DE3335410A1 - Hochleistungslaser - Google Patents
HochleistungslaserInfo
- Publication number
- DE3335410A1 DE3335410A1 DE19833335410 DE3335410A DE3335410A1 DE 3335410 A1 DE3335410 A1 DE 3335410A1 DE 19833335410 DE19833335410 DE 19833335410 DE 3335410 A DE3335410 A DE 3335410A DE 3335410 A1 DE3335410 A1 DE 3335410A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- laser
- housing
- channel
- gas flow
- impeller
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 28
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 7
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 5
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 5
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 239000013536 elastomeric material Substances 0.000 description 2
- 229910001209 Low-carbon steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000005555 metalworking Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 210000000056 organ Anatomy 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N selenium;zinc Chemical compound [Se]=[Zn] SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008399 tap water Substances 0.000 description 1
- 235000020679 tap water Nutrition 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/041—Arrangements for thermal management for gas lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
Hochleistungslaser
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Laser, insbesondere auf Hochleistungs-Gasstromlaser.
In den letzten Jahren war eine- bemerkenswerte Aktivität bei
der Entwicklung von Hochleistungs-Gasstromlasern zu beobachten, insbesondere zur Verwendung in der metallbearbeitenden
Industrie. Beispiele von einigen Vorschlägen derartiger, bekannter Hochleistungs-Gasstromlaser sind in folgenden USA-Patentschriften
offenbart: Nr. 3,641,457; Nr. 3,702,973; Nr. 3,886,481; Nr. 4,058,778; Nr. 4,317,090 und Nr. 4,321,558.
Eines der Hauptprobleme bei der Konstruktion derartiger Hochleistungs-Gasstromlaser
ist die Abführung der Verlustwärme, da solche Geräte bei unzulässig hohen Temperaturen nicht mehr
mit optimalem Wirkungsgrad arbeiten können. Als Beispiel sei erwähnt, dass ein CO2-Laser, der heute hauptsächlich als Hochleistungslaser
Verwendung findet, bei Temperaturen oberhalb von 200 grad C nicht mehr mit voller Wirksamkeit arbeiten
kann. Wohl ist es möglich, die Wärmeabfuhr und damit die Ausgangsleistung dadurch zu steigern, dass die Länge des Laserkanals
vergrössert wird; als Nachteil ist jedoch in Kauf zu nehmen, dass mit einer beträchtlichen Vergrösserung der Abmessungen
des Lasers und mit einer ebenso beträchtlichen Steigerung der Kosten gerechnet werden muss.
Es ist deshalb eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen neuartigen Hochleistungs-Gasstromlaser vorzuschlagen, welcher
optimiert ist in Bezug auf die Länge des Laserkanals und in Bezug auf die maximale Ausgangsleistung bei einer vorgegebenen
Grosse der Abmessungen des gesamten Systems.
Ein anderes Problem, welches im Zusammenhang mit Hochleistungs-Gasstromlasern
auftritt, ist die optische Verzerrung des ausgesandten Strahles, was auf eine Anzahl von verschiedenen
Ursachen zurückzuführen ist. Eine dieser Ursachen ist die Phasenverzerrung, die von einem Dichtegradienten innerhalb des
strömenden Gases bewirkt wird; weiter sind Amplituden-Variationen störend, welche sich auf die Anwesenheit eines Verstärkungsgradienten
im strömenden Gas zurückführen lassen. In der von der gleichen Anmelderin eingereichten deutschen Patentanmeldung
P 33 30 238.3 vom 22. August 1983 werden diese Probleme ausführlich gewürdigt und es wird ein Vorschlag gemacht,
um diese störenden Einflüsse zu vermindern oder zu verhindern.
Im Verlauf weiterer Forschungen wurde herausgefunden, dass
optische Verzerrungen zudem von durch mechanische Vibrationseinflüsse verursacht werden können, indem das optische System
durch den die Gasströmung durch den Laserkanal aufrechterhaltenden Impeller sowie dessen Antrieb beeinflusst wird. Es ist
demzufolge eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Hochleistungs-Gasstromlaser so auszubilden, dass diese
ebengenannten Störeinflüsse ausgeschaltet sind.
Die Erfindung geht aus von einem Hochleistungs-Gasstromlaser mit einem äusseren Gehäuse, das eine Aussenwand besitzt, die
einer Differenz zwischen Innendruck und athmosphärischem Druck
zu widerstehen imstande ist, mit Befestigungsmitteln zur Montage des Gehäuses an einem Träger, mit einem optischen
System, welches einen innnerhalb des Gehäuses angeordneten Laserkanal umfasst, mit einem innerhalb des Gehäuses angeordnete
Impeller zur Erzeugung eines Gasstromes durch diesen Laserkanal, und mit einer Antriebsvorrichtung zum Antrieb
dieses Impellers. Bei einem solchen Laser werden die gestellten Aufgaben erfindungsgemäss mit den Merkmalen des kennzeichnenden
Teils des Patentanspruches 1 gelöst.
