DE3509838A1 - Positionsmesseinrichtung - Google Patents
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 6
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 3
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
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Description
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DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH 28.2.1985
Positionsmeßeinrichtung
Die Erfindung betrifft eine Positionsmeßeinrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1.
Bei Positionsmeßeinrichtungen ist es zur Ermittlung von Bezugspositionen bekannt, relativ zueinander bewegliche
Maschinenteile oder Meßeinrichtungsteile aus einer Ausgangsposition bis zu einer Referenzmarke
zu verfahren, um den bis dort zurückgelegten Wert zu ermitteln und zu speichern oder die Referenzmarke
zur Bezugsposition mit dem Wert "Null" zu erklären. Ein solches Verfahren ist mit einer inkrementalen
Längen- oder Winkelmeßeinrichtung möglich, wie sie in der DE-PS 19 64 381 beschrieben wird.
Dieses Verfahren erfordert aber eine ungehinderte Relativbeweglichkeit der zu messenden Objekte, da
die Bauteile der Meßeinrichtung fest mit den zu messenden Objekten verbunden sind und gemeinsam
mit diesen zu einer Referenzmarke verstellt werden müssen.
Aus der DE-OS 16 73 887 ist eine Meßeinrichtung bei einer Maschine bekannt/ die bei einem auf dem
Maschinenbett festgeklemmten Maschinenschlit.ten die Ermittlung einer Bezugsposition erlaubt. Zuerst
muß dort der Schlitten in diejenige Position gefahren werden, die später als Bezugsposition zu
Null erklärt werden soll. Danach wird der Schlitten auf dem Maschinenbett festgeklemmt. Anschließend
wird die Abtastplatte der Meßeinrichtung relativ zum Maßstab verfahren, bis eine Referenzmarke erreicht
ist. Bei Erreichen der Referenzmarke wird der elektronische Zähler der Meßeinrichtung auf den
Wert Null gesetzt. Sodann kann die Klemmung für den Maschinenschlitten wieder gelöst und der Schlitten
in die gewünschte Position gefahren werden. Die Lage der Referenzmarke stellt also die Bezugsposition
für die weiteren Arbeitsgänge dar.
Die bekannten Verfahren zur Ermittlung einer als Ausgangslage definierten Bezugsposition, die vor
den eigentlichen Arbeitsvorgängen erfolgt, sind mit den beschriebenen inkrementalen Meßeinrichtungen
jedoch dann nicht mehr möglich, wenn bereits Arbeitsgänge erfolgt sind und beispielsweise laufende
Arbeitsgänge unterbrochen werden. Diese Unterbrechung eines laufenden Arbeitsvorganges, beispielsweise bei
einem Handhabungsautomaten - im allgemeinen als Industrieroboter bezeichnet - ist durch Stromausfall
möglich. Der Roboter bleibt dann in seiner momentanen Position stehen; der auf seine ursprüngliche
Bezugsposition bezogene Meßwert geht aber durch den Stromausfall verloren, da auch die Messung unterbrochen
wurde. Zur Fortführung des unterbrochenen Arbeitsvorganges müßte jedoch die Bezugsposition
• ·
bekannt sein. Eine Rückbewegung des Roboters aus seiner Momentanposition in die ursprüngliche Ausgangslage
scheidet aber in der Regel aus, weil beispielsweise gerade ein Werkzeug im Eingriff
ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Positionsmeßeinrichtung
der genannten Gattung anzugeben, die die Nachteile der bekannten Einrichtungen beseitigt
und es ermöglicht, nach Verlust der Lageinformation in unbekannten Momentanpositionen ohne
Bewegung der zu messenden Objekte eine Bezugsposition zu reproduzieren.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruches 1 gelöst.
Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbesondere darin, daß die vorgeschlagene Positionsmeßeinrichtung
auf einfache und schnelle Weise die Reproduktion einer Bezugsposition nach unterbrochenen
Messungen und Bewegungen aus unbekannten Momentanpositionen erlaubt, ohne daß die zu messenden
Objekte bewegt werden müssen. Ein solches zu messendes Objekt in Form eines Werkzeuges kann somit
bei einer Unterbrechung des Meßvorganges und des Bearbeitungsvorganges durch eine Störung im Eingriff
am Werkstück verbleiben, so daß nach Behebung der Störung und Wiederermittlung der Bezugsposition
der unterbrochene BearbeitungsVorgang unverzüglich wieder forgesetzt werden kann. Ein Zurückziehen des
Werkzeuges von der Eingriffstelle am Werkstück und ein erneutes genaues Wiederanfahren dieser Eingriffstelle
ist zeitaufwendig und schwierig und kann zu
Beschädigungen des Werkstückes führen. Ferner sind beispielsweise bei Industrierobotern programmgesteuerte
Überprüfungen der jeweiligen Bezugspositionen zwischen einzelnen Arbeitsabläufen möglich/
wodurch die Betriebssicherheit derartiger Systeme erheblich erhöht wird.
Vorteilhafte Ausbildungen der Erfindung entnimmt man den UnteranSprüchen.
Mit Hilfe von Ausführungsbeispielen soll die Erfindung anhand der Zeichnungen noch näher erläutert
werden.
Es zeigt
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Figur 1 eine Längenmeßeinrichtung an den zu messenden Maschinen-Bauteilen;
Figur 2 eine Draufsicht auf die Längenmeßeinrichtung gemäß Figur 1;
Figur 3 einen Ausschnitt einer Maßverkörperung aus der Längenmeßeinrichtung
gemäß Figur 1 und 2 in vergrößerter Darstellung;
Figur 4 eine Seitenansicht der Maßverkörperung gemäß Figur 3 mit zwei schematisierten
Abtastbaueinheiten;
Figur 5 eine Maßverkörperung mit zwei Inkrementalteilungen
und Referenzmarke;
Figur 6 zwei MaßVerkörperungen mit je
einer Inkrementalteilung, davon eine mit Referenzmarke;
Figur 7 eine Maßverkörperung mit einer
Inkrementalteilung und einer Referenz-Codeteilung .
Die in Figur 1 dargestellte Positionsmeßeinrichtung 1 ist auf die erfindungswesentlichen Einzelheiten
beschränkt und aus diesem Grund stark schematisiert. Mit der Positionsmeßeinrichtung 1 wird die relative
Lage zweier Objekte 2 und 3 zueinander gemessen. Diese Objekte 2 und 3 können Bett und Schlitten
einer nicht dargestellten Maschine, beispielsweise einer Werkzeugmaschine sein.
Am Schlitten 3 ist ein Hohlkörper 4 mittels Winkeln 5a und 5b befestigt. Innerhalb des Hohlkörpers 4
ist in bekannter Weise eine Maßverkörperung 6 angeordnet. Diese Maßverkörperung 6 trägt eine Inkrementalteilung
T1, die in ebenfalls bekannter Weise von einer Abtastbaueinheit A1 abgetastet wird. Die Abtastbaueinheit
A1 ist fest mit dem Bett 2 der Maschine verbunden und wird bei Relativbewegungen
zwischen Bett 2 und Schlitten 3 relativ zur Maßverkörperung 6 bewegt. Da die Maßverkörperung die besagte
Inkrementalteilung T1 trägt, auf die später noch näher eingegangen wird, kann ständig die Position
des bewegten Schlittens 3 zum stillstehenden Bett 2 ermittelt werden, denn die von der Abtastbaueinheit
A1 während der Bewegung abgetasteten Intervalle der Inkrementalteilung T1 werden in einer
nicht dargestellten Auswerteeinrichtung erfaßt und als Weg- bzw. Positionswert angezeigt.
Zusätzlich zur Abtastbaueinheit A1 ist eine weitere Abtastbaueinheit vorgesehen, die als Referenz-Abtastbaueinheit
RA bezeichnet, und unabhängig von Bett 2 und Schlitten 3 relativ zur Maßverkörperung
6 verschiebbar ist. Mit Hilfe dieser Referenz-Abtastbaueinheit RA kann jederzeit die Position der
Abtastbaueinheit A1 zu einem Bezugspunkt der Maßverkörperung 6 ermittelt werden. Der Bezugspunkt
wird durch eine Referenzmarke R1 bestimmt, deren Lage zur Inkrementalteilung T1 der Maßverkörperung
absolut festgelegt ist. Diese Bezugspunktermittlung wird anhand der Figur 3 und folgende noch
näher beschrieben.
