DE2213313B2 - Verfahren zum Abscheiden einer einkristallinen Halbleiterepitaxialschicht auf einem Substrat - Google Patents
Verfahren zum Abscheiden einer einkristallinen Halbleiterepitaxialschicht auf einem SubstratInfo
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Description
25
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abscheiden einer einkristallinen Halbleiterepitaxialschicht auf
einem Substrat, wobei eine Oberfläche des Substrats mit einer metallischen Lösungsschmelze des Halbleiterma- ω
terials in Berühre! g gebracht und bis zum Abscheiden der Epitaxialschicht abgekühlt wird dann die Epitaxialschicht, während ihre Oberfläche noch mit einem Film
der Schmelzlösung bedeckt st, rru einer zweiten
metallischen Lösungsschmelze des Halbleitermaterials « in Berührung gebracht und schließlich das Substrat mit
der Epitaxialschicht aus der zweiten Schmelzlösung entfernt wird.
Dieses nach der sogenannten Flüssigphasenepitaxie arbeitende Verfahren findet vorzugsweise Anwendung
auf Halbleiterverbindungen aus Elementen der III. Gruppe mit Elementen der V. Gruppe des Periodensystems. Hierzu gehören beispielsweise Nitride, Phosphide, Arsenide und Antimonide von Bor, Aluminium,
Gallium und Indium aber auch Mischungen und Kombinationen der Elemente oder Verbindungen. Die
Lösung, aus der die jeweilige Epitaxialschicht abgeschieden wird, kann einen dem gewünschten Leitungstyp der aufzuwachsenden Schicht entsprechenden
Dotierstoff enthalten. Es können auch mehrere Schich- w 'ten nacheinander mit Hilfe der Flüssigphasenepitaxie
abgeschieden bzw. aufgewachsen werden, wobei die einzelnen Schichten unterschiedlichen Leitungstyp
aufweisen können, so daß zwischen den Schichten PN-Übergänge zu bilden sind. «
Das eingangs genannte Verfahren ist aus der DE-OS 20 06 189 bekannt. Nach dem Verfahren bzw. mit Hilfe
der entsprechenden Vorrichtung können eine einzelne Epitaxialschicht oder nacheinander bzw. aufeinander
mehrere solcher Schichten durch Flüssigphasenepitaxie t>o
hergestellt werden. Zu der bekannten Vorrichtung gehört ein Schiffchen aus hitzebeständigem Material
mit mehreren an seiner Oberseite vorgesehenen Ausnehmungen sowie mit einem Schieber, der unterhalb
der Ausnehmungen zu verfahren ist und dessen μ Oberfläche beim Verschieben abschnittsweise die
Böden der Ausnehmungen bildet. Bei Betrieb werden eine Lösung aus Halbleitermaterial und geschmolzenem
Lösungsmetall in eine der Ausnehmungen des Schiffchens gegeben und das z« beschichtende Substrat in
eine Vertiefung des Schiebers eingelegt Sobald die Lösung die gewünschte Temperatur aufweist, wird der
Schieber in eine Position gebracht, in der das Substrat im wesentlichen den Boden der Ausnehmung darstellt
und die Lösung daher die Oberfläche des Substrats berührt. Die Lösung wird dann so abgekühlt, d<iß eine
Epitaxialschicht auf dem Substrat aufwächst Nach Erreichen der gewünschten Dicke der Epitaxialschicht
wird der Schieber nochmals bewegt, um das Substrat
aus der erwähnten Ausnehmung zu entfernen.
Sollen zwei oder mehr Epitaxialschichter. nacheinander auf das Substrat aufgebracht werden, so werden bei
dem bekannten Verfahren in zwei benachbarten Ausnehmungen des Schiffchens entsprechende Lösungen vorbereitet. Nachdem in diesem Fall in der ersten
Ausnehmung die erste Epitaxialschicht auf dem Substrat abgeschieden ist wird der Schieber bewegt und das
Substrat in den Bereich der zweiten Ausnehmung gebracht. Dort berührt die Oberfläche der ersten
Epitaxialschicht die zweite Lösung. Ein weiteres Abkühlen sorgt dann für ein Abscheiden der zweiten
Epitaxialschicht auf der ersten. Der Schieber wird dann nochmals bewegt um das Substrat aus der zweiten
Ausnehmung zu entfernen.
Obwohl das bekannte Verfahren normalen Anforderungen an die Herstellung von Epiiaxialschichten mit
Hilfe der Flüssigphasenepitaxie genügt treten Schwierigkeiten auf, wei?r. das herzustellende Bauteil eine
letzte bzw. äußere Epitaxialschicht mit glatter Oberfläche haben soll. Bei dem beschriebenen Verfahren wird
nämlich nach dem Aufwachsen einer Epitaxialschicht und dem Entfernen des Substrats aus der jeweiligen
Ausnehmung des Schiffchens ein Teil der in der Ausnehmung befindlichen Lösung von der Oberfläche
der Epitaxialschicht mitgenommen. Diese von der Oberfläche der letzten Epitaxiatecliicht mitgenommene
Lösung neigt dazu, zusätzliches Halbleitermaterial auf der letzten Epitaxialschicht abzuscheiden, derart daß
die äußere epitaxiale Oberfläche uneben wird.
Wenn angestrebt wird, eine Epitaxialschicht mit glatter Oberfläche herzustellen, kann man versuchen,
die von dem Inhalt der letzten Ausnehmung herrührende überschüssige Lösung mechanisch von der zuletzt
aufgewachsenen Epitaxialschicht zu entfernen. Es ist jedoch sehr schwierig, die auf der Oberfläche verbliebene Lösung so gleichmäßig von der Epitaxialschicht
abzustreifen, daß eine glatte Oberfläche entsteht. Letztlich war daher bisher zum Erzielen einer glatten
Oberfläche ein mechanisches oder chemisches Polieren erforderlich. Solche Nacharbeiten sind jedoch nicht nur
aufwendig, sondern auch deshalb nachteilig, weil durch sie die Dicke der gerade aufgewachsenen Epitaxialschicht wieder verringert wird. Wenn die Epitaxialschicht sehr dünn ist, z. B. I bis 2 Mikrometer, ist ein
mechanisches oder chemisches Nachpolieren in der Regel unzulässig.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zu schaffen, mit dessen Hilfe Epitaxialschichten mit glatter Oberfläche ohne aufwendiges Nacharbeiten hergestellt werden können. Bei dem Verfahren
eingangs genannter Art, bei dem eine in einem vorhergehenden Verfahrensschritt bereits aufgewachsene Epitaxialschicht zusammen mit einem Film der
entsprechenden Schmelzlösung mit einer weiteren Schmcl/.lösung in Berührung gebracht und schließlich
aus dieser entfernt wird, besteht die erfinduneseemäße
Lösung darin, daß die zweite Schmelzlösung, die ein die
Oberfläenenkobäsion der Schmelze erhöhendes Metall gelöst enthält, so lange mit der Epitaxialsehicht in
Berührung bleibt, bis der von der ersten Schmelzlösung
herrührende Film in der zweiten Schmelzlösung aufgelöst ist und noch kein Halbleitermaterial aus der
zweiten Schmelzlösung abgeschieden wird.
Durch die Erfindung wird im Ergebnis erreicht, daß auf der frisch angewachsenen Epitaxialsehicht von der
ersten Lösung her verbliebenes Material in der zweiten ι ο
Lösung völlig abgetrennt wird. Nach dem Verlassen der zweiten Lösung ist die Epitaxialsehicht also frei von
jedem Lösungsfilm, der bei früheren Verfahren zu Unebenheiten der Epitaxial-Oberfläche geführt haben
würde. Die bei dem erfindungsgemäßen Verfahren mit glatter äußerer Oberfläche hergestellte Epitaxialsehicht
muß selbstverständlich nicht die einzige auf dem entsprechenden Substrat aufgewachsene Schicht sein,
sondern ist grundsätzlich auch als die äußere von zwei oder mehr Epitaxialschichteh aufzufassen.
Anhand der schematischen Darstellung eines Ausführungsbeispiels einer Vorrichtung zum Durchführen des
Verfahrens wird die Erfindung nachfolgend näher erläutert
Eine zum Durchführen des erfindungsgemäßen Verfahrens geeignete Vorrichtung ist in der Zeichnung
insgesamt mit 10 bezeichnet. Sie enthält ein Schiffchen 12 aus inertem Material, wie Graphit. Das Schiffchen 12
weist an seiner Oberseite drei mit Abstand voneinander angeordnete Ausnehmungen 14, 16 und 18 auf. Längs jo
durch das Schiffchen 12 erstreckt sich unter den Ausnehmungen 14,16 und 18 eine Führung 20, in der ein
Schieber 22 aus hitzebeständigem Material, wie Graphit, beweglich gelagert ist, so daß die Oberseite des
Schiebers die Bodenfläche der Ausnehmungen 14, 16 ü und 18 bildet Der Schieber ist oberseitig mit einer
Vertiefung 24 versehen, die der Aufnahme eines flachen Substrats 26 dient, auf dem die Epitaxialsehicht oder
-schichten abgeschieden werden sollen. Die Vertiefung 24 ist groß genug, um eine flache Lage des Substrats 26
zu erlauben, und ist tiefer als die Substratdicke, so daß die obere Fläche des Substrats unterhalb der Oberkante
der Vertiefung liegt.
Zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird zunächst in der Ausnehmung 14 eine erste ·)■>
Charge und in der Ausnehmung 16 eine zweite Charge untergebracht. Die erste Charge besteht aus einer
Mischung, die das Halbleitermaterial der abzuscheidenden Epitaxialsehicht, ein Metallösungsmittel für dieses
Halbleitermaterial und, sofern die Epitaxialsehicht einen w
bestimmten Leitfähigkeitstyp besitzen soll, einen Dotierstoff enthält. Um beispielsweise eine Epitaxialsehicht
aus Gallium-Arsenid abzuscheiden, würde das Halbleitermaterial Gallium-Arsenid sein, das Metallösungsmittel
würde Gallium sein und der Dotierstoff könnte π entweder Tellur, Zinn oder Silizium im Falle einer
N-Schicht oder Zink, Germanium oder Magnesium im Falle einer P-Schicht sein. Die Ingredienzien liegen in
der Mischung bei Raumtemperatur in granulierter, fesler Form vor. Die zweite Charge besteht aus einem w)
Halbleitermaterial, einem Metallösungsmittel für das Halbleitermaterial und einem MeIaII, das die Oberflächenkohäsion
der Lösung erhöht, wenn die zweite Charge geschmolzen wird. Beispielsweise kann das
Halbleitermaterial Galiium-Arsenid, das Metallösungs- h·.
mittel Gallium und das die hohe Viskosität erzeugende Metall Aluminium oder Zinn sein. In der zweiten Charge
sollte der Anteil an Halbleitermaterial groll genug sein.
um die Lösung vollständig zu sättigen, wenn die Charge geschmolzen ist und sich auf Betriebstemperatur (wird
noch erläutert) befindet. Ein Substrat 26 wird in der
Vertiefung 24 des Schiebers 22 untergebracht Das Substrat 26 kann aus jedem Material bestehen, auf dem
eine Epitaxialsehicht aus dem gewünschten Halbleitermaterial abgeschieden werden kann. Beispielsweise
kann ein Substrat aus einkristallinem Gallium-Arsenid zum Abscheiden einer Gallium-Arsenid-Epitaxialschicht
benutzt werden.
Das beladene Ofenschiffchen 12 wird sodann in einen nicht dargestellten Ofen gebracht, der von hochreinem
Wasserstoff durchströmt wird. Die Temperatur des Ofens wird soweit erhöht, daß der Inhalt des
Ofenschiffchens auf eine Temperatur erhitzt wird, die über dem Schmelzpunkt der Ingredienzien der Chargen,
im allgemeinen zwischen 800 und 950° C, liegt Diese Temperatur wird solange aufrechterhalten, bis sichergestellt
ist, daß die Ingredienzien ieder Schmelze vollständig geschmolzen und vermisst sind. Dadurch
entsteht aus der ersten Charge eine erste Lösung 28, die aus in dem geschmolzenen Metallösungsmittel gelöstem
Halbleitermaterial und Dotierstoff besteht, während aus der zweiten Charge eine zweite Lösung 30 aus im
geschmolzenen Metallösungsmittel gelöstem Halbleitermaterial und dem vorgenannten Metall entsteht
Die Temperatur im Ofen wird sodann reduziert, um das Schiffchen 12 und seinen Inhalt abzukühlen. Der
Schieber 22 wird in Richtung des Pfeils soweit verschoben, bis das Substrat 26 sich in der Ausnehmung
14 befindet und den Boden dieser Ausnehmung bildet. Dadurch wird die Oberseite des Substrats 26 mit der
ersten Lösung 28 in Berührung gebracht. Weiteres Abkühlen des Schiffchens 12 und seines Inhalts führt
dazu, daß ein Teil des Halbleitermaterials aus der ersten Lösung 28 ausfällt und sich auf der Oberfläche des
Substrats 26 abscheidet, wodurch die Epitaxialsehicht gebildet wird. Während des Abscheidens des Halbleitermaterials
wird ein Teil des in der Lösung 28 enthaltenen Dotierstoffs in das Gitter der Epitaxialsehicht eingebaut,
so daIi eine Epitaxialsehicht mit gewünschtem Leitfähigkeitstyp entsteht.
Sobald eine Epitaxialsehicht gewünschter Dicke auf dem Substrat 26 abgeschieden ist, wird der Schieber 22
nochmals in Richtung des Pfeils bewegt, so daß das Substrat aus der ersten Ausnehmung 14 in die zweite
Ausnehmung 16 gelangt, in der die Oberfläche der Epitaxialsehicht mit der zweiten Lösung 30 in
Berührung gebracht wird. Die Temperatur der zweiten Lösung 30 zum Zeitpunkt, in dem das Substrat 26 in die
zweite Ausnehmung 16 bewegt wird, stellt die oben erwähnte Betriebstemperatur der zweiten Lösung 30
dar. Bei dieser Temperatur muß genügend Halbleitermaterial
in der zweiten Lösung 30 vorhanden sein, !im das Metallösungsmittel vollständig zu sättigen. Wenn
das Substrat 26 aus der ersten Ausnehmung 14 bewegt wird, verbleibt auf der Oberfläche der Epitaxialsehicht
grundsätzlich ein dünner Film der ersten Lösung 28, der mit dem Substrat in die zweite Ausnehmung 16 gelangt.
Sobald das Substrat 26 die zweite Ausnehmung 16 erreicht, löst sich der auf der Oberfläche der
Epitaxialsehicht befindliche dünne Film aus erster Lösung sofort in der zweiten Lösung 30. Das Substrat 26
wird in der zweiter Ausnehmung gerade solange gelassen, daß sich der aus der ersten Lösung bestehende
Film in der zweiten Lösung 30 auflösen kann. Dies dauert nur wenige Sekunden. Das Substrat 26 wkd
jedoch nicht so lange im Bereich der zweiten
Ausnehmung 16 gehalten, daß irgendwelches Halbleitermaterial
der zweiten Lösung 30 ausfallen und sich auf der Epitaxialschicht abscheiden kann. Der Schieber
22 wird dann nochmals in Richtung des Pfeiles bewegt, um das Substrat 26 aus dem Bereich der zweiten
Ausnehmung 16 in den der dritten Ausnehmung 18 zu bringen. Bei der Bewegung des Substrats 26 aus der
zweiten Ausnehmung 16 sorgt die hohe Oberflächenkohäsion
der zweiten Lösung 30 dafür, daß diese vollständig in der zweiten Ausnehmung zurückgehalten
wird, so daß im Ergebnis die zweite Lösung völlig von der Epitaxialschicht abgestrichen wird. Somit ist die
Oberfläche der Epitaxialschicht, sobald das Substrat die dritte Ausnehmung 18 erreicht, frei von jeglicher
Lösung, die zusätzliches Halbleitermaterial auf der Epitaxialschicht abscheiden könnte, wodurch die Oberfläche
aufgerauht würde. Dadurch entsteht eine glatte Oberfläche, die kein Polieren mehr benötigt.
Obwohl das erfindungsgemäße Verfahren am Beispiel des Niederschiagens einer einzigen Epitaxialschicht
beschrieben wurde, kann es selbstverständlich auch zum Herstellen mehrerer Epitaxialschichten aufeinander
verwandt werden, wobei die letzte Epitaxialschicht eine glatte Oberfläche besitzt. Um mit dem erfindungsgemäßen
Verfahren eine Vielzahl aufeinanderliegender [■Ipitaxialschichtcn auf einem Substrat herzustellen, wird
das Schiffchen 12 mit zusätzlichen Ausnehmungen versehen, so daß für jede Lösung, aus der jeweils eine
ι Epitaxialschicht niedergeschlagen wird, eine gesonderte
Ausnehmung vorhanden ist. Das Substrat 26 wird dann mittels des Schiebers 22 nacheinander in den Bereich
jeder Ausnehmung bewegt, wo dann jeweils eine flpitaxialschicht niedergeschlagen wird. Nachdem die
in letzte Epitaxialschicht hergestellt ist. wird das Substrat
in die Ausnehmung befördert, die die Lösung mit hoher Oberflächenkohäsion enthält, und die mit dem Halbleitermaterial
gesättigt ist. um jegliche, auf der Oberfläche der zuletzt angeordneten Epitaxialschichl
υ verbleibende Lösung wegzulösen. Das Substrat wird
sodann schnell aus der letzten Lösung entfernt, so daß diese eine glatte Oberfläche erhält. Mit der vorliegenden
Erfindung ist daher ein Verfahren geschaffen worden, mit dem eine oder mehrere Epitaxialschichten
>o aus Halbleitermaterial mittels der Flüssigphasen-Epitaxie
auf einem Substrat angebracht werden können, wobei die letzte Epitaxialschicht eine glatte Oberfläche
besitzt, die keine Nachbehandlung benötigt.
Claims (1)
- Patentanspruch;Verfahren zum Abscheiden einer emkristallinen Halbleiterepitaxialschicht auf einem Substrat wobei eine Oberfläche des Substrats mit einer metallischen Lösungsschmelze des Halbleitermaterials in Berührung gebracht und bis zum Abscheiden der Epltaxialschicht abgekühlt wird, dann die Epitaxialschicht, während ihre Oberfläche noch mit einem Film der Schmelzlösung bedeckt ist, mit einer ι ο zweiten metallischen Lösungsschmelze des Halbleitermaterials in Berührung gebracht und schließlich das Substrat mit der Epitaxialschicht aus der zweiten Schmelzlösung entfernt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Schmelzlösung, die ein die Oberflächenkohäsion der Schmelze erhöhendes Metall gelöst enthält, so lange mit der Epitaxialschicht in Berührung bleibt, bis der von der ersten Schmelzlösung herrührende Film in der zweiten Schraelzlösung aufgelöst ist und noch kein Halbleitermaterial aus der zweiten Schmeiziösung abgeschieden wird.
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