DE2156819A1

DE2156819A1 - Strömungsmittelmembranverstärker

Info

Publication number: DE2156819A1
Application number: DE19712156819
Authority: DE
Inventors: Louis Dee New Berlin; Kuhar Paul Wayne Milwaukee; Wis. Atkinson (V.StA.)
Original assignee: Johnson Service Co
Current assignee: Johnson Service Co
Priority date: 1970-11-18
Filing date: 1971-11-16
Publication date: 1972-05-25
Also published as: NL7115891A; DE2156819B2; CA944277A; US3734117A; IT944963B; GB1376613A; JPS524702B1

Description

PATENTANWÄLTE

DR.ING.H.NEGENDANK ■ dipl.-ing. H. HAtJCK · dipl.-phys. W. SCHMITZ

HAMBURG-MÜNCHEN ZTTSTELLtTNGSANSCHRIFT: HAMBURG 36 · NEUER WALL 41

TEL. 3β 74 28 TTND 36 4110

TELEGH. NEGEDAPATBNT HAMBUHG

JOHNSON SERVICE COMPANY München ₁₅ · mozartstr.23

507 East Michigan Street, ' .

Milwaukee, Wisconsin 53201 /USA * ■« ■

TELEGK, NEGEi)APATENT MÜNCHEN

Hamburg, den 15. November 1971

Strömungsmittelmembranverstärker

Die Erfindung bezieht sich auf einen Strömungsmittelioembranverstärker zur Bildung eines isolierten Strömungsmittelausgangssignals hoher Stärke, welches von einem Eingangssignal relativ geringer Stärke, überwacht wird. Der Verstärker umfaßt eine bewegliche Membran, die auf der einen Seite eine Eingangssignalkammer zur Aufnahme eines Eingangssignaldruckes und auf der gegenüberliegenden Seite eine Steuerausgangskammer' zur Aufnahme eines Versorgungsausgangsdruckes begrenzt.

Die relative Lage der Membran mit Bezug auf eine Öffnung in der Steuerkammer bestimmt den Ausgangssignaldruck und dessen Fluß und gestattet dadurch die Überwachung eines Hochdruckstromes durch eine relativ niedriges Drucksignal* Membranverstärker können in vorteilhafter Weise mit einer hohen Eingangsimpedanz ausgeführt werden, jedoch werden sie im allgemeinen auf eine Modulation zwischen einem ersten Druckwert oberhalb eines Bezugswertes und einem höheren Wert begrenzt.

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Der Membranmodulator gemäß dieser Erfindung sieht eine " hohe Verstärkung bei hoher Eingangsimpaöanz vor, sowie die Bildung eines Ausgangssignais, das oberhalb und unterhalb " eines Bezugsdruckes schwanken kann und einen Betrieb des ^; Modulators als Verstärker oder als Übertrager gestattet, wobei lediglich ein Wechsel in den äußeren Rohrverbindungen erforderlich ist. Der Modulator umfaßt ein Paar voneinander auf Abstand gehaltener und in Reihenschaltung verbundener Düsen, die in die Kupplungskammer einer Memtransteuereinheit einmünden, um erste und zweite voneinander auf Abstand gehaltene und miteinander fluchtende Öffnungen zu bilden. Der Abstand zwischen den Düsen wird durch eine zweite Kupplungskammer geschlossen, die eine zweite Verbindung mit der Strömungsmittelänlage ermöglicht. Die Wand der Kupplungs-"" kammer wird wenigstens zum Teil durch eine Steuermembran gebildet, diese Wand liegt der Mündung der zweiten Düse innerhalb der kupplungskammer gegenüber und steuert dadurch das wirksame Öffnen dieser Mündung. Die Membran bildet auch eine gemeinsame Wand mit einer Eingangskammer der Membransteuereinheit. Die Membran wird elastisch in eine Steuerstellung beaufschlagt, in der sie mit Abstand von der Düsenmündung liegt.

