DE2759795C2 - Vorrichtung zur Ergänzung und Regenerierung von stromlos Kupfer abscheidenden Bädern - Google Patents

Vorrichtung zur Ergänzung und Regenerierung von stromlos Kupfer abscheidenden Bädern

Info

Publication number
DE2759795C2
DE2759795C2 DE19772759795 DE2759795A DE2759795C2 DE 2759795 C2 DE2759795 C2 DE 2759795C2 DE 19772759795 DE19772759795 DE 19772759795 DE 2759795 A DE2759795 A DE 2759795A DE 2759795 C2 DE2759795 C2 DE 2759795C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
metal
bath
electrodes
copper
containers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE19772759795
Other languages
English (en)
Inventor
Fritz 4154 Tönisvorst Stahl
Horst Dr. 4170 Geldern Steffen
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ruwel-Werke Spezialfabrik fur Leiterplatten 4170 Geldern De GmbH
Original Assignee
Ruwel-Werke Spezialfabrik fur Leiterplatten 4170 Geldern De GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ruwel-Werke Spezialfabrik fur Leiterplatten 4170 Geldern De GmbH filed Critical Ruwel-Werke Spezialfabrik fur Leiterplatten 4170 Geldern De GmbH
Priority to DE19772759795 priority Critical patent/DE2759795C2/de
Priority claimed from DE2713392A external-priority patent/DE2713392C2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2759795C2 publication Critical patent/DE2759795C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/1601Process or apparatus
    • C23C18/1617Purification and regeneration of coating baths
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/1601Process or apparatus
    • C23C18/1619Apparatus for electroless plating
    • C23C18/1632Features specific for the apparatus, e.g. layout of cells and of its equipment, multiple cells

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Electrolytic Production Of Metals (AREA)

Description

35
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Ergänzung und Regenerierung von stromlos Kupfer abscheidenden Bändern nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Beim Betreiben chemischer Metallisierungsbäder tritt ein Verbrauch an Metallionen sowie an Reduktionsmitteln und anderen Badbestandteilen auf, was zum Absinken der Abscheidungsgeschwindigkeit und schließlich zum Stillstand des Metallisierungsvorgangs führt Die Bäder müssen daher entweder durch kontinuierliche oder in Intervallen erfolgende Zugaben der verbrauchten Bestandteile ergänzt werden. Die Regulierung der Zugabemenge und der jeweiligen so Komponenten kann entweder aufgrund stichprobenartiger Analysen oder mittels automatischer Analysier* und Dosiereinrichtungen erfolgen.
Bei der Zugabe von Badbestandteilen muß dafür gesorgt werden, daß nicht lokal unterschiedliche Bedingungen entstehen, welche zur Badinstabilität beziehungsweise zum Ausbilden von Metall- beziehungsweise Metallverbindungskeimen führen, die dann ihrerseits in der Lösung selbst katalytisch wirken und zur unkontrollierten Metallabscheidung oder gar zum so Badzerfall führen.
Weiter hat es sich im industriell durchgeführten Betrieb als schwierig erwiesen, das Einbringen von störenden Fremdionen durch Chemikalienzugaben, insbesondere die Ergänzung der Metallionen zu vermeiden beziehungsweise unter wirtschaftlich vertretbaren Bedingungen sicher zu stellen.
Ein weiterer wesentlicher Nachteil der bekannten
Verfahren zum ßetrieb chemischer Metallisierungsbäder wird dadurch bedingt, daß die Chemikalienzugabe zur Vergrößerung des Badvolumens führt, so daß an sich brauchbare Badflüssigkeit abgeschöpft beziehungsweise in anderer Weise entfernt werden muß. Die Volumenvergrößerung durch Badzugaben in Form konzentrierter Lösungen zu verringern, ist nur im geringen Maße möglich, weil die Zugabe des Metallsalzes eine weitere Zugabe der zum Einstellen des pH-Wertes dienenden Verbindung erforderlich macht und sich als Nebenprodukte entsprechende Salze bilden, die ihrerseits zu einem Anstieg der Baddichte führe«.
In üblichen chemischen Verkupferungsbädern mit alkalischem pH-Wert kommt es je nach verwendetem Kupfersalz, beispielsweise zur Bildung von Alkalisulfat oder Alkalichlorid. Des weiteren entstehen in solchen Badern als Nebenprodukte Formiate, wenn beispielsweise Formaldehyd als Reduktionsmittel verwendet wird.
Es ist bekannt, zur Verbesserung der Wirtschaftlichkeit und gleichzeitig zur Abwasseraufbereitung zwecks Umweltschutz aus dem Badüberlauf das Metall beispielsweise Nickel oder Kupfer sowie den Komplexbildner zurückzugewinnen und andere störende Bestandteile abzutrennen oder anderweitig undschädlich zu machen. Derartige Einrichtungen komplizieren den Betrieb chemischer Metallisierungsanlagen und wirken sich kostensteigernd aus.
Auch ist bereits eine Vorrichtung zur Ergänzung von stromlos arbeitenden Metallbädern, und zwar Nickelbädern bekannt die aus zwei Behältern besteht, die durch Leitungen miteinander verbunden sind, in denen zumindest bedingt Zirkulation und Austausch des Bades durchgeführt werden und die in zwei Elektroden getaucht sind (US 33 03111). Diese speziell für Nickelbäder entwickelte Vorrichtung löst jedoch die vorstehend angesprochenen Probleme in ihrer Gesamtheit nicht
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung für den Betrieb chemischer Verkupferungsbäder unter weitgehender Ausschaltung der bisher auftretenden Nachteile hinsichtlich der Ergänzung und Regenerierung derselben zu schaffen.
Die Lösung dieser Aufgabe wird für eine Vorrichtung der eingangs genannten Art erfindungsgemäß durch die im Kennzeichen des Anspruchs 1 angegebenen Merkmale erreicht
Vorteilhafte Weiterbildungen beziehungsweise Ausgestaltungen ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Zum Herstellen des Kupferkomplexes wird eine Lösung des Komplexbildners in einen Behälter gegeben, der ein oder mehrere Anoden des zu komplexierenden Kupfers sowie ein oder mehrere Kathodenanordnungen aufweist. Die Kathoden können entweder aus Kupfer oder aus Graphit oder einem anderen gegenüber der Badlösung inerten Material bestehen.
Die unterschiedliche Lösungs- und Abscheidungsgeschwindigkeit des Kupfers und damit die Anreicherung der Lösung mit dem Kupferkomplex ist vorteilhaft eine Funktion der Stabilität des Komplexbildners. Die mit dem Kupferkomplex angereicherte Lösung wird dann zur Ergänzung des chemischen Verkupferungsbades benutzt.
Die Vorrichtung kann vorteilhaft so beschaffen sein, daß das elektrolytische Lösen und Komplexieren des Kupfers in der Badlösung erfolgt. Es hat sich als besonders vorteilhaft erwiesen, während des elektrolytischen Lösens und Komplexierens die Badlosung mittels
eines mechanischen Mixers oder dergleichen zu bewegen, Weiter ist eine Zusatzvorrichtung zum Einbringen von Luf s 2twa durch Einblasen, vorgesehen.
Für den Ergänzungsvorgang bezüglich des Metallgehaltes des Bades wird das elektrolytische Lösen und Komplexeren in einem Nebenbehälter vorgenommen und die Badlösung durch Umpumpen kontinuierlich oder von Zeit zur Zeit zwischen den getrennten Behältern diskontinuierlich ausgetauscht. Zweckmäßigerweise ist im Pumpweg ein Filter angeordnet
Um das auf der oder den Anoden abgeschiedene Metall zu benutzen, genügt es von Zeit zu Zeit Anoden und Kathoden zu vertauschen.
Ein Vorrichtungsbeispiel ist das folgende:
In einem Behälter, der beispielsweise aus Polypropylen angefertigt ist, werden zwei Kathoden aus Kupfer und eine Anode angeordnet Letztere besteht aus einem Korb aus Titangeflecht, der mit Kupfergranulat gefüllt ist Anstelle dieser Anode wird je nach Anwendungsfall auch eine Massivkupferanode benutzt Ebenso kann die Kathode auch scs Graphit oder einem anderen geeigneten MatenaPsein.
Der Behälter wird mit einer Lösung gefüllt, die 55 g/l EDTA enthält und deren pH-Wert aus 12,6 eingestellt ist
An die Elektroden wird eine Spannung von 5,5 V angelegt, wobei eine Stromdichte von IO A/dm2 erreicht wird. Nach Erreichen der gewünschten Kupferkonzentration kann die Lösung zum Ergänzen des stromlos metallisierenden Kupferbades benutzt werden.
Ein Ausführungsbeispiel für einen Behälter ist ein Doppelbehälter mit 16 Liter Fassungsvermögen. Im Nebenteil des Behälters befinden sich zwei Kathoden aus 1 mm Kupfer mit den Abmessungen 10 cm · 25 cm und ein Anodenkorb aus Titandtaht, der mit Kupfergranulat gefüllt ist Die Badflüssigkeit wird zwischen Haupt- und Nebenbehälter dauernd umgepumpt. Im Nebenbehälter befindet sich ein mechanischer Mixer. Zwischen Anode und Kathoden wird eine Spannung von 5,5VoIt angelegt die eine Stromdichte von 10 A/dm2 bewirkt.
Der Hauptbehälter wird mit für die chemische Metallisierung vorbereiteten Platten aus Isolierstoff mit einer Beladung von 7 dm2/! beaufschlagt
Eine Regulierungsvorrichtung für die der Badlösung zugeführte Kupfermenge bedient sich der Stromdichte, und zwar vorteilhaft automatisch, in Abhängigkeit einer fortlaufend ausgeführten, automatischen, kolorimetrischen Analyse des Kupfergehaltes.
Luftzuführungsvorrichtungen sind an dem die Badlösung enthaltenden Behälter bei der elektrolytischen Kupferkomplexbildung und/oder an dem Hauptbehälter derart vorgesehen, daß diese für die adäquate Lösungsdurchmischung sorge.
Untersuchungen mit der beschriebenen Vorrichtung haben ergeben, daß der Verbrauch an Formaldehyd um ca. 20% und jener an Natronlauge zum Aufrechterhalten des pH-Wertes um ca. 30% verringert wird. Da der > Badlösung keine Sulfate zugeführt werden, wie dies beim bisher üblichen Badbetrieb und einem chemischen Metallisierungsbad auf Kupfersulfatbasis notwendig war, wird die Bildung von Natriumsulfat und der durch dessen Anreicherung bedingte Dichteanstieg verhin-
m dert Gleichzeitig wird damit die Badvolumenvergtoßerung im Betrieb weitgehend verhindert beziehungsweise drastisch verringei-t
Ein weiteres Vorrichtungsbeispiel besteht aus einem Behälter für die chemische Metallisierungslösung mit
ι j rechteckigem Grundriß, entlang dessen beiden Längsseiten je ein Elektrcdenkorb aus Titandraht gefüllt mit Metallgranulat oder dergleichen, beispielsweise Kupfergranulate, angeordnet ist Der Tank wird mit der chemischen Metallisierbadlösung gefüllt, und einer der
2i> Körbe wird als Anode, der andere als Kathode geschaltet Der Behälter ist zusätzlich mit einer Vorrichtung ausgestattet die es erlaubt. Gegenstände aus Isolierstoff, beispielsweise Schichtpreßstoffplatten definiert im Raum zwischen den Elektroden anzuord-
nen.
Die Haltevorrichtung ist derart ausgestaltet daß sie die zu metallisierende Oberfläche frei läßt, im Falle von Platten, deren Oberfläche zur Gänze metallisiert werden soll, diese also nur an den Seitenkanten hält
jo Des weiteren ist die Haltevorrichtung mit einer Klemmeinrichtung ausgerüstet, die zu einem frei wählbaren Zeitpunkt ausgelöst werden kann und eine elektrische Kontaktvorrichtung besitzt
Für die chemische Metallabscheidung in bekannter Weise vorbereitete Gegenstände, beispielsweise Schichtpreßstoffplatten, werden in der Haltevorrichtung mit geöffneter Klemmeinrichtung in die Badlösung gebracht Sobald sich eine ausreichende Metallschicht gebildet hat, wird die Klemmvorrichtung betätigt und die Metallschicht wird als Kathode gegenüber der oben aufgeführten Anode geschaltet
Da die chemisch aufgebaute Metallschicht weder einer mechanischen noch einer atmosphärischen Belastung ausgesetzt ist, genügen schon relativ sehr dünne Schichten, um als Zuleitung zur galvanischen Abscheidung zu dienen.
Die Benutzung gleichartiger Elektrodenkörbe für Anode und Kathode gestattet es, die zunächst als Kathode geschaltete Elektrode in einem folgenden Zeitraum als Anode zn schalten und umgekehrt und dieses Umpolen zu wiederholen. Damit wird erreicht, daß das auf der jeweiligen Kathode abgeschiedene Metall wieder dem Badkreislauf zugeführt werden kann.

Claims (5)

  1. Patentansprüche;
    \, Vorrichtung air Ergänzung und Regenerierung von stromlos Kupfer abscheidenden Bädern, bestehend aus zwei Behältern, die durch Leitungen oder dergleichen miteinander verbunden sind, wobei die in ihnen befindliche Badlösung in Zirkulation gehalten beziehungsweise zum Teil oder vollständig zwischen den Behältern austauschbar ist, d a d u r c h gekennzeichnet, daß einer der beiden Badbehalter mit zwei Elektroden versehen ist, die an eine gemeinsame regelbare Gleichstromquelle angeschlossen sind und daß diesen Elektroden ein Rührwerk und eine Einrichtung zur Vorgabe eines Luftdurchsatzes durch die Badlösung zugeordnet sind.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß von den zwei Elektroden mindestens eine aus dem abzuscheidenden Metall besteht.
  3. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß für mindestens eine der Elektroden eine Haltevorrichtung vorgesehen ist.
  4. 4. Vorrichtung nach Anspruch 1 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Haltevorrichtung für das abzuscheidende Metall ein Titandrahtkorb ist, der mit entsprechendem Metallgranulat gefüllt ist
  5. 5. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die zur elektrolytischen Auflösung des Metalls dienende Anode und Kathode, aus dem chemisch abzuscheidenden Metall bestehend, und daß eine die jeweils als Anode dienende Elektrode als Kathode und umgekehrt schaltende Vorrichtung vorgesehen ist
DE19772759795 1977-03-23 1977-03-23 Vorrichtung zur Ergänzung und Regenerierung von stromlos Kupfer abscheidenden Bädern Expired DE2759795C2 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19772759795 DE2759795C2 (de) 1977-03-23 1977-03-23 Vorrichtung zur Ergänzung und Regenerierung von stromlos Kupfer abscheidenden Bädern

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19772759795 DE2759795C2 (de) 1977-03-23 1977-03-23 Vorrichtung zur Ergänzung und Regenerierung von stromlos Kupfer abscheidenden Bädern
DE2713392A DE2713392C2 (de) 1977-03-23 1977-03-23 Verfahren zum Herstellen von Metallkomplexlösungen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2759795C2 true DE2759795C2 (de) 1983-06-01

Family

ID=25771798

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19772759795 Expired DE2759795C2 (de) 1977-03-23 1977-03-23 Vorrichtung zur Ergänzung und Regenerierung von stromlos Kupfer abscheidenden Bädern

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE2759795C2 (de)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3303111A (en) * 1963-08-12 1967-02-07 Arthur L Peach Electro-electroless plating method
DE1521253A1 (de) * 1966-05-05 1969-07-24 Hoechst Ag Verfahren zum Vernickeln von Kunstst stoffen

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3303111A (en) * 1963-08-12 1967-02-07 Arthur L Peach Electro-electroless plating method
DE1521253A1 (de) * 1966-05-05 1969-07-24 Hoechst Ag Verfahren zum Vernickeln von Kunstst stoffen

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69727114T2 (de) Methode und Apparat zur Verhinderung von Kesselsteinbildung bei der Produktion von deionisiertem Wasser
DE60017104T2 (de) Wasserreinigungsverfahren
DE2256286A1 (de) Elektrodialyse-verfahren und -geraet
DE1496886A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Aufbereiten von Metallbehandlungsloesungen
DE2158847A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Entfernung und zum Abbau von Verunreinigungen aus bzw. in Abwässern
EP0878561A2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Regenerieren von Verzinnungslösungen
EP0158910B1 (de) Verfahren zur Rückgewinnung von Kupfer aus einer ammoniakalischen Kupfer-Ätzlösung und Rekonditionierung derselben
DE4023444C2 (de) Verfahren zum galvanischen Abscheiden von Kupfer aus einem wäßrigen, alkalischen, Cyanid-freien Bad, bei dem sowohl eine lösliche als auch eine unlösliche Anode verwendet wird
EP1379712A2 (de) Verfahren und vorrichtung zur rückgewinnung von metallen mit pulsierenden kathodischen strömen, auch in kombination mit anodischen koppelprozessen
DE60303393T2 (de) Vorrichtung und verfahren zur regeneration eines bads zur stromlosen metallabscheidung
DE2713392C2 (de) Verfahren zum Herstellen von Metallkomplexlösungen
DE1301587B (de) Verfahren und Vorrichtung zur elektrolytischen Abscheidung von Kupferpulver
DE2759795C2 (de) Vorrichtung zur Ergänzung und Regenerierung von stromlos Kupfer abscheidenden Bädern
EP0240589B1 (de) Verfahren zur Regenerierung eines stromlosen Verkupferungsbades und Vorrichtung zur Durchführung desselben
WO1997015704A2 (de) Galvanikanlage
EP0746640B1 (de) Verfahren zur elektrolytischen abscheidung von metallen aus elektrolyten mit prozessorganik
WO1999010564A2 (de) Verfahren und vorrichtung zur konzentrationsregulierung von stoffen in elektrolyten
DE102022100738A1 (de) Galvanisierungsvorrichtung und Galvanisierungssystem
EP1080252B1 (de) Verfahren zur galvanischen verkupferung von substraten
DE102021002197A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten eines Bauteils oder Halbzeugs mit einer Chromschicht
DE102009004155A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Regenerieren von Peroxodisulfat-Beizlösungen
DE2929305C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur kontinuierlichen galvanischen Abscheidung von Mangan auf Stahl
DE1808471C3 (de) Verfahren zur Rückgewinnung von Gold aus galvanischen Waschwässern
DE4229917C1 (en) Electrolytic bath for meter coating - has sec. anode contg. alkaline or ammonium soln. with acid added to electrolyte to compensate for pH rise
DE3144128C1 (de) Vorrichtung zum galvanischen Abscheiden eines Metalls auf einem metallischen Werkstueck

Legal Events

Date Code Title Description
OI Miscellaneous see part 1
OI Miscellaneous see part 1
8110 Request for examination paragraph 44
8181 Inventor (new situation)

Free format text: STAHL, FRITZ, 4154 TOENISVORST, DE STEFFEN, HORST, DR., 4170 GELDERN, DE

AC Divided out of

Ref country code: DE

Ref document number: 2713392

Format of ref document f/p: P

D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee