DE3134443T1

DE3134443T1 - Electrical discharge machining apparatus which detects gap status between electrode and workpiece

Info

Publication number: DE3134443T1
Application number: DE813134443T
Authority: DE
Inventors: T Ito
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1980-01-22
Filing date: 1981-01-21
Publication date: 1982-04-01
Anticipated expiration: 2001-01-22
Also published as: WO1981002127A1; DE3134443C2; CH659416A5; US4510364A

Description

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MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA
Tokyo / JAPAN
5

Beschreibung

Apparatur für elektrische Entladungsbearbeitung

Technisches Gebiet

Die Erfindung betrifft Apparaturen für elektrische Entladungsbearbeitung und genauer eine Apparatur für elektrische Entladungsbearbeitung zum Bearbeiten eines Werkstückes durch Hervorrufen einer elektrischen Entladung, die zwischen einander gegenüberstehenden Elektroden erzeugt wird, indem eine Elektrode und ein Werkstück einander durch eine isolierende Bearbeitungsflüssigkeit hindurch gegenüberstehen.

Technischer Hintergrund

Es wird eine herkömmliche Technik dieser Art dargestellt, die einen Aufbau gemäß Fig. 1 aufweist.

In Fig. 1 steht eine Elektrode (1) zum Bearbeiten eines Werkstückes (3) in einer Gestaltung dem Werkstück (3), das in einen Bearbeitungstank (2) eingesetzt ist, über einen Bearbeitungsspalt (G) mit einer isolierenden Bearbeitungsflüssigkeit (4) gegenüber. Eine Energiequelle für die Bearbeitung (5) weist eine Gleichspannungsstromquelle (51), ein Schaltelement (52) zum Schalten der Bearbeitungsenergiequelle (5), einen Strombegrenzungswiderstand (53) und einen Oszillator (54) für die Steuerung des Schaltvorgangs des Schaltelements auf und

führt einen geschalteten Strom (I) zwischen Elektrode (1) und Werkstück (3) zu. Der geschaltete Strom (I) läßt sich mit dem Ausdruck

E-V ...■■:*

_I= 2

R-

wiedergeben, und die Zwischenelektrodenspannung -(V_) wird ;* während Lichtbogenentladung 20 bis 30 V, OV während Kurzschlußzeit und E, wenn keine Entladung stattfindet. Die Zwi-" schenelektrodenspannung (V ) nimmt 0 V an, wenn das Schal tele-. **. ment (52) sperrt. Wenn die Zwischenelektrodenspannung V festgestellt und durch eine Glättungsschaltung (6) gemittelt" wird, kann der Bearbeitungsspalt durch den gemitteten Wert der Zwischenelektrodenspannung (V ) gesteuert werden. Genauer gesagt, wenn der Bearbeitungsspalt groß ist, tritt kaum Entladung auf, so daß die gemittelte Spannung (VS) hoch wird, während, wenn der Spalt sehr eng ist, ein Kurzschluß zwischen ■ Werkstück und Elektrode auftritt, der sich dann leicht entlädt, wodurch die durchschnittliche Spannung verringert wird. Wenn also die Spannung (VS)mit einer Bezugsspannung (Vr) verglichen und die Differenzspannung zwischen diesen beiden in eine Zwischenelektrodenservoschaltung eingegeben wird und folglich die Differenzspannung durch einen Verstärker (7) verstärkt und die verstärkte Differenzspannung in eine Hydraulikservospule (8) eingegeben wird, wird ein Hydraulikservomechanismus, zu dem eine Hydraulikdruckpumpe (9), ein Hydraulikzylinder (10) und eine die Elektrode tragende Kolbenstange (11) usw. gehören, so gesteuert, daß der Zwischenelektrodenspalt (G) im wesentlichen konstant wird. Der Zwischenelektrodenservokreis und der Hydraulikservomechanismus stellen Elektrodenvorschubmittel dar.

Die allgemeinste Maßnahme zur Bestimmung des geeigneten Bearbeitungszustandes dos Werkstücks durch eine herkömmliche elektrische Entladüngsbearbeitungsapparatur ist die, die

durchschnittliche Elektrodenspannung V zu beobachten. Wenn die Zwischenelektrodenspannung V klein ist, ist die Zwischenelektrodenimpedanz klein. Hiervon kann angenommen werden, daß zwischen Elektrode und Werkstück ein Kurzschluß :...;, auftritt, eine kontinuierliche Lichtbogenentladung, Bear- ... ; beitungspulver oder -späne zwischen den Elektroden und dazwischen angesammelter Schlamm usw. Da aufgrund der thermi- ;***"; sehen Zersetzung der Bearbeitungslösung Kohlenstoff erzeugt ₉ _t*»_t wird, wenn die gefährlichste abnorme elektrische Lichtbogen-**" entladung einmal während einer elektrischen Lichtbogenent- .*".·,

ladungsbearbeitung aufgetreten ist, tritt eine elektrische

Entladung zwischen Kohlenstoff und dem Werkstück auf, wo- ·

durch die Zwischenelektrodenimpedanz ansteigt mit der Folge, daß die Feststellung der Entartung im Zwischenelektrodenzustand aufgrund der durchschnittlichen Spannung zum Nachteil unmöglich wird.

Es wurde bisher eine weitere herkömmliche Methode zum Feststellen abnormer elektrischer Lichtbogenentladung zwischen Elektroden bekannt, welches die Schritte der Beobachtung mit einer mechanischen Lehre wie etwa einer Meßuhr, die Betätigung der Elektroden und die Bestimmung des Elektrodenschwingungszustands und der Stabilität der Bearbeitung des Werkstücks während der Bearbeitungszeit enthält. Diese Methode muß für die Beobachtung in der Nähe der elektrischen Entladungsbearbeitungsapparatur ausgeführt werden. Es ist deshalb unmöglich, die Entartung des Zwischenelektrodenzustandes während elektrischer Entladung von einem von der elektrischen Entladungsbearbeitungsapparatur während eines bedienungslosen Betriebs von fern festzustellen.

Aus der vorhergehenden Beschreibung wird deutlich, daß der Zustand zwischen der Elektrode gut bestimmbar ist, wenn der mit Hilfe der genannten Meßuhr festgestellte Ausgangswert in ein elektrisches Signal umgesetzt wird, da das elektrische

Signal wie die oben genannte Durchschnittspannung an einem Ort beobachtet werden kann, der von der elektrischen Entladungsbearbeitungsapparatur abgetrennt ist. Für den Fall, daß ein Signal entsprechend der Stellung der Elektrode jedoch be-.. 5 obachtet wird, kann nur eine Vielfalt von überlagerten nurae-... rischen Werten untersucht werden hinsichtlich des Vibrationszustandes mit einem digitalen numerischen Signal, jedoch ent-*" hält es keine Daten, aus denen der Vibrationszustand erkannt werden kann. Es ist unmöglich und nutzlos, unendlich kleine " Schwankungen mit Hilfe eines Analogsignals abzulesen, das ei;-·· ne Auflösung von einigen Mikron hat, weil, wenn der gesamte Bewegungshub von einigen hundert Millimeter beobachtet werden" soll, auch dann, wenn z. B. ein Mikron in 1 mV umgesetzt wird, der gesamte Hub mehreren hundert Volt entspricht und die Mikrominiaturschwankungen von der abgelesenen Spannung ausgelesen werden müssen.

Der Vorteil einer Meßuhr ist der, daß, wenn die Meßuhr pro mm eine Umdrehung ausführt, eine Verschiebung von 10 μπι als eine Verstellung von 3,6 ° beobachtet werden kann, und daß der gesamte Hub durch vielfachen Umlauf des Meßuhrzeigers abgedeckt wird.

Es war jedoch bisher unmöglich, die Funktion in eine elektrisehe Meßgröße umzuwandeln, damit diese an einem von der Apparatur entferten Ort beobachtet werden kann, und das Auftreten einer Abnormalität zwischen den Elektrode gut zu erkennen.

Darlegung der Erfindung

Gemäß der Erfindung wird eine elektrische Entladungsbearbeitungsapparatur zur Bearbeitung eines Werkstückes durch Gegenüberstellen einer Elektrode und des Werkstücks mit isolierender Bonrbei tungsl.ösunn dazwischen und Erzeugen einer elekhrisehen Entladung in den einander gegenüberstehenden Elektroden,

welche Elektrodenpositionsdetektormittel enthält zum Feststellen des Unterschiedes zwischen der gegenüber dem Werkstück am weitestens vorgeschobenen Stellung der Elektrode und der Augenblicksstellung der Elektrode, und Zwischenelektrodenzu- :.. stand-Kennzeichnungsmittel zum Kennzeichnen des entarteten Zustande des Zwischenelektrodenzustands, wenn der Unterschied groß wird ₍ wodurch dann ein Signa] abgegeben wird. ·"

Ein Wesensmerkmal der Erfindung besteht darin, daß elektri- " sehe Entladungsbearbeitüngsapparaturen geschaffen werden mit."".". einer Einheit zum Feststellen der Länge des Zwischenelektro-_> denbearbeitungsspaltes und zum Erkennen des Zwischenelektro-" denzustandes, in der elektrische Bearbeitungsbedingungen für den Zwischenelektrodenzustand auf der Basis der Erkennung durch diese Einheit, d.h. ein elektrischer Entladungsspitzenstromwert, fortlaufende elektrische Entladungszeit, Abschaltzeit, zugeführte Spannung usw. automatisch vorgegeben werden, wodurch die optimale elektrische Entladungsenergie gesteuert wird.

Eine weitere Besonderheit der Erfindung besteht darin, eine elektrische Entladungsbearbeitungsapparatur zu schaffen mit einer Einheit zum Feststellen der Weite des Zwischenelektrodenspaltes, zum Erkennen des Zwischenelektrodenzustands und ' dafür, diesen in einen gewünschten Zustand zu verbringen, in dem der Spalt zwischen Elektrode und Werkstück zwingend erweitert Und das Verhältnis des Erweiterungsbetrages zur Bearbeitungszeit automatisch abhängig vom festgestellten Ausgangswert der Einheit gesteuert wird.

Ein weiteres Merkmal der Erfindung besteht darin, daß elektrische Entladungsbearbeitungsapparaturen geschaffen werden, bei denen die tatsächliche Weite des Zwischenelektrodenbearbeitungsspaltes festgestellt und die Geschwindigkeit oder die Servoverstärkung des Zwischenelektrodenservo aufgrund des

festgestellten Ausgangswertes variiert wird, so daß der Zwischenelektrodenservo zu hoher Stellgeschwindigkeit veranlaßt wird, wenn der Zwischenelektrodenspalt weit ist, während der Zwischenelektrodenservo mit geringer vorbestimmter Geschwin-·'"" digkeit sehr genau gesteuert wird, wenn der Zwischenelektro-****,· denspalt eng ist, womit der optimale Zwischenelektrodenspalt-^' Servonutzen erzielt wird.

Eine weitere Eigenschaft der Erfindung besteht darin, elektri-' sehe Entladungsbearbeitungsapparaturen zu schaffen, bei denen,,·",^: ein dem tatsächlichen Zwischenelektrodenspalt zwischen den :.,.:. Elektroden entsprechender Wert als ein elektrisches Analogsignal erzeugt, der Zwischenelektrodenzustand außerdem auf der Basis dieses Signals ermittelt und diese Signale genau zu einem von den Elektroden getrennten Platz übertragen werden .

Kurzbeschreibung der Zeichnungen _λ

In den beigefügten Zeichnungen: Fig. 1 ist ein Schemadiagramm des Aufbaus einer herkömmlichen Apparatur; Fig. 2 ist ein Diagramm, das ein Beispiel einer elektrischen Entladungsbearbeitungsapparatur gemäß der Erfindung zeigt, die die Anordnung einer herkömmlichen Apparatur hat, der Elektrodenposi- tionsdetektormittel und Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel hinzugefügt sind; Fig. 3 ist ein anderes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Apparatur; Fig. 4 ist ein Diagramm, das ein weiteres Ausführungsbeispiel der Apparatur nach der Erfindung zeigt; Fig. 5 ist das Diagramm eines abermais anderen Beispiels der Apparatur nach der Erfindung, die eine Anordnung hat, welche gegenüber der Anordnung nach Fig. 2 um Steuermittel ergänzt ist; Fig. 6 ist ein Diagramm, das die Steuermittel aus Fig. 5 im einzelnen zeigt; Fig. 7 ist ein das Prinzip eines wiederum anderen Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Apparatur zeigendes Diagramm; Fig. 8

ist ein Diagramm der schematischen Anordnung der Steuermittel aus Fig. 7; Fig. 9a ist ein Schaubild, das die Charakteristik der in Fig. 7 gezeigten Apparatur darstellt; Fig. 9b ist ein Schaubild, das die Charakteristik der Apparatur aus Fig.:** 7 wiedergibt; Fig. 9c ist ein Schaubild, das die Charakter is-"* tik der Apparatur nach Fig. 7 wiedergibt; Fig. 10 ist ein Diagramm, das die wesentliche Anordnung eines bestimmten Bei·-., spiels der Steuermittel aus Fig. 7 zeigt; Fig. 11a ist ein ; ; Diagramm, das die wesentliche Anordnung eines wiederum anderen Beispiels der Apparatur nach der Erfindung zeigt und I * Anzeigemittel enthält, die an einem von den Elektroden ge- -.,.; trennten Ort vorgesehen sind; und Fig. 11b ist ein Diagramm, das die Anordnung zeigt, in der ein Signal über eine verdrillte Doppelleitungsgruppe zur Anzeigeeinrichtung geleitet wird.