Figur 2 zeigt eine Draufsicht auf die Anordnung gemäß Figur 1. Es ist ersichtlich, daß der Hohlkörper
4 an seiner Oberseite mit Dichtelementen 4a und 4b abgedichtet ist, die im Bereich der Abtastbaueinheiten
A1 und RA durchgriffen werden, wozu diese Abtastbaueinheiten A1 und RA in bekannter
Weise nicht näher bezeichnete Mitnehmer aufweisen. Im Bereich dieser Mitnehmer werden die Dichtelemente
4a und 4b aufgespreizt und schmiegen sich an die Außenbereiche der Mitnehmer an, deren Querschnitt
etwa dem eines zweischneidigen Schwertes gleicht.
In Figur 3 ist ein Ausschnitt der Maßverkörperung vergrößert dargestellt. Die Maßverkörperung 6 besteht
aus Glas und ist mit einer für Strahlung undurchlässigen Schicht versehen. Unter Strahlung sei hier
Strahlung im optischen Bereich verstanden, obwohl die Erfindung nicht auf optisch-elektrische Positionsmeßeinrichtungen
beschränkt sein soll.
Mit Hilfe von photolithographischen Verfahren ist auf der Maßverkörperung 6 eine Inkrementalteilung
T1 angebracht, die allgemein bekannt ist. An einem als Bezugspunkt definierten Ort ist in gleicher
Weise eine Referenzmarke R1 auf der Maßverkörperung 6 angeordnet. Selbstverständlich können auch mehrere
Referenzmarken vorgesehen werden.
Die Abtastung der Inkrementalteilung T1 erfolgt in
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bekannter Weise; anhand der Figur 4 soll erläutert werden, wie die Bezugsposition in der erfindungsgemäßen
Weise ermittelt wird.
Auf der nun in Seitenansicht gezeigten Maßverkörperung 6 tastet die Abtastbaueinheit A1 die Inkrementalteilung
T1 ab. An beliebiger Stelle sollen die Abtastbaueinheit A1 und die MaßVerkörperung 6
sich in einer Ruhestellung befinden. Diese Ruhestellung kann durch Unterbrechung der Energieversorgung
der Maschine verursacht worden sein. Durch Stromunterbrechungen gehen bei inkrementalen Meßeinrichtungen
jedoch auch die Positionswerte verloren .
Um diese Positionswerte wiederzugewinnen, ist es beim Stand der Technik (siehe u.a. eingangs aufgeführte
Druckschriften) erforderlich, den Schlitten soweit zu verfahren, daß die Referenzmarke mit
einem entsprechenden Abtastfeld der Abtastbaueinheit koinzidiert, und so ein Referenzimpuls erzeugt
wird, der die Auswerteeinrichtung auf einen bestimmten Wert, z.B. "Null" setzt. Nun kann der Schlitten
wieder positioniert werden. Die aus dieser Vorgehensweise resultierenden Nachteile wurden bereits
abgehandelt, so daß nun die erfindungsgemäße Ermittlung der Bezugsposition dargelegt werden soll:
Der Schlitten 3 mit der Maßverkörperung 6 nimmt eine unbekannte Position zum Bett 2 und der Abtastbaueinheit
A1 ein, und keines dieser Elemente kann relativ zu einem der anderen von der Stelle bewegt
werden. Zur Ermittlung der Position der Abtastbaueinheit A1 relativ zur Referenzmarke R1 und damit
des Schlittens 3 zum Bett 2 muß der Abstand der Referenzmarke R1 von der Abtastbaueinheit A1 bestimmt
werden. Dazu wird nun manuell oder mittels eines nicht dargestellten Antriebes eine zusätzliche
Referenz-Abtastbaueinheit RA relativ zur Maßverkörperung 6 verfahren. Sowohl die Referenz-Abtastbaueinheit
RA als auch die Abtastbaueinheit A1 weisen Indikatorbausteine 7 und 8 auf. Wenn diese Indikatorbausteine 7 und 8 in Koinzidenz
gebracht werden, bilden sie einen sogenannten Null-Indikator 78. Ein Null-Indikator kann die
unterschiedlichsten Bauformen aufweisen, auch eine abgetastete Referenzmarke ist in gewissem
Sinn ein Null-Indikator.
Nachdem einer der Null-Indikatoren (die Referenzmarke R1 oder der Null-Indikator 78, der durch die
beiden Indikatorbausteine 7 und 8 gebildet wird) überfahren worden ist, wird die Auswerteeinrxchtung
auf einen bestimmten Positionswert, z.B. "Null" gesetzt. Anschließend wird die Referenz-Abtastbaueinheit
RA in Richtung des anderen Null-Indikators verfahren und es werden von der Referenz-Abtastbaueinheit
RA die dabei überfahrenen Teilungsinkremente ermittelt und in der Auswerteeinrxchtung
aufsummiert. Beim überfahren des anderen NuIl-Indikators
(R1 oder 78) wird diese Zählung gestoppt und der Abstand der Referenzmarke R1 vom Null-Indikator
78 - also der ersten Abtastbaueinheit A1 wird als Bezugswert angezeigt.
Damit ist eine Bezugsposition reproduziert, ohne daß eines der Maschinen-Bauteile bewegt worden ist.
Es versteht sich, daß die Referenz-Abtastbaueinheit RA den Anforderungen entsprechend geführt werden
muß. Das kann - wie im Beispiel gezeigt - innerhalb der Positionsmeßeinrichtung 1 geschehen, aber
die Referenz-Abtastbaueinheit RA kann selbstverständlich auch außerhalb der Positionsmeßeinrichtung
1 direkt an der Maschine geführt werden.
In Figur 5 ist eine der Figur 3 entsprechende MaßVerkörperung 65 gezeigt, bei der neben der Inkrementalteilung
T5 noch eine weitere Inkrementalteilung TR5 vorgesehen ist. Diese Inkrementaltöilunvj
TR5 kann, muß aber nicht die gleiche Gitterkonstante haben, wie die Inkrementalteilung T5. Falls beide
Inkrementalteilungen T5 und TR5 die gleiche Gitterkonstante haben, empfiehlt es sich, anstelle zweier
getrennter Inkrementalteilungen T5 und TR5 - abweichend von Figur 5 - eine einzige, breite Inkrementalteilung
vorzusehen.
Zur Abtastung der Inkrementalteilung T5 sind außer der Abtastbaueinheit A15 noch weitere Abtastbaueinheiten
vorgesehen, von denen hier nur die Abtastbaueinheit A25 gezeigt ist. Mehrere Abtastbaueinheiten,
die eine gemeinsame Inkrementalteilung abtasten, sind bei sehr langen Maschinen üblich, die
mehrere Maschinenschlitten in einer Achse unabhängig voneinander verfahren. Jede der Abtastbaueinheiten
A15 und A25 hat demgemäß eine andere Bezugsposition inne, bezogen auf den Teilungsnullpunkt
bzw. die Referenzmarke R15. Jede der Abtastbaueinheiten
A15 bzw. A25 hat auch einen eigenen Indikatorbaustein 85 bzw. 95. Mit Hilfe einer entsprechend
geschalteten Auswerteeinrichtung kann auf die vorbeschriebene Weise für jede Abtastbaueinheit
A15, A25 usw. der Abstand von dem Teilungsnullpunkt bzw. der Referenzmarke R1 ermittelt werden.
Es liegt auch im Rahmen der Erfindung, mehrere Re-
ferenzmarken auf der Maßverkörperung vorzusehen, wenn die Verfahrwege für die Referenz-Abtastbaueinheit
RA5 kurz gehalten werden sollen, oder wenn jeder der Abtastbaueinheiten A15, A25 usw.
eine eigene Referenzmarke zugeordnet sein soll. Für diesen Fall müßten die einzelnen Referenzmarken
kodiert werden, d.h. von jeder der einzelnen Referenzmarken muß die individuelle Entfernung
vom Teilungsnullpunkt bekannt sein und von der Referenz-Abtastbaueinheit RA5 dekodiert werden können.
