DE2737903C2 - Verfahren zur Herstellung eines Analysatorsystems für ein Multipol-Massenfilter - Google Patents

Verfahren zur Herstellung eines Analysatorsystems für ein Multipol-Massenfilter

Info

Publication number
DE2737903C2
DE2737903C2 DE19772737903 DE2737903A DE2737903C2 DE 2737903 C2 DE2737903 C2 DE 2737903C2 DE 19772737903 DE19772737903 DE 19772737903 DE 2737903 A DE2737903 A DE 2737903A DE 2737903 C2 DE2737903 C2 DE 2737903C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
tube
mold core
pipe material
softened
grooves
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE19772737903
Other languages
English (en)
Other versions
DE2737903B1 (de
Inventor
Jochen Dr.Rer.Nat. 2878 Wildeshausen Franzen
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Bruker Daltonics GmbH and Co KG
Original Assignee
Dr Franzen Analysentechnik GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dr Franzen Analysentechnik GmbH and Co KG filed Critical Dr Franzen Analysentechnik GmbH and Co KG
Priority to DE19772737903 priority Critical patent/DE2737903C2/de
Priority to EP78100260A priority patent/EP0000866B1/de
Priority to US05/935,132 priority patent/US4213557A/en
Publication of DE2737903B1 publication Critical patent/DE2737903B1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2737903C2 publication Critical patent/DE2737903C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/26Mass spectrometers or separator tubes
    • H01J49/34Dynamic spectrometers
    • H01J49/42Stability-of-path spectrometers, e.g. monopole, quadrupole, multipole, farvitrons
    • H01J49/4205Device types
    • H01J49/421Mass filters, i.e. deviating unwanted ions without trapping
    • H01J49/4215Quadrupole mass filters
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/26Mass spectrometers or separator tubes
    • H01J49/34Dynamic spectrometers
    • H01J49/42Stability-of-path spectrometers, e.g. monopole, quadrupole, multipole, farvitrons
    • H01J49/4205Device types
    • H01J49/4255Device types with particular constructional features

