DE3238847C2 - Profilprojektionsvorrichtung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Profilprojektionsvorrichtung mit einer Lichtquelle, einer Halterung zur Aufnahme eines Werkstückes, einer Beleuchtungseinrichtung mit Kondensorlinsen zur Beleuchtung des durch die Halterung gehalterten Werkstückes und mit einer Projektionseinrichtung mit Projektionslinsen zum Erzeugen eines vergrößerten Bildes des Werkstücks auf einem Schirm unter Verwendung von von dem Werkstück reflektierten und durch dieses hindurch getretenen Lichtes.

Eine solche Projektionsvorrichtung, welche in Fig. 1 dargestellt ist, ist aus der Druckschrift "DE-Prospekt Großer Profilprojektor GP 650, Leitz, 1968" bekannt. Diese Projektionsvorrichtung umfaßt eine Lichtquelle 1, eine Halterung 2, auf welcher ein Werkstück anzuordnen ist, eine Beleuchtungseinrichtung 3 mit Kondensorlinsen zur Beleuchtung des auf der Halterung 2 angeordneten Werkstückes und eine Projektionseinrichtung 5 mit Projektionslinsen, um die Form des Werkstückes zu vergrößern und ein Bild von diesem auf einem Schirm 4 abzubilden, wobei von dem Werkstück reflektiertes oder durch dieses hindurch gegangenes Licht verwandt wird.

Projektionsvorrichtung für Mikroskope mit einer Beleuchtungseinrichtung mit Kondensorlinsen zur Beleuchtung eines Objekts und mit einer Projektionseinrichtung mit Projektionslinsen sind aus den Druckschriften US 36 19 035 und US 38 33 282 bekannt.

Bei der herkömmlichen, beschriebenen Projektionsvorrichtung müssen, um die Bildvergrößerung des auf dem Schirm 4 abgebildeten Werkstückes zu verändern, die Projektionslinsen in der Projektionseinrichtung 5 durch andere ersetzt werden, durch welche die Vergrößerung nach und nach beispielsweise auf das 5-, 10-, 20-, 50fache usw. verändert wird.

Bei der beschriebenen Konstruktion können nur bestimmte festgelegte Vergrößerungswerte erhalten werden und es muß jedesmal, wenn die Projektionslinsen ausgetauscht werden, die Beleuchtungseinrichtung 3 eingestellt werden, um eine der eingestellten Vergrößerung der Projektionslinsen entsprechende Beleuchtungseinrichtung zu erhalten. Dies stellt Nachteile dar, da ein kompliziertes Vorgehen erforderlich ist, weil die in der Projektionseinrichtung 5 vorgesehenen Projektionslinsen der Anzahl von änderbaren Vergrößerungen entsprechen müssen. Ferner ergibt sich eine komplizierte Ausgestaltung der Konstruktion zur Änderung der Vergrößerung, und insgesamt ist die Bauweise sehr raumbeanspruchend.

Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine gegenüber dem Stand der Technik verbesserte Projektionseinrichtung für Werkstücke der eingangs erwähnten Art zu schaffen.

Die erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe ist dadurch gekennzeichnet, daß die Kondensorlinsen der Beleuchtungseinrichtung und die Projektionslinsen der Projektionseinrichtung nach dem Vario-Prinzip arbeiten, daß die Projektionseinrichtung mit einer Einstelleinrichtung für die Vergrößerung und die Beleuchtungseinrichtung mit einer Einstelleinrichtung für die Beleuchtung verbunden ist, und daß eine der beiden Einstelleinrichtungen mit einer Sensoreinrichtung für die Ermittlung eines für eine vom Benutzer der Vorrichtung über diese eine Einstelleinrichtung einstellbare Vergrößerung oder Beleuchtung repräsentativen Meßwertes verbunden ist, und daß die andere Einstelleinrichtung eine mit dieser Sensoreinrichtung verbundene Steuereinrichtung zur Ermittlung eines Einstellwertes aus dem repräsentativen Meßwert auf der Grundlage einer vorbestimmten Beziehung zwischen dem repräsentativen Meßwert und dem Einstellwert enthält, um für eine nachträgliche automatische Anpassungseinstellung der Beleuchtung oder Vergrößerung durch die andere Einstelleinrichtung vorzunehmen.

