DE3023827A1 - Anlage zum galvanischen abscheiden von metallen, insbesondere von aluminium - Google Patents

Anlage zum galvanischen abscheiden von metallen, insbesondere von aluminium

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Description

SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT- (ρ - Unser Zeichen
Berlin und München VPA
80 p 7 0 92 DE
Anlage zum galvanischen Abscheiden von Metallen, insbesondere von Aluminium
Die Erfindung betrifft eine Anlage zum galvanischen Abscheiden von Metallen, insbesondere von Aluminium aus aprotischen, sauerstoff- und wasserfreien, aluminiumorganischen Elektrolyten, mit einer nach außen abgeschlossenen und mit einem Schutzgas beaufschlagbaren Alu minierzelle für Draht-, Rohr- und Bandmaterial.
Es sind Elektrolyseanlagen zum Plattieren von draht- und bandförmigen Materialien bekannt, bei denen das zu behandelnde Gut in senkrechten Schleifen durch ein Elektrolysebad geführt wird. Beispielsweise ist durch die DE-OS 15 21 076 eine Vorrichtung zum Plattieren eines Stranges aus Kunststoff bekannt, bei der der leitend vorbeschichtete Kunststoffstrang in einer Vielzahl von Schleifen mit Hilfe oben angeordneter Antriebs- und Kontaktierungsrollen und unten angeordneten Umlenkrollen durch ein Elektrolysebad geleitet wird, wobei im Elektrolysebad parallel zum Strangverlauf angeordnete senkrechte Anodenplatten vorgesehen sind. Eine solche Anlage ist zum galvanischen Abscheiden von Aluminium weder vorgesehen noch dafür geeignet, da zum Aluminieren ein Elektrolyt verwendet \uerden muß, der unter sauerstoff- und wasserfreien Bedingungen hergestellt ist und so weit als praktisch möglich gehalten werden muß. Da der Zutritt von Luftsauerstoff und LuftfeuchtigkeL t in zunehmenden, größeren Mengen eine erhebliche Verringerung der Leitfähigkeit und der Lebensdauer dieser Elektrolyten bewirkt, muß das Elektrolytbad bei der galvanischen Aluminierung unter Luftausschluß gehalten werden. Eine solche Anlage
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muß dann unter Schutzgasatmosphäre betrieben werden, wobei
der Ein- und Auslauf des zu behandelnden Gutes über Schleusen erfolgen muß, um Luftzutritt zum Elektrolysebad so weit als möglich zu unterbinden.
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Ferner ist mit den bekannten Anlagen nur solches band- und strangförmige GutLzu verarbeiten, das auch im unbehandelten Zustand umgelenkt werden darf. Es gibt aber band- und strangförmige Güter, die unbehandelt nicht umgelenkt werden dürfen, beispielsweise Lichtwellenleiter.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Anlage der eingangs beschriebenen Art zu schaffen, bei der das band- ader strangförmige Gut beim Aluminieren nicht umgelenkt zu werden braucht. Eine weitere Aufgabe besteht darin, daß eine möglichst hohe Abscheidungsgeschwindigkeit erzielt werden kann, damit akzeptable Ba: dlängen und Expositionszeiten resultieren.
Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß als Aluminierzelle eine Rohrzelle verwendet ist, durch die das zu behandelnde Gut in Achsrichtung vorzugsweise kontinuierlich bewegbar ist, daß an beiden Enden der Rohrzelle je eine, einerseits das Eindringen von Luftatmosphäre in die Rohrzelle und andererseits das Ausströmen des Elektrolyten aus der Rohrzelle, verhindernde Schleusenanordnungen vorgesehen sind.
Eine wesentliche Steigerung der Stromdichte und damit Verkürzung der Expositionszeit kann gemäß einem weiteren Vorschlag der Erfindung dadurch erzielt werden, daß der Elektrolyt mit Hilfe eines geschlossenen Elektrolyt-Umlaufsystems, vorzugsweise entgegengesetzt der Bewegungsrichtung des zu behandelnden Gutes durch die Rohrzelle pumpbar ist. Die mit der Stromdichte zunehmend frei werdende Joulsche Wärme kann so besonders wirksam abgeführt werden.
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Eine besonders einfache Lösung des Problems ergibt sich dadurch, daß zwischen Rohrzelle und den Schleusenanordnungen vorzugsweise T-förmige Verbindungsstücke zum Ausblenden und Umlenken der Bewegungsrichtung des-strömenden Elektrolyten angeordnet sind. Die T-förmigen Verbindungsstücke sollen möglichst strömungsgünstig ausgebildet sein, damit der Stauwiderstand möglichst klein ausfällt.
Vorzugsweise ist im T-förmigen Verbindungsstück eine den Längsdurchgang des Elektrolyten verhindernde, den Elektrolytstrom vorzugsweise senkrecht ablenkende Blende vorgesehen, die einen der Form des Querschnitts des zu behandelnden Gutes eng angepaßten Durchbruch aufweist.
Um eine gute Abdichtung zu erhalten, ist es vorteilhaft, daß der Durchbruch in der Blende durch einen vorzugsweise sich über die gesamte Länge des Verbindungsstückes erstreckenden Kanal gebildet ist, dessen lichte Weite dem Querschnitt des zu behandelnden Gutes angepaßt ist und dessen sich vor die Blende erstreckende Teil nur eine für die Festigkeit erforderliche Wandstärke aufweist, während der sich hinter die Blende erstreckende Teil der lichten Weite des Verbindungsstückes angepaßt ist.
Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung&steht Jede Schleusenanordnung aus mehreren Kammern, deren Kammerwände Durchbrüche zum Durchführen des zu behandelnden Gutes aufweisen und die gegeneinander durch Inertgas und/oder Inertflüssigkeit abgedichtet sind.
Hierbei ist es zweckmäßig, daß die Durchbrüche in den Kammerwänden mit dem Querschnitt des zu behandelnden Gutes angepaßten Rohren versehen sind, welche mit Inertgas und/oder Inertflüssigkeit flutbar sind.
