DE2127676C3 - Einrichtung zur zerstörungsfreien Messung der Schichtdicke einer von einer Veränderung der Oberflächenstruktur betroffenen Schicht eines Körpers - Google Patents

Einrichtung zur zerstörungsfreien Messung der Schichtdicke einer von einer Veränderung der Oberflächenstruktur betroffenen Schicht eines Körpers

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DE2127676C3
DE2127676C3 DE2127676A DE2127676A DE2127676C3 DE 2127676 C3 DE2127676 C3 DE 2127676C3 DE 2127676 A DE2127676 A DE 2127676A DE 2127676 A DE2127676 A DE 2127676A DE 2127676 C3 DE2127676 C3 DE 2127676C3
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Alain Crell Lambert
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  • Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur zerstörungsfreien Messung der Schichtdicke einer von einer Veränderung der Oberflächenstruktur betroffenen Schicht eines Körpers, insbesondere zur Messung der Eindringtiefe einer thermischen und/oder thermochemischen Behandlung, mit einem halbzylindrischeu. mit der nichtzylindrischen Fläche auf den zu untersuchenden Körper auflegbaren Block, mit einem Ultraschallsender und einem Ultraschallempfänger, deren Achsen in einer gemeinsamen zur Zylinderachse des Blocks senkrechten Ebene liegen und die sich über symmetrisch angeordnete Schiebeklötze an der Zylinderfläche des Blockes abstützen, und mit einer Vorrichtung zur Verschiebung der Schiebeklötze und zur Messung des von dem Ultraschallsender und -empfänger eingeschlossenen Winkels.
Im Vordergrund steht die bevorzugte, jedoch nicht
3 ■ 4
lusschließliche Anwendung einer solchen Einrich- Lage relativ zu dem Träger ein Maß für den von dem
ung bei der Messung der Eindringtiefe einer thermi- Ultraschallsender und -empfänger eingeschlossenen
chen und/oder thermochemischen Behandlung, der Winkel bildet.
:in Werkstück unterzogen worden ist. Diese Konstruktion enthält eine sehr kleine An-
Die Wirkungsweise der eingangs erläuterten Ein- 5 zahl beweglicher Teile und läßt sich praktisch ohne
ichtung beruht auf einem Verfahren, das darin be- jegliches Spiel mittels einfacher Bauelemente herstel-
»teht, ein Ultraschall-Wellenbündel vcn geeigneter len. Hinzu kommt, daß bei den bekannten Einrich-
Oriantierucg auszusenden, um an dem zu untersu- tungen nur eine Messung aut planen Probenoberfla-
chenden Werkstoff Oberflächenwellen zu erzeugen. chen möglich ist, die zudem vollkommen glatt sein
Das von der untersuchten Probenoberfläche refiek- io und in den meisten Fällen auch eine relativ große
tierte Wellenbündel wird erfaßt und gemessen. Die- Ausdehnung haben müssen. Mit solchen Einrichtun-
ses Verfahren erlaubt die Bestimmung der Fortpflan- gen begegnet man jedoch dann Schwierigkeiten,
Zungsgeschwindigkeit von Rayleigh-We.llen auf der wenn Untersuchungen sehr kleiner oder rauher
Oberfläche eines festen Körpers durch Messung des Oberflächen durchgeführt werden müssen, oder auch
Einfallwinkels des Ultraschall-Wellenbündels, durch 15 bei der Untersuchung von nicht planen Flächen, z. B.
das diese Oberflächenwellen hervorgerufen werden. von teilzylindrischen oder teilkugeligen Körpern.