Das Beispiel in Figur 6 zeigt eine besonders vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung. Die Inkrementalteilung
T6 ist auf einer Maßverkörperung 66 angeordnet und wird von Abtastbaueinheiten A16 und
A26 abgetastet. Die Maßverkörperung 66 weist keine Referenzmarke auf und bildet damit eine inkrementale
Positionsmeßeinrichtung in einfachster Bauweise. Sie kann, muß aber ebensowenig wie die vorbeschriebenen
in einem Gehäuse gekapselt sein.
Die Bezugsposition der Abtastbaueinheiten A16 und A26 zum Teilungsnullpunkt wird mit Hilfe einer
weiteren Positionsmeßeinrichtung ermittelt, die eine eigene Maßverkörperung 106 mit einer Inkrementalteilung
TR6 und einer Referenzmarke R16 aufweist, die von einer Referenz-Abtastbaueinheit
RA6 abgetastet werden. Die beiden Maßverkörperungen 66 und 106 bzw. die beiden entsprechenden
Positionsmeßeinrichtungen sind an der Maschine so zueinander montiert, daß die Referenzmarke R16
der Maßverkörperung 106 genau dem Teilungsnullpunkt der Inkrementalteilung T6 der anderen Maß-Verkörperung
66 zugeordnet ist. Die Abtastbau-
einheiten A16 und A26 sowie die Referenz-Abtastbaueinheit
RA6 tragen ebenfalls Indikatorbausteine 86, 96 und 76. Die Bezugspunktermittlung gleicht
den vorbeschriebenen Vorgängen, so daß zur Vermeidung von Wiederholungen hier nicht mehr näher darauf
eingegangen werden muß.
Der zur Figur 6 geltend gemachte besondere Vorteil äußert sich darin, daß die erfindungsgemäße
Positionsmeßeinrichtung 1 aus zwei einfachen, standardmäßigen inkrementalen Meßeinrichtungen
aufgebaut werden kann, von denen lediglich eine eine Referenzmarke aufweisen muß, die zur Teilung
der anderen absolut festgelegt ist. Durch entsprechende Justierung ist diese Forderung leicht zu
erfüllen.
In Figur 7 ist schließlich noch ein Ausführungsbeispiel gezeigt, in dem die separate Teilung als
Referenz-Codeteilung TRC ausgebildet ist. Anstelle einer Inkrementalteilung mit einer die Bezugsposition
definierenden Referenzmarke ist eine sogenannte Absolutteilung als Referenz-Codeteilung TRC
neben der zur eigentlichen Messung benutzten Inkrementalteilung
T7 auf der Maßverkörperung 67 angebracht. Abtastbaueinheiten sind hier nicht gezeigt,
weil sie den vorbeschriebenen entsprechen, wobei die Abtastung der Referenz-Codeteilung TRC
mit einer entsprechend ausgebildeten Abtastbaueinheit erfolgt. Die Absolutposition - bezogen auf
den Nullpunkt der Referenz-Codeteilung TRC - ist jedesmal sofort an der nicht gezeigten Auswertebaueinheit
ablesbar, wenn die Indikatorbausteine der Abtastbaueinheiten für die Inkrementalteilung
T7 mit dem Indikatorbaustein der Abtastbaueinheit für die Referenz-Codeteilung koinzidiert.
Wie schon die unterschiedlichen Teilungsausbildungen zeigen, ist die Erfindung nicht auf rein
inkrementale Positionsmeßeinrichtungen beschränkt, sondern es können auch Mischformen zur Anwendung
kommen.
Ebenso ist auch das physikalische Abtastprinzip nicht erfindungswesentlich, so können magnetische,
induktive, kapazitive, piezoelektrische und natürlieh optoelektrisch^ Positionsmeßeinrichtungen und
deren Kombination verwendet werden.
- Leerseite -
Claims (10)
1. Positionsmeßeinrichtung zur Messung der Lage zweier relativ zueinander beweglicher Objekte
und zum Reproduzieren einer Bezugsposition bei beliebiger unbekannter Momentanposition der zu
messenden Objekte, bei der wenigstens eine Maßverkörperung mit dem ersten Objekt und wenigstens
eine Abtastbaueinheit zur Abtastung einer Inkrementalteilung einer Maßverkörperung fest mit
dem zweiten Objekt verbunden ist, und bei der der Inkrementalteilung der Maßverkörperung wenigstens
eine Referenzmarke oder Referenz-Codeteilung fest zu geordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß als Referenz-Abtastbaueinheit (RA, RA5, RA6) wenigstens
eine weitere Abtastbaueinheit vorgesehen ist, die unabhängig von der wenigstens einen Abtast-.
baueinheit (A1) und somit von den beiden Objek-• · ten (2, 3) relativ zur Maßverkörperung (6, 65,
66, 106, 67) verschiebbar ist, und durch Abtastung einer Teilung (T1, TR, TR6, TRC) den
Abstand der wenigstens einen Abtastbaueinheit (A1) von der wenigstens einen Referenzmarke
(R1) oder dem Nullpunkt der Referenz-Codeteilung (TRC) ermittelt.
2. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Abtastbaueinheit
(A1) und die Referenz-Abtastbaueinheit
(RA) Indikatorbausteine (8,7) aufweisen, die
bei Koinzidenz einen Null-Indikator (78) bilden.
3. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Abtastung der
Teilung (T5, T6) der Maßverkörperung (65, 66) mehrere unabhängig voneinander bewegliche Abtastbaueinheiten
(A15, A16, A25, A26) mit Indikatorbausteinen
(85, 86, 95, 96) vorgesehen sind, und daß der Indikatorbaustein (75, 76) der Referenz-Abtastbaueinheit (RA5, RA6) mit
jeder der anderen Abtastbaueinheiten (A15, A16,
A25, A26) in Koinzidenz bringbar ist.
4. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Referenz-Abtastbaueinheit
(RA, RA5, RA6) manuell oder selbsttätig mittels eines separaten Antriebes relativ
zur Maßverkörperung (6, 65, 106) verschiebbar ist.
5. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß für die Referenz-Abtastbaueinheit (RA5, RA6) eine separate Teilung
(TR5, TR6) mit Referenzmarke (R15, R16) oder
eine Referenz-Codeteilung (TRC) vorgesehen ist, wobei die Referenzmarke (R15, R16) bzw. der Nullpunkt
der Referenz-Codeteilung (TRC) jedoch der ersten Teilung (T5, T6, T7) absolut zugeordnet
ist.
6. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß die separate Teilung (TR6)
auf einer eigenen Maßverkörperung (106) angeordnet ist.
7. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, 3 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß zur Abtastung
der ersten Teilung (T5f T6) mehrere unabhängige voneinander bewegliche Abtastbaueinheiten
(A15, A16, A25, A26) vorgesehen sind, daß zur
Abtastung der separaten Teilung (TR5, TR6) mit Referenzmarke (R15, R16) die Referenz-Abtastbaueinheit
(RA5, RA6) vorgesehen ist, deren Indikatorbaustein (75, 76) mit jedem Indikatorbaustein
(85, 86, 95, 96) der jeweiligen Abtastbaueinheit (A15, A16, A25, A26) in Koinzidenz
bringbar ist.
8. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Abtastbaueinheiten
der ersten Teilung (T7) Indikatiorbausteine aufweisen, die mit einem Indikatorbaustein
der Abtastbaueinheit für die Referenz-Codeteilung (TRC) in Koinzidenz bringbar sind.
9. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Abstandsermittlung während der Bewegung eines der Objekte
stattfindet.
10. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, 5, 6 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß jeweils
eine der Teilungen mit ihrer zugehörigen Abtastbaueinheit eine Notfunktion bei Ausfall der
anderen übernimmt.
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---|---|---|---|
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Family
ID=6265655
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19853509838 Granted DE3509838A1 (de) | 1984-04-21 | 1985-03-19 | Positionsmesseinrichtung |
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8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |