DE2256018A1

DE2256018A1 - Vorrichtung vom baustein-typ fuer die benutzung in einem baustein-aetzsystem

Info

Publication number: DE2256018A1
Application number: DE19722256018
Authority: DE
Inventors: Daniel L Goffredo; Conrad Dale Shakley
Original assignee: Chemcut Corp
Current assignee: Chemcut Corp
Priority date: 1971-11-15
Filing date: 1972-11-15
Publication date: 1973-06-07
Also published as: GB1378237A; DE7242022U; JPS4857845A; FR2160475A1; IN140495B; JPS5617431B2; DE2256018B2; FR2160475B1; SE400150B; IT970907B; DE2256018C3

Description

DR. MÜLLE R-BOR E DIPL-PHYS. DR. ΜΑΝΙΓΖ OIPL -CHEM. DP. CEUFEL DiPL.-ING. FINSTERWALD DlPL-ING. GRAMKOW

PATENTANWÄLTE

München, den I5. November 1972 Mak/Sv - O 2620

- CHEMGUT COBPOEATIOIi 500 Science Park Road, State College, Pennsylvania / USA

Vorrichtung vom Baustein-Typ für die Benutzung in einem Baustein-Ätzsystem

Es ist üblich, für das Ätzen von Platten für gedruckte Schaltungen und das Ätzen von anderen Gegenständen eine Ätzmaschine bzw. Ätzanordnung vorzusehen, die eine gewünschte Kapazität und gewünschte Eigenschaften aufweist. Wenn beispielsweise Spül- bzw. Wässerungsstationen erwünscht sind, werden solche Stationen in die Ätzanordnung eingefügt. In gleicher Weise werden, wenn Trocknungsstationen gewünscht sind, solche ebenfalls in die Ätzanordnung eingefügt. In Fällen, bei denen besondere Anordnungen erwünscht sind, beispielsweise wenn längere· Ätzzeiten oder eine größere Kapazität erwünscht sind, ist es bekannt, Mehrfach-Ätzanordnungen (multiple etching machines) in Reihenschaltung in einer Produktionslinie bzw. Produktions-

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Dr. Müller-Bore Dr, Manitz · Dr. Deufel · Dipl.-Ing. Finsterwald Dipl.-Ing. Grämkow

33 Braunschweig, Am Bürgerpark 8 8 München 22, Robert-Koch-Straße 1 - 7 Stuttgart-Bad Cannstatt, Marktstraße

Telefon (0531) 73887 Telefon (0811) 293645, Telex 5-22050 mbpat Telefon (0711) 567261

Bank: Zentralkasse Bayer. Volksbanken, Mühchen, Kto.-Nr. 9822 Postscheck: München 95495

kette eine hinter der anderen anzuordnen, um eine Verlängerung von deren effektiven Kammerlänge zu erreichen.

Ziel der Erfindung ist die Schaffung eines Systems mit dexv Fähigkeit für ein schnelles und wirkungsvolles Anordnen und Konstruieren einer Ätzanordnung auf der Basis eines Maßsystems (on a customized basis), indem eine gewünschte Ätzkapazität, eine gewünschte Spülkapazität, eine gewünschte Trocknungskapazität, etc. in der Schaffung von Bausteinen vorgesehen wird, die in Einheiten oder in Gruppen kombiniert werden können, um eine gewünschte Behandlung zu erreichen.

Erfindungsgemäß werden die Bausteine miteinander verbunden, sorgfältig ausgerichtet und gemeinsam angetrieben mit Mitteln, die vorgesehen sind, um einen Antrieb eines Bausteins mit dem Antrieb eines anderen leicht zu verbinden.

Die Erfindung betrifft also einen Baustein oder mehrere Bausteine, die in einer Linie mit anderen Bausteinen verbindbar sind für eine Maßkonstruktion (customized construction) einer Ätzanordnung, wobei jeder Baustein mit einem Antrieb zur Erleich berung der Verbindung des Antriebs mit einem nächsten benachbarten Baustein, mit Mitteln zur Erleichterung der Verbindung jedes Bausteins mit einem nächst benachbarten Baustein ebenso wie zur Erleichterung von deren Ausrichtung vorgesehen ist. Somit bilden die Antriebsverbindung, die Bausteinverbindung und die Ausrichtungsmerkmale getrennt und zusammen die wesentlichen Merkmale der Erfindung mit anderen Merkmalen wie den Antriebseinzelheiten, die ebenfalls erfindungswesentliche Abschnitte umfassen.

Ziel der Erfindung ist also die Schaffung eines Bausteins für das Einsetzen in eine Ätzanordnung, der mit einem nächst benachbarten Baustein verbindbar ist, wobei die Antriebe der benachbarten Bausteine miteinander kuppelbar sind und eine einfache Ausrichtungseinrichtung zum Verbinden benachbarter Bausteine vorgesehen ist.

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Erfindungsgemäß ist somit eine Anordnung zinn Ausführen eines Itzarbeitsganges möglich, die eine Vielzahl von in Beine verbundenen Bausteinen verwendet.

Bei einem erfindungsgemäßen JLtzsystem sind somit einzelne und diskrete Bausteine vorgesehen, von denen ^eder seine eigene !Punktion ausführt, wobei die Bausteine in Reihenanordnung in Längsrichtung verbindbar, durch eine geeignete Stift-Loch-Anordnung ausrichtbar und mit einem gemeinsamen Antrieb für alle Bausteine durch die Benutzung Von Antriebsstangen verbindbar sind, die von jedem der Bausteine getragen werden und bei der Verbindung benachbarter Bausteine miteinander kuppelbar sind. · -

Die Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnung beispielsweise beschrieben; in dieser zeigt:

Fig. 1 eine Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Itζanordnung,

Pig· 2 eine Draufsicht eines Bausteins der in Fig. 1 gezeigten Anordnung im allgemeinen längs Linie II-II in.Pig. 1,

Pig. 3 eine Seitenansicht der am oberen Ende der Pig. 2 dargestellten Antriebsanordnung im allgemeinen längs Linie III-III in Pig. 2,

Pig. 4- eine perspektivische Ansicht der in Jfig. 3 dargestellten Antriebsanordnung,

Pig* 5 eine vergrößerte (Querschnittsansicht durch eine Kegelradanordnung gemäß der Erfindung im allgemeinen längs Linie V-V in Pig. 2,

Pig. 6 eine Stirnansicht des in Pig. 5 dargestellten Lagers im allgemeinen längs LinieVI-Vl in Pig. 5j

Pig. 7 eint ^uersclmittsansicht durch ein Drucklager gemäß der Eriindung im allgemeinen längs Linie VII-VIl in Pig. 2 und ·

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l*ig. 8 einen Längeschnitt durch ein Paar von Antriebszahnrädern und ein Drucklager im allgemeinen entlang Linie VXII-VIlI in Fig. 2.

Nach JIg. 1 umfaßt ein Beiz- bzw. Itζsystem 10, im folgenden Itζanordnung 10 genannt, einen Eingangsförderer-Modul bzw. -Baustein 11, einen Itzer-Bauetein 12, einen Behandlungefluid-Wiedergewinnungsbauetein 13, einen rezirkulierenden Spül- bzw. Wäeserungsbaustein 14, zusätzliche Wässerung*- bzw. ßpülbausteine 15 und 16, Abdeckung^- oder Itzgrund- bzw. ßchutz-Abstreif bzw. -Abziehbausteine 17 und 16, einen Trockner-Baustein 20 und einen Auegangsbaustein 21* Alle Modulen bzw. ~ Bausteine 11 bis 18, 20 und 21 sind in Längerichtung in Reihenschaltung angeordnet und jeder ist mit einer Fördereinrichtung vorgesehen zum Fördern von zu ätzenden Gegenständen von linke nach rechte durch die Anordnung mit verschiedenen Bausteinen, wie es in Fig. 1 dargestellt ist.

für die Zwecke der Patentanmeldung sind die funktionen der individuellen Bausteine insoweit, als sie voneinander abweichen, nicht von kritischer Bedatung, außer insoweit, als alle Bausteine zusammenwirken, um eine Ätzanordnung vorzusehen, die so ausgelegt sein kann, daß sie einen weiten Bereich von Erfordernissen erfüllt. So kann es in einigen fällen erwünscht sein, zwei oder mehr Itzkaüüer-Bausteine 12 zu benutzen oder weniger Spül- bzw« Wäseerungsbausteine 14, 15 t*&d 16 und mehr Trockner-Bausteine 20 zu benutzen, etc.. Im Betrieb der Anordnung 10 werden zu ätzende Gegenstände auf dem Eingangsförderer-Baustein 11 angeordnet und entlang diesem gefördert mittels eines geeigneten Forderersystems, das sich drehende, quer angeordnete Stäbe bzw. Stangen mit daran angebrachten sich drehenden lädern umfaßt, um zu dem Itzbaustein 12 gefördert zu werden.

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Geeignete Abschnitte der zu ätzenden Gegenstände, beispielsweise wenn es lafeln bzw. Platten für gedruckte Schaltungen sind, sind vorher maskiert worden oder es ist auf diese eine Schutzschicht aufgebracht worden, so daß die unmaskierten Abschnitte frei sind, um geätzt zu werden, während die maskierten Abschnitte nicht geätzt werden; dabei werden die unmaskier-· ten Abschnitte der Gegenstände mit Eisen-III-Ghlorid oder einem anderen geeigneten Ätzmittel geätzt, das auf die Gegenstände mittels Düsen, Strahlen oder irgendeines anderen geeigneten Ätzmittel-Zufuhrsystems in der Ätzkammer 12 aufgebracht wird, wenn die Gegenstände durch die Kammer 12 -gefördert werden. Die Gegenstände werden kontinuierlich gefördert, als nächstes zu der Ätzmittel-Wiedergewinmittgseinriehtung 13, wobei Strahlen von Luft oder dergleichen das Ätzmittel wiedergewinnen für eine Rücklieferung durch irgendeine nicht gezeigte geeignete Einrichtung zurück zu der Ätzstation oder dem Baustein 12. . Die Gegenstände werden dann kontinuierlich beispielsweise zu einer Reihe von Spül- bzw. Wässerungsbausteinen 14, 15 und 16 geliefert, wobei Wasser oder irgendein anderes geeignetes Spülfluid auf die Gegenstände aufgebracht wird, um von diesen restliches Ätzmittel abzuspülen. Während der kontinuierlidaen Förderung der Gegenstände können diese dann zu einer Reihe von Schutzschi cht-Entfernungsstationen wie den Stationen 17 und 18 gefördert werden, wobei die Maskierung oder Schutzschicht, die vorher auf die Gegenstände aufgebracht worden ist, von diesen entfernt werden kann durch Anwendung eines geeigneten Lösungsmittels oder dergleichen bei diesen; die Gegenstände werden dann zu einer Irocknungsstation oder einem Baustein 20 gefördert, wo heiße Luft oder dergl. benutzt werden kann, um die Gegenstände zu trocknen und diese dann zu einer Ausgangsstation oder dem Baustein 21 zu liefern. Wie oben erwähnt worden ist, kann jegliche Anzahl von den oben erwähnten Bausteinen benutzt werden, entweder einzeln oder in Kombination, um die gewünschte Behandlung"in einer Ätzanordnung zu erhalten, oder Duplikate solcher Bausteine können benutzt werden, falls es erwünscht ist.

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Alle Bausteine sind miteinander in im wesentlichen der gleichen Weise und durch die gleichen Verbindungsmittel uud Fluchtungs-Mittel verbunden, wie deren Antriebssysterne in ähnlicher Weise verbunden sind, so daß es für die Zwecke der Erfindung lediglich erforderlich ist, in einzelnen die Verbindungsweise eines gegebenen Bausteins mit dessen in Reihenschaltung verbundenen, benachbarten Bausteinen zu beschreiben, wobei diese' Verbindungsweise in allgemeiner Weise anwendbar ist. Das Fördersystem für die A'tzanordnung 10 wird in üblicher Weise mittels eines geeigneten Elektromotors oder dergl. angetrieben, der mit einer Antriebsstange (oder einer Vielzahl von Stangen), die nur einem gegebenen Baustein zugeordnet ist, verbunden ist, wodurch alle Antriebsmittel für die verschiedenen Bausteine dadurch angetrieben werden, da diese Antriebsmittel untereinander verbunden sind.

Im folgenden wird Bezug genommen auf die Fig. 2 bis 4, in denen ein Wässerungs- bzw. Spülbaustein 15 besonders im einzelnen dargestellt ist. Der Baustein 15 ist mit einem Bausteinkörper 22 vorgesehen, der in strichpunktierten Linie an dem oberen und unteren Ende der Fig. 2 aus Gründen der Klarheit dargestellt ist, um nicht andere Merkmale der Darstellung in Fig. 2 zu verdecken.

Ein Paar von Rahmenteilen 25 und 24 werden benutzt, die in geeigneter Weise mit dem Bausteinkörper 22 durch nicht im einzelnen dargestellte Mittel verbunden sind.

Zwischen den Rahmenteilen 25 und 24 erstreckt sich eine Vielzahl von Fördererstangen 25» die in Querrichtung mit Abstand angeordnete drehbare Glieder 26 aufweisen, die in bezug auf die Stangen 25 starr angebracht sind für eine Drehung mit; diesen. Die drehbaren Glieder 26 können ausgesparte Ausschnitte an ihrem Umfang (nicht mit Bezugsziffer bezeichnet) aufweiisen, wie es in Fig. 5 dargestellt-ist, um einen.wirksameren Antrieb für zu diesen gelieferte Gegenstände und von diesen weg geförderte Gegenstände vorzusehen.

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Die Enden der Stangen 25 sind in geeigneten Stütz- bzw. Lagergliedern 27 gelagert, die allgemein von einer Polyvinylchlorid-Konstruktion sind, um einem Ätzmittel wie Eisen-III-Chlorid oder dergl. zu widerstehen. Die meisten, wenn nicht alle Glieder der Konstruktion in den verschiedenen Bausteinen bestehen entweder aus Polyvinylchlorid, Polyäthylen oder weisen eine Mtan-Konstruktion zu dem gleichen Zweck auf. ^

Das Lagerglied 27 ist ein in einem Stück gegossenes bzw. geformtes Glied von im allgemeinen zylindrischer Konstruktion, das an seinem einen Ende eine Schulter 28 aufweist, die gegen eine Oberfläche des Eahmengliedes 23 angeordnet ist, und freigelassene oder unterschnittene Bereiche 30, wie sie in den Pig. 5 und 6 dargestellt sind, zwischen Loch- bzw. Öffnungs-Berührungs-Abschnitten 31 umfaßt, wobei ebenfalls Locher bzw* öffnungen 32 vorgesehen sind, die mit den ausgesparten Bereichen 30 und den Bereichen 31 zusammenwirken, um einen gewünschten Elastizitätsbetrag bzw. -wert für die Glieder 27 vorzusehen, um deren Preßpaßsitz-Eingriff mit Bohrungen oder öffnungen 33 der Rahmenglieder 23₅ wie es in den U¹Ig* 5 und 6 dargestellt ist, zu erleichtern. Dadurch ist ein leichtes Entfernen und Austauschen der Lagerglieder 27\ wenn es erforderlich ist, möglich und wird ebenfalls das Austauschen einer gesamten , Antriebsstange 25 von Zeit zu Zeit erleichtert. '

Entlang einer Seite des Bausteins 15 ist ein Kegelrad 35 vorgesehen, das an der Stange 25 in Preßsitz-Beziehung mit dieser fest angebracht ist, wobei das Kegelrad 35 einen Umfang 36 aufweist, der abgeschrägt ist, um mit abgeschrägten Abschnitten aller Zähne des Zahnrades 35 einen im allgemeinen geraden, kreisförmigen Umdrehungszylinder zu bilden, der eine Achse in der Linie mit der Achse der Stange oder Welle 25 aufweist.

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Zwischen dem gezahnten Abschnitt des Kegelrades 35 und der Schulter 28 des Lagergliedes 27 ist ein mit Zahnrad gezahnter Umfang 37 vom Spurrad- bzw. Stirnrad-Typ vorgesehen für ein Kämmen, falls es erwünscht ist, mit einem anderen dazu passenden Spurrad bzw. Stirnrad 38, das an einem Ende einer Welle 40 getragen wird, auf der ein Zylinder 41 oder dergl. angebracht ist, im allgemeinen an einem Ende eines Bausteins, um das Flachlegen bzw. Planlegen eines durch den Baustein 15 geförderten Gegenstandes oder dessen Vorschub zu dem nächsten benachbarten Gegenstand zu erleichtern. Somit wird der Zylinder 41 durch die Zahnräder 37 und 38 von dem Kegelradabschnitt 35 angetrieben.

Bas Kegelrad 35 wird von einem weiteren Kegelrad 41 angetrieben, das bevorzugt integral konstruiert ist mit einem geeigneten Abstand shaltergli ed. 42 und im allgemeinen aus Polyvinylchlorid aufgebaut ist außer, wenn ein solches Zahnrad 41 gegen ein Drucklager 43 angeordnet wird, wie es nachfolgend begehrieben wird. ,

Die Zahnräder 35 sind somit erfindungsgemäß angetriebene Zahnräder und die Zahnräder 41 Antriebszahnräder.

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Die Antriebezahnräder 41 sind auf einer geeigneten Antriebsstange oder Einrichtung 44 angebracht, die im allgemeinen von einer Titan-Konstruktion ist und einen rechtwinkligen Querschnitt in Querrichtung gesehen aufweist, für. eine Antriebsberührung mit einer rechtwinklig konstruierten Öffnung 4Ü in dem Zahnrad 41. Die öffnung 48 mit rechtwinkligem Querschnitt erstreckt sich durch das Abstandshalterglied 42, das im allgemeinen integral mit dem Zahnrad 41 hergestellt ist, wie es oben beschrieben worden ist.

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Die Antriebsstange 44 "besteht ,somit im allgemeinen aus einem einzigen, in Längsrichtung gerichteten Glied, das sich im wesentlichen von einem Ende des Bausteins zu dem anderen erstreckt, obgleich dasselbe aus einer Vielzahl von ßtangenabschnitten 44 bestehen kann, die miteinander in rechtwinkligen öffnungen 48 der Zahnräder 41 oder Abstandshalter 48 gewünschtenfalls verbunden sein können. Ob die Stange 44 als ein Einzelstück konstruiert ist oder aus einer Yielzahl von Teilen besteht, es umfaßt erfindungsgemäß eine Antriebseinrichtung.

Es ist im allgemeinen erwünecht., um die Wirkung der Gleitreibung auf ein Minimum herabzusetzen, einige der Antriebszahnräder, insbesondere die, welche drehende Abschnitte in Berührung mit nicht drehenden Abschnitten aufweisen, in Polyäthylenkonstruktion vorzusehen, wie das Zahnrad 46', das eine Oberfläche 47 in Berührung mit einer Oberfläche 48 des Drucklagerblockes 43 aufweist, um Axialdruck durch die gesamte Antriebsanordnung für den Baustein 15 aufzunehmen. Im allgemeinen besteht das Zahnrad 46 zusammen mit dem zugeordneten Abstandshalter 50 zwischen sich selbst und dem benachbarten Zahnrad 41 aus einer Polyäthylenkonstruktion und es weist ebenfalls eine rechtwinklige öffnung, die durch dieses angeordnet ist, auf, um einen Antriebseingriff mit einer Stange 44 zu erleichtern, die eine im allgemeinen rechtwinklige Querschnittskonfiguration aufweist.

Es wird somit ebenfalls ein Zahnrad 46 benutzt, um ein angetriebenes Zahnrad, wie das Zahnrad 35 anzutreiben.

Die Drucklager 43 sind an einem Rahmenteil 23 des Bausteinkörpers durch geeignete mit Gewinde versehene Verbindungsglieder angebracht, wie es in JFig. 7 dargestellt ist, und sie dienen neben dem Aufnehmen eines in Längsrichtung gerichteten D.ruckes ebenfalls dazu, die Positionierung der Antriebsstange 27 aufrechtzuerhalten, indem sie die Positionierung der Zahnräder 41, 46 und der von diesen getragenen Abstandshalter 42,50 relativ zu dem Rahmenteil 23 aufrechterhalten.

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Es können somit verschiedene der Bausteine verbunden sein für einen Antriebseingriff aller Stangen 25 und Bollen 41 auf diesen durch eine gemeinsame Quelle; dabei kann an in Längsrichtung mit Abstand angeordneten Enden der Bausteine die Antriebsstange 44 mit einer Antriebsstange 44 eines nächst benachbarten Bausteins durch ein geeignetes Zahnradglied 41 verbunden sein, das ein integral verbundenes Abstandsglied 42, das mit diesem verbunden ist, aufweist oder gewünscntenfalls kann das Abstandsglied 42 von dem Zahnrad 41 getrennt sein, wobei es jedoch in jedem Fall beispielsweise das linke Ende eines Antriebs stange 44, wie es in !"ig. 3 dargestellt ist, und ebenfalls das rechte Ende einer nächst benachbarten Antriebsstange 44 von einer nächst folgenden Einheit oder einem solchen Baustein, wie dem in Fig. 3 gezeigten Baustein 16 aufnimmt.

Benachbarte Bausteine, wie die Bausteine 15 und 16 sind in Fluchtung gebracht, damit die durch die sich drehenden Glieder 26 vorgesehenen Fördermittel für alle dieser Einheiten eine gemeinsame planare bzw. ebene Förderfläche aufweisen und damit ebenfalls die Antriebsstangen 44 für diese in richtiger Weise fluchten, wobei männliche und weibliche Ausrichtungsglieder bzw. Ausrichtungsglieder in Form von Steckern und Dosen, bevorzugt vom Paßstift- bzw. Zylinderstift-Typ 55 benutzt werden, die geeignet sind für ein Einsetzen in geeignete Sacklöcher wie bei 56 bei einer Bewegung der Bausteine wie der Bausteine 15 und 16 zueinander. Die Bohrungen 56 können an einem Ende eines Rahmens 23 vorgesehen sein und die Dübel oder Stifte 55 "von einem benachbarten Ende eines angrenzenden Hahmens vorspringen wie dem Rahmen 23 für die Einheit 16, wie es in Fig. 3 dargestellt ist. Ein gegebener Rahmen kann zwei solche vertikal mit Abstand angeordnete Ausrichtungseinrichtungen (Dübel oder Öffnungen für die Dübel) aufweisen und die Ausrichtun_gseinrichtungen sind für jeden der Rahmenteile 23 und 24 vorgesehen, wie eqin Fig.2 klar dargestellt ist.

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Verbindungsblöcke 57 werden von einem Ende jeder Einheit, beispielsweise dem rechten Ende der in Pig. 2 dargestellten Einheit 15 getragen, die nach rechts von dieser vorspringen und geeignet sind, linke Enden von Eahmenteilen 23 und 24 einer nächst benachbarten Einheit 16 zwischen sich und gegen diese aufzunehmen, wie es in Pig. 2 dargestellt ist* ·

Die linken Enden der nächst benachbarten Einheiten, wie der Einheit 16, wie es in Pig. 2 dargestellt ist, sind mit Spielraum-Öffnungen 58 vorgesehen, so daß, wenn die Einheit 16 mit ihren Dübelstiften 55 in den Sacklöchern 56 angeordnet in Pluchtung gebracht ist, solche Öffnungen 58 mit Sacklöchern 60 in.den Blöcken 57 fluchten, damit Schrauben 61 darin aufgenommen werden können, um benachbarte Bausteine miteinander fest au verbinden, wie es in Pig. 2 dargestellt ist, für die Verbindung benachbarter Bausteine 14- und 15 miteinander, und um eine richtige Positionierung benachbarter Bausteine, die mit dem richtigen Längsabstand relativ zueinander befestigt sind, zu. gewährleisten und um zu verhindern, daß die Dübel— stifte 55 sich aus ihren öffnungen 56 freiarbeiten.

