JPH0617272B2 - 窒化珪素−アルミナ系複合セラミツクスおよびその製造方法 - Google Patents

窒化珪素−アルミナ系複合セラミツクスおよびその製造方法

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JPH0617272B2
JPH0617272B2 JP61028461A JP2846186A JPH0617272B2 JP H0617272 B2 JPH0617272 B2 JP H0617272B2 JP 61028461 A JP61028461 A JP 61028461A JP 2846186 A JP2846186 A JP 2846186A JP H0617272 B2 JPH0617272 B2 JP H0617272B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、エンジンの構造用部材等に用いて好適な窒化
珪素−アルミナ系複合セラミックスに関するものであ
る。
〔従来技術〕
窒化珪素−アルミナ系セラミックスとしてはβ′−サイ
アロン〔Si6-ZAlZ8−Z(Z=0〜4.2)〕が
知られている。これは窒化珪素とアルミナの完全な固溶
体で、熱膨張係数は約3.0×10−6/℃(室温〜10
00℃)と小さく、窒化珪素とよく似た特性を示す。
熱膨張係数が小さいことは一般に耐熱衝撃性にすぐれた
利点を示すが、他材料、特に金属と接合した場合に熱膨
張係数の相違から破損が生じやすく、用途が制限され
る。
一方、窒化珪素とアルミナの混合粉末を、これ等の量比
や焼成条件を調整して焼結することにより、完全な固溶
体ではなく、未反応の窒化珪素とアルミナを含む複合セ
ラミックスを得ることができ、この未反応のアルミナの
量によりセラミックスの熱膨張係数を調整することがで
きる。
〔本発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、未反応のアルミナを含むセラミックスに
ついて量産検討を行なったところ、強度にバラツキがあ
り、時として可成り強度の低いものが認められた。かか
る強度のバラツキは窒化珪素またはβ′−サイアロン単
品にはみられない現象である。
そこで本発明は、セラミックスに高強度を付与する窒化
珪素、セラミックスの熱膨張係数を調整するアルミナお
よびこれ等を強固に結合するβ′−サイアロンとよりな
り、かつ特性にバラツキのないセラミックス、およびそ
の製造方法を提供し、もって従来の問題を解決すること
を目的とするものである。
〔問題点を解決するための手段〕
発明者らは多くの研究、実験を重ねた結果、上記セラミ
ックスにおいて強度にバラツキが生じる原因は、アルミ
ナの結晶形態に主たる原因があることを見出した。
即ち、第2図のように窒化珪素(Si3N4)粉末とアルミ
ナ(Al2)粉末を混合して焼結した場合、窒化珪素
粒子とアルミナ粒子の界面にβ′−サイアロンを形成す
る反応が生じても、強度の低いアルミナ粒子が連結して
連続している部位が生じ、この部位でアルミナに亀裂が
発生して強度の低下をまねくことが認められた。
そこで本発明は、基本的に窒化珪素、アルミナおよびこ
れ等の反応により生じたβ′−サイアロンよりなり、ア
ルミナの結晶が窒化珪素およびβ′−サイアロンの結晶
により囲包されて分断され連続形態をとらない結晶相を
有する窒化珪素−アルミナ系セラミックスを提供する。
また、このセラミックスで、窒化珪素とβ′−サイアロ
ンの結晶の総量を45〜90重量%、アルミナの結晶量
を10〜55重量%とすることで窒化珪素に匹敵する強
度を発揮せしめ、かつアルミナの結晶量に応じて熱膨張
係数をほぼ3.2〜6.1×10−6/℃の範囲で変化せし
めることができる。
そして上記の特性を有するセラミックスは、アルミナ粉
末20〜70重量%、残部実質的に窒化珪素粉末よりな
り、アルミナ粉末の平均粒径を窒化珪素粉末の平均粒径
の2倍程度ないしそれ以上とした混合粉末を不活性ガス
雰囲気中で焼成することにより得られる。ただし、この
場合、アルミナ粉末の平均粒径は10μm程度ないしそ
れ以下とする。
混合粉末中のアルミナ粉末が20重量%より少ない場合
には、添加したアルミナ粉末が窒化珪素粉末と反応し、
ほとんどβ′−サイアロンに変化してしまうため未反応
アルミナの結晶量が足りなくなり、熱膨張係数の調整が
できなくなる。
また、アルミナ粉末を20重量%以上とした場合、アル
ミナ粉末の平均粒径を窒化珪素粉末の平均粒径の2倍程
度ないしはそれ以上とし、かつアルミナ粉末の平均粒径
はこれを10μm程度ないしそれ以下としなければ、ア
ルミナ結晶を窒化珪素およびβ′−サイアロン結晶で囲
包することができず、強度にバラツキのあるセラミック
スとなる。
アルミナ粉末が70重量%より多い場合は、窒化珪素粉
末の絶対量が少なくアルミナ粉末と窒化珪素粉末の粒径
比を調整しても、もはやアルミナ結晶を窒化珪素および
β′サイアロン結晶で囲包できなくなる。
〔作用効果〕
本発明のセラミックスでは、強度の低いアルミナの結晶
は粒状で互に連結せず窒化珪素およびβ′−サイアロン
の結晶により囲包されているから、従来のこの種セラミ
ックスに比し亀裂が発生しにくい。
また本発明の方法によれば、原料の混合粉末は、第1図
に示すように粒径の大きいアルミナの粒子間に粒径の小
さい窒化珪素の粒子が入りこんでアルミナの粒子を囲包
した状態となり、この混合粉末を焼成することでアルミ
ナの結晶が窒化珪素およびβ′−サイアロンの結晶によ
り囲包された組織となる。
また本発明のセラミックスにおいて、アルミナの結晶量
が10〜55重量%の範囲では、アルミナの結晶量の増
加にかかわらず、セラミックスの強度低下は極めて少な
いことが実験により確認された。
実施例1. 以下の実験で、窒化珪素粉末とは、窒化珪素(Si
3)90.0重量%(以下、単に%とする)、スピネ
ル(MgAl2)5.0%、イットリヤ(Y)5.0
%よりなる混合粉末を示す。用いたスピネル粉末の平均
粒径は1.6μm、イットリヤ粉末の平均粒径は1.2μm
とした。スピネルおよびイットリヤは窒化珪素のための
焼結助剤であり、本実験では両者を併用したが、一方の
みを用いることもできる。
また、以下の実験で窒化珪素粉末の平均粒径とは上記混
合粉末中の窒化珪素のみの平均粒径を示す。
また、強度は、常温での3点曲げ抗折強度の単純平均値
(n=20)であり、試料サイズは全て、3.0×4.0×
40.0mmでプレート形の表面研磨品に統一した。この時
のクロスヘッドスピードは0.5mm/min、スパンは30.
00mmである。
熱膨張係数値は、室温〜1000℃の温度範囲にて測定
した値であり、各サンプルn=3の平均値で示した。な
お、この時の昇温レートは5℃/minとした。
種々平均粒子径の異なる窒化珪素粉末とアルミナ粉末に
有機溶剤を加えて混合し、ドクタープレード法により成
形したセラミックシートの複数を積層し約120℃でラ
ミネートした後、アルゴン(Ar)または窒素(N)ガ
ス等の不活性ガス雰囲気中、1600℃、30〜60分
間保持、圧力500kgf./cm2の条件でホットプレス焼
成し窒化珪素−アルミナ系複合セラミックスを得た。そ
して得られたセラミックスの特性を調べた。
第1表はその結果をまとめて表示したものである。ま
た、第3図と第4図は、第1表の結果から、窒化珪素粉
末とアルミナ粉末の配合割合と、抗折強度および熱膨張
係数の関係について図示したものである。
なお表において、 第1表および第4図から、熱膨張係数は出発原料粒径と
は関係なく、同一配合割合ではほぼ一定の値を示すこと
がわかる。
これに対し、抗折強度は、第1表および第3図からわか
るように出発原料粒径に大きく影響される。例えば、窒
化珪素粒子の平均粒径が、アルミナ粒子の平均粒径より
約10倍大きい場合、即ち粒径比0.10ではアルミナ粒
子が約20%以上になるとほぼアルミナの強度と同程度に
まで強度が落ちてしまうが、逆にアルミナ粒子の平均粒
径が窒化珪素粒子の平均粒径の約10倍大きい場合、す
なわち粒径比10.38ではアルミナ粒子の配合割合が7
0%になっても窒化珪素なみの強度を維持している。し
かしながら、この強度と出発原料粒径の間の関係はリニ
アな関係ではなく、窒化珪素粒子とアルミナ粒子の平均
粒径がほぼ等しい場合、すなわち粒径比1.04において
は、先に示した両者の中間値はとらず、強度が低下する
方にシフトしてしまう。この理由は、強度においては、
熱膨張係数のように単純な加成性が成り立たず、常に最
も弱い部分から破壊してしまうためである。
即ち、先に説明したように、第2図に示す混合状態では
たとえ、窒化珪素粒子とアルミナ粒子の界面において
β′−サイアロンを形成する反応が起きても、強度の弱
いアルミナ粒子が連結した部位が生ずる。従って、第3
図に示すように平均強度を調べた場合には、可成り弱い
方向に強度がでてしまうものと認められる。
これに対し、強い窒化珪素粒子を弱いアルミナ粒子より
小さくすると、第1図に示す混合状態となるので、弱い
アルミナ粒子の連結が阻止され、第3図に示す結果とな
ったものと認められる。
また、アルミナ粒子の配合割合が少ない場合に、強度低
下があまりみられず、熱膨張係数が窒化珪素なみの小さ
い値を示した理由は、添加したアルミナ粒子が窒化珪素
粒子と反応し全てβ′−サイアロンに変化したためであ
る。
第1表および第3図から知られるように、アルミナ粒子
を相対的に大きくして粒径比10.38とし、かつ窒化珪
素80〜30%、アルミナ70〜20%として得たセラ
ミックスでは、アルミナ量の広範囲の変化にかかわら
ず、高い強度が維持される。
またこのセラミックスでは、窒化珪素、α−アルミナお
よびこれ等が反応して生じたβ′−サイアロンの結晶よ
りなり、α−アルミナの結晶は窒化珪素およびβ′−サ
イアロンの結晶により囲包されて分断されている結晶相
となっていることが確認された。また、この結晶相にお
いて、窒化珪素とβ′−サイアロンの結晶量が45〜9
0%、α−アルミナ結晶量が10〜55%の範囲とする
ことで、熱膨張係数を3.2〜6.1×10−6/℃の範囲
内で変化させ得ることが確認された。
実験例2. 窒化珪素粉末とアルミナ粉末の配合割合を各々50%に
統一し、窒化珪素粉末とアルミナ粉末の平均粒子径を変
え、種々粒径比の異なる窒化珪素−アルミナ系複合セラ
ミックスを実験例1と同様の方法にて作成し、特性を調
べた。
結果を第2表および第5図に示す。
第5図からわかるように、粒径比が増大するとともに、
強度は向上する。ここでの強度は、n数を100個に増
大し、ワイブル確率紙にプロットした測定点の直線回帰
により求めた50%平均強度を示したものであるが、横
軸の粒径比を対数尺度で表示すると50%平均強度は、
粒径比と比例してほぼ直線的に増加する。しかしなが
ら、最大強度と最小強度値は、粒径比約1.0を変曲点と
してS字カーブを描く。特に、最小強度は粒径比約1.0
以上で向上し2.0に至ると顕著な向上がみられる。
好ましい粒径比は2.0以上、更に好ましくは4.0以上で
ある。第2表においてサンプルNO.6〜9がその範囲に
属する。
なお、本実験での試験サンプル中、各々のNO.の試料か
ら無作為に取り出したn=3個、(計27個)の室温か
ら1000℃の温度範囲の熱膨張係数を測定したとこ
ろ、全て4.75±0.1×10−6/℃の範囲内であっ
た。
実験例3. 実験例2同様、窒化珪素粉末とアルミナ粉末の配合割合
を各々50%に統一し、かつ粒径比が4.2〜4.6でほぼ
同等の値となるよう窒化珪素粉末とアルミナ粉末の平均
粒子径を変え、実験例1の方法にて窒化珪素−アルミナ
系複合セラミックスを作成し、特性を調べた。結果を第
3表および第6図に示す。
第6図からわかるように、粒径比がほぼ等しい値であっ
ても窒化珪素粒子の平均粒径が大きくなると、強度が低
下するとともに、バラツキの幅も拡大する傾向が見られ
る。
これは、粒径比が同じであってもアルミナ粒子径が過大
となると、第1図に示す好ましい混合状態とならないこ
とによるものと思われる。つまり、弱いアルミナ粒子が
大き過ぎるため、窒化珪素粒子との反応によるβ′−サ
イアロン相に全てが包み込まれることなく、アルミナ粒
子自身がき裂発生点となることによるものと考えられ
る。アルミナの平均粒子径は10μm程度ないしそれ以
下が望ましい。
この他に、数点の粒径比において調査検討した結果、窒
化珪素の平均粒子径としては、2μm程度ないしそれ以
下が好ましいことがわかった。
なお、平均強度はn=10の単純平均値を示した。
実験例4. 窒化珪素−アルミナ系セラミックスをディーゼルエンジ
ン用グロープラグに適用し、耐久試験を行なった結果に
ついて説明する。
第7図に示すグロープラグにおいて、棒状の支持部材2
の先端には断面コ字形の発熱体1が接合してある。支持
部材2内には軸線方向にタングステンの1対のリード線
3a、3bが埋設してあり、その先端が発熱体1に接続
してある。支持部材2の外周には金属スリーブ4が、更
にその外周には金属ボデー5が取り付けてある。
上記リード線3aの後端は支持部材2の基端まで延在
し、該基端に嵌着した金属キャップ6に接続し、キャッ
プ6およびニッケル線7を介して図示しない電源に接続
してある。一方、リード線3bの後端は金属スリーブ4
を介して金属ボデー5に接続してある。このグロープラ
グは金属ボデー5に形成したネジ51により図示しない
エンジン燃焼室壁に貫通固定される。
発熱体1は導電性の二珪化モリブデン(MOSi2)と絶縁
性の窒化珪素の混合粉末の焼結体である。MoSi2は発熱
体1に耐酸化性を付与し、また低熱膨張係数のSi3
は耐熱衝撃性を付与する。
リード線3a、3bを埋設した支持部材2は、窒化珪素
粒子とアルミナ粒子の混合粉末の焼結体よりなる窒化珪
素−アルミナ系複合セラミックスより構成されており、
発熱体1と支持部材2は一体焼結せしめてある。
第8図はセラミックスヒータの製造方法を示すもので、
発熱体1を形成すべきセラミックシート1′と支持部材
2を形成すべきセラミックシート2′とを図示のように
組合せ、かつ積層し、リード線3a、3bをはさんで全
体を1600℃、500kg/cm2程度の条件でホットプ
レスすることによりセラミックヒータが製造される。
このようにして得られたセラミックヒータを用いた第7
図に示すグロープラグにおいて、電流はニッケル線7、
金属キャップ6、リード線3aを通って発熱体1を流れ
て発熱させ、リード線3b、金属スリーブ4、金属ボデ
ー5を通ってアースされる。
次に、支持部材2として実験例2のNO.3、5、7と同
じ方法で作成した窒化珪素−アルミナ系複合セラミック
スを用いたセラミックヒータを作成し、このヒータを取
付けたグロープラグに関し耐久試験を行なった。なお発
熱体の組成は二珪化モリブデン71.7重量%、窒化珪素
28.3重量%で統一した。この発熱体の常温抵抗は0.1
8Ωである。
耐久試験は平衡温度が1300℃となるように電圧を設
定し、この電圧で1分間通電加熱し、1分間無通電で冷
却するサイクルで断続通電し、支持部材に割れが生じて
破損するまでのサイクル数を調べた。実験例2のNO.3
に相当する支持体のグロープラグでは、全て(4本)が
3000サイクル未満で、発熱体近傍よりクラックが発生し
破損し、NO.5に相当する支持体のグロープラグでは4
本中3本が、3000〜4000サイクルで同様に破
損、1本が6000〜7000サイクルで同様に破損し
た。しかしながら、本発明のNO.7に相当する支持体の
グロープラグでは全て(4本)10.000サイクルでも
割れは認められなかった。
そこで熱膨張係数を調整するために窒化珪素とアルミナ
の混合物の焼結体よりなる支持部材が着目された。とこ
ろが、窒化珪素とアルミナが反応するとβ′−サイアロ
ンが生成される。β′−サイアロンは強度は窒化珪素に
近い強度を示すものの、熱膨張係数も窒化珪素と同様に
低い。
そこで、焼結体中に未反応のアルミナ結晶を残し、これ
により熱膨張係数を調整しようとして、混合物中のアル
ミナ配合量を次第に増加させるようになってきた。その
結果、強度に大きなバラツキが生じて低強度品が発生す
る問題が生じてきた。
しかして本発明によれば、上記発熱体を、これと同程度
の熱膨張係数を有し、耐熱性および安定した強度を有す
る支持部材にて支持せしめることができる。なお、グロ
ープラグ発熱体用の支持部材としては、アルミナの平均
粒径を窒化珪素の4倍程度ないしそれ以上とすることが
望ましい。
セラミック・グロープラグの発熱体としては、耐酸化性
にすぐれ、比抵抗が小さく、かつ抵抗温度係数が大きい
ものが望まれる。これ等の要求をみたす発熱体としては
二珪化モリブデンと窒化珪素の混合物の焼結体が知られ
ている。その中でも特に好ましいのは上記のように二珪
化モリブデン71.7%、窒化珪素28.3%程度の混合比
のものである。この発熱体は室温から1000℃の間の
熱膨張係数は4.4〜5.2×10−6/℃程度である。
従ってセラミック・グロープラグにおいて発熱体を支持
する支持部材2は絶縁性とともに、発熱体と同程度の熱
膨張係数を持ち、エンジン内部での使用に耐える耐熱
性、強度を有するものでなければならない。
この条件に近い特性のものとして窒化珪素の支持体が一
応考えられるが、窒化珪素は熱膨張係数が約3.0×10
−6/℃(室温から1000℃)と小さく、上記発熱体
との接合部で熱膨張係数差による破損が生じる。
以上説明したように、本発明によれば強度すぐれるとと
もに特性にバラツキのない窒化珪素−アルミナ系セラミ
ックスで、熱膨張係数の種々異るセラミックスを得るこ
とができる。
しかして本発明のセラミックスは、エンジンなどの部
材、特に他の部材と接合して用いる場合に好適に使用さ
れ得る。
【図面の簡単な説明】 第1図は本発明の窒化珪素−アルミナ系セラミックスの
原料粉末の成形時の混合状態を示す模式図、第2図は従
来の原料粉末の混合状態を示す模式図、第3図、第4
図、第5図、第6図はそれぞれ本発明に関する実験の結
果を示す図、第7図は本発明の窒化珪素−アルミナ系セ
ラミックスをヒータ支持部材として適用したセラミック
ヒータを備えたグロープラグの断面図、第8図は上記セ
ラミックヒータの製造方法を示す図である。 1……発熱体、2……ヒータ支持部材 3a、3b……リード線 4……金属スリーブ 5……金属ボデー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 布垣 尚哉 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 日本電 装株式会社内 (72)発明者 外山 哲男 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 日本電 装株式会社内 (56)参考文献 特開 昭53−137214(JP,A) 特開 昭54−50015(JP,A)

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】窒化珪素、α−アルミナおよびこれ等の反
    応により生成されたβ′−サイアロンの結晶よりなり、
    窒化珪素およびβ′−サイアロンの結晶がα−アルミナ
    の結晶を囲包してアルミナの結晶の連結を阻止した結晶
    相を有することを特徴とする窒化珪素−アルミナ系複合
    セラミックス。
  2. 【請求項2】結晶相に占める窒化珪素およびβ′−サイ
    アロンの結晶の総量が45〜90重量%、α−アルミナ
    の結晶量が10〜55重量%である特許請求の範囲第1
    項記載の窒化珪素−アルミナ系複合セラミックス。
  3. 【請求項3】アルミナ粉末20〜70重量%、残部実質
    的に窒化珪素粉末よりなり、アルミナ粉末の平均粒径が
    窒化珪素粉末の2倍ないしそれ以上で、かつアルミナの
    平均粒径を10μm程度ないしそれ以下とした混合粉末
    を不活性ガス雰囲気中で焼成することを特徴とする窒化
    珪素−アルミナ系複合セラミックスの製造方法。
  4. 【請求項4】上記窒化珪素粉末の平均粒径が2μmない
    しそれ以下である特許請求の範囲第3項記載の窒化珪素
    −アルミナ系複合セラミックスの製造方法。
JP61028461A 1986-02-12 1986-02-12 窒化珪素−アルミナ系複合セラミツクスおよびその製造方法 Expired - Lifetime JPH0617272B2 (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998012153A1 (fr) * 1996-09-19 1998-03-26 Taiko Refractories Co., Ltd. Composition refractaire servant a obtenir un produit compact a couler et procede de pulverisation humide

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07110779B2 (ja) * 1987-11-09 1995-11-29 晧一 新原 Si▲下3▼N▲下4▼−Al▲下2▼O▲下3▼複合焼結体及びその製造法
US5221647A (en) * 1988-10-06 1993-06-22 Benchmark Structural Ceramics Corporation Sialon precursor composition
US5030600A (en) * 1988-10-06 1991-07-09 Benchmark Structural Ceramics Corp. Novel sialon composition
US5047186A (en) * 1989-12-28 1991-09-10 Gte Laboratories Incorporated Process for producing silicon nitride based articles of high fracture toughness and strength
JPH0437644A (ja) * 1990-05-29 1992-02-07 Chisso Corp セラミック組成物及びその製造法
JPH04160061A (ja) * 1990-10-22 1992-06-03 Ngk Spark Plug Co Ltd 酸窒化物セラミック焼結体およびスパークプラグ
US5358912A (en) * 1991-08-08 1994-10-25 Loral Vought Systems Corporation BAS reinforced in-situ with silicon nitride
DE19860919C1 (de) * 1998-12-04 2000-02-10 Bosch Gmbh Robert Keramisches Heizelement und Verfahren zu dessen Herstellung
US20040222210A1 (en) * 2003-05-08 2004-11-11 Hongy Lin Multi-zone ceramic heating system and method of manufacture thereof
CN104396342B (zh) * 2012-06-29 2016-02-24 京瓷株式会社 加热器及具备该加热器的电热塞
CN114057494B (zh) * 2021-11-29 2024-01-23 成都美奢锐新材料有限公司 一种雪茄剪专用陶瓷材料及其制备方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS531763B2 (ja) * 1971-12-21 1978-01-21
US3953221A (en) * 1975-04-22 1976-04-27 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Fully dense ceramic article and process employing magnesium oxide as a sintering aid
JPS53137214A (en) * 1977-05-06 1978-11-30 Kawasaki Steel Co High corrosion resistance and thermal shock resistance refractories and manufacture of same
JPS5450015A (en) * 1977-09-28 1979-04-19 Toshiba Ceramics Co Method of making refractory using betaasialon as binding matrix
JPS55121956A (en) * 1979-03-13 1980-09-19 Ishikawajima Harima Heavy Ind Manufacture of siialloon solid solution sintered body by mud casting method
JPS55126989A (en) * 1979-03-24 1980-10-01 Kyoto Ceramic Ceramic heater
US4486651A (en) * 1982-01-27 1984-12-04 Nippon Soken, Inc. Ceramic heater
US4475029A (en) * 1982-03-02 1984-10-02 Nippondenso Co., Ltd. Ceramic heater
US4499366A (en) * 1982-11-25 1985-02-12 Nippondenso Co., Ltd. Ceramic heater device
JPS59153027A (ja) * 1983-02-18 1984-08-31 Nippon Soken Inc グロ−プラグ
JPS6060983A (ja) * 1983-09-08 1985-04-08 株式会社デンソー セラミックヒ−タ及びその製造方法
US4556780A (en) * 1983-10-17 1985-12-03 Nippondenso Co., Ltd. Ceramic heater
JPS60216484A (ja) * 1984-04-09 1985-10-29 株式会社日本自動車部品総合研究所 セラミツクヒ−タ
JPS60254586A (ja) * 1984-05-30 1985-12-16 株式会社デンソー セラミツクヒ−タ
JPH0782905B2 (ja) * 1985-02-28 1995-09-06 日本電装株式会社 セラミックヒータおよびセラミックヒータ用発熱体の製造方法
EP0488060A3 (en) * 1990-11-27 1993-01-27 Hoechst Aktiengesellschaft Plasticizer and injection mouldable composition containing metallic and ceramic powder

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998012153A1 (fr) * 1996-09-19 1998-03-26 Taiko Refractories Co., Ltd. Composition refractaire servant a obtenir un produit compact a couler et procede de pulverisation humide
CN1077558C (zh) * 1996-09-19 2002-01-09 大光炉材株式会社 用于生产致密浇注耐火材料的可浇注耐火材料组合物及其湿式喷射法

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Publication number Publication date
US4845061A (en) 1989-07-04
JPS62187174A (ja) 1987-08-15

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