Es wird entweder die erste Kupplungskammer zur Bildung eines Übertragers oder die Eingangsdüse zur Bildung 'einer proportionalen Steuerung an eine Hauptströmungsmittelquelle

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angeschlossen und ein Steuersignal an die Signaleingangskammer herangeführt. Entsprechend wird eine Ausgangs- oder Bezugsdruckeinrichtung mit der zweiten Kupplungskammer verbunden. Es zeigen:

Fig. 1 einen senkrechten Schnitt durch einen Membranverstärker, der gemäß der Erfindung ausgelegt ist,

Pig. 2 eine Draufsicht auf den ^embranverstärker nach Pig. 1, in welcher verschiedene Strömungsmittelversorgungs- und Ausgangsverbindungen schematisch dargestellt sind,

Pig. 3 einen Schnitt im allgemeinen nach der Linie 3-3 der Pig. 2,

Pig. 4 einen Schnitt im allgemeinen,nach der Linie 4-4 der Pig. 2,

Pig. 5 einen Schnitt im allgemeinen nach der Linie 5-5 der Pig. 1 zur Darstellung der bevorzugten Pederkonstruktion und

Pig. 6 einen senkrechten Schnitt durch einen Membranverstärker, der gemäß der Erfindung ausgelegt und zur Herstellung eines Strömungsmittelübertragers mit Strömungsmitteleinrichtungen verbunden ist.

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Die Mg. 1 und 2 zeigen eine Membranverstärkereinheit 1 mit einer ersten Öffnung 2, die an eine geeignete StrömungsmitteldruckqueHe 3, z. B. luft, angeschlossen ist. Im weitesten Sinne dieser Erfindung läßt sich die Vorrichtung ebenso gut bei anderen Strömungsmittelquellen "verwenden.

Die Zeichnung zeigt zwei Öffnungen 4 und 5> die an eine geeignete pneumatisch ansprechende Ausgangsvorrichtung 6 angeschlossen sind. Der relative Ausgangsdruck und Fluß wird durch zwei Ausgangsöffnungen 7 und 8 gesteuert, die so angeschlossen sind, daß sie die Zufuhröffnung 2 wahlweise zu einer bestimmten Bezugsgröße 9, z. B. der Atmosphäre, lüften. Durch den Druck eines Eingangs- oder Steuersignals, welches an einer mit einer geeigneten. Steuersignalquelle verbundenen Steueröffnung 11 übertragen wird, wird eine Membran 10 in Stellung gebracht.

Die obere Wand einer Basis 13 ist mit einer Ausnehmung zur Bildung einer Zwischenleiste 14 versehen, so daß der Umfang der Membran 10 auf dieser Leiste 14 ruht und eine flache Feder 15 die Membran überlagert. Die leiste 14 ist mit einem erhöhten Einspannrand 16 versehen, um im wesentlichen eine linienberührung mit der Membran 10 zu ermöglichen. Eine Zwischenwand 17 weist eine nach unten vorstehende winkelförmige Wand 18 auf, die teleskopartig in die Ausnehmung

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hineinführt und ζ. B. im Paßsitz, durch kraftschlüssige ■Verbindungsmittel oder dergleichen, an der Basis 13 "befestigt ist. Die Innenseite der Wand 18 ist mii? dem Umfangsabsehnitt der Peder 15 verspannt, um die Membran TO mittels einer strömungsmitteldichten¹ Verbindung dicht gegen den Rand 16 abzudichten, und bildet eine Eingangskammer 19» die mit der Eingangs öffnung 11' verbunden ist.

Nach Jig. 4 ist die Unterseite der Basis 13 mit einer abgestuften Ausnehmung versehen, um eine Verbindungsöffnung 20 zwischen der Kammer 19 und einer mit einer Kappe versehenen Kammer 21 zu bilden. Die Öffnung 11 führt nach oben und aus der'Kammer 21 heraus, um für die abgedichtete und abgespannte (dead-ended) Kammer 19 ein Eingangssignal zu bilden und dadurch die erforderliche hohe Eingangsimpedanz zu erzeugen. Der Druck des Eingangssignal drückt die Membran 10 und den Federkörper 15 in der Kammer 19 nach oben und in die von der Zwischenwand 17 gebildete Ausnehmung hinein.

Die Wand 17 schließt, wie bereits erwähnt, eine winkelförmige Wand 18 ein, welche die erste Kupplungskammer 22 zwischen der anderen Seite der Membran 10 und der Basis der Wand 17 innerhalb der winkelförmigen Wand 18 begrenzt. Die Zwischenwand 17 ist mit einer Düse 23 versehen, die in diese Wand eingearbeitet ist, und liegt koaxial zu den Kammern 19 und

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Die Düse 23 steht nach unten in die Kammer 22 hinein vor und endet mit geringem Abstand von der flachen Feder 15» wenn sich die Feder und die Membran 10 in der neutralen lage befindet. Die Düse 23 schließt eine Öffnung 24 von vorgewähltem Durchmesser ein.