Die Pluchtung und Verbindung angrenzender bzw. benachbarter Bausteine miteinander kann erfindungsgemäß leicht ausgeführt werden, um die Bausteine selber zu verbinden und eine wirksame Verbindung der Antriebseinrichtungen für deren Fördersysteme zu gewährleisten und aufrechtzuerhalten.

Die Dübelstifte 55 können ebenfalls von einer Titan-Konstruktion sein, wie die Blöcke 57 ebenfalls entweder aus Titan oder einem anderen Material bestehen, das den Ätzmitteln oder dergleichen widei steht. -. '

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Ein Endbaustein in einem gegebenen System weist im allgemeinen nur Auerichtungsmittel, Verbindungsmittel und ein für eine Verbindung mit einem benachbarten Baustein geeignetes Antriebsglied an seinem einen Ende auf, während die Bausteine, wie die Bausteine 12 und 13, die zwischen anderen Bausteinen in einem System angeordnet sind, wie es in Yig. 1 dargestellt ist, solche Verbindungs-, Ausrichtrunge- und Antriebs-Verbindungs-Einrichtungen an beiden Enden aufweisen.

Erfindungsgemäß können mehrere der Bausteine zusammen ohne die Anwendung eines Xtzbaueteines als solchem in einem System benutzt werden, beispielsweise für Reinigungszwecke Mer dergleichen in Verbindung mit Systemen, bei denen Ätzen als solches nicht erwünscht oder nicht erforderlich iöt.

Weiterhin wird der Begriff "Atzen" (etching) in seinem weiten Sinne verstanden und umfaßt nicht nur das Entfernen von Metall, sondern auch das selektive Entfernen eines Substratmaterials, ob ein solches Material metallisch oder nichtmetallisch (beispielsweise ein polymeres Material oder dergl.) ist· Andere Typen von Systemen, die unter eine solche Definition des Begriffs "Itzen" fallen, können Entwicklungsprozessey beispielsweise bei der Entwicklung von photoresistivem Material (photoresist material) für die Arbeit bei gedruckten Schaltungen oder für eine Benutzung bei graphischen Arbeitsgängen bzw. Druckvorgängen, wie in der Lithographie, dem Tiefdruck und der photomechanischen Vervielfältigung, umfassen.

- Patentansprüche -

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Claims

P a t e η t a η s ρ r ü c he

orrichtung von dem Bausteintyp für eine Benutzung in einer Baustein-Ätzanordnung zur Behandlung von Gegenständen als einem Teil eines Gesamt-JLtzarbeitsganges, der eine Vielzahl von in Reihe verbundenen Bausteinen benutzt, dadurch g e kennz ei chnet, daß der Baustein umfaßt einen Bausteinkörper, eine Einrichtung zum Fördern von Gegenständen durch den Bausteinkörper und zum Definieren eines Langspfades der Bewegung der Gegenstände durch den Bausteinkörper, eine Antriebseinrichtung für die Fördereinrichtung im Antriebseingriff mit dieser, wobei die Antriebseinrichtung längs einer Seite des Bausteins angeordnet ist und Antriebsstangenjnittel bzw. eine Antriebsstange von im wesentlichen der Länge des Bausteins in der Längsrichtung umfaßt, und Kupplungsmittel bzw. eine Kupplung an zumindest einem Ende der Antriebsstange für ein betriebsmäßiges Kuppeln einer Antriebsstange eines anderen Bausteins bei einem reihenmäßigen, benachbarten Positionieren des Bausteins relativ zu einem anderen Baustein.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch g e ken η ze ichnet, daß die Fördereinrichtung in Querrichtung angeordnete drehbare Wellenglieder mit an einem Ende von diesen entlang einer Seite des Bausteins getragenen angetriebenen Getrieben umfaßt und daß die Antriebseinrichtung ein Antriebsgetriebe ■ aufweist, das an der Antriebsstange in Antriebseingriff mit den angetriebenen Getrieben getragen wird,

J. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch g e kenn ζ e i c h η e t, daß das Antriebsgetriebe eine Vielzahl von einzelnen Zahnrädern umfaßt, die Zahnrad-Abstandshalter zwischen sich angeordnet aufweisen und Ende zu Ende über die Antriebsstange angeordnet sind, wobei benachbarte Zahnräder in Längsrichtung voneinander, durch den Zahnrad-Abstandshalter um eine Strecke mit Abstand, angeordnet sind, die der Längsteilung benachbarter angetriebener Getriebe entspricht.

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4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die angetriebenen Getriebe Kegelräder umfassen und daß das Antriebsgetriebe Kegelräder aufweist, die rechtwinklig zu den angetriebenen Kegelrädern angeordnet sind j wobei zumindest, gewisse der Zahnräder von einer Konstruktion aus Polyvinylchlorid-Material bestehen.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest eines der Antriebszahnräder von einer Konstruktion aus Polyäthylen-Material besteht.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5> dadurch gekennz eic b net, daß Lagerblöcke vorgesehen sind, die von dem Baustein für ein Lagern der Antriebsstange getragen werden, daß Stangen vorgesehen sind, dass die nächst benachbart zu den Lagerblöcken angeordneten Antriebszahnrader von einer Polyäthylen-Konstruktion sind und Abschnitte in Oberflächen-zu-Oberflächen-Berührung mit zugeordneten Lagerblöcken aufweisen und daß die Lagerblöcke als Druckaufnahmeglieder dienen.

7· Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest einige der Antriebszahnräder in integraler Verbindung mit zugeordneten benachbarten Zahnrad-Abstandshaltern vorgesehen sind.

8. Vorrichtung nach Anspruch 3j dadurch gekennz ei ebne t, daß das angetriebene Getriebe Kegelräder umfaßt und daß die Antriebszahnräder Kegelräder aufweisen, die rechtwinklig zu den angetriebenen Kegelrädern angeordnet sind und daß die Antriebsstange eine rechtwinklige Konstruktion im " Seitenquerschnitt aufweist und die auf dieser angebrachten Antriebszahnräder dazu passende entsprechende Öffnungen mit rechtwinkligem Querschnitt für einen Antriebspaßsitz zwischen diesen aufweisen.

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12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausrichtungsmittel vorspringende Ausrichtungs-Stifteinrichtungen umfassen, die für eine Aufnahme in entsprechenden Öffnungβeinrichtungen eines nächsten benachbarten Bausteines geeignet sind.

13· Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch g e ken η ζ e i c h net, daß die Ausrichtungsmittel Öffnungsmittel umfassen, die zur Aufnahme von vorspringenden Ausrichtungs-ßtifteinrichtungen an einem nächsten benachbarten Baustein geeignet sind.

14. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzei ohne t, daß die Ausrichtungsmittel an beiden in Längsrichtung mit Abstand angeordneten» Enden des Bausteinkörpers getragen werden, wobei die Ausrichtungsmittel an einem Ende männliche Ausrichtungsmittel bzw. Steckmittel und an dem anderen Ende v/eibliche Ausrichtungsmittel bzw. Aufnahmemittel umfassen.

15· Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausrichtungsmittel an jeder in Verrichtung mit Abstand angeordneten Seite eines Endes des Bausteinkörpers angeordnet sind.

16. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch Mittel, die von zumindest einem Ende des Bausteinkörpers für eine Verbindung mit einem benachbarten Baustein und eine Anordnung gegen diesen getragen werden, und Ausrichtungsmitteln, die durch dieses Ende des Bausteinkörpers für ein Ausrichten in Querrichtung des Bausteins mit einem in Längsrichtung benachbarten Baustein getragen werden.

17.Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch g e k en η ζ e i c h net, daß eine Vielzahl von dieser Vorrichtung vorgesehen ist, wobei jede mit ihrer Antriebsstange mit der Antriebsstange eines nächst benachbarten Bausteins durch eine Kupplung gekuppelt ist und jeder Baustein mit einem nächsten in Heihen-

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schaltung benachbarten Baustein fluchtet und verbunden ist durch entsprechend zugeordnete Verbindungsmittel und Ausrichtungsmittel. ■

18* Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch g e k en η ζ e ic h net, daß die fördermittel in Querrichtung angeordnete ' drehbare Wellenglieder mit an einem Ende entlang einer Seite des Bausteins getragenen angetriebenen Getrieben umfassen und daß die Antriebsmittel Antriebsgetriebe umfassen, die von der Antriebsstange im Antriebseingriff mit den angetriebenen Getrieben getragen werden, daß die Antriebsgetriebe eine Vielzahl von einzelnen Zahnrädern umfassen, die zwischen sich Zahnrad-Abstandshalter aufweisen und Ende zu Ende über die Antriebsstange angeordnet sind, wobei benachbarte Zahnräder in Längsrichtung um eine Strecke im Abstand voneinander durch die Zahnrad-Abstandshalter gehalten werden, die dem Längsabstand bzw. der Längsteilung benachbarter angetriebener Getriebe entspricht, wobei 'die Kupplungsmittel.ein Antriebszahnrad des Antriebsgetriebes umfassen, das ,einen integral verbundenen Abstandshalter unfeßt.

19* Vorrichtung nach Anspruch 18, dadurch g e k e η η ζ ei c h net, daß Lagerblöcke von dem Baustein zum Lagern der Antriebsstange getragen werden, daß die nächst benachbart zu den Lagerblöcken angeordneten Antriebszahnrader von einer Polyäthylenkonstruktion sind und Abschnitte in Oberflächen-zuOberflächen-Berührung mit zugeordneten LagerblÖcken aufweisen und daß die Lagerblöcke als Druckaufnahmeglieder dienen, daß zumindest gewisse der Antriebszahnräder.in integraler Verbindung mit zugeordneten benachbarten Zahnrad-Abstandshaltern stehen, daß die angetriebenen Getriebe Zahnräder umfassen, die rechtwinklig zu den angetriebenen Kegelrädern angebracht sind, daß die Antriebsstange im seitlichen Querschnitt von rechtwinkliger Konstruktion ist, daß die darauf angebrachten AntriebsZahnräder dazu passende, entsprechende Öffnungen mit rechtwinkligem Querschnitt für einen Antriebspaßsitz zwischen

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diesen aufweisen, daß Balunenglieder des Bausteins vorgesehen sind, in denen die Wellenglieder an Enden für eine Drehung in den Rahmengliedern angebracht sind, daß ein Lagerglied in einem Rahmenglied entsprechend zumindest einem Ende eines Wellengliedes getragen wird, daß das Lagerglied einen im allgemeinen zylindrischen Umfang aufweist für eine Aufnahme in einer zylindrischen öffnung des Rahmengliedes in Freßpaßsitzbeziehung, daß der Umfang mit Ausnehmungen auf seinem Umfang versehen ist und das Lagerglied sich durch dieses erstreckende Leerstellen aufweist, so daß der mit Aussparungen versehene Umfang und die Leerstellen zusammenarbeiten und einen Preßpaßsitz-Eingriff des Lagergliedes in eine zugeordnete Rahmenöffnung erleichtern, und daß die Ausrichtungsmittel an beiden in Längsrichtung mit Abstand angeordneten Enden des Bausteinkörpers getragen werden, wobei die Ausrichtungsmiifcel steckerförmige Ausrichtungsmittel an einem Ende und dosenfÖrmige Ausrichtungsmittel an dem anderen Ende umfassen.

20. Vorrichtung vom Bausteintyp für eine Benutzung in einem Bausteinsystem, das eine Vielzahl von in Reihe verbundenen Bausteinen anwendet, dadurch gekennzeichnet, daß der Baustein umfaßt einen Bausteinkörper, Mittel zum fördern von Gegenständen durch den Bausteinkörper und zum Definieren eines Längspfades der Bewegung der Gegenstände durch den Bausteinkörper, Antriebsmittel für die Fördermittel im Antriebseingriff mit diesen, wobei die Antriebsmittel längs einer Seite des Bausteins angeordnet sind und Antriebsstangenmittel von im wesentlichen der Länge des Bausteins in der Längsrichtung umfassen, und Kupplungsmittel an zumindest einem Ende der Antriebsstangenmittel für eine betriebsmäßige Kupplung mit Antriebsstangenmitteln eines anderen Bausteins bei einem reihenweisen benachbarten Positionieren des Bausteins rela^J Lv zu einem anderen Baustein.

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21» Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennz ei c h n e t, daß die Fördermittel in Querrichtung angeordnete drehbare Wellenglieder mit an einem Ende von diesen entlang einer Seite des Bausteins getragenen angetriebenen Getrieben umfassen und daß die Antriebsmittel Antriebsgetriebe umfassen, die auf den Antriebsstangenmitteln im Antriebseingriff mit den angetriebenen Getrieben getragen werden.

22. Vorrichtung vom Bausteintyp für eine Benutzung in einem Bausteinsystem, das eine Vielzahl von in Reihe verbundenen Bausteinen benutzt, dadurch gekennz ei cn η et, daß der Baustein umfaßt einen Bausteinkörper, Mittel zum Fördern von Gegenständen durch den Bausteinkörper und zum Definieren eines Längspfades der Bewegung der Gegenstände durch den Bausteinkörper, Antriebsmittel für die Fördermittel im Antriebseingriff mit diesen, daß Mittel vorgesehen sind, die von zumindest einem Ende des Bausteinkörpers für eine Verbindung mit einem benachbarten Baustein und eine Anordnung gegen diesen getragen werden, und daß Ausrichtungsmittel von dem Ende des Bausteinkörpers getragen werden für eine Ausrichtung des Bausteins in Querrichtung mit einem in Längsrichtung benachbarten Baustein.

23· Vorrichtung nach Anspruch 22, dadurch gekennz ei ch η e t, daß die Ausrichtungsmittel an beiden in Längsrichtung mit Abstand angeordneten Enden des Bausteinkörpers getragen werden und steckeri'Örmige Ausrichtungsmittel an einem Ende und dosenförmige Ausrichtungsmittel an dem anderen Ende umfaßsen.

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