DE2216162A1 - Kuehlkoerper fuer eine halbleitereinrichtung - Google Patents

Kuehlkoerper fuer eine halbleitereinrichtung

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DE2216162A1 DE19722216162 DE2216162A DE2216162A1 DE 2216162 A1 DE2216162 A1 DE 2216162A1 DE 19722216162 DE19722216162 DE 19722216162 DE 2216162 A DE2216162 A DE 2216162A DE 2216162 A1 DE2216162 A1 DE 2216162A1
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cooling
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fingers
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Seymour Wilens
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Staver Co Inc
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    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/40Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs
    • H01L23/4093Snap-on arrangements, e.g. clips
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
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Description

  • Kühlkörper für eine Halbleitereinrichtung Die Erfindung betrifft einen Kühlkörper für eine Halbleitereinrichtung, welche in einem Gehäuse eingeschlossen ist.
  • Halbleitereinrichtungen wie integrierte Schaltungen sind klein, obwohl sie oft für eine beträchtliche Leistung ausgelegt sind. Eine der hauptsächlichen Schwierigkeiten bei der Verwendung von Halbleiterschaltungen ist die Abfuhr der erzeugten Wärme. Dies führte zu der Verwendung von Kühlkörpern. Um ein thermisches Gleichgewicht zu erzielen, sind die bisher verwandten Kühlkörper so groß und schwer, daß sie die Vorteile von Halbleitereinrichtungen wesentlich verringern, die durch den geringeren Raumbedarf und das geringere Gewicht erzielt werden können.
  • Integrierte Schaltungen der hier interessierenden Art werden gewöhnlich aus einem einzigen Halbleiterplättchen hergestellt, an dem Zuleitungen angelötet oder sonstwie elektrisch leitend mit der Schaltung verbunden werden. Ein kürzlich entwickeltes Herstellungsverfahren verwendet ein Substrat aus Silizium, dasauf eine Oberfläche eines Metallstreifens aufgetragen wird. Verschiedene monolithische integrierte Schaltungen können in dieser Weise entlang einem einzigen Metallstreifen hergestellt werden, welcher dann unterteilt wird. Das Substrat wird dann mit einem dielektrischen Material umhüllt, so daß sich der Metallstreifen durch das Gehäuse an gegenüberliegenden Seiten davon erstreckt und als Kühlfahr! dienen kann. Die dielektrische Umhüllung kann aus Kunststoff oder einem keramischen Material bestehen. Dabei ist kein metallisches Gehäuse erforderlich. Der Körper ist gewöhnlich reckteckförmig ausgebildet und weist eine Reihe von äußeren metallischen Zuleitungen auf, die sich von der Umhüllung erstrecken.
  • Bisher hatte die Anordnung derartiger Halbleitereinrichtungen auf Kühlkörpern gewisse Schwierigkeiten verursacht. Gewöhnlich wird der Kühlkörper an der Halbleitereinrichtung angelötet. Dazu ist jedoch verhältnismäßig viel Zeit und eine kostspielige Einrichtung erforderlich, obwohl in manchen Fällen die Kühlkörper nicht erneut Verwendung finden können, wenn die Halbleitereinrichtung aus irgendwelchen Gründen ausgewickelt werden muß.
  • Im Falle von mit Kunststoff umhüllten Halbleitereinrichtungen mit einer freiliegenden Metallfläche bereitet die Befestigung an dem Kühlkörper zusätzliche Schwierigkeiten. Wenn beispielsweise eine Schraube verwandt wird, kann ein Werkzeug zur Ausübung eines begrenzten Drehmoments erforderlich sein, um zu gewährleisten, daß die Schraube stark genug angezogen ist, um eine Verschiebung und Lockerung zu verhindern, aber nicht so stark angezogen werden kann, daß die Umhüllung beschädigt werden kann. Auch wenn eine Schraube nicht benutzt werden sollte, muß die Befestigung sorgfältig entsprechend der speziellen Konstruktion und dem Raumbedarf der Schaltung vorgeplant werden.