Die entsprechende Theorie ist insbesondere durch Diese Nachteile werden durch weitere Ausgestaltun-
die Arbeiten von G.Bradfield entwickelt wor- gen der erfindungsgemäßen Einrichtung, wie nach-
den, auf den sowie dessen Aufsatz »The ultrasonic folgend noch erläutert wird, vermieden,
goniometer and its applications«, erschienen in der ao Weitere Vorteile und Merkmale der Erfindung er-
Februarnummer 1968 der Zeitschrift >>Non destruc- geben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines
tive testing«, hingewiesen sei. Von Interesse in die- bevorzugten Ausführungsbeispiels. Es zeigt
sem Zusammenhang sind auch die britischen Patent- F i g. 1 eine perspektivische Darstellung einer er-
schriften 959 029 und 772 083. findungsgemäßen Einrichtung,
Im vorliegenden Fall wird im Prinzip die Tat- as F i g. 2 einen teilweisen Längsschnitt, aus dem die
sache ausgewertet, daß die Fortpflanzungsgeschwin- Anordnung der Schiebeklötze hervorgeht,
digkeit dieser Oberflächenwellen durch die Gegen- F i g. 3 eine perspektivische Sprengdarstellung des
wart einer beispielsweise auf Stahl durch eine War- in F i g. 2 dargestellten Teiles,
mebehandlung erzielten Schicht beeinflußt wird, und F i g. 4 einen Mittelschnitt durch den oberen Teil
insbesondere die Tatsache, daß die Geschwindig- 30 der erfindungsgemäßen Einrichtung,
keitsänderung von der Schichtdicke abhängt. F i g. 5 einen Querschnitt durch den' unteren Teil
Ein Generator liefert die entsprechenden t.'ektri- der erfindungsgemäßen Einrichtung,
sehen Signale, die zur Speisung des Ultraschallsen- F i g. 6 eine gegenüber der Ausführungsform ge-
ders notwendig sind. maß F i g. 5 modifizierte Ausführungsform,
Die Ultraschallwellen können entweder in Form 35 Fig.7 einen Schnitt längs der Linie VII-VII in
kurzzeitiger Impulse oder in Form von hinsichtlich F i g. 6,
ihrer Länge regelbaren Wellenzugen ausgestrahlt Fig.8 eine weitere, gegenüber der Ausführungswerden. In beiden Fällen können unterschiedliche form gemäß F i g. 5 modifzierte Ausführung,
Frequenzen verwendet werden. F i g. 9 einen Schnitt längs der Linie IX-IX in
Die bekannte Meßanordnung erlaubt die Beobach- 40 F i g. 8 und
tung und die Analyse von Signalen, die durch den F i g. 10 eine weitere Modifikation des in F i g. 5 Ultraschallempfänger aufgenommen werden. Diese dargestellten Teiles einer erfindungsgemäßen EinMeßanordnung besteht in der Hauptsache aus einem richtung.
Oszilloskop, dem gegebenenfalls ein Registriergerät Die im ganzen in F i g. 1 dargestellte Einrichtung zugeordnet ist. Die bekannten Einrichtungen dieser 45 ist zur zerstörungsfreien Messung der Schichtdicke Art umfassen eine Anzahl von Schiebe- und Gelenk- einer von einer Veränderung seiner Oberflächenwellen, die mit Zahnrädern zusammenwirken und struktur betroffenen Schicht eines Körpers 1 beeine mechanische Verbindung der beiden Ultra- stimmt. Insbesondere ist die Messung der Eindringschallwandler herstellen, um deren symmetrische tiefe einer thermischen und/oder thermochemischen Verschiebung zu gewährleisten. Diese Art des An- 50 Behandlung beabsichtigt, der der Körperl unterzotriebes macht die Meßanordnung relativ kompliziert gen wot den ist.
und enthält möglicherweise Spiele, deren sichere Die Einrichtung besteht im wesentlichen aus einem
Verhinderung oder Beseitigung kompliziert und teuer halbzylindrischen Block 2, der mit seiner nichtzylin-
ist. drischen Fläche auf die zu untersuchende Werkstoff-
Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, 55 probe 1 aufgelegt werden kann und soll. Weiterhin diese Nachteile zu beheben und eine Einrichtung der umfaßt die Einrichtung einen Ultraschallsender 3 soeingangs geschilderten Art vorzuschlagen, die erheb- wie einen Ultraschallempfänger 4, deren Achsen in lieh einfacher und robuster ist und bei sicherer und einer gemeinsamen Ebene senkrecht zur Achse des genauer Betriebsweise eine einfachere Handhabung halbzylindrischen Blockes 2 liegen. Die beiden Ultraerlaubt. 60 schallwandler 3 und 4 werden jeweils von zwei
Dies wird erfindungsgemäß dadurch erreicht, daß Schiebeklötzen S und 6 gehalten, die sich symme-
auf der Mittelfläche des Blockes ein Träger befestigt trisch auf der zylindrischen Oberfläche des Blockes 2
ist, an dem ein bewegliches Verschiebeelement zur abstützen.
Verschiebung der beiden Schiebeklötze angeordnet In dem dargestellten Ausführungsbeispiel besteht
ist, das mit den Schiebeklötzen durch ein Hebelsy- 65 der halbzylindrische Block 2 aus einem Kunststoff -
stem verbunden ist, und daß an dem Träger weiter- material, vorzugsweise aus Methylmethacrylat. Er
hin ein mit dem Verschiebeelement verbundenes Ein- weist eine in Längsmitte angeordnete Ringnut 11 auf
stellorgan angeordnet ist, dessen genau meßbare (F i g. 2 und 5), in die entsprechend gestaltete Vor-
Sprünge 12 und 13 eingreifen, die jeweils zu Schiebe- Die Hülse 48 wird durch eine Schraubendruckfe-
klölzen5 und 6 gehören. Die Schiebeklötze 5 und 6 der 62 von der Schiene 42 weggedrückt. Die Schrau-
liegen mit ihren konkaven teilzylindrischen Flächen benfcder 62 ist auf den Trägerschaft 45 aufgefädelt
14, 15 auf der konvexen Zylinderfläche des Blök- und stützt sich mil ihrem einen Ende an der Schiene
kes2 auf. Die Vorsprünge 12 und 13 der beiden 5 42 und mit ihrem anderen Ende an der zugeordneten
Schiebeklötze 5 und 6 gewährleisten deren unverän- Stirnseite der Hülse 48 ab.
derte axiale Lage. In radialer Richtung werden die Die Hülse 48 kann in Richtung auf die Schiene 42 Schiebeklötze 5 und 6 gegen den Block 2 durch ein entgegen der Kraft der Feder 62 mittels eines EinSystem gehalten, das— beispielsweise für den Schie- stellorgans verschoben werden (Fig. 1 und4). Im beklotz5 — aus zwei länglichen Backen 17, 18 be- ίο dargestellten Ausführungsbeispiel besteht dieses Einsteht, die sich in radialer Richtung erstrecken und an stellorgan aus einer Mikrometerstützschraube 64, die den Stirnenden des Schiebeklotzes 5 beispielsweise in eine entsprechende Gewindebohrung 65 in einem mittels Schrauben 19 befestigt sind. Die Schiebe- Ring 66 eingeschraubt ist, der am oberen Ende des kliitze 5, 6 haben dieselbe Länge wie der halbzylin- Trägerschaftes 45 mittels Schrauben 67 befestigt ist. drische Block 2, so daß die Backen 17,18 gleichzeitig 15 Das im Durchmesser kleinere Ende 71 der Mikroan den Stirnenden des Blockes 2 zur Anlage korn- meU-rschraube 64 sützt sich an einer Traverse 72 ab. men. An der Innenfläche jeder der beiden Backen die in einem diametralen Schlitz 73 im oberen Be-17, 18 ist, beispielsweise mittels Schrauben 21, ein reich des Trägerschafles 45 verschiebtich ist und mit-Gleitstein 23 (F i g. 3) befestigt, der in dem darge- tels Schrauben 74 an den beiden Enden einer diamestellten Ausführungsbeispiel die Form eines Ringseg- 20 tralen Nut 75 des Bundes 49 der Hülse 48 befestigi mentes aufweist und der in einer entsprechenden ist. Die Richtung der diametralen Nut 75 liegt senk-Ringnut 24 in der zugeordneten Stirnseite des Blök- recht zu der Mittelebene, die die beiden Ausnehmunkes 2 gleitet. gen 52, 53 zur Anlenkung der Hebel 56, 57 enthält.
Auf analoge Weise ist der andere Schiebeklotz 6 in Die Winkellage der Mikrometereinstellschraube 64 radialer Richtung durch ein Hebelsystem gehalten, as läßt sich genauestens überwachen, und zwar beidas zwei sich radial erstreckende Backen 27, 28 um- spielsweise mittels eines Systemes, das einen ruhenfaßt. An der Innenseite beispielsweise der Backe 27 den, auf der Oberseite des Ringes 66 befestigten Zeiist em Gleitstein 31 befestigt, der in der gleichen ger 78 «Fig. 1) und eine ringförmige Maßstabsskala Ringnut 24 des Blockes 2 gleitet, in der sich auch 79 an der Mikrometeirschraube 64 umfaßt, der Gleitstein 23 des Schiebeklotzes 5 befindet. Um 30 Der Ultraschallsender 3 ist mit einem Generator eine gegenseitige Behinderung der beiden Gleilsteine 81 verbunden, während der Empfänger 4 mit einer 23 und 31 bei deren Verschiebung in der Ringnut 24 Meßanordnung in Verbindung steht, die beispielszu vermeiden, weisen diese Ausnehmungen 32, 33 weise ein Oszilloskop 82 und gegebenenfalls ein Revon halber Dicke der Gleitsteine auf, so daß die vcr- gistriergerät umfaßt.
bleibenden Teile der beiden Gleitsteine einander 35 Um die Schichtdickenmessung der betrachteten
übergreifen können. Dabei befindet sich der zum Oberflächenschicht der Werkstoffprobe 1 durchzn-
Gleitstein 23 gehörige Teil auf dem Grund der Ring- führen, wird die nichtzylindrischc Räche des BIoV.
nut 24, während der zum Gleitstein 31 gehörige Teil kes 2 auf die Probe Ϊ aufgesetzt und der Winkel er-
vornc liegt. miUeit. bei dem Oberflächenwellen auf dieser Schicht
Die UUraschallwandler, beispielsweise der Ultra- 4° ausgelöst werden Dies erfolgt dadurch, daß im einen
schallsender 21, sind beispielsweise durch Verschrau- oder anderen Sinn die Mikrometersdiraube 64 ver-
bung in einer Gewindebohrung 36 (Fig. 2 und 5) im dreht wird, wodurch eine Verschiebung der Hülse 48
zugehörigen Schiebeklotz 5 befestigt. Die Schiebe- auf dem Trägerschaft 45 in einem entsprechenden
klotze 5 undiS, die Backen 17, 18 und 27, 28 sowie Sinn bewirkt wird. Gleichzeitig wird dadurch über
die kreisbogenförmigen Glcitsteine 23, 31 bestehen 45 das Hebelsystem 56, 57, die Stangen 58, 59 und die
vorzugsweise aus Metali. Backen 17, 18 bzw. 27, 28 eine symmetrische Ver-
Auf einer Mittelfläche 41 ^ vgl. Fig.2) des halbzy- Schiebung der Schiebeklötze5,6 und damit der Ullindrischen Blockes 2 ist eine Längsschiene 42 bei- traschallwandler 3,4 hervorgerufen. Die Winkellage spielsweise mittels Schrauben 43 (Fig. 1) befestigt. der Mikrometerschraube 64 kann auf deren Skala 79 In Längsmitte der Schiene 42 ist ein zylindrischer 50 festgehalten werden, die beispielsweise direkt in Win-Trägerschaft 45 (F i g. 4) mittels zweier Schrauben 46 kelgraden des Einfallswinkels entsprechend der befestigt, die auf dem gleichen Schaftdurchmesser Achse des Ultraschallsenders 3 relativ zur planen liegen, so daß der Schaft sich nicht um seine Achse Fläche des Blockes 2 geeicht sein kann. Dieser Windrehen kann. An dem Trägerschaft 45 ist spielfrei kelwert entspricht der Hälfte des Winkels, den die ein Verschiebeelement für die Schiebeklötze 5,6 an- 55 beiden Ultraschallwandler zwischen sich einschliegeordnet und eingestellt, das in dem dargestellten Ben.