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren nach dem Oberbegriff des Hauptanspruches.
Durch die US-PS 33 28 146 ist ein Verfahren dieser Art bekanntgeworden, bei dem das Aufbringen der Metallschicht auf die Innenseite der Rohreinbuchtungen dadurch erfolgt, daß die Rohreinbuchtungen an ihrer Innenseite nach dem Abziehen des fertig geformten Rohres vom Formkern metallisiert werden. Diese Metallisierung erfolgt durch Aufdampfen einer entsprechenden Metallschicht oder aber durch Aufbringen einer derartigen Schicht mittels Kathodenzerstäubung.
Nachteilig ist hierbei vor allem, daß das nachträgliche Aufbringen der leitenden Schicht die Maßhaltigkeit des Analysatorrohres zerstört. Denn die von einem Quadrupol-Filter durchgelassene Ionenmasse m hängt nach der Gleichung
\q = cDiist. * 0,7)
4 e V
von der Amplitude V und der Kreisfrequenz ω der angelegten Hochfrequenzspannung sowie vom Scheitelabstand der jeweiligen Stäbe 2 r0 ab. Damit bei einer eingestellten Durchlaßmasse m= 1000 μ (atomare Masseneinheiten) an zwei beliebigen Stellen im Quadrupolfilter die Differenz der durchgelassenien Masse nicht größer als 0.1 μ ist, darf die relative Abweichung des Scheitelabstands
höchstens 1/20 000 betragen. Dies ergibt bei einem diagonalen Scheitelabstand 2 ro von üblicherweise 8 mm eine Genauigkeitsforderung von 0,4 um. Das Quadrupolsystem stellt elektrisch gesehen einen Kondensator der Kapazität C dar, an dem eine Hochfrequenzspannung mit der Frequenz ν = J^ und mit der Amplitude V liegt Bei üblichen Daten von C = 50 pF, ν = 2 MHz
ι s und V = 5 kV fließen Spitzenströme von I = Vw C = 3 A. Ströme in dieser Größenordnung fließen über die leitfähige Schicht und verursachen über sie hinweg einen Spannungsabfall zwischen den verschiedenen Stellen der Oberfläche im Quadrupol.
Für die Spannung V ist ähnlich wie gemäß der obigen Gleichung für den Scheitelabstand 2 r0 eine hohe Präzision zu fordern, nach der die Spannung an verschiedenen Stellen unter den Bedingungen des obigen Zahlenspiels nur maximal um 1/10 000 von ihrem Sollwert abweichen darf, so daß der Widerstand einer der vier leiteten Schichten über seine Länge hin nicht mehr als 0,1 Ω betragen darf. Bei einem Metall mit einem spezifischen Widerstand von 10~5 Ω cm als leitendem Schichtmetall, wobei die Länge der Schicht
jo etwa 20 cm und die Breite der Schicht etwa 1 cm beträgt, ist eine Mindestschichtdicke von 20 μπι zu fordern, wobei nach den obigen Darlegungen die Präzision der Dicke der Schicht sich im Bereich von 0,4 μπι halten muß. Eine solche Genauigkeit ist nach
j5 dem gegenwärtigen Stand der Technik weder elektrolytisch noch mittels Aufdampfens oder Auftragens erreichbar.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der gattungsgemäßen Art zu schaffen, bei dem die Maßhaltigkeit der Elektrodenoberflächen in ihrer Form <jnd hinsichtlich ihrer Position zu den jeweils anderen Elektroden deutlich verbessert ist.
Erfindungsgernäß wird diese Aufgabe durch das im Kennzeichen des Hauptanspruches genannte Merkmal gelöst. Besonders bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Dadurch, daß beim erfindungsgemäßen Verfahren im Gegensatz zum Stand der Technik nicht ein nachträgliches Metallisieren der Innenseite der Rohreinbuchtungen erfolgt, sondern vor dem Erweichen des Rohres in die Nuten des Formkerns Metallfolien eingelegt werden, die beim Anschmiegen des Rohrmaterials mit diesem eine feste Verbindung eingehen, gelingt es, die Maßhaltigkeit mit wesentlich größerer Präzision, nämlich im Bereich von etwa 0,4 μπι, auch bei größeren Schichtdicken, wie beispielsweise 20 μπι und mehr, einzuhalten.
Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnung im einzelnen erläutert.
Dabei zeigt
F i g. 1 einen Querschnitt durch einen Formkern mit eingeschliffenen Nuten, eingelegten Folien und übergezogenem Rohr aus elektrisch isolierendem Material,
F i g. 2 einen Querschnitt durch den Formkern mit
b5 angeschmiegtem Rohr und mit diesem fest verbundenen Folien, und
Fig.3 einen Querschnitt durch das abgezogene Quadrupolrohr mit den die Innenseite der Rohreinbuch-
3 4
tungen beschichtenden Metallfolien, die mit dem des Glases liegende Temperatur erhitzt, wobei sich das
Rohnnaterial fest verbunden sind. Glasrohr 7 unter Anschmiegen an den Formkern 1 auf
Ein vorbearbeiteter Formkern 1, der beispielsweise die in den Nuten 3 befindlichen Metallfolien 5 legt und
aus einem SpezialStahl besteht und in den halbkreisför- mit diesen eine feste Verbindung eingeht, beispielsweise
mige Nuten 3 eingeschliffen sind, wird mit Metallfolien 5 > verschmilzt (Fig. 2). Beim Abkühlen zieht sich der
versehen, indem die Metallfolien 5 in die halbkreisförmi- Formkern stärker zusammen als das geformte Glasrohr
gen Nuten 3 eingelegt werden. Anschließend wird über 7, so daß der Formkern 1 leicht aus deua geformten
den mit den Metallfolien 5 versehenen Formkern 1 ein Glasrohr 7 herausgezogen werden kann.
Glasrohr 7 gezogen und gegebenenfalls verschlossen In F i g. 3 ist das fertiggestellte Analysatorsystem für
und evakuiert iu ein Quadrupol-Massenfilter als mit Rohreinbuchtungen
Anschließend wird das über den Formkern 1 9 versehenes Glasrohr 7 dargestellt, wobei im Inneren
gezogene Glasrohr 7 aim Beispiel in einem Ofen auf des Glasrohres 7 mit den Rohreinbuchtungen 9 die
eine geringfügig oberhalb des Transformationspunktes Metallfolien 5 fest verbunden sind.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (4)

Patentansprüche:
1. Verfahren zur Herstellung eines AnaJysatorsystems für ein Multipol-Massenfilter, wobei zuerst ein Rohr aus elektrisch isolierendem Material über einen mit parallelen Nuten versehenen Formkern gezogen wird, dessen Material einen höheren Ausdehnungskoeffizienten als das isolierende Material aufweist, wobei dann das Rohrmaterial durch Erhitzung erweicht, dem Formkern angeschmiegt und anschließend nach verfestigender Abkühlung mit den eingeprägten Rohreinbuchtungen vom Formkern abgezogen wird und wobei außerdem die Innenseiten der Rohreinbuchtungen jeweils mit einer Metallschicht versehen wurden, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Erweichen des Rohres in die Nuten des Formkerns Metallfolien eingelegt werden, die beim Anschmiegen des Rohrmaterials mit diesem eine feste Verbindung eingehen.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Folienmaterial den gleichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten wie das Rohrmaterial aufweist
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die zum Rohrmaterial weisende Folienoberfläche vor Einlegen in die Nuten des Formkerns mit einem Überzug versehen wird, der beim Erweichen des Rohrmaterials ebenfalls erweicht.
4. Verfahren nach Anspruch 3, wobei das Rohrmaterial aus Glas besteht, dadurch gekennzeichnet, daß als Überzug ebenfalls Glas verwendet wird.
DE19772737903 1977-08-23 1977-08-23 Verfahren zur Herstellung eines Analysatorsystems für ein Multipol-Massenfilter Expired DE2737903C2 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19772737903 DE2737903C2 (de) 1977-08-23 1977-08-23 Verfahren zur Herstellung eines Analysatorsystems für ein Multipol-Massenfilter
EP78100260A EP0000866B1 (de) 1977-08-23 1978-06-28 Verfahren zum Herstellen eines Analysatorsystems für ein Multipol-Massenfilter
US05/935,132 US4213557A (en) 1977-08-23 1978-08-21 Method for producing a mass filter analyzer system and analyzer system produced according to the method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19772737903 DE2737903C2 (de) 1977-08-23 1977-08-23 Verfahren zur Herstellung eines Analysatorsystems für ein Multipol-Massenfilter

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2737903B1 DE2737903B1 (de) 1979-03-01
DE2737903C2 true DE2737903C2 (de) 1979-10-18

Family

ID=6017062

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19772737903 Expired DE2737903C2 (de) 1977-08-23 1977-08-23 Verfahren zur Herstellung eines Analysatorsystems für ein Multipol-Massenfilter

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE2737903C2 (de)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4885500A (en) * 1986-11-19 1989-12-05 Hewlett-Packard Company Quartz quadrupole for mass filter
DE102004014584B4 (de) * 2004-03-25 2009-06-10 Bruker Daltonik Gmbh Hochfrequenz-Quadrupolsysteme mit Potentialgradienten
DE102004037511B4 (de) 2004-08-03 2007-08-23 Bruker Daltonik Gmbh Multipole durch Drahterosion
DE102004048496B4 (de) 2004-10-05 2008-04-30 Bruker Daltonik Gmbh Ionenführung mit HF-Blendenstapeln

Also Published As

Publication number Publication date
DE2737903B1 (de) 1979-03-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2544225C2 (de) Verfahren zur Herstellung eines Wickelkondensators mit mindestens zwei Kapazitäten
DE69409614T2 (de) Elektrischer Widerstand
DE69830987T2 (de) Elektronisches bauelement
EP0004900A2 (de) Verfahren zur Herstellung von aus einer Vielzahl von auf einer Glasträgerplatte angeordneten parallel zueinander ausgerichteten elektrisch leitenden Streifen bestehenden Polarisatoren
DE2052642A1 (de) Integrierter Magnetkopf und Verfah ren zu seiner Herstellung
EP0046975A2 (de) Elektrisches Netzwerk und Verfahren zu seiner Herstellung
DE2903872C2 (de) Verfahren zur Ausbildung von Mustern mittels Maskenbedampfungstechnik
DE3224959A1 (de) Verbesserter keramikkondensator und verfahren zu seiner herstellung
DE1590768C3 (de) Verfahren zur Herstellung einer zusammenhängenden dünnen, metalleitenden Widerstandsschicht auf einem isolierenden Tragkörper
EP0000866B1 (de) Verfahren zum Herstellen eines Analysatorsystems für ein Multipol-Massenfilter
DE2359432A1 (de) Verfahren zur herstellung von mit aluminium beschichteten folien fuer kondensatoren
DE2737903C2 (de) Verfahren zur Herstellung eines Analysatorsystems für ein Multipol-Massenfilter
DE3722576C2 (de)
DE1921943C2 (de) Verfahren zur Herstellung eines Mehrspurkopfes
DE1949824C3 (de) Stufenweise abgleichbarer Miniaturkondensator
DE19901540A1 (de) Verfahren zur Feinabstimmung eines passiven, elektronischen Bauelementes
CH617036A5 (de)
DE1901452A1 (de) Elektronisches Bauteil
DE3011960C2 (de)
DE4029681C2 (de)
CH691717A5 (de) Kondensator mit kaltfliessgepressten Elektroden.
DE3041952A1 (de) Verfahren zur erzeugung einer duennschicht-sensoranordnung
DE2554464C3 (de) Elektrischer Widerstand
DE2723363A1 (de) Kondensator mit einem zylinderfoermigen traegerkoerper
EP3633724B1 (de) Verfahren zur herstellung von halbleiterkondensatoren unterschiedlicher kapazitätswerte in einem halbleitersubstrat

Legal Events

Date Code Title Description
EGA New person/name/address of the applicant