Die wesentlichen Vorteile dieser erfindungsgemäßen Lösung bestehen darin, daß zur Veränderung der Abbildungsvergrößerung kein Austausch von Linsen erfolgen muß, und daß die Einstellung kontinuierlich erfolgen kann. Indem die Anpassungseinstellung der Beleuchtung automatisiert ist, kann ein Einstellungsvorgang für eine Vergrößerung sehr schnell abgewickelt werden. Durch die erfindungsgemäße Lösung ist eine einfache Konstruktion und eine kompakte Bauweise gewährleistet. Durch die erfindungsgemäße Erfassung, beispielsweise der eingestellten Vergrößerung, durch einen Sensor, der einen für die eingestellte Vergrößerung repräsentativen Wert liefert, der der Steuerungseinrichtung zur automatischen Anpassungseinstellung der Beleuchtung zugeführt werden kann, ist es möglich, je nach den Beleuchtungserfordernissen unterschiedliche funktionale Zuordnungen zwischen dem Meßwert und dem durch die Steuerungseinrichtung aus dem Meßwert ermittelten Einstellwert vorzusehen.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Sensoreinrichtung mit der Projektionseinrichtung verbunden.

In weiterer vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung kann zusätzlich zu der den Meßwert ermittelnden Sensoreinrichtung eine mit der Beleuchtungseinrichtung bzw. der Projektionseinrichtung verbundene Sensoreinrichtung zur Ermittlung eines Steuersignals für eine Rückkopplungssteuerung für die nachträglich automatische Anpassungseinstellung der Beleuchtung bzw. der Vergrößerung durch die andere Einstelleinrichtung vorgesehen sein. Die Projektionseinrichtung umfaßt erfindungsgemäß eine Sensoreinrichtung, welche entweder bei den Projektionslinsen oder den Kondensorlinsen befestigt ist, um eine Vergrößerung oder einen Beleuchtungsbereich zu erfassen, und eine weitere Einstelleinrichtung, um die anderen der Projektionslinsen oder Kondensorlinsen in Abhängigkeit von einem Erfassungssignal von der Sensoreinrichtung zu betätigen und einen Beleuchtungsbereich oder eine Vergrößerung entsprechend der Art der erfaßten Vergrößerung oder des erfaßten Beleuchtungsbereichs einzustellen.

Erfindungsgemäß umfaßt die Einstelleinrichtung in der vorgenannten Projektionseinrichtung eine Vergrößerungseinstellung, eine Betätigungseinrichtung, um entweder die Projektionslinsen oder die Kondensorlinsen in Abhängigkeit von einem Vergrößerungssignal von der Vergrößerungseinstellung zu betätigen, eine bei den von der Betätigungseinrichtung betätigten Projektionslinsen oder Kondensorlinsen befestigte Sensoreinrichtung, um deren Vergrößerung oder einen Beleuchtungsbereich zu erfassen und eine Betätigungseinrichtung, um die anderen der Kondensor-Linsen oder Projektionslinsen in Abhängigkeit von einem Erfassungssignal von der Sensoreinrichtung zu betätigen und ein Beleuchtungsbereich oder eine Vergrößerung entsprechend der erfaßten Vergrößerung oder des erfaßten Beleuchtungsbereichs einzustellen.

In der vorgenannten Vorrichtung führt erfindungsgemäß die Betätigungseinrichtung ein Korrektursignal zurück, um dadurch gesteuert zu werden, nachdem das Erfassungssignal zum Erfassen einer Vergrößerung oder eines Beleuchtungsbereichs von der Erfassungseinrichtung, welche entweder bei den Projektionslinsen oder den Kondensorlinsen vorgesehen ist, die von der Betätigungseinrichtung betätigt werden, in einer Vergleichseinrichtung mit einem Bezugssignal verglichen worden ist.

Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungs­ beispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher er­ läutert. Es zeigt:

Fig. 1 eine Anordnung eines optischen Systems bei einer Projektionsvorrichtung nach dem Stand der Technik,

Fig. 2 die Darstellung einer Anordnung, welche teilweise ein Blockdiagramm umfaßt, eines optischen Systems nach einer Ausführungs­ form einer Projektionsvorrichtung nach der Erfindung,

Fig. 3 eine Seitenansicht in größerem Maßstab der wesentlichen Bauelemente der vorgenannten Ausführungsform im ausgebauten Zustand,

Fig. 4 eine Draufsicht, die die Wirkung der vorge­ nannten Ausführungsform zeigt,

Fig. 5 die Darstellung einer Anordnung einer zweiten Ausführungsform einer Projektionsvorrichtung nach der Erfindung ähnlich der Fig. 2,

Fig. 6 im größeren Maßstab eine Schnittdarstellung des Beleuchtungssystems bei der zweiten Aus­ führungsform,

Fig. 7 eine Schnittdarstellung im größeren Maß­ stab, die das Projektionssystem der zweiten Ausführungsform zeigt, und

Fig. 8 bis 10 Darstellungen von Anordnungen einer dritten bis fünften Ausführungsform einer Projektions­ vorrichtung nach der Erfindung, welche derjenigen gemäß Fig. 2 ähnlich sind.

In der folgenden Beschreibung bezeichnen die gleichen Bezugs­ zeichen ähnliche oder die gleichen Elemente in den Figuren.

Im folgenden wird eine Ausführungsform beschrieben.

Bei dieser Ausführungsform werden die gleichen Bezugszeichen wie bei der in Fig. 1 dargestellten Projektionsvorrichtung nach dem Stand der Technik verwandt, um dieselben oder ähnlichen Teile zu bezeichnen.

Bei der inFig. 2 dargestellten Ausführungsform umfaßt die Projektionsvorrichtung eine Lichtquelle 1, eine Halterung 2 zur Befestigung eines Werkstückes, eine Beleuchtungsein­ richtung 13 mit Kondensorlinsen 13A vom Variotyp zur Be­ leuchtung des in der Halterung 2 befestigten Werkstückes, eine Projektionseinrichtung 15 mit Projektionslinsen 15A vom Variotyp, um die Form des Werkstückes zu vergrößern und ein Bild von diesem auf einem Schirm 4 zu erzeugen, indem von dem Werkstück reflektiertes oder durch dieses hindurchgegangenes Licht verwandt wird, eine Vergrößerung- Erfassungseinrichtung 6, um eine eingestellte Vergrößerung der Vario-Projektionslinsen 15A zu erfassen, und eine Ein­ stelleinrichtung 7 um die Vario-Kondensorlinsen 13A anzu­ treiben und innerhalb eines Beleuchtungsbereiches in einer Lage einzustellen, welche der eingestellten Vergrößerung der Vario-Projektionslinsen entspricht, die durch die Vergrößerungs-Erfassungseinrichtung 6 festgestellt worden ist.

Die Vario-Projektionslinsen 15A werden bei der vorgenannten Projektionseinrichtung 15 von Hand in Übereinstimmung mit einer Skalenstufenfolge oder einem auf dem Schirm 4 er­ zeugten Bild bewegt, wodurch ihre Vergrößerung eingestellt wird.

Gemäß Fig. 3 umfaßt die Vergrößerung-Erfassungseinrichtung 6 eine Schlitzscheibe 6A, welche koaxial an einer drehbaren Linsenfassung 15B der Vario-Projektionslinsen in der Pro­ jektionseinrichtung 15 vorgesehen ist, und ein lichtaus­ sendendes Element 6B und ein Lichtempfangselement 6C die ober- und unterhalb einem an der Schlitzscheibe 6A ausge­ bildeten optischen Muster angeordnet sind, wobei ein die Vergrößerung anzeigendes Signal, welches der Vergrößerung der Vario-Projektionslinsen 15A entspricht, aufgrund des Drehwinkels der drehbaren Linsenfassung 15B erzeugt wird, um dadurch die eingestellte Vergrößerung der Vario-Pro­ jektionslinsen zu erfassen.

Die vorgenannte Einstelleinrichtung 7 umfaßt eine Rechen­ einheit 8, einen Verstärker 9 und einen Motor 10.

Die Recheneinheit 8 sendet ein Antriebssignal in Abhängig­ keit von dem Erfassungssignal von der Vergrößerung-Er­ fassungseinrichtung 6 aus, um dadurch zu bewirken, daß der Beleuchtungsbereich der Vario-Kondensorlinsen 13A in der Beleuchtungseinrichtung 13 der eingestellten Ver­ größerung der Vario-Projektionslinsen 15A entspricht, wel­ che durch die Vergrößerung-Erfassungseinrichtung 6 fest­ gestellt worden ist.

Der Verstärker 9 verstärkt ein Ausgangssignal von der Recheneinheit 8 und gibt das verstärkte Signal an den Motor 10. In Abhängigkeit von dem zugeführten Signal treibt der Motor 10 über ein Antriebszahnrad 10A ein Zahnrad 13C, welches einstückig an der drehbaren Linsenfassung der Vario-Kondensorlinsen 13A in der Beleuchtungseinrichtung 13 ausgebildet ist, um dadurch das Zahnrad 13C in eine Stellung zu bewegen, in der der das Werkstück in der Halterung 2 beleuchtende Beleuchtungsstrahlengang der Vergrößerung der Vario-Projektionslinsen 15A entspricht.

Bei der vorliegenden Ausführungsform kann, da sowohl die Beleuchtungseinrichtung 13 als auch die Projektionsein­ richtung 15 vom Variotyp sind, eine erwünschte Vergrößerung erhalten werden, und es ist kein Austausch von Projektions­ linsen erforderlich, wodurch der Vorteil erreicht wird, daß die beim Stand der Technik erforderliche, mühsame Ein­ stellung des Beleuchtungssystems bei jedem Austausch der Linsen ausgeschlossen ist. Ferner weist die Vorrichtung eine einfache Konstruktion und eine kompakte Bauweise auf.

Ferner kann, wenn wie vorhergehend beschrieben Vario- Projektionslinsen 15A verwandt werden, wenn die Spitze eines Schneidstahls 16 zu einem Fadenkreuz 17, wie es in Fig. 4 gezeigt ist ausgerichtet werden soll, die Spitze des Schneidstahls 16 ohne weiteres zu dem Faden­ kreuz 17 einfach dadurch ausgerichtet werden, daß die Vergrößerung der Vario-Projektionslinsen 15A verändert wird, ohne daß der sich auf der Halterung 2 befindende Schneidstahl 16 bewegt werden muß, woraus sich der Vorteil ergibt, daß die Untersuchung des Schneidwinkels des Schneid­ stahls 16 und ähnliches ohne weiteres und schnell durchge­ führt werden kann.

Bei der vorgenannten Ausführungsform umfaßt die Einstell­ einrichtung 7 zum Antreiben der Vario-Kondensorlinsen 13A in der Beleuchtungseinrichtung 13 eine Recheneinheit 8, einen Verstärker 9 und einen Motor 10. Jedoch kann die Einstelleinrichtung 7 durch eine solche ersetzt werden, welche die Vario-Kondensorlinsen 13A in Abhängigkeit von einem Erfassungssignal von der Vergrößerung-Erfassungs­ einrichtung 6 antreibt, so daß der eingestellten Ver­ größerung der Vario-Projektionslinsen 15A entsprechende Beleuchtungsstrahlengänge erhalten werden. Jedoch soll diese Ausgestaltung keine Einschränkung der Einstellein­ richtung darstellen.

Eine zweite Ausführungsform wird im folgenden unter Be­ zugnahme auf die Fig. 5 näher erläutert.

Fig. 5 zeigt diese Ausführungsform in einer Projektions­ vorrichtung, in der ein sich auf der Halterung 2 be­ findendes Werkstück mit einer Beleuchtungseinrichtung 13 beleuchtet und ein Bild der Form des Werkstückes mit dem von diesem durchgelassenen oder reflektierten Licht auf dem Schirm 4 mittels der Vergrößerung-Projektion-Ein­ richtung 15 erhalten wird, wobei die Kondensorlinsen 13A in der Beleuchtungseinrichtung 13 und die Projektions­ linsen 15A in der Vergrößerung-Projektion-Einrichtung 15 als Linsen vom Variotyp ausgebildet sind und eine Ein­ stelleinrichtung 18 vorgesehen ist, damit der Beleuchtungs­ bereich der Kondensorlinsen 13A in der Beleuchtungsein­ richtung 13 der Projektionsvergrößerung der Projektions­ linsen 15A in der Vergrößerungs-Projektions-Einrichtung 15 entspricht.