Im folgenden werden Ausführungsbeispiele des erfindungsgemässen
Hochleistungs-Gasstromlasers, unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen, näher erläutert. Im einzelnen zeigen:
Fig.l einen schematischen Seitenriss einer Ausführungsform des erfindungsgemässen Lasers,
Pig.2 eine teilweise geschnittene Ansicht derselben Ausführungsform, quer zu derjenigen von Fig.l,
in welcher schematisch der gefaltete Laserkanal des optischen Systems und die Gasflusskanäle zur
Erzeugung des quer durch die einzelnen Zweige des Laserkanals fliessenden Gassflusses gezeigt
sind,
Pig.3 eine dreidimensionale, teilweise aufgeschnittene
Ansicht des Lasers gemäss Figuren 1 und 2, in
der insbesondere der Strömungsverlauf des Gases
dargestellt ist,
der insbesondere der Strömungsverlauf des Gases
dargestellt ist,
Fig.4 eine weitere, dreidimensionale, teilweise aufgeschnittene
Ansicht desselben Lasers von einer
Stirnseite her, aus welcher insbesondere die unabhängige Befestigung des optischen Systems hervorgeht,
Stirnseite her, aus welcher insbesondere die unabhängige Befestigung des optischen Systems hervorgeht,
Fig.5 einen vergrösserten Teilschnitt durch ein Detail
der Aufhängung des optischen Systems des Lasers,
Fig.6 einen Axialschnitt durch den Impeller und dessen
Befestigung, und
Fig.7 eine teilweise aufgeschnittene Ansicht, aus
welcher weitere Einzelheiten bezüglich des Impellers ersichtlich sind.
Aus der Figur 1 ist ein Hochleistungs-Gasstromlaser ersichtlich,
der ein äusseres Gehäuse 2 umfasst, welches einen vom
äusseren, athmosphärisehen Druck abweichenden Innendruck aufzunehmen imstande ist. Bei der zur Rede stehenden Art von
Lasern beträgt der Innendruck höchstens ungefähr 0,2 atm. Beim bevorzugten Ausführungsbeispiel eines Lasers mit der in Figur 1 gezeigten Anordnung beträgt der Innendurck ungefähr 0,05
äusseren, athmosphärisehen Druck abweichenden Innendruck aufzunehmen imstande ist. Bei der zur Rede stehenden Art von
Lasern beträgt der Innendruck höchstens ungefähr 0,2 atm. Beim bevorzugten Ausführungsbeispiel eines Lasers mit der in Figur 1 gezeigten Anordnung beträgt der Innendurck ungefähr 0,05
atm; ein solcher Laser benützt eine elektrische Entladung, um
das Lasergas anzuregen. Vorzugsweise wird eine der bekannten
CO^"Mischungen als Lasergas verwendet, wie es für Hochleistungslaser üblich ist.
CO^"Mischungen als Lasergas verwendet, wie es für Hochleistungslaser üblich ist.
Der Laserkanal besitzt die Gestalt eines gefalteten, optischen
Hohlraumes bzw. eines Resonators und ist generell mit 3 bezeichnet. Die Ausbildung dieses Laserkanals geht im einzelnen
aus der erwähnten deutschen Patentanmeldung P 33 30 23 8.3 vom 22. August 1983 hervor. In der Figur 2 ist gezeigt, dass dieser
optische Hohlraum bzw. Resonator 3 gefaltet ist und somit aus vier Zweigen 3a - 3d besteht, die entlang eines Quadrates
angeordnet sind. Die vier Zweige werden durch einen Primärspiegel 31 am einen Ende, einen Rückkoppelungsspiegel 32 am
entgegengesetzten Ende und drei Umlenkspiegeln 33,34,35 definiert, welch letztere jeweils zwischen einem Paar von benachbarten Zweigen angeordnet und gegenüber dem Laserstrahl um 45 grad verschwenkt sind, um die Laserstrahlen von einem Zweig in den nächstfolgenden Zweig abzulenken. Der Ausgangsspiegel 36
ist ein teildurchlässiger Spiegel und ist unmittelbar vor dem Rückkoppelungsspiegel 32 angebracht; er koppelt einen Teil der Laserstrahlen aus dem aus den vier Zweigen bestehenden Laserkanal aus und leitet diesen Teil zu einem Ausgangsfenster 37, z.B. einem ZnSe-Fenster, aus dem dann der Laserstrahl austritt.
entgegengesetzten Ende und drei Umlenkspiegeln 33,34,35 definiert, welch letztere jeweils zwischen einem Paar von benachbarten Zweigen angeordnet und gegenüber dem Laserstrahl um 45 grad verschwenkt sind, um die Laserstrahlen von einem Zweig in den nächstfolgenden Zweig abzulenken. Der Ausgangsspiegel 36
ist ein teildurchlässiger Spiegel und ist unmittelbar vor dem Rückkoppelungsspiegel 32 angebracht; er koppelt einen Teil der Laserstrahlen aus dem aus den vier Zweigen bestehenden Laserkanal aus und leitet diesen Teil zu einem Ausgangsfenster 37, z.B. einem ZnSe-Fenster, aus dem dann der Laserstrahl austritt.
Der hier in Rede stehende Laser umfasst ein Leitungssystem, welches generell mit 40 bezeichnet und am besten aus Figur 3
ersichtlich ist. Damit wird ein Strom von Lasergas erzeugt, der transversal zu jedem Zweig 3a - 3d des gefalteten Laserkanales
verläuft. Ein jeder Laserkanalzweig wird dabei durch einen separaten Gasflusskanal 4a - 4d versorgt; der Gasstrom
wird dabei mittels eines Impellers 41 erzeugt, welcher durch einen Elektromotor 42 angetrieben ist. Das ausgangsseitige
Ende des Impellers 41 ist mit einem Difusor 44 versehen (Figur
Das durch die Kanäle 4a - 4d transversal zu den Zweigen 3a 3d des gefalteten Laserkanals fliessende Gas wird zuerst durch
eine elektrische Entladeanordnung angeregt, die in Figur 1 mit 5 bezeichnet ist und die auf der stromaufwärtigen Seite eines
jeden Zweigs des gefalteten Laserkanales liegt. Es sind verschiedene Arten von elektrischen Entladungsanordnungen bekannt,
die im vorliegenden Fall verwendet werden können. Beispielsweise sei eine Anordnung erwähnt, mit einer externen
Ionisationsquelle, z.B. in der Form eines Elektronenstrahles. Beim hier vorliegenden Ausführungsbeispiel ist es allerdings
vorteilhaft, eine mit Hochfrequenz arbeitende elektrische Entladungsanordnung zu verwenden, welche segmentartige Elekroden
und Ballastmittel umfasst, wie es z.B. in der gleichzeitig eingereichten deutschen Patentanmeldung
beschrieben ist.
