DE2262785C3 - Siliziumnitrid-Aluminiumoxid-Aluminiumnitrid-Keramik und Verfahren zur Herstellung - Google Patents
Siliziumnitrid-Aluminiumoxid-Aluminiumnitrid-Keramik und Verfahren zur HerstellungInfo
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Description
besteht und der größte Teil des Aluminiumoxids und des Aluminiumnitrids im Siliziumnitrid in fester
Phase gelöst vorliegt
2. Keramik nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sie aus
20 bis 78 Mol-% Siliziumnitrid,
20 bis 78 Mol-% Aluminiumoxid und
2 bis 40 Mol-% Aluminiumnitrid
20 bis 78 Mol-% Aluminiumoxid und
2 bis 40 Mol-% Aluminiumnitrid
besteht.
3. Verfahren zur Herstellung einer harten und dichten Keramik aus Siliziumnitrid (SIiN4), Aluminiumoxid
(AI2O3) und Aluminiumnitrid (AIN) nach Anspruch 1, gemäß dem eine Mischung aus den
pulverförmigen Ausgangsmateralien unter nicht oxydierender Atmosphäre, gegebenenfalls unter
Druckeinwirkung, auf Sintertemperaturen zwischen 1650 und 20000C erhitz1, wird, dadurch gekennzeichnet,
daß als Ausgangsmaterial ein Gemenge aus 10 bis 80 Mol-0/· Siliziumnitrid, 10 bis 88 Mol-%
Aluminiumoxid und 2 bis 70 Mol- % Aluminiumnitrid
eingesetzt und so lange erhitzt wird, bis sich Aluminiumoxid und Aluminiumnitrid zum überwiegenden
Teil in fester Phase im Siliziumnitrid gelöst haben.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Ausgangsmaterial ein Gemenge aus
20 bis 78 Mol-% Siliziumnitrid, 20 bis 78 Mol-% Aluminiumoxid und 2 bis 40 Mol-% Aluminiumnitrid
eingesetzt wird.
5. Verfahren nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Gemenge unter einem
Druck von 100 bis 300 kg/cm2 für 10 bis 40 min bei Temperaturen zwischen 1500 und 18000C gesintert
wird.
Die Erfindung betrifft eine gesinterte, harte und dichte Siliziumnitrid-Aluminiumoxid-Aluminiumnitrid-Keramik;
weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Keramik.
Aus der österreichischen Patentschrift 2 35 193 sind durch Heißpressen erhaltene nichtmetallische Formkörper
hoher Dichte bekannt, die beispielsweise aus Aluminiumnitrid (AIN) oder aus AIN und Aluminium- fto
oxid (AbOj) oder aus AIN und Siliziumnitrid (ShN«) oder aus AIN und ΛΙ2Ο) und Siliziumdioxid (SiO2)
bestehen können, wobei der AIN-Anteil stets mehr ils
Gew.-% und vorzugsweise mehr als 90 Gew. % ausmachen soll. Das binäre Material aus 80 Gew.-% '"■
AIN. Rest AI2O) weist zwischen 25 und 200°C einen
linearen thermischen Ausdehnungskoeffizienten von
3.89 ■ 10-6cm/cm°C und /wischen 25 und 6000C
einen solchen Ausdehnungskoeffizienten von 5,07 - 10-6cm/cm°C auf. Für viele industrielle Anwendungen
sind derartige Ausdehnungskoeffizienten zu hoch.
Mit der britischen Patentschrift 9 70 639 wird eine Siliziumnitrid-Keramik beschrieben, die zusätzlich zu
Si3N4 0,1 bis 25 Gew.-% Flußmittel enthalten soll, wobei
u. a. als geeignetes Flußmittel AI2O3 oder Magnesiumoxid
(MgO) genannt wird. Das Material aus 85 Mol-% Si3N4 und 15 Mol-% MgO stellt eine anerkannt gute
Keramik dar, deren Oxidationsbeständigkeit insbesondere bei hohen Temperaturen oberhalb l000°C nicht
völlig befriedigt hat. Derartige Siliziumnitrid-Magnesiumoxid-Keramik
ist auch als Lagermaterial für Lager eingesetzt worden, die hohen Temperaturen ausgesetzt
sind. Hierbei hat jedoch die Verschleißbeständigkeit dieser Keramik nicht völlig befriedigt.
Aufgabe der Erfindung ist es, harte und dichte Siliziumnitrid-Aluminiumoxid-Aluminiumnitrid-Keramik
mit hoher Abriebbeständigkeit, hoher Oxidationsbeständigkeit, insbesondere bei hohen Temperaturen,
und niedrigem Wärmeausdehnungskoeffizienten bereitzustellen.
Die erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe ist gekennzeichnet durch eine gesinterte harte und dichte
Siliziumnitrid-Aluminiumoxid-Aluminiumnitrid-Keramik,
die aus
10 bis 80 Mol-% Siliziumnitrid (Si3N4),
IO bis 88 Mol-% Aluminiumoxid (AI2O)) und
2 bis 70 Mol-% Aluminiumnitrid (AIN)
besteht, wobei der größte Teil des Aluminiumoxides und des Aluminiumnitrides im Siliziumnitrid in fester Phase
gelöst vorliegt.
Nach einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung besteht die Keramik aus
20 bis 78 Mol-% Siliziumnitrid, 20 bis 78 Mol-% Aluminiumoxid und
2 bis 40 Mol-% Aluminiumnitrid.
Ausgehend von einem Verfahren, gem. dem eine Mischung aus pulverförmigem SijN4, AI2Oi und AIN
unter nichtoxidierender Atmosphäre, gegebenenfalls unter Druckeinwirkung, auf Sintertemperaturen zwischen
1650 und 20000C erhitzt wird, ist das erfindungsgemäße
Verfahren dadurch gekennzeichnet, daß ein Gemenge aus 10 bis 80 Mol-% Si)N4, IO bis 88 Mol-%
AI2O) und 2 bis 70 Mol-% AIN eingesetzt und so lange erhitzt wird, bis sich AI2O) und AIN zum überwiegenden
Teil in fester Phase im Si)N4 gelöst haben.
Nach einer bevorzugten Ausführungsform wird ein Gemenge aus 20 bis 78 Mol-% Siliziumnitrid, 20 bis 78
Mol-% Aluminiumoxid und 2 bis 40 Mol-% Aluminiumnitrid eingesetzt. Vorzugsweise wird das Gemenge
unter einem Druck von 100 bis 300 kg/cm2 für 10 bis 40
min bei Temperaturen zwischen 1500 und 1800°C
gesintert.
Zur Erläuterung der Erfindung dient auch ein Dreiecksdiagramm für die Komponenten Si1N4, AIN
und AI2O), aus dem die Zusammensetzung erfindungsgemäßes
Materialien abgelesen werden kann. Die Anteilsangaben beziehen sich jeweils auf Mol-%. Alle
Seiten des Diagramms tragen Skalen in arithmetischer Teilung. Die linke Seite stellt den Si)N4-Gehalt dar und
die rechte Seite den AIN-Gehalt, während die untere Seite den AI2O1-Ge(IaIt darstellt. Eine parallel zur
Bodenlinie verlaufende Linie stellt den gleichen AIN-Gehalt dar- jede parallel zur linken bzw, zur
rechten Linie verlaufende Linie stellt jeweils den gleichen Si3N4- bzw. AI2O3-Gehalt dar. Jede Zusammensetzung,
die in der Zeichnung mit Punkten angegeben ist, ist in der folgenden Tabelle aufgeführt.
Die erfindungsgemäßen Keramikerzeugnisse weisen einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten von
etwa 2 bis 3 · 10~6 cm/cm°C auf, sind sehr wärme- und oxidationsbestän.dig und können bei HOO0C und in
manchen Fällen sogar darüber verwendet werden; Einzelheiten können der nachfolgenden Tabelle entnommen
werden.
Die erfindungsgemäße Siliziumnitridkeramik wird
durch Sintern oder Heißpressen unter nicht oxidierender Atmosphäre bei einer Temperatur von 1650 bis
20Q0°C aus einem Pulvergemisch aus 10 bis 80 Mol-% Si3N4, 10 bis 88 Mol-% AI2O3 und 2 bis 70 Mol-% AIN
erhalten. Die Zusammensetzung der dabei erhaltenen keramischen Materialien liegt innerhalb der fünfeckigen
Fläche mit den Ecken A, B, C, D, E des Dreieckdiagramms.
Es wurde festgestellt, daß die erfindun£Sgemäße
Keramik hauptsächlich aus einer neuartiger Phase einer festen Lösung von AbO3 und AIN in Si3Ni besteht oder
aus einem Gemisch aus dieser neuen Phase mit einer neuen Verbindung mit den folgenden Gitterkonstanten
(d) 2,89; 2,79; 2,61; 2,58; 2,31; 2,15; 2,04; 1,82; 1,496 und 1,39 (Ä); die Fehlertoleranz der Gitterkonstanten liegt
bei ca. 5%.
Eine exakte Erklärung für die große Verschleißfestigkeit der neuen Phase kann zur Zeit noch nicht gegeben
werden. Es wird angenommen, daß durch den Einschluß von AI2O3 und AIN in Si3N4 relativ viele leere
Gitterplätze vorliegen und sich aufgrund dieser Gitterfehler Mikrospannungsfelder bilden, welche die
hohe Härte und die Verschleißfestigkeit der Keramik bedingen. Die Zusammensetzung der neuen Verbindung
ist noch nicht aufgeklärt worden; diese Verbindung kann jedoch durch die aufgeführten Gitterkonstanten
identifiziert werden. Die erfindungsgemäße Keramik besteht zu mehr als 80 Gew.-% aus dieser neuartigen
Phase, nämlich einer festen Lösung von AI2O3 und AIN
in Si3N4 oder aus einem Gemisch der neuen Phase mit
der noch nicht identifizierten neuen Verbindung, die mittels ihrer Gitterkonstanten charakterisiert worden
ist. Der Wärmeausdehnungskoeffizient der Keramik beträgt ca. 3,0 · 10-6CmZCm0C oder weniger, und die
Abriebbeständigkeit ist ca.'. ,5- bis 5mal höher als bei der bekannten Siliziumnitrid-Magnesiumoxid-Keramik.
Durch Heißpressen eines Pulvergemisches aus 20 bis 78 Mol-% Si3N4, 20 bis 78 Mol-% AI2O) und 2 bis 40
Mol-% AIN wird keramisches Material erhalten, das zusätzlich zu hoher Verschleißfestigkeit einen bemerkenswert
niedrigen. Wärmeausdehnungskoeffizienten von 2,5- 10-6cm/cm"C oder weniger aufweist. Im
Dreiecksdiagramm liegt die Zusammensetzung dieser bevorzugten Materialien innerhalb der trapezförmigen
Fläche mit den Ecken F, G, H, I.
Der Anteil von wenigstens 2 Mol-% AIN in dem Pulvergemisch für die Herstellung der erfindungsgemäßen
Keramik gewährleistet, daß die feste Lösung von AI2Oj und AIN in Si3N4 sehr leicht gebildet wird, ohne
nennenswerte Verdampfung von AI2O) und Si)N4.
Pulvergemische aus 55 Mol-%' Si)N4 und 45 Mol-%
AI2O3 (also ohne AiN) wurden 30 min lang bei 170O0C
unter Stickstoffatmosphäre unter einem Druck von 250 kg/cm2 gesintert; hierbei wurde festgestellt, daß
einige Proben mehr als 20% ihres ursprünglichen Gewichts verloren haben. Die chemische Analyse ergab,
daß die Gewichtsverminderung hauptsächlich auf das Entweichen von AI2O3 zurückzuführen war. Wurden
dagegen Pulvergemische aus 53 Mol-% Si1N4, 45
Mol-% AI2O3 und 2 Mol-% AIN sowie Pulvergemische
aus 45 Mol-% Si3N4, 45 Mol-% AI2O3 und 10 Mol-%
AIN 30 min lang bei 175O°C unter einem Druck von 250 kg/cm2 gesintert, so wurde an keiner einzigen Probe
ίο ein Gewichtsverlust über 5 Gew.-% festgestellt. Durch
den Zusatz von AIN zu dem Pulvergemisch kann der Gewichtsverlust beim Sintern verhindert werden,
wodurch die Bildung von unbrauchbaren Erzeugnissen fast gänzlich ausgeschlossen werden kann. Es wurde
weiterhin festgestellt, daß durch die Anwesenheit von AIN die homogene Verteilung von AI2O3 in der die
Keramik bildenden festen Lösung und die einheitliche Qualität der Keramik verbessert werden.
Beim erfindungsgemäßen Verfahren ist es vorteilhaft, die Temperatur der Wärmebehandlung im Bereich von
1650 bis 20000C zu halten. Liegt die """imperatur bei ca.
'6000C, dann kann in einigen Fällen der Sintervorgang
nicht vollständig durchgeführt werden; liegt dagegen die Temperatur über 2000°C, so verdampft Si3N4
erheblich. Zur Erhöhung der Dichte des gesinterten Materia!:· ist es vorteilhaft, während des Sintervorgangs
das Material unter Druck auf der erwähnten Temperatur zu halten. Der Sintervorgang muß unter einer nicht
oxidierenden Atmosphäre durchgeführt werden.
Es wurden eine Reihe von Proben hergestellt, wozu
Pulvergemische aus Si3N4-Feinpulver (Teilchengröße
75 μιη und feiner), AI2O3 und AIN (Teilchengröße
jeweils 40 μιη und feiner) erhitzt bzw. mit einem Stempel bei hoher Temperatur in eine Graphitform
gepreßt wurden, die einen Innendurchmesser von 40 mm aufwies. Die Sintertemperatur lag bei 1500 bis
18000C, die Heizdauer betrug 10 bis 40 min, und der Druck betrug 100 bis 300 kg/cm2; die Sinterung erfolgte
stets unter Stickstoff.
Nach dem Sintern wurde jede Probe abgekühlt und anschließend deren Porisität, Oxidationsbeständigkeit,
Ven^hleißwiderstand und Wärmeausdehnungskoeffizient gemessen. Hie in jeder Probe enthaltenen
Elemente wurden mittels eines elektronisch arbeitenden Mikroanalysators bestimmt, und die Zusammensetzung
jeder Probe wurde mittels der Röntgenstrahlbeugung bestimmt. Der Verschleißwiderstand bzw. die Abriebbeständigkeit
wurde nach folgender Methode bestimmt. Scheibenförmige Proben mit einem Durchmesser von
30 mm wurden 12 h lang unter einem Flächendruck von 25 g/cm2 gegen eine rotierende Scheibe aus Gußeisen
gedrückt; die Schleifscheibe war mit Schleifpartikeln aus Siliziumkarbid (Teilchengröße 43 μπι) bestückt, und
die R"!af:ivgeschwindigkeit zwischen Probe und rotierender
Scheibe betrug 43 m/min. Es wurde jeweils der Gewichtsverlust dei Proben bestimmt.
Zur Bestimmung der Oxidationsbeständigkeit wurden die Proben (Durchmesser 40 mm) mit Schleifpartikeln
aus Siliziumkarbid (Teilchengröße 20 μηι) oberflächelieh
aufgerauht und 48 h lang bei 1200°C in einem Elektroofen an Luft oxidiert und anschließend der
Gewichtsanstieg gemessen. Der Wärmeausdehnungskoeffizient wurde mittels eines Dilatomeiers an Luft
gemessen.
ft5 Die Ergebnisse sind in der nachfolgenden Tabelle
aufgeführt. Zum Vergleich werden auch die entsprechenden Angaben für die bekannte Siliziumnitrid-Magnesiumoxid-Keramik
aufgeführt.
Pro be |
Ausgangsmaterial | AbOi | AIN | Sinterbedingungen | Temp. | Dauer | Figenschaftcn | Clew. | Ab | WA. | Struktur*) |
Nr. | Si)Ni | Druck | lh | 7-un. d. | gerie | Koeff | Zusammensetzung | ||||
Oxid. | bene | 10 *· | |||||||||
Menge | cm/cm "C | ||||||||||
(Mol-%) | (Mol-%) | ') ("C) | (min) | (mg/cm2) | (g) | ||||||
(Mol%) | 10 | 10 | (kg/cm· | 1850 | 30 | (%) | 1.0 | 0.88 | _ | (Gew.%) | |
I | 80 | 27 | 3 | 300 | 1600 | 40 | 8 | 0.45 | — | 2.2 | |
2 | 70 | 300 | 10 | wenig freies | |||||||
15 | 20 | 1750 | 25 | 0,8 | 0,93 | — | ShN* | ||||
3 | 65 | 10 | 30 | 300 | 1850 | 15 | I | 0.9 | 0,80 | 2.9 | |
4 | 60 | 150 | 1 | Obis 20Gew.-% | |||||||
20 | 20 | 1750 | 30 | 0,7 | 0,80 | 2.5 | AlN | ||||
5 | 60 | 250 | 1 | ca. 15 Gew-% | |||||||
10 | 40 | 1850 | 15 | 0.9 | 1,01 | — | AIN | ||||
6 | 50 | 200 | 1 | ca. 3 Gew-% | |||||||
47 | J | i 750 | i5 | Ö.Ö5 | 0.58 | 2.2 | AIN | ||||
7 | 50 | 57 | 3 | JOO | 1600 | 30 | i | 1.0 | — | 2.0 | |
8 | 40 | 200 | 8 | wenig freies | |||||||
20 | 40 | 1800 | 25 | 0.5 | - | 2.5 | SisN4 | ||||
9 | 40 | 35 | 30 | 200 | 1750 | 20 | 1 | 0,6 | 2.5 | wenig freies | |
10 | 35 | 30 | 40 | 300 | 1800 | 25 | 1 | 0.9 | 0,6 | 2.5 | Il |
11 | 30 | 20 | 50 | 250 | 1600 | 20 | 1 | 0.5 | — | 3,0 | |
12 | 30 | 100 | 1 | ca. 5 Gew.-% | |||||||
freies AhOj, | |||||||||||
ca. 17Gew.-% | |||||||||||
10 | 70 | 1800 | 25 | 0,7 | 1,02 | _ | AlN | ||||
13 | 20 | 300 | 1 | ca.20Gew.-% | |||||||
AIN, | |||||||||||
ca. 10Gew.-% | |||||||||||
40 | 40 | 1750 | 30 | 0.9 | 1.20 | 2,5 | neue Verb. | ||||
14 | 20 | 30 | 50 | 250 | 1750 | 30 | 1 | 0.8 | — | 2,4 | |
15 | 20 | 250 | 1 | 10Gew.-%AIN | |||||||
ca. 13Gew.-% | |||||||||||
60 | 20 | 1700 | 25 | 0.85 | — | 2,3 | Spinell | ||||
16 | 20 | 200 | 1 | ca. 3 Gew.-% | |||||||
15 | 70 | 1800 | 25 | 0,7 | 1,00 | — | neue Verb. | ||||
17 | 15 | 300 | 1 | 25 Gew.-% | |||||||
neue Verb.. | |||||||||||
ca. 10Gew.-% | |||||||||||
60 | 25 | 1750 | 20 | 0,8 | 1.25 | — | AlN | ||||
18 | 15 | 300 | 1 | ca. 3 Gew.-% | |||||||
neue Verb.. | |||||||||||
8 Gew.-% | |||||||||||
20 | 70 | 1850 | 20 | 0,8 | 0,98 | — | Spinell | ||||
19 | 10 | 200 | 1 | 22 Gew.-% | |||||||
neue Verb.. | |||||||||||
ca. 10 Gew.-% | |||||||||||
50 | 40 | 1800 | 30 | 0,9 | UO | _ | AIN | ||||
20 | 10 | 250 | 1 | ca. 7 Gew.-% | |||||||
neue Verb.. | |||||||||||
ca. 5 Gew.% | |||||||||||
70 | 20 | 1700 | 30 | 1,0 | 2,5 | Spinell | |||||
21 | 10 | 200 | 1 | 15Gew.-% | |||||||
Λ-ΑΙ2Ο3 |
Zum Vergleich: binäres Material aus — 85 Mol-% S13N1 und 15 Mol-% MgO
— ca. 1,0 ca. 1,5 —
") In allen Fällen lag das SijN« vollständig oder weitgehend als neuartige feste Lösung vor.
Die Proben 1 bis 21 sind mit ihren gleichzahligen fizient ist sehr gering: nämlich ca. 3 · 10-6cm/cm°
Probennummern entsprechend ihrer Zusammensetzung oder weniger; für die bevorzugten Materialien mit ein«
in das Dreiecksdiagramm eingetragen In allen Fällen ist f.5 Zusammensetzung innerhalb der trapezförmigen Fläcf
der Verschleißwiderstand sehr gut; d. h„ die abgeriebe- F. C, H, I beträgt der Wärmeausdehnungskoeffiziei
ne Menge des jeweiligen gesinterten Materials beträgt nur 2.5 ■ 10-6cm/cm°C oder weniger,
ca. 1 g oder weniger; auch der Wärmeausdehnungskoef- Wegen der aufgezeigten Eigenschaften, nämlk
hohen Oxidationsbeständigkeit, hohen Abriebbesländigkeit
und geringen Wärmeausdehnung, ist das erfindungsgemäüe keramische Material für Lager.
Cieblasedüsen, keramische Schneidwerkzeuge und ähnliche /wecke gut geeignet.
liier/u 1 HIiHt/.ciclinimucn
Claims (1)
1. Gesinterte harte und dichte Siliziumnitrid-Aluminiumoxid-Aluminiumnitrid-Keramik,
dadurch gekennzeichnet, daß sie aus
10 bis 80 Mol-% Siliziumnitrid (Si3N4)
10 bis 88 Mol-% Aluminiumoxid (AI2Oj) und
2 bis 70 Mol-% Aluminiumnitrid (AIN)
10 bis 88 Mol-% Aluminiumoxid (AI2Oj) und
2 bis 70 Mol-% Aluminiumnitrid (AIN)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP10445471A JPS531763B2 (de) | 1971-12-21 | 1971-12-21 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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