DE3341716A1

DE3341716A1 - Turbo-molekularpumpe

Info

Publication number: DE3341716A1
Application number: DE19833341716
Authority: DE
Inventors: Masaharu Miki; Chiaki Urano
Original assignee: Seiko Instruments Inc
Current assignee: Seiko Instruments Inc
Priority date: 1982-11-19
Filing date: 1983-11-18
Publication date: 1984-05-24
Also published as: GB2130655B; JPS5993992A; FR2536473A1; US4609332A; JPH0646036B2; GB2130655A; DE3341716C2; FR2536473B1; GB8330794D0

Description

17. November 1983 E/AX

Anmelderin: Seiko Instruments & Electronics Ltd., 31-1, 6-chome, Kameido,

Koto-ku, Tokio,Japan

Turbo-Molekularpumpe

Die Erfindung betrifft eine Turbo-Molekularpumpe mit einer berührungsfreien ι magnetischen Lagerung.

Bei bekannten Turbo-Molekularpumpen dieser Art ist ein mit radialen Scheiben versehener Rotor vorgesehen, der sich mit hoher Drehzahl dreht. Wegen der hohen Drehzahl können sich dabei im Lagerbereich des Rotors Schwierigkeiten ergeben.

Bei bekannten Turbo-Molekularpumpen mit einer mechanischen Lagerung für den Rotor muß eine Lagerschmierung erfolgen, können aus dem Schmieröl ausgeschiedene Kohlenwasserstoffe zurückströmen und den Einlaß der Pumpe im stationären Zustand der Purnpe erreichen, da dann die Gasströmung aufhört und die Kohlenwasserstoffe zu dem Einlaß diffundieren können. In gewissen Fällen, beispielsweise bei Experimenten auf dem Gebiet der Oberflächenphysik, wirken aber diese Kohlenwasserstoffe störend, so daß die Verwendbarkeit derartiger Molekularpumpen begrenzt ist oder verhältnismäßig teure Ventileinrichtungen erforderlich sind, um eine Strömung in entgegengesetzter Richtung zu verhindern. Das von der Drehzahl abhängige erzielbare Ultrahochvakuum wird ferner dadurch begrenzt, daß bei einer Erhöhung der Drehzahl eine stärkere Abnutzung der Lager erfolgt.

Bei einer anderen Konstruktion einer Turbo-Molekularpumpe mit einer magnetischen Lagerung mit fünf gesteuerten Achsen (Japanische Patentanmeldung No. 30998/82) sind zwei radiale Nietlager und ein axiales Magnetlager vorgesehen.

-A-

Derartige Pumpen weisen den Vorteil auf, daß Kohlenwasserstoffe nicht zum Einlaß strömen können, weil eine ölschmierung nicht erforderlich ist. Da jedoch bei einer derartigen Pumpe fünf Freiheitsgrade des Rotors mit der Ausnahme der Rotation um die Rotorachse aktiv gesteuert werden, sind fünf Paare von Steuerschleifen mit einem Positionsfühler, einer Verstärkungsgrad/ Phasen-Schaltung, ei ner elektromagnetischen Antriebsschaltung und einem Elektromagnet erforderlich, wodurch die Herstellungskosten und die Größe der Pumpe ansteigen, weil eine kompliziertere Lagerkonstruktion und Schaltung im Vergleich zu mechanischen Lagerungen erforderlich ist. Bei derartigen Pumpen wird ferner deren Lebensdauer durch die Zuverlässigkeit der Schaltung begrenzt. Wegen der verhältnismäßig großen Anzahl von Schaltungselementen ist deshalb, die Lebensdauer verhältnismäßig gering. Ferner ist die Drehzahl begrenzt, weil bei Verwendung eines äußeren Rotors bei Erhöhung der Drehzahl Zentrifugalkräfte auf magnetische Stahlplatten mit geringerer Materialfestigkeit wirken. Deshalb können die Vorteile der berührungsfreien Lagerung nur in einem beschränkten Umfang ausgenutzt werden.

