DE3509838C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Positionsmeßeinrich­ tung gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1.

Bei Positionsmeßeinrichtungen ist es zur Ermittlung von Bezugspositionen bekannt, relativ zueinander beweg­ liche Maschinenteile oder Meßeinrichtungsteile aus einer Ausgangsposition bis zu einer Referenzmarke zu verfahren, um den bis dort zurückgelegten Wert zu ermitteln und zu speichern oder die Referenz­ marke zur Bezugsposition mit dem Wert "Null" zu er­ klären. Ein solches Verfahren ist mit einer inkre­ mentalen Längen- oder Winkelmeßeinrichtung möglich, wie sie in der DE-PS 19 64 381 beschrieben wird. Dieses Verfahren erfordert aber eine ungehinderte Relativbeweglichkeit der zu messenden Objekte, da die Bauteile der Meßeinrichtung fest mit den zu messenden Objekten verbunden sind und gemeinsam mit diesen zu einer Referenzmarke verstellt werden müssen.

Aus der DE-OS 16 73 887 ist eine Meßeinrichtung bei einer Maschine bekannt, die bei einem auf dem Maschinenbett festgeklemmten Maschinenschlitten die Ermittlung einer Bezugsposition erlaubt. Zu­ erst muß dort der Schlitten in diejenige Position gefahren werden, die später als Bezugsposition zu Null erklärt werden soll. Danach wird der Schlit­ ten auf dem Maschinenbett festgeklemmt. Anschließend wird die Abtastplatte der Meßeinrichtung relativ zum Maßstab verfahren, bis eine Referenzmarke er­ reicht ist. Bei Erreichen der Referenzmarke wird der elektronische Zähler der Meßeinrichtung auf den Wert Null gesetzt. Sodann kann die Klemmung für den Maschinenschlitten wieder gelöst und der Schlitten in die gewünschte Position gefahren werden. Die Lage der Referenzmarke stellt also die Bezugsposi­ tion für die weiteren Arbeitsgänge dar.

Die bekannten Verfahren zur Ermittlung einer als Ausgangslage definierten Bezugsposition, die vor den eigentlichen Arbeitsvorgängen erfolgt, sind mit den beschriebenen inkrementalen Meßeinrichtungen jedoch dann nicht mehr möglich, wenn bereits Ar­ beitsgänge erfolgt sind und beispielsweise laufende Arbeitsgänge unterbrochen werden. Diese Unterbrechung eines laufenden Arbeitsvorganges, beispielsweise bei einem Handhabungsautomaten - im allgemeinen als Industrieroboter bezeichnet - ist durch Stromausfall möglich. Der Roboter bleibt dann in seiner momen­ tanen Position stehen; der auf seine ursprüngliche Bezugsposition bezogene Meßwert geht aber durch den Stromausfall verloren, da auch die Messung unter­ brochen wurde. Zur Fortführung des unterbrochenen Arbeitsvorganges müßte jedoch die Bezugsposition bekannt sein. Eine Rückbewegung des Roboters aus seiner Momentanposition in die ursprüngliche Aus­ gangslage scheidet aber in der Regel aus, weil beispielsweise gerade ein Werkzeug im Eingriff ist.

Um dennoch die Bezugslage reproduzieren zu können, wird in der DE-OS 33 11 203 vorgeschlagen, entwe­ der die Teilscheibe oder deren Abtastbaueinheit von dem zu messenden Objekt abzukoppeln und bis zu einer Referenzmarke zu verdrehen. Die Verdreh­ bewegung wird gemessen und zur Momentanposition verrechnet.

Eine weitere Möglichkeit zur Reproduktion der Be­ zugslage besteht nach der DE-OS 33 11 204 darin, eine zweite Teilscheibe vorzusehen, die Markierungen trägt und relativ zur ersten Teilscheibe und der Abtasteinrichtung verdrehbar ist. Durch die Koinzi­ denz von Markierungen auf der zweiten Scheibe und zugehörigen Abtastfeldern läßt sich die Bezugslage ermitteln und zur Momentanposition verrechnen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Posi­ tionsmeßeinrichtung der genannten Gattung anzugeben, die die Nachteile der bekannten Einrichtungen be­ seitigt und es bei einfacherem Aufbau ermöglicht, nach Verlust der Lageinformation in unbekannten Momentanpositionen ohne Bewegung der zu messenden Objekte eine Bezugsposition zu reproduzieren. Dabei soll die Positionsmeßeinrichtung im Aufbau möglichst weitgehend den herkömmlichen Meßeinrichtungen ent­ sprechen.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kenn­ zeichnenden Merkmale des Anspruches 1 gelöst.

Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbesondere darin, daß die vorgeschlagene Posi­ tionsmeßeinrichtung auf einfache und schnelle Weise die Reproduktion einer Bezugsposition nach unter­ brochenen Messungen und Bewegungen aus unbekannten Momentanpositionen erlaubt, ohne daß die zu messen­ den Objekte bewegt werden müssen. Ein solches zu messendes Objekt in Form eines Werkzeuges kann so­ mit bei einer Unterbrechung des Meßvorganges und des Bearbeitungsvorganges durch eine Störung im Ein­ griff am Werkstück verbleiben, so daß nach Behebung der Störung und Wiederermittlung der Bezugsposition der unterbrochene Bearbeitungsvorgang unverzüglich wieder fortgesetzt werden kann. Ein Zurückziehen des Werkzeuges von der Eingriffstelle am Werkstück und ein erneutes genaues Wiederanfahren dieser Ein­ griffstelle ist zeitaufwendig und schwierig und kann zu Beschädigungen des Werkstückes führen. Ferner sind beispielsweise bei Industrierobotern programmge­ steuerte Überprüfungen der jeweiligen Bezugsposi­ tionen zwischen einzelnen Arbeitsabläufen möglich, wodurch die Betriebssicherheit derartiger Systeme erheblich erhöht wird.

Vorteilhafte Ausbildungen der Erfindung entnimmt man den Unteransprüchen.

Mit Hilfe von Ausführungsbeispielen soll die Er­ findung anhand der Zeichnungen noch näher erläutert werden. Es zeigt

Fig. 1 eine Längenmeßeinrichtung an den zu messenden Maschinen-Bauteilen;

Fig. 2 eine Draufsicht auf die Längenmeß­ einrichtung gemäß Fig. 1;

Fig. 3 einen Ausschnitt einer Maßverkör­ perung aus der Längenmeßeinrichtung gemäß Fig. 1 und 2 in vergrößer­ ter Darstellung;

Fig. 4 eine Seitenansicht der Maßverkör­ perung gemäß Fig. 3 mit zwei sche­ matisierten Abtastbaueinheiten;

Fig. 5 eine Maßverkörperung mit zwei In­ krementalteilungen und Referenz­ marke;

Fig. 6 zwei Maßverkörperungen mit je einer Inkrementalteilung, davon eine mit Referenzmarke;

Fig. 7 eine Maßverkörperung mit einer Inkrementalteilung und einer Re­ ferenz-Codeteilung.

Mit der in Fig. 1 dargestellten Positionsmeßeinrichtung 1 wird die relative Lage zweier Objekte 2 und 3 zueinander gemessen. Diese Objekte 2 und 3 können Bett und Schlitten einer nicht dargestellten Maschine, beispielsweise einer Werkzeugmaschine sein.

Am Schlitten 3 ist ein Hohlkörper 4 mittels Winkeln 5 a und 5 b befestigt. Innerhalb des Hohlkörpers 4 ist in bekannter Weise eine Maßverkörperung 6 ange­ ordnet. Diese Maßverkörperung 6 trägt eine Inkremen­ talteilung T 1, die in ebenfalls bekannter Weise von einer Abtastbaueinheit A 1 abgetastet wird. Die Ab­ tastbaueinheit A 1 ist fest mit dem Bett 2 der Ma­ schine verbunden und wird bei Relativbewegungen zwischen Bett 2 und Schlitten 3 relativ zur Maßver­ körperung 6 bewegt. Da die Maßverkörperung die be­ sagte Inkrementalteilung T 1 trägt, auf die später noch näher eingegangen wird, kann ständig die Posi­ tion des bewegten Schlittens 3 zum stillstehenden Bett 2 ermittelt werden, denn die von der Abtastbau­ einheit A 1 während der Bewegung abgetasteten In­ tervalle der Inkrementalteilung T 1 werden in einer nicht dargestellten Auswerteeinrichtung erfaßt und als Weg- bzw. Positionswert angezeigt.

