DE3119886C2 - - Google Patents
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Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren
zur Herstellung eines Halbleiterbauelements nach dem
Oberbegriff des Anspruchs 1.
Ein übliches Herstellungsverfahren eines Halbleiterbauelements
mit vorbestimmten Halbleiterelementen auf einem Isolierträger
(auch Substrat genannt) oder eines Bausteins,
bei dem Silizium auf einem Saphir vorgesehen ist (das im
folgenden als SOS-Baustein bezeichnet wird), bei dem Silizium-
Halbleiterelemente auf einem Saphirträger (auch Saphirsubstrat
genannt) gebildet werden, umfaßt mehrere Verfahrensschritte,
wie das Aufbringen einer Silizium-Einkristallschicht
auf dem Saphirträger, das Umwandeln
der Silizium-Einkristallschicht in eine amorphe Anordnung
in einem gewünschten Bereich, und das Erhitzen der
Silizium-Einkristallschicht mit amorpher Struktur auf
900°C oder 1000°C und dem Wiederherstellen der Einkristallstruktur.
Nach dem Ende dieser Verfahrensschritte
sind in der Silizium-Einkristallschicht vorbestimmte Elemente
oder beispielsweise ein MOS-Transistor gebildet.
Die Lochbeweglichkeit des SOS-Bausteins, der gemäß dem üblichen
Verfahren hergestellt ist, wird nicht verändert, wohl
aber die Elektronenbeweglichkeit vermindert. Bei einem
N-Kanal-MOS-Transistor, der in der (100)Ebene der p-leitenden
Siliziummasse mit einer Akzeptorkonzentration von beispielsweise
5·10¹⁶ cm⁻³ gebildet ist, reicht die Feldeffekt-
Beweglichkeit von 900 cm²/V·sec bis 1000 cm²/V·sec, während
bei einem auf einem SOS-Baustein ausgebildeten N-Kanal-MOS-
Transistor, der eine Silizium-Einkristallschicht aufweist,
deren Dicke zwischen 0,7 µm bis 1 µm schwankt, die Beweglichkeit
nur ungefähr 600 cm²/V·sec beträgt.
Der Grund für den oben erwähnten Nachteil liegt darin begründet,
daß der verwendete Saphir als Isolierträger (Substrat)
einen zweimal größeren Wärmeausdehnungskoeffizienten
aufweist, als Silizium, und wenn der SOS-Baustein nach
der Beendigung des Entstehungsvorganges wieder auf Zimmertemperatur
gebracht wird, zieht sich der Saphirträger mehr
als die Siliziumschicht zusammen. Deshalb ist die Siliziumschicht
einer Druckspannung ausgesetzt, die auf deren Hauptebene
wirkt, wenn sich der Saphirträger zusammenzieht, wodurch
eine Druckverformung verursacht wird. Das untere Ende
des Leitungsbandes hinsichtlich der Struktur des Energiebandes
des Siliziums liegt in Richtung der Hauptachse des
Wellenvektorraumes, d. h. der (100)Achse, wobei die diesem
Bereich benachbarte Fläche der Elektronen gleicher Energie
ein Rotationsellipsoid ist, das mit seiner Längsachse die
Richtung der Hauptachse einnimmt. Unter normalen Bedingungen
oder wenn keine Druckspannung vorhanden ist, tritt deshalb
keine Anisotropie in der Elektronenbeweglichkeit auf.
Wenn jedoch eine Druckverformung aufgrund der Kontraktion
des Saphirträgers in der Hauptebene oder XY-Ebene der Siliziumschicht
erzeugt wird, wird die Energie des Rotationsellipsoids
in der K z-Richtung, das heißt die
Ebene gleicher Energie höher als die Ebenen gleicher Energie
in der K x- und K y-Richtung. Deshalb bewegen sich die
Elektronen in dem K z-Tal zu den K x- und K y-Tälern, so daß
die Elektronenbeweglichkeit in der Hauptebene der Siliziumschicht
von den in den K x- und K y-Tälern zunehmenden Elektronen
abhängt, die eine verhältnismäßig große Menge aufweisen,
wodurch schließlich die Elektronenbeweglichkeit vermindert
wird.
In Appl. Phys. Lett. 36 (1), 1980, S. 64-66 wird über ein
Verfahren berichtet, bei dem eine Einkristallsiliziumschicht
vorübergehend in einen amorphen Zustand übergeführt wird,
der dann durch Kristallwachstum in fester Phase wieder in
eine Einkristallstruktur zurückgeführt wird. Die Siliziumschicht
wird dabei auf einem Saphirträger gebildet. Bei
diesem Verfahren ist es unvermeidlich, daß in der Siliziumschicht
Druckspannungen aufgrund unterschiedlicher Wärmeausdehnungskoeffizienten,
auftreten.
Gemäß dem Bericht in Appl. Phys. Lett. 36 (6), 1980,
S. 419-422 wird diese auftretende Druckspannung in der
Siliziumschicht vermieden. Die gebildete Siliziumschicht
wird wieder in eine Einkristallschicht überführt. Das Kristallwachstum
wird hier in der flüssigen Phase durchgeführt, was
zur Folge hat, daß die Einkristallsiliziumschicht keine zufriedenstellende
Kristallinität aufweist.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren
zur Herstellung eines Halbleiterbauelements zu ermöglichen,
bei dem die stromführenden Elemente, die auf einem
Isolierträger angeordnet sind, eine große Elektronenbeweglichkeit
aufweisen.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß bei
der Wärmebehandlung der Halbleiterschicht der Isolierträger
zumindest teilweise auf eine zweite Temperatur zwangsweise
gekühlt wird, die niedriger ist als die Temperatur, die
das den rekristallisierenden ersten Schichtabschnitt
tragende Bauelement umgibt, so daß bei Abkühlung des
Halbleiterbauelements auf Raumtemperatur eine Druckspannung
in der Einkristallhalbleiterschicht durch Wärmekontraktion
des Isolierkörpers verhindert ist.
