DE2655525C3 - Verfahren zur Erweiterung des Schärfentiefebereiches fiber die durch die konventionelle Abbildung gegebene Grenze hinaus sowie Einrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens - Google Patents

Verfahren zur Erweiterung des Schärfentiefebereiches fiber die durch die konventionelle Abbildung gegebene Grenze hinaus sowie Einrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens

Info

Publication number
DE2655525C3
DE2655525C3 DE2655525A DE2655525A DE2655525C3 DE 2655525 C3 DE2655525 C3 DE 2655525C3 DE 2655525 A DE2655525 A DE 2655525A DE 2655525 A DE2655525 A DE 2655525A DE 2655525 C3 DE2655525 C3 DE 2655525C3
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
depth
image
filter
filtered
field
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE2655525A
Other languages
English (en)
Other versions
DE2655525A1 (de
DE2655525B2 (de
Inventor
Gerd Dr. 8520 Erlangen Haeusler
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leica Microsystems Holdings GmbH
Original Assignee
Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ernst Leitz Wetzlar GmbH filed Critical Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Priority to DE2655525A priority Critical patent/DE2655525C3/de
Priority to GB23390/77A priority patent/GB1577194A/en
Priority to JP6680377A priority patent/JPS55140805A/ja
Priority to US05/805,159 priority patent/US4141032A/en
Publication of DE2655525A1 publication Critical patent/DE2655525A1/de
Publication of DE2655525B2 publication Critical patent/DE2655525B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2655525C3 publication Critical patent/DE2655525C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes
    • G02B21/0024Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/008Details of detection or image processing, including general computer control
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes
    • G02B21/0024Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0052Optical details of the image generation
    • G02B21/006Optical details of the image generation focusing arrangements; selection of the plane to be imaged
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/24Base structure
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/24Base structure
    • G02B21/241Devices for focusing
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/80Camera processing pipelines; Components thereof
    • H04N23/81Camera processing pipelines; Components thereof for suppressing or minimising disturbance in the image signal generation

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Image Processing (AREA)
  • Automatic Focus Adjustment (AREA)
  • Image Analysis (AREA)
  • Closed-Circuit Television Systems (AREA)
  • Focusing (AREA)
  • Studio Circuits (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erweiterung des Schärfentiefebereiches bei der optischen Abbildung dreidimensionaler Objekte sowie eine Einrichtung zu dessen Durchführung.
Aus der deutschen Patentschrift 23 01 800 ist ein Verfahren zur Vergrößerung des Schärfentiefebereiches bekanntgeworden, bei welchem in einem ersten Schritt das abzubildende Objekt zeitlich gleichmäßig entlang der optischen Achse des Systems bewegt werden kann und durch Überlagerung verschieden defokussierter Bilder zunächst ein modifiziertes Bild des Objektes erzeugt wird, wobei es bei diesem Verfahren von Bedeutung ist, daß alle Schärfenebenen mit dem gleichen Gewicht bewertet werden. Beleuchtet man beispielsweise das Objekt zeitlich konstant, so muß man es auch gleichförmig bewegen, da andernfalls die verschiedenen Objektebenen mit unterschiedlicher Gewichtung zum integrierten Bild beitragen würden. In einem zweiten Schritt wird das so gewonnene Bild einer Hochpaßfilterung unterworfen, die zu einer Kompensation des entstandenen Kontrastabfalls bei hohen Ortsfrequenzen führt Die im ersten Schritt dieses bekannten Verfahrens vorzunehmende Integration kann auf einer Fotoplatte oder — wenn die Objektbewegung schnell genug ist — auf einem Vidikon erfolgen. Wird der Integrationsbereich größer als die Objekttiefe, so hat das integrierte Bild die Eigenschaft, daß alle Niveaulagen des Objektes mit nahezu der gleichen Kontrastübertragungsfunktion abgebildet werden, welehe bei höheren Ortsfrequenzen 5 etwa wie l/s abfällt Aus diesem Grunde kann das integrierte Bild, das bei hohen Ortsfrequenzen einen geringen Kontrast aufweist, in einem zweiten Schritt gemäß dem bekannten Verfahren rückgefiltert werden. Dabei ist es erforder-
r> lieh, daß die Charakteristik des verwendeten Filters einen im wesentlichen linear ansteigenden Frequenzgang mit einer Maxinialverstärkung V bei einer V-fachen Schärfentiefeerweiterung aufweist
Bei diesem Verfahren wird wegen des unvermeidlichen Rauschens beispielsweise bei der elektronischen Hochpaßfilterung eines Vidikon-Kamerasignals der Bereich der erzielbaren Schärfentiefeerweiterung in der praktischen Anwendung auf das 10- bis 15fache begrenzt wenngleich eine erzielbare 25fache Erweite-
2r> rung angegeben ist Dieser Grenzwert wurde durch einen rein visuellen Qualitätsvergleich ermittelt Zwischenzeitlich durchgeführte genaue Rechnungen ergaben unter Berücksichtigung der Rauschspektren eine maximal 13fache Schärfentiefeerweiterung. Es ist
ίο weiterhin zu berücksichtigen, daß bei dem optischelektronischen Verfahren die Objektbewegung exakt in Richtung der optischen Achse des abbildenden Systems in schneller Folge ablaufen muß, was einen hohen gerätetechnischen Aufwand erforderlich macht
π Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein verbessertes Verfahren für eine beliebige Erweiterung des Schärfentiefebereiches anzugeben, das außerdem einen kontinuierlichen Übergang vom Dunkelfeldbild zum Hellfeldbild gestattet
4Ii Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst daß beim Durchfokussieren eine Vielzahl von unterschiedlichen Niveaulagen zugeordneten Bildern eines Objektes erzeugt und in diesen Bildern durch Filterung mittels eines Filters mit im wesentlichen Hochpaß-Cha-
4ί rakteristik die unscharfen Details unterdrückt werden, daß durch Aufsummieren dieser gefilterten Signale ein vollständiges Bild des dreidimensionalen Objektes zusammengesetzt und das das jeweilige ungefilterte Bild dem gefilterten Bild zugemischt wird. Dabei kann die
ίο Filterung mittels eines Filters mit im wesentlichen linear ansteigendem Frequenzgang erfolgen. Mit Vorteil kann bei dem erfindungsgemäßen Verfahren das Zumischungsverhältnis variabel und frei wählbar gestaltet sein. Es ist weiterhin möglich, daß das Durchfokussieren
v> in definierten Teilschritten erfolgt, wobei es zweckmäßig sein kann, die aufeinanderfolgenden Teilschritte so zu wählen, daß sie gleich der konventionellen Tiefenschärfe sind. Eine Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens gemäß vorliegender Erfindung ist
bo dadurch gekennzeichnet, daß zum Aufsummieren der gefilterten Bilder beispielsweise ein Vidikon-Speicher, ein Magnetplattenspeicher oder ein digitaler Speicher verwendet wird.
Die Hochpaß-Filterung der Teilbilder führt, im
Gegensatz zur Filterung des anfintegrierten Bildes beim bekannten Verfahren, zu bipolaren Signalen. Wird ein Speicher verwendet, der nur positive Signale speichern kann — beispielsweise eine Fotoplatte —, so müssen
diese bipolaren Signale entweder gleichgerichtet, oder durch Hinzufügen eines Untergrundes positiv gemacht werden. Die zuerst genannte Möglichkeit ist ein stark nichtlineares Verfahren und ergibt grundsätzlich andere Bilder als die zweite Variante.
Das fertige Bild mit gesteigerter Schärfentiefe ist die Summe verschiedener gefilterter Signale. Deshalb kann das Rauschen herausgemittelt werden; im Gegensatz zum bekannten Verfahren, wo nur ein anfintegriertes Bild gefiltert wird.
Die Erfindung wird anhand der Zeichnung näher erläutert Es zeigt
F i g. 1 ein prinzipielle Blockdiagramm-Darstellung des erfindungsgemäßen Verfahrens bzw. eines Beispiels der Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens,
Fig.2a die graphische Darstellung eines hellen Objektpunktes auf dunklem Grund in einem Koordinatensystem,
Fig.2b die graphische Darstellung eines dunklen Objektpunktes auf hellem Grund in einem Koordinatensystem,
F i g. 3a den Intensitätsverlauf des integrierten Bildes des in F i g. 2a dargestellten hellen Objektpunktes,
F i g. 3b den Intensitätsverlauf des integrierten Bildes des in F i g. 2b dargestellten dunklen Objektpunktes,
F i g. 4 die Darstellung der gefilterten und integrierten Übertragungsfunktion für 32fache Schärfentiefeerweiterung,
F i g. 5a die Darstellung der prinzipiellen Verlaufs der integrierten Übertragungsfunktion,
F i g. 5b die Darstellung des prinzipiellen Verlaufs der gefilterten und integrierten Übertragungsfunktion,
F i g. 5c die Darstellung der Gesamt-Kontrastübertragungsfunktion aus der Aufsummierung der in den F i g. 5a und 5b dargestellten Funktionen (ohne Dunkelfeldcharakter),
F i g. 6a und 6b verschiedene Filtercharakteristiken.
In F i g. 1 wird der prinzipielle Verfahrensablauf anhand des Blockdiagramms näher erläutert Ein Objekt 1, dessen Details bezüglich der senkrecht stehenden optischen Achse 3 eines optischen Systems in unterschiedlichen Tiefenbereichen liegen, befindet sich auf einem Objekttisch 2, der mittels eines Motors M in Richtung der optischen Achse 3 verstellbar angeordnet ist. Die Translationsrichtung wird durch die Doppelpfeile 6 verdeutlicht Als abbildendes optisches System ist hier ein ein Objektiv 4 enthaltender Mikroskoptubus 5 dargestellt. Als beispielsweise Beleuchtungsanordnung ist gestrichelt eine aus einem Kondensor 10 sowie einer Lampe 11 bestehende Durchlichtbeleuchtungsanordnung angedeutet Selbstverständlich kann statt dessen beispielsweise auch eine Auflichtbeleuchtungseinrichtung als Dunkelfeld- oder Hellfeldbeleuchtungseinrichtung usw. vorgesehen sein. Die vom Objektiv 1 ausgehenden Bildinformationen werden im dargestellten Ausführungsbeispiel über einen Umlenkspiegel 7 einer Vidikon-Kamera TV zugeführt. Bei Einschalten des Motors M wird das Objekt 1 gleichmäßig durchfokussiert Das dabei anfallende Vidikon-Signal wird — nach Abtrennung der Synchronimpulse — einem Filter zugeführt und, beispielsweise jeweils nach 0,2 μ großen Objektverschiebungs-Schritten, in einem Vidikon-Speicher gespeichert Diesem Speicher werden außerdem von der Bewegung des Motors Λί abgeleitete Steuerimpulse 9 zugeleitet Sie bestimmen, welche Anteile des Vidikon-Signals gespeichert werden. Nach einer Durchfokussierung, die — je nach Objekttiefe und verwendeter numerischer Apertur — in einem Zeitintervall von einigen Vi0 Sekunden bis zu einigen Sekunden abläuft, ist das fertige gefilterte Gesamtbild auf dem Monitor sichtbar.
Zwecks Zumischung des jeweiligen ungefilterten
s Bildes zum gefilterten Bild kann ein das Filter umgehender, in der Figur gestrichelt dargestellter
Leitungszug vorhanden sein, über den ungefilterte Bildinformationen zum Speicher gelanger. Dabei kann
in diesem Leitungszug ein Regler 8 vorgesehen sein,
ίο welcher es erlaubt, das Zumischungsverhältnis zu variieren.
Das erfindungsgemäße Verfahren wird nun anhand der weiteren Fig.2a bis 6b näher erläutert Das Verfahren geht von der Erkenntnis aus, daß beim Durchfokussieren und Integrieren (Aufsummieren) der Kontrast bei höheren Ortsfrequenzen stark abnimmt In Fig.2a ist die Intensitätsverteilung I1 eines hellen Punktes auf dunklem Grund dargestellt Nach Integration dieses Objektes resultiert daraus ein Puuktbild mit breitem Hof. Den Verlauf der Intensitätsverteilung (/)) zeigt F i g. 3a. In F i g. 2b ist die Intensitätsverteilung h eines dunklen Punktes auf hellem Grund dargestellt Bei diesem Objekt vermindert die Integration, wie in Fig.3b durch (k) dargestellt, den Kontrast jedoch
2> außerordentlich.
Während des Durchfokussierens trägt nämlich das Licht aus der hellen Umgebung fast immer zur Belichtung bei x=0 bei, außer während der kurzen Zeitspanne, während der das Objekt scharf abgebildet wird. Es muß daher verhindert werden, daß stark defokussierte Details die Dynamik des Empfängers belasten. Dies geschieht gemäß der Erfindung durch Filterung des Bildes mit einem Filter, das die hohen Bildfrequenzen anhebt Dadurch werden die fokussier-
j-, ten Details stärker bewertet als die defokussieren Anteile. Bei beispielsweise extremer Defokussierung ist das Bild nur noch eine verschwommene graue Fläche, und das Filter sperrt dieses unerwünschte Signal. Werden die verschiedenen Niveaulagen des Objektes nacheinander aufgenommen und werden die dabei entstehenden Signale in der oben angegebenen Weise weiterverarbeitet, so erhält man das gewünschte Bild des dreidimensionalen Objektes.
Das soweit im Grundsatz beschriebene Verfahren
-, läßt sich mathematisch folgendermaßen erklären:
Das defokussierte Detail mit der Defokussierung
I , . ,
λ = η k sin" u
wird mit der übertragungsfunktion
D(s,λ) = . ■ sin(2^|.s-| - λs2)
2 λ .ν (1)
abgebildet. Dabei bedeuten u die Apertur, k einen Faktor 2.7//. und s die Ortsfrequenz.
Wird nun z. B. mit einer Filterfunkiion
F (.v) = -|s|
gefiltert, so erhält man
sin(2*|.s-| - Λ.ν2)
L>l = -■■
Nach Mitteilung über * ergibt sich (S/ bcdeulet InIegralsinus):
.D1 > =f Dt-ls,a)d* = ^Si [λ, (2|.v| - .s-2)] .
Die Übertragungsfunktion (Df) gilt nicht nur für die Mittenebene, sondern ungefähr für alle Ebenen, wenn «ι größer als die Objekttiefe ist
Der Verlauf von (Df) soll als Beispiel für eine 32fache Schärfentiefeerweiterung angegeben werden.
In der F i g. 4 ist der theoretischen Kurvenverlauf der Kontrastübertragungsfunktion dargestellt, wobei auf der Abszisse die Ortsfrequenz s und auf der Ordinate der Kontrastübertragungsfaktor (Df) aufgetragen sind.
Außerhalb eines sehr engen Bereiches um die Nullfrequenz ist die Kontrastübertragungsfunktion konstant. Nur der Gleichanteil wird abgetrennt. Im Fall des linearen Filters F(s) erhält man also eine Dunkelfeldcharakteristik des fertigen Bildes. Das resultiert daraus, daß die beim Durchfokussieren so störende Verminderung des Kontrastes durch Hochpaßfilterung verhindert wurde.
Ist der Dunkelfeldeffekt unerwünscht, so muß das Filter so dimensioniert werden, daß auch die niedrigen Frequenzen teilweise durchgelassen werden. Der exakte Verlauf ergibt sich aus der inversen Funktion der F i g. 5a. Eine einfachere Näherungslösung, die nur ein Filter für beliebige Schärfentiefeerweiterung erfordert, ist das Zumischen der nicht gefilterten Bilder. Dies läßt sich einfach durch Umgehen des Filters und durch passende Abschwächung der diese Umgehung durchlaufenden elektrischen Signale realisieren. Man mischt also die integrierte Kontrastübertragungsfunktion (D) (F i g. 5a) und die gefilterte integrierte Kontrastübertragungsfunktion (Df) (Fig.5b) und erreicht damit eine Gesamt-Kontrastübertragungsfunktion Dn ohne Dunkelfeldcharakter, wie sie in F i g. 5c dargestellt ist
Für die Dimensionierung des Filters gibt es unterschiedliche Möglichkeiten, wie sie beispielsweise in den Fig.6a und 6b dargestellt sind. Einmal ist es möglich, das Filter so auszugestalten, daß seine Kennlinie den in Fig.6a eingezeichneten Verlauf hat Bei Verwendung dieses Filters erhält man ein Hochpaßbild, welches nach Zumischung des ungefilterten integrierten Bildes zum Hellfeldbild modifiziert werden kann.
Die Verwendung eines Filters, das eine in der F i g. 6b angegebene Charakteristik aufweist, führt zur Hilbert-Transformierten (»Reliefeffekt«).
Das gefilterte Video-Signal enthält im allgemeinen negative Spannungen, die negativen Helligkeiten entsprechen. Für eine exakte Realisierung der vorste-
tn hend beschriebenen Integration müssen auch diese negativen Werte gespeichert werden. Eine Möglichkeit, negative Signale zu vermeiden, ist die Addition einer
Gleichspannung. Werden negative Signale durch Einweggleichrich-
tung — z. B. an der Bildröhre oder im Speicher — abgeschnitten, so erhält man ein modifiziertes Bild des
Objektes, ebenso bei einer Zweiweggleichrichtung des
gefilterten Signals.
Das erfindungsgemäße Verfahren ist nicht auf eine
bestimmte inkohärente Beleuchtungsart beschränkt.
Im vorliegenden Fall ist unter »Durchfokussieren« eine Variation des Abstandes zwischen dem Objekt eines optischen Systems und dem mit diesem betrachteten Objekt bzw. einer definierten Ebene dieses Objektes zu verstehen. Eine solche Variation läßt sich auf unterschiedliche Weise erreichen. Einmal läßt sich dieser Abstand durch Veränderung der Ortslage des Objektivs, zum anderen durch Veränderung der Ortslage des Objektes längs der optischen Achse erreichen. Schließlich ist auch die gleichzeitige Veränderung der Ortslagen von Objekt und Objektiv im gegenläufigen Sinne denkbar. Auch liegt es im Rahmen der vorliegenden Erfindung, anstelle eines elektronischen Speichers zum Aufsummieren der gefilterten
Einzelbilder eine fotografische Kamera zu verwenden. Bei geöffnetem Verschluß werden die auf dem Monitor
nacheinander erscheinenden gefilterten Einzelbilder fotografisch überlagert
Die Filterung soll im allgemeinen zweidimensional
sein. In vielen Fällen genügt jedoch eine eindimensionale Filterung, wofür das Filter einfacher zu realisieren ist Wenngleich als Ausführungsbeispiel zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens eine lichtoptische Einrichtung dargestellt und beschrieben ist, so läßt sich das Verfahren auch bei Einrichtungen anwenden, die nach einem elektronenoptischen Verfahren arbeiten.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (8)

Patentansprüche:
1. Verfahren zur Erweiterung des Schärfentiefebereiches bei der optischen Abbildung von in unterschiedlichen Gegenstandsweiten angeordneten Objekten Ober die durch die konventionelle Abbildung gegebene Grenze hinaus, dadurch gekennzeichnet, daß beim Durchfokussieren eine Vielzahl von den unterschiedlichen Gegenstandsweiten zugeordneten Bildern eines Objektes erzeugt und in diesen Bildern durch Filterung mittels eines Filters mit im wesentlichen Hochpaß-Charakteristik die unscharfen Details unterdrückt werden, daß durch Aufsummieren dieser gefilterten Signale ein vollständiges Bild des dreidimensionalen Objektes zusammengesetzt und daß des jeweilige ungefilterte Bild dem gefilterten Bild zugemischt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Filterung mittels eines Filters mit im wesentlichen linear ansteigendem Frequenzgang erfolgt.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Zumischungsverhältnis variabel und frei wählbar ist
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Durchfokussieren in definierten Teilschritten erfolgt
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Höchstabstand zweier aufeinanderfolgender Teilschritte gleich der konventionellen Schärfentiefe ist.
6. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zum Aufsummieren ein Vidikonspeicher verwendet wird.
7. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zum Aufsummieren ein Magnetplattenspeicher verwendet wird.
8. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zum Aufsummieren ein digitaler Speicher verwendet wird.
DE2655525A 1976-12-08 1976-12-08 Verfahren zur Erweiterung des Schärfentiefebereiches fiber die durch die konventionelle Abbildung gegebene Grenze hinaus sowie Einrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens Expired DE2655525C3 (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2655525A DE2655525C3 (de) 1976-12-08 1976-12-08 Verfahren zur Erweiterung des Schärfentiefebereiches fiber die durch die konventionelle Abbildung gegebene Grenze hinaus sowie Einrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens
GB23390/77A GB1577194A (en) 1976-12-08 1977-06-02 Method and apparatus for imaging an object
JP6680377A JPS55140805A (en) 1976-12-08 1977-06-08 Enlarging focus depth range and device therefor
US05/805,159 US4141032A (en) 1976-12-08 1977-06-09 Method of and apparatus for the expansion of the range of the depth of focus beyond the limit given by conventional images

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2655525A DE2655525C3 (de) 1976-12-08 1976-12-08 Verfahren zur Erweiterung des Schärfentiefebereiches fiber die durch die konventionelle Abbildung gegebene Grenze hinaus sowie Einrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2655525A1 DE2655525A1 (de) 1978-06-15
DE2655525B2 DE2655525B2 (de) 1978-09-14
DE2655525C3 true DE2655525C3 (de) 1979-05-03

Family

ID=5994945

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2655525A Expired DE2655525C3 (de) 1976-12-08 1976-12-08 Verfahren zur Erweiterung des Schärfentiefebereiches fiber die durch die konventionelle Abbildung gegebene Grenze hinaus sowie Einrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4141032A (de)
JP (1) JPS55140805A (de)
DE (1) DE2655525C3 (de)
GB (1) GB1577194A (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6148114A (en) 1996-11-27 2000-11-14 Ultrapointe Corporation Ring dilation and erosion techniques for digital image processing
US6288782B1 (en) 1993-06-17 2001-09-11 Ultrapointe Corporation Method for characterizing defects on semiconductor wafers
US8224066B2 (en) 2007-05-29 2012-07-17 Gerd Haeusler Method and microscopy device for the deflectometric detection of local gradients and the three-dimensional shape of an object

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE455736B (sv) * 1984-03-15 1988-08-01 Sarastro Ab Forfaringssett och anordning for mikrofotometrering och efterfoljande bildsammanstellning
JPS6342122A (ja) * 1986-08-08 1988-02-23 Hitachi Ltd パタ−ン形成方法
FR2605751A1 (fr) * 1986-10-22 1988-04-29 Bioconcept Sarl Dispositif pour la mise au point automatique d'un microscope
USRE33865E (en) * 1987-07-02 1992-03-31 Massachusetts Institute Of Technology Detector for three-dimensional optical imaging
US4791490A (en) * 1987-07-02 1988-12-13 Massachusetts Institute Of Technology Detector for three-dimensional optical imaging
US4965840A (en) * 1987-11-27 1990-10-23 State University Of New York Method and apparatus for determining the distances between surface-patches of a three-dimensional spatial scene and a camera system
US5193124A (en) * 1989-06-29 1993-03-09 The Research Foundation Of State University Of New York Computational methods and electronic camera apparatus for determining distance of objects, rapid autofocusing, and obtaining improved focus images
US5231443A (en) * 1991-12-16 1993-07-27 The Research Foundation Of State University Of New York Automatic ranging and automatic focusing
US5479252A (en) * 1993-06-17 1995-12-26 Ultrapointe Corporation Laser imaging system for inspection and analysis of sub-micron particles
DE69637015T2 (de) * 1995-03-16 2007-08-16 Fei Co., Hillsboro Methode zur rekonstruktion von teilchenwellen in einer teilchen-optischen vorrichtung
DE19511475A1 (de) * 1995-03-29 1996-10-17 Tympel Ingenieurbuero F Volker Anordnung und Verfahren zur Erweiterung des Bereiches der Schärfentiefe bei optischen Abbildungen
JP3673049B2 (ja) 1997-02-04 2005-07-20 オリンパス株式会社 共焦点顕微鏡
DE10005852C2 (de) * 2000-02-10 2002-01-17 Nano Focus Mestechnik Gmbh Verfahren zur Herstellung von Höhenbildern technischer Oberflächen in mikroskopischer Auflösung
JP4937457B2 (ja) 2001-03-01 2012-05-23 オリンパス株式会社 顕微鏡制御装置、顕微鏡制御システム、顕微鏡の制御方法、プログラム、及び記録媒体
US7058233B2 (en) * 2001-05-30 2006-06-06 Mitutoyo Corporation Systems and methods for constructing an image having an extended depth of field
DE10306555A1 (de) * 2002-03-06 2003-09-18 Siemens Ag Verfahren zur Bearbeitung einer mit einem dynamischen Bildwandler, insbesondere einem Festkörperbilddetektor aufgenommenen Strahlungsbildsequenz bestehend aus mehreren nacheinander aufgenommenen Strahlungsbildern eines Untersuchungsobjekts
US7231097B2 (en) * 2003-12-16 2007-06-12 Searete, Llc Lens defect correction
US7742233B2 (en) * 2003-12-16 2010-06-22 The Invention Science Fund I, Llc Image correction using a microlens array as a unit
US7417797B2 (en) * 2003-12-16 2008-08-26 Searete, Llc Image correction using individual manipulation of microlenses in a microlens array
US7826139B2 (en) 2003-12-16 2010-11-02 The Invention Science Fund I, Llc Image correction using individual manipulation of microlenses in a microlens array
US7251078B2 (en) 2004-01-21 2007-07-31 Searete, Llc Image correction using a microlens array as a unit
US8643955B2 (en) * 2003-12-16 2014-02-04 The Invention Science Fund I, Llc Image correction using individual manipulation of microlenses in a microlens array
US7394926B2 (en) * 2005-09-30 2008-07-01 Mitutoyo Corporation Magnified machine vision user interface
US8155478B2 (en) * 2006-10-26 2012-04-10 Broadcom Corporation Image creation with software controllable depth of field
US8340455B2 (en) * 2008-03-31 2012-12-25 University Of Central Florida Research Foundation, Inc. Systems and methods for performing Gabor-domain optical coherence microscopy
US9677869B2 (en) 2012-12-05 2017-06-13 Perimeter Medical Imaging, Inc. System and method for generating a wide-field OCT image of a portion of a sample
US9924115B2 (en) 2015-09-23 2018-03-20 Agilent Technologies, Inc. Apparatus and method for three-dimensional infrared imaging of surfaces
US20190052793A1 (en) 2016-02-22 2019-02-14 Koninklijke Philips N.V. Apparatus for generating a synthetic 2d image with an enhanced depth of field of an object
WO2017144482A1 (en) 2016-02-22 2017-08-31 Koninklijke Philips N.V. System for generating a synthetic 2d image with an enhanced depth of field of a biological sample
EP3655748B1 (de) 2017-07-18 2023-08-09 Perimeter Medical Imaging, Inc. Probenbehälter zur stabilisierung und ausrichtung exzidierter biologischer gewebeproben zur ex-vivo-analyse
CN112040136B (zh) * 2020-09-23 2021-08-10 重庆邮电大学 一种基于清晰域及暗视觉的自动聚焦优化方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2513176A (en) * 1943-02-24 1950-06-27 John H Homrighous Stereoscopic television system
US3536921A (en) * 1967-03-31 1970-10-27 Texas Instruments Inc Passive control of focal distances

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6288782B1 (en) 1993-06-17 2001-09-11 Ultrapointe Corporation Method for characterizing defects on semiconductor wafers
US6661515B2 (en) 1993-06-17 2003-12-09 Kla-Tencor Corporation Method for characterizing defects on semiconductor wafers
US6148114A (en) 1996-11-27 2000-11-14 Ultrapointe Corporation Ring dilation and erosion techniques for digital image processing
US8224066B2 (en) 2007-05-29 2012-07-17 Gerd Haeusler Method and microscopy device for the deflectometric detection of local gradients and the three-dimensional shape of an object

Also Published As

Publication number Publication date
JPS55140805A (en) 1980-11-04
US4141032A (en) 1979-02-20
JPS6223513B2 (de) 1987-05-23
DE2655525A1 (de) 1978-06-15
GB1577194A (en) 1980-10-22
DE2655525B2 (de) 1978-09-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2655525C3 (de) Verfahren zur Erweiterung des Schärfentiefebereiches fiber die durch die konventionelle Abbildung gegebene Grenze hinaus sowie Einrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens
DE60003985T2 (de) Autofokusvorrichtung
DE2513027A1 (de) Automatische fokussiereinrichtung
DE2451002C3 (de) Schaltungsanordnung zur Erzeugung eines Steuersignals für eine Einrichtung zum Ermitteln der Bildschärfe von optischen Instrumenten
DE2312978C3 (de) Vorrichtung zur automatischen Fokussierung von bilderzeugenden optischen Systemen
DE3707487A1 (de) Verfahren zur autofokussierung von mikroskopen und mikroskope mit einer autofokussierung
DE19858206A1 (de) Verfahren zur individuellen Anpassung von Anregungsintensitäten bei einem Multiband-Fluoreszenz-Mikroskop und Multiband-Fluoreszenz-Mikroskop zur Durchführung des Verfahrens
DE2461202B2 (de) Verfahren zum automatischen Fokussieren des Elektronenstrahls auf die Probe eines Rasterelektronenmikroskops und Rasterelektronenmikroskop zur Durchführung des Verfahrens
DE2643809B2 (de) Verfahren zum Einjustieren eines Körpers
DE3223879C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur automatischen Scharfeinstellung einer Videokamera
DE3809816C2 (de)
DE3433697A1 (de) Automatische scharfeinstelleinrichtung
DE2942794A1 (de) Vorrichtung zur elektrischen ermittlung der scharfeinstellung eines objektivs
DE4226523B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zum automatischen Fokussieren auf Objekte
DE2615841A1 (de) Verfahren zum automatischen nachfuehren der scharfeinstellung eines mit einer fernsehkamera ausgeruesteten mikroskops
DE1564658A1 (de) Verfahren zur genauen Fokussierung der Objektivlinse eines Korpuskularstrahlmikroskops,insbesondere eines Elektronenmikroskops
EP0142751B1 (de) Röntgenstereo-Subtraktionsvorrichtung
DE2624865A1 (de) Geraet zur umsetzung von halbtonbildern in strichzeichnungen
DE10033483C1 (de) Verfahren zur Autofokussierung für Fernrohre von Vermessungsgeräten
DE2652273C2 (de) Verfahren zur bildlichen Darstellung eines Beugungsbildes bei einem Durchstrahlungs-Raster-Korpuskularstrahlmikroskop
DE102004014967B4 (de) Variolinsensystem und Verfahren zu dessen Schärfenjustierung
DE602004006182T2 (de) Gerät zur Steuerung eines Zoomobjektivs mit manueller und automatischer Fokussierung
DE2537482C3 (de) Fokussieranzeige für Objektive
DE3005043A1 (de) Automatische fokussierungsanzeigevorrichtung fuer eine kamera
DE2734191A1 (de) Schaltungsanordnung zur automatischen scharfeinstellung

Legal Events

Date Code Title Description
OAP Request for examination filed
OD Request for examination
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
8320 Willingness to grant licences declared (paragraph 23)
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: WILD LEITZ GMBH, 6330 WETZLAR, DE

8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: LEICA INDUSTRIEVERWALTUNG GMBH, 6330 WETZLAR, DE

8339 Ceased/non-payment of the annual fee