DE3345124A1

DE3345124A1 - Vorrichtung zur behandlung von gegenstaenden mit einer behandlungsfluessigkeit

Info

Publication number: DE3345124A1
Application number: DE19833345124
Authority: DE
Inventors: Hans 7033 Herrenberg Höllmüller
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1983-12-14
Filing date: 1983-12-14
Publication date: 1985-06-27
Also published as: BR8407217A; WO1985002631A1; EP0165273A1; US4662976A; JPS61500672A

Description

1470.0/uo/p -y-(p oo4b1z4 13.12.1983

Beschreibung

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Behandlung von Gegenständen mit einer Behandlungsflüssigkeit, insbesondere eine Ätz- oder Entwicklermaschine zur Leiterplattenherstellung, mit einem innerhalb eines Gehäuses angeordneten, eine Vielzahl von auf einen Behandlungsraum gerichteten Düsen enthaltenden Düsenstock, der ein Kanalsystem zur Zuleitung der Behandlungsflüssigkeit zu den Düsen enthält.

Bei bekannten derartigen Ätz- und Entwicklermaschinen zur Leiterplattenherstellung wird der Düsenstock von den Zuleitungskanälen selbst gebildet, die ein offenes Tragegerüst für die Düsen darstellen und sich vollständig innerhalb des Behandlungsraumes befinden. Das Auswechseln und Einstellen der Düsen ist bei dieser Bauweise außerordentlich mühsam, da der Behandlungsraum von Ätzmittelrückständen und Ätzmitteldämpfen, die aggressiv und übelriechend sind, angefüllt ist.

Aufgabe der vorxiegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art derart auszubilden, daß die Montag« das Auswechseln und ggf. die Winkeleinstellung der Düsen leicht und ohne Beeinträchtigung durch Reste und Dämpfe der Behandlungsflüssigkeit möglich ist.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß

a) der Düsenstock plattenartig ausgebildet ist;

b) die Ränder des Düsenstocks dicht mit den Wänden des Gehäu-. ses der Vorrichtung verbunden sind;

cj die Düsen von der dem Behandlungsraum abgewandten Seite des Düsenstocks aus einsetzbar, durch einen Kanal im Düsen stock hindurchführbar sind und mit einem Hals aus der dem

BAD ORiOiNAL

GOPY 1

. Behandlungsraum zugewandten Seite des Düsenstocks herausragen.

Bei der erfindungsgemäßen, plattenartigen Ausbildung des Düsenstocks begrenzt dieser den Behandlungsraum dicht zu einer Seite hin. Die Düsen können von der "Rückseite", also •der dem Behandlungsraum abgewandten Seite, des Düsenstockes aus montiert oder ausgetauscht werden. Eine Demontage der Düsen ist insbesondere dann häufig notwendig, wenn sich herausstellt, daß eine der Düsen verstopft ist und die Suche

nach der entsprechenden, unzufriedend arbeitenden Düse durclj . geführt werden muß.

. Zweckmäßigerweise ist die Düse auch innerhalb des Düsenstock, von der dem Behandlungsraum abgewandten Seite aus verdrehbair Die Verdrehung der Düsen, die insbesondere zur Einstellung von Fächer- oder Flachstrahldüsen, von Bedeutung ist, kann auch während des Betriebes der Vorrichtung erfolgen.

Eine besonders zweckmäßige Bauweise der Vorrichtung besteht darin, daß der Düsenstock für jede Düse umfaßt:

d) eine die dem Behandlungsraum abgewandten Seite mit einem Kanal verbindende erste Durchgangsbohrung mit einem erste Durchmesser;

e) eine den Kanal mit der dem Behandlungsraum zugewandten Seite verbindende zweite Durchgangsbohrung mit einem zwei ten Durchmesser, der kleiner als der erste Durchmesser iSfc " .

und daß jede Düse als im wesentlichen zylindrischer Einsatz ausgebildet ist und umfaßt:

f) einen ersten Bereich mit einem Durchmesser, der größer al der Durchmesser der ersten Durchgangsbohrung ist;

1470.0/UO/p ~ΧΊ> 3ο4θΐ24 13.12.1982

g) einen zweiten Bereich mit einem Durchmesser, der etwas kleiner eis der Durchmesser der ersten Durchgangsbohrung aber größer als der Durchmesser der zweiten Durchgangsbohrung ist;
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h) einen Düsenhals,, dessen Durchmesser kleiner als der Durchmesser der zweiten Durchgangsbohrung ist;

i) einen inneren Hohlraum;
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k) mindestens einen radial vom Hohlraum ausgehenden Kanal;

1) einen den Hohlraum mit der Stirnfläche des Düsenhalses verbindenden axialen Kanal;

. .

wobei die den ersten Bereich mit dem zweiten Bereich verbindenda Ringschulter an einer Fläche dicht anliegt, die sich auf der vom Behandlungsraum abgewandten Seite des Kanals befindet und wobei die den zweiten Bereich mit dem Düsenhals verbindende Ringschulter an einer Fläche dicht anliegt, die

sich auf der u"em Behandlungsraum zugewandten Seite des Kanal: . befindet.