  • Es ist deshalb Aufgabe der Erfindung, einen Kühlkörper dieser Art unter möglichst weitgehender Vermeidung der genannten Nachteile und Schwierigkeiten derart auszubilden, daß er nicht nur leicht, kompakt und billigist, sondern daß er auch einen guten Wärmekontakt mit den Kühlfahnen ermöglicht, wenn Halbieitereinrichtungen der genannten Art mit einer Umhüllung aus Kunststoff und sich einem aus der Umhüllung erstreckenden Metallstreifen Verwendung finden. Insbesondere soll die Halbleitereinrichtung an dem Kühlkörper zuverlässig und entfernbar bei gutem Wärmekontakt und mit möglichst geringem Aufwand ohne die Verwendung von Werkzeugen befestigbar sein.
  • Ein Kühlkörper gemäß der Erfindung besteht aus ausgestanztem Metallblech, so daß der Kühlkörper ein Basisteil und zwei sich davon divergierend erstreckende Rippenteile aufweist. Jeweils zwei Paare von gegenüberliegend angeordneten Fingern sind aus dem Metallblech ausgeschnitten und nach oben in einer Richtung gegenüber der Erstreckung der Kühlrippen umgebogen. Der Halbleiterkörper kann angrenzend an dem Basisteil des Kühlkörpers zwischen zwei dieser Finger eingeklemmt werden, welche eine elastische Klemmeinrichtung bilden. Dieser Lage folgen die beiden anderen Finger der sich in entgegengesetzter Richtung erstreckenden Kühlfahnen, die deshalb zwischen den Fingern mit aneinanderliegenden Oberflächen mit gutem Wärmekontakt erstrecken. Die beiden Finger sind mit einer Anzahl von ausgeschnittenen und versetzten Streifen versehen, um eine verbesserte Wärmeableitung zu ermöglichen.
  • Zusammenfassend sind deshalb die wesentlichen Merkmale der Erfindung in e inem Kühlkörper für eine Halbleitereinrichtung zu sehen, von dem sich L-förmige Kühlfahnen erstrecken, und der aus einem ausgestanzten Blechkörper besteht, der zwei Paare zueinander weisender Finger aufweist, die aus dem Metallblech ausgeschnitten und aus dessen Ebene herausgebogen sind. Zwei der Finger bilden eine elastische Klemmeinrichtung, die zum Haltern der Halbleitereinrichtung dienen. Die anderen beiden Finger sind L-förmig ausgebildet, um der Form der Kühlfahnen zu entsprechen und können in einen gut wärmeleitenden Kontakt mit den gegeneinander angeordneten ebenen Oberflächen gelangen. Der Kühlkörper hat zwei Kühlrippen, die sich in entgegengesetzter Richtung von den beiden Fingerpaaren divergierend erstrecken.
  • Anhand der Zeichnung soll die Erfindung näher erläutert werden. Es zeigen: Fig. 1 ene Seitenansicht eines Kühlkörpers gemäß der Erfindung, an dem eine integrierte Schaltung in einer Umhüllung aus Kunststoff angeordnet ist; Fig. 2 eine Draufsicht auf den Kühlkörper in Fig. 1; Fig. 3 eine Untenansicht des Kühlkörpers in Fig. 1; Fig. 4 eine Schnittansicht entlang der Linie 4-4 in Fig. 1; Fig. 5 eine Schnittansicht entlang der Linie 5-5 in Fig. 2 und Fig. 6 eine Draufsicht auf ein Metallblech, das zur Herstellung eines Kühlkörpers gemäß der Erfindung dient.
  • Die Fig. 1-5 zeigen eine Halbleitereinrichtung 10 mit einer Umhüllung 12 aus Kunststoff und vier sich davon erstreckende Zuleitungen 14 auf gegenüberliegenden Seiten davon. Die Halbleitereinrichtung 10 ist eine monolithische Halbleiterschaltung, von der bestimmte Schaltungspunkte mit den Zuleitungen 14 elektrisch leitend verbunden sind. Die Halbleitereinrichtung 10 kann jedoch irgendeine umhüllte Halbleitereinrichtung sein, von deren Umhüllung 12 sich eine Anzahl von äußeren Zuleitungen erstrecken. Der durch die Umhüllung umgebene Körper 12 ist recheckförmig und verhältnismäßig klein ausgebildet, und hat beispielsweise eine Länge von 19 mm (3/4 Zoll), eine Breite von 9,5 mm (3/8 Zoll) und eine Dicke von 6,35 mm (1/4 Zoll). Trotzdem können beträchtliche Leistungen auftreten.
  • Wie am besten aus den Fig. 4 und 5 ersichtlich ist, besteht die Schaltung aus einem kleinen Halbleiterplättchen 16, das auf einem Metallstreifen 18 angeordnet ist. Die Verbindung zwischen den äußeren Zuleitungen 14 und dem Plättchen 16 sind schematisch durch die Leitungen 19 in Fig. 4 angedeutet. Der Metallstreifen 18 erstreckt sich durch die Umhüllung 12 an gegenüberliegenden Seiten davon. Beide Enden davon sind nach unten umgebogen (Fig.
  • 5),um zwei L-förmige Kühlfahnen 20 und 22 zu bilden. Die KUhlfahnen 20 und 22 dienen zur Kühlung, um die Halbleitereinrichtung auf einer Temperatur unterhalb der maximal zulässigen Temperatur zu halten.
  • Wie am besten aus den Fig. 1 bis 4 ersichtlich ist, besteht der Kühlkörper aus einem ausgestanzten Blechkörper 24, der ein Basisteil 26 und zwei Kühlrippen 28 und 30 aufweist. Die Kühlrip pen 28 und 30 konvergieren zunächst entlang einer kleinen Entfernung angrenzend an den Basisteil entlang den Teilen 32 und 34, und divergieren dann mit einem Winkel von etwa 300 zu der Vertikalen entlang der Teile 36 und 38. Die größeren Teile 36 und 38 sind mit einer Anzahl von parallelen Streifen 40 versehen, die nach außen aus der Ebene des Blechs ausgestanzt und versetzt angeordnet sind, um die Wärmeableitung zu verbessern.
  • Wie am besten aus den Fig. 2 und 3 ersichtlich ist, sind zwei Paare 42, 44 und 54, 56 aus dem Kühlkörper ausgeschnitten und nach unten von dem Basisteil 26 umgebogen. Das erste Paar von Fingern 42, 44 ist ganz von dem Basisteil 26 ausgeschnitten und dient als elastische Klemmvorrichtung zur entfernbaren Aufnahme der umhüllten Halbleitereinrichtung. Die Finger 42 und 44 erstrecken sich unmittelbar angrenzend an den Basisteil 26 leicht konvergierend entlang den Teilen 46 und 48, während sie an ihren unteren Enden nach außen geneigt umgebogen sind, um Führungen 50 und 52 zu bilden, durch die das Einsetzen der Halbleitereinrichtung erleichtert ist. Das zweite Paar von Fingern 54 und 56 ist aus den Kühlrippen 28 bzw. 30 ausgeschnitten und erstreckt sich von dem Basisteil 26 in Ebenen senkrecht zu denjenigen der Finger 46, 48. Wie am besten aus Fig. 5 ersichtlich ist, erstrekken sich die Finger 54, 56 nach unten entlang den Teilen 58, 60 in einem Abstand entsprechend der Breite der Umhüllung 12 der Halbleitereinrichtung und sind dann zuerst nach außen und dann nach innen umgebogen, um L-förmige Teile 62 und 64 zu bilden, welche gut den L-förmigen Kühlfahnen 20 und 22 angepaßt sind, sodaß sich durch eInseine Oberflächenberührung ein guter Wärmekontakt ergibt. Wie am besten aus den Fig. 2 und 3 ersichtlich ist, ragen zwei äußere Zuleitungen 14 von der Umhüllung 12 an beiden Seiten der Finger 54, 56 vor und sind in entsprechender Weise nach unten abgebogen, um eine einfache Einsetzung in ein Schaltungsbrett mit einer gedruckten Schaltung zu ermöglichen.
  • Der Basisteil 26 des Kühlkörpers ist vorzugsweise rechteckförmig ausgebildet, und die Kühlrippen 28, 30 sind vorzugsweise quadratisch ausgebildet und haben praktisch dieselbe Breite wie der Basisteil 26.
  • Obwohl die Dimensionen des Kühlkörpers unterschiedlich sein können, hat der Basisteil 26 bei einer bevorzugten Ausführungsform eine rechteckige Flächengröße von 38 x 9, 5 mm (1 1/2 x 3/8 Zoll), während die Flügel eine quadratische Fläche mit 38 mm (1 1/2 Zoll) Kantenlänge bilden. Das Blech hat eine Dicke von 0,76 mm (0,03 Zoll). Die ausgestanzten Streifen 40 sind von den Flügeln um etwa 2,5 mm (0,10 Zoll) versetzt. Das Material ist vorzugsweise Beryllium-Kupfer, kann jedoch auch ein anderes Material mit guter Wärmeleitfähigkeit, wie beispielsweise Aluminium, sein. Das Metallblech kann anodisch oxidiert oder geschwärzt sein, so daß sich eine matte Oberfläche ergibt, um die Wärmeabgabe in an sich bekannter Weise zu verbessern.
  • Aus den Fig. 1-4 ist ersichtlich, daß der Kühlkörper in einfacher Weise aus einem einzigen rechteckförmigen Metallblech ausgestanzt werden kann, wie in Fig. 6 dargestellt ist. Parallele Schneidlinien 66 kennzeichnen dort die Kanten der ausgebogenen Streifen 40, während die Schneidlinien 6879en Umriß der Finger 42, 44 und die Schneidlinien 72, 74 den Umriß der Finger 54, 56 kennzeichnen.
  • Um den in Fig. 1 dargestellten Kühlkörper herzustellen, werden die Finger 42, 44 nach unten aus der Ebene des Blechs entlang Biegelinien 76, 78 umgebogen und dann nach außen entlang Biegelinien 80 und 82, um die Führungen 50 und 52 zu bilden. Die Finger 54, 56 werden auch nach unten von der Ebene des Blechs entlang Biegelinien 81, 83 und dann zu der Ausbildung entsprechend Fig. 5 entlang Biegelinien 84, 86 bzw. 88, 90 umgebogen. Schließlich werden die beiden Kühlrippen 28, 30 nach oben entlang Linien 92, 94 umgebogen und dann nach außen divergierend entlang Linien 96 und 98. Die Streifen 40 werden zu der in Fig. 1 dargestellten Form ausgebogen.
  • Nach dem Einsetzen in den Kühlkörper mit Hilfe der elastischen Finger 42, 44 kann die Halbleitereinrichtung elektrisch an ein Schaltbrett angeschlossen werden. Zu diesem Zweck ist das Schaltbrett im allgemeinen mit einer Reihe von Löchern versehen, die zur Aufnahme der Leitungen 14 dienen, die an der Unterseite des Schaltbretts elektrisch leitend durch Verlöten oder dergleichen befestigt werden. Das Schaltbrett ist ferner vorzugsweise auch mit Schlitzen versehen, die zur Aufnahme der Finger 54, 56 und der Kühlfahnen 20, 22 dienen, um eine stabile Anordnung zu gewährleisten.
  • Die Halbleitereinrichtung wird normalerweise an dem Kühlkörper durch Klemmfinger 42, 44 gehaltert. In manchen Fällen kann es jedoch wünschenswert sein, die Kühlfahnen 20, 22 an den Fingern 54, 56 des Kühlkörpers dauerhaft zu befestigen, wodurch eine zuverlässigere Halterung der Halbleitereinrichtung an dem Kühlkörper 24 erfolgen kann, sowie eine verbesserte Wärmeableitung von den Kühlfahnen zu dem Kühlkörper. Zu diesem Zweck können die Kühlfahnen 20, 22 an den Fingern 54, 56 nach dem Anklemmen der Halbleitereinrichtung an den Kühlkörper angelötet werden. In diesem Falle ist es jedoch schwierig, die Halbleitereinrichtung von dem Kühlkörper zu entfernen, falls ein Austausch erforderlich werden sollte.
  • Aus den obigen Ausführungen geht hervor, wie ein Kühlkörper mit den erwähnten Eigenschaften hergestellt werden kann. Bei dem Hersteller für die Schaltung muß dann nur noch die Halbleitereinrichtung an dem Kühlkörper angeklemmt werden un d die Einheit an dem Schaltungsbrett mit einer gedruckten Schaltung in der oben beschriebenen Weise befestigt werden. Der Kühlkörper hat ein geringes Gewicht und ist kompakt ausgebildet, ermöglicht aber trotzdem die Einhaltung höchstzulässiger Temperaturen bei verhältnismäßig großen Leistungen.
  • Als Anwendungsbeispiel soll ein Spannungsstabilisator beschrieben werden, der eine monolithische integrierte Schaltung enthält, bei der eine Wärmeerzeugung bis zu 5 Watt erfolgt.
  • Die maximal zulässige Grenzschicht-Temperatur für diese Einrichtung beträgt etwa 125 0c. Die allgemeine Gleichung für die Bestimmung der erforderlichen Wärmeableitung lautet: wobei TA = Umgebungstemperatur TJmax = maximal zulässige Grenzschicht-Temperatur (125 C) - -Tab = Wärmewiderstandgrenzschicht zu Kühlfahne (11°C/W) PD = Wärmeentwicklung in der integrierten Schaltung Die maximale Wärmeentwicklung ist gegeben durch PDmax = (Vin max - Vout min) X Iin max.
  • In einem typischen Fall beträgt Vin max - Vout min etwa 8 Volt und der maximale Eingangsstrom beträgt 0,5 Ampere bei einer maximalen Umgebungstemperatur von +75 0C. Ein Einsetzen in Gleichung (1) ergibt: = 1,50C/W Ein Kühlkörper gemäß der Erfindung kann 10°C/W ableiten.
  • Daraus ist ersichtlich, daß der Wirkungsgrad dieses Kühlkörpers mehr als ausreichend ist, eine Halbleitereinrichtung für hohe Leistungen unterhalb der maximal zulässigen Temperatur zu halten.
  • Ein derartiger Kühlkörper hat ein geringes Gewicht, geringe Herstellungskosten und ist gut für Halbleitereinrichtungen für hohe Leistungen geeignet. Der Kühlkörper kann in einfacher Weise aus Metallblech ausgestanzt werden, wobei praktisch kein Abfall anfällt. Das Umbiegen der ausgestanzten Teile erfolgt vorzugsweise durch einen Automat oder auf einem Fließband. Die Befestigung des Kühlkörpers an der Halbleitereinrichtung kann in einfacher Weise durch manuelles Einklemmen erfolgen, wobei keine Schrauben und Muttern bestimmter Größe und aus einem geeigneten Material erforderlich sind, ebenso keine Unterlegscheiben zur Begrenzung des Drehmoments oder zur Verankerung. Bei der Herstellung und dem Zusammenbau mitgedruckten Schaltungen sind die Herstellungskosten verringert. Es besteht ferner nicht die Gefahr, daß die dielektrische Umhüllung der Halbleitereinrichtung beschädigt wird. Irgendeine Schrumpfung oder ein kalter Fluß der Halbleitereinrichtung und deren Umhüllung wird durch die elastische Konstruktion der Klemmfinger aufgenommen.
  • Patentansprüche

Claims (12)

  1. Patentansprüche 1. Kühlkörper für eine Halbleitereinrichtung mit einer Umhüllung, durch die sich Kühlfahnen mit zueinander weisenden Oberflächen erstrecken, bestehend aus einem ausgestanzten Metallblech und einer Befestigungseinrichtung für die Halbleitereinrichtung, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß ein Kühlelement (54, 56) in wärmeleitender Berührung mit dem Kühlkörper angeordnet ist, das an mindestens einer Oberfläche der Kühlfahnen (20, 22) anliegt, wenn die Halbleitereinrichtung durch die Haltevorrichtung (42, 44) eingeklemmt ist, um Wärme von den Kühlfahnen zu dem Kühlkörper (24) abzuleiten.
  2. 2. Kühlkörper nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n -z e i c h n e t , daß die Kühlfahnen (20, 22) L-förmig ausgebildet sind und sich von gegenüberliegenden Seiten der Halbleitereinrichtung erstrecken, daß das Kühlelement (54, 56) entsprechend L-förmig ausgebildet ist und im wesentlichen parallel verlaufende Berührungsflächen zur Anlage an den Kühlfahnen (20, 22) an sich gegenüberliegenden Oberflächen zum Wärmetransport zwischen ebenen Flächen aufweist.
  3. 3. Kühlkörper nach Anspruch 2, d a d u r c h g e k e n n -z e i c h n e t , daß die Halteeinrichtung durch Finger (46, 48) gebildet ist, die sich von dem Kühlkörper im wesentlichen parallel zueinander und etwa senkrecht zu den Angriffsflächen der Kühlfahnen mit dem Kühlelement (54, 56) erstrecken.
  4. 4. Kühlkörper nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a -d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Halteeinrichtung eine elastische Klemmvorrichtung (42, 44) ist, um die umhüllte Halbleltereinrichtung an dem Kühlkörper (24) festzuklemmen, wenn die Kühlfahnen (20, 22) mit dem Kühlelement (54, 56) in Berührung stehen.
  5. 5. Kühlkörper nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a -d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß er aus einem einzigen Metallblech besteht und daß das Kühlelement (54, 56) und die Klemmvorrichtung (42, 44) aus dem Metallblech ausgeschnitten sind und davon vorragen.
  6. 6. Kühlkörper nach Anspruch 5, d a d u r c h g e k e n n -z e i c h n e t , daß er aus einem Basisteil (26) und zwei Kühlrippen (28, 30) besteht, die aus der Ebene des Basisteils (26) in einer Richtung entgegengesetzt der Richtung der Klemmvorrichtung vorragen.
  7. 7. Kühlkörper nach Anspruch 6, d a d u r c h g e k e n n -z e i c h n e t , daß die Kühlrippen (28, 30) sich von dem Basisteil in einer Richtung senkrecht dazu erstrecken und dann nach außen divergierend angeordnet sind.
  8. 8. Kühlkörper nach Anspruch 6, d a d u r c h g e k e n n -z e i c h n e t , daß die Kühlrippen (28, 30) sich von dem Basisteil (26) zuerst leicht konvergierend und dann divergierend erstrecken.
  9. 9. Kühlkörper nach Anspruch 2, d a d u r c h g e ke n n -z e i c h n e t , daß sich zwei Kühlrippen von dem Kühlkörper unter einem Winkel erstrecken.
  10. 10. Kühlkörper nach Anspruch 1, der aus einem einstückigen Metallblech ausgestanzt ist, d a d u r c h g e k e n n z e i c h -n e t , daß zwei Paare vnn zueinander weisenden Fingern (46, 48; 54, 56) aus dem Körper (24) ausgeschnitten und nach oben von dem Basisteil (26) umgebogen sind, daß die beiden Fingerpaare im wesentlichen senkrecht zueinander vorragen, um eine Halterung für die Halbleitereinrichtung zu bilden, daß mindestens ein Fingerpaar (46, 48) zur lösbaren Halterung der Halbleitereinrichtung an dem Körper (24) ausgebildet ist, und daß der Körper (24) nach unten entlang parallelen Linien zur Ausbildung zweier Kühlrippen (28, 30) umgebogen ist, die sich im wesentlichen nach unten von dem Basisteil (26) an beiden Seiten davon divergierend erstrecken.
  11. 11. Kühlkörper nach Anspruch 10, d a d u r c h g e k e n n -z e i c h n e t , daß mindestens eines der Fingerpaare (54, 56) zumindest teilweise von den Kühlrippen (28, 30) ausgestanzt ist.
  12. 12. Kühlkörper nach einem der Ansprüche 6, 10 oder 11, d a d u r c h g e k e n n z e i c h ne t , daß jede der Kühlrippen (28, 30) schmale ausgeschnittene Streifen (40) aufweisen, die nach außen gegenüber der Ebene der Kühlrippen (28, 30) versetzt sind.
    L e e r s e i t e
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