Gemäß Fig. 6 weist die Beleuchtungseinrichtung 13 eine drehbare Linsenfassung 13B auf, um eine oder mehrere Lin­ sen auf der Bewegungsseite anzutreiben, und die drehbare Linsenfassung 13B ist koaxial und einstückig am äußeren Umfang mit dem Zahnrad 13C versehen.

Das Zahnrad 13C kämmt über ein Leerlaufzahnrad 19 mit dem Antriebszahnrad 10A, welches auf der Abtriebswelle 10B des Motors 10 befestigt ist, wodurch die drehbare Linsen­ fassung 13B von dem Motor 10 angetrieben werden kann.

An der drehbaren Linsenfassung 13B ist eine Schlitz­ scheibe 20A zur gemeinsamen Drehung mit jener befestigt. Diese Schlitzscheibe 20A ist in Umfangsrichtung mit einem optischen Gitter ausgebildet. Ein lichtaussendendes Element 20B und ein Lichtempfangselement 20C sind in gegenüber­ liegender Beziehung zu dem optischen Gitter der Schlitz­ scheibe 20A angeordnet, und das optische Gitter stellt eine Beleuchtungsbereich-Erfassungseinrichtung 20 (einen fotoelektrischen Dreh-Dekodierer) dar, welcher eine Dreh­ stellung der drehbaren Linsenfassung 13B erfaßt, um einen Beleuchtungsbereich der Kondensorlinsen 13A abzutasten. Mit dem Bezugszeichen 13D ist in der Zeichnung eine orts­ feste Linsenfassung für die Vario-Kondensorlinsen 13A be­ zeichnet.

Ferner sind, wie es Fig. 7 zeigt, ein Zahnrad 15C und die Schlitzscheibe 6A an der drehbaren Linsenfassung 15B der Vergrößerung-Projektion-Einrichtung 15 in der gleichen Weise wie bei der Beleuchtungseinrichtung 13 vorgesehen, und das Zahnrad 15C kämmt über ein Leerlauf Zahnrad 21 mit einem Antriebszahnrad 21B, welches auf einer Abtriebs­ welle 22A eines Motors 22 befestigt ist, wodurch die dreh­ bare Linsenfassung 15B von dem Motor 22 antreibbar ist.

Die Schlitzscheibe 6A, welche zwischen dem lichtaussenden­ den Element 6B und einem Lichtempfangselement 6C angeordnet ist, bildet die Vergrößerung-Erfassungseinrichtung 6, wo­ durch der Drehwinkel der drehbaren Linsenfassung 15B abge­ tastet wird, so daß die Vergrößerung der Projektionslinsen 15A entsprechend dem so abgetasteten Drehwinkel festge­ stellt werden kann. Mit dem Bezugszeichen 15D ist eine ortsfeste Linsenfassung und mit 15E ein Empfangsabschnitt 15E für reflektiertes Beleuchtungslicht bezeichnet.

Gemäß Fig. 5 umfaßt die Abstimmeinrichtung 18 eine Ver­ größerungseinstellung 23, eine Hauptverarbeitungsein­ heit 24, den Verstärker 9 zur Verstärkung eines Steuer­ signals von dieser Hauptverarbeitungseinheit 24, welches dem Motor 10 zugeführt wird, eine Antriebseinrichtung mit dem Motor 10, um die drehbare Linsenfassung 13B der Konden­ sorlinsen 13A anzutreiben, einen Verstärker 26 zur Verstär­ kung eines Steuersignals von der Hauptverarbeitungseinheit 24, welches dieses verstärkte Signal dem Motor 22 zuführt, eine dem Motor 22 umfassende Antriebseinrichtung 27 zum An­ treiben der drehbaren Linsenfassung 15B der Projektions­ linsen 15A, die Erfassungseinrichtung 20 für den Beleuch­ tungsbereich mit der Schlitzscheibe 20A, dem lichtaussenden­ den Element 20B und dem Lichtempfangselement 20C, eine Vergleichseinrichtung 28 zum Vergleichen eines Ausgangssig­ nals von der Erfassungseinrichtung 20 für den Beleuchtungs­ bereich mit einem Bezugssignal von der Hauptverarbeitungs­ einheit 24, wobei das Ausgangssignal der Vergleichseinrich­ tung der Hauptverarbeitungseinheit 24 zugeführt wird, die Vergrößerung-Erfassungseinrichtung 6 mit der Schlitzscheibe 6A, dem lichtaussendenden Element 6B und dem Lichtempfangs­ element 6C, eine Vergleichseinrichtung 29 zum Vergleichen eines Ausgangssignals von der Vergrößerung-Erfassungs-Ein­ richtung 6 mit einem Bezugssignal von der Hauptverarbeitungs­ einheit 24, wobei das Signal der Vergleichseinrichtung der Hauptverarbeitungseinheit 24 zugeführt wird, und eine Anzei­ geeinrichtung 30, um die von der Vergrößerungseinstellung 23 in Abhängigkeit von einem Signal von der Hauptverarbeitungs­ einheit 24 eingestellte Vergrößerung anzuzeigen.