Weitere Ausführungen des erfindungsgemäßen Verfahrens ergeben
sich aus den Unteransprüchen 2-6.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Zeichnungen näher
erläutert. Dabei zeigen
Fig. 1A-1D einen Querschnitt durch ein Halbleiterbauelement
während der einzelnen Herstellungsabschnitte;
Fig. 2 eine Kurve, die den Grad der Heliumrückwärtsstreuung
an einem Halbleiterbauelement
wiedergibt, das nach dem erfindungsgemäßen
Verfahren nach Fig. 1 hergestellt
ist;
Fig. 3 eine Kurve, die die Beziehung zwischen
der Gate-Spannung und der Feldeffektbeweglichkeit
in einem nach dem erfindungsgemäßen
Verfahren nach Fig. 1 hergestellten
Halbleiterbauelements wiedergibt;
Fig. 4A-4D schematische Querschnitte durch Halbleiterbauelemente
während unterschiedlicher Verfahrensabschnitte nach einem zweiten
erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel;
Fig. 5A-5D eine hauptsächliche Weiterverarbeitung,
die nach den in Fig. 4A-4D gezeigten
Verfahrensschritten ausgeführt wird, und
bei der N-Kanal- und P-Kanalbauelemente auf
dem einzelnen Isolierträger ausgebildet
werden;
Fig. 6A-6D andere Hauptverfahren, die denen in den
Fig. 5A-5D gezeigten entsprechen;
Fig. 7A-7D weitere Hauptverfahren, die jenen in den
Fig. 5A-5D gezeigten entsprechen.
Fig. 1A-1D zeigen schematische Querschnitte eines Halbleiters,
der gemäß eines ersten Ausführungsbeispieles nach
dem erfindungsgemäßen Herstellungsverfahren hergestellt ist.
In Fig. 1A ist ein Isolierträger (Substrat) z. B. ein Saphirträger
10 bis auf eine Dicke von ungefähr 320 µm abgeschliffen.
Bei dem Saphirträger 10 ist z. B. die (012) Kristallebene
als die Hauptebene ausgewählt. Eine Siliziumeinkristallschicht
12 weist eine Dicke von z. B. 0,7 µm auf
und ist auf der Hauptebene des Saphirträgers 10 ausgebildet.
Die Siliziumeinkristallschicht 12 ist epitaxial durch
thermische Zersetzung von Siliziumwasserstoff (SiH₄) gewachsen,
der durch Wasserstoff (H₂) in einer Atmosphäre
von beispielsweise 950°C verdünnt worden ist. Die Siliziumeinkristallschicht
12 weist deshalb die (100)Ebene als
Hauptebene auf.
Wie in den Fig. 1B gezeigt, wird der in Fig. 1A gebildete
SOS-Baustein bei einer Temperatur unter 20° gehalten,
während beispielsweise Siliziumionen (Si⁺) 14 in allen Bereichen
der Siliziumeinkristallschicht 12 implantiert werden.
Diese Si⁺-Implantation wird durch eine aufeinanderfolgend
ständig erhöhte Implantationsenergie von 140 KeV, 250 KeV,
400 KeV, 550 KeV und 700 KeV durchgeführt, wobei die Si⁺-Implantationsdosis
bei jeder Implantationsenergie auf z. B. 1·10¹⁵ cm⁻² eingestellt
wird. Dadurch ergibt sich, daß die Kristallstruktur
der Siliziumeinkristallschicht 12 beginnt, sich vom Grenzbereich
mit dem Saphirträger 10 aus in eine amorphe Struktur
umzuwandeln. Die Siliziumschicht 16 wird mit Ausnahme
eines Oberflächenabschnittes 17 in eine amorphe Kristallstruktur
umgewandelt, wobei der Oberflächenabschnitt
17 eine Einzelkristallstruktur mit vorbestimmter Tiefe von
beispielsweise 30,0 nm oder zumindest mehr als 2,0 nm aufweist, wodurch
ein darunter liegender amorpher Bereich 18 gebildet wird.
Ein gemäß dem Verfahrensschnitt 1 B gebildeter SOS-Baustein
wird, wie in Fig. 1C gezeigt ist, in einen Ofen 24 gegeben.
Ein Heizkörper 28 ist an der Außenwand 26 des Ofens
24 angeordnet; dann strömt beispielsweise Stickstoff (N₂)
in der durch eine Pfeil 30 gezeigten Richtung in den Ofen
24. Darüber hinaus ist ein Kühltisch 32 aus korrosionsbeständigem
Stahl vorgesehen, der eine Kühlleitung 34 aufnimmt.
Kühlgas, wie z. B. Helium (HE) zirkuliert durch die
Kühlleitung 34 in der durch die Pfeile 36, 37und 38 gezeigten
Richtung, wobei eine gewünschte Temperatur durch
eine Regelung der Konzentration des zirkulierenden Heliumgases
eingestellt werden kann. Nachdem der SOS-Baustein 20
auf dem Kühltisch 32 mit einem bei niedriger Temperatur
schmelzenden Metall festgekittet ist, z. B. Indium 40,
strömt Stickstoffgas (N₂) in den Ofen 24, um die Innenseite
von ihm auf eine Temperatur von beispielsweise 900°C
zu halten. Der Saphirträger 10 des SOS-Bausteins 20, der mit
dem Kühltisch 32 verbunden ist, wird auf eine Temperatur
unter 400°C, z. B. 300°C durch ständig durch die Kühlleitung
34 zirkulierendes Heliumgas gekühlt. Dabei ist es notwendig,
daß die Innentemperatur des Ofens von 900°C beispielsweise
für 30 Minuten in einem nicht gezeigten Bereich
benachbart zu der Grenzfläche zwischen dem amorphen Abschnitt
18 und dem Saphirträger 10 aufrechterhalten wird; diese
Grenzschicht weist eine Dicke von beispielsweise zumindest
10,0 nm oder 1 µm auf. Da die Einkristallsiliziumschicht 42
und der Saphirträger 10 vorher und dicht und fest miteinander
verbunden wurden, kann die Ausdehnung der Einkristallsiliziumschicht
42 durch den Saphirträger 10 niedrig gehalten
werden, wenn der SOS-Baustein nach Beendigung der Hitzebehandlung
wieder auf Raumtemperatur gebracht wird. Tests
haben ergeben, daß die amorphe Struktur in der Einkristallsiliziumschicht
42 sogar nach dem Ende des in Fig. 1C gezeigten
Verfahrensschrittes teilweise zurückbleibt, wenn die Dicke
der Grenzschicht in dem Saphirträger 10 kleiner als 10,0 nm
gewählt wird. Deshalb wird die Innenseite des SOS-Bausteins
20, der mit dem Kühltisch 32 fest verbunden ist, mit Ausnahme
der oben erwähnten Grenzschicht des Saphirträgers 10
auf eine Temperatur von 300°C gekühlt. Dies führt dazu,
daß die Wärmeausdehnung des Saphirträgers 10 gesenkt wird,
während der amorphe Abschnitt 18 der auf 900°C aufgeheizten
Siliziumschicht 16 epitaxial in fester Phase kristallisiert,
wobei als Kristallkeim der auf der Oberfläche
des amorphen Abschnitts 18 zurückgelassene einkristalline
Oberflächenabschnitt 17 verwendet wird. Das heißt,
daß der amorphe Abschnitt 18, der gemäß dem Verfahrensschritt
nach 1 B gebildet wurde, verschwindet und die Siliziumschicht
16 in allen ihren Bereichen umgebildet wird,
so daß der Saphirträger 10 an die eine Einkristallstruktur
aufweisende Siliziumeinkristallschicht 42 angrenzt. Die
Innentemperatur des Ofens wird unter Berücksichtigung des
folgenden gewählt. Es wurde nämlich durch Tests herausgefunden,
daß der amorphe Abschnitt 18 der Siliziumschicht 16
bei einer Temperatur höher als 450°C in fester Phase epitaxial
zu kristallisieren beginnt, und einen zufriedenstellenden
Einkristall bis an den angrenzenden Saphirträger 10 ergibt,
der in dem Verfahrensschritt nach Fig. 1C eine
Temperatur größer als 550°C aufweist. Deshalb ist die Innentemperatur
des Ofens 24 auf 900°C in diesem
Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens eingeregelt worden.
Die Bildung einer Siliziumeinkristallschicht 42 kann durch
Messungen an dem SOS-Baustein nach der Hitzebehandlung entsprechend
Fig. 1C mit Hilfe der Heliumionen-Rückstreuspektroskopie bestätigt werden.
In Fig. 2 ist
ein Helium-Rückstreuspektrum
von einem SOS-Baustein gezeigt. Die Kanalnummer N entspricht der
Dicke der Siliziumschicht. Die Kurve 50 zeigt ein Rückstreuspektrum,
bevor Ionen in die Siliziumeinkristallschicht
12 nach Fig. 1A implantiert wurden, während die
Kurve 52 die Verhältnisse nach der Implantation der Ionen
in die Siliziumschicht 16 nach Fig. 1B wiedergibt, und die
Kurve 54 zeigt das Rückstromspektrum nach der Hitzebehandlung
des Siliziumeinkristalls 42.
Dabei wurde die Dicke des Einkristalloberflächenabschnitts
17 der Siliziumschicht 16 bei dem Verfahrensschritt nach
Fig. 1B unter Berücksichtigung der folgenden Tatsachen
auf 30,0 nm festgesetzt. Wenn die Implantationsdosis der Siliziumionen
14 erhöht wird, um die Dicke des Oberflächenabschnittes
17 auf unter 2,0 nm zu verringern, ist der amorphe
Abschnitt 18 selbst dann nicht einkristallin, wenn er später
irgendeiner Hitzebehandlung ausgesetzt wird. Um eine Einkristallsiliziumschicht
42 zu erhalten, die durch ein in
einer festen Phase vonstatten gehendes Wachstum umgewandelt
wird, ist es deshalb notwendig, daß die Dosis der Ionenimplantation
so eingestellt wird, daß der einkristalline Oberflächenabschnitt
17, mit einer Dicke von mindestens 2,0 nm übriggelassen wird.
Messungen haben ergeben, daß die Gitterkonstante des so
gebildeten SOS-Bausteins in Richtung auf die Schichttiefe
der Einkristallsiliziumschicht 42 (Fig. 1D) 0,54 nm beträgt,
die somit kleiner ist als die von gewöhnlicher Siliziummasse.
Aufgrund dieser Meßergebnisse ist es offenkundig,
daß eine Dehnungsspannung auf die (100)Hauptebene der Einkristallsiliziumschicht
42 wirkt.
Nach Beendigung der in den Fig. 1A-1D gezeigten Verfahrensschritte,
wird der SOS-Baustein entsprechend den
allgemein bekannten Fabrikationstechniken bearbeitet, um
einen N-Kanal MOS-Transistor herzustellen. In Fig. 3 zeigt
eine Kurve den Wechsel der Feldeffektbeweglichkeit µ fe in
Bezug auf die Gate-Spannung V g (in Volt) des N-Kanal MOS-
Transistors. Eine Kurve 60 gibt die µ fe Änderung des N-Kanal
MOS-Transistors wieder, der aus dem SOS-Baustein gebildet
ist, der herkömmlich hergestellt ist; dabei ist der
maximale Wert ungefähr 600 cm²/V·sec. Der maximale Wert von
µ fe eines aus gewöhnlichem Blocksiliziumsubstrat hergestellten
N-Kanal MOS-Transistors liegt, wie aus der Kurve 62
zu ersehen ist, bei ungefähr 1000 cm²/V·sec. Im Gegensatz
dazu erreicht, wie aus der Kurve 64 zu ersehen ist, die
Beweglichkeit µ fe eines N-Kanal MOS-Transistors, der aus
einem nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten
SOS-Baustein geformt ist, einen maximalen Wert von 1200 cm²/V·sec.
Nach dem erfindungsgemäßen Herstellungsverfahren eines Halbleiterbauelements
wird der Saphirträger 10, der auf dem
Kühltisch 32 mittels eines bei niedriger Temperatur schmelzenden
Metalls, z. B. Indium 40, festgekittet ist, auf einer
um 300°C niedrigeren Temperatur als die Innentemperatur
gehalten, während der amorphe Abschnitt 18 der Siliziumschicht
16 in dem Ofen 24 auf 900°C aufgeheizt wird, um
ein Kristallwachstum in fester Phase zu ermöglichen. Dazu
wird die Wärmeausdehnung des Saphirträgers 10, der einen
größeren Wärmeausdehnungskoeffizienten als die Siliziumschicht
hat, niedrig gehalten. Wenn der hitzebehandelte SOS-
Baustein wieder auf Raumtemperatur zurückgebracht wird,
wird der Kontraktionsgrad des Saphirträgers 10 kleiner als
der der Einkristallsiliziumschicht 42, die sich auf dem
Saphirträger 10 erstreckt. Dabei ist der Kontraktionsgrad
der Einkristallsiliziumschicht 42 größer als der
des Saphirträgers 10. Wenn der SOS-Baustein auf Raumtemperatur
zurückgebracht wird, zieht sich deshalb die Einkristallsiliziumschicht
42 in Richtung auf die Hauptebene
stärker zusammen, als der Saphirträger 10, wodurch verhindert
wird, daß die Einkristallsiliziumschicht 42 einer
Druckspannung ausgesetzt wird, die entsprechend der Kontraktion
des Saphirträgers 10 in Richtung auf ihre Hauptebene
wirkt. Auf die Einkristallsiliziumschicht 42 kann
nur die Dehnungsspannung gemäß der Differenz zwischen dem
Kontraktionsgrad der Einkristallsiliziumschicht 42 und
dem des Saphirträgers 10 einwirken, wodurch verhindert
wird, daß eine Druckverformung in der Einkristallsiliziumschicht
42 auftritt und dazu beiträgt, daß entsprechend
der einwirkenden Dehnungsspannung in der Einkristallsiliziumschicht
42 eine Dehnungsdeformation auftritt. Deshalb
kann die Elektronenbeweglichkeit der Einkristallsiliziumschicht
42, die auf dem Saphirträger 42 ausgebildet ist,
in Richtung auf die Hauptebene wesentlich gesteigert werden.
Bei den Strom führenden Halbleiterelementen
oder MOS-Transistoren, die in der bekannten Weise nach
dem Abschluß des in dem ersten erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel
gezeigten Herstellungsverfahrens erzeugt werden,
kann zusätzlich die Operationsgeschwindigkeit erhöht werden.
In dem Fall, in dem die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren
hergestellten aktiven Elemente die gleiche Operationsgeschwindigkeit
wie jene aktiven Elemente von Halbleiterbauelementen
haben, die in üblicher Weise hergestellt wurden,
kann das Ausmaß der zusammengefaßten aktiven Elemente
erhöht werden, da die Flächen der nach dem erfindungsgemäßen
Verfahren hergestellten aktiven Elemente der Halbleiterbauteile
kleiner ausgebildet werden können.
Die Elektronenbeweglichkeit kann frei geändert werden, in dem
die Kühltemperatur des Saphirträgers 10 des SOS-Bausteins 20 reguliert
wird. Die Elektronenbeweglichkeit der hitzebehandelten
Einkristallsiliziumschicht 42 auf die Hauptebene zu kann
nämlich auf einen gewünschten Wert eingestellt werden, in dem
die Menge des durch die Kühlleitung 34, die in dem Kühltisch
32 vorgesehen ist, strömenden Heliumgases reguliert wird.
Wenn gewünscht wird, daß die in der Einkristallsiliziumschicht
42 auftretende Spannung nicht von einer Druckspannung
in eine Dehnungsspannung überführt wird, und wenn ebenso
gewünscht wird, die Stärke der Druckspannung zu senken oder
auf Null zu reduzieren, wobei keine Spannungszustände herbeigeführt
werden, kann die Temperaturdifferenz zwischen der
Siliziumschicht 20 und dem Saphirträger 10 verringert werden,
in dem die Haltetemperatur des Kühltisches 32 auf eine
Temperatur über 300°C erhöht oder die Innentemperatur des
Ofens 24 gesenkt wird.
Nachfolgend wird ein zweites Ausführungsbeispiel eines Herstellungsverfahrens
eines Halbleiterbauelements beschrieben.
In Fig. 4A ist eine Maske 70 auf einer Einkristallsiliziumschicht
12 ausgebildet, die wiederum auf einem Saphirträger
10 angeordnet ist, und die beispielsweise eine Dicke von
0,5 µm aufweist. Die Maske 70 ist durch das bekannte chemische
Aufdampfverfahren (chemical vapor deposition CVD) von
beispielsweise Siliziumdioxyd (SiO₂) aufgebracht. Der Abschnitt der
Maske 70, der den vorbestimmten (oder offenen) Bereichen entspricht,
in denen N-Kanäle ausgebildet werden sollen, wird
durch das in Fig. 4B gezeigte Verfahren entfernt. Die zurückgelassene
Maske bildet jenen Bereich, in dem P-Kanäle
gebildet werden sollen, und der Maskenbereich 74 genannt wird.
Si⁺14 wird, wie in Fig. 4C gezeigt, in den so gebildeten
SOS-Baustein 75 implantiert. Diese Ionenimplantation ist
die gleiche wie die in dem ersten Ausführungsbeispiel, im
besonderen in Fig. 1B gezeigt, weshalb eine detaillierte
Beschreibung ausgelassen wird. Als Ergebnis der Ionenimplantation
wird ein amorpher Abschnitt 76 in einem vorbestimmten
Bereich in der Einkristallsiliziumschicht in
dem offenen Bereich 72 gebildet. Der amorphe Abschnitt 76,
mit Ausnahme eines vorbestimmten Bereichs (oder Oberflächenabschnitt)
78 mit einer Tiefe oder Dicke von
zumindest mehr als 2,0 nm oder beispielsweise 30,0 nm von
der Oberfläche der Einkristallsiliziumschicht aus, erreicht
dabei die Berührungsfläche mit dem Saphirträger 10.
Die Maske 70 verhindert entsprechend den Maskenbereichen
74, daß die meisten der Si⁺14 in der Einkristallsiliziumschicht
12 implantiert werden. Einige der Siliziumionen 14
durchdringen jedoch die Maske 70, wodurch die Bildung eines
weiteren amorphen Abschnitts 80 in der Einkristallsiliziumschicht
des Maskenbereichs 74 verursacht wird. Die Oberfläche
des amorphen Abschnitts 80 berührt die Maske 70. Eine nach
dem in Fig. 4C gezeigten Verfahren hergestellter SOS-Baustein
wird hitzebehandelt. Dabei wird der SOS-Baustein 82 in den
Ofen 24 gebracht (Fig. 1C) und die Siliziumschicht wird
aufgeheizt, während der Saphirträger 10 auf einer niedrigeren
Temperatur gehalten wird, als die Temperatur, mit
der die Siliziumschicht aufgeheizt wird. Diese Hitzebehandlung
ist ähnlich zu der in dem ersten Ausführungsbeispiel,
im einzelnen in Fig. 1C gezeigten, weshalb eine detaillierte
Beschreibung hierzu ausgelassen wird. Das Aufheizen führt
zu dem Ergebnis, daß an dem offenen Bereich 72 und den Maskenbereich
74 die amorphen Abschnitte 76 und 80 in eine
Einkristallstruktur umgewandelt werden, wobei der Einkristall
in fester Phase epitaxial wächst. Dadurch wird eine Einkristallsiliziumschicht
86 auf dem Saphirträger 10 wie in Fig.
4D gezeigt gebildet. Das Bezugszeichen 88 bezieht sich
auf einen SOS-Baustein, bei dem die Maske 70 in einer bekannten
Art und Weise entfernt worden ist.
Messungen haben ergeben, daß die Gitterkonstante des SOS-
Bausteins 88 in Richtung auf die Schichtdicke der hitzebehandelten
Einkristallsiliziumschicht an dem offenen Bereich
72 0,542 nm beträgt. Sie ist kleiner als die Gitterkonstante
eines üblichen Siliziumblocks und zeigt deshalb, daß eine
Zugverformung in der Einkristallsiliziumschicht mit
dem offenen Bereich 72 auf die (100)Hauptebene verursacht
wird. Es wurde herausgefunden, daß die Gitterkonstante in
Richtung auf die Schichtdicke der Einkristallsiliziumschicht
im Maskenbereich 74 einen Wert von 0,544 nm aufweist, was
zeigt, daß eine Zugverformung immer noch auf die Hauptebene
der Siliziumschicht wirkt. Die Elektronenbeweglichkeit im
offenen Bereich 72, in dem N-Kanäle ausgebildet werden,
die Elektronen als Ladungsträger verwenden, kann deshalb was noch
auszuführen ist, gesteigert werden. Die Defektelektronenbeweglichkeit
im Maskenbereich 74, in dem P-Kanäle ausgebildet, die Defektelektronen
als Ladungsträger verwenden, kann ebenso erhöht werden, da ihre
Beweglichkeit kraft der Druckspannung auf die
Hauptebene der Siliziumschicht größer wird, als im Vergleich
mit dem Siliziumblock im Falle von Defektelektronen als Ladungsträger, der
umgekehrt ist zu dem Fall, bei dem Elektronen als Ladungsträger
verwendet werden.
Gemäß dem in den Fig. 5A-5C gezeigten Verfahren werden
N- und P-Kanalelemente auf dem SOS-Baustein gebildet, nach
dem diese nach Abschluß der in den Fig. 4A-4C gezeigten
Verfahrensschritte fertiggestellt ist. Überdies wird ein dünner
Hitzeoxidfilm 90 und eine durch das CVD-Verfahren aufgedampfte
SiO₂ (oder CVD Polykristallinsilizium) Schicht 92
auf der Einkristallinsiliziumschicht 86 (Fig. 4D) auf dem
Saphirträger 10 gebildet, wonach der SOS-Baustein 88 dann
chemisch geätzt wird. Wie in Fig. 5A gezeigt, ist eine
Siliziumschicht 98 mit entsprechendem offenen Bereich
72, in denen N-Kanalelemente gebildet werden sollen, (im folgenden
als N-Kanalelementfläche bezeichnet) von einer Siliziumschicht
100 mit entsprechendem Maskenbereich 74 getrennt,
in dem P-Kanalelemente gebildet werden sollen (im folgenden als
P-Kanalelementfläche bezeichnet). Die Ionenimplantation
in den Siliziumschichten 98 und 100 kann vor oder nach
dem Trennungsvorgang durchgeführt werden, um zu verhindern, daß
ein nicht erwünschter gestörter MOS-Transistor
an den Seiten oder dergleichen der inselförmigen Siliziumschichten
98 und 100 gebildet wird. Ein lichtempfindlicher Fotolack
102 ist auf den N-Kanalelementbereich 72 aufgetragen.
Danach werden z. B. Phosphorionen (P⁺) 99 in einer Menge
von 1·10¹³/cm² bei 50 kV in den P-Kanalelementbereich 74
implantiert. In dem Fall, in dem Borionen (B⁺) in einer
Anzahl von 1·10¹³/cm² bei 30kVB in die Seite der inselförmigen
Siliziumschicht 98 bei dem N-Kanalelementbereich 72
implantiert werden, ist ein nicht gezeigter lichtempfindlicher
Fotolack auf dem P-Kanalelementbereich 74 aufgebracht.
Der Hitzeoxidfilm 90 und die CVD-SiO₂-Schicht 92
werden dann entfernt. Die Oxidfilme 104 und 106 werden
jeweils entsprechend dem in Fig. 5B gezeigten Verfahren
auf der Oberfläche einer jeden inselförmigen Siliziumschicht
98 und 99 bei den N- und P-Kanalelementbereichen
72 und 74 aufgezogen. Diese Oxidfilme 104 und 106 werden
so ausgebildet, daß sie eine Dicke von ungefähr 80,0 nm aufweisen,
wobei trockener Sauerstoff (O₂) verwendet wird.
Während der P-Kanalelementbereich 74 mit einem nicht gezeigten
Fotolack beschichtet ist, werden z. B. Borionen
(B⁺) in den N-Kanalelementbereich 72 implantiert. Die
Ionendosis und die Nachbeschleunigungsspannung werden
dieses Mal so eingestellt, daß die Schwellungsspannung des
N-Kanalelements + 1 Volt wird. Nachdem der lichtempfindliche
Fotolack entfernt ist, wird der N-Kanalelementbereich
72 mit einem Fotolack 108 beschichtet, während P⁺110 in
dem P-Kanalelementbereich 74 implantiert werden. Die Schwellspannung
der P-Kanalelemente wird dieses Mal auf -1 Volt
eingeregelt. In Fig. 5C sind jeweils Siliziumschichten
112 und 114, jede ungefähr 350,0 nm dick, auf den Kanalelementbereichen
72 und 74 mittels des bekannten CVD-Verfahrens,
bei der die thermische Aufdampfung von Siliziumwasserstoff
(SiH₄) Anwendung findet, ausgebildet.
Die inselförmige Siliziumschicht 98 des N-Kanalelementbereichs
72, der Oxidfilm 104 und die polykristalline Siliziumschicht
112 werden mit einer phosphordotierten SiO₂ (PSG)-Schicht
116 beschichtet und Borionen (B⁺) 118 werden in dem P-Kanalelementbereich
74 injiziert. Durch die Injektion von Borionen
in einer Größenordnung von 1·10¹⁶/cm² bei 30 PV in den Source-
Anschluß, Drain-Anschluß und die polykristalline Siliziumschicht
114 des P-Kanalelementbereichs 74 wird ein P-Kanal
MOS-Transistor 120 (Fig. 5D) gebildet. Nach der Hitzebehandlung
ist Phosphor aus der SiO₂ (PSG)-Schicht 116 in dem Source-
Anschluß und Drain-Anschluß der inselförmigen Siliziumschicht
98 und in der polykristallinen Siliziumschicht 112 bei den
N-Kanalelementflächen 72 angereichert, wodurch ein N-Kanal MOS-
Transistor 122 (Fig. 5D) gebildet wird. Eine SiO₂-Schicht
124 wird dann, wie Fig. 5D zeigt, mittels des bekannten
CVD-Verfahrens auf die N- und P-Kanal-MOS-Transistoren 120
und 122 aufgezogen. Schließlich werden in bekannter Art
und Weise Aluminiumelektroden 126 ausgebildet und miteinander
in jedem Transistor verdrahtet.
Zusätzlich zu dem in Fig. 5A gezeigten die Halbleiterelemente
trennenden Verfahren besteht ein anderes Verfahren, in dem
die N- und P-Kanalelementbereiche 72 und 74 voneinander
durch eine Trennisolierschicht 130 getrennt werden können.
Wie in den Fig. 6A und B gezeigt, wird ein sauerstoffundurchlässiger
Film 132, der z. B. aus Platin (Pt), aus Aluminiumoxid
(Al₂O₃) oder aus Siliziumnitrid (SiN) hergestellt
sein kann, direkt auf der Siliziumschicht 86 einer jeden
Elementbereiche 72 und 74 aufgebracht oder es wird ein nicht
näher gezeigter dünner Oxydfilm auf der Siliziumschicht 86
aufgebracht. Die Trennschicht 130 wird durch Oxidation zwischen
den Elementbereichen 72 und 74 so weit ausgebildet,
daß sie den Saphirträger 10 erreicht. Die in den
Fig. 6C und 6D gezeigten Verfahren sind dieselben wie die
in den Fig. 5C und 5D gezeigten.
Wie in den Fig. 7A und 7B gezeigt, können die beiden oben
beschriebenen Trennverfahren miteinander kombiniert werden.
Nach dem sauerstoffundurchlässiger Film 132 auf der Silziumschicht
86 in dem in Fig. 7A gezeigten Verfahren aufgebracht
ist, wird ein Bereich 134 der Siliziumschicht entsprechend
dem Grenzbereich zwischen den Elementbereichen 72
und 74 durch Ätzen entfernt, um eine Ausnehmung von der Oberfläche
aus mit einer Tiefe von beispielsweise 300,0 nm auszubilden.
Die in Fig. 7B gezeigte Trennisolierschicht 130
wird dann in dem Bereich 134 durch ein gleiches wie in Fig.
6B gezeigtes Verfahren gebildet. Da die in den Fig. 7C und
7D gezeigten Verfahrensschritte dieselben wie die in den
Fig. 5C und 5D gezeigten sind, wird eine detaillierte
Beschreibung davon ausgelassen.
Der so auf einem einzelnen Saphirträger ausgebildete N-Kanal
MOS-Transistor 104 und P-Kanal MOS-Transistor 106 können
kombiniert werden, um einen CMOS-Inverter zu bilden. Für die
Kanallänge und -weite des N-Kanal MOS-Transistors 106 dieses
CMOS-Inverters werden jeweils 6 µm und 4,5 µm gewählt. Die
mit einem Ringoszillator bei jeder Stufe des CMOS-Inverters
gemessene Zeitverzögerung beträgt ungefähr 1,5 nsec, was
einem CMOS-Inverter entspricht der aus einem üblichen SOS-
Baustein gebildet ist, dessen Kanallänge und -weite jeweils
6 µm und 8 µm beträgt.
Gemäß des zweiten Ausführungsbeispieles der oben beschriebenen
Erfindung wird der amorphe Abschnitt 76 nur in dem
gewünschten Bereich auf dem Saphirträger 10 oder in dem
Bereich, wo die N-Kanalelemente vorgesehen sein sollen,
gebildet. Dieser amorphe Abschnitt 76 wächst in fester
Phase durch Hitzebehandlung, um eine Einkristallsiliziumschicht
86 wie oben beschrieben zu gestalten. Deshalb wird
keine Druck- oder Dehnungsspannung in der Siliziumschicht
des N-Kanalelementbereichs 72 verursacht, wodurch die Elektronenbeweglichkeit
in dieser Siliziumschicht gesteigert
wird. Diese Elektronenbeweglichkeit kann frei durch einen
Wechsel der Differenz zwischen der Innentemperatur des Ofens
24 während der Hitzebehandlung des amorphen Abschnitts 26
und der Temperatur des Kühltisches 32 zum Kühlen des Saphirträgers
10 reguliert werden. Andererseits wird die Defektelekronenbeweglichkeit
der Siliziumschicht in dem P-Kanalelementbereich
74 nicht durch die oben beschriebenen Verfahrensschritte
eingeschränkt und die Operationsgeschwindigkeit
der so gebildeten P-Kanal MOS-Transistoren 120 wird nicht
verringert. Deshalb erhält man eine große Ladungsträgerbeweglichkeit,
wobei jede Art eines MOS-Transistors leicht auf dem einzelnen
Saphirträger 10 gestaltet werden kann, was die leichte Herstellung
von komplementären MOS (CMOS)-Bauelementen mit SOS-
Struktur ermöglicht. Zusätzlich können, wenn die Ladungsträgerbeweglichkeit
in den Elementen gleich groß wie bei den üblich
verwendeten sein soll, diese Elemente mit kleinerer Größe
ausgeführt werden, wodurch CMOS-Bauelemente mit hoher Integration
ermöglicht werden.
Obwohl der amorphe Abschnitt
bei Zimmertemperatur durch Ionenimplantation in der Einkristallsiliziumschicht
in dem oben erwähnten Ausführungsbeispiel
gebildet wurde, können mehrfach Ioneninjektionen mit
Siliziumionen (Si⁺) angewandt werden, wobei der SOS-Baustein
z. B. auf 77° Kelvin gehalten wird. Eine Bestrahlung
kann während des Heizvorganges des SOS-Bausteins
angewandt werden, nachdem der amorphe Bereich gebildet ist.
Der SOS-Baustein ist fest auf dem Kühltisch aufgekittet, der
bei einer Temperatur von minus 20°C gehalten wird, und wird mit
einem Laser, z. B. einem Argon-Laser (Ar) mit 10 W bestrahlt.
Der Argon-Laserstrahl wird durch eine Linse mit ungefähr
120 µ⌀ fokussiert, wobei der Laserstrahl mit einer
Geschwindigkeit, von ungefähr 1 cm/sec auf der Oberfläche
der Siliziumschicht bewegt wird, wobei der Laser bei
jeder Bewegung in einer seitlichen Richtung um 10 µm bewegt
wird. Die Feldeffektbeweglichkeit µ fe des N-Kanal MOS-Transistors
auf den SOS-Baustein die durch Hitzebehandlung mittels
eines Laserstrahls gestaltet wird, wird weiter auf
1300 cm²/V·sec erhöht.
Die Ionen, die in die Einkristallsiliziumschicht injiziert
werden, um einen amorphen Abschnitt zu bilden, sind nicht
auf Siliziumionen (Si⁺) beschränkt, vielmehr können auch andere
Elemente der IV. Gruppe ausgewählt werden. In gleicher Weise
kann die Siliziumschicht aus einem N-Typ oder einem P-Typ
bestehen. Es kann daher frei gewählt werden, ob die Siliziumschicht,
aus der die N-Kanalelemente gebildet werden sollen,
die Leitfähigkeit eines P-Typs oder eines N-Typs aufweist.
Darüber hinaus kann die Siliziumschicht anstelle eines
Siliziummaterials aus GaP gebildet werden, und die Hitzebehandlung
kann unter Verwendung eines pulsierenden oder
kontinuierlichen Elektronenstrahls durchgeführt werden, der so
angeordnet ist, daß der amorphe Bereich in fester Phase
kristallisiert. Es ist auch nicht notwendig, daß der SOS-Baustein
in dem Fall gekühlt wird, wenn eine Bestrahlung mit einem
CW AR-Laser und mit einem CW-Elektronenstrahl von 20kV und
3 mA bzgl., des SOS-Bausteins nach der Bildung des amorphen
Abschnittes angewandt wird, wobei der SOS-Baustein auf einem
Kupferblock mit großer Wärmeleitfähigkeit angeordnet ist.
Die Gitterkonstante der Einkristallsiliziumschicht im
SOS-Baustein, die wie beschrieben bei der Umwandlung des
amorphen Abschnitts in die feste Phase erhalten wird, beträgt
0,543 nm. Die Zeitverzögerung des CMOS-Inverters, der
einen gemäß dem oben beschriebenen Verfahren hergestellten
N-Kanal-Transistor enthält und der eine Kanalbreite von
5 µm aufweist, wurde mit 1,5 nsec gemessen.
Claims (6)
1. Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelementes
mit einer Halbleiterschicht, insbesondere aus Silicium,
auf einem Isolierträger, insbesondere einem Saphir, bei
dem in einem ersten Verfahrensschritt eine Einkristallhalbleiterschicht
auf der durch eine erste Kristallebene
definierten Oberfläche des Isolierträgers ausgebildet wird,
der einen ersten Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist,
wobei die Einkristallhalbleiterschicht einen zweiten
Wärmeausdehnungskoeffizienten, der kleiner als der erste
Wärmeausdehnungskoeffizient ist, und eine zweite Kristallebene
als ihre Hauptebene aufweist; in einem zweiten Verfahrensschritt
ausgewählte Ionen in die Einkristallhalbleiterschicht
injiziert werden, um die Einkristallhalbleiterschicht
in einen ersten, amorphen Schichtabschnitt
und einen zweiten Schichtabschnitt, dessen Einkristall-
Zustand erhalten bleibt, überzuführen, wobei der erste
Schichtabschnitt unter dem zweiten Schichtabschnitt angeordnet
und in Kontakt mit dem Isolierträger steht und
der zweite Schichtabschnitt die Oberfläche der Halbleiterschicht
mitumfaßt und eine vorgegebene Schichtdicke aufweist;
und in einem dritten Verfahrensschritt die Halbleiterschicht
einer Wärmebehandlung unterworfen wird, um
den ersten, amorphen Schichtabschnitt als Einkristallhalbleiter
mit dem zweiten Schichtabschnitt als Impfkristall
zu rekristallisieren, wobei zur Bildung einer
Einkristallhalbleiterschicht auf dem Isolierträger der
erste und der zweite Schichtabschnitt der Halbleiterschicht
auf einer ersten Temperatur, die unterhalb des Schmelzpunktes
des Halbleiters liegt, gehalten werden, dadurch
gekennzeichnet, daß bei der Wärmebehandlung
der Halbleiterschicht (16) der Isolierträger (10) zumindest
teilweise auf eine zweite Temperatur zwangsweise
gekühlt wird, die niedriger ist als die Temperatur, die
das den rekristallisierenden ersten Schichtabschnitt (18)
tragende Bauelement (20) umgibt, so daß bei Abkühlung des
Halbleiterbauelements auf Raumtemperatur eine Druckspannung
in der Einkristallhalbleiterschicht (42) durch Wärmekontraktion
des Isolierkörpers (10) verhindert ist.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß bei der Wärmebehandlung des dritten Verfahrensschrittes
ein erster Abschnitt des Isolierträgers (10)
auf der ersten Temperatur und ein zweiter Abschnitt des
Isolierträgers (10) auf der zweiten Temperatur gehalten
wird, wobei der zweite Abschnitt, der auf dem ersten
Abschnitt angeordnet ist, die Oberfläche des Isolierträgers
(10) umfaßt und eine vorgegebene Schichtdicke
aufweist.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die Dicke des zweiten Abschnitts des Isolierträgers
(10) mindestens 1 µm beträgt.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-3, dadurch
gekennzeichnet, daß die zweite Temperatur so gewählt
wird, daß die Wärmekontraktion des Isolierträgers (10)
geringer ist als die Wärmekontraktion der Einkristallhalbleiterschicht
(12, 42), wenn das der Wärmebehandlung
des dritten Verfahrensschrittes unterworfene Halbleiterbauelement
auf Raumtemperatur abgekühlt wird,
so daß die Einkristallhalbleiterschicht (42) eine Dehnungsspannung
vorbestimmter Stärke aufweist, die auf
die zweite Kristallebene wirkt.
5. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß bei der Wärmebehandlung
des dritten Verfahrensschrittes der Isolierträger (10)
auf der Oberseite eines Tisches (32), der sich in einem
Ofen (24) befindet, angeordnet wird, wobei die Oberseite
auf der zweiten Temperatur gehalten wird und die Grenzschicht
zwischen der Halbleiterschicht (16) und dem
Isolierträger (10) erwärmt und auf der ersten Temperatur
gehalten wird.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,
daß der Tisch (32) eine Leitung (34) aufweist, um ein
ausgewähltes Gas in dem Tisch (32) strömen zu lassen,
wobei der Unterschied zwischen der ersten und der
zweiten Temperatur durch Änderung der Größe der Gasströmung
in der Leitung (34) gesteuert wird, so daß die
Druckspannung, die in der Halbleiterschicht (42) beim
Abkühlen des Halbleiterelements auf Raumtemperatur auftritt,
beseitigt oder in eine Dehnungsspannung umgewandelt
wird.
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