DE2558335C3 - Verfahren zum Ätzen von Öffnungen in dünnen Metallbändern - Google Patents
Verfahren zum Ätzen von Öffnungen in dünnen MetallbändernInfo
- Publication number
- DE2558335C3 DE2558335C3 DE19752558335 DE2558335A DE2558335C3 DE 2558335 C3 DE2558335 C3 DE 2558335C3 DE 19752558335 DE19752558335 DE 19752558335 DE 2558335 A DE2558335 A DE 2558335A DE 2558335 C3 DE2558335 C3 DE 2558335C3
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- openings
- layer
- tape
- recesses
- etchant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000005530 etching Methods 0.000 title claims description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 9
- 241000206672 Gelidium Species 0.000 claims description 6
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 claims description 6
- 108010059642 isinglass Proteins 0.000 claims description 6
- 229910052627 muscovite Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 claims description 5
- CYTYCFOTNPOANT-UHFFFAOYSA-N Ethylene tetrachloride Chemical group ClC(Cl)=C(Cl)Cl CYTYCFOTNPOANT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229950011008 tetrachloroethylene Drugs 0.000 claims description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 2
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 claims description 2
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 4
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 3
- 235000011121 sodium hydroxide Nutrition 0.000 description 2
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Ätzen von öffnungen in dünnen Metallbändern, bei dem
das Band auf beiden Seiten mit einer gegen Ätzmittel beständigen Schicht überzogen wird, die mit einem
gewünschten Muster von öffnungen versehen ist, wonach eine erste der beiden Seiten des Bandes mit
einer ununterbrochenen, ebenfalls gegen Ätzmittel beständigen Deckschicht überzogen und dann das Band
zur Bildung von ersten Ausnehmungen auf der zweiten, nicht mit der genannten Deckschicht überzogenen Seite
des Bandes mit einem Ätzmittel behandelt wird, worauf die Deckschicht mit einem Lösungsmittel entfernt und
dann das Band zur Bildung von zweiten Ausnehmungen auf der ersten Seite des Bandes mit einem Ätzmittel
derart behandelt wird, daß die ersten und zweiten Ausnehmungen ineinander übergehen und öffnungen in
dem Band bilden.
Ein derartiges Verfahren ist aus der US-Patentschrift
27 50 524 und aus der DT-OS 16 21 466 bekannt und wird z. B. zur Ätzung von öffnungen in einer Metallfolie
verwendet, die zur Herstellung einer Lochmaske für eine Farbfernsehbildröhre Anwendung findet. Um
sicherzustellen, daß die öffnungen das gewünschte Profil erhalten, wird bei dem bekannten Verfahren
zunächst eine der beiden Seiten des Bandes geätzt, wobei auf der anderen Seite eine Deckschicht
angebracht ist, wonach die öffnungen auf der anderen Seite durchgeätzt werden.
Bei dem bekannten Verfahren läßt sich schwer eine geeignete Zusammensetzung für die auf der ersten Seite
des Bandes angebrachte Deckschicht sowie für das Lösungsmittel für diese Deckschicht finden. Weder die
Deckschicht noch das Lösungsmittel für diese Schicht dürfen nämlich die mit öffnungen versehene, gegen
Ätzmittel beständige Schicht angreifen. Die letztere Schicht besteht im allgemeinen aus lichtempfindlichem
Fischleim, der vor Belichtung wasserlöslich ist und nach Belichtung und Ausheizung mit Natronlauge entfernt
werden kann.
Die Erfindung bezweckt, eine Deckschicht und ein Lösungsmittel für die Deckschicht zu schaffen, die
insbesondere in Vereinigung mit einer Fischleimschicht verwendet werden können.
Nach der Erfindung soll dazu die Deckschicht aus einem wachsartigen Kohlenwasserstoff und das Lösungsmittel
aus Perchloräthylen bestehen,
Versuche mit einer Vielzahl von Stoffen für die
Versuche mit einer Vielzahl von Stoffen für die
ίο Deckschicht haben ergeben, daß die optimale Kombination
mit einem wachsartigen Kohlenwasserstoff und Perchloräthylen erhalten wird. Dabei war es vor allem
wichtig, daß sich die Deckschicht entfernen läßt, ohne daß Reste zurückbleiben, weil sonst eine oder mehrere
der öffnungen in dem Muster von öffnungen verstopft
werden könnten.
Die Erfindung wird nachstehend für ein Ausführungsbeispiel an Hand der Zeichnung näher erläutert, in der
jede der Figuren einen Teil einer Metallfolie in
aufeinanderfolgenden Bearbeitungsstufen zeigt.
In F i g. 1 ist die Metallfolie 1 mit zwei Schichten 2 und 3 versehen, die gegen Ätzmittel beständig sind und mit
je einem Muster von öffnungen wie 4, 5, 6 und 7 versehen sind. Die öffnungen 4 und 6 liegen, gleich wie
die öffnungen 5 und 7, übereinander. Die Schichten 2
und 3 bestcheu aus Fischleim, in dem die öffnungen 4,5,
6 und 7 durch ein bekanntes photographisches Verfahren angebracht sind.
In Fig.2 ist die Schicht 2 mit einer Schicht 8
überzogen, die auch die Öffnungen 4 und 5 abdeckt. Die Schicht 8 besteht aus einem wachsartigen Kohlenwasserstoff,
der die Fischleimschicht 2 nicht angreift, und wird mit Hilfe einer Lösung von Ib kg »Apiezon«-
Wachs in 1001 Perchloräthylen angebracht. »Apiezon« ist das Handelswarenzeichen der Firma Apiezon
Products Ltd. in England für wachsartige Kohlenwasserstoffe. Das verwendete Wachs kann z. B. vom Typ
»Apiezon W« sein.
Anschließend wird ein Ätzmittel auf die Folie 1 mit den Schichten 2, 3 und 8 gespritzt und werden, wie in F i g. 3 dargestellt ist, über die öffnungen 6 und 7 in der Schicht 3 in die Folie 1 die Ausnehmungen 9 und 10 geätzt. Die Tiefe der Ausnehmungen 9 und 10 ist etwa zwei Drittel der Dicke der etwa 0,150 mm dicken Folie 1.
Anschließend wird ein Ätzmittel auf die Folie 1 mit den Schichten 2, 3 und 8 gespritzt und werden, wie in F i g. 3 dargestellt ist, über die öffnungen 6 und 7 in der Schicht 3 in die Folie 1 die Ausnehmungen 9 und 10 geätzt. Die Tiefe der Ausnehmungen 9 und 10 ist etwa zwei Drittel der Dicke der etwa 0,150 mm dicken Folie 1.
Dann wird, wie in F i g. 4 dargestellt ist, die Schicht 8 von der Schicht 2 und aus den öffnungen 4 und 5 mit
Hilfe eines Lösungsmittels entfernt. Dieses Lösungsmittel ist wieder Perchloräthylen, das den wachsartigen
Kohlenwasserstoff löst, ohne daß Reste zurückbleiben, aber den Fischleim der Schichten 2 und 3 nicht angreift.
Danach wird die Folie wieder mit dem Ätzmittel bespritzt, wodurch über die öffnungen 4 und 5 die
Ausnehmungen 11 und 12 in die Folie geätzt werden, wie in F i g. 5 dargestellt ist. Die Ausnehmungen 9 und
10 werden dabei außerdem etwas vergrößert. Die Ausnehmungen 11 und 12 münden in die Ausnehmungen
9 bzw. 10.
Nach Entfernung der Schichten 2 und 3 mit Natronlauge ist die Folie dann mit den in Fig.6
gezeigten Öffnungen 13 und 14 versehen, die die gewünschte Form aufweisen, z. B. derart, daß sie auf der
beim Betrieb einer Maskenröhre von den Elektronenstrahlen getroffenen Seite schmal und auf der
Schirmseite der Röhre breit sind.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (1)
- Patentanspruch:Verfahren zum Ätzen von öffnungen in dünnen Metallbändern, bei dem das Band auf beiden Seiten mit einer gegen das Ätzmittel beständigen Schicht überzogen ist, die mit einem gewünschten Muster von Öffnungen versehen ist, wonach eine erste der beiden Seiten des Bandes mit einer ununterbrochenen, ebenfalls gegen das Ätzmittel beständigen Schicht überzogen und dann das Band zur Bildung von ersten Ausnehmungen auf der zweiten, nicht mit der genannten Deckschicht überzogenen Seite des Bandes mit einem Ätzmittel behandelt wird, worauf die Deckschicht mit einem Lösungsmittel entfernt und dann das Band zur Bildung von zweiten Ausnehmungen auf der ersten Seite des Bandes mit einem Ätzmittel derart behandelt wird, daß die ersten und zweiten Ausnehmungen ineinander übergehen und Öffnungen in dem Band bilden, dadurch gekennzeichnet, daß die mit dem Muster von öffnungen versehenen Schichten (2, 3) aus Fischleim bestehen, die Deckschicht (8) aus einem wachsartigen Kohlenwasserstoff besteht und als Lösungsmittel für die Deckschicht Perchloräthylen verwendet wird.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL7500247A NL7500247A (nl) | 1975-01-09 | 1975-01-09 | Werkwijze voor het etsen van openingen in een dunne metalen band. |
| NL7500247 | 1975-01-09 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE2558335A1 DE2558335A1 (de) | 1976-07-15 |
| DE2558335B2 DE2558335B2 (de) | 1976-12-23 |
| DE2558335C3 true DE2558335C3 (de) | 1977-08-25 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE2628099C2 (de) | Verfahren zum Herstellen einer Maske | |
| DE2624832C3 (de) | Verfahren zum Herstellen von Lackmustern | |
| DE2424338A1 (de) | Verfahren zum aufbringen von mustern duenner filme auf einem substrat | |
| DE2454199C2 (de) | ||
| DE2723465C2 (de) | Maske zum Aufbringen eines Musters auf ein Substrat und Verfahren zu ihrer Herstellung | |
| DE2119527A1 (de) | Verfahren zum Atzen eines Films | |
| DE2752378C2 (de) | ||
| DE2727013A1 (de) | Stanzstempel und verfahren zur herstellung desselben | |
| DE2432719B2 (de) | Verfahren zum erzeugen von feinen strukturen aus aufdampfbaren materialien auf einer unterlage und anwendung des verfahrens | |
| DE2802976B1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Durchbruechen (Loechern) in Glasplatten,vorzugsweise mit feinsten Strukturen | |
| DE2532048A1 (de) | Verfahren zum herstellen eines mit oeffnungen versehenen werkstuecks | |
| DE19516226A1 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Lochmaske | |
| DE2432602A1 (de) | Verfahren zur bildung von oeffnungen in einem duennen metallband und durch dieses verfahren hergestellte lochmaske fuer eine farbfernsehbildroehre | |
| DE2558335C3 (de) | Verfahren zum Ätzen von Öffnungen in dünnen Metallbändern | |
| DE2558335B2 (de) | Verfahren zum aetzen von oeffnungen in duennen metallbaendern | |
| DE893147C (de) | Verfahren und Apparat zur Tiefaetzung, vorzugsweise von Klischees | |
| DE2225366A1 (de) | Verfahren zum Entfernen von Vor Sprüngen an Epitaxie Schichten | |
| CH642401A5 (de) | Verfahren zum gravieren von werkstueckflaechen durch aetzen. | |
| DE3225206C1 (de) | Verfahren zum einseitigen Ätzen von Platten | |
| DE69725391T2 (de) | Herstellungsverfahren einer Schattenmaske | |
| DE4425709C2 (de) | Verfahren zum Herstellen einer Schlitzmaske | |
| AT128822B (de) | Verfahren zur Herstellung von Gravierungen mit Hilfe des Sandstrahles, insbesondere auf Glas u. dgl. | |
| DE3618768C1 (en) | Process for producing punching steel sheets, in particular paper-punching steel sheets | |
| DE1954153C3 (de) | Verfahren zum Herstellen eines eine Vielzahl von Leuchtstoffelementen aufweisenden Leuchtschirmes | |
| DE2201129C3 (de) | Verfahren und Maske zur Herstellung von strukturierten Schichten |