Die Hauptverarbeitungseinheit 24 in der Einstelleinrichtung 18 steuert die Antriebseinrichtung 27, um die drehbare Lin­ senfassung 15B der Projektionslinsen 15A in Abhängigkeit von einem eingestellten Vergrößerungssignal-Steuersignal von der Vergrößerungseinstellung 23 anzutreiben, und stellt die Vergrößerung auf diesen angegebenen Wert ein und steuert parallel dazu die Antriebseinrichtung 25 über den Verstärker 9, wodurch ein Beleuchtungsbereich der Kondensorlinsen 13A entsprechend der Vergrößerung der Projektionslinsen 15A ein­ gestellt wird.

Die Erfassungssignale von der Vergrößerung-Erfassungseinrich­ tung 6 und der Erfassungseinrichtung 20 für den Beleuchtungs­ bereich erreichen die Hauptverarbeitungseinheit 24 über die Vergleichseinrichtungen 29 und 28, und Steuersignale von der Hauptverarbeitungseinheit 24 werden den Motoren 22 und 10 zugeführt, um eine Rückkopplungssteuerung durchzuführen.

Bei dieser Ausführungsform werden, wenn die Vergrößerung­ einstellung 23 eine Vergrößerung steuert, die Projektions­ linsen 15A und die Kondensorlinsen 13A derart eingestellt, daß eine erwünschte Vergrößerung und ein dieser Vergröße­ rung entsprechender Beleuchtungsbereich eingestellt wer­ den, woraus sich der Vorteil ergibt, daß eine Projektions­ untersuchung eines Werkstückes und ähnlichem schnell und ein­ fach ausgeführt werden kann.

Bei der vorgenannten Ausführungsform werden der Beleuchtungs­ bereich der Kondensorlinsen 13A in der Beleuchtungseinrich­ tung 13 und die Vergrößerung der Projektionslinsen 15A in der Vergrößerung-Projektion-Einrichtung 15 gleichzeitig durch die Vergrößerung-Einstellung 23 eingestellt, wobei jedoch der Beleuchtungsbereich der Kondensorlinsen 13A und die Ver­ größerung der Projektionslinsen 15A so eingestellt werden können, daß sie einander folgen, oder entweder die Vergröße­ rung oder der Beleuchtungsbereich können von Hand einge­ stellt werden.

Es ergibt sich somit, daß die Erfindung mit verschiedenen Aus­ führungsformen ausgestaltet sein kann, wie es das zweite bis vierte Ausführungsbeispiel zeigen, welche in den Fig. 8 bis 10 dargestellt sind.

Fig. 8 zeigt eine Ausbildung eines optischen Systems bei der dritten Ausführungsform der Projektionsvorrichtung nach der Erfindung, welche ähnlich derjenigen gemäß Fig. 2 ist.

Im Gegensatz zu der zweiten Ausführungsform die in Fig. 5 gezeigt ist, bei der die Projektionslinsen 15A und die Kondensorlinsen 13A parallel bezüglich der Vergrößerung und des Beleuchtungsbereiches durch die Vergrößerungsein­ stellung 23 eingestellt werden, wird bei dieser zweiten Ausführungsform zuerst die Vergrößerung der Projektions­ linsen 15A durch die Vergrößerungseinstellung 23 und an­ schließend ein Beleuchtungsbereich der Kondensorlinsen 13A in Übereinstimmung mit dieser Vergrößerung eingestellt.

