DE2819711C2 - Verfahren und Vorrichtung zur Analyse einer Probe mit Hilfe gepulster Laserstrahlung - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Analyse einer Probe mit Hilfe gepulster Laserstrahlung

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Analyse einer Probe mit Hilfe gepulster Laserstrahlung sowie eine f r dieses Verfahren geeignete Vorrichtung. Es sind Anordnungen bekannt, bei denen nicht transparente Proben im Auflicht mit Laserlicht beschossen und die dabei entstehenden Ionen direkt in einen Massenanalysator abgesaugt werden. Eine solche Loesung hat den Nachteil, dass sowohl das Laserlicht auf die Probe buendelnde Sammellinsensysteme als auch die Eintrittsoeffnung des Massenanalysators auf der gleichen Seite der Probe angeordnet werden muessen und damit relativ weit von dem beschossenen Ort entfernt sind. Das hat zur Folge, dass keine besonders kleinen Bereiche der Probe beschossen werden koennen, was an sich bei der Laser-mikroskopie erwuenscht waere. Zur Vermeidung dieser Nachteile wird nach der Erfindung der ausgewaehlte Bereich der Probe zunaechst mit einem Laserschuss verdampft, das dampffoermige Probenmaterial auf die Oberflaeche eines Zwischentraegers kondensiert, und anschliessend die auf dem Zwischentraeger befindliche Probenschicht analysiert. Mit der erfindungsgemaessen Anordnung sind quantitative Analysen moeglich, im Rahmen der Erfindung besteht weiterhin die Moeglichkeit, den Zwischentraeger mit der aufgedampften Probe mehrmals mit einem "zweiten" Laserschuss zu beschiessen. Die dadurch gewonnenen z.B. lichtoptischen oder massenspektometrischen Spektren koennen z.B. addiert werden, bis eine bestimmte geforderte statische Genauigkeit errei...U.S.W

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Analyse einer Probe mit Hilfe gepulster Laserstrahlung sowie eine für dieses Verfahren geeignete Vorrichtung.
Es ist bekannt (DE-OS 27 20 486, US-PS 39 41 567), Proben mit Hilfe eines Laserstrahls zu verdampfen, und diese Dämpfe in einem Trägergasstrom einem Gaschromatographen zuzuführen. Einrichtungen zur Durchführung dieses Analyseverfahrens sind aufwendig und haben wegen der »Verdünnung« des Dampfes durch das Trägergas eine extrem kleine Nachweiswahrscheinlichkeit
Weiterhin ist es aus der DE-OS 15 98 632 bekannt, eine Probe elektromagnetischer Strahlung, insbesondere kohärenter Strahlung, auszusetzen und die dadurch erzeugten Dämpfe, Plasmen, Ionenstrahlen und dergleichen einer Emissions- oder Adsorptionsspektralanalyse bzw. einer Massenspektroskopie zu unterwerfen. Das Laserlicht wird mit Hilfe einer Sammellinse auf die Probe foknssiert, und zwar auf der den optischen Mitteln abgekehrten Probenoberfläche. Die nachgeordneten Bauteile (Elektroden, Vorrichtungen zur zusätzlichen Anregung und dergleichen) können deshalb dort günstig angeordnet werden, so daß ihnen das abgetragene Material möglichst vollständig zugeführt werden kann. Bei diesen vorbeschriebenen Anordnungen ist allerdings vorausgesetzt, daß das Probenmaterial für das Laserlicht im wesentlichen transparent ist
Ist die Probe für das Laserlicht nicht transparent, dann muß die Probe so dünn sein, daß der Laserschuß darin ein Loch erzeugt, damit die der Analyse zu unterwerfenden Teilchen der Probe auf die der Sammellinse abgewandte Seite der Probe gelangen können, wo die Analysiereinrichtung angeordnet ist (vgl. DD-PS 79 162). Nachteilig daran ist, daß nicht von jeder Probe derart dünne Folien erzeugt werden können. Zum anderen kann die Probe während des Zielens mit dem Laserstrahl nur im Auflicht betrachtet werden, d. h., die dem Analysator zugewandte Seite der Probe ist dabei nicht sichtbar. Aussagen darüber, welche Teile einer Probe, die häufig eine bestimmte Struktur hat, beschossen und verdampft wurden, sind deshalb mit Unsicherheiten behaftet.
Schließlich sind Anordnungen bekannt, bei denen nicht transparente Proben im Auflicht mit Laserlicht beschossen und die dabei entstehenden Ionen direkt in einen Massenanalysator abgesaugt werden. Eine solche Lösung hat den Nachteil, daß sowohl das Laserlicht auf die Probe bündelnde Sammellinsensysteme als auch die Eintrittsöffnung des Massenanalysators (oder einer dem Massenanalysator vorgelagerten lonenoptik) auf der gleichen Seite der Probe angeordnet werden müssen und damit relativ weit von dem beschossenen Ort entfernt sind, da beide Einrichtungen platzaufwendig sind. Das hat zur Folge, daß keine besonders kleinen Bereiche der Probe beschossen werden können, was an sich bei der Lasermikroskopie erwünscht wäre. Der beschossene Bereich kann nämlich um so kleiner gewählt werden, je näher die Probe an das Sammellinsensystem herangebracht wird. Außerdem hat ein
relativ großer Abstand zwischen der Probe und der Analysiereinrichtung die Folge einer schlechten Akzeptanz.
Der. vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs genannten Art anzugeben, welches die gezielte Analyse äußerst kleiner Bereiche von für das Laserlicht wenig oder nicht transparenten Proben ermöglicht.
Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß der ausgewählte Bereich der Probe mit einem ersten Laserschuß verdampft wird, daß das dampfförmige Probenmaterial auf die Oberfläche eines transparenten Zwischenträgers kondensiert wird und daß die Analyse der Probenschicht durch einen zweiten Laserschuß induziert wird. Ein solches Verfahren ermöglicht es, mit '5 dem ersten Laserschuß einen sehr kleinen interessierenden Teil einer Probe herauszuschießen. Das kann bei optimal kleinem Abstand zwischen der Probe und dem Sammellinsensystem im Auflicht und mit hoher Präzision geschehen. Der Zwischenträger selbst kann relativ klein und dünn sein, so daß er die Abstandswahl nicht beeinträchtigt. Wesentlich ist, daß auf den Zwischenträger nur das aus dem beschossenen Probenbereich verdampfende Material gelangt. Danach erfolgt mit einem zweiten Laserschuß auf das auf den Zwischenträger aufgedampfte Probenmaterial die eigentliche Analyse, z. B. die Energie- oder Massenanalyse. Während dieses zweiten Laserschusses können optimale Bedingungen hinsichtlich der z. B. Massenanalyse eingestellt werden. Dadurch daß der Zwischenträger transparent ist, kann während des zweiten Laserschusses die mit dem kondensierten Probenmaterial versehene Oberfläche des Zwischenträgers dem Analysator zugewandt werden.
Zweckmäßig ist weiterhin, daß mit dem zweiten Laserschuß entweder ein genau bestimmter Teil oder die gesamte mit dem ersten Schuß verdampfte Probenmenge analysiert wird. Dadurch werden quantitative Analysen möglich.
Im Rahmen der Erfindung besteht weiterhin die Möglichkeit, den Zwischenträger mit der aufgedampften Probe mehrmals mit einem »zweiten« Laserschuß zu beschießen. Die dadurch gewonnenen z. B. lichtoptischen oder massenspektn?metrischen Spektren können z. B. addiert werden, bis eine bestimmte geforderte statische Genauigkeit erreicht wird.
Zweckmäßig wird während des zweiten Schusses der Laserstrahl so fokussiert, daß ein kleiner Teil des Zwischenträgers mitverdampft. Das Material des Zwischenträgers kann dann bei der Analyse zu Eichzwecken verwendet werden. Das den Eichzwecken dienende Material kann auch vorher auf den Zwischenträger aufgebracht, z. B. aufgedampft sein.
Weitere Vorteile und Einzelheiten sollen anhand der in den F i g. 1 bis 4 schematisch dargestellten Ausführungsbeispiele für Vorrichtungen zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens erläutert werden.
In allen Figuren sind jeweils das das Laserlicht bündelnde Sammellinsensystem mit 1, der Zwischenträger mit 2, die Probe mit 3, die auf den Zwischenträger 2 kondensierte Probenschicht mit 4 (gestrichelt dargestellt) und eine die während des zweiten Laserschusses entstehenden Ionen aufnehmende Registriereinrichtung (Ionenoptik) mit 5 bezeichnet. Wird statt der Massenanalyse ein anderes Analysenverfahren angewendet, dann ist die Ionenoptik 5 durch die jeweils andere Registriereinrichtung zu ersetzen. Die
Fig. la, 2a und 3a zeigen jeweils die Stellung der einzelnen Elemente zueinander während des ersten Laserschusses. Die
Fig. Ib, 2b und 3b zeigen die Anordnung während des zweiten Laserschusses.
Die Achse der Systeme ist jewelis mit 6 bezeichnet
Beim Ausführungsbeispiel nach den F i g. la und Ib ist der Laserstrahl auf die Oberfläche der Probe 3 fokussiert, die dem Pfeil 7 entsprechend etwa senkrecht zur Achse 6 verschiebbar ist. Der beim Beschüß der Probe 3 entstehende Dampf schlägt sich auf dem daneben angeordneten Zwischenträger 2 als Probenschicht 4 nieder. Um die Probe 3 während des ersten Schusses möglichst nahe an das Linsensystem 1 heranbringen zu können, ist die Ionenoptik 5 dem Pfeil 8 entsprechend etwa parallel zur Achse 6 verschiebbar angeordnet. Während des zweiten Schusses ist die Probe 3 aus dem Bereich des Laserstrahls entfernt, so daß dort der Zwischenträger 2 angeordnet werden kann, und zwar derart, daß die darauf kondensierte Probenschicht 4 der Ionenoptik 5 zugewandt ist Diese wird zur Verbesserung der Akzeptanz näher an den Zwischenträger 2 heranbewegt Danach erfolgt der zweite Laserschuß zur Analyse der Probenschicht 4, eventuell unter Mitverdampfung des als Eichstandard dienenden Zwischenträgers 2.
Beim Ausführungsbeispiel nach den F i g. 2a und 2b befindet sich der Zwischenträger während des ersten Laserschusses zwischen dem Sammellinsensystem 1 und der Probe 3. Voraussetzung dazu ist, daß das Material des Zwischenträgers 2 für das Laserlicht transparent ist und z. B. aus einer dünnen Folie, einem Glas oder dgl. besteht Nach dem ersten Laserschuß werden die Probe 3 dem Pfeil 9 entsprechend etwa senkrecht zur Achse 6 und der Zwischenträger 2 dem Pfeil 10 entsprechend etwa parallel zur Achse 6 in die in F i g. 2b dargestellten Positionen verschoben. Dann kann die Auslösung des zweiten Laserschusses zur Analyse der Probenschicht 4 erfolgen.
Bei dem Ausführungsbeispiel nach der. F i g. 3a und 3b sind die Probe und die Ionenoptik 5 gemeinsam dem Pfeil 11 entsprechend, senkrecht zur Achse 6 verschiebbar. Während des ersten Schusses (Fig.3a) befindet sich der Zwischenträger 2 wieder zwischen dem1 Sammellinsensystem 1 und der Probe 3. Danach erfolgt die Verschiebung in die in F i g. 3b dargestellte Position. Außerdem muß bei diesem Ausführungsbeispiel eine Änderung der Fokussierung des Laserstrahls auf die Probenschicht 4 vorgenommen werden, da der Abstand des Zwischenträgers 2 zum Sammellinsensystem unverändert bleibt. Dann erfolgt die Auslösung des zweiten Laserschusses und damit die Analyse der Probenschicht 4.
Beim Ausführungsbeispiel nach der Fig. 4 ist zusätzlich ein Teil des evakuierbaren Gehäuses 12 dargestellt. Zur Halterung mehrerer Zwischenträger 2, 2' ist ein Teller 13 vorgesehen, welcher derart drehbar (Pfeil 14), Drehachse parallel zur Achse 6, und gegebenenfalls auch noch als Ganzes parallel zur Achse 6 verschiebbar Pfeil 15) angeordnet ist, daß sich jeweils ein Zwischenträger 2 oder 2' im Bereich des Linsensystems 1 befindet. Die dazu notwendigen Mittel sind nur schematisch dargestellt und mit 16 bezeichnet. Weiterhin ist in dem Gehäuse 11 ein Teller 17 drehbar (Ρίου 18), Drehachse ebenfalls parallel zur Achse 6, und senkrecht zur Achse 6 verschiebbar (Pfeil 19) angeordnet. Die dazu notwendigen Mittel sind mit 20 bezeichnet. Der Teller weist in seinem Randbereich im einzelnen nicht dargestellte Halterungen für mehrere
Proben 3 bzw. 3' auf. Die Bewegungsmöglichkeiten sind so gewählt, daß die Proben 3 bzw. 3' optimal nahe an das Linsensystem 1 herangebracht werden können. Der Teller 17 kann z. B. kühlbar ausgebildet sein.
Während des ersten Laserschusses befinden sich die einzelnen Elemente in der in Fig.4 dargestellten Position. Die Probe 3 wird beschossen. Der Dampf schlägt sich auf dem Zwischenträger 2 als Schicht 4 nieder. Danach muß die Probe 3 aus dem Bereich der Achse 6 entfernt werden, was z. B. durch Verschiebung des Tellers 17 senkrecht zur Achse 6 (Pfeil 19) erfolgen kann. Eine derartige Verschiebung erübrigt sich, wenn der Teller 17 sektorartige Ausschnitte aufweist. In einem solchen Fall ist nur eine Drehung des Tellers 17 erforderlich, und zwar derart, daß ein solcher Ausschnitt den Weg zwischen dem Zwischenträger 2 und der Ionenoptik 5 freigibt. Danach erfolgt eine Fokussierung der Laserstrahlen auf die Schicht 4, was entweder dadurch geschehen kann, daß der Zwischenträger 2 parallel zur Achse 6 (wie beim Ausführungsbeispiel nach den F i g. 2a und 2b) verschoben oder die Fokussierung des Laserstrahls verändert wird (wie bei dem Ausführungsbeispiel nach den F i g. 3a und 3b). Gegebenenfalls kann auch noch eine Verschiebung der lonenoptik 5, und zwar parallel zur Achse 6 dem Pfeil 21 entsprechend, zur Verbesserung der Akzeptanz während des zweiten Laserschusses vorgenommen werden. Das Gehäuse 12 kann aus einem rohrförmigen Abschnitt 22 bestehen. Es weist in Höhe des
ίο Probentellers 17 und eventuell des Zwischenträgertellers 13 je eine Schleuse auf (nur eine Schleuse 23 ist schematisch dargestellt). Damit können ohne Unterbrechung des Vakuums Wechsel von Proben und Zwischenträgern (z. B. für andere zusätzliche Analysen außerhalb dieses Gerätes) vorgenommen werden.
Die Stirnseite des Gehäuses 12 ist mit einem Deckelflansch 24 verschlossen. In diesem Deckelflansch 24 ist ein Beobachtungsfenster 25 vorgesehen, durch das z. B. Manipulationen beim Probenwechsel beobachtet werden können.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (12)

Patentansprüche: ist
1. Verfahren zur Analyse einer Probe mit Hilfe gepulster Laserstrahlung, dadurch gekennzeichnet, daß der ausgewählte Bereich der Probe mit einem ersten Laserschuß verdampft wird, daß das dampfförmige Probenmaterial auf die Oberfläche eines transparenten Zwischenträgers (2) kondensiert wird und daß die Analyse der Probenschicht (4) mit einem zweiten Laserschuß induziert wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die durch den zweiten Laserschuß entstehenden Ionen hinsichtlich ihrer Masse analysiert werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß mit dem zweiten Laserschuß entweder ein genau bestimmter Teil oder die gesamte mit dem ersten Laserschuß verdampfte Probenmenge (4) analysiert wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die auf dem Zwischenträger befindliche Probenschicht mehrmals mit einem »zweiten« Laserschuß beschossen wird und daß die dadurch erzeugten Massenspektren addiert werden.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß mit dem zweiten Laserschuß auch Material des Zwischenträgers (2) angeregt wird, welches bei der Durchführung der Analyse zu Eichzwecken dient
6. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der vorhergehenden Ansprüche mit einer Einrichtung zur Erzeugung und Bündelung der Laserstrahlen sowie weiteren in einem evakuierbaren Gehäuse angeordneten Einrichtungen zur Registrierung der durch den Laserbeschuß erzeugten Sekundärteilchen oder Quanten, dadurch gekennzeichnet, daß in dem evakuierbaren Gehäuse (12) ein transparenter Zwischenträger (2) für die Kondensation des durch den ersten Laserschuß 4" entstehenden Probendampfes vorgesehen ist
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Zwischenträger (2, 2') verschiebbar und/oder drehbar im Gehäuse (12) gehaltert sind.
8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß im Gehäuse (12) mehrere Probenhalterungen verschiebbar und/oder drehbar gehaltert sind.
9. Vorrichtung nach Anspruch 7 und 8, dadurch gekennzeichnet, daß ein Teller (13) mit in seinem Randbereich angeordneten Zwischenträgern (2, 2') und ein weiterer Teller (17) mit in seinem Randbereich angeordneten Halterungen für die Proben (3,3') derart drehbar und/oder verschiebbar im Gehäuse (12) untergebracht sind, daß während des ersten Laserschusses optimale Bedingungen für die Verdampfung und Kondensation eines gewünschten Probenbereiches und während des zweiten Laserschusses optimale Bedingungen für die Analyse des kondensierten Probenmaterials (4) einstellbar sind.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Teller (17) mit den Probenhalterungen eine oder mehrere sektorförmige öffnungen aufweist.
11. Vorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Probenteller (17) kühlbar
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 11, dadurch gekennzeichnet daß dem Gehäuse (12) eine Schleuse (23) und mindestens ein Beobachtungsfenster (25) zugeordnet sind.
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GB7911471A GB2020803B (en) 1978-05-05 1979-04-02 Analysing a sample using pulsed laser radiation
US06/035,089 US4243887A (en) 1978-05-05 1979-05-01 Process and apparatus for analyzing a sample with the aid of pulsed laser irradiation
FR7911332A FR2425063A1 (fr) 1978-05-05 1979-05-04 Procede et dispositif pour l'analyse d'un echantillon a l'aide d'un faisceau laser pulse

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Publications (2)

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GB (1) GB2020803B (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19603996A1 (de) * 1996-02-05 1997-08-14 Bayer Ag Sortierverfahren für planar ausgebrachte biologische Objekte mit Laserstrahlen

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4664769A (en) * 1985-10-28 1987-05-12 International Business Machines Corporation Photoelectric enhanced plasma glow discharge system and method including radiation means
US4920264A (en) * 1989-01-17 1990-04-24 Sri International Method for preparing samples for mass analysis by desorption from a frozen solution
DE4017804C2 (de) * 1989-08-22 1994-11-24 Finnigan Mat Gmbh Verfahren und Verwendung einer Vorrichtung zur matrix-unterstützten Laserdesorption von Analytmolekülen, insbesondere Biomolekülen
DE4017805C2 (de) * 1989-08-22 1998-03-26 Finnigan Mat Gmbh Verfahren, Präparat und Vorrichtung zur Bereitstellung eines Analytes für eine Untersuchung
WO1997029354A1 (de) * 1996-02-05 1997-08-14 Bayer Aktiengesellschaft Verfahren und vorrichtung zum sortieren und zur gewinnung von planar ausgebrachten biologischen objekten wie biologische zellen bzw. zellorganellen, histologischen schnitten, chromosomenteilchen etc. mit laserstrahlen
DE19633441C1 (de) * 1996-08-20 1998-02-26 Bruker Franzen Analytik Gmbh Verfahren und Vorrichtung für die genaue Massenbestimmung in einem Flugzeitmassenspektrometer
US5777324A (en) 1996-09-19 1998-07-07 Sequenom, Inc. Method and apparatus for maldi analysis
US5844149A (en) * 1996-09-19 1998-12-01 Nkk Corporation Method for analyzing solid specimen and apparatus therefor
RU2145082C1 (ru) 1998-03-23 2000-01-27 Общество с ограниченной ответственностью "ВИНТЕЛ" Способ определения элементов в растворах и устройство для его реализации
JP4015946B2 (ja) 2000-10-30 2007-11-28 シークエノム・インコーポレーテツド 基板上にサブマイクロリットルの体積を供給する方法及び装置
TWI226280B (en) * 2002-09-25 2005-01-11 Au Optronics Corp Precision notching device and method for cutting test piece
DE102005026540A1 (de) * 2005-06-08 2006-12-14 P.A.L.M. Microlaser Technologies Ag Verfahren und Vorrichtung zur Handhabung von Objekten
WO2009039122A2 (en) 2007-09-17 2009-03-26 Sequenom, Inc. Integrated robotic sample transfer device
JP6027459B2 (ja) * 2013-02-13 2016-11-16 株式会社島津製作所 付着物分析装置
CA3115428A1 (en) * 2018-10-03 2020-04-09 The Regents Of The University Of Michigan Integrated micro-photoionization detector with an ultrathin ultraviolet transmission window
WO2022086897A1 (en) * 2020-10-19 2022-04-28 Brown University Multi-dimensional rydberg fingerprint spectroscopy

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DD79162A (de) *
US2621296A (en) * 1944-09-02 1952-12-09 Robert W Thompson Ion source
DE1198465B (de) * 1961-10-26 1965-08-12 Atlas Mess Und Analysentechnik Ionenquelle fuer feste Substanzen
DE1598632A1 (de) * 1966-10-22 1970-09-10 Jenoptik Jena Gmbh Anordnung zur Abtragung,Verdampfung und Anregung von Probenmaterial mittels elektromagnetischer Strahlung
FR2178555A5 (de) * 1972-12-21 1973-11-09 Petroles Cie Francaise
US3955090A (en) * 1973-12-27 1976-05-04 Exxon Nuclear Company, Inc. Sputtered particle flow source for isotopically selective ionization
US4000423A (en) * 1974-12-05 1976-12-28 Jersey Nuclear-Avco Isotopes, Inc. Fast response high temperature evaporation control
GB1574812A (en) * 1976-05-06 1980-09-10 Barringer Research Ltd Spectrochemical analysis
GB1500547A (en) * 1976-05-12 1978-02-08 Secr Defence Methods of detecting and/or measuring the hydrogen content of materials

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19603996A1 (de) * 1996-02-05 1997-08-14 Bayer Ag Sortierverfahren für planar ausgebrachte biologische Objekte mit Laserstrahlen

Also Published As

Publication number Publication date
GB2020803A (en) 1979-11-21
DE2819711A1 (de) 1979-11-08
GB2020803B (en) 1982-10-20
FR2425063A1 (fr) 1979-11-30
FR2425063B1 (de) 1984-10-26
US4243887A (en) 1981-01-06

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