Bei anderen Konstruktionen von Turbo-Molekularpumpen (Japanische Patentanmeldung No. 12095/81) erfolgt nur eine aktive Steuerung in axialer Richtung, während die anderen vier Freiheitsgrade in radialer Richtung passiv gesteuert werden. Derartige Konstruktionen sind aber nicht ohne weiteres in der Praxis verwendbar, weil wegen des Auftretens von Resonanzeffekten und Wirbelbewegungen des Rotors Schwierigkeiten auftreten können, weil die Dämpfung in radialer Richtung zu gering ist.

Ferner ist eine Turbo-Molekularpumpe mit einem Magnetlager für den oberen Bereich und einem mechanischen Lager für den unteren Bereich bekannt (US-PS 3 749 528). Bei einer derartigen Pumpe können jedoch die Vorteile einer magnetischen Lagerung ebenfalls nicht vollständig ausgenutzt werden, da eine Ölschmierung erforderlich ist.

Es ist deshalb Aufgabe der Erfindung, eine Turbo-Molekularpumpe zu schaffen, bei der eine stabile Rotation mit einer berührungsfreien magnetischen Lagerung mit hoher Zuverlässigkeit bei einer kompakten und kostensparenden Konstruktion erzielbar ist, und bei der höhere Drehzahlen im Vergleich zu bekannten Konstruktionen mit fünf gesteuerten Freiheitsgraden erzielt werden können. Insbesondere soll eine Turbo-Molekularpumpe angegeben werden, bei der drei von fünf Freiheitsgraden mit Ausnehme der Drehung um die Rotorachse aktiv gesteuert werden während die beiden restlichen Freiheitsgrade passiv gesteuert

werden. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche,

Anhand der Zeichnung soll die Erfindung beispielsweise näher erläutert werden. Es zeigen:

Fig. 1 einen Längsschnitt durch ein Ausführungsbeispiel einer Turbo-Molekularpumpe gemäß der Erfindung,

Fig. 2 eine schematische Darstellung des Systems der magnetischen Lagerung bei dem Ausführungsbeispiel in Fig. 1,

Fig. 3 eine schematische Darstellung zur Erläuterung der Beziehungen zwischen der Federkonstanten in der radialen Richtung , der stabilen Federkonstanten in axialer Richtung und der Federkonstanten in Drehrichtung um den Schwerpunkt; und

Fig. 4, 5 und 6 Teilschnitte durch den axialen Elektromagnet in Fig. 1.

Bei dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel wird die radiale Verschiebung der Rotorwelle 3 aus der Gleichgewichtslage durch einen radialen Verschiebungsfühler 1 nachgewiesen. Das Nachweissignal wird den nicht dargestellten Verstärkungsgrad/Phasenkompensationsschaltungen und den elektromagnetischen Antriebsschaltungen zugeführt, sowie einem radialen Elektromagnet 2. Auf diese Weise gelangt die Rotorwelle 3 in eine radiale Gleichgewichtslage. Da für eine aktive Steuerung in radialer Richtung eine Steuerung in zwei Richtungen erforderlich ist, und zwar in einer bestimmten Richtung und in einer anderen linear unabhängigen Richtung, sind zwei Paare der genannten Kompensationsschaltungen und der elektromagnetischen Antriebsschaltungen erforderlich. Im Hinblick auf die axiale Richtung sind statorseitige Permanentmagnete 4 und rotorseitige Permanentmagnete 5 angeordnet, die eine Anziehung der Statorwelle 3 in Richtung auf die Permanentmagnete 4 bewirken. Das Ausmaß der Verschiebung der Rotorwelle 3 aus der Gleichgewichtslage in axialer Richtung wird durch einen axialen Verschiebungsfühler 6 nachgewiesen. Die Stromstärke durch einen axialen Elektromagnet 7 wird durch nicht dargestellte Kompensations- und Antriebsschaltungen in Abhängigkeit von dem Nachweissignal gesteuert. Dadurch wird die Anziehung der Rotorwelle 3 zu den Permanentmagneten 4 und in der entgegengesetzten Richtung gesteuert, so daß die Rotorwelle 3 in der axialen Gleichgewichtslage gehalten wird. In diesem Fall sind jeweils nui eine Kompensationsschaltung und elektromagnetische Antriebsschaltung erforderlich. Bei der bekannten aktiven Steue-

rung von fünf Freiheitsgraden wird eine weitere Kombination aus einer Fühleinrichtung, Elektromagneten und einer Schaltung an einer anderen Stelle für eine aktive Steuerung in radialer Richtung zusätzlich zu den erwähnten Elementen benötigt. Bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel der Erfindung sind diese zusätzlichen Elemente nicht erforderlich, da der axiale Elektromagnet 7, die statorseitigen Permanentmagnete 4 und die rotorseitigen Perma- _: nentmagnete 5 diese Funktion übernehmen. Da die Anziehungskraft des axialen Elektromagneten 7 entgegengesetzt zu der Anziehungskraft zwischen den Permanentmagneten 4 und 5 in Richtung der Achse im Gleichgewichtszustand wirkt, wird die Lage einer Scheibe 8 und der rotorseitigen Permanentmagnete gegen den axialen Elektromagnet 7 und die statorseitigen Elektromagnete in radialer Richtung verschoben , wenn die Rotorwelle 3 aus der Gleichgewichtslage in der radialen Richtung bewegt wird. Dann wirkt ein aufrichtendes Moment proportional dem Betrag der Verschiebung der Rotorwelle 3, um die Rotorwelle 3 in die Ausgangslage zu bewegen. Durch die auftretenden Kräfte wird die Lage der Rotorwelle 3 in radialer Richtung passiv begrenzt und in der Gleichgewichtslage gehalten. Durch eine derartige Beeinflussung der Rotorwelle 3 kann bei einer Pumpe gemäß dem beschriebenen Ausführungsbeispiel ein Paar von radialen Elektromagneten weggelassen werden sowie ein radialer Fühler und zwei Paare von Kompensationsschaltungen und elektromagnetischer Antriebsschaltungen im Vergleich zu bekannten Pumpen mit fünf gesteuejrten Freiheitsgraden. Deshalb kann eine derartige Pumpe kleiner und mit geringeren Kosten hergestellt werden, so daß sich auch eine erhöhte Zuverlässigkeit ergibt, da die Anzahl der erforderlichen Elemente erheblich verringert werden kann.

An der von dem Magnet gelagerten Rotorwelle 3 ist ein glockenförmiger Rotor 9 mit Scheiben 8 derart angeordnet, daß dadurch die Rotorwelle 3 und das Magnetlager vollständig umgeben werden. Durch einen innerhalb des Rotors angeordneten Antriebsmotor 10, der zwischen dem radialen Elektromagnet und dem axialen Elektromagnet 7 vorgesehen ist, wird der Rotor 9 mit hoher Drehzahl angetrieben. Durch die Scheiben des Rotors 9 und die ortsfesten Scheiben 13 wird zur Erzeugung eines Unterdrucks eine Gasströmung von einem Einlaß 11 zu einem Auslaß 12 bewirkt. Da der Rotor 9 die Welle 3 und das Magnetlager abdeckt, wird die Gasströmung nicht unterbrochen. Da die Elektromagnete und der Motor, durch die Gase erzeugt werden könnten, im Hochvakuum angeordnet sind und keine Schmierung benötigen, kann ein ölfreies Ultrahochvakuum erzeugt werden.

Damit der Rotor mit hoher Drehzahl gedreht werden kann, ist die Pumpe derart ausgebildet, daß hohe Zentrifugalkräfte, die auf den Rotor 9 wirken, aufgenommen werden können. Zu diesem Zweck ist der Antriebsmotor innerhalb des Rotors angeordnet, der Außendurchmesser des Motorrotors 14 wird so klein wie möglich gehalten, das Joch des axialen Elektromagnets 7 wird unterteilt und der äußere Magnetpol wird näher dem inneren Magnetpol als der äußere Durchmesser der axialen Spule 20 angeordnet, um den äußeren Durchmesser der Scheibe 8 klein zu halten. Die Permanentmagnete werden vorher eingepreßt, indem die rotorseitigen Permanentmagnete 5 in einen rotorseitigen Halter eingepreßt werden.

In Verbindung mit Rg. 2 soll die stabile Rotation näher erläutert werden, die mit einer derartigen magnetischen Lagerung erzielt werden kann. Fig. 2 zeigt eine schematische Darstellung einer magnetischen Lagerung gemäß dem Ausführungsbeispiel der Erfindung bei Verwendung von Federn und einer Dämpfungseinrichtung. Die Funktion der radialen magnetischen Lagerung mit dem radialen Verschiebungsfühler 1, dem radialen Elektromagnet 2 und der Schaltungen wird durch die Verwendung von zwei Sätzen mit einer Federkonstanten k₁ und einer Dämpfungskonstanten d.. in radialer Richtung ausgedrückt. Die Funktion des Axiallagers mit dem axialen Verschiebungsfühler 6, dem axialen Elektromagnet 7, den Permanentmagneten 4 und 5 und der zugehörigen Schaltung wird durch die Verwendung von einem Satz mit einer Federkonstanten k„ und einer Dämpfungskonstanten d„ in axialer Richtung und einem Satz mit einer ⁱ Federkonstanten k_? und zwei Sätzen von Dämpfungskonstanten d_? in radialer Richtung ausgedrückt. Da die Konstanten d_i und d„ durch die Schaltungen aktiv bestimmt werden können, kann eine Einstellung auf große Werte erfolgen. Da keine aktive Dämpfung auf d₉ aufgrund der Dämpfungselemente des aufrichtenden Moments in radialer Richtung wirkt, indem eine passive Erzeugung durch die Anziehungskraft des axialen Elektromagnets 7 und durch die Anziehungskraft der statorseitigen und rotorseitigen Permanentmagnete 4 und 5 erfolgt, ist die Konstante d„ wenig größer als Null im Vergleich zu d₁ und d_ (d_ <^ d.. ,d„). Die Bewegung der Welle 3 kann in die axiale Richtung und in die radiale Richtung zerlegt werden. Da die Bewegung in der axialen Richtung aktiv gesteuert wird, ist die folgende Beschreibung auf die Bewegung in der radialen Richtung beschränkt. In Fig. 2 ist der rotierende Körper als Einheit im Vergleich zu den rotierenden Elementen in Fig. 1 dargestellt,welche die Welle 3, den Rotor 9, die rotorseitigen Permanentmagnete 5, die Scheibe 8, den rotorseitigen Halter 15 für Permanentmagnete etc. umfaßt. Es sei an-

genommen, daß der Schwerpunkt des rotierenden Körpers 16 G ist, daß die Angriffspunkte der Federkonstanten k₁ und k_? A beziehungsweise B sind, daß I. der Abstand zwischen G und A ist, daß L· der Abstand zwischen G und B ist, daß ω die Winkelgeschwindigkeit ist, daß m die Masse ist, daß Ir das Trägheitsmoment in der radialen Richtung ist, daß la das Trägheitsmoment in der axialen Richtung ist, daß x, y, ζ rechtwinklige Koordinaten sind, daß die Drehwinkel um die Achsen x, y und ζ O , θ und θ sind, daß x, y Verschiebungsbeträge von der Gleichgewichtslage des Schwerpunkts G des rotierenden Körpers sind, und daß θ , Q die Neigungswinkel der Rotorachse sind. Dann ergibt sich folgende Bewegungsgleichung für die Bewegung des rotierenden Körpers in der radialen Richtung:

(Z" ^n 1

-fet, ) /m

3 <<k 4 -<k

0 0

•i (Jh A -K ■**) M -3 G

-a* I₁)/m

- Qh U+l

• -Qkic-Hzi?

ν J

ζ = χ + j y 0— θ-χ + jOy

(D

Dabei entsprechen - (k., + k„)/m und - (d₁ + d_)/m der Federkonstanten und Dämpfungskonstanten hinsichtlich der Translation des Schwerpunkts G, . und - (k^ ² + k₂l₂ ²)/lr und - (d.^ ² + d^ ²)/lr + jlaw/lr der Federkonstanten und Dämpfungskonstanten hinsichtlich der Drehbewegung um den Schwerpunkt. Ferner sind - Kk
j( R₁L - ttulj/lr, jCdJ. - dplj/lr Ausdrücke, welche die Wechselwirkung der Translation und der Rotationsbewegung um den Schwerpunkt betreffen.

- kplp)/m, - KdJ₁ ~

Da die Dämpfungskonstanten der Translationsbewegung und der Rotationsbewegung um den Schwerpunkt in einem Zusammenhang mit der Summe von d., und d„ oder dJ² und d_l ² steht, können zufriedenstellende Werte für diese Konstanten eingesetzt werden, indem d.. angenommen wird, selbst wenn der Wert von d_? nahezu Null ist. Deshalb kann auch eine stabile Rotation

durch das Magnetlager gemäß der Erfindung realisiert werden. Wenn ferner die Lage des Schwerpunkts G des rotierenden Körpers, die Federkonstante k. des Radiallagers in der radialen Richtung und die passive Federkonstante k„ des Axiallagers in der radialen Richtung derart eingesetzt werden, daß kJp gleich kj_? ist, wenn also der Abstand AB in k_ und k. durch den Schwerpunkt G unterteilt wird, nähern die beiden Resonanzstellen in diesem System sich am nächsten an, da kein Term der,Wechselwirkung zwischen Translatiohsbewegung und Rotationsbewegung vorhanden ist, was ohne weiteres ersichtlich ist, falls sowohl d.. und d„ in Gleichung (1) Null sind. Da die durch die erwähnte Gegenwirkung verursachte Vibration beseitigt ist und die Dämpfungsraten hinsichtlich der beiden Bewegungsarten auf angenäherte Werte gelangen, kann deshalb die Resonanzstelle der beiden Systeme einfacher passiert werden. Ein weiterer Vorteil ist darin zu sehen, daß die Welle 3 auf einem Niveau in dem Zustand von kj.. = k_L· gehalten wird, wenn die Turbo-Molekularpumpe in Fig. 1 derart ausgebildet ist, daß der Schwerpunkt in seitlicher Richtung von Fig. 1 liegt.

Wenn der rotierende Körper mit hoher Drehzahl gedreht wird, kann bekanntlich die Rotation in gewissen Fällen instabil werden, falls eine innere Dämpfung in dem Körper vorhanden ist, durch die Eigenschwingungen verursacht werden. Die Drehzahl, bei der Eigenschwingungen auftreten, steht in einer Beziehung zu dem Verhältnis des Trägheitsmoments des rotierenden Körpers la/lr und auchjzu dem Verhältnis JO/Ji der äußeren Dämpfung JO zu der inneren Dämpfung Ji, und die Drehzahl, bei der die Eigenschwingungen auftreten, erhöht sich proportional mit dem Anstieg dieser Verhältnisse. In diesem Fall besteht eine Beziehung zwischen der inneren Dämpfung und dem Energieverbrauch in dem rotierenden Körper, verursacht durch Reibung zwischen Komponenten und Wirbelströmen, welche in die Komponenten fließen. Die äußere Dämpfung steht dagegen in einer Beziehung zu dem Energieverbrauch, der statorseitig auftritt, ausgenommen dem rotierenden Körper, als eine Folge der Bewegung des rotierenden Körpers, was durch die Dämpfungsaktivität verursacht wird, die durch die Schaltungen und durch statorseitige Wirbelströme bewirkt wird. Im Hinblick auf die Dämpfung durch Wirbelströme wird gemäß der Erfindung vorgesehen, daß keine Eigenschwingungen innerhalb vorherbestimmter Drehzahlen erzeugt werden , indem das Verhältnis JO/Ji durch Verwendung nichtmagnetischer elektrischer Leiter erhöht wird, beispielsweise von Leitern aus Aluminium für den statorseitigen Träger 17 zur Halterung der statorseitigen Permanentmagnete 4, des axialen Elektromagnets 7, des Antriebsmotors 10 und des radialen Elektromagnets 2. Ferner werden nichtmagnetische

Materialien mit niedriger elektrischer Leitfähigkeit, wie beispielsweise rostfreier Stahl, für den rotorseitigen Permanentmagnethalter für die Permanentmagnete 5 verwandt, sowie für andere Teile, mit Ausnahme des Motorrotors 14, der Welle 3, des Bereichs 18 und des Fühlertargets 19 für die radiale Verschiebung. Obwohl Aluminium und rostfreier Stahl bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel im Hinblick auf die Erhöhung der Drehzahl und auf Eigen-· schwingungen Verwendung finden, werden vorzugsweise innerhalb eines zulässigen Bereichs unter Berücksichtigung ausreichender Festigkeit die am besten und am schlechtesten elektrisch leitenden nichtmagnetischen Materialien ausgewählt. Durch die Verwendung nichtmagnetischer Materialien für die Teile, die sich nicht auf den Motor für die Welle 3, die Elektromagnete und die Fühler beziehen, kann verhindert werden, daß Anziehungskräfte aufgrund von Streuflüssen der axialen Elektromagnete die Welle 3 beeinflussen.

In Fig. 3 ist G der Schwerpunkt des rotierenden Körpers, D eine gegenüberliegende Lage zu einem axialen Elektromagnet oder Permanentmagnet, L der Abstand zwischen G und D, θ der Winkel zwischen der durch G verlaufenden Rotationsachse im Gleichgewichtszustand und GD, Kr eine Federkonstante in der passiven radialen Richtung, und Ku eine instabile Federkonstante in Richtung der Rotationsachse I. Die Federkonstante KQ für die Rotation um den Schwerpunkt G ergibt sich aus:

1 kit Kd = Kr/,* cos* Θ (1-- — tan* ö) (2)

2* ΆΤ

Um KQ zu vergrößern, kann deshalb I lang und θ klein gemacht werden, und ferner kann Kr erhöht werden. Zur Verringerung der Größe des Außendurchmessers der Scheibe 8 gemäß der Erfindung wird der äußere Magnetpol so nah wie möglich zu dem inneren Magnetpol angeordnet, indem das Joch des axialen Elektromagnets 7 unterteilt wird, so daß der Winkel Q in jeder Magnetpollage klein gehalten und KQ erhöht werden kann.

Der zur Abstützung in axialer Richtung dienende Teil, der auch zur passiven Begrenzung der Abstützung in radialer Richtung dient, kann in unterschiedlicher Weise angeordnet werden. In Fig. 4 sind zwei gegenüberliegende axiale Elektromagnete vorgesehen. In Fig. 5 wird ein vormagnetisierender Fluß durch den Permanentmagnet 21 erzeugt, der in das Joch des axialen Elektromagnets eingesetzt ist. In Fig. 6 ist eine Seite gegenüber dem Permanentmagnet vorgesehen und in die andere Seite des Jochs des axialen Elektromagnets ist der Permanentmagnet 21 eingesetzt, um auch einen vormagnetisierenden Fluß durch den Permanentmagnet zu erzeugen.

Entsprechend den beschriebenen Ausführungsbeispielen kann eine Turbo-Molekularpumpe hergestellt werden, die sehr zuverlässig arbeitet, korrpakt ausgebildet ist, eine hohe Kapazität aufweist und geringe Herstellungskosten verursacht, weil die Lagerkonstruktion und die Schaltungen vereinfacht werden können und eine stabile Rotation mit höheren Drehzahlen im Vergleich zu bekannten Molekularpumpen erzielt werden kann, die ein Magnetlager mit fünf gesteuerten Freiheitsgraden aufweisen.

Leerseite

Claims

O O H I / IU

DIPL-PHYS. F. ENDLICH

PATENTANWALT

EUROPEAN PATENT ATTORNEY

F. ENDLICH. POSTFACH 13 26, D-B034 GERMERlNG

TELEFON: (08Θ) 84 36 38

TELEX: 52 1730 pate d

CABLES: PATENDLICH GERMERING

BLUMENSTRASSE B

D-8034 GERMERING

17. November 1983 E/AX

Meine Akte: S-5141

Anmelderin:

Seiko Instruments & Electronics Ltd., 31-1, 6-chome, Kameido, Koto-ku,

Tokyo,Japan

Patentansprüche

Ί...'Turbo-Molekularpumpe mit einer berührungsfreien magnetischen Lagerung, da durch gekennzeichnet, daß drei der fünf Freiheitsgrade mit Ausnahme der Rotation um die Rotationsachse der Welle aktiv durch ein Paar magnetischer Radiallager und ein Paar magnetischer Axiallager gesteuert werden, daß ein glockenförmiger Rotor (9) das gesamte Magnetlager und die Welle (3) abdeckt, die durch ein Magnetlager abgestützt wird, das passiv die verbleibenden beiden Freiheitsgrade begrenzt, und daß der Rotor mit hoher Drehzahl durch einen innerhalb des Rotors angeordneten Antriebsmotor (10) angetrieben wird, der zwischen einem Radiallager und einem Axiallager angeordnet ist.
2. Turbo-Molekularpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Lage des Schwerpunkts und eine Federkonstante in radialer Richtung derart bestimmt ist, daß die Lage des Schwerpunkts des gesamten rotierenden Körpers mit der Welle und dem Motor intern unterteilt sein kann umgekehrt proportional zu dem Verhältnis der Federkonstanten in radialer Richtung des Radiallagers und der passiven Federkonstanten in • radialer Richtung des Axiallagers, hinsichtlich der Angriffspunkte der betreffenden Lager.
3. Turbo-Molekularpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der rotorseitige Permanentmagnet (5) des Axiallagers in einem rotorseitigen Halter (15) eingepreßt ist.
4. Turbo-Molekularpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein nichtmagnetischer elektrischer Leiter aus einem Material wie Aluminium für die statorseitige Stützeinrichtung zum Abstützen des statorseitigen Permanentmagnets, des axialen Elektromagnets, des Antriebsmotors und des radialen Elektromagnets vorgesehen ist, und daß andererseits nichtmagnetische und elektrisch schlecht leitende Materialien wie rostfreier Stahl für die Teile mit Ausnahme des rotorseitigen Permanentmagnethalters zum Abstützen des rotorseitigen Elektromagnets, des Motors der Welle des rotierenden Körpers, des Elektromagnets und der Fühler vorgesehen sind.
5. Turbo-Molekularpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der äußere Magnetpol des axialen Elektromagnets näher zu dem inneren Magnetpol als der Außendurchmesser der axialen Spule vorgesehen ist, indem eine Anordnung eines unterteilten Jochs des axialen Elektromagnets verwandt wird.

BAD ORIGINAL