Nach der Erfindung sind die Rohrenden der T-förmigen Ver-
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bindungsstücke über Rohrleitungen mit einem Elektrolyt-Vorrat sbehälter verbunden, wobei der Elektrolyt mit Hilfe einer Umwälzpumpe umgewälzt wird. In einem derartig geschlossenen Kreislauf ist es möglich, mit Hilfe der Umwälzpumpe in der Aluminierzeile eine vorteilhaft hohe Elektrolytgeschwindigkeit zu erzeugen. Eine Steigerung der Abscheidungsgeschwindigkeit läßt sich auch dadurch erzielen, daß sowohl die Rohrzelle als auch der Elektrolyt-Vorratsbehälter mit einer Heizung versehen sind, und die mit der Erwärmung der Elektrolyten zunehmende Leitfähigkeit desselben vorteilhaft genützt werden kann.
Vorzugsweisetestehen. sämtliche Teile, die mit dem Elektrolyten und dem elektrischen Feld in Verbindung stehen, aus nichtleitendem Material oder zumindest die Oberfläche dieser Teile ist elektrisch isoliert.
Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung ist die Rohrzelle mit den T-förmigen Verbindungsstücken zum senkrechten Durchgang des zu aluminierenden Gutes senkrecht angeordnet.
In der Zeichung ist ein Ausführungsbeispiel der Anlage näher erläutert.
Es zeigen:
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Figur 1 eine Anlage zum galvanischen Abscheiden im Prinzip,
Figur 2 einen Schnitt durch eine Rohrzelle mit T-förmigem Verbindungsstück und Schleusenanordnung,
Figur 2a eine Schnittansicht nach der Linie M-M der Figur 1, Figur 2b eine Ansicht auf eine Schlausenanordnung in Pfeilrichtung A-B,
Figur 2c eine Schnittansicht nach der Linie C-D, Figur 2d eine Schnittansicht nach der Linie E-F, Figur 2e eine Schnittansicht nach der Linie G-H, Figur 2f eine Schnittansicht nach der Linie I-J, Figur 2g eine Schnittansicht nach der Linie K-L,
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80p 7 0 92 DE Figur 3 eine vertikale Durchlauf-Aluminierzelle, Figur 4 einen Einschleuskopf einer vertikalen Durchlauf-Aluminierzelle,
Figur 5 einen Ausschleuskopf einer vertikelen Durchlauf-Aluminierzelle und
Figur 6 einen anderen Ausschleuskopf einer vertikalen Durchlauf -Auluminierzelle.
Die in Figur 1 dargestellte Bandaluminieranlage weist als Aluminierzelle eine innen isolierte Rohrzelle 1 auf, durch die ein zu aluminierendes Band 2 gezogen wird, welches von einer Rolle 3 einer Abspuleinheit 4 abgezogen und auf eine Rolle 5 einer Aufspaleinheit 6 nach der Aluminierung aufgewickelt wird. Innerhalb der Rohrzelle 1 sind zu beiden Seiten des Bandes 2 bandförmige Anoden 7 angeordnet, wie insbesondere Figur 2a zeigt. Die bandförmigen Anoden 7 werden mit Hilfe von Kontaktierungsstiften 8 kontaktiert, welche in ringförmigen Anodenhaltern 9 angeordnet sind, wie näher aus Figur 2g zu ersehen ist. Die Anodenhalter sind bei dem in Figur 1 dargestellten Ausführungsbeispiel, an beiden Enden der Rohrzelle 1 angeordnet und schließen mit dem Flansch der Rohrzelle 1 dicht ab. Bei längeren Rohrzellen 1 ist es zweckmäßig, daß im "Verlauf der Rohrzelle 1 zumindest noch ein weiterer Anodenhalter 9 mit Kontaktierungs stiften 3 vorgesehen wird.
An beiden Enden der Rohrzelle 1, und zwar nach den Anodenhaltern 9, sind T-förmige Verbindungsstücke 10 angeflanscht, mit deren Hilfe Elektrolyt 11 aus einem Elektrolyt-Vorratsbehälter 12 durch die Rohrzelle 1 entgegengesetzt der Bewegungsrichtung des Bandes 2 mit Hilfe einer Pumpe 13 sowie Rohrleitungen 14 und 15 gepumpt werden kann. Mit Hilfe eines Strömungsmessers 16 kann die Elektrolytgeschwindigkeit erfaßt werden.
Die T-förmigen Verbindungsstücke 10 sind mit einer schrägen
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Blende 17 versehen, um den über Stutzen 18 ein- bzw. austretenden Elektrolyten um 90° möglichst strömungsgünstig umzulenken, so daß ein geschlossener Elektrolyt-Kreislauf entsteht, welcher jedoch mit Hilfe der Ventile 19 und 20 unterbrochen werden kann, beispielsweise wenn die Rohrzelle 1 in Betrieb genommen wird. In diesem Falle kann über einen parallelen Kreislauf über geöffnete Ventile 21 und 22 und Rohrleitungen 23 und 24 mit Hilfe einer Förderpumpe 25 Inertflüssigkeit 26 aus einem Inertflüssigkeits-Vorratsbehälter 27 durch die Rohrzelle 1 sowie Verbindungsstücke 10 gepumpt werden, einmal um die atmosphärische Luft aus der Rohrzelle 1 zu entfernen, bevor der Elektrolyt 11 unter Schutzgasatmosphäre Np durchgepumpt wird, und zum anderen -nach abgelassenen Al-Elektrolyten- die Rohrzelle mit Inertflüssigkeit reinigen zu können. Vorteilhafterweise wird der durch die Leitung 15 in Pfeilrichtung strömende Elektrolyt nicht unmittelbar in den Elektrolyt-Vorratsbehälter 12 eingeleitet, sondern über ein Filter 28, um Verunreinigungen des Elektrolyten 11 in Form von Feststoffpartikeln abzutrennen.
Der Elektrolyt-Vorratsbehälter 12 ist selbstverständlich luftdicht mit Hilfe eines Deckels 29 abgeschlossen. Der Slektrolyt-Vorratsbehälter 12 ist ferner mit einem Überdruckventil 30 ausgestattet, sowie entsprechenden luftdicht abgeschlossenen Öffnungen zum Einführen der Rohrleitungen 14 und 15. Selbstverständlich steht auch der Elektrolyt-Vorratsbehälter 12 unter Schutzgasatmosphäre.
