DE2954584C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Elektroerosions-Bearbeitung eines Werkstücks gemäß den Oberbegriffen der Patentansprüche 1 bzw. 4.

In einer Elektroerosionsmaschine dieser Art wird die von einer Vorratsspule ablaufende kontinuierliche Drahtelektrode durch eine Bearbeitungszone fortbewegt, in welcher das Werkstück zwischen zwei Führungsgliedern angeordnet ist, die den Draht präzise in einer vorbe­ stimmten Bearbeitungsbeziehung zu dem Werkstück halten und den vorlaufenden Draht in der Bearbeitungszone unter Spannung straffen, woraufhin dieser kontinuierlich von einer Aufnahmespule aufgenommen wird. Die kontinuierliche Fortbewegung oder die Arbeitsbewegung des Drahtes wird üblicherweise durch Zugantrieb-Rollenmittel bewirkt, wel­ che zwischen dem stromabwärtigen Führungsglied und der Aufnahmespule angeordnet sind. Durch die Vorkehrung von Bremsantriebs-Rollenmitteln an einer Stelle zwischen dem stromaufwärtigen Führungsglied und der Vorratsspule kann dem fortbewegten Draht eine gewünschte Zugspannung erteilt werden.

Eine Änderung der Zugspannung in dem fortbewegten und zwischen den Führungsgliedern gespannten Draht ist nicht erwünscht. Die resultierende Ablenkung und Schwingung des Drahtes in der Form einer Trommel innerhalb der Bearbeitungszone behindert einen stabilen Elektroerosions -Schneidprozeß, führt zu ungenauen Bearbeitungsergeb­ nissen und kann auch bewirken, daß der Draht durch fal­ sche Kurzschlüsse mit dem Werkstück gebrochen wird. Ein Auslängen oder Auskrümmen der Drahtelektrode bewirkt, daß die Schneidbreite übermäßig groß wird, daß die Kan­ tenbereiche unerwünscht abgerundet werden und daß das erzielte Profil von dem gewünschten Profil oder der ge­ wünschten Formgebung abweicht.

Es wurde nun beobachtet, daß die Konstanz der Zugspannung in dem vorbewegten Draht nicht einfach durch Aufbringen konstanter Zug- und Bremskräfte auf den Draht durch bekannte Anordnungen erreicht werden kann. Obwohl für Elektroerosions-Zwecke üblicherweise eine entsprechend präzise hergestellter und auf die Vorratsspule gewickel­ ter Draht benutzt wird, sind Unregelmäßigkeiten im Durchmesser und in der Zusammensetzung über seine ge­ samte Benutzungslänge nicht auszuschließen und er kann auch bei der Montage auf der Vorratsspule gekrümmt oder verdreht werden. Zusätzlich kann der dem Werkstück gegenüber passierende Draht während der Bearbeitung einer veränderlichen Abnutzung durch elektrische Ent­ ladung ausgesetzt sein und auch können die den Draht stützenden Führungsglieder durch Reibung oder durch Änderungen der in dem Draht hervorgerufenen wirksamen Zugspannung veränderlich abnutzen. Änderungen der Zugspannung durch diese oder andere Betriebsfaktoren verursachen eine veränderliche Auslängung des Drahtes und können seine unerwünschte Krümmung, Verziehung, Verdrehung oder Schwingung hervorrufen, was zu einem Draht­ bruch, unstabiler Bearbeitung und Bearbeitungsungenauigkei­ ten führt.

Ein Verfahren und eine Vorrichtung der eingangs genannten Art sind aus der DE-PS 27 21 804 bekannt. Hierbei läuft der Erosionsdraht von einer Vorratsrolle über zwei Führungen auf eine Sammelspule, wobei über einen Motor und eine Brem­ se die notwendige Spannung des Erosionsdrahtes zwischen den Führungen im Arbeitsspalt eines Werkzeuges erzeugt wird. An einer dieser Führungen greift ein Schwingmagnet an, welcher den gespannten Erosionsdraht zwischen den beiden Führungen in eine Schwingung im Bereich von 1 bis 50 kHz versetzt. Da der Draht in der praktischen Anwendung aufgrund von vie­ lerlei Ursachen eine veränderliche Auslängung sowie uner­ wünschte Krümmungen oder Verziehungen oder Verdrehungen auf­ weisen kann, besteht die Gefahr, daß die Spannung des Drah­ tes nicht konstant gehalten werden kann.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung der eingangs genannten Art anzugeben, mit welchen die Konstanz der Zugspannung in dem vorbewegten Ero­ sionsdraht gewährleistet wird.

Verfahrensmäßig wird die Aufgabe mit den im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 niedergelegten Merkmalen und vorrich­ tungsmäßig dem kennzeichnenden Teil des Anspruchs 4 gelöst.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispieles weiter erläutert.

Fig. 1 ist ein Prinzipschaltbild einer Drahtschnitt- Elektroerosionsmaschine;

Fig. 2 ist ein Blockschaltbild eines Schaltungselemen­ tes des in Fig. 1 gezeigten Systems;

Fig. 3 ist ein Prinzipschaltbild einer Elektroerosions­ maschine entsprechend der Erfindung;

Fig. 4 ist eine vergrößerte Seitenansicht eines Details der in Fig. 3 gezeigten Anordnung; und

Fig. 5 ist eine vergrößerte Draufsicht eines Details der in Fig. 3 gezeigten Anordnung.

Mit Bezug auf Fig. 1 bildet ein kontinuierlicher Draht 1 aus Kupfer, Messing, einem ähnlichen Metall oder einer Legierung mit einem Durchmesser von 0,05 bis 0,5 mm eine Elektroerosions-Elektrode und ist als von einer Vorratsspule 2 ablaufend und auf eine Aufnahmespule 3 auflaufend dargestellt, wobei er durch eine Bearbei­ tungszone transportiert wird, die durch zwei Führungs­ glieder 4 a und 4 b definiert ist. Die Führungsglieder 4 a und 4 b spannen den zwischen ihnen verlaufenden Draht ein und positionieren ihn in eine bestimmte Bearbeitungslage bezüglich eines Werkstückes 5, welches mit einem Be­ arbeitungsmedium, beispielsweise einem dorthin zugeliefer­ ten flüssigen Nichtleiter oder Dielektrikum in der Be­ arbeitungszone angeordnet ist. Eine Stromversorgung 6 hat Ausgangsklemmen, welche mit dem Draht 1 und dem Werkstück 5 elektrisch verbunden sind, um über den zwischen ihnen befindlichen Bearbeitungsspalt eine elektrische Bearbeitungsenergie anzulegen, welche üb­ licherweise die Form von Impulsen hat, um Material von dem Werkstück 5 zu entfernen.

Wenn die Materialentfernung fortschreitet, erfolgt mittels zweier Motoren 8 und 9, beispielsweise Schritt­ motoren eine Versetzung eines Tisches 7, an welchem das Werkstück 5 befestigt ist, was in Übereinstimmung mit einem numerischen Steuerprogramm oder einer Kopiervor­ lage entlang einer X- und einer Y-Achse erfolgt, so daß die Elektroerosion mit der Drahtelektrode 1 an dem Werkstück 5 entlang eines bestimmten Schneidweges fort­ schreiten kann.

Die Mittel zum Transport oder zur axialen Vorbewegung des Drahtes 1 umfassen eine Zug-Antriebsrolle 10, wel­ che stromabwärts von dem Führungsglied 4 b angeordnet ist und eine durch Reibung mitlaufende Klemmrolle 11 hat, die aus Gummi oder dergl. hergestellt oder mit solchem beschichtet ist und den Draht 11 gegen die stützende Antriebsrolle 10 andrückt. Die Antriebs­ welle 10 hat eine umlaufende Welle 12, welche von einem Motor 13 angetrieben wird, wodurch die Rollen 10 und 11 den zwischen ihnen eingeführten Draht 1 tragen und eine Zugkraft auf ihn ausüben, um ihn kontinuierlich von der Vorratsspule 2 abzuwickeln und kontinuierlich durch die Bearbeitungszone zwischen den Führungsglie­ dern 4 a und 4 b zu bewegen. Die Antriebswelle 12 ist mit einem Kodierer 14 versehen, der auf eine Drehung derselben anspricht und ein Signal liefert, welches die Drehzahl der Antriebswelle 12 repräsentiert. Strom­ aufwärts der Führungsglieder 4 a und 4 b befindet sich eine bremsende Antriebsrolle 15 mit einer durch Reibung mitgenommenen Klemmrolle 16 aus Gummi oder dergl. oder mit entsprechender Beschichtung, welche mit der stützen­ den Rolle 15 zusammenwirkt, um den Draht 1 gegen diese angedrückt zu halten. Die bremsende Antriebsrolle 15 hat eine Antriebswelle 17, welche von einem Drehmoment -Motor 18 angetrieben wird, um eine Bremskraft auf den Draht 1 auszuüben, der kontinuierlich von der Vorrats­ spule 2 abläuft, die Führungsglieder 4 a und 4 b passiert, von den Rollen 10 und 11 angetrieben und schließlich auf die Aufnahmespule 3 aufgewickelt wird. Die bremsen­ de Antriebswelle 17 ist mit einem Kodierer 19 versehen, der auf eine Drehung derselben anspricht und ein für die Drehzahl der Antriebswelle 17 repräsentatives Si­ gnal liefert.

Die Ausgänge der Kodierer 14 und 19 gelangen über Ver­ stärker 21 bzw. 22 an eine Logikschaltung 20, wo sie verglichen werden, um einen logischen Ausgang zu lie­ fern, der einerseits an eine Steuerschaltung 23 und andererseits an eine Anzeigevorrichtung 27 angelegt ist. Die Logikschaltung 20 liefert einen logischen Ausgang, der die Zugspannung, die Auslängung und/oder die Durch­ biegung des Drahtes 1 repräsentiert, was von den bei­ den verstärkten Signalen abgeleitet ist, die von den Kodierern 14 und 19 empfangen wurden. Ein gewünschter Wert der Drahtspannung, der Auslängung und/oder der Durchbiegung wird in die Steuerschaltung 23 einge­ geben zum Vergleich mit dem entsprechenden Eingangs­ signal von der Logikschaltung 20 zur Lieferung eines Steuersignals, welches auf eine oder beide von zwei Steuerschaltungen 25 und 26 für den Drahtzug-Motor 13 bzw. den Brems-Motor 18 einwirkt. Die Anzeigevorrich­ tung 27 kann zur Lieferung einer geeigneten Sichtan­ zeige der festgestellten Zugspannung, Auslängung und/oder Durchbiegung vorgesehen sein.

Im Betrieb bewirkt die Antriebsanordnung 10, 11, 12 und 13 das Ablaufen des Drahtes 1 von der Vorratsspule 2 und das Aufrollen desselben auf die Aufnahmespule 3 um seinen kontinuierlichen Verlauf durch die Bearbeitungszone zwi­ schen den Führungsgliedern 4 a und 4 b unter einer Zugspannung zu gewährleisten, welche durch die Bremsanordnung 15, 16, 17 und 18 in dem Draht 1 verursacht wird und welche diesen spannt und auslängt. Es erwies sich als schwierig, diese Spannung durch Aufbringen einer konstanten Antriebs- und Bremskraft auf den Draht 1 mittels dieser Anordnungen konstant zu halten. Obwohl üblicherweise ein für den Zweck der Elektroerosion präzise hergestellter und auf die Vor­ ratsspule gewickelter Draht verwendet wird, verbleiben un­ vermeidbar Unregelmäßigkeiten des Durchmessers und der Zusammensetzung über seine gesamte Gebrauchslänge und er kann bei seiner Montage auf die Vorratsspule verbogen oder verzogen sein. Während der Bearbeitung kann der nahe dem Werkstück herlaufende Draht zusätzlich einer veränder­ lichen Abnutzung durch elektrische Entladung ausgesetzt sein und auch die den Draht stützenden Führungsglieder können durch Reibung oder bei Änderungen der in dem Draht hervorgerufenen wirksamen Spannung abnutzen. Änderungen der Spannung durch die Drahtkalibrierung, seine Zusammen­ setzung und andere Betriebsfaktoren verursachen eine veränderliche Auslängung des Drahtes und können eine unerwünschte Krümmung, Verziehung oder Verdrehung des­ selben hervorrufen, was zu Drahtbrüchen, einer unstabilen Bearbeitung und Bearbeitungsungenauigkeiten führt.

Es ist der Kodierer 14 vor­ gesehen, der die Drehung der Antriebswelle 12 für den Drahtzug feststellt und ein entsprechendes Signal liefert, welches nach Verstärkung durch den Verstärker 21 an die Logikschaltung 20 geführt ist. Andererseits er­ mittelt der Kodierer 19 die Drehung der Antriebswelle 17 für die Abbremsung des Drahtes und liefert ein entsprechendes Signal, welches nach Verstärkung durch den Verstärker 22 an die Logikschaltung 20 geführt ist. Die Logikschaltung 20 liefert eine Differenz zwischen den beiden ermittelten Signalen, die sie empfängt, wodurch eine Änderung der in dem Draht 1 verursachten Spannung, Auslängung oder Krümmung fest­ stellbar ist. Ein Ausgang von der Logikschaltung 20 dient dem Betrieb des Anzeigenetzwerkes 27, welches die momentan ermittelte Spannung, Auslängung oder Krümmung in numerischer oder anderer Form anzeigt. Der an die Steuerschaltung 23 geführte zweite Aus­ gang der Schaltung 20 wird logisch mit dem vorgege­ benen Signal verglichen, welches von dem Anschluß 24 her eingegeben ist und einen gewünschten Wert für die Spannung oder Auslängung darstellt, um das Steuer­ signal zu erzeugen. So kann der logische Ausgang der Schaltung 20 eine Ausgangsgröße liefern, welche ein­ zeln oder in Kombination die Spannung, die Auslängung oder die Krümmung wiedergibt und an die Steuerschal­ tung 23 gelegt ist. Die letztere kann ein Steuerarrange­ ment entsprechend irgendeiner der drei spannungsveränder­ lichen oder zur Lieferung einer Ausgangsgröße entspre­ chend einer logischen Summe oder entsprechend einem logischen Produkt der Variablen umfassen. Das Steuer­ signal kann von einer Ableitung eines Eingangssignals von einem vorgegebenen Wert Gebrauch machen oder das ankommende Signal mit Bezug auf den vorgegebenen Wert aufbereiten. Die Steuerung dient der Regelung der ent­ sprechenden Antriebsschaltungen 25 bzw. 26 eines oder beider Motoren 13 und 18 für das Ziehen bzw. Bremsen und steuert die elektrische Antriebsenergie oder, falls ein Impulsantrieb benutzt wird, die Dauer oder die Fre­ quenz der Antriebsimpulse für diese.

In Fig. 2 sind drei Aufbau-Beispiele a, b und c für die Logikschaltung 20 dargestellt. In dem System a sind Impulssignale von den Kodierern 14 und 19 an Zähler 28 bzw. 29 angelegt, die mit einem Komparator 30 kombi­ niert sind, der eine Differenz der Zählungen liefert, welche durch einen Diskriminator oder eine Schwellpe­ gel-Schaltung 31 aufbereitet wird. In dem System b sind die beiden Detektorsignale auf den Aufwärts- bzw. Ab­ wärts-Zähleingang eines aufwärts-/abwärts- oder umkehr­ baren Zählers 32 angelegt, um einen Differenz-Zählpegel zu liefern, der durch einen Diskriminator oder eine Ansprechschwellen-Schaltung 33 ausgewertet wird. In dem System c sind die beiden Signale zunächst an einen Komparator 34 angelegt, der eine Größendifferenz in Form von Impulsen liefert, die durch einen Zähler 35 gesammelt werden, dessen Ausgangsgröße von einem Dis­ kriminator oder einer Pegelschwellen-Schaltung 36 em­ pfangen und ausgewertet wird. In jeder der Anordnungen a, b und c liefert die ermittelte Drehzahldifferenz zwischen der Zugantriebs-Welle 12 und der Bremsan­ triebs-Welle 17 die Zugspannung, von welcher auch die Auslängung und die Biegung ermittelt werden. Die An­ triebsschaltungen 25 und 26 eines der oder beider Motoren 13 und 18 können manuell oder automatisch gesteuert werden, wobei das festgestellte Signal eine Änderung der Zugspannung, der Auslängung oder der Biegung in dem Draht 1 bewirkt, um einen gewünsch­ ten oder vorbestimmten Wert zu erreichen, wodurch die Elektroerosion fortgesetzt werden kann, wobei die kontinuierliche Drahtelektrode unter einer gegebenen Zug­ spannung ausgerichtet und als Folge eine vorbestimmte Auslängung erzielt wird. Der unstabile Betrieb, der zu Drahtbrüchen und unerwünschten Schwingungen neigt, kann dadurch eliminiert werden, wodurch eine hochpräzise und wirtschaftliche Drahtschnitt-Elektroerosion erreicht wird.

Die Antriebsmotoren 13 und 18 können entweder als Gleich­ strommotoren oder als Schrittmotoren ausgestaltet sein. Im letztgenannten Fall wird das Gleichstrom-Steuersi­ gnal durch einen Spannungs-Frequenz-Wandler in Impulse umgewandelt. Ebenso kann das Impuls-Steuersignal für den Gleichstrommotor benutzt werden, indem das Gleich­ strom-Antriebssignal durch eine Digital-Analog-Umwand­ lung erreicht wird.

Fig. 3 zeigt eine andere Form eines Detektors-Systems für die Drahtspannung. In diesem System ist ein kontinuierlicher Draht 40 gezeigt, der eine Werkzeugelektrode für eine Elektroerosions-Bearbeitung bildet und durch zwei Kühl­ mittel-Leitungen 41 und 42 geführt ist, zwischen wel­ chen ein Werkstück 43 in Bearbeitungsbeziehung zu dem Draht 40 montiert ist. Der Draht 40 wird von einer Vorratsspule abgewickelt und auf eine Aufnahmespule aufgewickelt, welche zusammen mit der Zug- und der Bremsrolle in dieser Figur weggelassen sind und welche denjenigen der Anordnung von Fig. 1 entsprechen können. Im Verlauf des Drahtes 40 dienen die Rollen 44 und 45 zur Richtungsänderung des Drahtverlauf in die Bearbei­ tungszone hinein und aus dieser heraus, während Rollen 41 a, 41 b und 41 c in der Führungsleitung 41 und Rollen 42 a, 42 b und 42 c in der Führungsleitung 42 dazu dienen, den laufenden Draht 40 präzise in eine Bearbeitungsposition bezüglich des Werkstückes 43 zu plazieren. Die Lei­ tungen 41 und 42 sind mit Einlaßöffnungen 41 d bzw. 42 d versehen, durch welche ein Bearbeitungsmedium W 1, W 2 wie destilliertes Wasser zur Beschickung der Be­ arbeitungszone zugeführt wird, welches auch als Kühl­ mittel für die Bearbeitungs-Drahtelektrode 40 dient. Eine Energieversorgung 46 für die Elektroerosion ist einerseits mit dem Werkstück 43 und andererseits an den Rollen 41 b und 42 b in den Leitungen 41 bzw. 42 mit dem Draht 40 elektrisch verbunden. Die Rollen 41 a und 42 a bilden flüssigkeitsdichte Rollen.

Im Bereich der Bearbeitungszone ist zwischen den Posi­ tionierungs-Rollen 41 c und 42 c ein mechanischer Oszilla­ tor 47 im Kontakt oder in enger Nachbarschaft mit dem Draht 40 vorgesehen, um eine Schwingung oder eine Vibration an diesen zu geben, welche als eine Signal­ quelle wirkt. Eine vergrößerte Seiten- und Frontansicht des Oszillators 47 ist in Fig. 4 bzw. 5 gezeigt, wo­ bei in der letzteren auch die damit zusammenhängenden Elemente zu sehen sind. Das Oszillatorelement 47 hat eine oszillierende oder vibrierende Fläche, um dem mit dieser in Kontakt stehenden oder eng benachbarten Draht 40 eine Vibration zu erteilen. Das Element 47 kann ein aus Quarz, Bariumtitanat (BaTiO₃), verbleitem Zirconiumtitanat oder einer festen Lösung aus Bleizirconat und Bleititanat (PbZrO₃ + PbTiO₃) oder dergl. zusammenge­ setztes elektromechanisches Wandler-Schwingelement sein und wird über erste Anschlußklemmen von einer Hochfre­ quenz-Wechselstromquelle 48 mit einer Frequenz von 1 bis 100 kHz oder darüber versorgt, um eine mechanische Vibration entsprechender Frequenz zu erzeugen. Das Element 47 hat zweite Anschlußklemmen, die zur Feststellung einer Vibrations-Antwort des Drahtes 40 mit einem Detektor 49 verbunden sind.

Im Betrieb erteilt das Element 47 dem Draht 40 eine Vi­ bration mit einer Amplitude von 0,1 bis 20 µm bei einer Frequenz von 1 bis 100 kHz. Wenn nun keine Änderung der Zugspannung in dem Draht 40 auftritt, ergibt sich auch keine Änderung in der durch die Schaltung 49 festgestellten Vibrations-Antwort. Wenn aber eine elastische Änderung wie eine Änderung der Zugspannung und der Auslängung oder das Auftreten einer Krümmung des Drahtes oder eine Bruchneigung desselben vorliegt, wird eine Änderung in der von dem Detektor 49 ermittelten Antwort-Frequenz auftreten. Es wurde tatsächlich herausgefunden, daß eine leichte Änderung der in dem Draht 40 verursachten Spannung mittels Feststellung der Vibrations-Antwort mit hoher Genauigkeit überwacht werden kann. Das wahrge­ nommene Signal kann in der zuvor beschriebenen Art zur Betätigung einer Anzeige benutzt werden, sowie zur Steuerung der Antriebsschaltung für den die Zugkraft anlegenden Motor und/oder den die Bremskraft an den Draht 40 anlegenden Motor.

So führt die Erfindung sowohl zu einer verbesserten Drahtschnitt-Elektroerosionsmaschine als auch zu einem Verfahren zum Betrieb derselben, welches die Draht­ elektrode wirksam vor Bruch schützt, einen verbesserten Bearbeitungsablauf ermöglicht und eine gesteigerte Be­ arbeitungsgenauigkeit gewährleistet.

Claims (6)

1. Verfahren zur Elektroerosions-Bearbeitung eines Werkstückes, mit einem eine Elektroerosions-Elektrode bildenden kontinuierlich fortlaufenden Draht, mit einer Vorrats­ spule und einer Aufnahmespule für den Draht, mit zwei Führungsgliedern zur Führung des Drahtes durch eine Be­ arbeitungszone, in welcher ein zu bearbeitender Ab­ schnitt des Werkstückes angeordnet ist, wobei der Draht zwischen den Führungsgliedern mechanisch in Vibration versetzt wird, mit rotierenden Zugmitteln, welche den Draht von der Vorratsspule durch die Bearbeitungszone bewegen und seine Aufnahme auf der genannten Aufnahme­ spule gestatten sowie mit rotierenden Bremsmitteln, die auf den Draht eine Bremskraft aufbringen, um diesen zwischen den genannten Führungsgliedern zu spannen, während er kontinuierlich durch die Bearbeitungszone läuft, gekennzeichnet durch folgende Verfahrens­ schritte:

• (a) Aufnehmen der Vibrationsfrequenz des Drahtes (40);
• (b) Vergleich der abgegriffenen Vibrationsfrequenz mit einer vorgegebenen Vibrationsfrequenz;
• (c) im Falle einer Änderung Ableiten eines Ausgangs­ signals, welches diese Änderung repräsentiert;
• (d) Ansteuern der Bremsmittel (15, 16) und/oder der Zugmittel (10, 11) in Abhängigkeit von dem Ausgangs­ signal derart, daß die Drahtspannung im wesentli­ chen konstant gehalten wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Draht (40) in einem Frequenzbereich von 50 bis 100 kHz in Vibration versetzt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Draht (40) mit einer Amplitude von 0,1 bis 10 µm in Vibration versetzt wird.

4. Drahtschnitt-Elektroerosionsmaschine zum Schneiden eines Werkstückes, mit einem eine Elektroerosions-Elektrode bildenden, kontinuierlich bewegten Draht, mit einer Vorratsspule und einer Aufnahmespule für den Draht, mit zwei Füh­ rungsgliedern zur Führung des Drahtes durch eine Bear­ beitungszone, in welcher ein zu bearbeitender Abschnitt des Werkstückes angeordnet ist, mit einer Vorrichtung, mit welcher der Draht mechanisch in Vibration versetzt wird, mit einem angetriebenen rotierenden Zugmittel zur Vorbewegung des Drahtes durch die Bearbeitungszone von der Vorratsspule und zur Aufnahme des Drahtes auf die Aufnahmespule und mit einem angetriebenen rotie­ renden Bremsmittel zur Ausübung einer Bremskraft auf den Draht, um diesen während des Durchgangs durch die Bearbeitungszone zu spannen, dadurch gekennzeichnet, daß ein auf die Vibration des Drahtes (40) ansprechen­ der Detektor (49) zur Feststellung der Vibrationsfre­ quenz vorhanden ist, daß dem Detektor (49) eine Aus­ werteschaltung nachgeschaltet ist, welche aus der Än­ derung der abgegriffenen Vibrationsfrequenz bezüglich einer vorgegebenen Vibrationsfrequenz ein Ausgangs­ signal ableitet, welches die Spannungsabweichung des zwischen den Bremsmitteln (15, 16) und den Zugmitteln (10, 11) laufenden Drahtes (40) von einem vorgegebenen Wert repräsentiert, und daß der Auswerteschaltung Steuermittel (25, 26) nachgeschaltet sind, welche zu­ mindest die Zugmittel und/oder die Bremsmittel der­ art in Abhängigkeit von dem Ausgangssignal steuern, daß die Drahtspannung im wesentlichen konstant gehal­ ten wird.

5. Drahtschnitt-Elektroerosionsmaschine nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zum Aufbringen der Vibration einen elektromechanischen Wandler und eine Hochfrequenz- Energiequelle zur Energieversorgung des Wandlers um­ fassen, und daß der Detektor (49) mit dem elektro­ mechanischen Wandler verbunden ist.

6. Drahtschnitt-Elektroerosionsmaschine nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der elektromechanische Wandler zumindest eine Sub­ stanz enthält, die aus der Gruppe ausgewählt ist, wel­ che Quarz, Barium, Titanat, Blei, Zirkonat und Blei- Titanat enthält.