Der Beleuchtungsbereich der Kondensorlinsen 13A wird stufenweise durch eine Hauptverarbeitungseinheit 31 auf der Seite der Kondensorlinsen 13A in Übereinstimmung mit der Vergrößerung der Projektionslinsen 15A eingestellt.

Da die übrige Ausbildung bei dieser Anordnung identisch mit derjenigen in Fig. 5 ist, sind die gleichen Bezugszeichen benutzt worden, um die gleichen oder ähnliche Teile zu bezeichnen und deren Beschreibung wird unterlassen.

Verglichen mit der zweiten Ausführungsform, die in Fig. 5 gezeigt ist, wird bei der dritten Ausführungsform die Ver­ größerung der Projektionslinsen 13A zuerst eingestellt und anschließend wird der Beleuchtungsbereich der Kondensor­ linsen 15A in Übereinstimmung mit der gerade vorliegenden Vergrößerung gesteuert, woraus sich der Vorteil ergibt, daß die Möglichkeit des Auftretens eines Hinterherlaufens in dem Steuersystem ausgeschlossen werden kann.

Im folgenden wird die vierte Ausführungsform unter Be­ zugnahme auf die Fig. 9 beschrieben.

Bei der vierten Ausführungsform wird die drehbare Linsen­ fassung 15B der Projektionslinsen 15A von Hand bedient und die Vergrößerung wird zu diesem Zeitpunkt durch die Ver­ größerung-Erfassungseinrichtung 6 festgestellt. Die Antriebseinrichtung 25 wird durch die Hauptverarbeitungs­ einheit 31 in Übereinstimmung mit dem festgestellten Wert in der gleichen Weise wie bei der Ausführungsform gemäß Fig. 8 gesteuert, wodurch die drehbare Linsenfassung 13B der Kondensorlinsen 13A so gesteuert wird, daß ein der Vergrößerung der Projektionslinsen 15A entsprechender Beleuchtungsbereich erhalten werden kann.

Im folgenden wird die fünfte Ausführungsform unter Be­ zugnahme auf die Fig. 10 beschrieben.

Im Gegensatz zu der vierten Ausführungsform, die in Fig. 9 dargestellt ist, wird bei der fünften Ausführungs­ form die drehbare Linsenfassung 13B der Kondensorlinsen 13A von Hand betätigt. Der Beleuchtungsbereich hierfür wird durch die Erfassungseinrichtung 20 für den Beleuchtungs­ bereich erfaßt und die Antriebseinrichtung 27 wird durch die Hauptverarbeitungseinheit 24 in Übereinstimmung mit dem somit erfaßten Wert gesteuert, so daß eine dem Be­ leuchtungsbereich der Kondensorlinsen 13A entsprechende Vergrößerung der Projektionslinsen 15A erhalten werden kann.

Die gleichen Bezugszeichen wurden verwandt, um die gleichen oder ähnlichen Teile, die in den Fig. 5, 8 und 9 darge­ stellt sind zu bezeichnen und deren Beschreibung wird unterlassen.

Ferner, da bei der vorhergehend beschriebenen Ausführungs­ form die Kondensorlinsen 13A und die Projektionslinsen 15A in Hinblick des Varioverhältnisses durch Drehantreiben der drehbaren Linsenfassungen 13B und 15B eingestellt werden, wird der Antrieb durch den Motor 10 oder 22 über Zahnräder durchgeführt. Jedoch kann das Variover­ hältnis zwischen den Kondensorlinsen 13A und den Pro­ jektionslinsen 15A auch auf andere Weise eingestellt wer­ den. Infolgedessen können die bewegbaren Teile der Vario­ systeme auch in geradliniger Richtung bewegbar ausgebildet werden.

Die Erfassung des Beleuchtungsbereiches der Kondensorlinsen 13A und der Vergrößerung der Projektionslinsen 15A wurde durch fotoelektrische Übertragung-Drehdekodierer vorge­ nommen. Jedoch ist die Erfindung nicht auf diese besondere Ausgestaltung eingeschränkt, die in den Ausführungsformen dargestellt ist, so lange eine Erfassungseinrichtung den Beleuchtungsbereich und die Vergrößerung feststellen kann.

Infolgedessen können die Vergrößerung-Erfassungseinrichtung 6 oder die Erfassungseinrichtung 20 für den Beleuchtungs­ bereich bei den vorbeschriebenen Ausführungsformen durch geradlinige Dekodierer ersetzt werden, wenn die Linsenfas­ sung der Projektionslinsen 15A oder der Kondensorlinsen 13A vom geradlinigen Typ ist. Die eingestellte Vergrößerung der Projektionslinsen 15A oder die Einstellung der Kondensor­ linsen 13A können durch eine Dreh-Dekodiereinrichtung oder einen geradlinigen Dekodierer erfaßt werden, wenn sich die Linsenfassungen schraubenförmig drehen bzw. bewegen. Die Vergrößerung-Erfassungseinrichtung 6 oder die Er­ fassungseinrichtung 20 für den Beleuchtungsbereich können durch eine Lichtmengen-Erfassungseinrichtung ersetzt werden, um eine in Abhängigkeit von einer Bewegung der Projektions­ linsen 15A oder der Kondensorlinsen 13A überdeckte Strecke veränderbare Lichtmenge zu erfassen, wie beispielsweise durch eine magnetische Lese-Erfassungseinrichtung, eine elektrostatische Kapazitätserfassungseinrichtung oder ähnliches.

Für den Fachmann ergibt sich, daß die vorhergehenden Aus­ führungsformen nur zu Erläuterung verschiedener Grund­ ideen der Anwendung der Erfindung dienen. Zahlreiche und abgeänderte andere Ausgestaltungen können ohne weiteres vom Fachmann durchgeführt werden, ohne den Erfindungs­ gedanken und den Bereich der Erfindung zu verlassen.

Claims (3)

1. Profilprojektionsvorrichtung mit einer Lichtquelle (1), einer Halterung (2) zur Aufnahme eines Werkstückes, einer Beleuchtungseinrichtung (13) mit Kondensorlinsen (13A) zur Beleuchtung des durch die Halterung (2) gehalterten Werkstückes und mit einer Projektionseinrichtung (15) mit Projektionslinsen (15A) zum Erzeugen eines vergrößerten Bildes des Werkstückes auf einem Schirm (4) unter Verwendung von von dem Werkstück reflektierten oder durch dieses hindurch getretenen Lichtes, dadurch gekennzeichnet, daß die Kondensorlinsen (13A) der Beleuchtungseinrichtung (13) und die Projektionslinsen (15A) der Projektionseinrichtung (15) nach dem Vario-Prinzip arbeiten, daß die Projektionseinrichtung (15) mit einer Einstelleinrichtung für die Vergrößerung und die Beleuchtungseinrichtung (13) mit einer Einstelleinrichtung für die Beleuchtung verbunden ist, und daß eine der beiden Einstelleinrichtungen mit einer Sensoreinrichtung (6 oder 20) für die Ermittlung eines für eine vom Benutzer der Vorrichtung über diese eine Einstelleinrichtung einstellbare Vergrößerung oder Beleuchtung repräsentativen Meßwertes verbunden ist, und daß die andere Einstelleinrichtung eine mit obiger Sensoreinrichtung (6 oder 20) verbundene Steuereinrichtung (28, 31, 18, 29) zur Ermittlung eines Einstellwertes aus dem repräsentativen Meßwert auf der Grundlage einer vorbestimmten Beziehung zwischen dem repräsentativen Meßwert und dem Einstellwert enthält, um eine nachträgliche automatische Anpassungseinstellung der Beleuchtung oder Vergrößerung durch die andere Einstelleinrichtung vorzunehmen.

2. Profilprojektionsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensoreinrichtung (6) mit der Projektionseinrichtung (15) verbunden ist.

3. Profilprojektionsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zusätzlich zu der den repräsentativen Meßwert ermittelnden Sensoreinrichtung (6, 20) eine mit der Beleuchtungseinrichtung (13) oder der Projektionseinrichtung (15) verbundene Sensoreinrichtung (20, 6) zur Ermittlung eines Steuersignals für eine Rückkopplungssteuerung für die nachträgliche automatische Anpassungseinstellung der Beleuchtung oder der Vergrößerung durch die andere Einstelleinrichtung (18) vorgesehen ist.