Beste Art zur Durchführung der Erfindung

Fig. 2 stellt ein Schemadiagramm dar, das die Anordnung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der elektrischen Entladungsbearbeitungsapparatur gemäß der Erfindung zeigt, worin gleiche Bezugszeichen äquivalente oder gleiche Teile und Komponenten bezeichnen, die in Fig. 1 gezeigt sind. In Fig. 2 ist ein Digitalmeßgerät (13) mit einer Elektrodentragstange (11) verbunden und erzeugt positive Impulse S , wenn die Elektrode (1) sich in Fig. 2 nach oben bewegt, und negative Impulse S , wenn die Elektrode (1) sich in Fig. 2 abwärtsbewegt. Das Digitalmeßgerät (13) erzeugt auf diese Weise einen Impuls mit einer Impulsbreite von weniger als 10 μΐη pro einen Impuls, womit die Weite des Zwischenelektrodenspaltes genau erfaßt werden kann. Dieses Beispiel wird in Verbindung mit einem Impuls vom Digitalmeßgerät beschrieben, das eine Impulsbreite von 5 μΐη/lmpuls hat.

Der positive Impuls S vom Digitalmeßgerät wird direkt der Positivklemme (14a) eines Zweirichtungszählers (14) zugelei-

tet, und der negative Impuls S vom Digitalmeßgerät (13) wird über ein ODEP.-Gatter (15) dem Positiveingang (14b) des Zählers 114) zugeleitet. Der Zweirichtungszähler (14) enthält z. B. 13 Stellen und kann so die Strecke der Aufwärts- ···

14 bewegung der Elektrode entsprechend 5 μπι χ (2 -1), also 82 mm, speichern. Die Ausgänge der einzelnen Stellen von

013
2 bis 2 des Zählers (14) sind jeweils mit den Eingängen eines Digital/Analog-Wandlers (16) verbunden, der daraus ein. Ausgangsgangssignal V_n erzeugt. Das Ausgangssignal V_n vom Wandler (16) wird anschließend der Negativeingangsklemme ei-;"*; nes Komparators (17) zugeführt. Die Positiveingangsklemme des !Comparators (17) ist geerdet. Der Komparator (17) vergleicht* so das Ausgangssignal V_Q vom Wandler (16) mit 0 V der geerdeten positiven Eingangsklemme. Wenn also das Ausgangssignal V_n vom Wandler (61) Null ist, d.h., wenn der Inhalt des Zählers "0" ist, erzeugt der Komparator (16) ein Ausgangssignal, das einem Eingang eines UND-Gatters (19) zugeführt wird. Ein Impulsausgang eines Impulsoszillators (18) wird dem anderen Eingang des UND-Gatters (19) zugeführt. Wenn das Ausgangssignal vom Komparator (17) auf das UND-Gatter (19)in der beschriebenen Weise kommt, gibt das UND-Gatter (19) einen Additionsimpuls L über ein ODEP.-Gatter (15) an die Positivklemme (14b) des Zweirichtungszählers (14).

Somit addiert der Zweirichtungszählter (14) den negativen Impuls S vom Digitalmeßgerät (13) zum Additionsimpuls L_ vom Oszillator (18) über das UND-Gatter (19) und das ODER-Gatter (15), dadurch den Additionsimpuls L durch den positiven Impuls S_p vom Digital-Meßgerät subtrahierend. Als Folge davon wird der Inhalt des Zweirichtungszählers (14) die Differenz zwischen der am weitesten vorgeschobenen Stellung der Elektrode (1) gegenüber dem Werkstück (3) und der Augenblicksstellung der Elektrode (1). D.h., die Gesamtzahl der Additionsimpulse L- stellt die am weitesten vorgeschobene oder abwärts be- wegte Stellung der Elektrode dar. Der Zweirichtungszähler (14)

subtrahiert die Gesamtzahl der Additbnsimpuls L für die Augenblicksposition von der Gesamtzahl der Differenz zwischen der Anzahl der negativen Impulse S und der Anzahl der positiven Impuls S_p, und somit wird der Inhalt des Zweirichtungst.«.;. Zählers (14) die Differenz zwischen der am weitesten vorge- ... I schobenen Stellung der Elektrode und der Augenblicksstellung der Elektrode. ;"*

Also, da der Ausgangswert vom Digital/Analog-Wandler (16) eine" Spannung proportional dem Zwischenabstand ist, wie oben be- .*" schrieben, kann, wenn der Ausgang V_Q vom Wandler (16) ermittelt und verarbeitet wird, der augenblickliche Zwischenelek-· trodenspaltszustand beobachtet und daraufhin überprüft werden, ob er richtig ist. D.h., wenn der Ausgang V„ vom Wandler (16) hoch ist, befindet sich der Zwischenelektrodenspalt in einem Zustand weg von der am weitestens vorgeschobenen Position. Polglich können auf diese Weise gut Schwierigkeiten festgestellt werden, wie wenn z. B. sich Schlamm zwischen den Elektroden durch Ansammlung von Bearbeitungsspänen angesammelt hat, die Bearbeitungslösung (4) durch einen abnormalen Lichtbogen thermisch zersetzt worden ist und dadurch Kohlenstoff . auftritt, die Elektroden zum Teil gebrochen sind und dann die abgebrochenen Stücke sich im Spalt (G) zwischen den Elektroden aufhalten.

Wenn derartige Schwierigkeiten für kurze Zeit auftreten, dann ändert sich die Zwischenelektrodenimpedanz dauernd, und folglich wird sogar, wenn der bezeichnete Unterschied für kurze Zeit auftritt, nicht immer entschieden,daß der Zwischenelektrodenzustand entartet ist. Es ist nötig, die Eigenart des Zwischenelektrodenspalt-Zustands zu bestimmen, indem ermittelt wird, daß der Äusgangswert V„ vom Analog/Digital-Wandler (16) oberhalb eines vorbestimmten Pegelwertes für eine bestimmte Dauer angehalten hat.

Der Ausgangswert V_n vom Digital/Analog-Wandler (16) wird auch auf die negative Eingangsklemme eines Spannungskomparators (21) in Fig. 2 gegeben, und eine bestimmte Spallung V₁ wird andererseits der positiven Eingangsklemme des Spannungs-ί" komparators (21) zugeführt. Somit vergleicht der Spannungskomparator (21) den Ausgangswert V_n vom Digital/Analog-Wandler (16) mit dem vorbestimmten Spannungspegel V₁ und bestimmt., auf diese Weise, ob der Ausgangswert V_n höher oder tiefer : : als die vorbestimmte Spannung V₁ ist. Ist V_n > V₁, gibt der Komparator (21) einen negativen Spanhungsausgancjswert ab, · der dann über einen Basiswiderstand (22) auf die Basis .eines;,. Schalttransistors (23) geführt wird, wodurch der Transistor (23) gesperrt wird. Dadurch wird ein Zeitmeßkondensator (24), der mit einer Seite mit dem Kollektor des Transistors , (23) und mit der anderen Seite gemeinsam mit dem Emitter des Transistors (22) mit Erde verbunden ist,über einen Widerstand (25) aufgeladen, der an einer Seite mit dem Kollektor des Transistors (23) und an der anderen Seite mit einer bestimmten Spannung V₄ verbunden ist, so daß am Kondensator (24) eine Spannung V₃ anliegt, die durch folgende Gleichung geschrieben ist:

- exp <-φ

worin r₂ den Widerstandswert des Widerstandes (25), c die Ka pazität des Kondensators (24) und t die Zeit repräsentieren.

Die Spannung V^ am Kondensator (24) wird ihrerseits auf den Negativeingang eines Spannungskomparators (26) geführt, und eine Bezugsspannung V_? wird andererseits dem Positiveingang des Komparators (26) eingegeben. Somit vergleicht der Komparator (26) die Spannung V₃ vom Kondensator (24) mit der Bezugsspannung V~. Da der Ausgang des Spannungskomparators (26) während der Periode V₃< V„ nicht negativ wird, kann eine Leuchtdiode (29) , der über einen Widerstand (28) das Aus-

gangssignal vom Komparator (26) zugeführt wird, nicht aufleuchten. Wenn der Zustand V_n V für eine bestimmte Zeit anhält, wird der Kondensator (24), der mit dem Kollektor des Transistors (23) verbunden ist, dauernd wie oben beschrieben·"* aufgeladen, und entsprechend steigt die Spannung V₃ am Kollektor und entsprechend am Kondensator (24), bis eventuell V., > Vp wird. Wenn V-, > V„ ist, wird das Ausgangssignal des Korn«-* parators (26) negativ, das dann über den Widerstand (28) Leuchtdiode (29) zugeleitet wird. Damit gibt die Diode (29) Licht ab und zeigt an, daß ein abnormaler Elektrodenspaltzu-*./,·

stand aufgetreten ist. ;...;.

Das andere Ende des Widerstands (25) auf der Spannung V. ist, wie oben beschrieben, mit dem Abgriff eines Schalters (27) verbunden, der entweder auf einen Kontakt (27a) zur Bestimmung des Zwischenelektrodenspaltzustandes in Übereinstimmung mit der Funktion des Produktes aus Größe des Ausgangswertes V_Q vom Analog/Digital-Wandler (16) und der Zeit geschaltet werden kann, oder auf einen Kontakt (27b) zur Bestimmung des Zwischenelektrodenspaltzustands in Übereinstimmung nur mit der Funktion der Zeit. D.h., der Kontakt (27a) des Schalters (27) ist mit dem Ausgang V_n des Wandlers (16) verbunden, und wenn der Schalter (27) auf dem Kontakt (27a) steht, wird die Spannung V_fl vom Digital/Analoq-Wandler (16) über den Widerstand (25) dem Kondensator (24) zugeleitet. Das Auftreten eines abnormalen Zwischenelektrodenspaltzustands kann somit schnell mit der Funktion des Produktes vom Ausgangswert V» des Wandlers (16) und der Zeit festgestellt werden, wie in Fig. gezeigt, da der Ladestrom des Kondensators (24) erhöht ist, so daß die Spannung V- am Kondensator (24) rasch die Bezugsspannung V„ erreicht, wenn der Ausgangswert V_n vom Wandler (16) erhöht ist. Das Feststellen abnormer Zwischenelektrodenspaltzustände während der Bearbeitung nur mit der Zeit ist schwierig, so daß z. B. auf die oben genannte Weise das plötzliehe Auftreten von Rissen aufgrund eines Lichtbogens bei der

Bearbeitung extraharter Legierungen, das Auftreten von Fehlern von Wolfram usw. schnell aufgedeckt werden kann. Der Kontakt (27b) des Schalters (27) wird mit einer Spannung +V der Spannungsquelle zum Zuführen einer Kollektorspannung übei;·· den Widerstand (25) zum Kollektor des Transistors (23) ver- ··· bunden. Wenn der Schalter (27) auf den Kontakt (27b) geschaltet ist, kann nur die Zeitdauer des abnormen Zwischenelektro-i denspaltzustandes festgestellt werden, wie oben beschrieben. .".

Aus der vorangehenden Beschreibung anhand der Anordnung ge- ;** maß Fig. 2 geht hervor, daß durch Überwachen des Ausgangswertes V„ vom Digital/Analog-Wandler (16) unmittelbar mit einem Voltmeter der Unterschied zwischen der am weitesten vorgeschobenen Position der Elektrode (1) gegenüber dem Werkstück (3) und der Augenblicksposition der Elektrode (1) beobachtet werden kann, so daß das Voltmeter als eine überwachungseinrichtung für den Zwischenelektrodenspaltzustand verwendet werden kann ■ ■ .