Das Gas, das durch die Gaskanäle 4a - 4d fliesst, ist einer
Temperaturerhöhung unterwarfen, währenddem es die einzelnen
Zweige 3a - 3d des Laserkanals 3 in transversaler Richtung passiert, so dass das die Kanäle 4a - 4d verlassende Gas eine
beträchtlich höhere Temperatur aufweist als das in diese Kanäle eintretende Gas. Der aufgeheiste Gasstrom wird durch
eine Ablenkwand 45 (Figuren 1 und 3) umfassende Kanäle zu einem Wärmeaustauscher 46 geleitet, durchströmt diesen, und
gelangt wieder, über eine Leitung 47* ^um Eingang des Impellers
41, um mittels diesem im Kreislauf wieder den Gasstromkanälen 4a - 4d zugeführt zu i*erden„
Wie vorstehend kurz erwähnt und wie es insbesondere in der deutschen Patentanmeldung P 33 30 238„3 vom 22. August 1983
ausführlich beschrieben ist, bietet die Anordnung des Laserka- -nales 3 in vier Zweigen 3a - 3d, welche entlang eines Quadrates
in einer gemeinsamen Ebene liegen und welche zwischen einzelnen Zweigpaaren Umlenkspiegel 33, 34, 35 aufweisen, eine
Anzahl von wichtigen Vorteilen. Insbesondere sei erwähnt, dass
die Umlenkspiegel in der Weise angeordnet sind, dass die Laserstrahlen abwechselnd von der stromaufwärtigen (bzw.
stromabwärtigen) Seite innerhalb eines Zweiges zur stromabwärtigen (bzw. stromaufwärtigen) Seite innerhalb des benachbarten
Zweiges umgelenkt werden? dies bezieht sich auf die Richtung des quer zu den Zweigen verlaufenden Gasstromes. Eine
solche Anordnung gewährleistet eine Kompensation der durch den Dichtegradienten verursachten Phasenverzerrung und ausserdem
eine Kompensation der durch den Verstärkungsgradienten im transversal zu den Zweigen fliessenden Gasstrom verur-
33354 ΊΟ
sachten Ainplitudenvariationen. Dies wird deutlich, wenn man
in Figur 2 den Verlauf der äussersten Strahlen Rl und R2 durch alle vier Laserkanalzweige 3a - 3d, ausgehend vom Primärspiegel
31 bis zum Rückkoppelungspiegel 32, verfolgt. Es wird dabei deutlich, dass der Strahl Rl im Zweig 3a bezüglich des
Gasstromkanales 4a stromaufwärts liegt, während der Strahl R2 im Zweig 3a an der stromabwärtigen Seite verläuft. Beide
Strahlen werden durch den ersten Umlenkspiegel 33 zwischen den Zweigen 3a und 3b umgelenkt, so dass nun innerhalb des Zweiges
3b der Strahl Rl an der stromabwärtigen Seite verläuft, währenddem der Strahl R2 auf die stromaufwärtige Seite gewechselt
hat. Eine ähnliche Sitution wird durch den Umlenkspiegel 34 erzeugt; dieser lenkt den Strahl Rl zur stromaufwärtigen Seite
und den Strahl R2 zur stromabwärtigen Seite innerhalb des Zweiges 3c um. Eine weitere Umkehrung erfolgt schliesslich
unter Wirkung des Umlenkspiegels 35, welcher wiederum den Strahl Rl zur stromaufwärtigen Seite und den Strahl R2 zur
stromabwärtigen Seite innerhalb des Zweiges 3d umlenkt.
Auf diese Weise wird jegliche Phasenverzerrung, die innerhalb eines Zweiges durch den Dichtegradienten (der entgegengesetzt
zum Temperaturgradienten ist) verursacht wird, innerhalb des nächsten, benachbarten Zweiges kompensiert. In entsprechender
Weise wird jegliche Amplitudenvariation, verursacht durch den Verstärkungsgradienten im einen Zweig, im nächsten,
benachbarten Zweig durch die beschriebene Umlenkung der Strahlen kompensiert. Die maximlae Kompensation kann dann erreicht
werden, wenn eine gerade Anzahl von Zweigen innerhalb des
Laserkanals vorhanden ist, so dass Variationen innerhalb eines Kanals durch diejenigen innerhalb des nächstfolgenden Kanals
aufgehoben werden, und dadurch, dass einem jeden Laserkanalzweig separate Gasstromkanäle zugeordnet werden, so dass der
Gasstrom die einzelnen Zweige in paralleler und nicht in serieller Art durchströmt. Weitere Einzelheiten bezüglich
dieser Kompensationen bei einem Laser der in Rede stehenden Art sind aus der erwähnten deutschen Patentanmeldung P 33 30
238.3 vom 22. August 1983 ersichtlich.