Ausfühningsbeispiel aus einer Hülse 48 mit einem Um die Messung unter den günstigsten Bedingun-Bund 49 besteht. In dem Bund 49 sind diametral ge- gen auszuführen, wird eine Ölhaut zwischen die genüberliegende Ausnehmungen 52, 53 eingearbeitet, Schiebeklötze 5,6 und die Zylinderfläche des Blokdie von Schrauben 54, 55 durchsetzt werden. Diese 60 kes 2 eingebracht. Gleichfalls wird öl oder ein ande-Schrauben dienen als Gelenkachsen für die oberen res Schmiermittel in die Gewindebohrungen der Enden zweier Hebel 56, 57, deren untere Enden an Schiebeklötze eingefüllt, wenn die beiden Ultrazwei Stangen 58, 59 angelenkt sind (F ϊ g. 1). schallwandler darin befestigt werden.
Die Stange 58 verbindet die oberen Enden der bei- Um das Schichldickenmeßgerät auch zur Untcrsu-
den Backen 17,18, die an dem Schiebeklotz 5 festlie- 65 chung sehr kleiner Oberflächen einsetzen zn können,
gen, während die Stange 59 die beiden entsprechen- behält man lediglich den zentralen Berei'"'* ;- Form
den Enden der Backen 27, 28 verbindet, die den an- eines Ambosses an der planen Fläche de- . ...üTylin-
deren Schiebeklotz 6 halten. drischen Blockes 2 bei und entfernt allen Werkstoff,
der sich um diesen zentralen Bereich 85 herum befindet, wie dies bei 86 in den Fig. 6 und 7 angedeutet ist. Dort ist, in modifizierter Ausführung, die aktive Oberfläche des Meßgerätes nicht plan, sondern weist eine Zylinderfläche 85 auf, die koaxial mit der Zylinderflüche des Blockes 2 und tangential zu dessen Durchmesserebene P liegt.
In einer anderen Ausführungsform, die in den F i g. 8 und 9 dargestellt ist, ist die aktive Oberfläche des Meßgerätes ein Teil einer Kugelfläche 88, die ebenfalls tangential zur Durchmesserebene P des Blockes 2 liegt.
Zur Untersuchung von Oberflächen, die nicht vollkommen poliert und glatt sind, und sogar für solche. die mehr oder weniger rauh sind, ist gemäß einer weiteren modifizierten Ausführungsform gemäß Fi g. 5 der zentrale aktive Teil der nichtzylindrischen Fläche des Blockes 2 mit einer ringförmigen Rippe 91 versehen, an deren Rand eine weiche Membran 92 befestigt ist. Die Membran 92 hält eine Flüssigkeit /.uiiick, die eine von der ringförmigen Rippe 91 und der Membran 92 gebildete Kammer völlig ausfüllt. In diesem Fall liegt der Boden der Kammer 93 vorzugsweise in der Durchmesserebene P des halbzylindrischen Blockes 2, und die ringförmige Rippe 91 springt über diese Ebene vor. Damit kann auf sehr einfache Weise die Oberfläche der Werkstoffprobe 1 untersucht werden. In dem Ausfühii:ngsbeispiel gemäß Fig. 5 sind zwei vertikale Bohrungen 93 und 97 gezeigt, die in den Block 2- eingearbeitet sind und im Boden der Kammer 93 münden. Diese Bohrungen umschließen ebenfalls Flüssigkeit, speisen somit die Kammer 93 damit und sorgen dafür, daß diese stets voll imit Flüssigkeit ist.
In der in Fig. 10 uargestellten Ausführungsform ist der halbzyiindrische Block 2 so ausgebildet, daß er mit seiner nichtzylindrischen Fläche auf die zu untersuchende Werkstoffprobe 1 beispielsweise über eine Flüssigkeit in einei Kammer 93 aufgesetzt werden kann, die durch eine weiche Membran 92 eingeschlossen wird. Die Ul traschall wandler 3 und 4. deren Achsen beide in einer gemeinsamen, zur Achse des halbzylindrischen Blockes 2 senkrechten Ebene liegen, werden jeweils von den beiden Schiebeklötzen 5 und 6 gehalten, die sich mit einer Fläche auf der Zylinderfläche des Blockes 2 abstützen. Die aktiven Enden der beiden Wandler 3 und 4 durchsetzen die ganze Dicke dieser Schiebeklötze und stehen ebenfalls mit der Zylinderflächc des Blockes 2 in Kontakt.
Die Wirkungsweise dieser Ausführungsform ist die
ίο gleiche, wie sie vorstehend schon erläutert worden ist. Um gute Meßbedingungen herzustellen, wird eine ölschicht zwischen d<e aktiven Enden der beiden Ultraschallwandler und die zylindrische Oberfläche des Blockes 2 eingebracht, an der die beiden Ultraschallwandler gleiten.
In einer vorteilhaften Ausführungsform stellen die beiden Schiebeklötze 5 und 6 jeweils einen In'egrierenden Teil der beiden Wandler 3 und 4 dar, die sie tragen.
Auf Grund dieser besonderen Ausgestaltung wird die Meßgen --cigkeit verbessert, da längs der Wellenbahn der Übergang unterdrückt wird, der von der jeweiligen Dicke der Schiebeklötze zwischen dem Block und den Wandlern gebildet wurde.
Die Erfindung ist .acht auf die dargestellten Ausführungsbeispiele beschränkt. An diesen können beispielsweise noch folgende Abänderungen getroffen werden:
Der aktive zentrale Teil der Analysenfläche des Meßgerätes kann jede andere Gestaltung erhalten, als sie dargestellt ist, nämlich jeweils angepaßt an die Form oder Ausbildung des zu untersuchenden Werkstückes selbst.
Das Hebelsystem zur Steuerung der Verschiebung der Schiebeklötze kann jede andere geeignete Gestaltung aufweisen.
Z,ur Positionierung der Schiebeklötze in Längsrichtung und in radialer Richtung des Blockes und zur Erzeugung der Verschiehbarkeit des Verschiebeorgans auf dem Trägerschafi sowie zur Erzielung der Funktion des Stellorgans können srtdcre Mittel als die dargestellten eingesetzt werden.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (14)

Patentansprüche:
1. Einrichtung zur zerstörungsfreien Messung der Schichtdicke einer von einer Veränderung der Oberflächenstruktur betroffenen Schicht eines Körpers, insbesondere zur Messung der Eindringtiefe einer thermischen und/oder thermochemischen Behandlung, mit einem halbzylindrischen, mit der nichtzylindrischen Fläche auf den zu untersuchenden Körper aufiegbaren Block: mit einem Ultraschallsender und einem Ultraschallempfänger, deren Achsen in einer gemeinsamen zur Zylinderachse des Blocks senkrechten Ebene liegen und die sich über symmetrisch angeordnete Schiebeklötze an der Zylinderfläche des Blockes abstützen, und mit einer Vorrichtung zur Verschiebung der Schiebeklötze und zur Messung des von dem Ultraschallsender und -empfänger eingeschlossenen Winkels, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Mittelfläche (41) des Blockes (2) ein Träger (42, 45) befestigt ist, an dem ein bewegliches Verschiebeelement (48) zur Verschiebung der beiden Schiebeklötze (S, 6) angeordnet ist, das mit den Schiebeklötzen (5, 6) as durch ein Hebelsystem (56, 57) verbunden ist, und daß an dem Träger (45) weiterhin ein mit dem Verschiebeelement (48) verbundenes Einstellorgan (64) angeordnet ist, dessen genau meßbare Lage relativ zu dem Träger (45) ein Maß für den von dem Ultraschallsender (3) und -empfänger (4) eingeschlossenen Winkel bildet.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (42, 45) ein radial an dem halbzylindrischen Block (2) befestigter Schaft (45) ist, auf dem als Verschiebeelement eine Hülse (48) verschiebbar befestigt ist, die mit den beiden Ultraschallwandlern (3, 4) jeweils über einen Lenkerhebel (56, 57) verbunden ist.
3. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Schiebeklotz (5, 6) einen Vorsprung (12, 13) aufweist, der in eine Ringnut (11) von entsprechendem Querschnitt in der Zylinderfläche des Blockes (2) eingreift und dadurch die axiale Lage der Schiebeklötze (5, 6) festlegt.
4. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schiebeklötze (5, 6) dieselbe Länge wie der halbzylindrische Block (2) aufweisen und in jeder der beiden Stirnseiten des Blockes (2) eine koaxiale Ringnut (24) vorgesehen ist, in welche zwei mit jeweils einer Backe (17, 18 bzw. 27, 28) verbundene Gleitsteine (23, 31) eingreifen, während die Backen (17, 18 bzw. 27, 28) mit dem jeweils zugeordneten Schiebeklotz (5 bzw. 6) fest verbunden sind und die Winkellage der Schiebeklötze (5, 6) festlegen.
5. Einrichtung nach den Ansprüchen 2 und 4, dadurch gekennzeichnet, daß jeder der beiden Lenkerhebel (56, 57) mit dem einen Ende an der verschieblichen Hülse (48) und mit dem anderen Ende an einer Stange (58 bzw. 59) angelenkt ist, die die radial verlängerten Enden der beiden Backen (17,18 bzw. 27, 28) verbindet.
6. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Einstellorgan (64) eine ko- »xial in den Trägerschaft (45) eingeschraubte Meßschraube ist, die in axialer Richtung mit finer Traverse (72) verbunden ist, welche an der verschieblichen Hülse (48) befestigt und in einem diametralen Schlitz (73) des Trägerschaftes (45) verschieblich ist
7. Einrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Hülse (48) durch eine Feder (62) von dem halbzylindrischen Block (2) weggedrückt wird, so daß sich die Meßschraube (64) mit ihrem Ende an der Traverse (72) abstützt,
8. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die nichtzylindrische Fläche (86) des Blockes (2) auf eine gewisse Tiefe mit Ausqahme des zentralen Bereiches (85) zurückgenommen ist und daß der zentrale Bereich (85) in der Durchmesserebene des Halbzylinders liegt und einen vorspringenden Amboß darstellt, der auf die zu untersuchende Werkstoffprobe (1) aufsetzbar ist.
9. Einrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Amboß (85) plan ist.
10. Einrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Amboß (85) eine Teilzylinderfläche aufweist.
11. Einrichtung nach Ansprache, dadurch gekennzeichnet, daß der Amboß (85) eine Teilkugelfläche aufweist.
12. Einrichtung nach Ansprach 1, dadurch gekennzeichnet, daß der zentrale Bereich (85) der nichtzylindrischen· Fläche des Blockes (2) eine Ringrippe (91) besitzt, aa deren Rand eine weiche Membran (92) befestigt ist, und daß die durch die Ringrippe (91) und die weiche Membran (92) gebildete Kammer (93) vollständig mit Flüssigkeit gefüllt ist.
13. Einrichtung nach Ansprach 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß das aktive Ende jedes der beiden Ultraschallwandler (3, 4) die ganze Dicke der sie tragenden Schiebeklötze (5, 6) durchsetzt und mit der Zylinderfläche des Blokkes (2) in Kontakt steht.
14. Einrichtung nach Ansprach 13, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Schiebeklotz (5, 6) ein integrierender Teil des von ihm getragenen Ultraschailwandlers (3, 4) ist.
DE2127676A 1970-06-03 1971-06-03 Einrichtung zur zerstörungsfreien Messung der Schichtdicke einer von einer Veränderung der Oberflächenstruktur betroffenen Schicht eines Körpers Expired DE2127676C3 (de)

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