Nach obigem Beispiel wird eine Primärverzögerungsschaltung mit dem Kondensator und dem Widerstand (25) für die Messung der Zeit eingesetzt, wenn der Zwischenelektrodenspaltszustand entartet ist. Statt der Primärverzögerungsschaltung kann jedoch auch eine genaue Integrationsschaltung mit einem Operationsverstärker ohne Schwierigkeit verwendet werden, so daß die Zeit exakt gemessen werden kann.

Fig. 3 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel in einer Anordnung einer elektrischen Entladungsbearbeitungsapparatur gemäß der Erfindung, mit dem elektrische Bearbeitungsbedingungen wie die Bearbeitungsbedingung, die Energiequellenbedingung, usw., geschaltet werden können. In der Fig. 3 bezeichnen gleiche Bezugszeichen die entsprechenden Teile und Komponentendle bereits in Fig. 2 gezeigt und beschrieben sind, so daß deren ErlMuterung der Einfachheit halber ent fallen kann.

Bei der Anordnung nach Fig. 3 wird das Spannüngsausgangssignal Vr von einer Erkennungseinrichtung für Zwischenelektrodenentartung einer Bearbeitungsstromquelle(5)zusammen mit den

binären Digital-Werten der Ausgänge 2 bis 2 vom Zähler ;·**·*

(14) zugeleitet, um den Unterschied zwischen der vorgescho- **"·.; benen Position der Elektrode und der Augenblicksposition der Elektrode festzustellen. Die Bearbeitungsenergiequelle (5) wird für das Schalten der elektrischen Bearbeitungsbedingungen gesteuert, und zwar gemäß dieser Ausgangssignale von der Erkennungseinrichtung für die Zwischenelektrodenentartung des Zählers (14).

Fig. 4 zeigt ein ins einzelne gehende Schaltbild der Bearbeitungsleistungsquelle (5) in Gestalt eines bevorzugten Ausführungsbeispiels, bei dem die Bearbeitungspausenzeit und die zugeführte Spannung mittels der Ausgangssignale von der Erkennungseinrichtung für Zwischenelektrodenentartung und dem Zähler wie oben beschrieben gesteuert werden. Es sei festgehalten, daß, wenngleich die Entladungspausenzeit oder -abschaltzeit und die zugeführte Spannung Einflüsse auf den Entladungsbearbeitungsspalt haben, die Pausenzeit und die zugeführte Spannung doch die Rauhigkeit der bearbeiteten Oberfläche des Werkstücks und den Verbrauch der Elektrode nicht zu sehr beeinflussen, und in diesem Beispiels sind diese Merkmale oder Eigenheiten berücksichtigt, doch können andere elektrische Bedingungen ebenso für eine dem obigen ähnliche Steuerung im Hinblick auf das Bearbeitungsziel ebenso im Rahmen der Erfindung eingesetzt werden.

Das heißt, wie aus der vorangehenden Beschreibung hervorgeht, daß der elektrische Entladungsspitzenstromwert, die Stromwellenform, die Spannungswellenform, die Impulsbreite, usw. auch in demselben Verfahren, wie oben beschrieben, innerhalb des Bereichs gesteuert werden können, in dem keine nachträgliehen Auswirkungen auf die tatsächlichen Bearbeitungsvorgän-

ge auftreten.

In der Zeichnung der Fig. 4 kennzeichnet (501) eine vielstellige Koinzidenzerkennungsschaltung. Die Ausgänge von den ent-'"""

0 13 *

sprechenden Stellen von 2 bis 2 des Zählers (14) zum Erken-'-J nen des Positionsunterschiedes werden auf die vielstellige Koinzidenzerkennungsschaltung (501) geleitet. Außerdem erhält *. die Erkennungsschaltung (501) die Ausgangswerte der entspre- I chenden Stellen eines Pausen- oder Ausfallzeiteinstellzählers (502), und die Erkennungsschaltung (501) stellt die Koinzi- ^:._ denz zwischen den Ausgangswerten vom Zähler (14) und vom Pau-:.. senzeiteinstellzähler (502) fest und erzeugt ein Koinzidenzausgangssignal, wenn Koinzidenz herrscht. Das Koinzidenzausgangssignal von der Erkennungsschaltung (501) wird einem Ein-· gang eines UND-Gatters (503) zugeleitet. Andererseits wird das Signal (V,-) von der Erkennung des Zwischenelektrodenentartungsszustandes, das vom Spannungskomparator (26) in der anhand der Figuren 2 und 3 beschriebenen Weise erzeugt wird, dem anderen Eingang des UND-Gatters (507) zugeführt, das seinerseits ein Koinzidenzausgangssignal über ein ODER-Gatter

(504) dem Rückstelleingang (R) eines R-S-Flipflops (505) zuleitet und dieses Flipflop (505) rückstellt. Wenn das Erkennungssignal (V₅) eines Zwischenelektrodenentartungszustandes jedoch nicht auftritt, d.h., ein Logik-Wert ■"■ 1" der V_-Eingangsklemme der Bearbeitungsenergiequelle (5) zugeführt wird, dann kann das entsprechende Erkennungssignal (V₅) für Zwischenelektrodenentartungszustand durch einen von Hand einstellbaren Drehschalter (506) eingestellt werden. Die entsprechenden Ausgangswerte vom Pausenzeiteinstellzähler (502) sind mit den entsprechenden Kontaktklemmen des Schalters (506) verbunden, und die gemeinsame Kontaktklemme des Schalters (506) ist mit einem Eingang eines UND-Gatters (503) verbunden. Andererseits wird das Signal (V₁-) dem anderen Eingang des UND-Gatters (503) zugeführt, das in der Folge einen entsprechenden Koinzidenzausgangswert erzeugt, der über ein ODER-Gatter (504) dem

Rückstelleingang R des Flipflops (505) zugeleitet wird und das Flipflop (505) dadurch rückstellt. In diesem Fall ist das UND-Gatter (507) gesperrt. So wird das Ausgangssignal vom Flipflop (505) über einen Verstärker (508) dem Eingang ·*' eines Endstufenschaltelementes (507) zugeführt, wodurch das Schaltelement (52) getrieben wird, das in der Folge einen Ein-Aus-Impuls der Spannung (E) zwischen Elektrode (1) und "., Werkstück (3) über die Ausgangsklemmen der Bearbeitungslei- I \ stungsquelle abgibt, wie dargestellt. Die Impulsdauer wird nach Belieben eingestellt, wie im einzelnen beschrieben \_m wird. Der Koinzidenzausgang vom ODER-Gatter (504) wird außer-:., dem einem Eingang eines Impulsbreiteneinstellzählers (509) zugeführt, der daraufhin unterschiedliche Impulsbreitenausgangssignale erzeugt, die mit den entsprechenden Kontaktklemmen eines Schalters (510) zur Auswahl der Impulsbreite eines bestimmten Wertes verbunden sind. Der Schalterabgriffskontakt des Schalters (510) ist mit dem Setzeingang S des Flipflop (505) verbunden. Wenn der Schalter (510) in einer beliebigen Wahlstellung ist, wird das für die ausgewählte Impulsbreite maßgebliche Ausgangssignal vom Schalter (510) dem Setzeingang des Flipflops (505) zugeführt, das daraufhin ein Ausgangssignal der gewählten Impulsbreite über den Verstärker (508) zum Schaltelement (52) liefert, wodurch die Impulsbreite des vom Schaltelement (52) erzeugten Impulses nach Wahl eingestellt ist. Der Q-Ausgang vom Flipflop (505) wird außerdem einem Eingang eines UND-Gatters (511) zugeleitet, das an seinem zweiten Eingang ein Ausgangssignal von einem Originaloszillator (54) erhält, und sein Ausgangssignal dem anderen Eingang des Impulsbreiteneinstellzählers (509) zuführt. Außerdem wird der Q-Ausgang des Flipflops (505) auf einen Eingang eines UND-Gatters (512) geleitet, und der Ausgang vom Originaloszillator (27) mit dem anderen Eingang des UND-Gatters (512) zugeführt. So wird der Ausgang vom Oszillator (27) abwechselnd durch das UND-Gatter (511) bzw. (512) ausgewählt, und der Ausgang vom Gatter (512) wird einem Eingang des Pau-

senzeiteinstellzählers (502) eingegeben über die Ausgangsklemmen Q und Q des Flipflop (505) , wodurch die Pausenzeitbreite und die Impulsbreite des Impulses, der zwischen Elektrode und Werkstück wirksam werden soll, eingestellt werden. *

Das Detektorsignal (Vc) für Zwischenelektrodenentartungszustand wird auch dem Eingang eines Spannungsregulators (513) * zugeleitet, der dazu dient, die Abnahme der anliegenden Span-» nung (E) zwischen Elektrode und Werkstück zu regulieren, wenn aufgrund einer Zwischenelektrodenentartung der Zwischenelek- * trodenspalt erweitert ist, damit der so erweiterte Bearbei- tungsspalt zwischen Elektrode und Werkstück, der aufgrund störender Einflüsse von Bearbeitungspulver oder -chips, die sich im Spalt angesammelt haben, sich erweitert hat, für die elektrische Entladung wieder geeignet ist und auf normalen Wert angenähert wird.

Bei den oben beschriebenen Beispielen,wird, wenn das Feststell-Signal für Zwischenelektrodenentartungszustand (V₅) den logischen Wert "0" annimmt, die Pausenzeitcnbreite automatisch auf einen Wert eingestellt, der dem Unterschied zwischen dem am stärksten vorgerückten Wert der Elektrode und dem augenblicklichen Wert der Elektrode entspricht, und zwar in der Weise, daß , je größer der Unterschied wird, umso länger die Pausenzeitbreite ansteigt, mit dem Ergebnis, daß die Bearbeitungsmenge abnimmt, und dabei das Entstehen von Barbeitungschips verringert wird, wodurch der Zwischenelektrodenzustand normalisiert wird. Ist die Differenz dagegen klein, wird die Pausenzeitbreite auf einen vorbestimm- ten Wert eingestellt.

Fig. 5 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der elektrischen Entladungsbearbcitungsapparatur der Erfindung. Bei dieser Anordnung wird die Ausgangsspannung (Vr) von einer Erkennungseinrichtung für Zwischenelektrodenzustandsentartung

einer Steuereinrichtung (30) zum Steuern des Zwischenelektrodenbearbeitungsspaltes zugeführt. Die binären Digital-Werte der Ausgänge 2 bis 2 vom Zähler (14) für die Feststellung der Differenz zwischen der am weitesten vorgeschobenen Position der Elektrode und ihrer Augenblicksposition werden auch auf entsprechende Eingänge der Steuereinrichtung (30) geführt, die dadurch ein Ausgangssignal für zwangsweise Erweiterung des Zwischenelektrodenbearbeitungsspalts zwischen * Elektrode und Werkstück erzeugt, wodurch automatisch der Erweiterungsbetrag des Bearbeitungsspaltes dazwischen abhängig vom Zwischenelektrodenzustand gesteuert wird. ·

Ein weiteres bevorzugtes Beispiel für eine elektrische Entladungsbearboitungsapparatur der Erfindung zeigt Fig. 6 in Form einer genauen Zeichnung der Steuereinrichtung (30) für die Steuerung des Zwischenelektrodenbearbeitungsspaltes zwischen Elektrode und Werkstück. In diesem bevorzugten Ausführungsbeispiel wird die Dauer des Signals für die aufgezwungene Ausweitung des Bearbeitungsspaltes durch die vorgenannten Signale gesteuert, wodurch das Verhältnis der Ausweitungsstrecke des Bearbeitungsspaltes, die Bearbeitungszeit und die Ausweitungsbetätigungszeit gesteuert werden.