Ein wesentliches Merkmal der erfindungsgemässen Anordnung ist
darin zu erblicken, dass die das optische System 3 bildenden Spiegel durch unabhängige Stützorgane getragen werden. Diese
sind in den Figuren 1 und 4 generell mit 50 bezeichnet und sind getrennt und beabstandet von den Trägern des Gehäuses,
welch letztere in Figur 1 generell mit 49 bezeichnet sind. Auf diese Weise kann das optische System von Vibrationseinflüssen
isoliert werden, die durch den Impeller 41 und dessen Antrieb 42 erzeugt werden. Kurz gesagt umfassen die Stützorgane 50
einen temperaturstabilisierten Weichstahlrahmen, der durch
Füsse abgestützt ist und welche aus der Vakuumkammer innerhalb des Gehäuses 2 über flexible Durchführungen herausragen;
die Durchführung können aus einem elastomeren Material oder durch einen Metallbalg gebildet sein und sind an einer benachbart
zur Kammer liegenden, schweren Basisplatte verankert. pie Kammer des Lasers, die den Impeller und dessen Antrieb
aufnimmt, ist mittels Entkoppelungsorganen vom Fussboden 48 (Figur 1) getrennt. Diese Anordnung isoliert die optischen
Komponenten von den hauptsächlichsten Vibrationsquellen (d.h. dem Impeller und dessen Antrieb)/ währenddem gleichzeitig
sichergestellt ist, dass die Laserstrahlquelle, (d.h. der optische Resonator) bezüglich des Fussbodens eindeutig positioniert
ist.
Aus den Figuren 1 bis 4 geht die Ausbildung der Stützorgane im einzelnen hervor. Diese umfassen vier Beine 51-54, welche
im Bereich der vier Ecken eines offenen, horizontalen Rahmens 55 mit generell rechteckiger Form verankert sind. Ausserdem
umfassen die Stützorgane 50 einen vertikalen, rechteckigen Rahmen 56 sowie ein Paar von geneigten Rahmenelementen 57, die
zwischen dem hinteren Ende des horizontalen Rahmens 55 und dem oberen Ende des vertikalen Rahmens 56 verlaufen. Der letztere
umfasst Kühlwasserleitungen 56', um die Temperatur des Rahmens zu stabilisieren.
Wie aus der Figur 4 zu entnehmen ist, werden die Spiegel des optischen Systems, nämlich der Primärspiegel 31, der Rückkoppelungsspiegel
32, die drei Umlenkspiegel 33-35 sowie der teildurchlässige Spiegel 36 je mittels Trägern 58 abgestützt,
in der Weise, dass diese in der Art einer Konsole mit den vier Ecken des vertikalen Rahmens 56 verbunden sind.
Jedes der vier Beine 51-54 für die Befestigung des optischen Systems tritt durch die Wand 2 des Gehäuses des Lasers hindurch,
wobei für eine Abdichtung gesorgt ist, und alle vier Beine sind an einer gemeinsamen, schweren, metallischen Grund-
platte 59 verankert, die sich ausserhalb der Kammer befindet. Zur Erhöhung der Stabilität sind die unteren Enden dieser
Beine mit sich radial erstreckenden Verstärkungsflanschen versehen.
Die Art und Weise, wie sich die Beine durch die Wand 2 des Gehäuses unter Gewährleistung einer Abdichtung hindurch erstrecken,
ist in Figur 5 am Beispiel des Beines 52 dargestellt. Es ist zu erkennen, dass das Bein an sich hohl ist, am
oberen Ende jedoch mit einem eingesetzten Block 61 verstärkt wird. Dieser ist mittels einer Schraube 62 im Bereich der
entsprechenden Ecke des horizontalen Rahmens 55 verankert. Jede Ecke der Gehäusewand 2 ist mit einem rohrförmigen Stutzen
63 versehen, der koaxial zum Bein 52 verläuft, jedoch einen grösseren Durchmesser besitzt. Ein Schaft 64 aus elastomerem
Material (oder ein metallischer Balg) ist an seinem oberen Ende mittels einer Bride 65 im Bereich des oberen Endes des
Beines 52 gehalten, während das untere Ende mittels einer weiteren Bride 66 am oberen Ende der zylinderischen Hülse
festgeklemmt ist.
Aus der vorstehend beschriebenen Anordnung wird klar, dass die
äussere Oberfläche eines jeden Schaftes 64 innerhalb des Gehäuses 2 angeordnet ist, in welchem gegenüber dem athmosphärischen
Druck geringerer Druck herrscht. Die innere Oberfläche eines jeden Schaftes liegt ausserhalb des Gehäuses
und wird deshalb vom athomosphärischen Druck beaufschlagt. Demzufolge wird immer eine Druckdifferenz vorhanden sein, die
radial gegen aussen auf jeden Schaft einwirkt, so dass dieser keiner Faltenbildung unterworfen wird. Gleichzeitig isoliert
der Schaft den horizontalen Rahmen 55 zusammen mit dem Rest des dadurch abgestützten optischen Systems von Vibrationseinflüssen,
welchem das Gehäuse durch den Impeller 41 und dessen Antrieb 42 unterworfen ist.
Bei dem in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiel eines Lasers sorgt das Gasleitungssystem 40 dafür, dass im
wesentlichen das gesamte Gas entlang eines Pfades strömt, der sich transversal zu jedem der Laserkanalzweige 3a - 3d erstreckt.
Wie es in der zuvor erwähnten deutschen Patentanmeldung P 33 30 238.3 vom 22. August 1983 ausführlicher beschrieben
ist, ist diese Massnahme in der Lage, optische Störungen weitgehend zu vermindern. Dazu kommt, neben weiteren wichtigen
Vorteilen, wie es weiter unten noch beschrieben werden wird, dass diese Massnahme ausserdem andere Störeinflüsse zu vermindern
vermag, welche die Stabilität der elektrischen Entladung im Lasergas beeinträchtigen könnten.
Aus den Figuren 2 und 3 ist deutlich zu sehen, dass ein jeder der Gaskanalzweige 4a - 4d einen (im Fall des Zweiges 4a) sich
axial erstreckenden Einlassbereich 71, einen sich radial erstreckenden Bereich 72 sowie Ablenkplatten 73 umfasst, welch
letztere beim Übergang der beiden Bereiche 71 und 72 angeordnet sind, um den Gasstrom vom axialen Bereich in den radialen
Bereich umzuleiten. Das elektrische Entladungssystem (in Figur 1 generell mit 5 bezeichnet) ist am oberen Ende des entspre-
chenclen, sich radial erstreckenden Bereiches 72 eines jeden
Kanals angeordnet. Das untere Ende eines jeden der sich radial erstreckenden Bereiche ist mit einem Paar von öffnungen 74 und
75 versehen, die deckungsgleich angegordnet sind und die zudem zu den entsprechenden Spiegeln des gefalteten optischen Systems
ausgerichtet sind, z.B. mit den Spiegeln 31 und 33 des optischen Systems.
Wie insbesondere aus der Figur 3 hervorgeht, besitzt der Laser ausserdem eine innere Trennwand 80 zwischen dem Impeller 41
und dem Wärmeaustauscher 46. Die Trennwand 80 ist entlang ihrer Peripherie mit der inneren Oberfläche des Gehäuses 2
verbunden. Sie ist ferner mit vier äusseren öffnungen 81 versehen;
jeweils eine dieser öffnungen nimmt das Einlassende des sich axial erstreckenden Bereiches (z.B. 71) eines jeden der
vier Gaskanäle 4a - 4d auf. Schliesslich besitzt die Wand 80 eine zentrale Öffnung, welche die Leitung 47 zwischen dem
Wärmeaustauscher 46 und dem Impeller 41 aufnimmt.
Diese Konstruktion bewirkt, dass die Trennwand 80 den Gasstrom vom Impeller 41 bzw. von dessen Diffusor 44 zu den Einlassbereichen
(z.B. 71) der vier Gasströmungskanäle 4a -4d leitet, von wo aus dieses entlang der sich axial erstreckenden Bereiche
und dann entlang der sich radial erstreckenden Bereiche (z.B. 72) strömt und in transversaler Richtung die Laserkanalzweige
3a - 3d am unteren Ende der Gasströmungskanäle passiert. Wie schon vorher erwähnt, wird das Lasergas mit Hilfe
des elektrischen Entladungssystems (5 in Figur 1) am oberen
Ende eines jeden der sich radial erstreckenden Bereiche angeregt und überträgt diese Energie an den Laserstrahl, wenn
dieser sich durch die öffnungen (z.B. 74 und 75) an den unteren Enden bewegt. Es wurde auch schon erwähnt, dass sich das
Gas erwärmt, währenddem es die entsprechenden Kanalabschnitte durchläuft, so dass die Temperatur des aus den Gasströmungskanälen
4a - 4d austretenden Gases höher ist als die Temperatur des eintretenden Gases. Das erwärmte Gas verlässt
die Gasströmungskanäle 4a - 4d im Bereich eines zentral gelegenen, gemeinsamen Sammlers und wird darauf mit Hilfe der
Wand 45 zum Wärmeaustauscher 46 geleitet. Schliesslich gelangt das Gas über die Leitung 47 durch die innere Trennwand
80 hindurch zum Impeller 41, wo es wieder in den Kreislauf zurückgelangt.
Die vorstehend beschriebene Anordnung bewirkt, dass im wesentlichen
das gesamte Gas in die vier Gaskanäle 4a - 4d, und zwar durch deren zugehörige Eintrittsbereiche (z.B. 71) gelangt,
ohne dass wesentliche Anteile des Gases über die Laseröffnungen (z.B. 74, 75 beim Zweig 4a) in die Gaskanäle gelangen
könnten. Man hat festgestellt, dass dies eine Anzahl von Vorteilen bringt, nebst den Vorteilen, die schon in der vorstehend
erwähnten deutschen Patentanmeldung P 33 30 23 8.3 vom 22. August 1983 geschildert worden sind. Neben der deutlichen
Verminderung der optischen Störungen, die bisher durch das durch die Laserstrahl-Öffnungen strömende Gas verursacht
wurden, hat sich herausgestellt, dass die Instabilitäten in der elektrischen Entladung deutlich verringert werden, die
bisher durch das durch die genannten Laseröffnungen strömende
Gas bewirkt wurden. Da im wesentlichen alles so in Strömung versetzte Gas durch das elektrische Feld hindurchtritt, welches
die Besetzungsumkehr bewirkt, kann zusätzlich eine bedeutende Steigerung des Wirkungsgrades des Lasers beobachtet
werden, im Vergleich zu einem Laser, bei dem ein Anteil des Gasstromes durch diejenigen Öffnungen im Gasströmungskanal
durchtritt, durch die der Laserstrahl passiert. Dazu kommt, dass die neuartige Anordnung einen Nutzen durch die Tatsache
ziehen kann, dass das Gas radial gegen Innen fliesst und so in optimaler Weise gekühlt werden kann, bezogen auf ein bestimmtes
Gerätevolumen.
Ein weiterer, wichtiger Aspekt der Erfindung ist darin zu erblicken, dass der Antriebsmotor 42 für den Impeller 41
direkt an der Wand des Gehäuses befestigt ist, wobei die Antriebswelle des Motors innerhalb des Gehäuses angeordnet und
mit dem ebenfalls innerhalb des Gehäuses angeordneten Impeller
41 gekoppelt ist. Diese Anodnung geht insbesonere aus der Figur 6 hervor, aus der auch zu entnehmen ist, dass der Motor
42 unter Zuhilfenahme einer Montageplatte 84 verankert ist. Diese ist an einem Flansch 85 befestigt, welcher seinerseits
mittels Befestigungsorganen 86 wegnehmbar an der Hinterwand 87 des Gehäuses 2 angebracht ist. Die Hinterwand 87 des Gehäuses
trägt den drehbaren Impeller 41, welch letzterer eine drehbare Welle 88 umfasst, die mit der Antriebswelle 89 des Antriebsmotors
42 gekoppelt ist, sofern letztere am Gehäuse befestigt ist. Die Antriebswelle 89 ist mit einem Mitnehmer 90 versehen,
welche in eine entsprechend ausgebildete Nut auf der Welle 88 des Impellers 41 eingreift, in der Weise, dass die Antriebswelle
89 des Antriebsmotors 42 mit der Welle 88 drehfest verbindbar ist, währenddem gleichzeitig eine axiale Verschiebung
der Motorwelle bezüglich der Impellerwelle stattfinden kann. Der Motor 42 ist wassergekühlt; das Kühlwasser gelangt durch
einen Einlass 91 in einen Kühlwasserlauf und verlässt diesen durch einen Auslass 92.
Die vorstehend beschriebene Anordnung gewährleistet zum einen eine verhältnsissmässig kurze, direkte Koppelung zwischen der
Antriebswelle 42 und dem Impeller 41 und vermindert zum andern durch Vibrationen verursachte Störungen, die vom Antriebsmotor
auf das optische System des Lasers übertragen werden könnten. Dazu kommt, dass auf diese Weise eine einfache Ankoppelung
des Antriebsmotors an den Impeller gewährleistet ist. Durch die Tatsache, dass der Motor 42 an einem Flansch 45
befestigt ist, der wegnehmbar an der Rückwand 87 des Gehäuses 2 angebracht ist, ist eine bequeme Zugangsöffnung in das
Innere des Lasergehäuses geschaffen, so dass Unterhalt oder Reparaturen erleichtert sind.
Vorzugsweise ist die Abschlusswand 93 (Figur 3) am gegenüberliegenden
Ende des Gehäuses 2 ebenfalls leicht abnehmbar befestigt, um einen weiteren Zugang zum inneren des Lasergehäuses
von der anderen Seite her zu schaffen. Zu diesem Zwecke kann die Abschlusswand 93 mit einem äusseren Flansch 94 versehen
sein, der wegnehmbar, mittels Befestigungsorganen 96, an einem
entsprechend ausgebildeten Flansch 95 des Gehäuses 2 befestigt ist.
In der Figur 7 ist ein weiteres Merkmal dargestellt, welches
mit Vorteil innerhalb des beschriebenen Lasersystems vorgesehen sein kann. Es ist nämlich eine feststehender ringförmige
Anordnung von Ablenkflügeln vorgesehen, die generell mit 100 bezeichnet und zwischen dem Auslassende des Impellers 41 und
den Einlassenden der Gasströmungskanälen 4a - 4d angeordnet sind. Diese Anordnung von Ablenkflügeln lenkt das den Impeller
41 verlassende Gas von einer radialen Richtung in eine axiale Richtung ab, während es die Einlassöffnungen der Gasströmungskanäle
erreicht. Eine weitere Wirkung dieser Flügel ist darin zu erblicken, dass sie einen Mehrkanal-Diffusor bilden, somit
die Strömungsgeschwindigkeit des Gases herabsetzen und gleichzeitig dessen dynamischen Druck aufbauen. Zudem wird zusätzlich
Wärme aus dem Gasstrom entzogen, bevor er die Kanäle 4a 4d erreicht; dadurch kann das Gas auf diejenige Temperatur
gebracht werden, die für den optimalen Betrieb des Lasersystems erforderlich ist.
Aus der Figur 7 geht hervor, dass die Ablenkflügelanordnung
100 zwei ringförmige Träger 102 und 10 4 umfasst, zwischen welchen eine Mehrzahl von Ablenkflügeln 106 in einer solchen
Ausrichtung angebracht sind, dass die Gasströmung in der in
vorstehend beschriebener Weise abgelenkt wird. Die gesamte Anordnung ist an der Innenfläche des Gehäuses 2 zwischem dem
Impeller 41 und der inneren Trennwand 80 festgemacht. Aus-
serdem sind Wasserleitungsröhren 108 vorgesehen, die vom äusseren,
ringförmigen Träger 102 gehalten sind, und zwar entlang
dessen äusserer Oberfläche und zwischen dieser und der Innenfläche
des Gehäuses 2. Weitere Kühlwasserrohre sind entlang der inneren Oberfläche des inneren, ringförmigen Trägers 104
vorgesehen. Durch diese Kühlwasserrohre wird eine Kühlflüssigkeit, wie z.B. tiefgekühltes Wasser, hindurchgeleitet, um
dem Gas soviel Wärme wie möglich zu entziehen, bevor es in die Gasströmkanäle 4a - 4d eintritt.
Wie schon zuvor erwähnt, ist der Wärmeaustauscher 46 zwischen dem gemeinsamen Sammelbereich an den ausgangsseitigen Enden
aller Gasströmkanäle 4a - 4d und dem Eingang des Impellers angeordnet, um den Hauptteil der Wärme aus dem Gasstrom zu
entziehen. Zum Betrieb dieses Wäremaustauschers kann ein preisgünstiges Kühlmedium, wie z.B. Leitungswasser, Verwendung
finden. Die Kühlrohre 108 und 110, die durch die ringförmigen Träger der Ablenkflügelanordnung 100 aufgenommen sind, entziehen
dem Gas weitere Wärme, bevor der Gasstrom die Strömungskanäle 4a - 4d erreicht, um das Gas auf eine solche Temperatur
abzukühlen, die für den optimalen Betrieb des Lasers erforderlich ist. Durch diese Kühlrohre kann ein teureres Kühlmedium
wie z.B. tiefgekühltes Wasser geleitet werden.
Der erfindungsgemässe Hochleistungs-Gasstromlaser wurde vorstehend
an Hand eines bevorzugten Ausführungsbeispieles beschrieben, wobei zahlreiche Variationsmöglichkeiten erläutert
worden sind. Es versteht sie von selbst, dass im Rahmen der
333541D
Erfindung zahlreiche weitere Variationen und Modifikationen
sowie viele Anwendungsmöglichkeiten denkbar sind.
Claims (10)
- PatentansprücheIy Hochleistungs-Gasstromlaser mit einem äusseren Gehäuse, das eine Aussenwand besitzt, die einer Differenz zwischen Innendruck und athmosphärischein Druck zu widerstehen imstande ist, mit Befestigungsmitteln zur Montage des Gehäuses an einem Träger, mit einem optischen System, welches einen innnerhalb des Gehäuses angeordneten Laserkanal umfasst, mit einem innerhalb des Gehäuses angeordneten Impeller zur Erzeugung eines Gasstromes durch diesen Laserkanal, und mit einer Antriebsvorrichtung zum Antrieb dieses Impellers, dadurch gekennzeichnet, dass dieser Laser ferner unabhängige Tragmittel zur Befestigung dieses optischen Systems auf diesem Träger umfasst, welche Tragmittel unabhängig von den Befestigungsmitteln zur Montage des Gehäuses sind, um das optische System von durch Vibrationen des Impellers und dessen Antriebsvorrichtung hervorgerufenen Störungen zu isolieren, und dass das Gehäuse mit abgedichteten Durchführungen versehen ist, welche die genannten, unabhängigen Tragmittel einerseits mit dem optischen System und andererseits mit dem Träger verbinden.
- 2. Laser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die unabhängigen Tragmittel zur Abstützung des optischen Systems eine Mehrzahl von Füssen umfassen, wobei jeder dieser Füsse mit einer abgedichteten Durchführung durch die Wand des Lasergehäuses versehen ist.
- 3. Laser nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass diese Füsse im Bereich ihres unteren Endes an einer gemeinsamen, schweren Grundplatte verankert sind.
- 4. Laser nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die abgedichtete Durchführung eines jeden Fusses einen sich zwischen dem zugeordneten Fuss und der Gehäusewand erstreckenden, elastomeren Schaft umfasst, wobei die Aussenflache eines jeden Schaftes im Inneren des Gehäuses angeordnet und einem Druck ausgesetzt ist, der geringer als der athmosphärische Druck ist, und wobei die innere Oberfläche eines jeden Schaftes
ausserhalb des Gehäuses angeordnet und dem athmosphärischen Druck ausgesetzt ist, so dass dieser Schaft keiner Faltenbildung unterworfen ist. - 5. Laser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Befestigungsmittel zur Montage des Gehäuses eine Mehrzahl von Füssen umfasst, die je mit einem Isolator gegen vibration
versehen sind. - 6. Laser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Antriebsmotor des Impellers an einer Rückwand des Gehäuses befestigt ist, wobei die Motorantriebswelle innerhalb dieses Gehäuses angeordnet und mit dem ebenfalls innerhalb des Gehäuses angeordneten Impeller gekoppelt ist.
- 7. Laser nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Befestigung des Antriebsmotors des Impellers mittels einesMontageflansches erfolgt, der vom Gehäuse wegnehmbar ist, um eine Zugangsöffnung in das Innere des Gehäuses zu schaffen.
- 8. Laser nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die der genannten Rückwand gegenüberliegende Wand des Gehäuses wegnehmbar ausgebildet ist, um eine weitere Zugangsöffnung in das Innere des Gehäuses zu schaffen, die der genannten Zugangsöffnung gegenüberliegt.
- 9. Laser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Laserkanal des optischen Systems mindestens einen Laserkanalzweig umfasst, dass der Laser für jeden der Laserkanalzweige einen Gasströmungskanal aufweist, wobei jeder dieser Gasströmungskanäle ein elektrisches Entladungssystem umfasst, um den hindurchfliessenden Gasstrom anzuregen, dass ferner gegeneinander ausgerichtete Durchtrittsöfnnungen für den Laserstrahl der zugehörigen Kanalzweige vorgesehen sind, und dass schliesslich Gasleitungskanäle vorhanden sind, die die Gasströmung durch jeden Laserkanalzweig so leiten, dass er transversal durch die genannten Durchtrittsöffnungen für den Laserkanal fliesst.
- 10. Laser nach Ansruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass das optische System einen gefalteten Laserkanal umfasst, der durch eine Mehrzahl von in polygonaler Konfiguration angeordneten Laserkanalzweigen gebildet ist, wobei einem jeden dieser Laserkanalzweige ein Gasströmungskanal zugeordnet ist, und wobei innerhalb dieses Polygons ein Sammelbereich für das Gas vorge-sehen ist, welches von der Aussensexte der Laserkanaizweige radial gegen Innen strömt.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US06/431,014 US4578792A (en) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | High-power lasers |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3335410A1 true DE3335410A1 (de) | 1984-04-05 |
Family
ID=23710069
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19833335410 Withdrawn DE3335410A1 (de) | 1982-09-30 | 1983-09-29 | Hochleistungslaser |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4578792A (de) |
JP (1) | JPS5979587A (de) |
DE (1) | DE3335410A1 (de) |
GB (1) | GB2129203B (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0205729A2 (de) * | 1985-06-06 | 1986-12-30 | Laser Corporation Of America | Gaslaser mit thermisch stabiler optischer Halterung |
FR2651385A1 (fr) * | 1989-08-29 | 1991-03-01 | Tzn Forschung & Entwicklung | Dispositif a laser selon le principe du transport des gaz. |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3344714A1 (de) * | 1983-12-10 | 1985-06-20 | Battelle-Institut E.V., 6000 Frankfurt | Gastransportlaser mit axialer gasstroemung |
GB2195045B (en) * | 1983-12-29 | 1988-09-21 | Amada Eng & Service | High-speed axial flow type gas laser oscillator |
US5468718A (en) * | 1985-10-21 | 1995-11-21 | Ici Americas Inc. | Liquid, phytoactive compositions and method for their preparation |
SE460570B (sv) * | 1987-10-13 | 1989-10-23 | Trumpf Gmbh & Co | Anordning foer en effektlaser |
JPH025585A (ja) * | 1988-06-24 | 1990-01-10 | Fanuc Ltd | レーザ発振装置 |
JPH0232579A (ja) * | 1988-07-22 | 1990-02-02 | Fanuc Ltd | レーザ発振装置 |
US6554798B1 (en) | 1998-08-18 | 2003-04-29 | Medtronic Minimed, Inc. | External infusion device with remote programming, bolus estimator and/or vibration alarm capabilities |
US7713229B2 (en) | 2003-11-06 | 2010-05-11 | Lifescan, Inc. | Drug delivery pen with event notification means |
GB2497947B (en) * | 2011-12-22 | 2017-09-06 | The Science And Tech Facilities Council | Mounting vane for optical element of a laser |
EP3410549B1 (de) * | 2016-01-26 | 2022-08-31 | FUJIFILM Corporation | Laservorrichtung |
JP6434443B2 (ja) * | 2016-04-15 | 2018-12-05 | ファナック株式会社 | ファイバレーザ発振器 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3860889A (en) * | 1973-12-26 | 1975-01-14 | United Aircraft Corp | Stable platform structure for laser optics |
US3858122A (en) * | 1973-12-26 | 1974-12-31 | United Aircraft Corp | Vibration isolation in a gas laser |
US3900804A (en) * | 1973-12-26 | 1975-08-19 | United Aircraft Corp | Multitube coaxial closed cycle gas laser system |
NL7907597A (nl) * | 1979-10-15 | 1981-04-21 | Philips Nv | Gasontladingslaserinrichting. |
US4486887A (en) * | 1982-08-23 | 1984-12-04 | Metalworking Lasers International Ltd. | High-power lasers |
-
1982
- 1982-09-30 US US06/431,014 patent/US4578792A/en not_active Expired - Lifetime
-
1983
- 1983-09-21 JP JP58176154A patent/JPS5979587A/ja active Pending
- 1983-09-28 GB GB08325870A patent/GB2129203B/en not_active Expired
- 1983-09-29 DE DE19833335410 patent/DE3335410A1/de not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0205729A2 (de) * | 1985-06-06 | 1986-12-30 | Laser Corporation Of America | Gaslaser mit thermisch stabiler optischer Halterung |
EP0205729A3 (en) * | 1985-06-06 | 1987-09-16 | Laser Corporation Of America | Gas laser having thermally stable optical mount |
FR2651385A1 (fr) * | 1989-08-29 | 1991-03-01 | Tzn Forschung & Entwicklung | Dispositif a laser selon le principe du transport des gaz. |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2129203B (en) | 1986-06-25 |
GB2129203A (en) | 1984-05-10 |
GB8325870D0 (en) | 1983-11-02 |
US4578792A (en) | 1986-03-25 |
JPS5979587A (ja) | 1984-05-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3335410A1 (de) | Hochleistungslaser | |
EP0427229A2 (de) | Laser | |
EP0111045B1 (de) | Laseranordnung | |
DE2546511B2 (de) | Hochleistungs-Gaslaser | |
WO1988009578A1 (en) | Gas laser | |
DE2303368C2 (de) | Gaslaser | |
DE4331054B4 (de) | Gaslaser-Oszillator mit Mikrowellenanregung | |
EP1525646B1 (de) | Gasentladungslaser | |
DE3782215T2 (de) | Elektrisches entladungssystem in einem gas mit grossem volumen. | |
EP0272429B1 (de) | Gastransportlaser | |
DE3330238C2 (de) | Hochleistungs-Gasstromlaser | |
DE1166931B (de) | Geometrische Ausgestaltung des Reaktionsraumes fuer selektive Fluoreszenz eines optischen Senders oder Verstaerkers | |
EP1505855B1 (de) | Driftröhrenbeschleuniger zur Beschleunigung von Ionenpaketen | |
DE3734570C2 (de) | Vorrichtung für einen längsgeströmten CO¶2¶-Leistungslaser | |
DE3109079A1 (de) | "gaslaseranordnung mit gasumlauffuehrung" | |
EP0610170B1 (de) | Gaslaser | |
EP1280246B1 (de) | Gasentladungslaser | |
DE60105211T2 (de) | Gaslaser | |
DE4102123A1 (de) | Laengsgestroemter gaslaser | |
DE4102125C2 (de) | Quergeströmter Gaslaser | |
DE3926734C2 (de) | Gaslaser | |
DE3923624A1 (de) | Verfahren zum betrieb eines gaslasers, insbesondere eines co(pfeil abwaerts)2(pfeil abwaerts)-lasers, mit gasstroemung quer zu seiner optischen achse und gaslaser zur durchfuehrung des verfahrens | |
DE3923625A1 (de) | Verfahren zum betrieb eines gaslasers, insbesondere eines co(pfeil abwaerts)2(pfeil abwaerts)-lasers, mit gasstroemung quer zu seiner optischen achse und gaslaser zur durchfuehrung des verfahrens | |
DE69707521T2 (de) | Laseroszillator | |
DE4238359C2 (de) | Vakuumkammer zum Einsatz in Beschleunigungseinrichtungen für Elementarteilchen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |