DE2457882A1 - Waermebestaendige, lichtvernetzbare schichten und folien liefernde gemische - Google Patents
Waermebestaendige, lichtvernetzbare schichten und folien liefernde gemischeInfo
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Description
Wärmebeständige, lichtvernetzbar Schichten und Polien
liefernde Gemische
Gegenstand der Erfindung sind wärmebeständige, lichtvernetzbare Schichten und Folien liefernde Gemische auf der Basis von
bei Eaumtemperatur festen allylgruppenhaltigen Harzen sowie
deren Anwendung zur phototechnischen Herstellung von Schichtstrukturen.
Es sind bereits lichtempfindliche Massen auf der Grundlage inerter organischer polymerer Bindemittel, Verdickungsmittel
oder Matrices und Acryl- oder Methacrylverbindungen aus den deutschen Auslegeschriften 1.205 386, 1 200 130, 1 915 571
und den deutschen Offenlegungssehriften 1 906 668, 2 149 056
bekannt. Die Massen sind z.T. in Folienform zur Bild- und Strukturerzeugung verwendbar. Die.herstellbaren Schichtstrukturen
besitzen nur eine begrenzte Wärmestabilität. Außerdem sind zur Erzielung hoher Lichtempfindlichkeit auch relativ
hohe Anteile der photoreaktiven Acryl- oder Methacrylverbindungen erforderlieh. Das führt zu klebrigen lichtempfindlichen
Schichten, die bei üblicher Phototechnik mit Kontaktkopie^,
durch Schutzfolien hindurch belichtet werden müssen. Da sich dann Kopiervorlage und lichtempfindliche Schicht nicht in
direktem Kontakt befinden, resultiert aus Gründen der Lichtbeugung ein geringeres Auflösungsvermögen.
Weiter sind wärmebeständige photovernetzbare Materialien mit einer allylgruppenhaltigen Harzkomponente gemäß der USA-Patentschrift
3 462 267 und der südafrikanischen Patentschrift 05209 bekannt. Den darin beschriebenen Materialien ist der Nachteil
gemeinsam, daß höchstens ca. 1-5 μΗΐ-starke Schichten ausreichende
Lichtempfindlichkeit aufweisen, in wesentlich größerer Schichtdicke die Lichtempfindlichkeit aber zu wünschen
-2-
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übrig läßt. Ferner sind aus der deutschen Patentschrift 2 130 photovernetzbare Systeme bekannt, die auch in Schichtstärken
> 10 μπι hohe Vernetzungsgeschwindigkeit zeigen und die Herstellung
konturenscharfer Schichtstrukturen mit guten Isolierstoff eigenschaften ermöglichen. Die Systeme bestehen aus einer
Carbonsäureallylestergruppen-haltigen Präpolymer-Komponente
und Maleinimidgruppen-haltigen Verbindungen. Einschränkend bezüglich der vielfältigen Anwendungsmöglichkeiten für solche
Systeme wirkt sich die begrenzte thermische Beständigkeit der beschriebenen Präpolymerkomponenten aus.
Es wurde nun gefunden, daß überraschenderweis e die ringständigen Allyloxygruppen von Triallylcyanuratpräpolymeren in Kombination
mit N-Maleinimidgruppen-haltigen Verbindungen bei Bestrahlung
mit aktinischem Licht eine hohe Vernetzungsgeschwindigkeit auch in Schichtstärken ) 10 μι bewirken. Die aus diesem Befund
resultierenden erfindungsgemäßen lichtempfindlichen Gemische liefern SchichiHiund Folien zur phototechnischen Herstellung
wärmebeständiger konturenscharfer Schicht- und Folienstrukturen
und vernetzter Überzüge mit guten Isolierstoffeigenschaften.
Erfindungsgemäß enthalten die Gemische Triallylcyanurat-präpolymere
und/oder Triallylcyanurat-präpolymere mit allyloxy- und/oder allylestergruppenhaltigen Verbindungen und N-Maleinimidgruppenhaltige
Verbindungen mit einer oder mehreren dieser Gruppen, deren Maleinimid-C=C-Bindung Wasserstoff-, Wasserstoff- und
Chlor-, oder Wasserstoff- und Methylreste trägt, vorzugsweise Wasserstoff.
Die durch Einwirkung von aktinischem Licht erhaltenen photovernetzten
Überzüge oder durch Lösungsmittelätzung konturenscharf freilegbaren Photokopien zeichnen sich neben ihren
Isolierstoffeigenschaften, d.h. hoher Alterungsstabilität,
hohem elektrischen Oberflächen- und Durehgangswiderstand, geringer Wasserauf nähme und Quellung, insbesondere durch ihre
Wärmebeständigkeit aus. Die Materialien weisen noch bei 300 0C
eine ausgezeichnete Stabilität auf, wie die thermogravimetrie
sehe Analyse zeigt: Bei einer Aufheizrate von 5 °C/min an Luft
treten bei 300 0C 0,5 & Gewichtsverlust/min auf, dabei bleibt
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die Parbe des Materials unverändert. Der Gewichtsverlust von
relativ wärmestabilen Systemen gemäß unserer deutschen Patentschrift
2 150 904 mit Polydiallylorthophthalat als Carbonsäure
allylestergruppen-haltiger Harzkomponente liegt bei 300 C
um den Paktor 6 höher, gleichzeitig verfärbt sich das Material schwarz. Die erfindungsgemäßen Materialien sind in dem Maße,
wie es die Handhabung erfordert, lötbadbeständig und mechanisch stabil, sie w«
Dauer st ab ilit ät auf.
Dauer st ab ilit ät auf.
nisch stabil, sie weisen auch an Luft wenigstens 140 0C
Als Allyloxygruppen-haltige Komponenten der erfindungsgemäßen Gemische sind filmbildende Präpolymere und Präcopolymere des
Triallylcyanurats mit allyloxy- und/oder allylestergruppenhaltigen
Verbindungen wie z.B. Phenylallylather, Bisphenol-A-
"bi%llylather, Benzoesäureallylester, Diallylphthalat,
Diallylisophthalat, Diallylterephthalat geeignet, die nach bekannten Verfahren aus Triallylcyanurat und gegebenenfalls
weiteren Comonomeren durch Polymerisation bis zu einem kurz
vor der Gelierung liegenden Zeitpunkt und anschließende Trennung in lösliche Polymer- bzw. Copolymerfraktion und Monomerfraktion,
beispielsweise gemäß der USA-Patentschrift 3 030 341 hergestellt werden können.
Geeignete N-Maleinimidgruppen-haltige Komponenten der erfindungsgemäßen Gemische sind am Stickstoff aliphatisch, aromatisch
oder heterocyclisch substituierte Maleinimide, 3-Chlormaleinimide, 3-Methylmaleinimide wie z.B.
N-Cyclohexylmaleinimid, S-Phenylmaleinimid, am Benzoikern
substituierte N.-Phenylmaleinimide - als bevorzugte Substituenten
gelten Alkylgruppen in o-Position - sowie Verbindungen mit
zwei oder mehr BT-Maleinimidgruppierungen, wie sie aus
entsprechenden polyfunktionellen Aminen, so z.B. aus Hexamethylendiamin, m^Phenylendiamin, ρ,ρ'-Diaminodiphenyl
oder ρ,ρ'-Diaminodiphenylmethan in bekannter Wejse durch
Umsetzung mit Maleinsäureanhydrid zugänglich sind. Vorzugsweise
werden N-Arylmaleinimide verwendet. Als besonders, geeignet
haben sich in ortho-Stellung alky!substituierte
Ä-Aryl-maleinimide, wie z.B. N-o-Iolylmaleinimid erwiesen.
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Die Eigenschaften der erfindungsgemäßen Gemische können außer
über Art und Anteil von Comonomerbestandteilen der Iriallylcyanuratpräpolymeren
weiter durch Anteile von mit PoIytriallylcyanurat verträglichen Polymeren modifiziert werden.
So bewirkt ein Zusatz von Polyesterharzen erhöhte Flexibilität. Besonders geeignet sind Anteile ungesättigter Polyesterharze,
d.h. von Polymeren mit Maleinat- und/oder FumaratStrukturelementen.
Es zeigte sich dabei unerwartet, daß die Anteile ungesättigter Polyesterharze die ursprüngliche Lichtempfindlichkeit
der Mischung von Triallylcyanuratpräpolymeren mit N-Maleinimidgruppen-haltigen Verbindungen nur unwesentlich
oder gar nicht beeinträchtigen. Daraus kann gefolgert werden, daß die Maleinat- bzw. Fumaratdoppelbiiüingen der unge1-sättigten
Polyesterharze bei Belichtung mit den photoreiüctiven
Allyloxy- und/oder Maleinimidgruppen copolymerisieren, somit
an der Vernetzungsreaktion beteiligt sind und dabei auch die Löslichkeit der Polyesterharze ändern. So lassen sich auch in
Gegenwart ung esättigter Polyesterharze ausgezeichnete Kantenschärfe
und hohes Auflösungsvermögen erreichen. Die Anteile ungesättigter Polyesterharze können bis zu 50 Gewichtsprozent
betragen, vorzugsweise werden 5 bis 30 $> eingesetzt. Das Verhältnis
der Allyldoppelbindungsäquivalente, gegebenenfalls einschließlich der Maleinat- und/oder Fumarat-Doppelbindungsäquivalente
ungesättigter Polyesterkoaponenten, zu den N-Maleinimiddoppelbindungsäquivalenten wird ^- 1, vorzugsweise
bis 150 gewählt. Bevorzugt werden ungesättigte Polyesterharze
mit einer Säurezahl < 25j insbesondere
< 10, verwendet. Die Polyesterharze werden nach bekannten Polyadditions- oder PoIyköndensationsverfahren
hergestellt (vgl. z.B. das Buch von J. Björksten et al. Polyesters and their Application, Reinhold
Publishing Corporation, New York 1956). Es sind zahlreiche ungesättigte Polyesterharze als Handelsprodukte verfügbar.
Die Vernetzungsgeschwindigkeit kann durch Zusatz geeigneter Photosensibilisatoren und/oder -initiatoren, vorzugsweise in
Anteilen von - 2 Gew.i» noch gesteigert werden.
Als Sensibilisatoren und/oder Initiatoren gut geeignet sind
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z.B. Miehler's Keton und/oder Benzoinäther, 2-tert.Butyl-9.10-anthracliinon,
1.2-Benz-9.10-an.thrachinon, 4,4 '-Bis-(diäthylamiiio)-benzophenon.
Die erfindungsgemäßen. Gemische können in indifferenten organischen
lösungsmitteln gelöst auf einen Träger, z.B. eine Folie, aufgetragen und nach dem Verdampfen der Lösungsmittel durch
Bestrahlung mit aktinischem Licht vernetzt werden. Bei bildmäßiger
Belichtung durch eine Kopiervorlage und anschließender Lösungsmittelbehandlung werden konturenscharfe Kopien er- ·
halten.
Die erfindungsgemäßen Gemische können weiter durch Anteile von
bis zu. 20 Gewichtsprozent niedrigmolekularer bis oligomerer, vorzugsweise flüssiger bis zähviskoser olefinisch ungesättigter
Verbindungen, vorzugsweise Methacryl-, Acryl-, Vinyl-, Allyl-, Maleinsäure-, Fumarsäureverbindungen, auch noch bei
Temperaturen < 100 0O bis herab zu Raumtemperatur kalandrierbar
und extrudierbar eingestellt werden und somit technisch vorteilhaft
zu selbsttragenden Polymerfolien oder zu zwischen Schutzfolien eingebetteten Photopolymerfolien verarbeitet werden.
Geeignet sind z.B. Äthylenglykolbismethacrylat bzw. -aerylat, Diäthylenglykolbismethacrylat bzw. -aerylat,
Trimethylolpropantrismethacrylat bzw. -aerylat, Glycerintrismethacrylat
bzw. -aerylat, 1^-Propandiolbismethacrylat bzw.
-aerylat, 1.2.4-Butantrioltrismethacrylat bzw. -aerylat,
Hydrochinonbismethacrylat bzw. -aerylat, Pentaerythrittetramethacrylat bzw. -aerylat, Polyäthylenglykolbismethacrylate
bzw. -acrylate mit Molekulargewichten von 200 bis 500, Divinylsuecinat, Divinylphthalat, Allylbenzoat, Diallylphthalat,
Maleinsäure-r bzw. Fumarsäurediäthylester,«bevorzugt werden
Methacry!verbindungen.
Vorzugsweise werden Anteile zwischen 5 und 10 Gewichtsprozent verwendet. Die auf diese Weise zugänglichen Photopolymerfilme
oder -folien sind flexibel und klebfrei, und können zur Bildoder Strukturerzeugung sowohl durch Schutzfolien hindurch als
auch vorzugsweise in direktem Kontakt zur Kopiervorlage belichtet werden. Anschließende Lösungsmittelbehandlung gibt dann
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besonders konturenscharfe Bilder und Strukturen. Durch, die
Zusätze werden dabei die Lichtempfindlichkeit der Photopolymeren und die Wärmestabilität der photovernetzten Schichtstrukturen
nicht beeinträchtigt.
Die gebrauchsfertigen Lösungen der erfindungsgemäßen lichtvernetzbaren
Gemische und die aus den erfindungsgemäßen Gemischen
hergestellten gebrauchsfertigen Filme und Folien besitzen
bei Raumtemperatur unter Lichtausschluß eine hohe Lagerstabilität
von >i/2 Jahr.
Die erfindungsgemäßen Gemische können durch Bestrahlung mit aktinischem Licht beliebiger Herkunft und Art vernetzt werden.
Die erfindungsgemäßen Gemische enthalten gut zugängliche und kostengünstig herstellbare Komponenten und sind auf einfachem
Wege in wärmebeständige Isolierschichten, -schichtatrukturen und Abbildungen überführbar. Die Haftung der erzeugten Schichten,
Schichtstrukturen und Abbildungen auf verschiedenen Unterlagen kann durch gebräuchliche Haftvermittler, wie z.B. die
siliciumorganischen Verbindungen Vinyl-triäthoxysilan,
Vinyltrimethoxysilan, y-Methacryloxy-propyl-trimethoxysilan und
besonders durch Anteile von 2.4—Diallyloxy-6- jj5-(triäthoxysilyl)
propyll aminotriazin noch verbessert werden. Sie können in bekannter
Weise mit Keimschichten für die Erzeugung festhaftender galvanischer Überzüge versehen werden. Es sind also Voraussetzungen
für eine breite und technisch vorteilhafte Anwendung der photovernetzten Isolierstoffe gegeben. Die erfindungsgemäßen
Gemische eignen sich generell für die in der deutschen Patentschrift 2 130 904- beschriebenen Verwendungszwecke und darüber
hinaus besonders zur Herstellung wärmebeständiger Abbildungen und Isolier-, PaeeLvier- und sonstiger Schutzschichten und
-Schichtstrukturen, insbesondere als Hilfsmittel bei der Fertigung oder als Bestandteil von Bauteilen und Schaltungen
in der Elektrotechnik, wie z.B. von Lötsehutzschichtstrukturen.
auf Leiterplatten, von Passivierschichtstrukturen auf Halbleiterbauelementen oder leicht wieder entfernbaren Photoresists
für Aufdampf-, Zerstäubungs-, Implantations- und Diffusions-,
Ionenätz- und sonstige Ätzprozesse und Galvanisierprozesse bei der Fertigung von Halbleiterbauelementen. -7-
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Die Erfindung wird durch folgende Beispiele näher erläutert:
Herstellung eines Triallylcyanuratpräpolymeren.
800 Gewichtsteile Triallylcyanurat wurden in 800 Volumteilen
Xylol gelöst und bei 90 °C unter Rühren mit 40 Gewichtsteilen einer 50 #igen BenzoylperoxLdpaste versetzt.
Nach Abklingen der exothermen Reaktion wurde bei 130 0C weitergerührt,
bis die Reaktionslösung eine Viskosität von ca. 65 £iO Ns/m Jaufwies. Aus der kalten Reaktionslösung wurde
das Präpolymere durch Eintropfen in 6000 Volumteile Isopropanol
ausgefällt und bei 50 0C im Vakuum getrocknet. Die Ausbeute
betrug 45 #. Das Produkt wies 0,64 Doppelbindungsäquivalente/100 g
auf und wird im folgenden mit PTAC bezeichnet.
50 Gewichtsteile PTAC, 3,75 Gewichtsteile N-Cyclohexylmaleinimid
und 0,5 Gewichtsteile Miehler's Keton wurden in 200 Volumteilen
Trichloräthylen gelöst. Die lösung wurde filtriert und auf Glassubstraten zu gleichmäßigen Filmen geschleudert, die nach
Verdampfen des lösungsmittels 15 μΐη stark waren.
Die Filme wurden mit einer im Abstand von 23 cm aufgestellten 500 W-Quecksilber-Höohatdrucklampe 20 see durch eine Kontaktkopie
hindurch bestrahlt. Anschließend wurden durch Eintauchen in 1.1.1-Trichloräthan (2 min) und 1.1.1-Trichloräthan/Trichloräthylen
2:1 (15 see) und Waschen mit Isopropanol kantenscharfe haftfeste Strukturen mit hoher Auflösung (
< 20 μη)· erzeugt. Die Filmstrukturen überstanden die gebräuchliche Lötbadtemperatur
von 260 0C 30 see lang unbeschadet. Der elektrische
Durchgangswiderstand der vernetzten, harten Filme, gemessen nach DIN 53482, liegt
>10 π . cm, die DK liegt gemessen nach DIN 53483 bei 103 Hz, bei 3.
50 Gewichtsteile PTAC, 3.75 Gewichtsteile Maleinanil und 0,5
Gewichtsteile Michlers' Keton wurden in 200 Volumteilen
Trichloräthylen gelöst und, wie in Beispiel 1 beschrieben,
zu 15 μπι starken Filmen auf Aluminiumfolien geschleudert»
20 see belichtet und zu konturenscharfen Strukturen hoher
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Haftfestigkeit und Auflösung ( < 20 μηι) entwickelt.
Die Filmstrukturen überstanden die gebäuchliche Lötbadtemperatur von 260 0C 30 see lang unbeschadet. Der elektrische
Durchgangswiderstand der vernetzten, harten Filme, gemessen
nach DIN 53482 liegt > 10 4 n.cm, die DK liegt, gemessen naoh
DIN 53483 bei 105 Hz, bei' 3.
50 Gewiehtsteile PTAO, 3.75 Gewichtsteile Maleinanil,
0,5 Gewichtsteile Michler's Keton und 5 Gewichtsteile 2.4-Diallyloxy-6- [3(triäthoxysilyl)propyl"] aminotriazin
wurden in 1000 Volumteilen Trichloräthylen gelöst und durch Schleudern zu 1 μπι starken Filmen auf Si-Wafern mit
Oxidoberfläche verarbeitet. Auf die dünnen Filme wurden dann durch Schleudern einer Lösung von 50 Gewichtsteilen PTAC,
3.75 Gewichtsteilen Maleinanil und 0,5 Gewichtsteilen Michler's Keton in 200 Volumteilen Trichloräthylen 15 μπι starke Filme
aufgebracht. Durch Belichten und Entwickeln wie in Beispiel 1 wurden entsprechende kantenscharfe Strukturen erzeugt, die eine
besonders hohe Haftfestigkeit aufwiesen.
50 Gewichtsteile PTAC, 3.75 Gewichtsteile o-Tolylmaleinimid,
0,5 Gewichtsteile Michler's Keton und 0,5 Gewichtsteile Benzoinisopropyläther
wurden in 200 Volumteilen Toluol gelöst und zu 15 μπι starken Filmen auf ΑΙρΟ,-Keramiksubstraten geschleudert.
Die Filme wurden, wie in Beispiel 1 beschrieben, 10 see durch eine Kontaktkopie hindurch bestrahlt und entwickelt. Die erzeugten
konturenscharfen, haftfesten Schichtstrukturen überstanden
die gebäuchliche Lötbadtemperatur von 260 0C 1 min lang
unbeschadet. Der elektrische Durchgangswiderstand der ver-
14. netzten, harten Filme, gemessen nach DIN 53482, liegt
>10 Q.ca, die DK liegt, gemessen nach DIN 53483 bei 105 Hz, bei 3.
50 Gewichtsteile PTAC, 3.75 Gewichtsteile o-Tolylmaleinimid,
0,5 Gewichtsteile Michler's Keton, 0,5 Gewichtateile Benzoinisopropyläther
und 0.5 Gewichtsteile 2.4-Diallyloxy-6- [3(triäthoxysilyl)propyll
aminotriazin wurden in 200 Volumteilen Toluol
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gelöst und zu 15 μπι starken Filmen auf AlpO,-Keramiksubstraten
geschleudert. Durch Belichten und Entwickeln wie in Beispiel 4 wurden entsprechende kontur en arc harfe Schicht struktur en erzeugt,
die eine besonders hohe Haftfestigkeit aufwiesen.
40 Gewichtsteile PTAC, 10 Gewichtsteile eines die Komponenten
Fumarsäure, Isophthalsäure und Neopentylglykol im Molverhältnis 2 :3 ί 5 enthaltenden Polyesterharzes der Säurezahl 20,
3.75 Gewichtsteile o-Tolylmaleinimid, 0,5 GewichtsteUle Michler's Keton und 0,5 Gewichtsteile Benzoinisopropyläther wurden in
200 Volumteilen Xylol gelöst, zu 15 ^m starken Filmen auf
50- μιη Gu-Folie geschleudert, und, wie in Beispiel 1 beschrieben,
durch Belichten und Entwickeln in konturenscharfe Schiehtstrukturen
übergeführt. Elastizität und Haftvermögen der kratzfesten Schichten gehen aus dem Dornbiegeversuch nach DIN 53152
hervor: bei einem Biegedorndurchmesser "von 2 mm treten weder
Risse noch Abplatzen auf, ebenso beim Knicken der beschichteten Folien. Der elektrische Durchgangswiderstand der vernetzten
Filme, gemessen nach DIET 53482, liegt >10 ^ a.cm, die DK liegt,
gemessen nach DIN 53483 bei 10 Hz, bei 3.
Epoxidharzleiterplatten mit Kupfer- und Zinnendoberfläche wurden
durch eine Sprühpistole mit obiger Lösung besprüht und auf diese Weise mit 30 μιη starken Filmen überzogen. Nach 30 see
Belichtung durch eine Kontaktkopie an einem Gyrex-Printer 900, Entwickeln und Waschen wie in Beispiel 1 und 30 min Trocknen
der Platten bei 120 0C wurden im Schwallbadlötprozeß bei 260 0C
einwandfrei belötete Leiterplatten mit intakten Lötstopplackschichten
erhalten. Gleiche Ergebnisse resultierten, wenn obige Lösung zusätzlich als Farbstoffkomponente 0,1 Gewichtsteile Viktoriablau BOD Typ 1246 (neutral) der Firma BASF
enthielt.
80 Gewichtsteile PTAC, 20 Gewichtsteile eines die Komponenten
Fumarsäure, Isophthalsäure und Neopentylglykol im Molverhältnis 2:3:5 enthaltenden Polyesterharzes der Säurezahl 20,
7.5 Gewichtsteile o-Tolylmaleinimid, 0,5 Gewichtsteile
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Michler's Keton, 0,5 Gewiehtsteile Benzoinisopropyläther und
10 Gewiehtsteile Diäthylenglykolbismethacrylat wurden am Kalander bei Raumtemperatur gemischt und anschließend bei 90 0C
zu Sandwichfolien mit Polyäthylen-Träger- und Polyäthylenterephthalat-Deckfolien
von 20 μπι und einer photoreaktiven Zwischenschicht von 60 μΐη kalandriert.
Die Sandwichfolien wurden nach Abziehen der Trägerfolie über eine 90 0C heiße Walze geführt und auf Epoxidharz-Leiterplatten
mit Kupfer- bzw. Zinnendoberfläche auflaminiert.
Ein Teil der Leiterplatten wurde am Gyrex Printer 900 durch Negativkopien hindurch, die sich in engem Kontakt zur Deckfolie
befanden, 40 see belichtet und, wie in Beispiel 1 beschrieben, entwickelt.
Bei einem anderen Teil beschichteter Leiterplatten wurde die
Polyäthylenterephthalat-Deckfolie abgezogen und die Belichtung erfolgte unter engem Kontakt von Negativkopie und photoreaktiver
Schicht. Im letzteren Fall resultierten wesentlich konturenschärfere Strukturen. Die anschließende Schwallbadbelötung bei
260 0C überstanden die Lötstopplackschichten unverändert. Der
elektrische Durchgangswiderstand dieser Schichten, gemessen nach DIN 53482, liegt
> 10 a.cm, die DK liegt, gemessen nach DIN 53483 bei 103 Hz, bei 3.
15 Patentansprüche
0 Figuren
0 Figuren
-11-
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Claims (14)
1. Wärmebeständige,lichtvernetzbare Schichten und Folien liefernde Gemische auf der Basis yon bei Raumtemperatur festen
allylgruppenhaltigen Harzen, dadurch gekennzeichnet, daß die Gemische Triallylcyanuratpräpolymere und/oder Triallylcyanuratpräcopolymere
mit allyloxy- und/oder allylestergruppenhaT tigen
Verbindungen und ΪΤ-Maleinimidgruppen-haltige Verbindungen
mit einer oder mehreren dieser Gruppen enthalten, deren Iäaleinimid-C=C-Bindung Wasserstoff-, Wasserstoff-und Chlor-,
oder Wasserstoff- und Methylreste trägt.
2. Wärmebeständige, lichtvemetzbare Schichten und Folien
liefernde Gemische nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Gemische ÜT-Maleinimidgruppen-haltige Verbindungen enthalten.
3. Wärmebeständige,lichtvernetzbare Schichten und Pollen
liefernde Gemische nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die Gemische U-Arylmaleinimide enthalten.
4. Wärmebeständige, lichtvernetzbare Schichten und Folien liefernde Gemische nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnetj daß
die Gemische in o-Stellung alkylsubstituierte K-Arylmäleinimide,
wie z.B. N-o-Tolylmaleinimid enthalten.
5. Wärmebeständige, lichtvernetzbare Schichten und Folien
liefernde Gemische nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Gemische außerdem lösliche, gegebenenfalls olefinisch
ungesättigte Polymere enthalten.
6. Wärmebeständige, liehtvernetzbare Schichten und Folien lie-
j DlS
fernde Gemische nach Anspruch/5, dadurch gekennzeichnet, daß
das Verhältnis der AllyldoppelbindungsaqUivalente, gegebenenfalls
einschließlich der Doppelbindungsäquivalente zusätzlicher Anteile löslicher .Polymerer zu den Maleinimiddoppelbindungsäquivalenten
- 1, vorzugsweise 2 bis 150, ist.
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7. Wärmebeständige, lichtvernetzbare Schichten und Folien
liefernde Gemische nach Anspruch 3'und 6-f dadurch gekennseiohne t, daß die Gemische- als lösliche Polymerw Poly esterharze ■ :.-:
enthalten."" " ■■· ·' : -; ■■■ -" ":':·;-. ·■■■·,-■.:;:v..:; .-;· ;■-■■·.■
8. Wärmebeständige, lichtvernetzbare Schichten und Folien liefernde Gremische nach Anspruch 7,. dadurch gekennzeichnet,
daß die Gemische als lösliche Polymere, ,ungesättigte
Polyesterharze mit Maleinat- und/oder Fumaratstrukturelementen
enthalten* ' ..-1V". ■-- ' ■■" -. :λ -.-..-■ :;;,.>' -■- ::· ;.; - ..·■-.,■■.■·.· <- ' \
9. Wärmebeständige, lichtvernetzbare Schichten und Folien
liefernde Gemische nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet,
daß die Säurezahl der ungesättigten Polyesterharze < 25» vorzugsweise <10, ist.
10. Wärmebeständige, lichtvernetzbare Schichten und Folien
liefernde Gemische nach Anspruch 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Gemische Photoinitiatoren und/oder Photosenaibilisatoren,
vorzugsweise - 2 Gew.^, bezogen auf das Gewicht aller
Komponenten enthalten.
11. Wärmebeständige, lichtvernetzbare Schichten und Folien liefernde Gemische nach Anspruch 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet,
daß die Gemische bis zu 20 Gew.^, bezogen auf das Gewicht aller Komponenten niedrigmolekulare bis oligomere,
vorzugsweise flüssige bis zähviskose olefinisch ungesättigte copolymerisierbare Verbindungen enthalten.
12. Wärmebeständige, lichtvernetzbare Schichten und Folien
liefernde Gemische nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Gemische 5 bis 10 Gew.$ der niedrigmolekularen bia
oligomeren olefinisch ungesättigten Verbindungen, bezogen auf das Gewicht aller Komponenten enthalten.
13. Wärmebeständige, lichtvernetzbare Schichten und Folien liefernde Gemische nach Anspruch 11 und 12, dadurch gekennzeichnet,
daß die Gemische als niedrigmolekulare bis oligomere
olefinisch ungesättigte Verbindungen Methacrylverbindungen enthalten. . _13_
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If r I 3 \ 5 <
ν e 01 . ■
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14. Anwendung der Gemische nach Anspruch 1 bis 15 zur phototechnischen Herstellung von Bildern und Schichtstrukturen,
wobei die Gemische zunächst durch Kalandrieren oder aus Lösung in Folienform gebracht, gegebenenfalls mit Schutzfolien versehen,
und dann als Folien verarbeitet werden, dadurch gekennzeichnet, daß die Belichtung der Gemische in direktem Kontakt
zur Kopiervorlage erfolgt."
15· Anwendung der Gemische nach den vorangegangenen Ansprüchen
zur Herstellung von Schutzschichten und -schichtstrukturen als Hilfsmittel bei der Fertigung oder als Bestandteil von Bauteilen
und Schaltungen in der Elektrotechnik.
609825/091Ö
Priority Applications (11)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19742457882 DE2457882B2 (de) | 1974-12-06 | 1974-12-06 | Waermebestaendige, lichtvernetzbare massen |
AT834875A AT340771B (de) | 1974-12-06 | 1975-11-03 | Warmebestandige, lichtvernetzbare schichten und folien liefernde gemische |
CH1427375A CH617950A5 (de) | 1974-12-06 | 1975-11-05 | |
IT752905Q IT1049880B (it) | 1974-12-06 | 1975-11-27 | Miscela per produrre strati e foglie fotoreticolabili resistenti a caldo |
US05/637,189 US4072524A (en) | 1974-12-06 | 1975-12-03 | Mixture yielding thermally stable photo-cross-linkable layers and foils |
GB49903/75A GB1525580A (en) | 1974-12-06 | 1975-12-04 | Photocrosslinkable compositions |
FR7537148A FR2293467A1 (fr) | 1974-12-06 | 1975-12-04 | Melanges pour fabriquer des couches et des feuilles reticulables a la lumiere et thermostables |
BE162441A BE836269A (fr) | 1974-12-06 | 1975-12-04 | Melanges pour fabriquer des couches et des feuilles reticulables a lumiere et thermostables |
NL7514160A NL7514160A (nl) | 1974-12-06 | 1975-12-04 | Mengsels die lagen en folies opleveren welke be- stand zijn tegen warmte en verknoopbaar door be- lichting. |
JP50145856A JPS51125483A (en) | 1974-12-06 | 1975-12-05 | Mixture used for raw material of photoocrosslinkable heattresistant layer and film |
DE19762628712 DE2628712A1 (de) | 1974-12-06 | 1976-06-25 | Verfahren zur herstellung von duennschicht-schaltkreisen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19742457882 DE2457882B2 (de) | 1974-12-06 | 1974-12-06 | Waermebestaendige, lichtvernetzbare massen |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2457882A1 true DE2457882A1 (de) | 1976-06-16 |
DE2457882B2 DE2457882B2 (de) | 1977-06-02 |
DE2457882C3 DE2457882C3 (de) | 1978-01-19 |
Family
ID=5932777
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19742457882 Granted DE2457882B2 (de) | 1974-12-06 | 1974-12-06 | Waermebestaendige, lichtvernetzbare massen |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4072524A (de) |
JP (1) | JPS51125483A (de) |
AT (1) | AT340771B (de) |
BE (1) | BE836269A (de) |
CH (1) | CH617950A5 (de) |
DE (1) | DE2457882B2 (de) |
FR (1) | FR2293467A1 (de) |
GB (1) | GB1525580A (de) |
IT (1) | IT1049880B (de) |
NL (1) | NL7514160A (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102017200495A1 (de) * | 2017-01-13 | 2018-04-26 | Conti Temic Microelectronic Gmbh | Verfahren zum Herstellen von einer Leiterplatte für ein Kraftfahrzeug |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS607261B2 (ja) * | 1978-10-02 | 1985-02-23 | 旭化成株式会社 | 感光性エラストマ−組成物 |
US4615968A (en) * | 1982-11-04 | 1986-10-07 | Ciba-Geigy Corporation | Compositions of matter which crosslink under the action of light in the presence of sensitizers |
JPH0739167B2 (ja) * | 1984-10-29 | 1995-05-01 | 株式会社日立製作所 | 積層板の製造方法 |
US5607814A (en) * | 1992-08-07 | 1997-03-04 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Process and element for making a relief image using an IR sensitive layer |
US6756181B2 (en) | 1993-06-25 | 2004-06-29 | Polyfibron Technologies, Inc. | Laser imaged printing plates |
AU3119397A (en) * | 1996-05-16 | 1997-12-05 | Napp Systems Inc. | Methods to increase the exposure sensitivity of photopolymerizable matrices and apparatus useful therefor |
BR9908044A (pt) | 1998-01-30 | 2000-11-28 | First Chemical Corp | Composições de fotopolimerização incluindo maleimidas e processos para usar as mesmas |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3060022A (en) * | 1959-07-13 | 1962-10-23 | Gen Aniline & Film Corp | Image transfer process |
US3147119A (en) * | 1962-05-18 | 1964-09-01 | Gen Aniline & Film Corp | Photopolymerization of vinyl monomers with metal oxides as catalysts |
US3469983A (en) * | 1965-07-06 | 1969-09-30 | Gaf Corp | Preparation of photopolymer lithographic offset paper plates |
US3376139A (en) * | 1966-02-01 | 1968-04-02 | Gilano Michael Nicholas | Photosensitive prepolymer composition and method |
US3619187A (en) * | 1968-02-12 | 1971-11-09 | Gaf Corp | Process for preparing colored photoresists |
DE2130904C3 (de) * | 1971-06-22 | 1974-06-12 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Homogene lichtvernetzbare Schichten liefernde Gemische |
US3905820A (en) * | 1972-01-27 | 1975-09-16 | Hoechst Ag | Light sensitive copolymers, a process for their manufacture and copying compositions containing them |
NL177718C (nl) * | 1973-02-22 | 1985-11-01 | Siemens Ag | Werkwijze ter vervaardiging van reliefstructuren uit warmte-bestendige polymeren. |
US3932401A (en) * | 1974-01-31 | 1976-01-13 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Mixed acrylic acid/methacrylic acid esters of tris (hydroxyalkyl) isocyanurates |
-
1974
- 1974-12-06 DE DE19742457882 patent/DE2457882B2/de active Granted
-
1975
- 1975-11-03 AT AT834875A patent/AT340771B/de not_active IP Right Cessation
- 1975-11-05 CH CH1427375A patent/CH617950A5/de not_active IP Right Cessation
- 1975-11-27 IT IT752905Q patent/IT1049880B/it active
- 1975-12-03 US US05/637,189 patent/US4072524A/en not_active Expired - Lifetime
- 1975-12-04 GB GB49903/75A patent/GB1525580A/en not_active Expired
- 1975-12-04 NL NL7514160A patent/NL7514160A/xx not_active Application Discontinuation
- 1975-12-04 FR FR7537148A patent/FR2293467A1/fr active Granted
- 1975-12-04 BE BE162441A patent/BE836269A/xx unknown
- 1975-12-05 JP JP50145856A patent/JPS51125483A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE102017200495A1 (de) * | 2017-01-13 | 2018-04-26 | Conti Temic Microelectronic Gmbh | Verfahren zum Herstellen von einer Leiterplatte für ein Kraftfahrzeug |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB1525580A (en) | 1978-09-20 |
AT340771B (de) | 1978-01-10 |
DE2457882B2 (de) | 1977-06-02 |
FR2293467A1 (fr) | 1976-07-02 |
ATA834875A (de) | 1977-04-15 |
JPS51125483A (en) | 1976-11-01 |
NL7514160A (nl) | 1976-06-09 |
FR2293467B1 (de) | 1978-05-12 |
IT1049880B (it) | 1981-02-10 |
BE836269A (fr) | 1976-04-01 |
CH617950A5 (de) | 1980-06-30 |
US4072524A (en) | 1978-02-07 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |