DE2512468A1 - Elektronenmikroskop mit energieanalysator - Google Patents
Elektronenmikroskop mit energieanalysatorInfo
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- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 15
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 9
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 claims 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 6
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000005686 electrostatic field Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 230000004304 visual acuity Effects 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
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Description
Elektronenmikroskop mit Energieanalysator,
Die Erfindung betrifft ein Elektronenmikroskop mit einer Quelle mit erhöhter Emissionsdichte,
einem elektronenoptischen linsensystem, einem Energieanalysator und einem Elektronendetektor.
Ein derartiges Elektronenmikroskop ist z.B. aus dem Journal of Applied Physics, Band 39»
Nr. 13, Seiten 586I...5868 Crewe u.a. bekannt. In der dort beschriebenen Anordnung wird für die Energieanalyse
ein elektrostatischer Analysator benutzt, Das System ist dadurch nicht geradsichtig, wenig einstellbar
und die Durchstrahlung der Anordnung ist bei ausreichender Auflösung in der Energieanalyse zu
be s ehränkt.
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PHN.
28.ΐ.1975.
-Z-
Es ist die Aufgabe der Erfindung, ein
Elektronenmikrosk'op zu schaffen, in dem die Geradsichtigkeit
des elektronenoptischen Systems erhalteil bleibt und die Energieanalyse mit grösserer Präzision und mit
hoher Durchstrahlung vom System durchgeführt werden kann. Ein Elektronenmikroskop der eingangs erwähnten
Art ist dazu erfindungsgemäss dadurch gekennzeichnet, dass der Energieanalysator aus einem Wien-Filter mit
hinzugefügter Vierpollinse zur Vergrösserung einer Abbildung in der Dispersionsrichtung und einer Strahlablenkungsanordnung
zum Verschieben der Abbildung in der Dispersionsrichtung über einen Spalt aufgebaut
ist, der in einer Bildebene des Analysators angeordnet ist und hinter dem sich der Elektronendetektor befindet.
In einem aktiven Wien-Filter herrscht in einem Feldraum ein homogenes Magnetfeld und ein homogen elektrostatisches
Feld, welche Kraftfelder senkrecht aufeinander stehen und beide quer zu einer Hauptrichtung für einen
durch den Feldraum gehenden, zu analysierenden Elektronenstrahl gerichtet sind. Auf die Elektronen wirken
im Feldraum zwei entgegengesetzt gerichtete Kräfte,ein,
die sich für eine einstellbare Elektronengeschwindigkeit (V ) gerade beheben, von denen jedoch bei abweichender
Elektronengeschwindigkeit eine ablenkende Resultante auf die Elektronen einwirkt.
Es sei.bemerkt, dass das Anwenden des Wien-Filters in einem Elektronenmikroskop an sich
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bekannt ist (siehe zum Beispiel die niederländische Patentanmeldung 70 12 388). Darin hat das Wien-Filter
jedoch eine abweichende Funktion, wobei ein Abbildungsfeld des Elektronenmikroskops als Gegenstand auftritt,
und der Elektronenstrahl muss beim Passieren des Wien-Filters verzögert werden, um eine ausreichende Auflösung
zu erreichen.
An Hand der Zeichnung wird nachstehend ein erfindungsgemässes Ausführungsbeispiel näher erläutert.
Es zeigen
Fig. 1 eine skizzenhafte Wiedergabe einer bevorzugten Ausführungsform eines Elektronenenergieanalysators
mit einem Strahlengang in einer X-Richtung gesehen,
Fig. 2 die bevorzugte Ausführungsform
nach Fig. 1, jetzt jedoch in einer Y-Richtung gesehen
und quer zur X-Richtung gerichtet, und
Fig. 3···5 den Strahlengang in einem Elektronenmikroskop
mit einem erfindungsgemässen Energieanalysator
für verschiedene Einstellungen des Elektronenmikroskops.
In Fig. 1 sind, in einem Strahlquerschnitt in einer X-Richtung gesehen, die mit einer Dispersionsrichtung des Analysators eines Elektronenmikroskops
zusammenfällt, eine Projektorlinse 1, ein Auffangschirm
2 mit einer Öffnung 3 dargestellt. In der Bewegungsrichtung eines Elektronenstrahles 4 gesehen
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befindet sich in diesem Elektronenmikroskop, das sowohl ein Durchstrahlungselektronenmikroskop (TEM) als auch
ein Rasterelektronenmikroskop (SEM) oder eine Kombination (STEM = Durchstrahlungs-Rastermikroskop) beider
Typen von Elektronenmikroskopen sein kann, und das vorzugsweise mit einer Feldemissions-Elektronenquelle
ausgerüstet ist, hinter dem Auffangschirm 2 ein Energieanalysator. Der Energieanalysator enthält ein Wien-Filter
5, das aus nicht getrennt dargestellten elektromagnetischen und elektrostatischen Elementen aufgebaut ist.
Ein derartiges Wien-Filter ist allgemein bekannt und zum Beispiel in der British Journal of Applied Physics,
Band 18, Seiten 1573 ... 1579, beschrieben. Das Wien-Filter
5 ist mit einer yierpollinse 6 und einem Ablenkelement 7 ergänzt. Sowohl die Vierpollinse als auch
das Ablenkelement sind an sich bekannte Elemente. Als Ablenkelement wird eine elektromagnetische Spule hier
bevorzugt. Das Ablenkelement kann auch durch das Einbauen einer einstellbaren Unwucht in das Wien-Filter
gebildet werden, wodurch eine Ablenkung in einer auszuwählenden Richtung als Resultierende übrigbleibt. Weil
der maximale Ablenkwinkel nur klein ist, z.B. wenige Bogenminuten, werden dadurch auch bei der Verwendung
einer einfachen Spule keine störenden Fehler eingeführt. Das Wien-Filter bildet von einem engsten Querschnitt
im Elektronenstrahl ein Spektrum 9 mit einer in der
X-Richtung liegenden Dispersion. Dieses Dispersions-
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spektrum wird durch die Quadrupollinse auf einem Endschirm 10 abgebil'det, wobei das Spektrum in der Dispersionsrichtung
beispielsweise 20 bis 100 mal vergr-össert wird. Hierdurch wird das Auflösungsvermögen des
Analysators im Endschirm erhöht. Der Endschirm 10 hat
einen Spalt 11 mit einer mit der Dispersionsrichtung zusammenfallenden Breiterichtung und einer mit der Y-Richtung
(Fig. 2) zusammenfallenden Längsrichtung. In der Y-Richtung, also quer zur Dispersionsrichtung, vergrössert
die Quadrupollinse 6 nicht oder in viel geringerem Masse. Hierdurch kann die Stromdichte in der Abbildung
des Analysators sehr stark erhöht werden, was eine hohe Durchstrahlung des Analysators ergibt. Mit dieser
Vergrösserung kann auch die Länge der Linienabbildung eingestellt und auf diese Weise der Spaltlänge angepasst
werden. Der Spalt 11 hat eine Breite, die beispielsweise zwischen 0,1 und 10 mm einstellbar ist,
und eine Länge von 5·· «10 mm. Für· den Spalt kann jeder
beliebige Aufbau ausgewählt werden, z.B. wie der nach Fig. 3 des erwähnten Artikels in dem Journal of Applied
Physics. Hinter dem Spalt ist ein Elektronendetektor 12 angeordnet. Dieser Detektor ist vorzugsweise ein
Halbleiterdetektor, wie beispielsweise in der von der Anmelderin angewandten handelsüblichen SEM-Einrichtung.
Auch die zur Detektion benötigte Elektronik kann entsprechend dieser Ausführung gewählt werden.
Mit dem Ablenkelement wird die Linien-
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abbildung in der Dispersionsrichtung über den Spalt bewegt, wodurch Energieanalyse verwirklicht werden kann.
In Fällen aus der Praxis wird die Linienabbildung über einen Abstand entsprechend z.B. 100 eV über den Spalt
bewegt und ist mit einer Genauigkeit von ungefähr 2 eV messbar.
In den Figuren sind weiter einige elektronenoptische Hilfsmittel angegeben, die wegen ihrer geraden
optischen Achse, in Analysesystemen mit einer gekrümmten Achse, also in den bereits erwähnten ungeradsichtigen
Systemen, meist nicht anwendbar sind. So ist an der Ausgangsseite des Wien-Filters eine verhä3.tnisraässig
schwache Quadrupollinse 13 angeordnet. Mit dieser Linse kann die Fokussierung des Wien-Filters
der Lage des Bündelknotens im Elektronenmikroskop angepasst werden, ohne dass dabei die Energieauswahleinstellung
beeinträchtigt wird. Das EnergieSpektrum kann damit also auf dem Endschirm bei schwankender Lage des
Bündelknotens fokussiert bleiben, der als Gegenstand für das Wien-Filter arbeitet. Für die Quadrupollinse
ist das Dispersionsbild virtuell, wie in Fig. 1 angegeben. Mit einem über das Wien-Filter angeordneten
Sechspol 15 kann, wenn der öffnungswinkel des ankommenden
Strahls dies erfordert, für einen Offnungsfehler
der 2. Ordnung, insbesondere in der Dispersionsrichtung korrigiert werden. Mit einer an der Austrittsseite des
Wien-Filters angeordneten Sechspollinse kann für
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Linienkrümmung korrigiert werden. Diese Korrekturmöglichkeiten
sind besonders wichtig, weil die Korrektur von Strahlöffnungsfehlern und Linienkrümmung eine optimale
Anpassung an den Auswahlspalt in der Endfläche ermöglicht. Hierbei vergrössert sich für ein gewisses
energietrennendes Vermögen die Durchstrahlung des Systems,
mit anderen Worten die Sammelwirksamkeit des Systems. Die zu verwendenden Sechspole sind an sich
bekannte elektronenoptische Elemente. Die Eigenschaft dieser Linsen, dass ohne entkorrigierten Einfluss in
einer Richtung in der anderen Richtung korrigiert werden kann, ist hier besonders vorteilhaft. Auch das
Ablenksystem 7 kann in solchem Sinne doppelt ausgeführt sein, dass senkrecht aufeinander stehende und unabhängig
zu steuernde Kraftfelder angelegt werden können. Für die bereits erwähnte Verschiebung der Abbildung über
den Spalt ist dieses Kraftfeld gleich dem entsprechenden Hauptfeld des Wien-Filters gerichtet. Das Kraftfeld
zum Zentrieren der Linienabbildung in der Längsrichtung des Spaltes ist quer zum entsprechenden Hauptfeld
des Wien-Filters gerichtet.
Den Gegenstand für den Analysator bestimmt der Bündelknoten nach der letzten Linse des Elektronenmikroskops
und die Blende 3 im Auffangschirm 2 des
Elektronenmikroskops bestimmt die Strahldurchlassöffnung für den Analysator. Arbeitet ein Elektronenmikroskop
im STEM-Betrieb, bestimmt die Abmessung des abgetaste-
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ten Objektteils den Bündelknoten 8, wie in Fig. 3 ebenfalls angegeben, und der auf den Auffangschirm
bezogene Öffnungswinkel des abtastenden Elektronenstrahls
den Öffnungswinkel. In dieser Situation ist der Bündelknoten z.B. wenige Mikrometer gross und es
liegt ein günstiger Wert für die Blendenöffnung 3 zwischen beispielsweise 0,5 und 2,0 mm. Durch die Anpassung
der Erregung der Projektorlinse kann eine optimale Einstellung zwischen dem Bündelknoten und der
Strahldurchlassöffnung für den Analysator erhalten werden. Bei einem TEM bieten sich zwei Möglichkeiten:
die abbildende Einstellung und die Diffraktionseinstellung, siehe z.B. 4 und 5. Bei der Diffraktionseinstellung
wird der Bündelknoten 8 durch die Grosse des Objektbereichs bestimmt, der durch eine Auswahlfelderblende,
die sich in der Diffraktionslinse des Elektronenmikroskops befindet, bestimmt wird. Die Blende 3
kann hierbei eine öffnung von z.B. 0,05··· 2 mm aufweisen.
Diese Blendenöffnung wird durch das gewünschte Energieauflösungsvermögen des Analysators und des erwähnten
Diffraktionsbildes bestimmt. Bei der bildformenden Einstellung wird der Bündelknoten durch die
Abbildung einer Objektiyblende im Elektronenmikroskop
bestimmt und die Blende 3 kann wieder dem gewünschten Bildauflösungsvermögen für obigen Auswahlbereich des
Objekts angepasst werden. Das Energieauflösungsvermögen
des Analysators kann dabei gleichfalls dem gewünschten
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Auflösungsvermögen angepasst werden«
Der Energieanalysator selbst kann auch, in zwei verschiedenen Betriebsarten arbeiten, und zwar
für Energieauswahl, bei der vom Elektronenmikroskop aus ein einziges Bild über den Eingang des Analysators
bewegt und bei der ein Band aus dem Energiespektrum gemessen wird« Tiber das ganze Bild wird auf diese Weise
jener Teil der Elektronen aufgezeichnet, der im Präparat.
z.B« zwischen hO und 50 eV, verzögert worden ist.
In der abtastenden Einstellung wird ein Spektrum eines ausgewählten Teils des Mikroskopbildes aufgezeichnet,
wobei die Elektronenverzögerung im Präparat .als Variable
auftritt« Das Messergebnis ist dabei eine Kurve, die die Elektranenmenge in. einem Geschwindigkeitsgebiet als
Funktion der Elektronengeschwindigkeit darstellt.
In der Anordnung zum Messen von STEM-
Energieauswahl ist eine Verhältnismässig grosse Eingangsblende für den Analysator notwendig« Daher machen
sich gerade in dieser Anordnung die erwähnten Sechspol—
korrekturen erforderlich.« Ein zweckmässlger Energieanalysator
ist beispielsweise etwa 30 em lang und es
kann bei einer Ausgangsspannung von 100 keV ein Auflösungsvermögen
von ungefähr 1 eV erreicht werden. Die
Ausgangsspannung des Elektronenmikroskops kann von 10...150 keV schwanken. Der Bündelknoten im Elektronenmikroskop,
der als Gegenstand des Analysators arbeitet, hat eine Querabmessung von höchstens 5 Mikron und liegt
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beispielsweise ungefähr 25 cm vor dem Auffangschirm«
Mit einer lOOfachen Vergrösserung im Vergleich zur
Quadrupollinse beträgt die Dispersion in der Endfläche ungefähr 10 eV pro mm. Es wird .in einem Gebiet von z.B.
100 eV gemessen» d.h. zwischen einer Verzögerung 0f
also zwischen den ungehemmt durchgehenden Elektronen» und den mit 100 eV im Präparat verzögerten Elektronen.
In den Fig. 3···5 sind eine Elektronenquelle 20, ein belichtendes System 21, ein abbildendes
System 22 und der bereits in den Fig. 1 und 2 dargestellte Auffangschirm 2 eines Elektronenmikroskops in
verschiedener Einstellung dargestellt. Der Auffangschirm zeigt die Blende 3» hinter der das oben beschriebene
Wien-Filtersystem 5 mit dem Endschirm 10 und dem
Elektronendetektor 12 angeordnet ist. Ein von der Elektronenquelle 20 ausgehender Elektronenstrahl 25
bildet einen Sammelpunkt oder ein System von Sammelpunkten 2.6, von dem ein Zwischenbild 27 und ein Endbild
28 geformt wird. Es wird.gleichfalls ein Zwischenbild
30 und ein Endbild 31 eines Objekts 29 geformt. Der
Unterschied zwischen den verschiedenen Einstellungen des Elektronenmikroskops für den Analysator besteht
jetzt aus der Lage und der Art der erwähnten Sammelpunkte mit ihren Abbildungen und mit der Abbildung des
Objekts.
In der STEM-Einstellung nach Fig« 3 enthält
das belichtende System eine Stcahlablenkanordnung,
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die nicht näher dargestellt und als Wobbieranordnung bekannt ist. Hiermit wird der Sammelpunkt 26 gebildet.
Er besteht also aus einer Scheibe um die Achse, durch die der Elektronenstrahl in zeitlicher Aufeinanderfolge
unter schwankendem Winkel hindurchgeht. Eine endgültige Abbildung 28 dieser Scheibe liegt im Auffangschirm 2.
Eine Abbildung 30 des Objekts 29 bildet den Gegenstand
8 für den Analysator und diese Abbildung 30 wird dadurch am Endschirm 10 angebildet.
In einer TEM-Einstellung für die Abbildung
nach Fig. h bildet dagegen die Abbildung 27 des Sammelpunktes
26 den Gegenstand 8 für den Analysator, deckt sich die Abbildung 30 des Objekts mit dem Auffangschirm
2 und fällt die zweite Abbildung 28 des Sammelpunktes mit dem Endschirm 10 zusammen.
In einer TEM-Diffraktionseinstellung bildet eine erste Abbildung 3Θ des Objekts den Gegenstand
8 für den Analysator. Hier deckt sich eine erste Abbildung 27 des Sammelpunktes 26, hier das Diffraktionsmuster, mit dem Auffangschirm 2 und die Abbildung 31
des Objekts fällt mit dem Endschirm 10 zusammen. Für. zusammengestellte Messungen befindet sich ein Elektronendetektor
40 auf dem Schirm 2.
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Claims (5)
- PHN. jk'jk. 28-1-1975.
- - 12 PATENTANSPRÜCHE .
- 3 Elektronenmikroskop mit einer Elektronenquelle mit erhöhter Emissionsstromdichte, einem elektronenoptischen Linsensystem, einem dispergierenden Energieanalysator und einem Elektronendetektor, dadurch gekennzeichnet, dass der Energieanalysator aus einem Wien-Filter, für das ein vom Linsensystem gebildeter · engster Querschnitt eines Elektronenstrahls als Gegenstand arbeitet, einer in der Dispersionsrichtung des Analysators vergrössernden Quadrupollinse und einer Strahlablenkung zum Verschieben der Abbildung in der Dispersionsrichtung über einen Spalt aufgebaut ist, der in einer Bildebene des Analysators angeordnet ist und hinter dem sich der Elektronendetektor befindet· 2. Elektronenmikroskop nach Anspruch 1,dadurch gekennzeichnet, dass dem Analysator ein Sechspollinsenkorrektursystem zugeordnet ist, das zwei Sechspollinsen zum Korrigieren von Strahlöffnungsfehlern der 2.Öffnung des Analysators enthält.3· Elektronenmikroskop nach Anspruch 1 oder2, dadurch gekennzeichnet, dass dem Analysator eine zusätzliche Quadrupollinse zum unabhängigen Nachstellen von Abweichungen in der Abbildung durch abweichende Energieauswahleinstellung des Energieanalysators zugeordnet ist.
- 4. Elektronenmikroskop nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der509841/0651PHN.28-1-1975. - 13 -Analysator mit einer quer zur Dispersionsrichtung aktiven zusätzlichen Ablenkanordnung zum Ausrichten der Abbildung quer zum Spalt ausgerüstet ist.
- 5. Elektronenmikroskop nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sich der Energieanalysator, in Richtung des datentragenden Elektronenstrahls gesehen, hinter einem Auffangschirm~ eines im STEM-Betrieb arbeitenden Elektronenmikroskops befindet und eine als Eingangspupille für den Analysator arbeitende Öffnung im Bildschirm eine Durchlassöffnung von ungefähr 0,5···2.mm hat.6, Elektronenmikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis h, dadurch gekennzeichnet, dass sich der Energieanalysator hinter einem Auffangschirm des Elektronenmikroskops befindet und eine als Eintrittspupille für den Analysator arbeitende Öffnung im Auffangschirm eine Durchlassöffnung von ungefähr 0,5···2 mm hat.5 0 9 8 4 1/0651
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL7404363A NL7404363A (nl) | 1974-04-01 | 1974-04-01 | Elektronenmikroskoop met energieanalysator. |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2512468A1 true DE2512468A1 (de) | 1975-10-09 |
DE2512468C2 DE2512468C2 (de) | 1981-09-24 |
Family
ID=19821088
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2512468A Expired DE2512468C2 (de) | 1974-04-01 | 1975-03-21 | "Elektronenmikroskop mit einem Wien-Filter als Energieanalysator" |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3979590A (de) |
JP (1) | JPS50141966A (de) |
CA (1) | CA1021883A (de) |
DE (1) | DE2512468C2 (de) |
FR (1) | FR2266300B1 (de) |
GB (1) | GB1507366A (de) |
NL (1) | NL7404363A (de) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4210806A (en) * | 1979-01-18 | 1980-07-01 | International Business Machines Corporation | High brightness electron probe beam and method |
DE3423149A1 (de) * | 1984-06-22 | 1986-01-02 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Verfahren und anordnung zur elektronenenergiegefilterten abbildung eines objektes oder eines objektbeugungsdiagrammes mit einem transmissions-elektronenmikroskop |
US4687936A (en) * | 1985-07-11 | 1987-08-18 | Varian Associates, Inc. | In-line beam scanning system |
US4789787A (en) * | 1987-05-27 | 1988-12-06 | Microbeam Inc. | Wien filter design |
US4851670A (en) * | 1987-08-28 | 1989-07-25 | Gatan Inc. | Energy-selected electron imaging filter |
DE69322890T2 (de) * | 1992-02-12 | 1999-07-29 | Koninklijke Philips Electronics N.V., Eindhoven | Verfahren zur Verringerung einer räumlichen energiedispersiven Streuung eines Elektronenstrahlenbündels und eine für den Einsatz eines solchen Verfahrens geeignete Elektronenstrahlvorrichtung |
US5444243A (en) * | 1993-09-01 | 1995-08-22 | Hitachi, Ltd. | Wien filter apparatus with hyperbolic surfaces |
JPH10510674A (ja) * | 1995-10-03 | 1998-10-13 | フィリップス エレクトロニクス エヌ ベー | 単色分光計用の固定ダイヤフラムからなる粒子光学装置 |
DE69920182T2 (de) * | 1998-12-17 | 2005-02-17 | Fei Co., Hillsboro | Korpuskularstrahloptisches gerät mit auger-elektronendetektion |
JP3757371B2 (ja) * | 1999-07-05 | 2006-03-22 | 日本電子株式会社 | エネルギーフィルタ及びそれを用いた電子顕微鏡 |
US6717141B1 (en) * | 2001-11-27 | 2004-04-06 | Schlumberger Technologies, Inc. | Reduction of aberrations produced by Wien filter in a scanning electron microscope and the like |
GB0320187D0 (en) * | 2003-08-28 | 2003-10-01 | Shimadzu Res Lab Europe Ltd | Particle optical apparatus |
DE602004016131D1 (de) * | 2004-06-21 | 2008-10-09 | Integrated Circuit Testing | Dispositif de correction d'aberration et methode de mise en oeuvre |
EP1783811A3 (de) * | 2005-11-02 | 2008-02-27 | FEI Company | Korrektor zur Korrektion von chromatischen Aberrationen in einem korpuskularoptiachen Apparat |
KR100773657B1 (ko) | 2006-01-18 | 2007-11-05 | 광주과학기술원 | 공간필터링 수단 및 이를 구비한 공초점 주사 현미경 |
EP2166557A1 (de) * | 2008-09-22 | 2010-03-24 | FEI Company | Verfahren zur Berichtigung von Verzerrungen in einer teilchenoptischen Vorrichtung |
DE102009028013B9 (de) * | 2009-07-24 | 2014-04-17 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Teilchenstrahlgerät mit einer Blendeneinheit und Verfahren zur Einstellung eines Strahlstroms in einem Teilchenstrahlgerät |
EP2325862A1 (de) * | 2009-11-18 | 2011-05-25 | Fei Company | Korrektor für axiale Aberrationen einer teilchenoptischen Linse |
EP2511936B1 (de) | 2011-04-13 | 2013-10-02 | Fei Company | Verzerrungsfreie Stigmation eines TEM |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB962086A (en) * | 1962-03-27 | 1964-06-24 | Hitachi Ltd | Energy-selecting electron microscopes |
NL7012388A (de) * | 1970-08-21 | 1972-02-23 |
-
1974
- 1974-04-01 NL NL7404363A patent/NL7404363A/xx unknown
-
1975
- 1975-03-21 DE DE2512468A patent/DE2512468C2/de not_active Expired
- 1975-03-27 GB GB12925/75A patent/GB1507366A/en not_active Expired
- 1975-03-27 CA CA223,309A patent/CA1021883A/en not_active Expired
- 1975-03-28 US US05/562,965 patent/US3979590A/en not_active Expired - Lifetime
- 1975-04-01 FR FR757510152A patent/FR2266300B1/fr not_active Expired
- 1975-04-01 JP JP50038657A patent/JPS50141966A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2512468C2 (de) | 1981-09-24 |
JPS50141966A (de) | 1975-11-15 |
US3979590A (en) | 1976-09-07 |
GB1507366A (en) | 1978-04-12 |
FR2266300B1 (de) | 1981-03-06 |
NL7404363A (nl) | 1975-10-03 |
FR2266300A1 (de) | 1975-10-24 |
CA1021883A (en) | 1977-11-29 |
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