DE2621084A1

DE2621084A1 - Integrierte koppelschaltung

Info

Publication number: DE2621084A1
Application number: DE19762621084
Authority: DE
Inventors: Olivier Cahen
Original assignee: Thomson CSF SA
Current assignee: Thales SA
Priority date: 1975-05-13
Filing date: 1976-05-12
Publication date: 1976-11-25
Also published as: ES451456A1; CH615533A5; FR2311410A1; JPS51140416A; ES447845A1; FR2311410B1; GB1516033A; SE409795B; NL7605049A; IT1065875B; BE841688A; SE7605316L; US4059774A

Description

Patentanwälte

Dipl.-Ing. Dipl.-Chem. Dipl.-Ing.

E. Prinz - Dr. G. Hauser - G. Leiser

Ernsbergerstrasse 19

8 München 60

Unser Zeichen: T 2012 10.Mai 1976

THOMSON-CSF

173 Bd.Haussmann " '

2^008jParis, Frankreich

Integrierte Koppelschaltung

Die Erfindung bezieht sich auf eine in der Technik der integrierten Dünnschichtschaltungen hergestellte Koppelschaltung, mit deren Hilfe Ferngespräche durchgeschaltet oder getrennt werden können.

Es gibt derzeit zwei Verfahren der Fernsprechvermittlung, nämlich die Vermittlung im Raumkoppelfeld und die Vermittlung "im Zeitkoppelfeld.

Die Vermittlung im Zeitkoppelfeld, bei der jedem Gespräch eine Position in einem "Rahmen" zugeordnet wird, wird mit Hilfe eines Rechners durchgeführt, der die jedes Gespräch repräsentierenden Signale speichert und in der passenden Reihenfolge auf der richtigen Ader wieder zusammensetzt. Die Erfindung bezieht sich nicht auf dieses Verfahren.

Bei der Vermittlung im Raumkoppelfeld, auf die sich die Erfindung bezieht,werden Stromkreise mit Hilfe von vorzugsweise automatisiert gesteuerten Schaltern tatsächlich geöffnet

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oder geschlossen. Die vier derzeit angewendeten Hauptverfahren sind:

- mit elektromechanischen Relais (beispielsweise mit Spule und Anker),

- mit Relais mit eingeschlossenen Kontakten (Relais in Glaskolben, die als "Reed-Relais" bezeichnet werden),

- mit einer Matrix aus elektromagnetischen Relais (des Typs "Crossbar")und

- mit Halbleiter-Koppelschaltungen.

Elektromechanische Relais sind teuer; ihre Anwendung nimmt ab.

Die Matrix mit Crossbar-Kontakten ist universell eingesetzt; sie ist eine mechanische Anordnung, die kompliziert, zerbrech lieh, schwer, teuer in der Anschaffung und im Energieverbrauch sowie räumlich umfangreich (100 Kontakte pro Kübikdezimeter) ist. Das Reed-Relais wird mehr und mehr angewendet, doch erfordert es eine Verdrahtung,und es erfordert außerdem ein eigenes Bauelement für jeden Kontakt.

Halbleiterbauelemente haben gewisse Nachteile. An Transistoren tritt ein Spannungsabfall auf; Thyristoren zeigen einen grossen Energieverbrauch, und es ist noch nicht bekannt, wie Thyristoren in monolithischen integrierten Schaltungen verwirklicht werden können.

Die Erfindung weist die Nachteile der oben genannten Lösungen nicht auf.

Sie beruht auf den Eigenschaften des Materials, das hier als Wärmeleiter bezeichnet wird, das, wie bei Vanadiumoxid V0~

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einen sprunghaften Leitfähigkeitsübergang mit einer Änderung um eine Größenordnung zeigt, wenn eine gewisse Temperatur überschritten wird, die im übrigen für die Vermittlungseinrichtungen verträglich ist. Das ist bei . Vanadiumoxid VC^ der FaTL, bei dem diese Tempratur 68⁰C beträgt.

Die integrierte Vermittlungsschaltung mit Wärmeleiter ist eine Schaltung mit auf einem Substrat aufgebrachten dünnen Schichten. SLe ist dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Koppelelement vorgesehen ist, das drei Schichten enthält, nämlich eine mit einem elektrischen Widerstand behaftete Schicht, deren Enden mit ohmschen Kontakten versehen sind, eine elektrisch isolierende, wärmeleitende Schicht, und eine aus Wärmeleitermaterial bestehende Schicht, deren elektrischer Widerstand sich abhängig von der Temperatur bei einer Übergangstemperatur schnell zwischen einem Isolatorzustand und einem Leiterzustand ändert, daß die Schicht aus Wärmeleitermaterial zwei mit ohmschen Kontakten versehene Enden aufweist, und daß das Koppelelement von dem Substrat elektrisch isoliert ist, wenn das Substrat ein Leiter ist.

Die Erfindung wird nun an Hand der Zeichnung beispielshalber erläutert. Es zeigen:

Fig.1 ein Schaltsymbol der einfachsten Ausführung des erfindungsgemäßen Koppelelements,

Fig.2 eine Schnittansicht des Koppelelements,

Fig.3 ein Abschnitt einer Koppelmatrix nach der Erfindung,

Fig.4 in vergrößertem Maßstab einen Ausschnitt von Fig.3,

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Fig.5, 6, 8, 9, 10 und 11 Schaltbilder der Vermittlungsschaltung ,

Fig.7a und Fig.7b eine Draufsicht bzw. eine Schnittansicht eines Ausführungsbeispiels der Schaltung von Fig.6 und

Fig.12 eine Ansicht der Widerstandsschicht und der Wärmeleiterschicht der Schaltung von Fig.1.

Der Erfindung liegt folgendes Prinzip zugrunde:

Ein Wärmeleiter wird in einer Umgebung gehalten, in der als Folge der Temperatur (im Fall von VOp unter 68⁰C) seine Leitfähigkeit sehr gering ist und sein ohmscher Widerstand einen sehr großen Wert von mindestens einigen tausend Ohm hat. Dies ist der Sperrzustand der Vermittlungsschaltung. Zur Überführung in den Durchlaßzustand, d.h. zur Erzielung einer Durchschaltung oder in anderen Worten zur Herstellung einer Verbindung zwischen den mit ohmschen Kontakten versehenen Enden des Wärmeleiters wird an die Enden eines thermischen Widerstandes eine elektrische Spannung angelegt, die auf Grund des Joule-Effekts eine schnelle Erwärmung des Widerstandes und durch Wärmeleitung durch eine dünne Isolierschicht auch eine schnelle Erwärmung des Wärmeleiters hervorrufen kann. Die Durchschaltung erfolgt auf Grund des sprunghaften Übergangs der Leitfähigkeit im Material des Wärmeleiters, das von einem hohen Widerstand zu einem sehr kleinen Widerstand von beispielsweise einem kleinen Bruchteil eines Ohms übergeht. Diese Verbindung kann aufrechterhalten werden, indem im Widerstand ein Haltestrom beibehalten wird.

Die einfachste Ausführungsform der Koppelschaltung enthält auf einem Substrat ein Widerstandselement, das thermisch mit einem Wärmeleiterelement gekoppelt ist. Diese Schaltung ist in Fig.1 folgendermaßen symbolisch dargestellt:

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- ein Kreis 11 gibt das Widerstandselement an;

- ein Kreuz 12 gibt das Wärmeleiterelement an.

In Fig.2 ist in einem Teilschnitt die technologische Verwirklichung dieser thermischen Kopplung dargestellt. Auf einem Substrat 10, das beispielsv/eise aus einem Leitermetall besteht, befinden sich nacheinander eine Isolierschicht 13, eine mit einem elektrischen Widerstand behaftete Schicht 11, die beispielsweise aus Tantal besteht, eine weitere Isolierschicht 14, eine wärmeleitende Schicht 12 aus Vanadiumoxid und schließlich eine letzte Isolierschicht 15. Die Eingangs- und Ausgangselektroden der Schichten 11 und 12 sind nicht dargestellt. Die Anordnung kann ausgehend· vom Substrat durch aufeinanderfolgendes Aufdampfen von Belägen oder durch Katodenzerstäubung hergestellt v/erden. Insbesondere kann Vanadiumoxid durch das zuletzt genannte Verfahren aufgebracht werden. Alle Schichten können zur Bildung der Form der Widerstände und der Elektroden photolithographisch behandelt werden. Die thermische Kopplung ist für die übereinanderliegenden Schichten auch durch eine Isolierschicht sehr stark. Im Gegaisatz dazu ist die thermische Kopplung in seitlicher Richtung stark reduziert. Die dem Substrat am nächsten liegende Schicht kann entweder die Widerstandsschicht oder die Wärmeleiterschicht sein.

Die Dünnschichttechnologie ermöglicht es, für jedes Material eine Dicke zwischen 0,01 und 1yum und für die Widerstände und den Wärmeleiter das Verhältnis von Länge zu Breite auszuwählen. Der Wert der Widerstände kann auf diese Weise der Versorgungsspannung angepaßt werden, wenn deren Wert vorgegeben ist.

Zum Überführen einer auf einem Substrat angebrachten Wärmeleiterschicht von der Umgebungstemperatur auf eine Übergangstemperatur wie die von VO₂ von 68⁰C genügen einige Milliwatt,

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auch wenn das Substrat ein guter Wärmeleiter ist.

Die Qualität des Kontakts im Durchlaßzustand ist ausgezeichnet; insbesondere ist sein Widerstand niedrig und es tritt kein Spannungsabfall auf.

Auch die Qualität der Trennung im Sperrzustand ist ausgezeichnet; das Widerstandsverhältnis liegt in der Größenordnung von 10 , und der Schutz gegen Übersprechen mit einem einzigen Serienkontakt beträgt 60 dB. Wenn die Serienkontakte verdoppelt sind, liegt der Schutz noch höher, nämlich in der Grössenordnung von 100 dB.

Eine Matrixanordnung aus Koppelpunkten kann auf einem einzigen Substrat gebildet werden, in dem eine erste Stufe mit einer Matrix aus Widerständen und eine zweite Stufe mit einer Matrix der gleichen Anordnung aus Wärmeleitern übereinander angeordnet werden. In Fig.3 ist eine auf einem Substrat 20 angebrachte Matrix aus Widerständen 23 dargestellt. Diese Widerstände sind an den Kreuzungspunkten der vierZeilen 21 und der vier Spalten 22 angeordnet, die j^ewei.IL^s mit Steuerspannungen mit umgekehrter Polarität (beispielsweise _+ 6 Volt) versorgt v/erden. Diese Zeilen und Spalten werden mittels Metallisierungsstreifen hergestellt, die mit Hilfe photolithographischer Verfahren in einem Harzmaterial auseinandergeschnitten werden, dis mit Hilfe eines chemischen Mittels entfernt v/erden kann. An den Kreuzungspunkten 24 ist zur Vermeidung des elektrischen Kurzschlusses zwischen der Zeile und der. Spalte eine dünne Schicht aus Isoliermaterial, beispielsweise durch Maskierung und Katodenzerstäubung von Siliziumoxid dazwischengefügt.

Fig.4 zeigt die unteren Schichten (Metallisierung und Widerstand) eines Kreuzungspunktes in stark vergrößertem Maßstab. Es ist eine Isolatioiiszone 241 zu erkennen, die einen Teil der Spaltenmetallisierung überdeckt. Der Widerstand ist von einer abgegrenzten Tantalschicht 230 gebildet, die an beiden Enden

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der den Widerstand abgrenzenden rechtwinkligen Zone mit Metallisierungen 231 und 23² bedeckt ist, die lediglich · Verlängerungen der Anschlußmetallisierungen an die Zeilen und die.Spalten sind. .· ·

Die die zweite Stufe der Matrixanordnung der Koppelpunkte darstellende Wärmeleitermatrix ist nicht dargestellt. Diese Stufe würde mit Hilfe des gleichen Verfahrens hergestellt, das für die Widerstandsmatrix beschrieben worden ist.'Die auf diese Weise gebildete zweistufige Matrix ist eine echte Koppelmatrix.

Bei Betrachtung der Koppelschaltung von Fig.1, die als elementares Koppelelement bezeichnet werden kann, wird nun die Ausgangsbelastbarkeit der äquivalenten Logikschaltung untersucht. Wenn zwischen den Enden L und M (Fig.1) des Widerstandes 11 eine Potentialdifferenz V angelegt wird, dann sind die Klemmen P und Q des Wärmeleiters kurzgeschlossen. Wenn im Gegensatz dazu die zwei Enden L und M kurzgeschlossen werden, sind die Klemmen P und Q des mit dem Widerstand 11 gekoppelten Wärmeleiters nicht miteinander verbunden, und die Potentialdifferenz V kann an ihnen auftreten. Das Verhältnis der Widerstände des Wärmeleiters 12 im offenen Zustand und im geschlossenen Zustand ist derart, daß an ihm die Potentialdifferenz V erscheinen kann, was bis zu mehreren Dutzenden von Widerständen 11, die parallel zu den Anschlüssen P und Q geschältet sind, unabhängig von deren Anzahl gilt. D.h. mit anderen Worten, daß die Ausgangsbelastbarkeit der logischen.. Grundschaltung sehr hoch ist.

In Fig.5 ist eine durch Zusammenschaltung von zwei elementaren Koppelelementen gebildete Vermittlungsschaltung dargestellt. Das erste, links dargestellte Koppelelement enthält einen Widerstand 41 mit Anschlußklemmen L und M sowie einen Wärmeleiter Ϊ1 mit

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Anschlußklemmen P und Q; das zweite, rechts dargestellte Koppelelement enthält einen Widerstand 42 mit den Anschlußklemmen M und N und einen Wärmeleiter Tp mit Anschlußklemmen Q und R. Es ist zu erkennen, daß die Widerstände und die Wärmeleiter der zwei Koppelelemente in Serie geschaltet sind.

Wie es in der Digitaltechnik üblich ist, sind die möglichen Zustände der Anschlußklemmen L, M, N, P, Q und R mit "1" und "O" bezeichnet. Der Zustand "1" entspricht in der folgenden Beschreibung vereinbarungsgemäß dem positiven Potential der Gleichspannungsversorgungsquelle der Logikschaltung, und. ¹¹O" bezeichnet das negative Potential oder Masse.

Die Gleichung L=M drückt aus, daß L den Wert "1" und M den Viert "0" hat oder . umgekehrt, wie es in der binären Algebra üblich ist.

Aus Fig.5 ist ersichtlich, daß:

- bei L=M gilt: Q=P; und

- bei M=N gilt: Q=R.

Die Kombination L=M=N ist nicht erlaubt, da diese Kombination P=Q=R vorschreibt (Kurzschluß der Versorgungsquelle ). Wenn sich zwei dieser Werte aus anderen logischen Kombinationen ergeben, kann eine Verschlechterung der Schaltung eintreten. Zur Beseitigung dieses Nachteils können Schutzwiderstände angebracht werden, die nur im Fall "falsch" der Logikschaltung wirksam werden.

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Die Kombination L=M=N ist unwirksam; tatsächlich ist in diesem Fall der Wert von Q unbestimmt und somit unbrauch-bar. Die Werte yon L und N müssen also entgegengesetzt sein: L = W.D.h. in anderen Worten, daß zwei Steuerwiderstände nur in Serie geschaltet werden können, wenn die äußeren Anschlußklemmen der Anordnung ständig entgegengesetzte Spannungen empfangen.

In Fig. 6 ist ein ." Negator dargestellt, der ein Anwendungsfall der zuvor beschriebenen Schaltung ist, wobei vorgeschrieben ist:

P=L=I und R=N=O,

Bei M=O wird Q = 1 erhalten und bei M = 1 wird umgekehrt Q=O erhalten, was mit anderen Worten bedeutet, daß stets Q=M gilt, was die Negierungsfunktion kennzeichnet.

In Fig.7 ist schematiseh in der Draufsicht Ca) und in der Schnittansicht (b) ein Substrat dargestellt,auf dem der Negator von Fig.6 gebildet ist. Zur Verdeutlichung der Zeichnung ist über den wärmeleitenden Streifen T1 und T2 keine Isolierschicht dargestellt worden, so daß die wärmeleitenden Streifen an der Oberfläche erscheinen. Auf dem Substrat 60 befinden sich nacheinander eine Isolierschicht 61 und ein durchgehender Streifen aus Widerstandsmaterial, der die zwei Widerstände 51 und 52 der Negatorschaltung bildet. Am gemeinsamen Punkt dieser zwei Widerstände ist eine Metallisierung längs eines Streifens 62 aufgebracht, der mit einer Anschlußklemme M verbunden ist, die aus einer die Widerstände bedeckenden Isolierschicht 63 heraustritt. Streifen aus Wärmeleitermaterial T. und T₂ sind in Form von Rechtecken aufgebracht, deren zueinander ρ arallele lange Seiten senkrecht zur Mittelebene längs der

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s- 1Q -

Linie 3CX verlaufen. Ein Metallisierungstreifen 66 verfeindet die zwei kurzen Seiten der Streifen, so daß er eine Anschlußklemme Q des Negators bildet. Diese kreuzweise Anordnung des Widerstandes und des Wärmeleiters, der mit ihm gekoppelt ist, soll die praktische Herstellung der Anordnung vereinfachen, doch führt sie praktisch zu keiner Beeinträchtigung der thermit sehen Kopplung. Die mit "+" und "-" bezeichneten Vorspannungsklemmen sind auf Metallisierungen 64 und 65 angebracht, die die freien Enden der Streifen 51 und 52 durch die Isolierschicht 63 mit den freien Enden der Streifen T, bzw. T« verbinden.

In Fig.8 ist in schematischer Form eine Logikschaltung dargeetellt, die mit Hilfe von zwei Negatoren gebildet ist, wfe SjB in Fig.6 dargestellt sind; diese Negatoren werden parallel aus einer Gleichspannungsquelle (mit den Klemmen + und - ) mit einem anderen Anschluß: für die Wärmeleiter versorgt (siehe Fig.8). Wenn mit A und B die Eingänge an den Mittelpunkten M_-. und Mp der Negatoren und mit S der Ausgang am Punkt Qp zwischen den Wärmeleitern des zweiten Negators bezeichnet werden, dann gilt folgende Logikfunktion :

S =■■ FB - · ·

mit den gleichen Vereinbarungen, die oben im Zusammenhang mit der Beschreibung von Fig.5 bei positiver Logik festgelegt worden sind. In negativer Logik ergibt sich die Funktion S = A*B,

Es ist bekannt, daß mit Hilfe von Negatoren praktisch jede beliebige Logikfunktion verwirklicht werden kann. Folglich kam die Erfindung zur Verwirklichung logischer Schaltungen auf einem Substrat angewendet werden, die unterschiedliche Funktionen verkörpern, die auch sehr kompliziert sein können.

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In Fig.9 ist ein erstes Ausführungsbeispiel einer Koppelschaltung mit einfachem Koppelpunkt dargestellt, der eine Verbindung zwischen einem Leiter L und einem Leiter C herstellt, wobei diese Leiter beispielsweise die Leiter repräsentieren, die jeweils an eine Zeile (L) und eine Spalte (C) einer Koppelmatrix einer Fernsprechzentrale angeschlossen sind.

Der Koppelpunkt hat die Form eines T mit drei Wärmeleiterelementen Tj, T₂ und T, ( wobei T, den in der Mitte zwischen den Wärmeleiterelementen T^ und Tp liegenden Punkt Q mit Masse verbindet). Die Heizwiderstände der Wärmeleiterelemente T^ und Tp sind parallel an den Pluspol der Gleichspannungsversorgung und an einen mit einer Koppelsteuerklemme K verbundenen Mittelpunkt M angeschlossen. Der Heizwiderstand des Wärmeleiterelements T, liegt zwischen dem Minuspol und der Klemme K.

Es ist leicht zu erkennen, daß

- bei K = 0 ( Minuspol) LC leitend ist und

- bei K = 1 (Pluspol ) LC bei an Masse liegendem Punkt Q

gesperrt ist.

In Fig.10 ist ein zweites Ausführungsbeispiel der Koppelschaltung dargestellt, die mit "angepaßter Koppelpunkt" bezeichnet wird; bei dieser Schaltung können die Leiter L und C für den Fall, daß LC gesperrt ist, über einen Widerstand R an Masse gelegt werden, dessen Wert gleich dem mittleren Wert des Wellenwiderstandes der durchzuschaltenden leitungen(oder gleich der Hälfte dieses Wellenwiderstandes bei symmetrischer Behandlung dieser zwei Leiter bezüglich Masse) ist. Zusätzlich zu den drei Wärmeleiterelementen von Fig.9 sind zwei weitere Wärmeleiterelemente T^

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und Tc vorhanden, die die Verbindung über R₂ mit Hilfe von Widerständen herstellen, die parallel zu den Widerständen des Wärmeleiterelements T₇ liegen. Die Steuerklemme K stimmt mit der Klemme in der vorhergehenden Figur überein. Die Widerstände können auf dem gemeinsamen Substrat der Schaltung integriert sein.

In Fig.11 ist ein Beispiel einer Halteschaltung dargestellt, die mit Hilfe von zwei Logikeingängen A und B für einen Koppelpunkt dessen Zustand aufrechterhalten oder ändern kann, dessen Klemme K mit dem Ausgang derHalteschaltung zusammenfällt. Diese Schaltung enthält zwei in Kaskade geschaltete Negatoren, die so aufgebaut sind, wie das Schaltbild von Fig„11 zeigt. Wie leicht zu erkennen ist, ergibt sich folgendes:

- Aufrechterhaltung des jeweils vorherigen Zustandes, wenn: A = B = O,

- Übergang vom Sperrzustand in den Durchlaßzustand, wenn: A = 1 und B=O und

- Übergang vom Durchlaßzustand in den Sperrzustand, wenn:

Die Vorteile der erfindungsgemäßen. Koppelpunkte und Koppelschaltungen beruhen auf den inneren Eigenschaften des in Fig.1 dargestellten thermischen Relais, das im wesentlichen durch Übereinanderlagerung eines Elements aus einer Widerstandsschicht und eines Elements aus einer Wärmeleiterschicht gebildet ist. In Fig.12 sind diese zwei Elemente vervollständigt durch die AnschlußeleKtroden dargestellt, nämlich mit Anschlußelektroden 111 und 112 für das Widerstandselement 11 und mit Anschlußelektroden 121 und 122 für das Wärmeleiterelement 12.

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Die auf die Fernsprechvermittlung angewendete Erfindung ermöglicht die Durchschaltung von Signalen mit sehr großem Frequenzband. Sie kann auch zur Verteilung von Fernsehsignalen über Kabel angewendet werden.

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Claims

Patentansprüche

1. Integrierte Koppelschaltung mit auf ein<§m Substrat angebrachten dünnen Schichten, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Koppelelement vorgesehen ist, das drei Schichten enthält, nämlich eine mit einem elektrischen Widerstand behaftete Schicht,'deren Enden mit ohmschen Kontakten versehen sind,

- eine elektrisch isolierende wärmeleitende Schicht und eine aus Wärmeleitermaterial bestehende Schicht, deren elektrischer Widerstand sich abhängig von der Temperatur bei einer Übergangstemperatur schnell zwischen einem. Isolatorzustand und einem Leiterzustand ändert, daß die Schicht als Wärmeleitermaterial zwei mit ohmschen Kontakten versehene Enden aufweist, und daß das Koppelelement von dem Substrat elektrisch isoliert ist, wenn das Substrat ein Leiter ist.

2. Koppelschaltung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch ein erstes Koppelelement mit einer Widerstandsschicht (51, Fig.6) und einer Wärmeleiter schicht (T..), ein zweites Koppelelement mit einer Widerstandsschicht (52) und einerWärmeleiterschicht (T₂), eine die zwei Endanschlüsse der Widerstandsschichten verbindende gemeinsame Klemme (M) und eine die zwei Endanschlüsse der Wärmeleiterschichten verbindende gemeinsame Klemme (Q) , wobei die verfügbaren Klemmen für die Widerstandsschichten (51) und die WärmeleiterschichtiT..) an einen

"Poleiner Gleichspannungsversorgung und für die Widerstandsschicht (52) und die Wärmeleiterschicht (Tp) an den anderen Pol der Gleichspannungsversorgung angeschlossen sind, und wobei die Schaltung einen Negator mit einem Eingang Q und einem Ausgang M bildet.

3. Koppelschaltung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein erstes, ein zweites und ein drittes Koppelelement vorgesehen sind, die jeweils Wärmeleiterschichten (T^, Fig.9J T_?; T,) enthalten, daß die Wärmeleiterschichten eine gemeinsame

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Klemme (Q) aufweisen, daß die zugehörigen Widerstände eine gemeinsame Klemme (M) aufweisen, daß die verfügbaren Klemmen der Wärmeleiterschichten (T^, T₂ und T^) jeweils an einen Leiter (L), einen Leiter(C) und an Masse angeschlossen sind, daß die verfügbaren Klemmen der den Wärmeleiterschichten (T , T₂ ) zugeordneten Widerstände an einen Pol einer Gleichspannungsversorgung angeschlossen sind und daß die verfügbare Klemme des der Wärmeleiterschicht (T,) zugeordneten Widerstandes an den anderen Pol der Gleichspannungsversorgung angeschlossen ist, wobei die Schaltung so ausgebildet ist, daß sie die Leiter (L) und (C) dadurch verbinden oder trennen kann, daß die Klemme (Q) beim Anlegen unterschiedlicher Polaritäten an die'Klemme (M) an Masse gelegt wird.

4. Koppelschaltung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß ein viertes und ein fünftes Koppelelement vorgesehen sind, die die Leiter (L) und (C) über einen auf dem gleichen Substrat wie die Schaltung integrierten Widerstand an Masse legen können.

5. Koppelschaltung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine Halteschaltung vorgesehen ist, die zwei in Kaskade geschaltete Negatoren enthält.

6. Koppelmatrix, gekennzeichnet durch eine erste Stufe mit einer Widerstandsmatrix und eine zweite Stufe mit einer Matrix aus zugeordneten Wärmeleiterelementen, wobei die zwei Stufen auf dem gleichen Substrat integriert sind.

7. Koppelmatrix nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß Zeilen- und Spaltenleiter vorgesehen sind, die sich an Punkten überkreuzen, an denen sie durch Ablagerungen von Isoliermaterial voneinander getrennt sind.

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8. Logikschaltung., dadurch gekennzeichnet, daß sie Koppelschaltungen nach einem der Ansprüche 1 bis 5 enthält.

9. Logikschaltung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß sie auf dem gleichen Substrat integrierte Negatoren enthält.

10. Koppelschaltung oder Koppelmätrix nach den Ansprüchen 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Wärmeleitermaterial Vanadiumdioxid ist.

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ORIGINAL INSPECTED

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