Die Blenden 17 der T-fönnigen Verbindungstücke sind zum Durchgang des Bandes 2 mit entsprechenden Durchbrüchen versehen, und zwar sind diese Durchbrüche möglichst eng dem Querschnitt des Bandes 2 angepaßt, um möglichst zu vermeiden, daß einerseits Elektrolyt aus der Rohrzelle 1 bzw. aus den T-förmigen Verbindungsstücken nach außen tritt, bzw. atmosphärische Luft eindringt. Da dies jedoch
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nur zum Teil möglich ist, sind an beiden Enden der Rohrzelle 1 bzw. der sich daran anschließenden Verbindungsstücke 10 Schleusenanordnungen 3*7* bzw. 32 angeordnet, wobei gemäß Figur 1 die Schleusenanordnung 31 drei Kammern 33 bis 35 aufweist, während die Schleusenanordnung 32 sogar fünf Kammern 36 bis 40 aufweist. In den Kammern 35 und 36 der Schleusenanordnungen 31 und 32 wird der durch die Durchbrüche in den Blenden 17 austretende Elektrolyt aufgefangen und über Rohrleitungen 41 und 42 dem Elektrolyt-Vorratsbehälter 12 wieder zugeführt, und zwar vor dem Filter 28.
Als besonders vorteilhaft hat sich erwiesen, wenn die Schleusenanordnungen 31 und 32 Flüssigkeitsschleusen aufweisen, die besonders dicht sind und die sogar das Eindiffundieren von atmosphärischer Luft in die Rohrzelle 1 verhindern.
Eine wirksame Flüssigkeitsschleuse kann beispielsweise dadurch gebildet werden, daß die vorzugsweise aus Rohrstücken und Trennwänden zusammengesetzten Kammern der Schleusenanordnungen 31 und 32 teilweise mit Inertflüssigkeiten geflutet werden, was aihand der Figur 2 noch näher erläutert werden wird. Bei dem Ausführungsbeispiel nach Figur 1 ist beispielsweise eine scheibenförmige Zwischenwand 43, welche mit einem Durchbruch zum Durchgang des Bandes 2 versehen ist, mit einer zu diesen Durchbruch führenden Bohrung versehen, an die eine Leitung 44 angeschlossen ist, welche über ein Ventil 45 zu einem Inertflüssigkeitsbehälter 46 führt. Mit Hilfe einer Pumpe 47 wird die Inertflüssigkeit dem Durchbruch in der Zwischenwand 43 so zugeführt, daß der Zwischenraum zwischen Band und Durchbruch vollständig ausgefüllt wird. Die aus dem Spalt zwischen Band und Durchbruch austretende Inertflüssigkeit wird in den Kammern 33 und 34 gesammelt und über Rohrleitungen 48 und 49 dem Inertflüssigkeitsbehälter 46 wieder zugeführt.
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In gleicher Weise wie die Zwischenwand 43 der beiden Kammern 33 und 34 der Schleusenanordnung 31 sind auch die Zwischenwände 50 und 51 der Schleusenkammern 37 und 38 bzw. 39 und 40 ausgebildet, wobei die Anschlußbohrung der 5" scheibenförmigen Zwischenwand 50 über eine Rohrleitung 52 und Ventil 53 mit einem Verdampfer 54 in Verbindung steht. In diesem Kreislauf ist eine Förderpumpe 55 vorgesehen, mit der die aus dem Elektrolyten 11 durch Destilation gewonnene Inertflüssigkeit über die Radialbohrung der Zwischenwand 50 in den Zwischenraum zwischen Band 2 und Durchbruch gepumpt werden kann. Über Rohrleitungen 56 wird die sich in den Kammern 37 und 38 der Schleusenanordnung 32 ansammelnde Inertflüssigkeit in den Elektrolyt-Vorratsbehälter 12 zurückgeführt. Dieser Inertflüssig keitskreislauf hat hauptsächlich die Aufgabe, das aluminierte Warengut mit Inertflüssigkeit von anhaftenden Al-Elektrolyten zu reinigen.
Das ist sehr wichtig für einen ungestörten und möglichst langen Betrieb der Anlage. Konstanz des Elektrolyten in Zusammensetzung und Qualität sowie Minimum an Elektrolytverlust durch Austrag mit der beschichteten Ware sind hierbei sehr wesentliche und wichtige Faktoren. Beiden trägt das den Verdampfer 54 enthaltene System Rechnung.
Dadurch, daß stets nur eine kleine Volumenmenge an Inertflüssigkeit von wenigen Litern mittels Kondensation oder Destillation aus der großen Elektrolyt-Vorratsmenge für ' diesen Spül- bzw. Waschvorgang ausgekreist und mit verhältnismäßig kleinen Mengen an abgespülten Original-Elektrolyt beladen in den Elektrolyt-Vorratsbehälter 12 wieder zurückgeführt werden kann, bleiben Zusammensetzung und Menge des Elektrolyten im Vorratsbehälter 12 praktisch konstant und gleichzeitig wird die Menge an Elektrolytaustrag durch das zu beschichtende Band 2 auf ein Minimum herabgesetzt (das Spülen der Oberfläche des Bandes 2 mit reiner Inertflüssigkeit stellt eine hochwirksame
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Reinigung derselben von anhaftendem Elektrolyt dar).
Die minimalen Reste hochverdünnten Elektrolyts, die eventuell beim Verlassen der Kammer 38 noch an der Oberfläche des Bandes 2 anhaften, werden dann in den Kammern 39 und 40 mittels der Zwischenwand 51-Düse mit Inertflüssigkeit aus dem Vorratsbehälter 60 noch ganz entfernt.
Das Auskreisen eines kleinen Volumenteiles Inertflüssigkeit aus dem großen Elektrolyt-Vorrat zum Zwecke des Rückspulens von Original-Elektrolyt von der Oberfläche des beschichteten Objekts in den Elektrolyt-Vorratsbehälter 12 stellt ein sehr wesentliches und wirksames Moment der erfindungsgemäßen Anlage dar. 15
In entsprechender Weise ist auch die scheibenförmige Zwischenwand 51 an eine Rohrleitung 57 angeschlossen, die über ein Ventil 58 und Pumpe 59 mit einem weiteren Inertflüssigkeitsbehälter 60 in Verbindung steht. Der Rücklauf der Inertflüssigkeit aus den Kammern 39 und 40 erfolgt über eine Rohrleitung 61.
Die Rolle 3 der Abspuleinheit 4 befindet sich ebenfalls in einem abgeschlossenen Behälter 62, der von Inertgas N2 beaufschlagt und teilweise mit Inertflüssigkeit gefüllt ist. Der Behälter 62 steht über eine Rohrleitung 63, Ventil 64 sowie Förderpumpe 65 mit einem Inertflüssigkeitsbehälter 66 in Verbindung. Im Behälter 62 ist ein Überlauf 67 für die Inertflüssigkeit vorgesehen. Hinter dem Überlauf 67 ist eine Abflußrohrleitung 68 angebracht, die die überlaufende Inertflüssigkeit in den Inertflüssigkeitsbehälter 66 zurückführt.
Der Behälter 62 ist ferner noch über ein rohrförmiges Verbindungsstück 69 mit der Schleusenanordnung 31 dichtend verbunden. Auch das Verbindungsstück 69 hat einen Längs-
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durchbruch für das zu aluminierende Band 2 und kann mit Hilfe einer Rohrleitung 70 an die Rohrleitung 44 des Inertflüssigkeitskreislaufes der Schleusenanordnung 31 angeschlossen werden.
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Über zu beiden Seiten des Bandes 2 angeordnete Kontaktierungsrollen 71 und 72 wird das Band 2 kontaktiert. Der Übersicht halber ist nur eine Kontaktierungsrolle gezeichnet, welche mit dem negativen Pol der Stromquelle verbunden ist.
Wie Figur 1 zeigt, sind die Kontaktierungsrollen 71 innerhalb des Behälters 62 angeordnet und durch eine Zwischenwand 73 abgesondert. Mit Hilfe einer Rohrleitung 74, die an die Rohrleitung 49 angeschlossen ist, kann überschüssige Inertflüssigkeit in den Inertflüssigkeitsbehälter 46 abgeleitet werden.
Anschlußstutzen 75 und 76 bzw. 77 und 78 der Schleusenan-Ordnungen 31 und 32 dienen zum Anschluß an einen Inertgasvorratsbehälter, was in der Zeichnung der Übersicht halber nicht dargestellt ist. Selbstverständlich erfolgt der Anschluß über entsprechende Ventile.
Figur 2 zeigt einen Schnitt durch die Schleusenanordnung 31, das T-förmige Verbindungsstück 10, den Anodenhalter 9 und einen Teil der Rohrzelle 1. Figur 2a bis Figur 2g zeigen verschiedene Schnittansichten der Figur 2, wobei gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen versehen sind.
Wie Figur 2a zeigt, sind bei dem gewählten Ausführungsbeispiel zu beiden Seiten des zu aluminierenden Bandes Anoden 7 angeordnet, die höher als die Breite des Bandes 2 sind. Das Rohrinnere ist vollständig mit Elektrolyt gefüllt. Bei dem gewählten Ausführungsbeispiel wird das
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Band 2 an beiden Seiten vollständig aluminiert. Sollen irgendwelche Teile des Bandes nicht mit einer Aluminiumschicht bedeckt werden, so müssen diese Teile abgedeckt werden, beispielsweise durch Einschieben eines entsprechenden Formkörpers in das Innere der Rohrzelle 1, so daß nur die von der entsprechenden Abdeckung freigegebenen Teile des Bandes aluminiert werden.
Wie Figur 2 und 2g zeigen, ist der Anodenhalter 9 kreisringförmig ausgebildet und zwischen den Anschlußflanschen der Rohrzelle 1 und des T-förmigen Verbindungsstückes 10 unter Zwischenschaltung von Dichtungsringen 79 angeordnet. Wie Figur 2g zeigt, sind die Kontaktierungsstifte 8 über isolierende Durchführungen zu den Anoden 7 geführt und drücken diese gegen einen entsprechend ausgebildeten Anodenträger 81 aus Isolierstoff. Der Anodenträger 81 weist eine entsprechende Aussparung 82 für das Band 2 auf und dient zur Führung desselben.
Wie Figur 2 zeigt, kann das innen isolierte T-förmige Verbindungsstück 10 ein normales Rohr mit T-Form sein, welches den gleichen Durchmesser wie die Rohrzelle 1 aufweist. Zur Bildung der Blende 17 ist in das Verbindungsstück 10 ein nichtleitendes Einsatzteil 83 mit einem Flansch 84 eingeschoben, wobei die schräge Fläche die eigentliche Blende bildet. Anstelle einer schrägen Fläche kann auch eine gekrümmte Fläche verwendet sein. Der hinter der schrägen Fläche liegende Teil des Einsatzsteiles 83 füllt das Zwischenstück 10 voll aus und weist nur einen dem Bandquerschnitt eng angepaßten Durchbruch 85 zum Durchtritt des Bandes 2 auf. Dieser Durchbruch 85 erstreckt sich jedoch über die gesamte Länge des Einsatzteiles 83 und ist vor der Blende 17 von einem rohrförmigen Teil 86 umgeben, wie Figur 2f zeigt. Die Wandstärke des Teiles 86 ist so knapp bemessen, daß der Elektrolyt zwar frei strömen kann, jedoch das Teil die erforderliche
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Festigkeit erhält. gfl ρ 7 0 9 2 DE
Der Einsatzteil 83 ist dichtim Verbindungsstück 10 eingeschoben, wobei zwischen dem Flansch 84 des Einsatzteiles 83 und dem Flansch des Verbindungsstückes 10 ein scheibenförmiger Wandteil 87 der Schleusenanordnung 31 angeordnet ist, der den Anschlußstutzen 76 für das Inertgas Np aufweist.
Der Anschlußstutzen 76 ist über eine nichtbejzeichnete Bohrung mit der Kammer 35 verbunden, die durch ein weiteres scheibenförmiges Wandteil 88 und ein Rohrstück 89 gebildet ist. Der scheibenförmige Wandteil 87 besitzt ferner noch einen Anschlußstutzen 90 zum Anschluß der Rohrleitung 42 gemäß Figur 1.In der Kammer 35 kann sich der aus dem Verbindungsstück 10 durch den Spalt zwischen Band 2 und Durchbruch 85 austretende Elektrolyt sammeln, der dann über den Anschlußstutzen 90 und Rohrleitungen 41 und 42 dem Elektrolyt-Vorratsbehälter zugeführt wird.
Die Kammer 34 der Schleusenanordiung 31 wird durch die Wandteile 43 und 88 gebildet und die Kammer 33 durch den Wandteil 43 sowie einem Wandteil 92. Die beiden Kammern 33 und 34 dienen zum Sammeln der Inertflüssigkeit, die über einem Anschlußstutzen 93 und eine Radialbohrung 94 einem Durchbruch 95 eines nichtleitenden scheibenförmigen Formteiles 96 zugeführt wird. An dem Anschlußstutzen 93 ist die Leitung 44 gemäß Figur 1 angeschlossen, über die mit Hilfe der Pumpe 47 Inertflüssigkeit über den Kanal in den Spalt zwischen dem durchgeführten Band 2 und dem Durchbruch 95 zugeführt wird und zwar so,daß dieser vollständig mit Inertflüssigkeit ausgefüllt ist. Auf diese Weise ergibt sich eine 100%ige Dichtung gegen die atmosphärische Luft. Die sich am Grunde der Kammern 34 und 33 sammelnde Inertflüssigkeit wird über Anschlußstutzen 97 und 98, an denen die Rohrleitungen 48 angeschlossen sind,
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über Rohrleitung 49 in den Inertflüssigkeitsbehälter abgelassen. Wie aus Figur 2 zu ersehen ist, stehen die Anschlußstutzen 97 und 98 mit den Kammern 33 und 34 über Bohrungen in Verbindung. In dem Wandteil 92 ist der Anschlußstutzen 75 vorgesehen, der mit Inertgas Np beaufschlagt werden kann, so daß sich in den Kammern 33, 34 und 35 außer der Inertflüssigkeit und Elektrolyt nur Inertgas befindet.
Das nichtleitende scheibenförmige Formteil 96 kann auswechselbar in der scheibenförmigen Zwischenwand 43 angeordnet sein, um es durch ein anderes scheibenförmiges Teil im Bedarfsfalle ersetzen zu können. Um längere Spaltwege zwischen Band 2 und Durchbruch 85 zu erzielen, kann das scheibenförmige Formteil 96 durch ein zylindrisches Teil ersetzt werden, das einen'dem: Querschnitt des Bandes 2 angepaßten Kanal aufweist. Auf diese Weise ergibt sich eine breitere Flüssigkeitsschleuse.
Wie insbesondere Figur 2b zeigt, ist auch das Wandteil mit einem scheibenförmigen Formteil 99 versehen, in dem ein Durchbruch 95 für das Band 2 vorgesehen ist.
Die Schleusenanordnung 32 ist in gleicher Weise aus scheibenförmigen Wandteilen und Rohrstücken aufgebaut, wie die in Figur 2 dargestellte Schleusenanordnung 31· Daraus ist zu ersehen, daß im Bedarfsfalle mehr als drei Kammern verwendet werden können. Je mehr Kammern um so besser ist der Schutz gegen Eindiffundieren von atmosphärischer Luft.
Die Rohrzelle 1 und der Elektrolyt-Vorratsbehälter 12 können zweckmäßigerweise mit einem Heizmantel umgeben sein, um höhere Abscheidungsraten durch Verwendung eines aufgeheizten Elektrolyten zu erhalten. Vorzugsweise sind an beiden Enden der Rohrzelle 1 Thermometer angebracht,
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torn in Strömungsrichtung eintretende'Temperaturunterschiede messen und durch entsprechende Beheizung des Heizmantels ausgleichen zu können.
Wie "bereits bemerkt, kann über die beiden T-förmigen Verbindungsstücke der Elektrolyt mit beliebig hoher Strömungsgeschwindigkeit umgewälzt werden, so daß die Stromdichte wesentlich höher gewählt werden kann als bei stehendem Elektrolyt, wodurch sich höhere Abscheidungsraten erzielen lassen. Außerdem können die beiden T-förmigen Verbindungsstücke zum Fluten oder Spülen der Rohrzelle mit einem geeigneten Lösungsmittel vorteilhaft benutzt werden. Dies erfolgt mit Hilfe der Inertflüssigkeit 26 im Inert-Vorratsbehälter 27 nach Schließen der Ventile 19 und 20 und Öffnen der Ventile 21 und 22 mit Hilfe der Umwälzpumpe 25. Da hierbei in die Kammern35,36 Inertflüssigkeit gelangt, muß diese über Leitung 41 und 102 durch Schließen des Ventils 100 und Öffnen des Ventils 10t in den Behälter 27 zurückgeführt werden.
Im Deckel des Elektrolyt-Vorratsbehälters 12 können ' Bohrungen vorgesehen sein zum Einführen entsprechender Geräte zur Messung der Temperatur und Leitfähigkeit sowie zum Anbringen einer Füllstandshöhenanzeige.
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Damit der Elektrolyt zur Leitfähigkeitsverbesserung gefahrlos aufgeheizt werden kann, ist es zweckmäßig, daß der Elektrolyt-Vorratsbehälter 12 von einem Ölheizmantelbehälter umgeben ist, in dem sich Heizspiralen befinden und dadirch eine indirekte und die Elektrolytflüssigkeit schonende Aufheizung der Elektrolyten ermöglicht wird.
Als Inertflüssigkeit wird vorzugsweise Toluol verwendet, das sich durch Destillation aus <Xem Elektrolyten gewinnen läßt, der aus in Toluol gelösten Aluminiumalkylkomplexsalz besteht.
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^ V 80p 7 0 92 DE
Der Ekeltrolyt "besteht vorzugsweise aus 3-4 Mol Inertflüssigkeit und 1 Mol Aluminiumralkylkomplexsalz, so daß die Inertflüssigkeit Toluol bei einem Siedepunkt von 110° C. verhältnismäßig leicht vom Al-alkylkomplexsalz abdestilliert werden kann, wobei völlig sauerstoff- und wasserfreies Toluol (Inertflüssigkeit) erhalten wird, das sich als Inertflüssigkeit für das Ansetzen eines neuen Elektrolyten wie auch zum Einsatz in den Behälter 60 sehr gut eignet.
Das erfindungsgemäße Prinzip läßt sich auch dann anwenden, wenn aus fertigungstechnischen Gründen die Galvanisierung nicht waagrecht, sondern senkrecht vorgenommen werden muß. Dies ist beispielsweise erforderlich für die galvanische Aluminierung von Lichtwellenleitern, da diese zum einen nur im Senkrecht-Verfahren gezogen werden können und zum anderen diese unmittelbar nach der Herstellung geschützt werden müssen. Es ist nicht möglich, die Lichtwellenleiter umzulenken oder aufzuwickeln und anschließend in horizontaler Lage zu lackieren oder zu galvanisieren wegen der hohen Empfindlichkeit hinsichtlich ihrer mechanischen Festigkeit.
Figur 3 zeigt ein Ausführungsbeispiel einer Anlage zum Aluminieren im Senkrecht-Verfahren im Prinzip. Mit 103 ist die eigentliche Aluminierzelle bezeichnet, die entsprechend Figur 1 als Rohrzelle ausgebildet* ist. Durch die Rohrzelle 103 ist das strangförmige Gut 105 geführt. Zu beiden Seiten der Aluminierzelle 103 sind T-förmige Verbindungsstücke 106 und 107 angeflanscht, um den Aluminium-Elektrolyten zu- und abzuführen und umzulenken, wie durch Pfeile 104 angedeutet ist. Den Verbindungsstücken 106 und 107 folgenJ3chleusenanordnungen 108 und 109. Die Schleusenanordnung^108 enthält eine Inertgaskammer 110, der über eine Zuleitung 111 ein Inertgas, beispielsweise Np, zugeführt wird. Über einem Ablaufstutzen 112
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80 ρ 7 0 9 2 DE
kann der eventuell noch oben austretende ETe ktrolyt und ggf. Inertflüssigkeit abgeleitet und dem Elektrolyt-Vorratsbehälter zugeführt werden, entsprechend dem Ausführungsbeispiel nach Figur 1. Anschließend an die Inertgaskammer 110 befinden sich Kammern 114 und 115, die mit Inertflüssigkeit über einen Zulauf 116 und einem Ablauf 117 geflutet werden können. Diese beiden Kammern verhindern, daß Luft und Feuchtigkeit in die Galvanisierzelle 103 dringen kann. Die Inertflüssigkeit wird hierbei von unten nach oben geführt, wie die Pfeile 118 zeigen. Sie arbeiten nach dem Überlauf prinzip.
Das T-förmige Verbindungsstück 107 ist besonders gestaltet, um zu verhindern, daß der Elektrolyt 113 durch die Einführöffnungen des zu aluminierenden Stranges 105 nach unten austreten kann. Dies wird dadurch erreicht, daß der Elektrolyt 113 mit hoher Geschwindigkeit der Aluminierzelle 103 zugeführt wird, wobei die Strömung so gesteuert wird, daß in einem Rohr 119 ein gewisser Unterdruck entsteht, der mit Inertgas ausgeglichen wird. Aus diesem Grunde schließt sich dem T-förmigen Verbindungsstück eine Inertgaskammer 127 der Schleusenanordnung 109 an, wobei das Inertgas über einen Anschlußstutzen 121 zugeführt wird. Über einen Ablaufstutzen 122 kann der durch das Rohr 119 eventuell noch austretende Elektrolyt 113 abgeführt und dem Elektrolyt-Vorratsbehälter zugeführt werden. Der Inertgaskammer 120 schließen sich die beiden InertflüssigkeitssKammern 123 und 124 an, wobei der Zulauf über einen Anschlußstutzen 125 und der Ablauf über einen Anschlußstutzen 126 erfolgt. Auch diese beiden Kammern arbeiten nach dem Überlauf prinzip. Ferner kann ein Rohrstück 127 (zur Dichtung mit Inertgas) über einen Anschlußstutzen 128 unter Inertgasdruck stehen.
Figur 4 zeigt einen Einschleuskopf bei senkrechter Betriebsweise der Galvanoaluminieranlage und Durchlauf
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des zu behandelnden Gutes 129 von oben nach unten, wie mit einer gestrichelten Linie angedeutet ist. Mit 130 ist eine Rohrzelle bezeichnet, in der sich ein Elektrolyt 131 befindet. An die Rohrzelle 130 schließt sich eine Schleusenanordnung 132 an, die aus mindestens drei lamellenartig aufgebauten zentrischen Kammern 133 bis 135 besteht. Diese Kammern stehen unter einem gegenüber der Außenatmosphäre geringen oder je nach Einlaufgeschwindigkeit des zu beschichtenden Gutes 129 größeren Inertgasüberdruck.
Wie aus der Figur ersichtlich, wird den Kammern 133 bis 135 über Anschlußstutzen 136 bis 141 Inertgas, zum beispiel N2, zugeführt. In der Rohrzelle 130 über dem Elektrolyten 131 befindet sich ein Inertgasraum 142. Dabei können die Kammern 133 bis 135 und der Inertgasraum 142 unter demselben Inertgasüberdruck oder vorteilhafterweise auch unter einem von innen nach außen (d.h. von unten nach oben) zunehmenden Inertgasüberdruck stehen, wodurch eine Inertgaspülstrahlwirkung entsteht, die die Oberfläche des zu beschichtenden Gutes 129 von anhaftender Luft oder Verunreinigungsatmosphäre freibläst und gleichzeitig die Galvanoaluminieranlage gegen die Außenatmosphäre abschließt.
Die Inertspülstrahlwirkung kann durch mehr als drei Kammern beliebig verstärkt werden. Sie kann jedoch unabhängig von der Kammerzahl auch dadurch verstärkt werden, daß die Kammermündungen nach außen (noch oben) hin immer dichter aufeinander aufsitzen, so daß sich die Spülstrahlwirkung verstärkt. Ferner kann auch der AnJbisl winkel des Spülstrahles durch andere geometrische Gestaltung der Kammerwandungen verändert und dadurch dessen Wirkung je nach Beschichtungsobjekt-Oberflächenstruktur optimiert werden.
Figur 5 zeigt einen dem in Figur 4 dargestellten Einschleuskopf entsprechenden Ausschleuskopf. Gleiche Teile sind mit gleichen Bezugszeichen versehen. Am unteren Ende der
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Rohrzelle 130 ist eine dem Querschnitt des zu behandelnden Gutes 129 angepaßte Verengung 143 vorgesehen, an die sich eine InertgasSchleusenanordnung 144 anschließt. Die Inertgasschleusenanordung 144 besteht wie der Einschleuskopf gemäß Figur 4 aus mindestens drei lamellenartig aufgebauten zentrischen Kammern 145 bis 147, die über nicht näher bezeichnete Anschlußstutzen mit Inertgas beaufschlagt werden, wie Figur 5 zeigt.Unterhalb der Kammern 145 bis 147 befindet sich noch ein Inertgasraum 148.
In Figur 6 ist eine Ausführungsform eines Ausschleuskopfes dargestellt, bei dem mit Sicherheit ein Einblubbern von Inertgas in die Rohrzelle 130 mit Sicherheit ausgeschlossen werden kann, wobei wirkungsmäßig gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen wie in Figur 4 und 5 versehen sind. Bei dieser Ausführung ist über der Verengung 143 durch entsprechende Gestaltung des unteren Endes der Rohrzelle 130 ein Raum 149 ausgebildet, der beispielsweise mit Flüssigmetall gefüllt ist. Als Flüssigmetall kann beispielsweise Gallium verwendet sein. Der Raum 149 ist gegen die Rohrzelle 130 durch Blenden 150 abgeschirmt. Hierbei wird das Flüssigmetall zweckmäßig zurelektrischen Kontaktierung des Beschichtungsobjektes 129 verwendet.
Grundprinzip der in Figur 5 und 6 dargestellten Ausschleusköpfe ist, daß durch den Inertgasdruck der Kammern 145 bis 147 die Elektrolytflüssigkeitssäule im Gleichgewicht gehalten wird, damit sie nicht auslaufen kann. Das ist an möglichst enge Auslaufblenden für das Beschichtungsobjekt gebunden und setzt eine manometrische Steuerung des Ausschleuskopfes voraus. Gegenüber der Ausführung nach Figur 5 hat die Ausführung nach Figur 6 den Vorteil, daß durch das Flüssigmetall am galvanisierten Gut 129 noch anhaftender Elektrolyt 131 abgequetscht wird.
27 Patentansprüche
6 Figuren
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Bezugszeichenliste
1 Rohrzelle
2 Band
3 Rolle
4 Abspuleinheit
5 Rolle
6 Aufspuleinheit
I Anoden
8 Kontaktierungsstifte
9 Anodenhalter
10 Verbindungsstücke
II Elektrolyt
12 Elektrolyt-Vorratsbehälter
13 Pumpe
14 Rohrleitung
16 Strömungsmesser
17 Blende
18 Stutzen
19 Ventil
23 Rohrleitung
25 Förderpumpe
26 Inertflüssigkeit
27 Inert-Vorratsbehälter
28 Filter
29 Deckel des Vorratsbehälters
30 Überdruckventil
31 Schleusenanordnungen
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-25- 3023827
80 ρ 7 0 9 2 DE
33I Kammern der Schleuse 30
34
35^
36I
37 I Kammern der Schleuse 31
38 Γ
39
40 ι
41 Rohrleitung
42 η
43 Zwi s chenwand
44 Leitung
45 Ventil
46 Inert-Flüssigkeitsbehälter
47 Pumpe
48 Rohrleitung
49 η
50 Zwi schenwand
51 Il
52 Rohrleitung
53 Ventil
54 Inertflüssigkeitsbehälter
55 Förderpumpe
56 Rohrleitung
57 η
58 Ventil
59 Pumpe
60 Inertflüssigkeitsbehälter
61 Rohrleitung
62 Behälter
63 Rohrleitung
64 Ventil
65 Förderpumpe
66 Inertflüssigkeitsbehälter
67 Überlauf
68 Abfluß-Rohrleitung
69 Verbindungsstück
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-26- Rohrleitung 3023827
Kontaktierungsrolle 80p 7 0 32 01
70 η
71 Zwischenwand
72 Rohrleitung
73 Anschlußstutzen
74 η
75 η
76 Il
77 Dichtungsringe
78 Durchführung
79 "■ Anodenträger
80 Aussparung
81 Einsatzteil
82 Flansch
83 Durchbruch
84 Teil
85 Wandteil
86 η
87 Rohrstück
88 Anschlußstutzen
89 H
90 Wandteil
91 Anschlußstutzen
92 Radialbohrung
93 Durchbruch
94 Formteil
95 Anschlußstutzen
96 Il
97 Formteil
98 Ventil
99 η
100 Rohrleitung
101 Aluminiumzelle
102 Pfeile
103 Strang
104 Verbindungs stücke
105
106
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107 Verbindungsstücke
108 Schleusenanordnungen
109 n
110 Inertgaskammern
111 Zuleitung
112 Ablaufstutzen
113 Elektrolyt
114 Kammern
115 M
116 Zulauf
117 Ablauf
118 Pfeile
119 Rohre
120 Inertgaskammer
121 Anschlußstutzen
122 Ablaufstutzen
123 Inertflüssigkeitskammer
124 "
125 Anschlußstutzen
126 »
127 Rohr stück
128 Anschlußstutzen
129 Gut
130 Rohrzelle
131 Elektrolyt
132 Schleusenanordnungen
133 Kammern
134 '«'-,■
135 B
136 - 1.41.- Anschlußstutzen
142 Inertgasraum
143 Verengung
144 Schleusenanordnung
145 - 147 Kammern
148 Inertgasraum
149 Raum
150 Abschirmblende
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p 7 0 92 QE

Claims (1)

  1. Pat ent ansprüche
    P 7 O 9 2 DE
    Anlage zum galvanischen Abscheiden von Metallen, insbesondere von Aluminium aus aprotischen, sauerstoff- und wasserfreien, aluminiumorganischen Elektrolyten, mit einer nach außen abgeschlossenen und mit einem Schutzgas beaufschlagbaren Aluminierzelle für Draht-, Rohr- und Bandmaterial, dadurch gekennzeichnet , daß als Aluminierzelle eine Rohrzelle (1) verwendet ist, durch die das zu behandelnde Gut (2) in Achsrichtung vorzugsweise kontinuierlich bewegbar ist, daß an beiden Enden der Rohrzelle (1) je eine, einerseits das Eindringen von LuftatmoSphäre in die Rohrzelle (1) ■. - und andererseits das Ausströmen des Elektrolyten (117 aus der Rohrzelle, verhindernde Schleusenanordntmgen (31* 32) vorgesehen sind.
    2« Anlage nach Anspruch 19 dadurch gekennzeich net j daß der Elektrolyt (11) mit Hilfe eines ge- -schlossensn Elektrolyt-Umlaufsystems, vorzugsweise entgegengesetzt der Bewegungsrichtung des zu behandelnden Gutes (2) durch die Rohrzelle (1) pumpbar ist.
    3.Anlage nach Anspruch 1 oder 2, dadurch g e k e η η zeichnet 9. daß zwischen Rohrzelle (1) und den
    Schleusenanordnungen (31, 32) vorzugsweise T-förmige Verbindungsstücke (10)-zum Ausblenden und Umlenken der Bewegungsrichtung des strömenden Elektrolyten (11) angeordnet sind.
    30
    4. Anlage nach Anspruch 3,dadurch gekennzeichnet , daß im T-förmigen Verbindungsstück (1O) eine den Längsdurchgang des Elektrolyten verhindernde, den Elektrolytstrom vorzugsweise senkrecht ablenkende Blende "(17) vorgesehen ist, die einen der Form des Querschnittes des
    130086/0021
    ORIGINAL INSPECTED
    -20-
    zu "behandelnden Gutes (2) eng angepaßten Durchbruch (85) aufweist.
    ,5. Anlage nach- Anspruch 4, dadurch gekennzeich η e t , daß der Durchbruch (85) in der Blende (17) durch einen vorzugsweise sich über die gesamte Länge des Verbindungsstückes (10) erstreckenden Kanal eines Einsatzteiles (83) gebildet ist, dessen lichte Weite dem Querschnitt des zu behandelnden Gutas (2) angepaßt und dessen sich vor die Blende (17) erstreckende Teil (86) nur eine für die Festigkeit erforderliche Wandstärke aufweist, während der sich hinter die Blende erstreckende Teil der lichten Weite des YerbindungsStückes (10) angepaßt ist.
    15^,6. Anlage nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet , daß das T-förmig© Verbindungsstück (10) kreisringförmige Querschnitte aufweist und an die Rohrzelle (1) angeflanscht ist.
    ^. Anlage nach einem der Ansprüche 1 bis β, dadurch gekennzeichnet , daß in der Rohrzelle (1) sich vorzugsweise über die gesamte Länge erstreckende, die zu galvanisierenden Flächen des zu behandelnden Gutes möglichst umgebende Anodenbleche (7) vorgesehen sind, die mit Hilfe von stromisolierenden Distanzstücken (81) in einer definierten Lage gehalten sind.
    8. Anlage nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet , daß die stromisolierenden Distanzstücke (81) mit Führungen (82) für das zu behandelnde bewegte Gut versehen sind.
    Anlage nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet , daß die Anodenbleche (7) durch die Rohrzelle (1) unterbrechende und/oder an den beiden Enden dieser angeordnete, aus Isolierstoff bestehende Anodenhalter (9)
    130066/0021
    kontaktierbar sind.
    80 ρ 7 0 9 2 DE
    10. Anlage nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet , daß jede Schleusenanordnung (31f 32) aus mehreren Kammern (33-35 bzw. 36-40) besteht, deren Kammerwände Durchbrüche zum Durchführen des zu behandelnden Gutes aufweisen und die gegeneinander durch Inertgas und/oder Inertflüssigkeit abgedichtet sind.
    11. Anlage nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet , daß die Durchbrüche in den Kammerwänden mit dem Querschnitt des zu behandelnden Gutes angepaßten Rohren versehen sind, welche mit Inertgas und/oder Inertflüssigkeit flutbar sind.
    12. Anlage nach Anspruch10 oder 11, dadurch gekennzeichnet , daß die einzelnen Kammern (33 bis 40) aus Rohrstücken (89) und scheibenförmigen Kammerwänden bestehen.
    .13. Anlage nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet , daß eine scheibenförmige Kammerwand eine zentrale Bohrung aufweist, in die ein Formteil eingesetzt ist, welches einen Durchbruch aufweist, dessen Querschnitt dem Querschnitt des zu behandelnden Gutes angepaßt ist und daß zu dem Durchbruch eine radiale Bohrung mit Anschlußstutzen vorgesehen ist.
    >4. Anlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzei ch-η e t , daß an beiden Enden der Rohrzelle ein Thermoelement vorgesehen ist.
    Anlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzei ch n e t , daß die Rohrzelle mit einem Heizmantel umgeben ist.
    Anlage nach Anspruch 15, dadurch g e k e η η -
    130066/0021
    80 p 7 0 92 DE
    zeichnet , daß die Rohrzelle von einem wärmeisolierenden Material umgeben ist.
    ^.17. Anlage nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet , daß in dem Elektrolyt-Umlauf system ein Elektrolyt-Vorratsbehälter (12) eingeschaltet ist.
    .18. Anlage nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet , daß an die T-förmigen Verbindungsstücke (10) ein Inertflüssigkeits-Kreislauf (21 bis 27) zum Waschen und Spülen anschließbar ist.
    19. Anlage nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet , daß ... v . U
    ..,der Al-Elektrolytüberlauf kammer (36) eine Kammer (37) folgt, in der mit Hilfe einer Sprühvorrichtung der anhaftende Al-Elektrolyt mit Inertflüssigkeit abgewaschen wird.
    £Q. Anlage nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet , daß die Inertflüssigkeit zum Waschen aus dem Elektrolyten (11) durch Destillation gewonnen wird.
    21. Anlage nach einem der Ansprüche 1 bis 20, dadurch gekennzeichnet , daß sämtliche Teile, die mit dem Elektrolyten und dem elektrischen Feld in Verbindung stehen, aus nichtleitendem Material bestehen oder zumindest die Oberfläche dieser Teile elektrisch isoliert ist.
    z-22. Anlage nach einem der Ansprüche 1 bis 21, dadurch gekennzeichnet , daß die Rohrzelle (103) mit den T-förmigen Verbindungsstücken (106, 107) und Schleusenanordnungen (108, 109) zum senkrechten Durchgang
    130066/0021
    -S.
    80P7 0£%3827
    des zu aluminierenden Gutes (105) senkrecht angeordnet ist.
    23. Anlage nach Anspruch 22, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die Schleusenanordnungen (IO8,
    109) aus je einer Inertgaskammer (HO, 120) und mindestens zwei Inertflüssigkeits-Kammerii (114, 115 bzw. 123, 124) bestehen.
    24. Anlage nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet , daß die Inertflüssigkeits-Kammern (114, 115 bzw. 123, 124) von unten nach oben durchflossen werden.
    25. Anlage nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet , daß die Schleusenanordnungen (132, 144) als Inertgasschleusen ausgebildet sind, die aus mindestens drei lamellenartig aufgebauten zentrischen Kammern (133-135 bzw. 145-147) bestehen.
    ,26. Anlage nach Anspruch 25 9 dadurch gekennzeichnet , daß am unteren Ende der Rohrzelle (130) ein Flüssigkeitsverschluß vorgesehen ist.
    27. Anlage nach Anspruch 26, dadurch g e k e η η ζ e i c h ne t , daß als Flüssigkeitsverschluß ein Flüssigmetallpfropfen verwendet ist, der gleichzeitig zur elektrischen Kontaktierung des zu aluminierenden Gutes (129) dient.
    130066/0021
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