Fig. 4 tritt der Bündelpfad von dem Detektor D2 durch eine andere Art einer Übertragungsoptik 18, die vom Cassegrain-Typ ist und somit ausschließlich reflektierende Komponenten aufweist. Diese Art einer Übertragungsoptik kann als Alternative zur Übertragungsoptik 9-11 in der Fig. 3 bei allen Ausführungsformen verwendet werden.

Ein ebener Spiegel 19 lenkt den Bündelpfad auf eine Facette A2, an der er reflektiert und auf die Stelle Pa

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fokussiert wird. Ein als Feldspiegel wirkender konkaver Spiegel 20 ist nahe der während einer Abtastung von der Stelle Pa beschriebenen bogenförmigen Linie angeordnet und reflektiert das Bündel über einen ebenen Spiegel 22 auf einen konkaven Spiegel 21 an der anderen Seite des Polygons 17.

Der konkave Spiegel 21 kann von sphärischer oder asphärischer Gestalt sein und fokussiert das Bündel auf die Stelle Pb über die Facette B2 auf dem Polygon 17. Die Weite des Bündelkegels an der Facette B2 ist gleich der Breite der Facette in Richtung der Rotation. Ein Feldspiegel in Form eines konkaven Spiegels 23, der von geeigneter zylindrischer oder sphärischer Gestalt ist, ist nahe des Ortes angeordnet, der von der Stelle Pb während einer Abtastung durchwandert wird, und lenkt das Bündel auf einen weiteren sphärischen oder toroidförmigen Spiegel 24 auf der entgegengesetzten Seite des Polygons 17. Der Spiegel 24 fokussiert das Bündel auf die Stelle Pc durch eine Reflexion an der Facette A2 auf dem Polygon 17. Die Weite des Bündelkegels an der Stelle dieser Reflexion ist gesehen in der Rotationsrichtung des Polygons im wesentlichen gleich der Breite der Facette A2. Das Bündel wird dann von einem konkaven Spiegel 25 reflektiert, der von sphärischer oder asphärischer Gestalt ist und das Bündel auf das entfernt gelegene, abzutastende Objekt fokussiert. Folglich wird das Bündel nahezu kollimiert. In einer gemeinsamen Pupille während einer Abtastung ist eine weitere Abtasteinrichtung gelegen, die eine Abtastung in rechten Winkeln zur Abtasteinrichtung 17 ausführt. Als dargestellte Ausführungsform weist diese weitere Abtasteinrichtung die Form eines Schwenkabtastspiegels 26 auf, obgleich sie auch die Form eines mit reflektierenden Spiegeln ausgestatteten zweiten Polygons haben könnte. An einem oder beiden Enden

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der von der Stelle Pe während einer Abtastung durchwanderten Linie sind Temperaturreferenzen T in geeigneter Weise angeordnet.

Der einzige Unterschied zwischen dem Ausführungsbeispiel der Fig. 4 und dem der Fig. 5 besteht darin, daß der Bündelpfad zu einer vierten Reflexion am Polygon 17 bewegt wird. Diejenigen Komponenten und Elemente die mit ähnlichen Komponenten und Elementen der Fig. 4 übereinstimmen, wurden daher mit den gleichen Bezugszeichen versehen.

Zum Zwecke der Darstellung ist der Bündelpfad bei dieser Ausführungsform als genau auf die jeweiligen Feldspiegel 20, 23, 27 fokussiert dargestellt, obgleich eine derartige Fokussierungspräzision in der Praxis nicht vorliegt. Der Bündelpfad von der Diode D3 zur Facette A2 über die Ubertragungsoptik 24 vom Cassegrain-Typ ist in diesem Fall nicht abgelenkt, er ist jedoch in anderer Hinsicht in der gleichen Weise wie bei den Elementen D2 und 18 in der Fig. 4 dimensioniert. Bei der Fig. 4 geht der Bündelpfad über die Elemente 20, 22, 21, B2, 23, 24, A2 zur Stelle Pc weiter. An dem Ort von Pc ist ein konkaver Spiegel 27 gelegen, der in geeigneter Weise sphärisch oder zylindrisch gestaltet ist. Der Spiegel 27 lenkt den Bündelpfad auf einen weiteren sphärischen oder asphärischen konkaven Spiegel 28 an der anderen Seite des Polygons 17, wobei dieser Spiegel den Bündelpfad durch Reflexion an der Facette B2 auf die Stelle Pd fokussiert. Der Bündelkegel füllt die Facette B2 wenigstens in Richtung der Polygonrotation aus und verfolgt im wesentlichen die Facette B2 während einer Abtastung. Der Bündelpfad wird auf das abzutastende Objekt durch einen weiteren Spiegel 29 fokussiert, der sphärisch oder asphärisch sein kann, so daß das Bündel im wesentlichen kollimiert wird. Wenn die Abtastvorrichtung gemäß der Erfindung in einer Abtastoptikkamera, wie einer IR-Kamera, angeordnet ist, wird die vertikale Abtastung mittels eines Schwenkabtastspiegels 30 herbeigeführt. An den Enden des von der Stelle Pd durch-

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wanderten gekrümmten Pfades sind in geeigneter Weise Temperaturreferenzen angeordnet (nicht gezeigt).

Die Fig. 6 zeigt die maximal erreichten Leistungen, wenn das Bündel einmal, zweimal, dreimal urid viermal an dem PoIygon reflektiert wird, wobei die Erfindung die beiden letztgenannten Fälle umfaßt. Der Abtastwirkungsgrad ist auf der Abszisse aufgetragen und die relative optische Invariante E , auf der Ordinate. Wie aus diesem Diagramm zu sehen ist, wird die höchste relative optische Invariante bei einer einzigen Reflexion dann erzielt, wenn der Abtastwirkungsgrad M 0,5 beträgt. Im Falle nur einer Reflexion ist es daher für den Wirkungsgrad des Systems grundsätzlich ungeeignet, von 0,5 übermäßig abzuweichen. Bei zwei Reflexionen, bei denen das Bündel jeweils eine Facette verfolgt, wird andererseits die maximale relative optische Invariante bei dem nächst optimalen Abtastwirkungsgrad erzielt. Wie sich jedoch aus dem Diagramm ersehen läßt, erhöht sich die erzielbare relative optische Invariante um eine Einheit bei jeder weiteren Reflexion am Polygon mit voller Facetten-Verfolgung, so daß im Falle von vier Reflexionen die maximal erzielbare relative optische Invariante bereits viermal so groß ist, wie diejenige, die mit zwei Reflexionen erzielbar ist. Aus verschiedenen Gründen ist ein Abtastwirkungsgrad von genau gleich eins (1) nicht geeignet und deshalb wird ein geringfügig niedrigerer Wirkungsgrad gewählt. Wie vorstehend erwähnt, hängt der Abtastwirkungsgrad von der Beziehung zwischen den jeweiligen Breiten des Bündelkegels und der Facette an der am nächsten am Detektor liegenden Stelle der Reflexion ab und es ist nicht zweckmäßig, direkt auf die Facette zu fokussieren, da dann kleinere Fehler in der Facettenoberfläche eine außerordentlich hohe Bedeutung annehmen würden. Es ist jedoch aus der Fig. 6 ersichtlich, daß auch bei niedrigen Wirkungsgraden ein außerordentlich guter Beitrag zur relativen optischen Invariante E , erzielt wird.

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Im Rahmen des Erfindungsgedankens sind viele Abwandlungen möglich.

Beispielsweise wurde bei allen Ausführungsformen der Bündelpfad so dargestellt, daß er von einem abzutastenden 5 Objekt ausgeht. Es ist jedoch anzumerken, daß auch der umgekehrte Bündelpfad durch das System im Rahmen der Erfindung liegt, wobei dann der Detektor D1, D2 durch eine modulierte Lichtquelle, wie eine Leuchtdiode oder einen Laser ersetzt werden kann und die Strahlung über das optische System auf einem Schirm aufgezeichnet wird. Erfindungsgemäß können auch zwei optische Systeme vorgesehen werden, in denen die Bündelpfade zueinander entgegengesetzte Richtungen haben, wobei die Modulation der Lichtquelle durch das Signal aus dem Detektor gesteuert wird. Die letztgenannte Ausführung ist Teil des bekannten Verfahrens und ist in der erwähnten schwedischen Patentanmeldung Nr. 8201306-1 beschrieben.

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Claims

Patentansprüche

1. Optische Abtastvorrichtung zur Ausführung einer optischen Abtastung über eine Fläche in wenigstens einer Dimension, mit einem drehbaren Polygon (6; 17), um dessen Umfang herum eine Vielzahl von reflektierenden Facetten (A1, B1; A2, B2) gleichförmig angeordnet ist, mit einem Lichtbündeldetektor (D1; D2; D3) oder einer Lichtbündelquelle, die am Ende des Bündelpfades innerhalb der Abtastvorrichtung angeordnet sind, ferner mit stationären optischen Elementen (12-15; 20-25; 20-29), welche Bündelablenkungseigenschaften haben und derart angeordnet sind, daß sie den Bündelpfad derart gegen das Polygon und wiederum gegen dieses führen, daß die Ausdehnung der Reflexion auf einer Facette des Polygons, die am nächsten am Detektor oder der Bündelquelle liegt, in Relation zur Ausdehnung der Facette klein ist, dadurch gekennzeichnet, daß die stationären optischen Elemente (12-15; 20-25; 20-29) derart angeordnet sind, daß sie den Bündelpfad wenigstens dreimal zur Reflexion gegen das Polygon leiten, damit der Bündelpfad bei jeder Reflexion an dem Polygon zusätzlich zu der am nächsten am Detektor oder der Bündelquelle gelegenen Reflexion der Bewegung des Polygons im wesentlichen getreu folgen kann und in der Rotationsrichtung des Polygons eine im wesentlichen vollständige Ausdehnung über jede Facette hinweg aufweist, an der eine Reflexion stattfindet, und damit die gegenseitigen Reproduktionen zwischen den Facetten mit einer Reflexion von im wesentlichen vollständiger Ausdehnung an diametral gegenüberliegenden Facetten mit einer Vergrößerung von ungefähr -1 stattfinden können.

2. Abtastvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß das Polygon (6; 17) zwei Reihen (7, 8) von reflektierenden Facetten aufweist, von denen die erste Reihe (7) konvex gekrümmte Facetten umfaßt und die zweite Reihe (8) ebene Facetten, wodurch die dem Detektor (D1) oder der Bündelquelle nächstgelegene Reflexion an einer Facette in der ersten Reihe stattfindet und die übrigen Reflexionen an einander gegenüberliegenden Facetten (A1, B1) in der zweiten Reihe stattfinden.

3. Abtastvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet , daß das Polygon eine einzige Reihe von ebenen Facetten aufweist.

4. Abtastvorrichtung nach einem der vorhergehenden

Ansprüche,dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Elemente zwischen denjenigen Reflexionen am Polygon, die dem Polygon in seiner Rotationsbewegung getreu folgen, einen gekrümmten Feldspiegel (13; 23, 27) und einen konkaven Spiegel (14; 24, 28) umfassen.

5. Abtastvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet , daß die optischen Elemente zwischen derjenigen Reflexion am Polygon, die am nächsten am Detektor (D2; D3) stattfindet, und der nächstfolgenden Reflexion am Polygon auch einen gekrümmten Feldspiegel (20) und einen konkaven Spiegel (21) umfassen, und daß alle Reflexionen an am Polygon abwechselnd gegenüberliegenden Facetten (A2, B2) stattfinden.