Patentanwälte Dipl.-Ing. H. Weickmann, Dipl.-Phys. Dr. K. Fincke
Dipl.-Ing. F.A^eickmann, Dipl.-Chem. B. Huber
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8 MÜNCHEN 86, DEN
POSTFACH 860 82Q
MÖHLSTRASSE 22, RUFNUMMER 98 3921/22
Dr. Johannes Heidenhain GmbH, Nansenstraße 17, 8225 Traunreut
Aufzeichnungsträger zur Wiedergabe von Mustern mit hohem
Auflösungsvermögen und Verfahren zu seiner Herstellung
Die Erfindung bezieht sich auf einen Aufzeichnungsträger
zur Wiedergabe von Mustern mit hohem Auflösungsvermögen. Insbesondere ist hierbei an Aufzeichnungsträger gedacht
zur Aufnahme großer Informationsmengen pro mm2.
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Weiterhin betrifft die Erfindung auch ein Verfahren zur
Herstellung derartiger Aufzeichnungsträger mit Mustern hohen Auflösungsvermögens..
Mit der Mikroverfilmung werden große Archivinhalte (Bibliotheken,
Zeichnungen und andere Dokumente) auf sehr kleinem Raum abgespeichert. Die Grenzen der Mikroverfilmung liegen
in dem Auflösungsvermögen der verwendeten Bild- oder Aufzeichnungsträger,
d.h. der Lesbarkeit bei der Rückvergrösserung auf angenähert die ursprüngliche Originalgröße. Diese
Auflösung liegt bei Anwendung üblicher fotografischer Feinkorn-Schichten in der Größenordnung von 10 bis 20 μπι.
Hierbei kann die Auflösung fotografischer Feinkorn-Schichten, wie sie von den Herstellern angegeben wird, nicht ohne weiteres
auf die praktisch zu erzielende Verkleinerung angewendet werden. Diese Angabe bezieht sich nämlich auf
Linien pro mm, d.h. die gerade noch wiedergegebene Auflösung eines Gitters, die fotometrisch ermittelt wird. Die Fotometerkurve
eines aufbelichteten Gitters zeigt noch deutlich Maxima und Minima. Für die Lesbarkeit werden jedoch
wesentlich deutlichere Kontraste, möglichst in schwarz-weiß und nicht in grau/grauer benötigt. Für eine präzise Dokumentation
werden aber mehr oder weniger scharfe Kanten benötigt. Dies bedingt, daß die vom Hersteller angegebene Auflösung
bei weitem nicht die Feinheit der Wiedergabe von aufbelichteten Zeichen bedeutet.
Den herkömmlichen Mikroverfilmungsmethoden haftet auch der
Nachteil an, daß die dargestellten Muster infolge Schrumpfung der Gelatineemulsion im Laufe der Zeit verzeichnet werden
und die Träger selbst nur wenig hitzebständig und bei Farbfilmen lichtbeständig sind.
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Wesentlich höhere Auflösung als photographische Feinkorn-Schichten
erbringen die unter der Bezeichnung Photo-Resiste bekannten lichtempfindlichen Schichten aus Hoehpolymeren-
Durch Belichtung mit aktinischem Licht oder mit Elektroden
bzw. Ionen wird die chemische Struktur dieser Resiste verändert- Insbesondere macht man von der Veränderung der
Löslichkeit in spezifischen "Entwicklerlösungen™ Gebrauch.
Solche Verfahren der "Mikro-Photolithographie" sind altbekannt,
und wurden und werden in der Optik zur Herstellung präziser Strukturen, wie Strichplatten, Teilungen u.a.(vgl.
deutsches Patent 902 713} benutzt. Sie werden neuerdings auch in der Halbleiter-Technologie beim sogenannten Planarverfahren
für die Strukturierung von Mikro-Schaltkreisen
angewendet. Auch sind bereits größere Informations-Gehalte (z.B. Buchserien d. Bibel und stark verkleinerte Botschaften
d. US-Präsidenten zum Mondflug o.a.) auf verchromten Glasträgern mit Hilfe der erwähnten Mikro-Lithographie hergestellt
worden.
Aufgabe der Erfindung ist es einen Aufzeichnungsträger sowie
ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Aufzeichnungsträgers anzugeben, bei welchem der auf der Flächeneinheit
unterzubringende Informationsinhalt wesentlich erhöht wird, wobei gleichzeitig die vorgenannten Nachteile der geringen
Verzeichnungsfrexheit, der mangelhaften Lichtechtheit und der Wärmeempfindlichkeit beseitigt werden.
Diese Aufgabe wird mit einem Aufzeichnungsträger nach der
Erfindung gelöst, wie er im Kennzeichen des Patentanspruches 1 definiert ist. Bei einem Aufzeichnungsträger nach der Erfindung
wird also das wiederzugebende Muster, welches ein
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Bild, z.B. eine Landkarte, eine Druckseite oder auch- eine
Binärkombination für technische Zwecke sein kann, mehrfarbig aus mindestens zwei Filterschichten für unterschiedliche
Wellenlängenbereiche des sichtbaren Lichtes gebildet, die aus anorganischen Material bestehen.
Kurz zusammengefaßt ist demnach die Lösung der Aufgabe der Erfindung darin zu erblicken, daß die Wiedergabe sehr komplexer
mehrfarbiger Strukturinhalte (wie sie z.B. in den detailreichen mehrfarbigen Landkarten vorliegen) in einer
präzisen MikroStruktur realisiert wird.
Hierbei geht die Erfindung von der aus der Farbenlehre abgeleiteten
Erkenntnis aus, daß sich ein Informationsinhalt pro Flächeneinheit bei farbiger Darstellung um eine Dimension
erhöht gegenüber einer einfarbigen (schwarz-weiß) Darstellung.
Ein klassicher Beleg für diese Aussage sind die farbigen Landkarten, bei denen eine präzise unterbringung großer Informationsmengen
erforderlich ist, und bei welchen die klare "Lesbarkeit" durch die Farben entscheidend erhöht wird.
Deswegen wird der Erfindungsgedanken auch anhand der farbigen Mikrο-Landkarte erläutert. Die Erfindung beschränkt sich
jedoch nicht auf farbige Mikro-Landkarten, sondern betrifft allgemein Informationsträger mit Details (Bits), die untereinander
durch verschiedenen Farbton und/oder verschiedene Farbsättigung hervortreten.
Die Farbe bringt dabei nicht nur eine physikalische Erweiterung
des seither in der Technik benutzten Codes. Es
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ist auch die physiologische Wirkung, die sieh axis der Farbempfindlichkeit
ergibt, bei der Anwendung der Erfindung in Betracht zu ziehen. Z.B. ist die "farbenfrohe" Darstellung
mit Hilfe der Erfindung bei vielen technischen Bilddarstellungen nun erst in brauchbarer Weise möglich geworden,
was auch.eine physio- und psychologisch wirksame Seite hat.
Die Darstellung von Farben ist immer schon versucht worden. Seit Lippmann versucht hat, eine Farbphotographie mit Hilfe
der Farben dünner Schichten aufzubauen, über das Eidophor-Verfahren
für das Farbefernsehen, bis zur heutigen Farbphotographie, die organische Farbstoffe mit begrenzter
"Lichtechtheit" benutzt.
Gemäß einem Teilmerkmal der Erfindung werden Farben benutzt,
die durch Interferenz des Lichtes entstehen und die, da die Interferenzschichten erfindungsgemäß aus anorganischen
dünnen Schichten aufgebaut werden, zeit-, licht- und wärmebeständig sind. Mit derartigen anorganischen dünnen Interferenzschichten
werden dann mehrfarbige Mikrobilder aufge-rbaut.
Die Anwendung kornloser dünner Schichten, die durch selektive Absorption des Lichtes farbig sind, gehören ebenfalls zum
Erfindungsgedanken. Die Korngrößen dieser Schichten liegen unter 20nm. Sie sind selbst bei tausendfacher Rückvergrößerung
"kornlos".
Für die Herstellung vorgenannter Aufzeichnungsträger eignet sich im besonderen ein Verfahren, das unter der Bezeichnung
"Mikro-Photolithorgraphie" bekannt ist und dessen Ursprung auf die Anfänge der Photographie zurückgeht (kornlose
Shotölacke)» Die Struktur-Umwandlung der Resiste erfolgt
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dabei nicht nur durch Einwirkung von Licht (UV), sondern
kann auch durch feine Elektronenstrahlen (Raster-Mikroschreiber)
und/oder Röntgenstrahlung oder eine lonensonde bewirkt werden. Die Grenze bei diesen bekannten
Kopierverfahren liegt bei Strichstärken von etwa 0,5 jxm.
Das Ergebnis des Erfindungsgedankens sind nicht nur die
zur Demonstration der Erfindung in etwa 100 Exemplaren
hergestellten farbigen Mikro-Landkarten (z.B. Blatt L 8140 "Traunstein" Maßstab 1 : 50 000 der topographischen
Karte des Bayerischen Landesvermessungsamtes München} im Format ca. 600 χ 600 Iran auf einer Glasfläche von
3x3 mm in allen Farbtönen und hoher Präzision dargestellt,
sondern darüber hinausgehend, farbige Aufzeichnungsträger von Mikrostrukturen, die, was ihre Haltbarkeit (Lichtechtheit,
Temperaturbelastung, Farbwiedergabe) anbetrifft, bisher nicht realisiert wurden.
Ein Großteil von in der Natur vorkommenden (Käfer, Schmetterlinge)
Farben wird dabei übertroffen, soweit die Baumaterialien organische Stoffe sind.
Im folgenden werden einzelne Verfahrensschritte zur Herstellung
eines Aufzeichnungsträgers im einzelnen beschrieben,
wobei aus Anschaulichkeitsgründen auf die anliegende Zeichnung
Bezug genommen Wird. Hierbei wird beispielsweise davon ausgegangenr daß eine Mikrolandkarte in einem Maßstab von
beispielsweise 1 : 10 000 000 hergestellt werden soll, welche aus Farbauszügen von einzelnen Karten im Maßstab 1 ; 50
hergestellt wird, was einer Verkleinerung von 1 : 200 ent-
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spricht. Die Mikrokarte auf einer Länge von 3x3 mm2 enthält,
alle Informationen des Originals und läßt sich randscharf lesbar bis zur fünffachen Originalgröße, d.h. in
einem Faktor von 1 : 1000 rückvergrößern.
Für das angenommene Beispiel ist davon auszugehen, daß zunächst die hellblaue Struktur der Seen und Flüsse mit
dunkelblauer Beschriftung und dunkelblauben Tiefenlinien gemäß dem Verfahren nach der Erfindung hergestellt werden
soll. Hierbei handelt es sich um den gleichen Farbton, der lediglich durch seine Sättigung unterschieden
wird. Beim Druckvorgang an sich wird dies durch ein Raster der hellblauen Flächen hergestellt.
Der zur Wiedergabe erforderliche blaue Farbton Nr. 17
nach der DIN Vornorm 6164 wird durch eine 240 nm optische dicke Filterschicht bestimmt. Hierbei hängt die genaue
Dicke etwas von den benutzten Spiegeln ab.
Die Sättigungsstufe ist abhängig von der Reflexion/Transparenz
der an der Filterschicht anliegenden Spiegelschichten. Diese können aus sehr dünnen Silber- (Ag-)Schichten
oder aber auch aus hoch-/niederbrechenden Wechselschichten bestehen. Dies wird anhand der Figur 1 bzw. Figur 2
noch erläutert.
Mit Hilfe einer unter dem Namen "Ionograph" genannten Apparatur soll auf ein in bekannter Weise gereinigtes
Glasplättchen als Substrat das Muster aufgebracht werden. Hierzu wird das Glasplättchen in die Apparatur geschleust.
In der Apparatur selbst befinden sich einige Kathoden aus
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einem zur Erzeugung von Spiegelschichten geeignetes Material;
vorzugsweise ist eine Ag-Kathode vorgesehen. Die Kathoden verbleiben dauernd unter Vakuum. Nach dem Einschleusen
des Glasplättchens und Füllen des Ionographen mit gereinigten Argongas wird an diese bei Vakuumdruck
von etwa 1 Pa eine 27MHz-Hf-Spannung von etwa 3000 Vss gelegt, und zwar über einen Hochleistungskondensator, der
für eine Frequenz von 27 MHz nur einige Ohm kapazitiven
Widerstandes besitzt, für Gleichspannung aber äußerst hochohmig ist. Dabei zündet ein Plasma. Die Elektronen,
die während-der positiven Halbwelle der Hochfrequenz
die Silberkathode negativ aufladen, werden durch die Argonionen während der negativen Halbwelle nur zum geringen
Teil rekombiniert. Damit bleibt die Ag-Kathode negativ geladen, wodurch die beschleunigten ig-Ionen
das Silber zerstäuben und einen kornlosen, für die weiteren Arbeitsgänge haltbaren Silberspiegel auf dem
Glassubstrat erzeugen. Das Entstehen der Spiegelschicht wird durch Messungen genau verfolgt und z.B. bei 16 nm
Dicke unterbrochen.
Unmittelbar- nachdem eine nichtstrukturierte Spiegelschicht auf dem Glassubstrat hergestellt wurde, erfolgt der sogenannte
Kopierschritt. Dazu wird die Spiegelschicht mit
Fotoresist beschichtet, wobei entsprechend dem gewählten Beispiel die Mikromaske "Farbe dunkelblau" (blaue Schriften,
Tiefenlinien in Seen u.a. Zeichen) aufkopiert und entwickelt wird. Die unmaskierten SilberSchichtbereiche werden nun im
Ionographen bei umgekehrter Polung, d.h. bei der Verwendung
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des Glasträgers als Kathode wieder abgetragen. Die Silberschicht unter den durch Fotoresist geschützten Bereichen
bleibt jedoch erhalten. Anschließend wird der Fotoresist durch Ablösen mit Azeton oder einem ähnlichen Lösungsmittel
abgewaschen.
Nun wird neuerlich mit Silber verspiegelt und paßgenau in einen weiteren Kopierschritt die Farbmikromaske für
hellblau (Seen und Flüsse) aufkopiert und wie beschrieben im Hochfrequenzplasma abgetragen und der Resist abgelöst.
Nunmehr weist der Glasträger in aller Feinheit und Präzision alle dunkel- und hellblau zu färbenden Details des fertigen
Musters (der Landkarte) als kornlose Silberschichten auf,die
an den Stellen, an denen eine dunkelblaue Farbe erscheinen soll 32 nm dick und an den Stellen, an denen eine hellblaue
Farbe wiedergegeben werden soll, 16 nm dick sind.
Nunmehr wird der gesamte Glasträger mit einer glasklaren
Schicht in einer optischen Dicke von 238 nm bedampft. Dies entspricht bei Verwendung MgF- einer tatsächlichen Dicke
von 172 nm. Darüber wird wieder ganzflächig eine Silberschicht von 16 nm aufgebracht, die ebenso wie der zuletzt beschriebene
Kopierschritt für die hellblaue Farbe mit der Mikromaske belichtet und entsprechend abgetragen wird.
Durch Ändern der Schichtdicke der Abstandsschicht, im vorgenannten
Beispiel von optisch 238nm, kann jeder gewünschte
Farbton von 13 bis 24 nach DIN 6164 erzielt werden. Die Farbtöne 1 bis 12 nach dieser Norm lassen sich jedoch nicht
ohne weiteres bilden. Es treten nämlich bei Schichten über 210 nm weitere Interferenzmaxima aus dem UV-Bereich in den
sichtbaren Bereich und damit Mischfarben auf. Die Herstellung
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der gelb-roten Farbtöne 1 bis 12 nach der DIN-Norm 6'164
ist deswegen komplizierter. Bei den Farben 13 bis 24 läßt sich auch jede gewünschte Sättigungsstufe nach DIN
6164 durch eine geeignete Dicke der Silberschichten einstellen.
Per Aufbau der anorganischen Schichten, wie vorbeschrieben,
ist in Fig. 1 anschaulich wiedergegeben. In dieser Figur sind mit den Bezugszeichen 1, 2 und 3 die in den drei Kopierschritten
aufgebrachten Silberschichten bezeichnet, während mit 4 die transparente Interferenzschicht (Abstandsschicht)
bezeichnet ist.
Hierbei bestimmt die Silberschicht 1 in einer Dicke von
16 nm zusammen mit der überlagerten entsprechend der hellblauen
Stellen des Musters ausgebildeten Schicht 2 von ebenfalls 16 nm die dunkelblauen Stellen>
da für das durchscheinende bzw. auf dem nicht dargestellten Substrat reflektierte
Licht insgesamt eine Silberschicht von 32 nm wirksam ist. Auf der Silberschicht 2 befindet sich dann
die Interferenzschicht in einer Dicke von 238 nm. Die Silberschicht 3 selbst ist wieder 16 nm dick.
Dadurch erscheint das im Bereich des Pfeiles 5 austretende Licht dunkelblau (Farbe· 17:8), das im Bereich des Pfeiles
6 austretende Licht hellblau (Farbe 17:4) und das daneben austretende Licht, z.B. im Bereich des Pfeiles 7, weiß
(unbunt).
Figur 2 zeigt anschaulich, daß anstelle dünner einheitlicher Silberschichten als Spiegelschicht auch Wechselschichten aus hoch- und niederbrechenden Teilschichten
verwendet werden können. Hierbei ist auch bei der Figur
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davon ausgegangen, daß der Farbton blau wiedergegeben werden soll, wobei wiederum eine Interferenzschicht 4 entsprechender
Ausbildung vorgesehen ist. Im Gegensatz zu einer Ausführung nach Figur 1 wird in dem Bereich, in
welchem ein Blau wiedergegeben werden soll, die die Interferenzschicht begrenzenden niederbrechenden Teilschicht
und 9 jeweils durch hochbrechende Teilschichten 10 sowohl gegenüber der Interferenzschicht, als auch untereinander
als auch nach außen abgedeckt, wie schematisch in stark vergrößertem Maßstab in Figur 2 dargestellt. Dadurch ergibt
sich, daß im Bereich außerhalb der Wechselschichten, beispielsweise im Bereich des Pfeiles 11 weißes Licht (unbunt)
austritt, während im Bereich der Wechselschichten, also längs des Pfeiles 12 blaues Licht austritt.
Für das Verfahren nach der Erfindung eignet sich als Material für die Abstandsschichten (Interferenzschichten) besonders
MgF2, SiO2, ThF4, SiO, Ta3O5, Fe3O3 oder andere
Oxide, Fluoride und/oder Sulfide. Hierbei wird gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung des Erfindungsgedankens die Abstandsscbicht
zunächst über die mit entsprechenden Spiegelschichten versehenen Substratoberfläche in einer ausreichenden
Dicke (etwa 10-mal dicker als für die Verwendung der
einzelnen Farben benötigt) aufgetragen und entsprechend den gewünschten Farben unter plasmachemischer Veränderung anschließend
im Bereich der Spiegel abgetragen. Bei dem fertigen Aufzeichnungsträger bestimmt dann die Dicke der Abstandsschicht
den Farbton während die Sättigung durch das Reflexionsvermögen der Spiegel, wie vorab anhand der Figur 1 erläutert,
bestimmt wird.
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Es ist für den Fachmann ersichtlich, daß in der geschilderten Weise auch ohne weiteres Mischfarben hergestellt werden
können, indem verschiedene Farbtöne in der vorbeschriebenen Weise nacheinander, d.h. übereinander aufgebracht werden
können. Hierbei können verschiedene aneinander angrenzende Farbtöne auch dadurch hergestellt werden, daß in dem einen
Bereich zwei Farbschichten verschiedener Dicke ohne Zwischenschicht aufeinander zu liegen'kommen und die Unter-
und Oberseite der gemeinsamen Schicht durch zwei Spiegeln eingefaßt wird, während im anderen Bereich zwischen die
beiden Zwischenschichten ein dritter Spiegel eingefügt wird, so daß in diesem Bereich eine Mischfarbe entsteht.
Mit dem Verfahren nach der Erfindung ist es auch möglich mehrfarbige Strukturen mit fluoresierenden Leuchtfarben
zu erzeugen, wobei als Abstandsfarbschichten Stoffe verwendet
werden, die einfallendes UV-Licht in sichtbare Lichtstrahlung umwandeln und dieses sichtbare Licht emittieren.
Als derartige Stoffe kommen MgF2, ZuS und ähnliche'Stoffe
in Frage.
Als Substrat für die aufzubringenden Mikrostrukturen eignet
sich besonders Hartglas (Zerodur- und Quarzglas). Derartige Hartglassubstrate vertragen eine Rückprojektion mit hoher
Lichtstärke ohne großen Aufwand hinsichtlich der Wärmefilterung. Die üblichen Farbfilme verkohlen dabei innerhalb
von Sekunden.
Im folgenden wird als Beispiel eine besonders vorteilhafte
Realisierung des Verfahrens nach der Erfindung beschrieben. Auch in diesem Fall wird aus Anschaulichkeitsgründen wieder
davon ausgegangen, daß auf ein Glassubstrat eine MikroLandkarte im Diapositiv hergestellt werden soll.
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Zunächst wird das Glassubstrat mit ekner dünnen Schicht aus Cdq oder Fe„O-. oder As„S_ oder einer ähnlichen anorganischen
Verbindung belegt. Dann erfolgt Beschichten mit Fotolack und Kopieren mit der Negativ-Mikromaske
"Seen und Flüsse u.a." also für die Farbe blau. Danach wird die vorgenannte Schicht in den bereichen "Seen,
Flüsse" bis zur Glasoberfläche abgetragen und anschließend der Fotolack abgelöst.
Das Substrat ist nun wieder in dem Bereich "Seen, Flüsse" glasklar, sonst überall gelb-braun infolge der Eigenfärbe
der dünnen Fe3O3-Schicht.
Als zweiter Schritt wird nun, wie vorher beschrieben, eine blaue Schichtkombination als Silberschicht in einer positiven
Mikromaske "Seen, Flüsse und Wälder" strukturiert aufgebracht. Damit sind alle blauen Bereiche (Seen,Flüsse)
und grünen Bereiche (Wälder) als Struktur der Landkarte vorhanden und bleiben beim Abtragen der Silberspiegel erhalten,
und zwar mit Silber bedeckt. Unter den grünen Bereichen (Wälder) liegt jedoch die Fe^O^-Schicht (oder eine
andere passende Schicht), unter den blauen Bereichen (Seen) ist das Substrat glasklar. Die Seen und Flüsse sind somit
blau (Farbton 17) die Wälder und ähnliche Bereiche aber grün (Farbton 22) als Mischfarbe von gelb und blau.
Die übrigen Gebiete (Felder usw.) sind gelb. Beschriftungen bleiben farblos (unbmrt) durchsichtig.
Mit den beiden Kopierschritten, nämlich mit einer negativen
Mikromaske "Seen, Flüsse" und einer positiven Mikromaske "Seen, Flüsse und Wälder" werden somit insgesamt
vier Farben, nämlich Farbton 17 blau, Farbton 22, Farbton 2 gelb und Farbton 0 unbunt erhalten.
Damit tritt eine wesentliches Prinzip des Erfindungsgedankens
zu Tage.
Jeder weitere mit einein weiteren Kopierschritt hergestellte
neue Farbton ergibt durch Mischung mit den bereits vorher hergestellten Farbtönen in Teilbereichen des Musters
doppelt soviele neue Farben. Bei der technischen Anwendung eines binären Farbcodes entstehen also z.B. mit 10
einzelnen Kopierschritten 2 = 1024 Farbtöne.
Nach dem Vierfarbensatz der Topologie würden also zwei
Kopierschritte theoretisch vollständig zur Herstellung einer beliebig komplexen unterschiedlichen Kartenstruktur
ausreichen. Praktisch wird jedoch auch die Mikrο-Landkarte
durch Hinzunehmen von noch mehr Farben der konventionellen Karte angepaßt, z.B. durch rot (Hauptstraßen) und Schummerung
und schwarze .Beschriftung.
Der Farbton rot (8 nach DIN 6164) kann beispielsweise auf
folgende Weise erhalten werden:
1) 10 Minuten reaktiv bestäuben mit Fe-Kathode
2) Kopieren der Positiv-Mikromaske "Hauptstraßen u.a." (rot)
3) Abtragen und Ablösen. Ex verbleiben auf den roten Deteilas
(Hauptstraßen) Interferenzschichten Fe3O3 mit
η = 2,9 Dicke:45 nm
4) Bedampfen mit MgF3 284 nm dick
Diese Schichtdicke ergibt zusammen mit den MgF,,-Schichten
für grün (Wälder) und blau (Seen) mit dem Äg-Spiegel
den Farbton rot nach den Verfahrensschritten 5) bis 20),
wobei gleichzeitig Wälder und Seen grün und blau struk- ■ tuiert werden.
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5) Ag 20 nm-Verspiegeln
6) Kopierschritt 2) MM-Positiv "Wald"
7) 2 Minuten Abtragen und Ablösen Photolack
8) MgF2 d = 153 nm Bedampfen (T = 22 grün) und Ag/20 nm-Verspiegeln
9) Kopierschritt 3) MM-Positiv "Wald und Hauptstraßen"
10} 2 Minuten Abtragen und Ablösen Photolack
11} Zwischenschicht MgF2 d = 75 nm (Interferenzfarbe im UV}
12) Ag 16 nm verspiegeln
13) Kopierschritt 4) MM-Positiv "Tieflinien dunkelblau"
14) Abtragen und Ablösen
15) AG 16 nm verspiegeln
16) Kopierschritt 4} MM-Positiv "Seen und Flüsse"
17) Abtragen und Ablösen
18) MgF2-Interferenzschicht "blau" bedampfen und Ag 16 nm
verspiegeln
19) Kopierschritt 5) MM-Positiv "Seen, Flüsse und Straßen"
20} Abtragen und Ablösen Photolack
21) Schutzschicht aufdampfen
22) Chrom verspiegeln (Cr-Maske schwarz)
2S) Kopierschritt 6} MM-Positiv "schwarze Beschriftung,
Bebauung usw."
24) Abtragen der ungeschützten Cr-Schicht
25) Ablösen des Photolacks
26) Schutzschicht aufbringen.
Die Erfindung wurde anhand der Erstellung von Mikrostrukturen erläutert. Das Verfahren nach der Erfindung ist aber
auch auf die mehrfarbige Darstellung makroskopischer Zeichen unmittelbar anwendbar.
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Es wurden von Originalfarbauszügen (600 χ 600 mm) im Maßstab
1 : 50 000 Mikrolandkarten im Maßstab 1 : 10 000 000 auf einer GröJBe von 3x3 mm hergestellt. Der gesamte Informationsgehalt
einer Karte 1 : 50 000, die eine ungeheure Zahl von Bits enthält, ist also auf 9 mm2 untergebracht.
Dies bedeutet, daß eine Karte der Bundesrepublik Deutschland im gleichen Maßstabsverhältnis auf einer Glasplatte
von 100 χ 100 nun in Mikrodarstellung wiedergebbar
ist, wobei alle Einzelheiten der Karte mit der Genauigkeit einer Karte von .1 : 50 000 dargestellt sind.
Die einzelnen Verfahrensschritte zum Kopieren bzw. Abtragen
und Aufdampfen sind dem Fachmann insbesondere aus der Fotolithographie und der Hochvakuumaufdampftechnik hinreichend
bekannt und deshalb in der vorliegenden Anmeldung nicht im Detail beschrieben.
τ Patentansprüche -
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