Die gegenüberliegende Seite der Zwischenwand 17 ist mit einer Ausnehmung versehen, die mit der Düse 23 fluchtet, so daß eine zweite Kupplungskammer 25 gebildet wird, die nach den Fig. 1 bis 5 mit den Ausgangsöffnungen 4 und 5 verbunden ist, und weist einen konzentrischen konischen Abschnitt 26 auf, der die Versorgungseinrichtung für die Düsenöffnung 24 bildet. Die Kammer 25 wird durch eine Außenwand geschlossen, die die Ausgangsöffnungen 4 und 5 aufweist, welche mit der Kammer 25 in Verbindung stehen. Die Wand 27 weist außerdem eine herabhängende Düse 28 auf, die mit der Düse 23 fluchtet und nach unten in die konische Ausnehmung 26 hinein vorsteht. Die Düse 28 erstreckt sich durch die Wand 27 hindurch und schließt eine untere Öffnung 29 ein, die mit der Öffnung 24 fluchtet und einen geringeren Querschnitt hat als die Öffnung 24. Über der Wand 27 ist eine obere Schließwand 30 befestigt, die mit einem seitwärts verlaufenden Kanal 31 versehen ist, welcher eine Verbindung zwischen der Zufuhröffnung 2 und der Düse 28 herstellt und damit einen Strömungsmittel- oder Luftstrom 32 errichtet.

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Die Feder 15 weist einen mittleren Deckelabschnitt 33 auf, der durch Tier gleiche und mit gleichem Umfangsabstand angeordnete Arme 35 mit einem äußeren Ringabschnitt 34- verbunden ist. Der Deckel 33 wird als quadratischer Körper dargestellt. Jeder der Arme 35 bildet einen I-förmigen Körper, dessen eine Seite parallel zu und mit Abstand von einer entsprechenden Seite des Deckels 33 liegt. Das eine Ende Jedes Armes ist durch eine angeformte Verlängerung zwischen dem Deckel und dem Arm mit der Ecke des Deckels 33 verbunden, und das gegenüberliegende Ende des Armes ist in ähnlicher Weise an dem Ring 34 befestigt. Der zweite Armabschnitt jedes Armes ist jeweils von dem ersten Armabschnitt eines benachbarten Federarmes nach außen auf Abstand gehalten. Die Feder 15 ist somit eine flache tellerartige Feder, wobei die Arme 35 eine im wesentlichen planare Bewegung nach innen mit Bezug auf die Öffnung 24 gestattet, und zwar in Abhängigkeit von einem in der Kammer 19 vorhandenen Eingangsdrucksignal.

Beim Betrieb des Verstärkers nach den Fig. 1 bis 4 entsteht durch eine Versorgung der Öffnung 2 zunächst ein Fluß durch den Kanal 31, die Düsen 23 und 28, um einen Strom 32 in die Kammer 22 hinein zu ermöglichen. Die Lüftungsöffnungen 7 und 8 sind mit der Kammer 22 verbunden, führen den Stromdruck und ermöglichen den Stromfluß. Die Membran 10 ist in Stellung gebracht, wenn die Kräfte des Eingangsdrucksignals

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in der Kammer 19 und der Feder 15 gleich dem Druck des Stromes 32 in der Kammer 22 sind.

Wenn sich in der Eingangsöffnung ein Eingangssignal mit dem Wert 0 "befindet, dann nimmt die Feder 15 die flache, neutrale Lage ein, in der der Deckel 33 mit Abstand von der Kollektoröffnung 24 liegt. Die Quelle 3 stellt den Strom 32 her. Wie bereits erwähnt, ist die Öffnung 29 etwas kleiner als die Öffnung 24, und demzufolge fließt der Strahlstrom gleichmäßig durch die Kollektoröffnung 24 hindurch. Der freie Fluß des Stromes 32 führt zu einem Ansaugen von Strömungsmittel innerhalb der Ausgangskammer 25 und damit zur Erzeugung eines relativ negativen oder Vakuumdruckes innerhalb der Kammer 25» der durch die Ausgangsöffnungen und 5 auf die Ausgangseinrichtung 6 übertragen wird. Der Ausgangsbereich befindet sich unter einem Druck entsprechend einem gewählten Hullbezugswert oder einem unter diesem liegenden Wert.

Die Übertragung eines positiven Eingangssignals von der Steuersignalquelle 12 über die Öffnung 11 bildet in der Kammer 19 einen entsprechenden Eingangsdruck, Bei zunehmendem Eingangsdruck wird die Kraft der Feder 15 und insbesondere der Arme 35 überwunden, und die Membran 10 drückt die Feder und insbesondere den Deckel 33 von der Kammer 19 aus nach außen. Sow-ie sich der Deckel 33 der Kollektoröffnung nähert, setzt er dem freien Fluß des Strahlstromes 32 einen

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Widerstand entgegen und reduziert dadurch wirksam die Düsenöffnung und lenkt den Fluß des Stromes 32 in den Raum zwischen den Düsen 28 und 23 hinein ab, was zu einem Druck in der Kammer 25 und somit in den AusgangsÖffnungen 4 und 5 führt. Der Ausgangsdruck steigt von dem negativen Wert auf einen positiven Wert und ist im wesentlichen proportional dem Eingangsdruck, bis der Deckel 33 gegen die Unterseite der Öffnung 24 aufsitzt. Diese letztgenannte . Bedingung schließt wirksam die Kollektoröffnung 24 und errichtet dadurch einen maximalen Ausgangsdruck in der Kammer 25.

Der Membranverstärker 1 bildet bei der hohen Eingangsimpedanz eine hohe Verstärkungskennlinie, und zwar als eine Folge der Abspannung (dead-ending) des Eingangssignals bei Einführung in eine geschlossene Kammer 19. Die doppelte Düsenkonstruktion ermöglicht die Schaffung eines relativ negativen Druckes und gestattet damit den Betrieb des Verstärkers zwischen einem positiven und einem negativen Druck- und Flußbereich mit einem proportionalen Ausgangssignal.

Die in Fig. 6 gezeigte Konstruktion stellt einen Übertrager dar, der abgewandelt wurde, um die Öffnungen so umzuordnen, daß die Verbindungen der Vorrichtung klar in einer einzigen Zeichnung dargestellt werden können; es liegt auf der Hand, daß die Vorrichtung entsprechend der vorhergehenden Aus-

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ftihrungsform ähnlich angeschlossen werden kann, um als Übertrager au arbeiten.

. 6 zeigt eine ausgenommene Basis 36 mit einer Membran und einer Feder 38, die in der Ausnehmung in derselben Weise gelagert sind, wie es in der vorhergehenden Ausführungsform dargestellt ist. Eine Eingangsöffnung 39 ist in ähnlicher Weise mit einer Eingangskammer 40 verbunden, die durch die Membran 37 begrenzt wird. In die ausgenommene Basis 36 wird eine Abschlußwand 41 in Form eines umgekehrten Bechers

an teleskopartig eingesetzt und stößt gegen die Feder 38/, um eine strömungsmitteldichte Abdichtung an dem Umfang der Membran 37 und der Feder 38 zu bilden. Innerhalb der becherförmigen Wand 41 ist zweckmäßigerweise eine Zwischenwand strömungsmitteldicht befestigt, deren Unterseite zur Bildung einer Kupplungskammer 43 mit Abstand nach außen von der Feder 38 angeordnet ist, ähnlich wie die Kammer 22 der vorhergehenden Ausführungsform. Die Wand 42 schließt eine Yerbinderdüse 44 ein, die konzentrisch mit Bezug auf die Membran 37 und die Feder 38 angeordnet ist. Die Rückseite der Wand 42 ist zur Bildung einer Kammer 45 ausgenommen, die die Düse 44 überlagert und sich seitlich von ihr erstreckt. Die Abschlußwand 41 schließt eine Düse 46 ein, die mit der Düse 44 fluchtet, um zwei mit Abstand übereinander angeordnete Düsen zu bilden, deren Zwischenraum durch die Kammer 45

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geschlossen wird. An die Düse 46 ist eine Öffnung 47 und an die Kammer 45 eine Öffnung 48 angeschlossen. Bei Verwendung der Yorrichtung als Übertrager sind die Öffnungen 47 und 48 an einen Bezugswert oder an eine Lüftung angeschlossen anstatt an eine Druckquelle, und an die Kammer ist eine Hauptenergieströmungsöffnung 49 angeschlossen. Die Öffnung 49 steht mit einer Druckquelle 50 in Verbindung, und zwar über eine Druckabfall- oder Kupplungsdrossel 51. Mit der Kammer 43 ist außerdem eine Ausgangsöffnung 52 direkt verbunden und hat auch Verbindung zu einer ersten Ausgangseinrichtung 53. Mit der Abströmseite der Drossel ist eine zweite Ausgangseinrichtung 54 verbunden. Die beiden Lüftungsöffnungen 7 und 8 (IUg. 1 bis 5) werden jetzt zu der Versorgungsöffnung 49 und einer Ausgangsöffnung 52, und die Versorgungsöffnung 2 sowie die Ausgangsöffnungen 4 und dieser ersten Ausführungsform (Fig. 1 bis 4) werden an die Atmosphäre oder einen Bezugswert angeschlossen.

In Pig. 6 bringt ein Eingangssignal von 0 an der Öffnung die Membran 37 und die Feder 38 in die neutrale Lage, wodurch ein verhältnismäßig freies Lüften der Kammer 43 zur Kammer 45 und damit zur Öffnung 48 und ebenso durch die Düse 46 zur Öffnung 47 ermöglicht wird. Die Kammer 43 nimmt somit den Bezugsdruck an und schafft an den Öffnungen 49 und 52 einen entsprechenden Mindestausgangsdruck.

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Sowie über die Öffnung 39 ein Eingangssignal übertragen wird, veranlaßt der Druck in der Kammer die Membran 37 und die Feder 38, sich in Richtung auf die Süse 44 nach außen durchzubiegen. Dieses wiederum vermindert die Lüftung durch die Düse 44 und hat die Neigung, den Druck in der Kammer 43 zu erhöhen. Die Druckerhöhung in der Kammer 43 baut sich jedoch auf und hat die Neigung, dem Eingangsdruck in der Kammer Widerstand entgegenzusetzen und eine Gleichgewichtslage nur dann zu erreichen, wenn die Drücke gleich sind. Der Druck in der Kammer 43 und derjenige, der in den Öffnungen 49 und 52 auftritt, entspricht dem Druck, der in der Eingangsöffnung 39 auftritt, und der Ausgangsdruck ist somit gleich dem Eingangsdruck. Diese Gleichgewichtsbedingung wird für alle Drücke innerhalb des Leistungsbereiches der Anlage aufrechterhalten. Wenn somit der Eingangsdruck an der Öffnung 39 jemals über den maximal verfügbaren Druck an der Drossel 51 hinaus ansteigen sollte, dann erfaßt die .Feder 38 die Düse 44» und der Ausgangsdruck wird dann gleich dem maximal verfügbaren Druck sein. Er kann natürlich nicht über einen solchen Druck hinaus ansteigen, selbst wenn das Eingangsdrucksignal weiter ansteigen sollte.

Die Vorrichtung arbeitet somit als ein Übertrager, bei dem der Ausgangsdruck gleich dem Signaleingangsdruck ist, solange der Eingangsdruck nicht über den maximal verftgraren Druck

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hinaus ansteigt, der auf der Äbströmseite der Drossel 51 vorhanden ist.

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Claims

- 14 Patentansprüche

QJ Strömungsmittelmembranmodulator mit einer Membrankammerwand gemeinsam für eine erste Kupplungskammer und eine Signalkammer, sowie einer Eingangssignalöffnung, die an die Signalkammer angeschlossen ist und die Membranwand wahlweise von einer Öffnung in der Kupplungskammer auf Abstand hält, wobei diese Öffnung der Membranwand gegenüberliegt und mit ihr fluchtet, um den Druck von einer VersorgungsÖffnung zu einer Ausgangsöffnung zu variieren, dadurch gekennzeichnet, daß das Ausgangsströmungssignal gemäß der Stellung der Wand (10) erzeugt wird und eine zweite Kupplungskammer (25) die erste Öffnung (2) überlagert und eine zweite Öffnung aufweist, die mit Abstand von der ersten Öffnung und mit ihr fluchtend außerhalb der ersten Kupplungskammer (22) angeordnet ist, wobei diese Versorgungsöffnung (2) mit den Kupplungskammern und der zweiten Öffnung verbunden ist, und wobei der Druck in einer der Kupplungskammern (22, 25) dem Abstand der Membranwand von der ersten Öffnung entspricht, und wobei die Ausgangsöffnung mit dieser einen der Kupplungskammern verbunden ist.
2. Strömungsmittelmembranmodulator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Öffnung (2) und die zweite Öffnung im wesentlichen koaxial sind und die erste Öffnung

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größer ist als die zweite Öffnung.
3. Strömungsmittelmembranmodulator nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Versorgungsöffnung (2) mit der zweiten Öffnung verbunden ist und an die erste Kupplungskammer (22) ein Strömungsmittelbezugswert angeschlossen ist, und daß die Ausgangsöffnung mit der zweiten Kupplungskammer (25) verbunden ist, um in Abhängigkeit von dem Eingangssignal ein Ausgangssignal an der zweiten Kupplungskammer vorzusehen, das sich vom Ansaugdruck zum Druck an der Versorgungsöffnung (2) ändert.
4. Strömungsmittelmembranmodulator nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch eine VersorgungsÖffnung, die in Reihenschaltung mit einer Druckabfalldrossel (51) an eine unter Druck stehende Quelle und die erste Kupplungskammer (22) angeschlossen ist, eine Strömungsmittelbezugswertöffnung, die mit der ersten Öffnung und der zweiten Kupplungskammer (25) verbunden ist, während die AusgangsÖffnung an die erste Kupplungskaier angeschlossen ist.
5. Strömungsmittelmembranmodulator nach jedem der Ansprüche

1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Membranwand (10) eine flache Membran ist, welche auf ihrem Umfang innerhalb

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der Kammer gegenüber der ersten Öffnung (2) befestigt ist, wobei eine flache Feder (15) die Membran (10) innerhalb der Kammer überlagert und an dem Umfang befestigt und mit einem Mittelabschnitt linear relativ zur Ebene der Meiibran beweglich ist, wobei die Signalkammer gleichmäßig auf die Rückseite der Membran einen Druck ausübt, um die Federeinrichtung (15) wahlweise in Richtung auf die Öffnung zu zu bewegen.
6. Strömungsmittelmembranmodulator nach Anspruch 5₅ dadurch gekennzeichnet, daß die flache Feder (15) einen äußeren Ringabschnitt (34) einschließt, sowie einen mittleren Deckelabschnitt (33), der mit der ersten Öffnung fluchtet, ferner eine Vielzahl von mit gleichen Umfangsabständen angeordneten Armen (35)» die zwischen dem Ringabschnitt (34) und dem Deckelabschnitt (33) verbunden sind und eine lineare flache Bewegung des Deckelabschnittes (33) zulassen.
7. Strömungsmittelmembranmodulator nach Anspruch 6,

dadurch gekennzeichnet, daß jeder der Arme (35) sich radial und auf dem Umfang des Deckels erstreckt und eine lineare flache Bewegung des Deckelabschnittes zuläßt.
8. Strömungsmittelmembranmodulator nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß vier mit Umfangsabstand ange-

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ordnete Arme (35) vorhanden sind, von denen jeder im wesentlichen L-förmig ist und mit einem Ende an dem Deckelabschnitt (33) und mit dem gegenüberliegenden Ende an dem Ringabschnitt (34) befestigt ist.
9. Strömungsmittelmembranmodulator nach jedem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Kupplungs- und Signalkammern (22, 25; 19) übereinander ausgebildet sind und eine gemeinsame Wand zwischen sich aufweisen, wobei die erste Öffnung in der gemeinsamen Wand gebildet ist und die zweite Öffnung in einer Wand der zweiten Kupplungskammer gegenüber der gemeinsamen Wand gebildet ist.
10. Strömungsmittelmembranmodulator nach Anspruch 9» dadurch gekennzeichnet, daß eine Vielzahl parallel voneinander auf Abstand gehaltener planarer Wände diese Kammern bildet, wobei zwischen den Kupplungskammern eine gemeinsame Wand vorhanden ist und die erste Öffnung eine versetzte Düse in der gemeinsamen Wand ist, die in die erste Kupplungskammer hinein in Richtung auf die Membranwand zu vorsteht, und die zweite Öffnung eine ähnliche versetzte Düse in der Wand der zweiten Kupplungskammer gegenüber der gemeinsamen Wand ist.

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