Zusätzlich zur Abtastbaueinheit A 1 ist eine weitere Abtastbaueinheit vorgesehen, die als Referenz-Ab­ tastbaueinheit RA bezeichnet und unabhängig von Bett 2 und Schlitten 3 relativ zur Maßverkörperung 6 verschiebbar ist. Mit Hilfe dieser Referenz-Ab­ tastbaueinheit RA kann jederzeit die Position der Abtastbaueinheit A 1 zu einem Bezugspunkt der Maß­ verkörperung 6 ermittelt werden. Der Bezugspunkt wird durch eine Referenzmarke R 1 bestimmt, deren Lage zur Inkrementalteilung T 1 der Maßverkörperung absolut festgelegt ist. Diese Bezugspunktermitt­ lung wird anhand der Fig. 3 und folgende noch näher beschrieben.

Fig. 2 zeigt eine Draufsicht auf die Anordnung ge­ mäß Fig. 1. Es ist ersichtlich, daß der Hohlkör­ per 4 an seiner Oberseite mit Dichtelementen 4 a und 4 b abgedichtet ist, die im Bereich der Abtast­ baueinheiten A 1 und RA durchgriffen werden, wozu diese Abtastbaueinheiten A 1 und RA in bekannter Weise nicht näher bezeichnete Mitnehmer aufweisen. Im Bereich dieser Mitnehmer werden die Dichtele­ mente 4 a und 4 b aufgespreizt und schmiegen sich an die Außenbereiche der Mitnehmer an, deren Querschnitt etwa dem eines zweischneidigen Schwertes gleicht.

In Fig. 3 ist ein Ausschnitt der Maßverkörperung 6 vergrößert dargestellt. Die Maßverkörperung 6 besteht aus Glas und ist mit einer für Strahlung undurchläs­ sigen Schicht versehen. Unter Strahlung sei hier Strahlung im optischen Bereich verstanden, obwohl die Erfindung nicht auf optisch-elektrische Posi­ tionsmeßeinrichtungen beschränkt sein soll.

Mit Hilfe von photolithographischen Verfahren ist auf der Maßverkörperung 6 eine Inkrementalteilung T 1 angebracht, die allgemein bekannt ist. An einem als Bezugspunkt definierten Ort ist in gleicher Weise eine Referenzmarke R 1 auf der Maßverkörperung 6 angeordnet. Selbstverständlich können auch mehre­ re Referenzmarken vorgesehen werden.

Die Abtastung der Inkrementalteilung T 1 erfolgt in bekannter Weise; anhand der Fig. 4 soll erläutert werden, wie die Bezugsposition ermittelt wird.

Auf der nun in Seitenansicht gezeigten Maßverkör­ perung 6 tastet die Abtastbaueinheit A 1 die Inkre­ mentalteilung T 1 ab. An beliebiger Stelle sollen die Abtastbaueinheit A 1 und die Maßverkörperung 6 sich in einer Ruhestellung befinden. Diese Ruhe­ stellung kann durch Unterbrechung der Energiever­ sorgung der Maschine verursacht worden sein. Durch Stromunterbrechungen gehen bei inkrementalen Meß­ einrichtungen jedoch auch die Positionswerte ver­ loren.

Um diese Positionswerte wieder zu gewinnen, ist es beim Stand der Technik (siehe u. a. eingangs aufge­ führte Druckschriften) erforderlich, den Schlitten so weit zu verfahren, daß die Referenzmarke mit einem entsprechenden Abtastfeld der Abtastbauein­ heit koinzidiert, und so ein Referenzimpuls erzeugt wird, der die Auswerteeinrichtung auf einen bestimm­ ten Wert, z. B. "Null" setzt. Nun kann der Schlitten wieder positioniert werden. Die aus dieser Vorge­ hensweise resultierenden Nachteile wurden bereits abgehandelt, so daß nun die Er­ mittlung der Bezugsposition dargelegt werden soll:

Der Schlitten 3 mit der Maßverkörperung 6 nimmt eine unbekannte Position zum Bett 2 und der Abtast­ baueinheit A 1 ein, und keines dieser Elemente kann relativ zu einem der anderen von der Stelle bewegt werden. Zur Ermittlung der Position der Abtastbau­ einheit A 1 relativ zur Referenzmarke R 1 und damit des Schlittens 3 zum Bett 2 muß der Abstand der Re­ ferenzmarke R 1 von der Abtastbaueinheit A 1 bestimmt werden. Dazu wird nun manuell oder mittels eines nicht dargestellten Antriebes eine zusätzliche Referenz-Abtastbaueinheit RA relativ zur Maßver­ körperung 6 verfahren. Sowohl die Referenz-Ab­ tastbaueinheit RA als auch die Abtastbaueinheit A 1 weisen Indikatorbausteine 7 und 8 auf. Wenn diese Indikatorbausteine 7 und 8 in Koinzidenz gebracht werden, bilden sie einen sogenannten Null-Indikator. Ein Null-Indikator kann die unterschiedlichsten Bauformen aufweisen, auch eine abgetastete Referenzmarke ist in gewissem Sinn ein Null-Indikator.

Nachdem einer der Null-Indikatoren (die Referenz­ marke R 1 oder der Null-Indikator, der durch die beiden Indikatorbausteine 7 und 8 gebildet wird) überfahren worden ist, wird die Auswerteeinrichtung auf einen bestimmten Positionswert, z. B. "Null" gesetzt. Anschließend wird die Referenz-Abtastbau­ einheit RA in Richtung des anderen Null-Indikators verfahren und es werden von der Referenz-Abtast­ baueinheit RA die dabei überfahrenen Teilungsin­ kremente ermittelt und in der Auswerteeinrichtung aufsummiert. Beim Überfahren des anderen Null-In­ dikators wird diese Zählung gestoppt und der Abstand der Referenzmarke R 1 vom Null-Indi­ kator - also der ersten Abtastbaueinheit A 1 - wird als Bezugswert angezeigt.

Damit ist eine Bezugsposition reproduziert, ohne daß eines der Maschinen-Bauteile bewegt worden ist.

Es versteht sich, daß die Referenz-Abtastbaueinheit RA den Anforderungen entsprechend geführt werden muß. Das kann - wie im Beispiel gezeigt - inner­ halb der Positionsmeßeinrichtung 1 geschehen, aber die Referenz-Abtastbaueinheit RA kann selbstver­ ständlich auch außerhalb der Positionsmeßeinrich­ tung 1 direkt an der Maschine geführt werden.

In Fig. 5 ist eine der Fig. 3 entsprechende Maßverkörperung 65 gezeigt, bei der neben der In­ krementalteilung T 5 noch eine weitere Inkremental­ teilung TR 5 vorgesehen ist. Diese Inkrementalteilung TR 5 kann, muß aber nicht die gleiche Gitterkonstante haben, wie die Inkrementalteilung T 5. Falls beide Inkrementalteilungen T 5 und TR 5 die gleiche Gitter­ konstante haben, empfiehlt es sich, anstelle zweier getrennter Inkrementalteilungen T 5 und TR 5 - abwei­ chend von Fig. 5 - eine einzige breite Inkremental­ teilung vorzusehen.

Zur Abtastung der Inkrementalteilung T 5 sind außer der Abtastbaueinheit A 15 noch weitere Abtastbauein­ heiten vorgesehen, von denen hier nur die Abtast­ baueinheit A 25 gezeigt ist. Mehrere Abtastbauein­ heiten, die eine gemeinsame Inkrementalteilung ab­ tasten, sind bei sehr langen Maschinen üblich, die mehrere Maschinenschlitten in einer Achse unabhän­ gig voneinander verfahren. Jede der Abtastbauein­ heiten A 15 und A 25 hat demgemäß eine andere Bezugs­ position inne, bezogen auf den Teilungsnullpunkt bzw. die Referenzmarke R 15. Jede der Abtastbauein­ heiten A 15 bzw. A 25 hat auch einen eigenen Indika­ torbaustein 85 bzw. 95. Mit Hilfe einer entspre­ chend geschalteten Auswerteeinrichtung kann auf die vorbeschriebene Weise für jede Abtastbauein­ heit A 15, A 25 usw. der Abstand von dem Teilungs­ nullpunkt bzw. der Referenzmarke R 15 ermittelt wer­ den.

Es liegt auch im Rahmen der Erfindung, mehrere Re­ ferenzmarken auf der Maßverkörperung vorzusehen, wenn die Verfahrwege für die Referenz-Abtastbau­ einheit RA 5 kurz gehalten werden sollen, oder wenn jeder der Abtastbaueinheiten A 15, A 25 usw. eine eigene Referenzmarke zugeordnet sein soll. Für diesen Fall müßten die einzelnen Referenzmar­ ken kodiert werden, d. h., von jeder der einzelnen Referenzmarken muß die individuelle Entfernung vom Teilungsnullpunkt bekannt sein und von der Referenz-Abtastbaueinheit RA 5 dekodiert werden kön­ nen.

Das Beispiel in Fig. 6 zeigt eine besonders vor­ teilhafte Ausgestaltung der Erfindung. Die Inkre­ mentalteilung T 6 ist auf einer Maßverkörperung 66 angeordnet und wird von Abtastbaueinheiten A 16 und A 26 abgetastet. Die Maßverkörperung 66 weist keine Referenzmarke auf und bildet damit eine inkremen­ tale Positionsmeßeinrichtung in einfachster Bau­ weise. Sie kann, muß aber ebensowenig wie die vor­ beschriebenen in einem Gehäuse gekapselt sein.

Die Bezugsposition der Abtastbaueinheiten A 16 und A 26 zum Teilungsnullpunkt wird mit Hilfe einer weiteren Positionsmeßeinrichtung ermittelt, die eine eigene Maßverkörperung 106 mit einer Inkre­ mentalteilung TR 6 und einer Referenzmarke R 16 auf­ weist, die von einer Referenz-Abtastbaueinheit RA 6 abgetastet werden. Die beiden Maßverkörperun­ gen 66 und 106 bzw. die beiden entsprechenden Positionsmeßeinrichtungen sind an der Maschine so zueinander montiert, daß die Referenzmarke R 16 der Maßverkörperung 106 genau dem Teilungsnull­ punkt der Inkrementalteilung T 6 der anderen Maß­ verkörperung 66 zugeordnet ist. Die Abtastbau­ einheiten A 16 und A 26 sowie die Referenz-Abtast­ baueinheit RA 6 tragen ebenfalls Indikatorbaustei­ ne 86, 96 und 76. Die Bezugspunktermittlung gleicht den vorbeschriebenen Vorgängen, so daß zur Vermei­ dung von Wiederholungen hier nicht mehr näher da­ rauf eingegangen werden muß.

Der zur Fig. 6 geltend gemachte besondere Vor­ teil äußert sich darin, daß die Positionsmeßeinrichtung 1 aus zwei einfachen, standardmäßigen inkrementalen Meßeinrichtungen aufgebaut werden kann, von denen lediglich eine eine Referenzmarke aufweisen muß, die zur Teilung der anderen absolut festgelegt ist. Durch entspre­ chende Justierung ist diese Forderung leicht zu erfüllen.

In Fig. 7 ist schließlich noch ein Ausführungs­ beispiel gezeigt, in dem die separate Teilung als Referenz-Codeteilung TRC ausgebildet ist. Anstelle einer Inkrementalteilung mit einer die Bezugsposi­ tion definierenden Referenzmarke ist eine soge­ nannte Absolutteilung als Referenz-Codeteilung TRC neben der zur eigentlichen Messung benutzten In­ krementalteilung T 7 auf der Maßverkörperung 67 an­ gebracht. Abtastbaueinheiten sind hier nicht ge­ zeigt, weil sie den vorbeschriebenen entsprechen, wobei die Abtastung der Referenz-Codeteilung TRC mit einer entsprechend ausgebildeten Abtastbauein­ heit erfolgt. Die Absolutposition - bezogen auf den Nullpunkt der Referenz-Codeteilung TRC - ist jedesmal sofort an der nicht gezeigten Auswerte­ baueinheit ablesbar, wenn die Indikatorbausteine der Abtastbaueinheiten für die Inkrementalteilung T 7 mit dem Indikatorbaustein der Abtastbauein­ heit für die Referenz-Codeteilung koinzidiert.

Wie schon die unterschiedlichen Teilungsausbil­ dungen zeigen, ist die Erfindung nicht auf rein inkrementale Positionsmeßeinrichtungen beschränkt, sondern es können auch Mischformen zur Anwendung kommen.

Claims (9)

1. Positionsmeßeinrichtung zur Messung der Lage zweier relativ zueinander beweglicher Objekte und zum Reproduzieren einer Bezugsposition bei beliebiger unbekannter Momentanposition der zu messenden Objekte, bei der wenigstens eine Maß­ verkörperung mit dem ersten Objekt und wenigstens eine Abtastbaueinheit zur Abtastung einer In­ krementalteilung einer Maßverkörperung fest mit dem zweiten Objekt verbunden ist, und bei der der Inkrementalteilung der Maßverkörperung wenigstens eine Referenzmarke oder Referenz-Codeteilung fest zu­ geordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß als Re­ ferenz-Abtastbaueinheit (RA, RA 5, RA 6) wenigstens eine weitere Abtastbaueinheit vorgesehen ist, die unabhängig von der wenigstens einen Abtast­ baueinheit (A 1) und somit von den beiden Objek­ ten (2, 3) relativ zur Maßverkörperung (6, 65, 66, 106, 67) verschiebbar ist, und durch Ab­ tastung einer Teilung (T 1, TR, TR 6, TRC) den Abstand der wenigstens einen Abtastbaueinheit (A 1) von der wenigstens einen Referenzmarke (R 1) oder dem Nullpunkt der Referenz-Codeteilung (TRC) ermittelt, wobei die erste Abtastbaueinheit (A 1) und die Referenz-Abtastbaueinheit (RA) Indikatorbausteine (8, 7) aufweisen, die bei Koinzidenz einen Null-Indikator bilden.

2. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, da­ durch gekennzeichnet, daß zur Abtastung der Teilung (T 5, T 6) der Maßverkörperung (65, 66) mehrere unabhängig voneinander bewegliche Ab­ tastbaueinheiten (A 15, A 16, A 25, A 26) mit In­ dikatorbausteinen (85, 86, 95, 96) vorgesehen sind, und daß der Indikatorbaustein (75, 76) der Referenz-Abtastbaueinheit (RA 5, RA 6) mit jeder der anderen Abtastbaueinheiten (A 15, A 16, A 25, A 26) in Koinzidenz bringbar ist.

3. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, da­ durch gekennzeichnet, daß die Referenz-Abtast­ baueinheit (RA, RA 5, RA 6) manuell oder selbst­ tätig mittels eines separaten Antriebes rela­ tiv zur Maßverkörperung (6, 65, 106) verschieb­ bar ist.

4. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, da­ durch gekennzeichnet, daß für die Referenz-Ab­ tastbaueinheit (RA 5, RA 6) eine separate Teilung (TR 5, TR 6) mit Referenzmarke (R 15, R 16) oder eine Referenz-Codeteilung (TRC) vorgesehen ist, wobei die Referenzmarke (R 15, R 16) bzw. der Null­ punkt der Referenz-Codeteilung (TRC) jedoch der ersten Teilung (T 5, T 6, T 7) absolut zugeordnet ist.

5. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 4, da­ durch gekennzeichnet, daß die separate Teilung (TR 6) auf einer eigenen Maßverkörperung (106) angeordnet ist.

6. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 5, da­ durch gekennzeichnet, daß zur Abtastung der ersten Teilung (R 5, T 6) mehrere unabhängig voneinander bewegliche Abtastbaueinheiten (A 15, A 16, A 25, A 26) vorgesehen sind, daß zur Abtastung der separaten Teilung (TR 5, TR 6)mit Referenzmarke (R 15, R 16) die Referenz-Abtast­ baueinheit (RA 5, RA 6) vorgesehen ist, deren Indikatorbaustein (75, 76) mit jedem Indikator­ baustein (85, 86, 95, 96) der jeweiligen Abtast­ baueinheit (A 15, A 16, A 25, A 26) in Koinzidenz bringbar ist.

7. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 4, da­ durch gekennzeichnet, daß die Abtastbauein­ heiten der ersten Teilung (T 7) Indikatorbau­ steine aufweisen, die mit einem Indikatorbau­ stein der Abtastbaueinheit für die Referenz- Codeteilung (TRC) in Koinzidenz bringbar sind.

8. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, da­ durch gekennzeichnet, daß die Abstandsermitt­ lung während der Bewegung eines der Objekte stattfindet.

9. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, 5, 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß jeweils eine der Teilungen mit ihrer zugehörigen Ab­ tastbaueinheit eine Notfunktion bei Ausfall der anderen übernimmt.