In der in Fig. 6 dargestellten Zeichnung bezeichnet (301) eine vielstellige Koinzidenzidentifikationsschaltung (ein Digital-

0 13 komparator). Die Ausgänge 2 bis 2 vom Zähler (14) für das Ermitteln der Positionsdifferenz werden der vielsteiligen Koinzidenzidentifikationsschaltung (301) zugeleitet, und die Ausgänge von entsprechenden Stellen eines Zählers (302) zum Einstellen der Zeit für die zwangsweise Bearbeitungsspaltaufweitung werden auch dem Identifikationsschaltkreis (301) zugeführt, der dann Koinzidenz zwischen den Ausgängen des Zählers (14) und den Ausgängen vom Einstellzähler (302) feststellt und ein Koinzidenzsignal abgibt, wenn Übereinstimmung herrscht. Das Koinzidenzausgangssignal von der Identifika-

tions- oder Erkennungsschaltung (301) wird dem Rücksetzeingang R eines R-S-Flipflops (303) zugeführt, das dadurch rückgesetzt wird, wenn die Ausgänge vom Zähler (14) mit denen vom Einstellzähler (302) übereinstimmen. Die Zeit für die :*' zwangsweise Aufweitung des Bearbeitungsspaltes, die durch den*" Zähler (302) vorzugeben ist, wird das Produkt aus der Periode des Taktimpulses von einem Bezugstaktimpulsgenerator (304) und dem Wert des Ausgangs vom Zähler (14) für die Feststel- ; ; lung der Positionsdifferenz, wenn, wie oben beschrieben, Koinzidenz herrscht. So wird das Q-Ausgangssignal vom Flipflop ;* (303) an einen Analogschalter (305) abgegeben, der ein die Elektrode zwangsweise anhebendes Signal (S^) an die Zwischen-' elektrodenservokreise (7) und (8) aus Fig. 1 abgibt, wodurch der Schalter (305) betätigt wird. Der Q-Ausgang vom Flipflop (303) nimmt den Pegel "1" während der der Positionsdifferenz entsprechenden Zeit an, während der die Elektrode zwangsweise nach oben bewegt wird. Der Q-Ausgang vom Flipflop (303) wird auf einen Eingang.eines Taktimpulseingabe-UND-Gattors (307) eines BocirbGitiungszeiteinstell-Zählers (306) gegeben. Wenn das R-S-Flipflop (303) rückgesetzt ist, tritt am Q-Ausgang des Flipflop (303) der Pegelwert "0" auf, während der Invertausgang Q des Flipflops (303) dagegen den Pegelwert "1" annimmt, der dann dem einen Eingang des UND-Gatters (307) zugeführt wird, und dieses öffnet.

Andererseits wird dem anderen Eingang des UND-Gatters (307) vom Generator (304) der Bezugstaktimpuls zugeführt. Wenn das UND-Gatter (307) offen ist, gelangt der Bezugstaktimpuls vom Generator (304) durch das UND-Gatter (307)in einen Bearbeitungszeiteinstellzähler (306), wodurch dieser Zähler (306) eingestellt wird. Verschiedene Bearbeitungszeiteinstellausgangssignale sind mit den entsprechenden Kontaktklemmen eines Bearbeitungszeiteinstellschalters (308) verbunden, dessen gemeinsamer oder Abgriffkontakt mit einem Eingang eines ODER-Gatters (310) verbunden ist. Das Bearbeitungszeiteinstellsignal vom Schalter (308) wird über das ODER-Gatter (310) dem

^Z0 313U43

Setzeingang S des Flipflop (303) zugeführt. So wird der Q-Ausgang des Flipflop (303) den Pegelwert "0" während der durch den Schalter (308) in dieser Weise eingestellten Zeit annehmen. Der Q-Ausgang des Flipflop (303) wird dem ·' Analogschalter (5) zugeführt, wodurch dieser geöffnet und eine gewöhnliche Servosteuerschaltung zwischen Elektrode und Werkstück auf der Basis des Zwischenelektrodensignals ", (Vs) und der Bezugsspannung (V_R) in Differenz geführt wird, « die von einem Spannungskomparator erzeugt wird, welchem sowohl das Signal (Vs) als die Spannung (V_R) zugeleitet wer- ·_φ#· den, wie gezeigt. Ein Widerstand (311) ist zwischen die Sig- :„„. nalausgangsklemme (S,.) des Analogschalters (305) und den Komparator gelegt, um den Komparator zu schützen, dem das Signal (Vs) und die Bezugsspannung (V_R) zugeführt werden, wenn das Elektrodenzwangsanhebungssignal (S_M) vom Analogschalter (305) erzeugt wird.

Weiter wird das Zwischenelektrodenzustandsentartungsdetektorsignal (V₁-) dem Inverseingang eines UND-Gatters (309) und wird der Bezugstaktimpuls vom Generator (304) einem anderen Eingang des UND-Gatters (309) des Zwangsaufweitungszeiteinstellzählers (302) für den Bearbeitungsspalt zugeführt. Wenn das Signal (V₁-) den Pegelwert "0" hat, d.h., der Zwischenelektrodenspalt entartet ist, wird der oben beschriebene Vorgang durchgeführt, wie im einzelnen jetzt beschrieben wird. Der Q-Ausgang vom Flipflop (303) wird dem anderen Eingang des UND-Gatters (309) eingegeben. Außerdem wird das Signal (V₅) auch dem anderen Eingang des ODER-Gatters (310) zugeführt. Damit wird das Signal (V₅) durch das UND-Gatter (309) und das ODER-Gatter (310) entschieden. Wenn das Signal (V₅) den Pegelwert "1" hat, erzeugt das ODER-Gatter (310) den Ausgangswert "1", der anschließend dem Setzeingang S des Flipflop (303) zugeführt wird und das Flipflop (303) setzt. Für diesen Fall ist der Q-Ausgang des Flipflop (20) auf "0"-Pegel, wodurch der Analogschalter (305) geöffnet wird und von ihm kein Elektroden-

anhebsignal (S ) ausgeht. Es wird also die übliche Zwischenelektrodenservosteuerung im Bearbeitungsspalt zwischen Elektrode und Werkstück ausgeführt.

Bei den beschriebenen Beispielen wird die Elektrodenanheb- *»'■ zeit wie vorangehend beschrieben gesteuert, doch ist die Er- .... findung auch auf die Steuerung des Bearbeitungsspalts zwi- -*"' sehen Elektrode und Werkstück gerichtet, um den Zustand des *„:.,' Zwischenelektrodenbearbeitungsspalts aufgrund des Feststell- „.*„ signals einer Bearbeitungsspaltentartung gerichtet, und die *..".' Steuerung des Bearbeitungsspaltes zwischen Elektrode und Werk^-·'· stück kann durch die oben beschriebenen Signale wie Bearbeitungszeit, Elektrodenanhebgeschwindigkeit, Anheb- und Bearbeitungsperioden, Servobezugsspannung, Servosystemverstärkung, usw., zusätzlich zur Elektrodenanhebzeit durchgeführt werden, ohne daß für den Fachmann technische Schwierigkeiten auftreten.

Die Figuren 7 bis 9 zeigen das Grundprinzip eines wiederum anderen Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Apparatur für elektrische Entladungsbearbeitung, wobei mit denselben Bezugszeichen äquivalente oder entsprechende Teile und Komponenten bezeichnet sind, die auch in der Fig. 5 dargestellt sind, so daß ihre nochmalige Beschreibung entfallen kann. Die Figuren 9a bis 9c sind Graphiken der Beziehung zwischen dem Verstärkungsgrad und dem Unterschied D zwischen der am weitesten vorgeschobenen Position der Elektrode und der Augenblicksposition der Elektrode für dieses Beispiel.

Figuren 7 bis 9 zeigen eine Schaltungsanordnung der elektrischen Entladungsbearbeitungsapparatur, bei der der Verstärkungsgrad entsprechend der Spannung V_n durch ein Servosystem

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gesteuert ist. Die Ausgänge 2 bis 2 vom Zweirichtungszähler (14) werden auf entsprechende Eingänge eines multiplizierenden Digital/Analog-Wandlers (320) geleitet, der darauf

die Differenzspannung Va (Va = V - Vs) zwischen der Zwischenelektrodendurchschnittspannung Vs und der Bezugsspannung V₁-, durch die Positionsdifferenz zwischen der am weites-".*.", ten vorgeschobenen Position und der Augenblicksposition der ... · Elektrode multipliziert, d.h.. Va χ (am weitesten vorgeschobene Position - Augenblicksposition) = V. , und erzeugt einen"""; Ausgangswert V₁ durch einen Spannungskomparator, dem die . ."„■ Zwischenelektrodendurchschnittspannung Vs und die Bezugsspan-"** nung V_R zugeführt werden, um die Differenzspannung Va zu er-.".'. zeugen, wie gezeigt, die dann dem Eingang des Wandlers (320.) ^ zugeleitet wird. Ein tatsächlicher Digital/Analog-Wandler kann von der Type CMOS-IC-AD7520 der Firma Analog Device Co., USA sein.

Gemäß der Erfindung kann der Verstärkungsfaktor G des Servosystems proportional zur Differenz D zwischen der am weitesten vorgeschobenen Stellung und der Augenblicksstellung der Elektrode, also der Zwischenelektrodenbearbeitungsspaltweite, variiert werden. Genauer gesagt, wird für den Fall eines engen Bearbeitungsspaltes, der für sehr feine und genaue Steuerung benötigt wird, der Verstärkungsfaktor G auf einen Wert eingestellt. Liegt dagegen ein weiter Bearbeitungsspalt vor, der für den Pumpvorgang erforderlich ist, um zwischen den Elektroden den Schlamm herauszubringen, wird der Verstärkungsfaktor auf einen hohen Wert eingestellt, wodurch dynamisch mit hoher Geschwindigkeit gearbeitet wird.

In Fig. 9 ist an die Ordinate der Verstärkungsfaktor und an die Abszisse die Differenz zwischen der am weitesten vorgeschobenen Position und der Augenblicksposition der Elektrode angetragen.

In dem Fall, wo die Elektrode periodisch springt durch externes zwangsweises Zuführen eines Kurzschlußzustandssignals zu einer elektrischen Entladungsbearbeitungsapparatur, wenn die

einmal angehobene Elektrode zurückgekehrt ist, wurde zuvor nur die Zwischenelektrodenspannung festgestellt, um festzulegen, ob die Elektrode in der Originalposition eingestellt , war oder nicht. Folglich konnte die Position der Elektrode

nicht eher festgestellt werden, als bis das Kurzschlußsignal erzeugt wird. Damit ist stets ein Uberschwingen aufgetreten,,·· so daß die Elektrode das zu bearbeitende Werkstück berührt: hat, was Nachteile bringt. Da gemäß der Erfindung der Ver- *-· Stärkungsfaktor in Abhängigkeit vom Abstand zur Originalposition der Elektrode variiert und die Bewegungsgeschwindig- "" keit der Elektrode automatisch verzögert werden kann, läßt :" sich dieses überschwingen oder über das Ziel Hinausschießen, das bei herkömmlichen Apparaturen auftritt, vermeiden. Außerdem ist, je weiter der Bearbeitungsspalt zwischen Elektrode und Werkstück ist, die Bewegungsgeschwindigkeit der Elektrode höher. Somit wird, wenn der Zwischenelektrodenzustand durch Erweitern des Bearbeitungsspaltes zwischen Elektrode und Werkstück wieder hergestellt wird, eine kürzere Zeit benötigt, was eine Verbesserung der Bearbeitungseffek'tivität der erfindungsgemäßen Apparatur bedeutet.

Es sei bemerkt, daß zwar die vorangehende Beschreibung auf eine elektrische Entladungsbearbeitungsapparatur gerichtet ist, bei der der Verstärkungsfaktor G sich geradlinig proportional zur Differenz D zwischen der am weitesten vorgeschobenen Position der Elektrode und der Augenblicksposition der Elektrode ändert, gerichtet ist, d.h. also eine Beziehung gemäß Kurve der Fig. 9A hat, die Änderung des Verstärkungsfaktors nicht unbedingt geradlinig sein muß, sondern auch einen Verlauf gemäß Fig. 9B oder auch in zwei oder mehr Arten polygonallinear gemäß Fig. 9C sein kann, wobei entsprechend der vorangehenden Beschreibung dieselben Eigenheiten und Vorteile erzielt werden.

Ein weiteres bevorzugtes Ausführungsbeispiel der elektrischen

Entladungsbearbeitungsapparatur der Erfindung zeigt Fig. 10 auf der Basis des in Fig. 7 bis 9 gezeigten Grundprinzips speziell in Gestalt einer detaillierten Schaltungsanordnung der. Steuereinrichtung (30), die dabei verwendet wird.

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In Fig. 10 sind die Ausgänge 2 bis 2 vom Zweirichtungszäh-.····.

ler (14) für das Feststellen der Position der Elektrode in "\\ entsprechenden Eingängen eines multiplizierenden Digital/Ana'-v···* log-Wandlers (320) in der Steuereinrichtung (30) zugeführt. ",', .

Die Einzelheiten der Steuerschaltung (30) für die Steuerung ·

des Verstärkungsgrades eines Servosystems werden aufgrund der Ausgänge vom Zähler (14) mit Bezug auf Fig. 10 beschrieben. Das Zwischenelektrodenentartungszustandsdetektorsignal (V₅) wird direkt einem Analogschalter (321) und durch einen Inverter (323) einem Analogschalter (322) zugeleitet. Wenn kein entarteter Zustand des Zwischenelektrodenbearbeitungsspaltes auftritt und deshalb das Detektor signal (V₁-) den Pegelwert "1" hat, wird das invertierte Signal "0" durch den Inverter

(323) in den Analogschalter (322) eingeführt, der dadurch geöffnet ist, während das Detektorsignal "1" dem Analogschalter (321) direkt zugeleitet wird, der dadurch geschlossen wird.

Außerdem werden eine Zwischenelektrodendurchschnittspannung Vs und eine Bezugsspannung V₀ einem Spannungskomparator zugeführt, der daraus als Zwischenelektrodenservosignal eine Differenzspannung Va erzeugt, die über einen Verstärker (324) mit vorbestimmtem Verstärkungsfaktor K und den geschlossenen Analogschalter (322) zum Eingang eines Servoverstärkers (7) kommt, wodurch das Werkstück mit gewöhnlicher Verstärkung bearbeitet wird.

Wenn ein entarteter Zustand zwischen den Elektroden auftritt und das Detektorsignal (V,-) den Pegelwert "0" annimmt, kommt

über den Inverter (323) das invertierte Signal "1" zum Analogschalter (321), der dadurch geschlossen wird, während das Detektorsignal "0" direkt dem Analogschalter (322) zugeführt** wird dieser dadurch geöffnet ist. Das Zwischenelektrodenservosignal Va vom Komparator wird auch auf den anderen Eingang... des multiplizierenden Digital/Analog-Wandlers (320) gegeben,'·« der danach das Servosignal Va, das ihm von den Digitalausgän^-»

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gen 2 bis 2 vom Zähler (14) zugegangen ist, multipliziert und dadurch einen Analogausgang V₁ = Va χ (am weitestens vor"-,,¹." gerückte Position - Augenblicksposition) erzeugt. Der Ausgancj...:. V₁ vom Wandler (320) wird dann über den geschlossenen Analogschalter (321) auf den Eingang des Servoverstärkers (7) geführt, wodurch der Servoverstärkungsfaktor proportional zur Differenz zwischen der am weitesten vorgeschobenen Position der Elektrode und der Augenblicksposition der Elektrode gesteuert wird. Je höher also die Differenz ist, d.h., je stärker der Entartungszustand ist, desto höher wird der Servoverstärkungsf aktor , und desto schneller wird die Bewegungsgeschwindigkeit der Elektrode. Die Auswirkung der Veränderung des Bearbeitungsspaltes zwischen Elektrode und Werkstück, wenn die Elektrode sehr abrupt gegenüber dem Werkstück bewegt wird, sorgt für schnelles Herausfördern des im Bearbeitungsspalt angesammelten Schlamms oder irgendwelcher Chips oder Späne oder verteilt sie.

Als Multiplikations-Digital/Analog-Wandler (320) kann ein Wandler der Type AD7520 der Fa. Analog Device Co., USA verwendet werden.

Die vorstehende Beschreibung ist zwar auf eine Veränderung des Servoverstärkungsfaktors in Abhängigkeit von der Differenz zwischen der am weitesten vorgeschobenen Position und der Augenblicksposition der Elektrode gerichtet, wenn der Bearbeitungsspalt einen Entartungszustand annimmt, doch kann derselbe Vorteil auch nur durch Erhöhen des Servoverstärkungs-

faktors erwartet werden. In diesem Fall jedoch nähert sich der am weitesten vorgeschobene Wert dem Augenblickswert der Elektrode, so daß eine hohe Verstärkung auch unmittelbar vor;,..:, dem Kurzschluß zwischen Elektrode und Werkstück erhalten ... :

bleibt. Eine zu starke Annäherung der Elektrode an das Werk- .*" stück ist deshalb zu vermeiden. Wenn der oben genannte Di- :"""*; gital/Analog-Wandler wirksam in der erfindungsgemäßen Appiira.-.··. tür eingesetzt wird, kann der Servoverstärkungsfaktor auto- "*"" matisch so gesteuert werden, daß, wenn die Elektrode sich derfl*.". Werkstück sehr stark nähert, der Verstärkungsfaktor verringert wird, so daß eine überaus starke Annäherung von Elektrode und Werkstück und ein Aufschaukeln zu Schwingungen vermieden werden.

Figuren 11a und 11b zeigen ein wiederum anderes Ausführungsbeispiel der elektrischen Entladungsbearbeitungsapparatur nach der Erfindung, welches Anzeigemittel enthält, um den Zwischenelektrodenzustand auf der Basis eines Ausgangssignals von der Elektrodenpositionsdetektoreinrichtung (20) oder eines Ausgangssignals von der Zwischenelektrodenzustandserkennungseinrichtung (12) anzuzeigen.

In der Schaltungsanordnung der Fig. 11a wird das Ausgangssignal Vq von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung

(12) über eine Übertragungsleitung (41) einer Empfangsschaltung (40) zugeleitet, und das Zwischenelektrodenentartungszustandsdetektorsignal (V-) von der Zwischenelektrodenzustandserkennungseinrichtung (20) wird über eine übertragungsleitung (41) für die Übertragung des Signals (V^) der Empfängerschaltung (40) zugeführt. Das Ausgangssignal V„ des Digital/Analog-Wandlers in der Elektrodenpositionsdetektoreinrichtung (12) kann somit direkt durch ein Voltmeter (401) ausgelesen werden, das über die übertragungsleitung mit der Erkennungseinrichtung verbunden ist. Durch Beobachtung von V_Q des Wandlers läßt sich die Differenz zwischen der am wei-

testen vorgeschobenen Position der Elektrode (1) gegenüber dem Werkstück (3) und der Augenblicksposition der Elektrode (10) direkt am Voltmeter ablesen, womit dieselbe Wirkung wie;_>4 durch Beobachten eines mechanischen Meßgerätes erzielt wird.,,, 5

Die Empfangsschaltung (40) der Fig. 11a und folglich die ."" Anzeigeeinrichtung können an einem von der Elektrode (1) getrennten Ort aufgestellt werden. "-'

Ein wiederum anderes Ausführungsbeispiel der elektrischen Enfladungsbearbeitungsapparatur zeigt Fig. 11b, bei der der Aus'-" gang V_Q nicht als Analog-Signal sondern als Digital-Signal weitergeleitet wird, und der Digital-Ausgang Vq über einen Digital/Analog-Wandler in eine Analogspannung umgesetzt wird, die dann beobachtet wird, so daß ein Signal V„ in einer Umgebung mit starken elektrischen Störungen übertragen werden kan^n.

Bei dieser Schaltungsanordnung nach Fig. 11b wird das Ausgangssignal vom Zweirichtungszähler (14) der Elektrodenpositionsdetektoreinrichtung (12) über einen Puffer (42), der das Signal V„ verstärkt, und über eine abgeschirmte Ubertragungsleitungsgruppe (43) der Empfängerschaltung (40) zugeleitet und dort in einen Digital/Analog-Wandler (402) eingegeben, der dann die Digitalsignale in eine Spannung V„ entsprechend dem Analog-Signal V_Q umsetzt.

Da die Eigenheiten des Zwischenelektrodenbearbeitungsspaltzustandes der elektrischen Entladungsbearbeitungsapparatur an einem von der Elektrode entfernten Platz genau beobachtet werden können, können im voraus Fehlvorgänge im Bearbeitungsvorgang der elektrischen Entladungsbearbeitungsapparatur nach der Erfindung vermieden werden.

Es versiteht sich aus der vorangehenden Boschreibung, daß die

in den Figuren 11a und 11b dargestellten Anzeigeeinrichtungen auch bei den Beispielen der elektrischen Entladungsbearbeitungsapparatur der Figuren 3 und 4 sowie der Figuren 5 bis 8 eingesetzt werden können. 5

Claims

Patentansprüche

1 .A Elektrische Eritladungsbearbeitungsapparatur für die Bearbeitung eines Werkstücks durch Gegenüberstellen einer Elektrode mit dem Werkstück durch eine isolierende Bearbei- ·* tungslösung hindurch, Voranschieben der Elektrode zum Werk-', stück hin und Veranlassen der elektrischen Entladung innerhalb der einander gegenüberstehenden Elektroden, gekennzeichnet durch: Elektrodenposi-_ tionsfeststellmittel zum Feststellen der Differenz zwischen ' der am weitesten vorgeschobenen Position der Elektrode gegenüber dem Werkstück und der Augenblicksposition der Elektrode; und Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel zum Abgeben eines Signals durch Erkennen des Zwischenelektrodenzustands aufgrund der durch die Elektrodenpositionsfeststellmittel erkannten Differenz.

2. Apparatur nach Anspruch 1, bei der die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel arbeiten, um den Zwischenelektrodenzustand als entartet zu erkennen, wenn die Differenz zwischen der am weitesten vorgeschobenen Position der Elektrode und der Augenblicksposition der Elektrode durch die Elektrodenpositionserkennungsmittel als groß festgestellt wird.

3. Apparatur nach Anspruch 2, worin die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel arbeiten, um den Zwischenelektrodenzustand als entartet zu erkennen, wenn die Zeit, während der die Differenz zwischen der am weitesten vorgeschobenen Position der Elektrode und der Augenblicksposition der Elektrode von der Elektrodenpositionsfeststelleinrichtung als groß erkannt wird, länger als ein vorbestimmter Wert ist.

4. Apparatur nach Anspruch 2, worin die Zwischenelektrodenzustandscrkennungsmittel arbeiten, um don Zwischenelektrodenzustand als entartet zu erkennen, wenn der Wert des Produktes aus der Zeit, während der die Differenz zwischen der am weitesten vorgeschobenen Position der Elektrode und der Augenblicksposition der Elektrode, die durch die Elektrodenpositionserkennungseinrichtung erkannt werden, groß ist, und die Differenz höher als ein vorbestimmter Wert wird.

5. Apparatur nach Anspruch 2, worin die Zwischenelektrodeii"-zustandserkennungsmittel so ausgebildet sind, um entweder die Feststellung, daß der Zwischenelektrodenzustand entartet ist, wenn die Zeit, während der die Differenz zwischen der am weitesten vorgeschobenen Position der Elektrode und der Augenblicksposition der Elektrode, erkannt durch die Elektrodenpositj-onserkennungseinrichtung, groß ist, länger als ein vorbestimmter Wert dauert, oder der Elektrodenzustand als entartet erkannt wird, wenn der Wert des Produktes aus der Zeit, während der die Differenz zwischen der am weitesten vorgeschobenen Position der Elektrode und der Augenblicksposition der Elektrode, erkannt durch die Elektrodenpositionserkennungseinrichtung, groß ist und die Differenz höher ist als ein vorbestimmter Wert.

6. Apparatur nach Anspruch 2, worin die Elektrodenpositionserkennungseinrichtung ein Längenmeßgerät für die Erzeugung eines Digitalsignals abhängig von der Vorschub- oder Rückzugstrecke der Elektrode und einen Zweirichtungszähler zum Zählen der Digitalsignale des Meßgerätes enthält.

7. Apparatur nach Anspruch 2, worin die Elektrodenpositionserkennungseinrichtung ein Längenmäßgerät für die Erzeu-

gung eines Digitalsignals, abhängig von der Vorschub- oder Rückzugsstrecke der Elektrode, und einen Zweirichtungszähler zum Zählen der Digitalsignale des Längenmeßgerätes, einen ** Digital/Analog-Wandler zum Umwandeln der Digitalgröße auf der Ausgangsseite des Zweirichtungszählers in eine Analoggröße, einen Komparator zum Vergleichen der Ausgangsgröße '_ des Wandlers mit einem vorgegebenen Wert und Erzeugen eines ; Ausgangssignals in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis, einen Impulsoszillator zum Erzeugen von Impulsen mit vorgege- :.

benem Intervall, eine erste Gate-Schaltung, der das Ausgangs-· signal vom Komparator und das Ausgangssignal vom Impulsoszillator zugeführt wird, und eine zweite Gate-Schaltung, die das Ausgangssignal von der ersten Gate-Schaltung und das Digital-Signal vom Längenmeßgerät zugeführt erhält, um ein Ausgangssignal für den Zweirichtungszähler zu erzeugen, aufweist.

8. Apparatur nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel einen Komparator aufweisen, dem das Ausgangssignal von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung zugeführt wird, um dieses mit einem vorgegebenen Wert zu vergleichen und ein Ausgangssignal in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis zu erzeugen.

9. Apparatur nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel einen Komparator aufweisen, dem das Ausgangssignal von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung zugeführt wird, um dieses mit einem vorgegebenen Wert zu vergleichen und ein Ausgangssignal in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis zu erzeugen, und eine PrimärverzÖgerungsschaltung, die auf der Ausgangsseite des Komparators vorgesehen ist.

10. Apparatur nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel einen ersten
Komparator aufweisendem das Ausgangssignal von der Elektro-_

denpositionserkennungseinrichtung zugeführt wird, um dieses " mit einem vorgegebenen Wert zu vergleichen und ein Ausgangssignal in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis zu erzeugen,
ein Schaltelement, das so gesteuert wird, daß es in überein- ·· Stimmung mit einem Ausgangssignal vom Komparator leitend ist,'.: einen Primärverzögerungskreis, der mit der Hauptelektrode
des Schaltelementes verbunden ist, und einen zweiten Kompara--» tor zum Vergleichen der Ausgangsgröße vom Primärverzögerungs-—· kreis mit einem vorbestimmten Wert und zum Erzeugen eines
Ausgangssignals abhängig von dem Vergleichsergebnis.

11. Apparatur nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel einen Komparator aufweisen, dem das Ausgangssignal von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung zugeführt wird, um dieses mit ei-

0 nem vorgegebenen Wert zu vergleichen und ein Ausgangssignal
in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis zu erzeugen.

12. Apparatur nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel einen Komparator aufweisen, dem das Ausgangssignal von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung zugeführt wird, um dieses mit einem vorgegebenen Wert zu vergleichen und ein Ausgangssignal
in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis zu erzeugen, und eine
Primärverzögerungsschaltung, die auf der Ausgangsseite des
Komparators vorgesehen ist.

13. Apparatur nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenelektrodenzustandserkcnnungsmittel einen ersten

Komparator aufweisen, dem das Ausgangssignal von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung zugeführt wird, um dieses mit einem vorgegebenen Wert zu vergleichen und ein Ausgangs-, signal in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis zu erzeugen, ein Schaltelement, das so gesteuert wird, daß es in Übereinstimmung mit einem Ausgangssignal vom Komparator leitend ist_t* einen Primärverzögerungskreis, der mit der Hauptelektrode des Schaltelements verbunden ist, und einen zweiten Kompara- "-tor zum Vergleichen der Ausgangsgröße vom Primärverzögerungs-· kreis mit einem vorbestimmten Wert und zum Erzeugen eines Ausgangssignals abhängig von dem Vergleichsergebnis. r

14. Apparatur nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel einen ersten Komparator aufweisen, dem das Ausgangssignal von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung zugeführt wird, um dieses mit einem vorgegebenen Wert zu vergleichen und ein Ausgangssignal in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis zu erzeugen, ein Schaltelement, das so gesteuert wird, daß es in überein-. Stimmung mit einem Ausgangssignal vom Komparator leitend ist, Schaltmittel zum wahlweisen Leiten des Ausgangssignals von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung oder eines vorbestimmten konstanten Potentials zur Hauptelektrode des Schaltelementes, und einen zweiten Komparator zum Vergleichen der Ausgangsgröße vom Primärverzögerungskreis mit einem vorbestimmten Wert und zum Erzeugen eines Ausgangssignals abhängig von dem Vergleichsergebnis.

15. Apparatur nach Anspruch 9 oder 10, worin dem Schaltelement an der Haupte] ektrode ein Ausgancjs.signal von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung zuführbar ist.

16. Apparatur nach Anspruch 12 oder 13, worin ein Ende davon an ein vorbestimmtes konstantes Potential angeschlossen ist. :,

17. Elektrische Entladungsbearbeitungsapparatur für die _: ^; Bearbeitung eines Werkstücks durch Gegenüberstellen einer Elektrode mit dem Werkstück durch eine isolierende Bearbeitungslösung hindurch, Voranschieben der Elektrode zum Werkstück hin und Veranlassen der elektrischen Entladung innerhalb der einander gegenüberstehenden Elektroden, gekennzeichnet durch: Elektrodenpositionsfeststellmittel zum Feststellen der Differenz zwischen der am weitesten vorgeschobenen Position der Elektrode gegenüber dem Werkstück und der Augenblicksposition der Elektrode, Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel zum Abgeben eines Signals durch Erkennen des Zwischenelektrodenzustands aufgrund der durch die Elektrodenpositionsfeststellmittel erkannten Differenz, und eine Energiequelle zum Variieren der elektrischen Bearbeitungsbedinungen in Abhängigkeit von einem von der Zwischenelektroden zustand serkennung se inr ich tung stammenden Signal.

18. Apparatur nach Anspruch 17, worin die Energiequelle arbeitet, um die elektrischen Abtragungsbearbeitungsbedingungen zu variieren, damit der Zwischenelektrodenzustand wieder in Abhängigkeit von dem von der Zwischenelektrodenzustandserkennungseinrichtung stammenden Signal in einen brauchbaren Zustand zurückgeführt wird.

19. Apparatur nach Anspruch 17, bei der die Zwischenelcktrodenzustandserkennungsmittel arbeiten, um den Zwischenelektrodenzustand als entartet zu erkennen, wenn die Differenz

zwischen der am weitesten vorgeschobenen Position der Elektrode und der Augenblicksposition der Elektrode durch die Elektrodenpositionserkennungsmittel als groß festgestellt wird.

20. Apparatur nach einem der Ansprüche 17 bis 19, worin die elektrischen Bearboitungsbedingungen eine Entladungspausenzeit und das Zuführen von Spannung zwischen den Elektroden sind.

21. Apparatur nach Anspruch 19, worin die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel arbeiten, um den Zwischenelektro-

15' denzustand als entartet zu erkennen, wenn die Zeit, während der die Differenz zwischen der am weitesten vorgeschobenen Position der Elektrode und der Augenblicksposition der Elektrode von der Elektrodenpositionsfeststelleinrichtung als groß erkannt wird, langer als ein vorbestimmter Wert ist.

22. Apparatur nach Anspruch 19, worin die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel arbeiten, um den Zwischenelektrodenzustand als entartet zu erkennen, wenn die Zeit, während der die Differenz zwischen der am weitesten vorgeschobenen Position der Elektrode und der Augenblicksposition der Elektrode von der Elektrodenpositionsfeststelleinrichtung als groß erkannt wird, länger als ein vorbestimmter Wert ist.

23. Apparatur nach Anspruch 19, worin die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel arbeiten, um den Zwischenelektrodenzustand als entartet zu erkennen, wenn die Zeit, während der die Differenz zwischen der am weitesten vorgeschobenen Position der Elektrode und der Augenblicksposition der Elek-

trode von der Elektrodenpositionsfeststelleinrichtung als groß erkannt wird, langer als ein vorbestimmter Wert ist, und daß der Zwischenelektrodenzustand entartet ist, wenn -·-- der Wert des Produktes aus der Zeit, während der die Diffe- "'. renz zwischen der am weitesten vorgeschobenen Position der Elektrode und der Augenblicksposition der Elektrode, die durch_ die Elektrodenpositionserkennungseinrichtung erkannt werden, ; ; groß ist, und die Differenz höher als ein vorbestimmter Wert

wird. . «

-

24. Apparatur nach Anspruch 19, worin die Elektrodenpositionserkennungseinrichtung ein Längenmeßgerät für die Erzeugung eines Digitalsignals abhängig von der Vorschub- oder Rückzugstrecke der Elektrode und einen Zweirichtungszähler zum Zählen der Digitalsignale des Meßgerätes enthält.

25. Apparatur nach Anspruch 19, worin die Elektrodenpositionserkennungseinrichtung ein Längenmeßgerät für die Erzeugung eines Digitalsignals, abhängig von der Vorschub- oder Rückzugsstrecke der Elektrode, und einen Zweirichtungszähler zum Zählen der Digitalsignale des Längenmeßgerätes, einen Digital/Analog-Wandler zum Umwandeln der Digitalgröße auf der Ausgangsseite des Zweirichtungszählers in eine Analoggröße, einen Komparator zum Vergleichen der Ausgangsgröße des Wandlers mit einem vorgegebenen Wert und Erzeugen eines Ausgangssignals in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis, einen Impulsoszillator zum Erzeugen von Impulsen mit vorgegebenem Intervall, eine erste Gate-Schaltung, der das Ausgangssignal vom Komparator und das Ausgangssignal vom Impulsoszillator zugeführt wird, und eine zweite Gate-Schaltung, die das Ausgangssignal von der ersten Gate-Schaltung und das Digital-Signal vom Längenmeßgerät zugeführt erhält, um ein Ausgangssignal für den Zweirichtungszähler zu erzeugen, aufweist.

26. Apparatur nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel einen Komparator aufweisen, dem das Ausgangssignal von der Elektroden-*" positionserkennungseinrichtung zugeführt wird, um dieses mit* einem vorgegebenem Wert zu vergleichen und ein Ausgangssignal in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis zu erzeugen.

27. Apparatur nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, .'■*,„ daß die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel einen Korn-:., parator aufweisen, dem das Ausgangssignal von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung zugeführt wird, um dieses mit einem vorgegebenen Wert zu vergleichen und ein Ausgangssignal in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis zu erzeugen, und eine Primärverzögerungsschaltung, die auf der Ausgangsseite des Komparators vorgesehen ist.

28. Apparatur nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel einen ersten Komparator aufweisen, dem das Ausgangssignal von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung zugeführt wird, um dieses mit einem vorgegebenen Wert zu vergleichen und ein Ausgangssignal in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis zu erzeugen, ein Schaltelement, das so gesteuert wird, daß es in Übereinstimmung mit einem Ausgangssignal vom Komparator leitend ist, einen Primärverzögerungskreis, der mit der Hauptelektrode des Schaltelementes verbunden ist, und einen zweiten Komparator zum Vergleichen der Ausgangsgröße vom Primärverzögerungskreis mit einem vorbestimmten Wert und zum Erzeugen eines Ausgangssignals abhängig von dem Vergleichsergebnis.

29. Apparatur nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel einen Komparator aufweisen, dem das Ausgangssignal von der Elektroden-^ positionserkennungseinrichtung zugeführt wird, um dieses mit" einem vorgegebenen Wert zu vergleichen und ein Ausgangssignal in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis zu erzeugen.

30. Apparatur nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel einen "· Komparator aufweisen, dem das Ausgangssignal von der Elektro-· denpositionserkennungseinrichtung zugeführt wird, um dieses mit einem vorgegebenen Wert zu vergleichen und ein Ausgangssignal in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis zu erzeugen, und eine Primärverzögerungsschaltung, die auf der Ausgangsseite des Komparators vorgesehen ist.

31. Apparatur nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel einen ersten Komparator aufweisen, dem das Ausgangssignal von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung zugeführt wird, um dieses mit einem vorgegebenen Wert zu vergleichen und ein Ausgangssignal in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis zu erzeugen, ein Schaltelement, das so gesteuert wird, daß es in Übereinstimmung mit einem Ausgangssignal vom Komparator leitend ist, einen Primärverzögerungskreis, der mit der Hauptelektrode des Schaltelements verbunden ist, und einen zweiten Komparator zum Vergleichen der Ausgangsgröße vom Primärverzögerungskreis mit einem vorbestimmten Wert und zum Erzeugen eines Ausgangssignals abhängig von dem Vergleichsergebnis.

32. Apparatur nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel einen ersten Komparator aufweisen, dem das Ausgangssignal von der »-··!* Elektrodenpositionserkennungseinrichtung zugeführt wird, um ·»·, * dieses mit einem vorgegebenen Wert zu vergleichen und ein Ausgangssignal in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis zu er- ; ; zeugen, ein Schaltelement, das so gesteuert wird, daß es in - ·". Übereinstimmung mit einem Ausgangssignal vom Komparator leitend ist, Schaltmittel zum wahlweisen Leiten des Ausgangssig-;";":

nals von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung oder . . „ eines vorbestimmten konstanten Potentials zur Hauptelektrode des Schaltelementes, und einen zweiten Komparator zum Vergleichen der Ausgangsgröße vom Primärverzögerungskreis mit einem vorbestimmten Wert und zum Erzeugen eines Ausgangssignals abhängig von dem Vergleichsergebnis.

33. Apparatur nach Anspruch 24, worin die Energiequelle zum Verändern der elektrischen Bearbeitungsbedingungen folgendes enthält: einen Pausenzeiteinstellzähler zum Einstellen der elektrischen Entladungspausenzeit, einen Koinzidenzerkennungsschaltkreis zum Erzeugen eines Koinzidenzsignals, wenn der gezählte Wert des Zählers und der gezählte Wert des Zweirichtungszählers der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung gleich sind, eine Gate-Schaltung, der das Koinzidenzsignal von der Koinzidenzerkennungsschaltung und das Zwischenelektrodenzustandserkennungssignal von der ZwischenelektrodenzuStandserkennungseinrichtung eingegeben werden, einen Impulsbreiteneinstellzähler zum Einstellen der Impulsdauerzeit des Ein-Aus-Impulses der zwischen die Elektroden angelegten Spannung, eine Flipflopschaltung mit einer ersten Ausgangsklemme, der ein Signal entsprechend dem eingestellten Wert des Impulsbreiteneinstellzählers als Setzsignal und der Ausgang von der Gate-Schaltung als Rücksetzsignal eingegeben werden, um ein erstes Ausgangssig-

nal für den Pausenzeiteinstellzähler zu erzeugen, und mit einer zweiten Ausgangsklemme zum Erzeugen eines invertierten, zweiten Ausgangssignals, ein Schaltelement, das in Uberein- " Stimmung mit dem zweiten Ausgangssignal vom Flipflopkreis auf Durchlaß steuerbar ist, und eine mit der Hauptelektrode des Schaltelementes verbundene Energiequelle.

34. Apparatur nach Anspruch 28, worin dem Schaltelement an der Hauptelektrode ein Ausgangssignal von der Elektroden-·· positionserkennungseinrichtung zuführbar ist.

35. Apparatur nach Anspruch 31, worin ein Ende davon an ein vorbestimmtes konstantes Potential angeschlossen ist.

36. Apparatur nach Anspruch 33, worin die Energiequelle zum Variieren der elektrischen Bearbeitungsbedingungen einen Regler zum Regeln des Ausgangswertes der Energiequelle, welcher der Hauptelektrode des Schaltelementes zuführbar ist, in Abhängigkeit vom Zwischenelektrodenzustandserkennungssignal aufweist.

37. Apparatur nach Anspruch 36, worin der Regler den Ausgangswert der Energiequelle so regelt, daß die zwischen die Elektroden angelegte Spannung gering wird, wenn der Bearbeitungsspalt zwischen den Elektroden erweitert ist.

38. Elektrische Entladungsbearbeitungsapparatur für die Bearbeitung eines Werkstücks durch Gegenüberstellen einer Elektrode mit dem Werkstück durch eine isolierende Bearbeitungslösung hindurch, Voranschieben der Elektrode zum Werk-

stück hin und Veranlassen der elektrischen Entladung innerhalb der einander gegenüberstehenden Elektroden, gekennzeichnet durch: Elektrodenpositionsfeststellmittel zum·***** Feststellen der Differenz zwischen der am weitesten vorge- ***·.· schobenen Position der Elektrode gegenüber dem Werkstück und der Augenblicksposition der Elektrode, Zwischenelektrodenzu-"., Standserkennungsmittel zum Abgeben eines Signals durch Erken*-; nen des Zwischenelektrodenzustands aufgrund der durch die Elektrodenpositionsf eststellmittel erkannten Differenz, "..*." und Steuermittel zum Zuführen eines Elektrodenvorschubsignals;,.,;. zum Verändern der Elektrodenstellung abhängig von dem Ausgangssignal von der Zwischenelektrodenzustandserkennungseinrichtung, welches der Elektrodenvorschubeinrichtung zugeführt wird.

39. Apparatur nach Anspruch 38, worin die Steuereinrichtung so arbeitet, daß ein Elektrodenvorschubsignal zugeführt wird, welches den Zwischenelektrodenzustand auf den erwünschten Zustand hinführt, in Abhängigkeit vom Ausgangssignal von der Zwischenelektrodenzustandserkennungseinrichtung an die Elektrodenvorschubeinrichtung.

40. Apparatur nach Anspruch 38, worin die Steuermittel eine Verstärkungsgradsteuereinrichtung zum Steuern des Verstärkungsgrades zwischen einem Zwischenelektrodenservoeingangsdigitalsignal, basierend auf der Differenz zwischen einer Bezugsspannung und der Zwischenelektrodenspannung, und dem Elektrodenvorschub, der der Elektrodenvorschubeinrichtung zugeführt wird.

41. Apparatur nach Anspruch 38, bei der die Zwischenelcktrodenzustandserkennungsmittel arbeiten, um dein Zwischenelck-

trodenzustand als entartet zu erkennen, wenn die Differenz zwischen der am weitesten vorgeschobenen Position der Elektro-, de und der Augenblicksposition der Elektrode durch die Elek-* trodenpositionserkennungsmittel als groß festgestellt wird. 5

42. Apparatur nach Anspruch 41, worin die Zwischenelektro*- denzustandserkennungsmittel arbeiten, um den Zwischenelektro-

denzustand als entartet zu erkennen, wenn die Zeit, während *..* der die Differenz zwischen der am weitesten vorgeschobenen ·-·· Position der Elektrode und der Augenblicksposition der Elektrode von der Elektrodenpositionsfeststelleinrichtung als groß erkannt wird, länger als ein vorbestimmter Wert ist.

43. Apparatur nach Anspruch 41, worin die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel arbeiten, um den Zwischenelektrodenzustand als entartet zu erkennen, wenn der Wert des Produktes aus der Zeit, während der die Differenz zwischen der am weitesten vorgeschobenen Position der Elektrode und der Augenblicksposition der Elektrode, die durch die Elektrodenpositionserkennungseinrichtung erkannt werden, groß ist, und die Differenz höher als ein vorbestimmter Wert wird.

44. Apparatur nach Anspruch 41, worin die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel so ausgebildet sind, um entweder die Feststellung, daß der Zwischenelektrodenzüstand entartet ist, wenn die Zeit, während der die Differenz zwischen der am weitesten vorgeschobenen Position der Elektrode Und der Augenblicksposition der Elektrode, erkannt durch die Elektrodenpositionserkennungseinrichtung, groß ist, länger als ein vorbestimmter Wert dauert, oder der Elektrodenzustand als entartet erkannt wird, wenn der Wert des Produktes aus der Zeit, während der die Differenz zwischen der am weitesten vor-

geschobenen Position der Elektrode und der Augenblicksposition der Elektrode, erkannt durch die Elektrodenpositionserkennungseinrichtung, groß ist und die Differenz höher ist alfe"¹" ein vorbestimmter Wert. *"*. :

45. Apparatur nach Anspruch 41, worin die Elektrodenposi-; : tionserkennungseinrichtung ein Länqenmeßgerät für die Erzeugung eines Digitalsignals abhängig von der Vorschub- oder · Rückzugsstrecke der Elektrode und einen Zweirichtungszähler _;_ zum Zählen der Digitalsignale des Meßgerätes enthält.

46. Apparatur nach Anspruch 41, worin die Elektrodenpositionserkennungseinrichtung ein Länjenmeßgerät für die Erzeugung eines Digitalsignals, abhängig von der Vorschub- oder Rückzugsstrecke der Elektrode, und einen Zweirichtungszähler zum Zählen der Digitalsignale des Längenmeßgerätes, einen Digital/Analog-Wandler zum Umwandeln der Digitalgröße auf der Ausgangsseite des Zweirichtungszählers in eine Analoggröße, einen Komparator zum Vergleichen der Ausgangsgröße des Wandlers mit einem vorgegebenen Wert und Erzeugen eines Ausgangssignals in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis, einen Impulsoszillator zum Erzeugen von Impulsen mit vorgegebenem Intervall, eine erste Gate-Schaltung, der das Ausgangssignal vom Komparator und das Ausgangssignal vom Impulsoszillator zugeführt wird, und eine zweite Gate-Schaltung, die das Ausgangssignal von der ersten Gate-Schaltung und das Digital-Signal vom Längenmeßgerät zugeführt erhält, um ein Äusgangssignal für den Zweirichtungszähler zu erzeugen, aufweist.

47. Apparatur nach Anspruch 41, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel einen Komparator aufweisen, dem das Ausgangssignal von der Elektroden-

positionserkennungseinrichtung zugeführt wird, um dieses mit einem vorgegebenen Wert zu vergleichen und ein Ausgangssignal in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis zu erzeugen. ;.

48. Apparatur nach Anspruch 42, dadurch gekennzeichnet, .***", daß die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel einen Komparator aufweisen, dem das Ausgangssignal von der Elektro-·"·· denpositionserkennungseinrichtung zugeführt wird, um dieses .··.·, mit einem vorgegebenen Wert zu vergleichen und ein Ausgangssignal in Abhängigkeil vom Vergleichsergebnis zu erzeugen, ;···-· und eine Primärverzögerungsschaltung, die auf der Ausgangsseite des Komparators vorgesehen ist.

49. Apparatur nach Anspruch 42, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel einen ersten Komparator aufweisen, dem das Ausgangssignal von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung zugeführt wird, um dieses mit einem vorgegebenen Wert zu vergleichen und ein Ausgangssignal in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis zu erzeugen, ein Schaltelement, das so gesteuert wird, daß es in Übereinstimmung mit einem Ausgangssignal vom Komparator leitend ist, einen Pr.imärverzögerungskreis, der mit der Hauptelektrode des Schaltelementes verbunden ist, und einen zweiten Komparator zum Vergleichen der Ausgangsgröße vom Primärverzögerungskreis mit einem vorbestimmten Wert und zum Erzeugen eines Ausgangssignals abhängig von dem Vergleichsergebnis.

50. Apparatur nach Anspruch 43, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel einen Komparator aufweisen, dem das Auscjangssignal von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung zugeführt wird, um dieses

mit einem vorgegebenen Wert zu vergleichen und ein Ausgangssignal in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis zu erzeugen.

51. Apparatur nach Anspruch 43, dadurch gekennzeichnet, ■.,*. daß die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel einen Korn¹*..·'* parator aufweisen, dem das Ausgangssignal von der Elektroden*-* * positionserkennungseinrichtung zugeführt wird, um dieses mit einem vorgegebenen Wert zu vergleichen und ein Ausgangssig- ·.,-.· nal in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis zu erzeugen, und :.„„:_ eine Primärverzögerungsschaltung, die auf der Ausgangsseite des Komparators vorgesehen ist.

52. Apparatur nach Anspruch 43, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel einen ersten Komparator aufweisen, dem das Ausgangssignal von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung zugeführt wird, um dieses mit einem vorgegebenen Wert zu vergleichen und ein Ausgangssignal in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis zu erzeugen, ein Schaltelement, das so gesteuert wird, daß es in Übereinstimmung mit einem Ausgangssignal vom Komparator leitend ist, einen Primärverzögerungskreis, der mit der Hauptelektrode des Schaltelements verbunden ist, und einen zweiten Komparator zum Vergleichen der Ausgangsgröße vom Primärverzögerungskreis mit einem vorbestimmten Wert und zum Erzeugen eines Ausgangssignals abhängig von dem Vergleichsergebnis.

53. Apparatur nach Anspruch 44, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel einen ersten Komparator aufweisen, dem das Ausgangssignal von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung zugeführt wird, um dieses mit einem vorgegebenen Wert zu vergleichen und ein

Ausgangssignal in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis zu erzeugen, ein Schaltelement, das so gesteuert wird, daß es in Übereinstimmung mit einem Ausgangssignal vom Komparator ···-·♦ leitend ist, Schaltmittel zum wahlweisen Leiten des Ausgangs"·. ;

signals von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung oder eines vorbestimmten konstanten Potentials zur Hauptelektrode- '. des Schaltelements, und einen zweiten Komparator zum Verglei-- .."■'-chen der Ausgangsgröße vom Primärverzögerungskreis mit einem vorbestimmten Wert und zum Erzeugen eines Ausgangssignals :'":'; abhängig von dem Vergleichsergebnis. ,

54. Apparatur nach Anspruch 45, worin die Steuermittel folgendes aufweisen: einen Ausweitungszeiteinstellzähler für zwangweise Bearbeitungsspaltöffnung, um die Zeit für die zwangsweise Aufweitung des Zwischenelektrodenbearbeitungsspaltes einzustellen, eine Koinzidenzschaltung, die abhängig vom Zählwert des Bearbeitungsspaltzwangsaufweitungszeiteinstellzählers und vom Zählwert des Zweirichtungs-Zählers der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung ein Koinzidenzsignal erzeugt, wenn die beiden Zählwerte der Zähler übereinstimmen, einen Bearbeitungszeiteinstellzähler zum Einstellen der Bearbeitungszeit, welcher vom Koinzidehzsignal von der Koinzidenzschaltung rücksetzbar ist, eine auf das Zwischenelektrodenentartungszustanddetektorsignal, welches bedeutet, daß der Zwischenelektrodenzustand entartet ist, und auf das Koinzidenzsignal ansprechende Logikschaltung, die daraufhin ein erstes Ausgangssignal an den Bearbeitungszeiteinstellzähler und ein zweites Ausgangssignal an den Bearbeitungsspaltzwangsaufweitungszeiteinstellzähler abgibt, und eine Elektrodenanhebsignalzuführeinrichtung zum Erzeugen eines Signals zürn Anheben der vorzuschiebenden Elektrode bevorzugt gegenüber einem gewöhnlichen Elektrodenvorsehubsteuersignal zu einer Elektrodenvorschubeinheit auf Zugang des zweiten Ausgangssignals von der Logikschaltung.

55. Apparatur nach Anspruch 45, worin die Verstärkungsgradsteuereinrichtung zum Steuern der Verstärkung der Steu- . ereinrichtung einen Digital/Analog-Wandler enthält, der ab- * hängig vom Digitalausgangssignal vom Zweirichtungszähler der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung und dem Zwischen- , elektrodenservoeingangsdigitalsignal ein Analogsignal auf

der Basis des Digitaleingangssignals erzeugt.

56. Apparatur nach Anspruch 49, worin dem Schaltelement ; an der Hauptelektrode ein Ausgangssignal von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung zuführbar ist.

57. Apparatur nach Anspruch 52, worin ein Ende davon an ein vorbestimmtes konstantes Potential angeschlossen ist.

58. Apparatur nach Anspruch 55, worin die Logikschaltung ein Fliflop enthält mit einem Setzeingang, dem ein Signal entsprechend dem vorgegebenen Wert der Bearbeitungszeit im Zwischenelektrodenentartungszustandsdetektorsignal zuführbar ist, einem Rücksetzeingang, dem das Koinzidenzsignal von der Koinzidenzschaltung zuführbar ist, einem ersten Ausgang zum Erzeugen eines ersten Ausgangssignals zur Elektrodenanhebsignalzuführeinrichtung und zur Koinzidenzschaltung, und einen zweiten Ausgangs zum Erzeugen eines zweiten Ausgangssignals, das gegenüber dem ersten Ausgangssignal invertiert ist, zum Bearbeitungszeiteinstellzähler.

59. Apparatur nach Anspruch 55, worin der Digital/Analog-Wandler ein multiplizierender Digital/Analog-Wandler ist.

Mf

60. Apparatur nach Anspruch 55, worin die Verstärkungssteuereinrichtung zum Steuern des Verstärkungsgrades der Steu Steuereinrichtung folgendes aufweist: einen Digital/Analog- ·*' Wandler, der aufgrund eines Zwischenelektrodenservoeingangs-"" digitalsignals das Eingangsdigitalsignal in eine Analoggröße des Digitalausgangssignals vom Zweirichtungszähler der'., Elektrodenpositionserkennungseinrichtung umwandelt, einen *, : Verstärker, dem das Zwischenelektrodenservoeingangsdigitalsignal eingegeben wird, und eine Schalteinrichtung, die auf *_c> ein Ausgangssignal von der Zwischenelektrodenzustandserken- ;_a> nungseinrichtung wahlweise ein Ausgangssignal vom Wandler oder das Ausgangssignal vom Verstärker hervorbringt.

61. Apparatur nach Anspruch 58, worin die Elektrodenanhebsignalzuführeinrichtung einen aufgrund des ersten Aus-angs gan.gssignals von der Logikschaltung arbeitenden Schalter und eine mit dem Schalter verbundene Energiequelle aufweist.

62. Elektrische Entladungsbearbeitungsapparatur für die Bearbeitung eines Werkstücks,durch Gegenüberstellen einer Elektrode mit dem Werkstück durch eine isolierende Bearbeitungslösung hindurch, Voranschieben der Elektrode zum Werkstück hin und Veranlassen der elektrischen Entladung innerhalb der einander gegenüberstehenden Elektroden, gekennzeichnet durch: Elektrodenpositionsfeststellmittel zum Feststellen der Differenz zwischen der am weitesten vorgeschobenen Position der Elektrode gegenüber dem Werkstück und der Augenblicksposition der Elektrode, Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel zum Abgeben eines Signals durch Erkennen des Zwischenelektrodenzustands aufgrund der durch die Elektrodenpositionsfeststellmittel erkannten Differenz, und Anzeigemittel zum Anzeigen des Zwischenelektrodenzustands entsprechend dem Ausgangssignal von der Zwischenelektroden-

zustandserkennungseinrichtung oder dem Ausgangssignal von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung.

.63. Apparatur nach Anspruch 62, worin die Anzeigeeinrichtung an einem von der Elektrode entfernten Ort angebracht ist und über eine Übertragungsleitung mit dem Ausgangssignal von der Zwischenelektrodenzustandserkennungseinrichtung oder dem Ausgangssignal von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung versorgt wird.

64. Apparatur nach Anspruch 63, dadurch gekennzeichnet, daß die Anzeigeeinrichtung den Zwischenelektrodenzustand optisch anzeigt.

65. Apparatur nach Anspruch 63, dadurch gekennzeichnet, daß die Anzeigeeinrichtung ein Instrument zum Anzeigen des Wertes des Ausgangssignals von der Zwischenelektrodenpositionserkennungseinrichtung ist.

66. Apparatur nach Anspruch 63, bei der die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel arbeiten, um den Zwischenelektrodenzustand als entartet zu erkennen, wenn die Differenz zwischen der am weitesten vorgeschobenen Position der Elektrode und der Augenblicksposition der Elektrode durch die Elektrodenpositionserkennungsmittel als groß festgestellt wird.

67. Apparatur nach Anspruch 66, worin die Zwischenelektrodenzustandserkcnnungsmittel arbeiten, um den Zwischenelektrodenzustand als entartet zu erkennen, wenn die Zeit, wäh-

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rend der die Differenz zwischen der am weitesten vorgeschobenen Position der Elektrode und der Augenblicksposition der Elektrode von der Elektrodenpositionsfeststelleinrichtung als groß erkannt wird, langer als ein vorbestimmter Wert ist. ,

68. Apparatur nach Anspruch 66, worin die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel arbeiten, um den Zwischenelektrodenzustand als entartet zu erkennen, wenn der Viert de». Produktes aus der Zeit, während der die Differenz zwischen der am weitesten vorgeschobenen Position der Elektrode und der Augenblicksposition der Elektrode, die durch die Elektrodenpositionserkennungseinrichtung erkannt werden, groß ist, und die Differenz höher als ein vorbestimmter Wert wird.

69. Apparatur nach Anspruch 66, worin die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel so ausgebildet sind, um entweder die Feststellung, daß der Zwischenelektrodenzustand entartet ist, wenn die Zeit, während der die Differenz zwischen der am weitesten vorgeschobenen Position der Elektrode und der Augenblicksposition der Elektrode, erkannt durch die Elektrodenpositionserkennungseinrichtung,groß ist, länger als ein vorbestimmter Wert dauert, oder der Elektrodenzustand als entartet erkannt wird, wenn der Wert des Produktes aus der Zeit, während der die Differenz zwischen der am weitesten vorgeschobenen Position der Elektrode und der Augenblicksposition der Elektrode, erkannt durch die Elektrodenpositionserkennungseinrichtung, groß ist und die Differenz höher als ein vorbestimmter Wert ist.

70. Apparatur nach Anspruch 66, worin die Elektrodenpositionserkennungseinrichtung ein Längenmeßmaß für die Er-

zeugung eines Digitalsignals abhängig von der Vorschuboder Rückzugsstrecke der Elektrode und einen Zweirichtungszähler zum Zählen der Digitalsignale des Meßgerätes enthält."'

71. Apparatur nach Anspruch 66, worin die Elektrodenposi-",. tionserkennungseinrichtung ein Längenmeßgerät für die Erzeu-:.: gung eines Digitalsignals, abhängig von der Vorschub- oder Rückzugsstrecke der Elektrode, und einen Zweirichtungszähler· zum Zählen der Digitalsignale des Längenmeßgerätes, einen ;_ Digital/Analog-Wandler zum Umwandeln der Digitalgröße auf der Ausgangsseite des Zweirichtungszählers in eine Analoggröße, einen Komparator zum Vergleichen der Ausgangsgröße des Wandlers mit einem vorgegebenen Wert und Erzeugen eines Aüsgangssignals in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis, einen Impulsoszillator zum Erzeugen von Impulsen mit vorgegebenem Intervall, eine erste Gate-Schaltung, der das Ausgangssignal vom Komparator und das Ausgangssignal vom Impulsoszillator zugeführt wird, und eine zweite Gate-Schaltung, die das Ausgangssignal von der ersten Gate-Schaltung und das Digital-Signal vom Längenmeßgerät zugeführt, erhält, um ein Ausgangssignal für den Zweirichtungszähler zu erzeugen, aufweist.

72. Apparatur nach Anspruch 66, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel einen Komparator aufweisen, dem das Ausgangssignal von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung zugeführt wird, um dieses mit einem vorgegebenen Wert zu vergleichen und ein Ausgangssignal in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis zu erzeugen.

73. Apparatur nach Anspruch 67, dadurch gekennzeichnet,

daß die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel einen Komparator aufweisen, dem das Ausgangssignal von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung zugeführt wird, um dieses ;· mit einem vorgegebenen Wert zu vergleichen und ein Ausgangs--« signal in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis zu erzeugen, und eine Primärverzögerungsschaltung, die auf der Ausgangs- : seite des Komparators vorgesehen ist.

74. Apparatur nach Anspruch 67, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel einen ersten Komparator aufweisen, dem das Ausgangssignal von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung zugeführt wird, um dieses mit einem vorgegebenen Wert zu vergleichen und ein Äusgangssignal in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis zu erzeugen, ein Schaltelement, das so gesteuert wird, daß es in Übereinstimmung mit einem Äusgangssignal vom Komparator leitend ist, einen Primärverzögerungskreis, der mit der Hauptelektrode des Schaltelements verbunden ist, und einen zweiten Komparator zum Vergleichen der Ausgangsgröße ■ vom Primärverzögerungskreis mit einem vorbestimmten Wert und zum Erzeugen eines Ausgangssignals abhängig von dem Vergleichsergebnis.

75. Apparatur nach Anspruch 68, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel einen Komparator aufweisen, dem das Ausgangssignal von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung zugeführt wird, um dieses mit einem vorgegebenen Wert zu vergleichen und ein Ausgangssignal in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis zu erzeugen.

76. Apparatur nach Anspruch 68, dadurch gekennzeichnet,

daß die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel einen Komparator aufweisen, dem das Ausgangssignal von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung zugeführt wird, um dieses j_fi mit einem vorgegebenen Wert zu vergleichen und ein Ausgangs-,., signal in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis zu erzeugen, und eine Primärverzögerungsschaltung, die auf der Ausgangs- ,*" seite des Komparators vorgesehen ist.

77. Apparatur nach Anspruch 68, dadurch gekennzeichnet, * daß die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel einen '* ersten Komparator aufweisen, dem das Ausgangssignal von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung zugeführt wird, um dieses mit einem vorgegebenen Wert zu vergleichen und ein Ausgangssignal in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis zu erzeugen, ein Schaltelement, das so gesteuert wird, daß es in Übereinstimmung mit einem Ausgangssignal vom Komparator leitend ist, einen Primärverzögerungskreis, der mit der Hauptelektrode des Schaltelements verbunden ist, und einen zweiten Komparator zum Vergleichen der Ausgangsgröße vom Primärverzögerungskreis mit einem vorbestimmten Wert und zum Erzeugen eines Ausgangssignals abhängig von dem Vergleichsergebnis.

78. Apparatur nach Anspruch 69, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenelektrodenzustandserkennungsmittel einen ersten Komparator aufweisen, dem das Ausgangssignal von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung zugeführt wird, um dieses mit einem vorgegebenen Wert zu vergleichen und ein Ausgangssignal in Abhängigkeit vom Vergleichsergebnis zu erzeugen, ein Schaltelement, das so gesteuert wird, daß es in Übereinstimmung mit einem Ausgangssignal vom Komparator leitend ist, Schaltmittel zum wahlweisen Leiten des Ausgangssignals von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung oder

eines vorbestimmten konstanten Potentials zur Hauptelektrode des Schaltelements, und einen zweiten Komparator zum Vergleichen der Ausgangsgröße vom Primarverzogerungskreis mit einem*· vorbestimmten Wert und zum Erzeugen eines Ausgangssignals ab*- hängig von dem Vergleichsergebnis.

79. Apparatur nach Anspruch 70, worin die Anzeigemittel einen Digital/Analog-Wandler zum Umwandeln des Digitalaus- ;"

gangssignals vom Zweirichtungszähler der Elektrodenpositionserkeniiungseinrichtung, welches über die Übertragungsleitung,* die aus einer abgeschirmten Leitungsgruppe besteht, übertragen wird, in einen Analogwert aufweisen.

80. Apparatur nach Anspruch 74, worin dem Schaltelement an der Hauptelektrode ein Ausgangssignal von der Elektrodenpositionserkennungseinrichtung zuführbar ist.

81. Apparatur nach Anspruch 77, worin ein Ende davon an ein vorbestimmtes konstantes Potential angeschlossen ist.