Von Vorteil ist., wenn die dem Behandlungsraum abgewandte Stirnseite der Düse eine Markierung trägt, welche die Drehstellung der Düse innerhalb des Düsenstocks anzeigt. Auf diese Weise ist es jederzeit auf einen Blick möglich, festzustellen, in welcher Winkelstellung sich die verschiedenen eingebauten Düsen befinden. Jeder Markierung kann am Düsenstock eine Skala zugeordnet sein, so daß sich eine einmal aufgefundene optimale Einstellung der Düsen schriftlich festhalten und hiernach reproduzierbar erneut herstellen läßt.

Die Markierung kann gleichzeitig die Einrichtung darstellen, an welcher die Kraft zur Verdrehung der Düse ansetzt. Diese

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" . . . COPY 1

Einrichtung kann beispielsweise durch einen Schraubenzieherschlitz gebildet werden.

Zweckmäßigerweise wird die Düse am Düsenstock mittels einer Überwurfmutter befestigt, welche auf einen mit Außengewinde versehenen Kragen aufgeschraubt ist, der an der dem Behandlungsraum abgewandten Seite des Düsenstocks angebracht ist.

Der Düsenstock kann in den Bereichen außerhalb der Kanäle eine verringerte Dicke aufweisen, derart, daß das Kanalsystem an der einen und/oder der anderen Seite des Düsen-· stocks erhaben ausgeprägt ist. Auf diese Weise wird Material eingespart; der Düsenstock wird insgesamt leichter.

■ Ein'Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachfolgend anhanej der Zeichnung näher erläutert; es zeigen

Figur 1: schematisch einen Schnitt durch eine Ätzmaschine (Düsenstock nicht geschnitten);

Figur 2: die Draufsicht auf den in Figur 1 dargestellten

Düsenstock;

Figur 3: einen Teilschnitt durch den Düsenstock der Figuren 1 und 2 in vergrößertem Maßstab.

In Figur 1 ist schematisch ein Schnitt durch eine Ätzmaschijyfe zur Leiterplattenherstellung dargestellt. Die zum Verständnis der Erfindung nicht erforderlichen Bauelemente sind zur Entlastung der Zeichnung nicht dargestellt.

Die Ätzmaschine umfaßt ein auf Füßen 1 stehendes Gehäuse 2 mit Seitenwänden 2a, einer Bodenwand 2b und ggf. einer ober Wand 2c. Letztere kann auch entfallen, sollte jedoch in jedem, Falle leicht entfernbar (z.B. abschwenkbar oder verschiebbar sein.

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33 4b 124 13.i2.l 983

Das Ätzgut wird von einem Guteinlauf '3 zu einem Gutauslauf 4 durch ein Rollenfördersystem 5 transportiert und dabei von
oben mit Ätzmittel besprüht. Um das Verschleppen von Behandlungsflüssigkeit aus der der Ätzmaschine vorgeschalteten
Maschine in die Ätzmaschine und aus der Ätzmaschine in die
nachgeschaltete Maschine zu vermeiden, sind am Guteinlauf 3
und Gutauslauf 4 Abquetschrollen 6 bzw. 7 angeordnet.

Die Besprühung des Ätzguts erfolgt mittels eines plattenartic ausgebildeten Düsenstocks 8, in dem eine Vielzahl von einzelnen Düsen 9 in einem bestimmten Muster angeordnet sind (verg! auch Figur 2). Das aus den Düsen 9 versprühte Ätzmittel sammelt sich in einem Sumpf 10, aus dem es von einer nicht dargestellten Pumpe über eine ebenfalls nicht dargestellte Leitung zu einem Anschluß 11 an den Düsenstock 8 gefördert wird Von dort fließt das Ätzmittel über ein innerhalb des Düsenstocks 1 ausgebildetes Kanalsystem 12 zu den .einzelnen Düsen 9 (verg.l. Figuren 2 und 3) .

