DE2737903C2 - Verfahren zur Herstellung eines Analysatorsystems für ein Multipol-Massenfilter - Google Patents
Verfahren zur Herstellung eines Analysatorsystems für ein Multipol-MassenfilterInfo
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- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/34—Dynamic spectrometers
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren nach dem Oberbegriff des Hauptanspruches.
Durch die US-PS 33 28 146 ist ein Verfahren dieser Art bekanntgeworden, bei dem das Aufbringen der
Metallschicht auf die Innenseite der Rohreinbuchtungen dadurch erfolgt, daß die Rohreinbuchtungen an ihrer
Innenseite nach dem Abziehen des fertig geformten Rohres vom Formkern metallisiert werden. Diese
Metallisierung erfolgt durch Aufdampfen einer entsprechenden Metallschicht oder aber durch Aufbringen
einer derartigen Schicht mittels Kathodenzerstäubung.
Nachteilig ist hierbei vor allem, daß das nachträgliche Aufbringen der leitenden Schicht die Maßhaltigkeit des
Analysatorrohres zerstört. Denn die von einem Quadrupol-Filter durchgelassene Ionenmasse m hängt
nach der Gleichung
\q = cDiist. * 0,7)
4 e V
von der Amplitude V und der Kreisfrequenz ω der angelegten Hochfrequenzspannung sowie vom Scheitelabstand
der jeweiligen Stäbe 2 r0 ab. Damit bei einer eingestellten Durchlaßmasse m= 1000 μ (atomare
Masseneinheiten) an zwei beliebigen Stellen im Quadrupolfilter die Differenz der durchgelassenien
Masse nicht größer als 0.1 μ ist, darf die relative
Abweichung des Scheitelabstands
höchstens 1/20 000 betragen. Dies ergibt bei einem diagonalen Scheitelabstand 2 ro von üblicherweise 8 mm
eine Genauigkeitsforderung von 0,4 um. Das Quadrupolsystem stellt elektrisch gesehen einen Kondensator
der Kapazität C dar, an dem eine Hochfrequenzspannung mit der Frequenz ν = J^ und mit der Amplitude V
liegt Bei üblichen Daten von C = 50 pF, ν = 2 MHz
ι s und V = 5 kV fließen Spitzenströme von
I = Vw C = 3 A. Ströme in dieser Größenordnung
fließen über die leitfähige Schicht und verursachen über sie hinweg einen Spannungsabfall zwischen den
verschiedenen Stellen der Oberfläche im Quadrupol.
Für die Spannung V ist ähnlich wie gemäß der obigen Gleichung für den Scheitelabstand 2 r0 eine hohe
Präzision zu fordern, nach der die Spannung an verschiedenen Stellen unter den Bedingungen des
obigen Zahlenspiels nur maximal um 1/10 000 von ihrem
Sollwert abweichen darf, so daß der Widerstand einer der vier leiteten Schichten über seine Länge hin nicht
mehr als 0,1 Ω betragen darf. Bei einem Metall mit einem spezifischen Widerstand von 10~5 Ω cm als
leitendem Schichtmetall, wobei die Länge der Schicht
jo etwa 20 cm und die Breite der Schicht etwa 1 cm beträgt, ist eine Mindestschichtdicke von 20 μπι zu
fordern, wobei nach den obigen Darlegungen die Präzision der Dicke der Schicht sich im Bereich von
0,4 μπι halten muß. Eine solche Genauigkeit ist nach
j5 dem gegenwärtigen Stand der Technik weder elektrolytisch
noch mittels Aufdampfens oder Auftragens erreichbar.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der gattungsgemäßen Art zu schaffen, bei
dem die Maßhaltigkeit der Elektrodenoberflächen in ihrer Form <jnd hinsichtlich ihrer Position zu den jeweils
anderen Elektroden deutlich verbessert ist.
Erfindungsgernäß wird diese Aufgabe durch das im
Kennzeichen des Hauptanspruches genannte Merkmal gelöst. Besonders bevorzugte Ausführungsformen der
Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Dadurch, daß beim erfindungsgemäßen Verfahren im Gegensatz zum Stand der Technik nicht ein nachträgliches
Metallisieren der Innenseite der Rohreinbuchtungen erfolgt, sondern vor dem Erweichen des Rohres in
die Nuten des Formkerns Metallfolien eingelegt werden, die beim Anschmiegen des Rohrmaterials mit
diesem eine feste Verbindung eingehen, gelingt es, die Maßhaltigkeit mit wesentlich größerer Präzision,
nämlich im Bereich von etwa 0,4 μπι, auch bei größeren
Schichtdicken, wie beispielsweise 20 μπι und mehr,
einzuhalten.
Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnung im einzelnen erläutert.
Dabei zeigt
F i g. 1 einen Querschnitt durch einen Formkern mit eingeschliffenen Nuten, eingelegten Folien und übergezogenem
Rohr aus elektrisch isolierendem Material,
F i g. 2 einen Querschnitt durch den Formkern mit
F i g. 2 einen Querschnitt durch den Formkern mit
b5 angeschmiegtem Rohr und mit diesem fest verbundenen
Folien, und
Fig.3 einen Querschnitt durch das abgezogene Quadrupolrohr mit den die Innenseite der Rohreinbuch-
3 4
tungen beschichtenden Metallfolien, die mit dem des Glases liegende Temperatur erhitzt, wobei sich das
Rohnnaterial fest verbunden sind. Glasrohr 7 unter Anschmiegen an den Formkern 1 auf
Ein vorbearbeiteter Formkern 1, der beispielsweise die in den Nuten 3 befindlichen Metallfolien 5 legt und
aus einem SpezialStahl besteht und in den halbkreisför- mit diesen eine feste Verbindung eingeht, beispielsweise
mige Nuten 3 eingeschliffen sind, wird mit Metallfolien 5
> verschmilzt (Fig. 2). Beim Abkühlen zieht sich der
versehen, indem die Metallfolien 5 in die halbkreisförmi- Formkern stärker zusammen als das geformte Glasrohr
gen Nuten 3 eingelegt werden. Anschließend wird über 7, so daß der Formkern 1 leicht aus deua geformten
den mit den Metallfolien 5 versehenen Formkern 1 ein Glasrohr 7 herausgezogen werden kann.
Glasrohr 7 gezogen und gegebenenfalls verschlossen In F i g. 3 ist das fertiggestellte Analysatorsystem für
und evakuiert iu ein Quadrupol-Massenfilter als mit Rohreinbuchtungen
Anschließend wird das über den Formkern 1 9 versehenes Glasrohr 7 dargestellt, wobei im Inneren
gezogene Glasrohr 7 aim Beispiel in einem Ofen auf des Glasrohres 7 mit den Rohreinbuchtungen 9 die
eine geringfügig oberhalb des Transformationspunktes Metallfolien 5 fest verbunden sind.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (4)
1. Verfahren zur Herstellung eines AnaJysatorsystems
für ein Multipol-Massenfilter, wobei zuerst ein
Rohr aus elektrisch isolierendem Material über einen mit parallelen Nuten versehenen Formkern
gezogen wird, dessen Material einen höheren Ausdehnungskoeffizienten als das isolierende Material
aufweist, wobei dann das Rohrmaterial durch Erhitzung erweicht, dem Formkern angeschmiegt
und anschließend nach verfestigender Abkühlung mit den eingeprägten Rohreinbuchtungen vom
Formkern abgezogen wird und wobei außerdem die Innenseiten der Rohreinbuchtungen jeweils mit
einer Metallschicht versehen wurden, dadurch
gekennzeichnet, daß vor dem Erweichen des Rohres in die Nuten des Formkerns Metallfolien
eingelegt werden, die beim Anschmiegen des Rohrmaterials mit diesem eine feste Verbindung
eingehen.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Folienmaterial den gleichen
thermischen Ausdehnungskoeffizienten wie das Rohrmaterial aufweist
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die zum Rohrmaterial weisende
Folienoberfläche vor Einlegen in die Nuten des Formkerns mit einem Überzug versehen wird, der
beim Erweichen des Rohrmaterials ebenfalls erweicht.
4. Verfahren nach Anspruch 3, wobei das Rohrmaterial aus Glas besteht, dadurch gekennzeichnet,
daß als Überzug ebenfalls Glas verwendet wird.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19772737903 DE2737903C2 (de) | 1977-08-23 | 1977-08-23 | Verfahren zur Herstellung eines Analysatorsystems für ein Multipol-Massenfilter |
EP78100260A EP0000866B1 (de) | 1977-08-23 | 1978-06-28 | Verfahren zum Herstellen eines Analysatorsystems für ein Multipol-Massenfilter |
US05/935,132 US4213557A (en) | 1977-08-23 | 1978-08-21 | Method for producing a mass filter analyzer system and analyzer system produced according to the method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19772737903 DE2737903C2 (de) | 1977-08-23 | 1977-08-23 | Verfahren zur Herstellung eines Analysatorsystems für ein Multipol-Massenfilter |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2737903B1 DE2737903B1 (de) | 1979-03-01 |
DE2737903C2 true DE2737903C2 (de) | 1979-10-18 |
Family
ID=6017062
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19772737903 Expired DE2737903C2 (de) | 1977-08-23 | 1977-08-23 | Verfahren zur Herstellung eines Analysatorsystems für ein Multipol-Massenfilter |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE2737903C2 (de) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4885500A (en) * | 1986-11-19 | 1989-12-05 | Hewlett-Packard Company | Quartz quadrupole for mass filter |
DE102004014584B4 (de) * | 2004-03-25 | 2009-06-10 | Bruker Daltonik Gmbh | Hochfrequenz-Quadrupolsysteme mit Potentialgradienten |
DE102004037511B4 (de) | 2004-08-03 | 2007-08-23 | Bruker Daltonik Gmbh | Multipole durch Drahterosion |
DE102004048496B4 (de) | 2004-10-05 | 2008-04-30 | Bruker Daltonik Gmbh | Ionenführung mit HF-Blendenstapeln |
-
1977
- 1977-08-23 DE DE19772737903 patent/DE2737903C2/de not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2737903B1 (de) | 1979-03-01 |
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