DE3130098A1 - Verfahren und vorrichtung zum ueberziehen eines substrats - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zum ueberziehen eines substratsInfo
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Description
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Diese Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung
zum Überziehen eines Substrats, insbesondere eines Glassubstrats, mit einer pulverförmigen filmbildenden Masse.
Es sind verschiedene Verfahren zum Überziehen von Glas mit Filmen aus Metall oder Metal!oxiden bekannt. In der US-PS
36 60 061 ist ein Verfahren zum Abscheiden von Filmen aus einer Vielzahl von Metalloxiden auf einer heißen Glasoberfläche
eines kontinuierlichen Floatglasbandes beschrieben. Es wird eine Mischung von organometallischen Verbindungen
in einer organischen Lösung auf die Glasoberfläche bei einer ausreichend hohen Temperatur, um durch eine thermische
Reaktion die organometallischen Verbindungen in ein Metalloxid umzuwandeln, gesprüht. Bei dieser Arbeitsweise erhält
man dauerhafte Filme von Metalloxiden, die die gewünschten ästhetischen Eigenschaften besitzen und für die Kontrolle
der Sonnenenergie geeignet sind. Durch die Verwendung von großen Volumina von Lösungsmitteln tritt eine unerwünschte
rasche Abkühlung des Glases ein, doch sind als größere Nachteile die Gesundheitsgefährdung und die Verunreinigung
der Umwelt zu nennen.
Diese Nachteile können durch Weglassen des organischen Lö-,sungsmittels
beseitigt werden,. Ein Verfahren für die chemische Abscheidung von Überzügen ohne Anwendung von Lösungsmittel
ist in der US-PS 38 52 098 beschrieben. Bei diesem Verfahren wird ein reaktionsfähiges Überzugsmittel in einem
heißen Gasstrom dispergiert, verdampft und der zu überziehenden Oberfläche zugeführt, wobei die Oberfläche bei oder
oberhalb der Temperatur gehalten wird, bei der die reaktions-
-D-
fähige Überzugsmasse pyrolysiert und einen Film auf der Oberfläche bildet. Die Verdampfung der reaktionsfähigen
Überzugsmasse erfordert aber hohe Temperaturen, wodurch die Möglichkeit einer vorzeitigen thermischen Reaktion
bei einigen Überzugsmassen besteht.
Ein anderes Verfahren zur Abscheidung von Filmen aus der Dampfphase ist in der US-PS 41 82 783 beschrieben. Es wird
eine feste feinteilige reaktionsfähige Überzugsmasse fluidisiert, indem ein Gas zur Fluidisierung durch eine Masse
des reaktionsfähigen Überzugmittels geführt wird. Die fluidisierte
Mischung aus dem reaktionsfähigen Überzugsmittel und dem Gas wird mit einem zusätzlichen Gasvolumen vor der
Zuführung zu der Oberfläche des zu überziehenden Substrats verdünnt. Eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
mit einem Fluidisierbett des festen feinteiligen reaktionsfähigen Überzugmittels ist in der US-PS 41 82 783 beschrieben
und in der US-Anmeldung Serial Nr. 74 582 vom 13. September 1979 offenbart.
Aufgabe der Erfindung ist es ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Verfügung zu stellen, die die Gesundheit-,
Sicherheit- und Umweltprobleme einer Überzugsmasse auf Basis eines Lösungsmittels, die Risiken der Verdampfung
bei hoher Temperatur der Dampfphasenabscheidung und die Komplexizität des Verfahrens mit einer pulverförmigen Überzugsmasse
vermeiden.
Gemäß der Erfindung wird diese Aufgabe gelöst durch ein Verfahren zum Überziehen eines Substrats mit einem Film
durch Berühren des Substrats mit einer pulverförmigen reaktionsfähigen filmbildenden Masse, daß dadurch gekennzeichnet
ist, daß man (a) eine pulverförmige reaktionsfähige
Masse herstellt, (b) diese pulverförmige Überzugsmasse in einem Trägergasstrom dispergiert, (c) in diesem
Strom eine Turbulenz erzeugt und (d) die Mischung der pulverförmigen Überzugsmasse und des Trägergases auf das
zu überziehende Substrat aufbringt.
Bei der Erfindung wird eine pulverförmige reaktionsfähige Überzugsmasse in einem Trägergasstrom dispergiert und dieser
Strom wird gleichförmig an die Oberfläche des zu überziehenden Substrats herangebracht. Die pulverförmige reaktionsförmige
Überzugsmasse wird in sehr feiner Teilchengröße erzeugt und mit dem Strom des Trägergases gemischt.
Die Turbulenz der Mischung wird durch mindestens eine Schikane oder Störstelle erzeugt, so daß die Mischung aus
der pulverförmigen Überzugsmasse und dem Trägergas auf dem Weg zu dem zu überziehenden Substrat eine gleichförmige
Verteilung behält. Die pulverförmige reaktionsfähige Überzugsmasse wird auf die zu überziehende Oberfläche des Substrats
in der Regel durch eine Düse, die in geringer Entfernung von der zu überziehenden Oberfläche angeordnet ist,
aufgebracht. Die Länge der Düse ist ty.pi scherweise größer als ihre Breite und bevorzugt im wesentlichen gleich der
parallelen Dimension des Substrats. Im allgemeinen ist die Düse in ihrer Längsrichtung senkrecht zu der Richtung der
relativen Bewegung zwischen Düsenschlitz und Substrat ange- * bracht.
In der einzigen Figur ist ein Sprühsystem für das Aufbringen von Überzügen nach der Erfindung dargestellt. Es wird pulverförmige
reaktionsfähige Überzugsmasse dem System zugeführt und mit Luft gemischt. Beim Eintritt der Mischung in .
die Überzugskammer erzeugt eine Schikane , eine Turbulenz, ν
durch das Pulver gleichförmig in der Mischung verteilt bleib bis es durch die schlitzartige Düse auf der zu überziehenden
Oberfläche aufgebracht wird.
Als zu überziehendes Substrat kommt bevorzugt eine Glasscheil
in Betracht, die beim Überziehen in der Regel in horizontale:
Stellung gehalten wird. Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform wird das Substrat in einer oxidierenden Atmosphäre
bei einer Temperatur gehalten, die ausreichend ist, un die reaktionsfähige Überzugsmasse zu pyrolysieren und einen
Film aus Metalloxid auf der Oberfläche des Substrats niederzuschlagen.
Die reaktionsfähigen Überzugsmassen sind solche, die beim Berühren
mit dem zu überziehenden Substrat unter Bildung eines Films reagieren. Sie liegen bei der Erfindung in Form von
Pulvern vor,mit einer weitgehend gleichförmigen Teilchengrössenverteilung,
wobei die Teilchen eine Teilchengröße von 500 bis 600 Mikrometer oder weniger haben. Von besonderem Interes
sind reaktionsfähige Überzugsmassen, die durch Pyrolyse auf dem Substrat einen filmartigen Überzug ergeben. Beispiele sol
eher reaktionsfähigen Überzugsmassen sind, Metallbetadiketonate und andere organische Metallsalze, wie Acetate, Hexanoat
und Formiate; organometallische Verbindungen, wie Alkyl- und
Arylzinnhalogenide, insbesondere Alkylzinnfluoride. Bevorzugt
sind halogenierte Acetonate und Acetylacetonate, insbesondere Mischungen von Metallacetylacetonaten.
Die' reaktionsfähigen Überzugsmassen werden zerkleinert und/
oder gesiebt, um ein Haufwerk von möglichst einheitlicher Teilchengrößenverteilung zu bekommen. Mittlere Teilchengrössen
von 500 bis 600 Mikrometer oder weniger sind, wie bereits festgestellt wurde, von besonderem Interesse. Ein derartiges
Pulver der festen reaktionsfähigen Überzugsmasse hat physikalische Eigenschaften, die denjenigen von Mehl ähnlicl·
sind. Die pulverförmige Überzugsmasse wird mit einem Trägergas gemischt, bevorzugt mit Luft bei Umgebungstemperatur.
Die pulverförmige Überzugsmasse kann in den Strom des Trägergases injiziert, geblasen oder gesaugt werden. In der
Zeichnung wird eine Einrichtung zum Mischen der pulverförmigen Überzugsmasse mit dem Trägergas gezeigt, doch können
andere bekannte Einrichtungen zum Mischen von Pulvern mit Gasen benutzt werden. Das in der Zeichnung dargestellte
Pulverspülsystem besitzt eine Antriebseinheit mit einer Steuerung für eine Zuführschnecke. Auf einer Basis, die
aichdie Steuerung und die Antriebseinheit trägt, ist ein
Vibrator montiert, der den Pulverbehälter trägt und aus dem die pulverförmige Antriebsmasse durch die Wirkung des Vibra
tors eingebracht wird. In einer Mischkammer wird die pulver förmige Überzugsmasse in den Trägerstrom eingebracht und
durch eine Jetmühle geführt, wo die Teilchengröße der pul-'verförmigen
Überzugsmasse auf 1 bis 2 Mikrometer durch das Auftreffen der Teilchen und die Zentrifugalkräfte dieser
Mühle zerkleinert wird.
Das Trägergas kann bei einer beliebigen Temperatur unterhalb
der Zersetzungstemperatur der reaktionsfähigen Überzugsmasse
gehalten werden, bevorzugt aber unterhalb Verdampfungstemperatur und besonders bevorzugt bei Umgebungs
temperatur. Dadurch werden die Risiken für eine Zersetzun der reaktionsfähigen Überzugsmasse herabgesetzt. Die Verteilung
der pulverförmigen Überzugsmasse in dem Trägergas auf dem Weg zu dem Substrat wird im wesentlichen durch Er
zeugung einer Turbulenz durch eine Schikane, zum Beispiel eine zylindrischer Stab, am Eintritt der Überzugskammer
oder eine Reihe von Schikanen sichergestellt.
Die gleichförmige Mischung der pulverförmigen Überzugsmass
und des Trägergases wird der zu beschichtenden Oberfläche in der Regel durch eine schlitzförmige Düse zugeführt. Eir
solche Düse hat eine wesentlich größere Länge als Breite. Der Schlitz ist bevorzugt nicht weiter als 0,32 cm und hat
bevorzugt eine Länge die der parallelen Dimension der zu überziehenden Oberfläche entspricht, um die Gleichförmigke
des Überzuges zu verbessern. Der Schlitz ist bevorzugt rec winklig zur Richtung der relativen Bewegung zwischen der D
und der zu überziehenden Oberfläche angeordnet. Ein großes stationäres Substrat kann überzogen werden, indem eine ode
mehrere bewegte Düsen benutzt werden oder indem man das Su strat entlang einer oder mehreren stationären Düsen wander
läßt. Die Düse ist bevorzugt in einer Entfernung von wenig als 5,1 cm von der zu überziehenden Oberfläche angeordnet.
Bevorzugt beträgt diese Entfernung 1,2 bis 1,9 cm. Dadurch entsteht beim Überziehen ein Rückdruck, der ein gleichförm
iges Strömen der Mischung aus Trägergas und Überzugsmasse entlang der Länge des Schlitzes fördert, so daß die Gleich
förmigkeit des Überzuges noch weiter gesteigert wird.
Die Mischung aus dem Trägergas und der pulverförmigen reaktionsfähigen
Überzugsmasse berührt die zu überziehende Oberfläche und scheidet einen Film ab. Bevorzugt erfolgt die Berührung
zwischen der Mischung aus dem Trägergas und der pulverf örmigen Überzugsmasse bei einer Temperatur, die ausreichend
ist, um die reaktionsfähige Überzugsmasse unter Bildung eines Films aus Metalloxid zu pyrolysieren. Die hierfür
in Betracht kommenden Temperaturen liegen in der Regel bei 510 bis 566 C. Unter diesen Bedingungen kann die Mischung
aus der pulverförmigen Überzugsmasse und dem Trägergas einem
Nebel oder einem Rauch gleichen. Durch Entlüftungseinrichtung
en werden nicht umgesetzter Nebel von der zu überziehenden Oberfläche weggeführt. Das Pulver läßt sich leicht
für eine Wiederverwendung zurückgewinnen, wodurch dir Wirtschaftlichkeit verbessert wird.
Die Dicke des Films kann kontrolliert werden, indem man die Geschwindigkeit der relativen Bewegung zwischen der Düse und
dem Substrat ändert, indem man die Strömungsgeschwindigkeit der Mischung aus Trägergas und Überzugsmasse ändert, indem
man die Konzentration der Überzugsmasse in dem Trägergas erhöht oder senkt oder indem man die Temperatur des Substrats
erhöht oder senkt. Das Substrat kann in horizontaler oder vertikaler Lage überzogen werden.
Die Erfindung wird durch die Beispiele noch näher erläutert.
- 12 -
Ein frisch hergestelltes Floatglasband bewegt sich mit ei ner Geschwindigkeit von 9,1 m/Min, durch eine Überzugsvor
richtung, wie sie in der Zeichnung dargestellt ist. Es wi pulverförmige reaktionsfähige Überzugsmasse mit einer mit
leren Teilchengröße von 500 Mikrometer mit einer Geschwin digkeit von 150 bis 200 g/Min, in einen Luftstrom von 0,8
pro Minute eingeführt. Am Eintritt der Überzugskammer win durch einen zylindrischen Stab eine Turbulenz in der Miscl
aus Pulver und Luft erzeugt. Die Pulver-/Luftmischung win
einer schlitzförmigen Düse mit einer Weite von 1,6 mm und einer Länge, die etwa der Breite des Glasbandes entsprichi
zugeführt. Die Düse ist etwa 9,5 mm von der Glasoberfläch« entfernt und entwickelt einen Rückdruck, der zur Aufrechterhaltung
der gleichförmigen Verteilung des Pulvers beitr* Die Glasoberfläche befindet sich bei einer Temperatur von
etwa 566 C. Aus den verschiedenen reaktionsfähigen Überzugsmassen werden Metalloxidüberzüge auf Glasoberflächen
niedergeschlagen. Dabei werden bei den einzelnen Beispielen folgende Metallacetylacetonate mit gutem Erfolg als
reaktionsfähige Überzugsmittel verwendet:
niedergeschlagen. Dabei werden bei den einzelnen Beispielen folgende Metallacetylacetonate mit gutem Erfolg als
reaktionsfähige Überzugsmittel verwendet:
Beispiel Metalacetylacetonat
1 Kobalt
2 Chrom
3 Eisen
4 Nickel .5 Kupfer
6 Kupfer/Chrom
7 Kobalt/Eisen/Chrom
8 Mangan/Kupfer
9 ^„v Eisen/Kupfer/Chrom
Es wird ein Überzug wie in den vorhergehenden Beispielen hergestellt, doch wird als reaktionsfähige Überzugsmasse
Dibutylzinndifluorid in Form eines feines Pulvers verwendet.
Es wird ein gleichförmiger Film aus Zinnoxid mit einem Oberflächenwiderstand von 8 bis 10 Ohm erhalten.
Eine Mischung aus Kobalt-, Eisen- und Chromacetylacetonaten
mit einer mittleren Teilchengröße von 500 bis 600 Mikrometer wird durch Zerkleinern der Ausgangsstoffe in einer Kugelmühle
hergestellt. Das grobe Pulver wird in eine Jetmühle eingebracht, wo das Pulver zu einem feinen Staub mit
einer mittleren Teilchengröße von etwa 1 Mikron oder weniger zerkleinert wird. Der feine Staub wird in eine Überzugskammer
eingebracht, wobei 18 kg Luft aufgenommen werden (517 050 Pascal = 75 psi/bei 1,46 m3/Min.). Ein dübelartiger
Stab am Eingang der Überzugskammer erzeugt sofort ein Herumwirbeln der Mischung aus Staub und Gas. (Wenn der
Stab entfernt wird, muß die Luftaufnahme nahezu verdoppelt werden und man erhält einen Film mit einer schlechten Textur.
Außerdem muß man die Überzugskammer für höhere Abzugsleistungen einrichten.) Der Staub der reaktionsfähigen Überzugsmasse
wird durch eine schlitzartige Düse von einer Länge von 68,7 cm und einer Breite von 0,32 cm mit einer Geschwindigkeit
von etwa 600 Milligramm pro Sekunde zugeführt. Sie
- 14 -
berührt eine 66 cm breite Glasplatte mit einer Geschwindigkeit
von etwa ,5,1 m pro Sekunde. Die Düse ist stationär
etwa 1,9 cm oberhalb der Glasoberfläche angeordnet und das Glasband bewegt sich mit einer Geschwindigkeit von 6,35 m
pro Minute bei einer Temperatur von etwa 566 C. Es wird
ein Metalloxidfilm erhalten, der hinsichtlich seiner Dauerhaftigkeit und seiner spektralen Eigenschaften nahezu ideni isch ist mit einem Überzug aus einer Lösung der gleichen
reaktionsfähigen Überzugsmassen. Die spektralen Eigenschaften werden nachstehend verglichen.
etwa 1,9 cm oberhalb der Glasoberfläche angeordnet und das Glasband bewegt sich mit einer Geschwindigkeit von 6,35 m
pro Minute bei einer Temperatur von etwa 566 C. Es wird
ein Metalloxidfilm erhalten, der hinsichtlich seiner Dauerhaftigkeit und seiner spektralen Eigenschaften nahezu ideni isch ist mit einem Überzug aus einer Lösung der gleichen
reaktionsfähigen Überzugsmassen. Die spektralen Eigenschaften werden nachstehend verglichen.
% Durchlässigkeit
Reflexion U-Wert
Über zugs masse |
Licht | gesamte Sonnen energie |
23 22 |
||
Pulver Lö sung |
28 27 |
gesamte überzo- Glas-Sonnen- gene oberenergie Oberfl, fläche
31
31
35,6
36,0
Schattenkoeffi-
zient
zient
0,47
0,46
Winternacht
1,09
1,10
Sommer-Tag
1,11
1,11
CO CD CD CD OO
Es werden die Überzugsmasse, die Vorrichtung und die Verfahrensbedingungen
des vorstehenden Beispiels verwendet, um einen Film auf einem kontinuierlichen Floatglasband vo"
einer Dicke von 6 mm niederzuschlagen. Das Floatglasband ist das Handelsprodukt SOLARBRONZE^. Die gesamte 68,6 cm
Breite wird mit einem Überzug versehen, der hinsichtlich seiner Farbe und Textur gleichförmig ist und eine Lichtdurchlässigkeit
von 21 "L und eine Reflexion von der überzogenen
Seite von 37 % hat. Da der als Schikane am Eintritt der Überzugskammer angeordnete Stab niedrige Luftgeschwindigkeiten
erlaubt, sind keine Abzüge hoher Leistung erforderlich. Es werden nur Staubsammler verwendet,
um die nicht abgeschiedene Überzugsmasse für weitere Verwendung zurückzugewinnen.
Die reaktionsfähigen Überzugsmassen und die Verfahrensbedingungen der vorstehenden Beispiele werden für ähnliche
pulverförmigen Überzugsmassen verwendet, um ein 1,7 m breites
Glassubstrat zu beschichten. Die spektralen Eigenschaften des überzogenen Glases sind denjenigen vergleichbar vor
Beispiel 12.
Eine pulverförmige reaktionsförmige Überzugsmasse aus Dibutylzinndifluorid
mit einer Teilchengröße von etwa 500 bis etwa 600 Mikrometer wird mit einer Geschwindigkeit von
50 g/Min, in eine Strahlmühle eingebracht, wo die Teilchengröße auf etwa 1 bis 2 Mikron verkleinert wird. Das Dibutylzinndifluorid
wird in Luft (1,46 m3/Min. bei 517 050 Pascal) dispergiert und einer Glasoberfläche durch zwei stationäre
Doppeldüsen mit einer Länge von 30,5 cm und einer Breite von 1,6 mm zugeführt. Das Glas befindet sich bei einer Temperatur
von 593 bis 627 C, und bewegt sich mit einer Geschwindigkeit von 4,6 bis 6,1 m/Min. Es wird ein klarer
gleichförmiger Film aus Zinnoxid erhalten, der einen Widerstand von 20 Ohm hat.
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Claims (14)
- Patentanwälte (1411) H / D ''Dr. Michael Hann Dr. H.-G. Sternagel Marburger Straße 38 6300 GießenPPG Industries, Inc., Pittsburgh, Pennsylvania, USA VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ÜBERZIEHEN EINES SUBSTRATSPriorität: 8. August 1980 /USA/ Serial No. 176 322 8. August 1980 /USA/ Serial No. 176 323Patentansprüche:1/ Verfahren zum Überziehen eines Substrats mit einem Film durch Berühren des Substrates mit einer pulverförmigen reaktionsfähigen filmbildenden Masse, dadurch gekennzeichnet, daß man(a) eine pu'lverförmige reaktionsfähige Masse herstellt,(b) diese pülverförmige Überzugsmasse in einem Träger- jf gasstrom dispergiert,(c) in diesem Strom eine Turbulenz erzeugt und(d) die Mischung der pulverförmigen Überzugsmasse und des Trägergases auf das zu überziehende Substrat aufbringt.
- 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die pulverförmige Überzugsmasse eine mittlere Teilchengröße von etwa 500 Mikrometer hat.
- 3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die mittlere Teilchengröße der Überzugsmasse auf weniger als etwa 10 Mikron reduziert wird.
- 4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilchengröße durch eine Strahlmühle reduziert worden ist.
- 5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die pulverförmige Überzugsmasse in dem Trägergas bei Umgebungstemperatur dispergiert wird.
- 6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Trägergas Luft ist.
- 7. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die Turbulenz in dem Strom der Mischung aus Trägergas und pulverförmiger Überzugsmasse durch mindestens eine Schikane erzeugt wird. - 8. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die Mischung aus pulverförmiger Überzugsmasse und Trägergas auf die Oberfläche des Substrats durch eine schlitzförmige Düse aufgebracht wird. - 9. Verfahren nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet, daß die schlitzförmige Düse eine Weite von nicht grosser als 1,6 mm und eine Länge im wesentlichen gleich mit der parallelen Dimension der zu überziehenden Oberfläche hat. - 10. Verfahren nach Anspruch I9
dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat mit der Mischung aus der Überzugsmasse und dem Trägergas bei einer Temperatur, die ausreichend ist, um die Überzugsmasse zu pyrolysieren, in Berührung gebracht wird. - 11. Verfahren nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet, daß ein turbulenter Strom eines pulverförmigen Metallacetylacetonats in Luft auf die Oberfläche eines Glas-Substrates aufgebracht und zu einem Metalloxidfilm umgewandelt wird. - 12. Vorrichtung zum Überziehen eines Substrats mit einem Film durch Berühren des Substrates mit einer pulverförmigen reaktionsfähigen filmbildenden Masse, gekennzeichnet durch,(a) Einrichtungen zum Einführen einer pulverförmigen Überzugsmasse in einen Trägergasstrom,(b) Einrichtungen zum Erzeugen von Turbulenz in dem Strc aus pulverförmiger Überzugsmasse und Trägergas und(c) Einrichtungen zum Aufbringen der turbulenten Mischui auf die zu überziehende Oberfläche des Substrats.
- 13. Vorrichtung nach Anspruch 12, .
dadurch gekennzeichnet, daß sie zusätzlich Einrichtungen für die Erniedrigung de Teilchengröße der pulverförmigen Überzugsmasse einschli« - 14. Vorrichtung nach Anspruch 13,
dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtungen zur Erniedrigung der Teilchengröße der pulverförmigen Überzugsmasse eine Strahlmühle einschließen.
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