' Der plattenari_j_ge Düsenstock 1 ist auf an den Seitenwänden 2, befestigten fonsolen 13 (Figur 1) dicht aufgelegt, wobei ggf Dichtungen'zwischengeschaltet sind. Auf diese Weise wird der . Ätzraum innerhalb der Ätzmaschine nach oben begrenzt; der
Raum oberhalb des Düsenstocks 8 bleibt ätzmittel- bzw. ätz-

mitteldampffrei.

Die Düsen 9 sind von der dem Ätzraum abgewandten Seite des
Düsenstocks 8 aus montiert, wie insbesondere der Figur 3 zu
entnehmen ist. Hierzu weist der Düsenstock 8 an den Stellen, wo eine Düse 9 angeordnet werden soll, eine obere Durchgangs bohrung 14 auf, welche die obere Düsenstockseite mit dem ent sprechenden Kanal 12 verbindet, sowie eine untere Durchgangs bohrung 15, welche den Kanal 12 mit der Unterseite des Düsen Stocks 8 verbindet. Die obere Durchgangsbohrung 14 besitzt

dabei einen größeren Durchmesser als die untere Durchgangsbohrung 15.

Die Düse 9 ist als (mindestens) doppelt abgestufter, im wesentlicher zylindrischer Einsatz gestaltet. Ihr oberster, den größten Durchmesser aufweisende Bereich 9a ist über eine erste nach unten zeigende.Ringschulter 16 mit einem mittlere: Bereich 9b verbunden, dessen Durchmesser etwas kleiner als der Durchmesser der oberen Durchgangsbohrung 14 des Düsenstocks 8 ist. Der mittlere Düsenbereich 9b ist über eine zweite, nach unten zeigende Ringschulter 17 mit einem Düsenhals 9c verbunden, dessen Durchmesser kleiner als der Durchmesser der zweiten Durchgangsbohrung 15 ist.

Die Düse 9 weist einen inneren Hohlraum 18 auf, der über einen axial verlaufenden Kanal 19 mit der Düsenöffnung 20 ■ an der unteren Stirnseite des Düsenhalses 9c und über mehrer radiale Kanäle 21 mit dem Kanal 12 in Verbindung steht.

Die Düse 9 wird von oben so durch die Durchgangsbohrungen 14, 15 und damit auch den Kanal 12 eingeführt, daß ihre unte Ringschulter 17 auf der unteren Innenwand des Kanals 12 und ihre obere Ringschulter 16 auf der oberen Stirnfläche eines mit Außengewinde versehenen Befestigungskragens 22 aufliegt, der am Düsenstock 1 angeformt ist. Die gesamte Düse wird dur eine Überwurfmutter 23 in dieser Lage fixiert, die auf den Befestigungskragen 22 aufgedreht ist.

O-Ringe 24 bzw. 25 sind in Nuten an den Ringschultern.16, 17 eingelegt und sorgen für eine Abdichtung an den jeweiligen Gegenflächen. Dabei kann zumindest der untere O-Ring 25 ggf. auch entfallen, da das Auslecken von Ätzmittel aus dem Kanal 12 hier in geringem Umfange toleriert werden kann und eine insoweit ausreichende Abdichtung auch schon durch geeignete Bearbeitung der aneinanderliegenden Kunststoffflächen erziel bar ist.

Wie ersichtlich/ ist die Düse 9 in ihrer Montagestellung

verdrehbar, wozu an ihrer oberen Stirnseite ein Schraubenzieherschlitz 24 eingearbeitet ist. Der Schraubenzieherschlitz 24 dient gleichzeitig als Markierung, der die relative Drehlage der Düse innerhalb des Düsenstockes 8 von oben her erkennen läßt (vergl. auch Figur 2).

Beim oben beschriebenen Ausführungsbeispiel handelt es sich um eine im Durchlauf kontinuierlich arbeitende Ätzmaschine mit waagerechtem, stillstehendem Düsenstock 8. Selbstverständlich ist die beschriebene Ausbildung des Düsenstocks als Platte auch bei anderen Ätzmaschinen einsetzbar. So kommt es insbesondere auf die Einbaulage des Düsenstocks 8 (horizontal, vertikal) und auf die Zahl der Düsenstöcke nicht an. Soll der Düsenstock 8 insgesamt eine reversierende und/oder oszillierende Bewegung ausführen, muß die dichte Verbindung des Zwischenstocks 8 mit den Seitenwänden 2a über einen flexiblen Balgen, ein flexibles/elastisches Tuch oder dergleichen erfolgen.

Selbstverständlich kann die Dicke des plattenartigen Düsenstocks 8 in Jam Bereich außerhalb der Kanäle 12 reduziert sein, so daß sich das Kanalsystem nach oben und/oder ulten in Figur 1 erhaben abzeichnet.

BAD ORIGSMAL

Claims

Patentansprüche

1. Vorrichtung zur Behandlung von Gegenständen mit einer Behandlungsflüssigkeit, insbesondere Ätz- oder Entwicklermaschine zur Leiterplattenherstellung, mit einem innerhalb eines Gehäuses angeordneten, eine Vielzahl von auf einen Behandlungsraum gerichteten Düsen enthaltenden Düsenstock, der ein Kanalsystem zur Zuführung der Behandlungsflüssigkeit zu den Düsen- enthält, dadurch gekenn- -j 0 zeichnet, daß

a) der Düsenstock (8) plattenartig ausgebildet ist;

b) die Ränder des Düsenstockes (8) dicht mit den Wänden (2a) des Gehäuses (2) der Vorrichtung verbunden sind;

c) die Düsen (9) von der dem Behandlungsraum abgewandten Seite des Düsenstockes (8) aus einsetzbar, durch einen Kanal (12) im Düsenstock (8) hindurchführbar sind und mit einem Hals (9c) aus der dem Behandlungsraum zugewandten Seite des Düsenstocks (8) herausragen.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Düsen (9) innerhalb des Düsenstocks (8) von der dem Behandlungsraum abgewandten Seite aus verdrehbar sind.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2,. dadurch gekennzeichnet daß der Düsenstock (8) für jede Düse (9) umfaßt:

d) eine die dem Behandlungsraum abgewandte Seite mit einel^ Kanal (12) verbindende erste Durchgangsöffnung (1,4) mit ■ einem ersten Durchmesser;

e) eine den Kanal (12) mit der dem Behandlungsraum zuge-. wandten Seite verbindende zweite Durchgangsbohrung (15

mit einem zweiten Durchmesser, der kleiner als der
erste Durchmesser ist,

und daß jede Düse (9) als im wesentlichen zylindrischer
Einsatz ausgebildet ist und umfaßt:

f) einen ersten Bereich (9a) mit einem Durchmesser, der
größer als der Durchmesser der ersten Durchgangsbohruni

(14) ist;
10

g) einen zweiten Bereich (9b) mit einem Durchmesser, der
etwas kleiner als der Durchmesser der ersten Durchgang bohrung (14) aber größer als der Durchmesser der zweit Durchgangsbohrung (15) ist;

h) einen Düsenhals (9c), dessen Durchmesser kleiner als
der Durchmesser der zweiten Durchgangsbohrung (15) ist

i) einen inneren Hohlraum (18);
20

k) mindestens einen radial vom Hohlraum .(18) ausgehenden
Kanal (21);

1) einen den Hohlraum (18) mit der Stirnfläche des Düsenhalses (9c) verbindenden axialen Kanal (19),

wobei die den ersten Bereich (9a) mit dem zweiten Bereich (9b) verbindende Ringschulter (16) an einer Fläche dicht
anliegt, die sich auf der vom Behandlungsraum abgewandten Seite des Kanals (12) befindet, und wobei die den zweiten Bereich (9b) mit dem Düsenhals (9c) verbindende Ringschul ter (17) an einer Fläche dicht anliegt, die sich auf der
dem Behandlungsraum zugewandten Seite des Kanals befindet

4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 oder 3, dadurch

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gekennzeichnet, daß die dem Behandlungsraum abgewandte Stirnseite der Düse (9) eine Markierung (24) trägt, weicht die Drehstellung der Düse (9) innerhalb des Düsenstocks (8) anzeigt.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4., dadurch gekennzeichnet, daß die Markierung (24) gleichzeitig die Einrichtung darstellan welcher die Kraft zur Verdrehung der Düse (9) ansetzt.

6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Düsen (9) am Düsenstock {8) jeweils mittels einer Überwurfmutter (23) befestigt sind, welche auf einen mit Außengewinde versehenen Kragen (22) aufgeschraubt ist, der an der dem Behandlungsraum abgewandten Seite des Düsenstocks (8) angebracht ist.

7, Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Düsenstock (8) in dem Berei außerhalb der Kanäle (12) eine verringerte Dicke aufweist derart, daß das Kanalsystem (12) an der einen und/oder de anderen Seite des Düsenstocks (8) erhaben ausgeprägt ist.