DE202012002882U1 - Rotary vacuum pump - Google Patents

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Abstract

Vakuum-Drehschieberpumpe, mit einem einen Schöpfraum (12) aufweisenden Gehäuse (10), einem exzentrisch in dem Schöpfraum (12) angeordneten Rotor (14), mit dem Rotor (14) verschiebbar verbundenen Schiebern (18), einem mit dem Schöpfraum (12) und einer Ölkammer (32) verbundenen Ausstoßkanal (30), einer zwischen der Ölkammer (32) und dem Ausstoßkanal (30) angeordneten Ventileinrichtung (38), um ein Zurückströmen von Medium aus der Ölkammer (32) in den Schöpfraum (12) zu unterbinden und mindestens einem mit dem Ausstoßkanal (30) verbundenen Ausgleichskanal (50, 72), an dem im Wesentlichen Atmosphärendruck anliegt, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Ausgleichskanal (50, 72) in die Ventileinrichtung (38) integriert ist.Vacuum rotary vane pump, comprising a housing (10) having a pump chamber (12), a rotor (14) arranged eccentrically in the pump chamber (12), slides (18) displaceably connected to the rotor (14), one connected to the pump chamber (12 ) and an oil chamber (32) connected to the discharge channel (30), a between the oil chamber (32) and the discharge channel (30) arranged valve means (38) to a back flow of medium from the oil chamber (32) in the pump chamber (12) prevent and at least one connected to the discharge channel (30) balancing channel (50, 72), is applied to the substantially atmospheric pressure, characterized in that the at least one compensation channel (50, 72) in the valve means (38) is integrated.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vakuum-Drehschieberpumpe.The invention relates to a vacuum rotary vane pump.

Vakuum-Drehschieberpumpen weisen einen in einem Gehäuse angeordneten Schöpfraum auf. Innerhalb des Gehäuses ist ein Rotor exzentrisch angeordnet. Mit dem Rotor sind üblicherweise in Schieberschlitzen zwei oder mehr Schieber verbunden. Durch die Fliehkraft werden die Schieber während einer Drehung des Rotors gegen eine Innenwand des Schöpfraums gedrückt. Zur Erzeugung eines Vakuums ist eine Ansaugöffnung der Vakuum-Drehschieberpumpe mit dem zu vakuumierenden Raum verbunden. Auf Grund der Exzentrizität des Rotors und der sich verändernden Größe der zwischen den Schiebern ausgebildeten Kammern wird das Medium durch einen oder mehrere Ausstoßkanäle gefördert. Zur Schmierung und um eine gute Abdichtung der Schieber an der Innenwand des Schöpfraums zu gewährleisten, ist stets eine gewisse Menge an Öl zur Ausbildung eines Ölfilms im Schöpfraum vorhanden. Da das ausgestoßene Medium somit mit Öl vermischt ist, verläuft der mindestens eine Ausstoßkanal üblicherweise vom Schöpfraum in eine Ölkammer.Vacuum rotary vane pumps have a pump chamber arranged in a housing. Within the housing, a rotor is arranged eccentrically. Two or more sliders are usually connected to the rotor in slide slots. As a result of the centrifugal force, the slides are pressed against an inner wall of the pump chamber during a rotation of the rotor. To generate a vacuum, a suction opening of the vacuum rotary vane pump is connected to the space to be vacuumed. Due to the eccentricity of the rotor and the changing size of the chambers formed between the sliders, the medium is conveyed through one or more ejection channels. For lubrication and to ensure a good seal of the slide on the inner wall of the pump chamber, there is always a certain amount of oil to form an oil film in the pump chamber available. Since the ejected medium is thus mixed with oil, the at least one ejection channel usually runs from the suction chamber into an oil chamber.

Wird die Vakuum-Drehschieberpumpe beispielsweise durch einen Ausfall plötzlich angehalten, hat dies zur Folge, dass der Schöpfraum über die Schmiermittelzufuhr mit Öl voll läuft. Dies führt zu einem erhöhten Drehmoment sowie zu einer erhöhten Geräuschentwicklung beim nächsten Starten der Pumpe. Ferner können auf Grund des erhöhten Drehmoments die Schieber beschädigt werden. Desweiteren besteht das Risiko, dass Öl in den zu vakuumierenden Raum eintritt und dort zu Beschädigungen führt. Es ist daher erforderlich, dass der Schöpfraum der Vakuum-Drehschieberpumpe nach dem Anhalten auf Atmosphärendruck gebracht wird, um ein Einströmen des Schmiermittels zu vermeiden.If the vacuum rotary vane pump is stopped suddenly, for example due to a failure, this means that the suction chamber runs full of oil via the lubricant supply. This leads to increased torque and increased noise at the next start of the pump. Further, due to the increased torque, the sliders may be damaged. Furthermore, there is the risk that oil enters the room to be vacuumed and leads to damage there. It is therefore necessary that the pump chamber of the vacuum rotary valve pump is brought to atmospheric pressure after stopping in order to prevent the lubricant from flowing.

Hierzu ist es aus US 3,301,474 bekannt, eine mit einer Ventilvorrichtung versehene Bohrung vorzusehen, die mit dem Schöpfraum verbunden ist. Dies ist relativ aufwändig, da eine gesondert anzusteuernde Ventilvorrichtung, die hohen Dichtigkeitsanforderungen genügen muss, vorgesehen werden muss.This is it for US 3,301,474 known to provide a provided with a valve device bore which is connected to the pump chamber. This is relatively complicated, since a separately actuated valve device, which must meet high tightness requirements, must be provided.

Ferner ist aus EP 1 899 608 eine Vakuum-Drehschieberpumpe bekannt, bei der ein Ausgleichskanal mit dem Ausstoßkanal verbunden ist. An dem Ausgleichskanal liegt im Wesentlichen Atmosphärendruck an. Der Ausgleichskanal ist in einem Flansch des Pumpengehäuses angeordnet und von einem Ventilplättchen der Ventileinrichtung abgedeckt. Durch diese Lösung der Anmelderin kann ein Volllaufen des Schöpfraums beim Ausfall oder Abschalten der Vakuum-Drehschieberpumpe vermieden werden. Beim Ausfall bzw. Abschalten der Vakuum-Drehschieberpumpe wird durch den Ausgleichskanal Luft in den Schöpfraum eingesaugt, sodass nach kurzer Zeit in dem Schöpfraum bzw. dem mit dem Ausstoßkanal verbundenen Teil des Schöpfraums Atmosphärendruck herrscht.Furthermore, it is off EP 1 899 608 a vacuum rotary vane pump is known in which a compensation channel is connected to the discharge channel. At the compensation channel is substantially at atmospheric pressure. The compensation channel is arranged in a flange of the pump housing and covered by a valve plate of the valve device. By this solution the applicant full running of the pump chamber in case of failure or shutdown of the vacuum rotary vane pump can be avoided. When the vacuum rotary vane pump fails or is de-energized, air is sucked into the suction chamber through the compensation channel, so that after a short time atmospheric pressure prevails in the pump chamber or the part of the pump chamber connected to the discharge channel.

Aufgabe der Erfindung ist es zu dem Vorsehen einer abgedeckten Nut in dem Flansch, eine alternative Lösung zu entwickeln, die ggf. kostengünstiger und/oder bei vorhandenen Pumpen nachrüstbar ist.The object of the invention is to provide a covered groove in the flange to develop an alternative solution, which may be retrofitted cost and / or existing pumps.

Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1.The object is achieved according to the invention by the features of claim 1.

Bei der erfindungsgemäßen Vakuum-Drehschieberpumpe ist der Schöpfraum mit einer Ölkammer über einen Ausstoßkanal verbunden, wobei zwischen der Ölkammer und dem Ausstoßkanal eine Ventileinrichtung angeordnet ist. Die Ventileinrichtung dient dazu, ein Zurückströmen von Medium, d. h. üblicherweise einem Gemisch aus Öl und Luft, aus der Ölkammer in den Schöpfraum zu verhindern. Ferner ist mindestens ein Ausgleichskanal vorgesehen, der den Ausstoßkanal mit einem Bereich verbindet, in dem im Wesentlichen Atmosphärendruck herrscht. Vorzugsweise ist der Ausgleichskanal mit einem Luftraum der Ölkammer verbunden, wobei es sich bei dem Luftraum der Ölkammer um den Bereich der Ölkammer handelt, der oberhalb des Ölbades liegt und in dem im Wesentlichen ggf. mit Öl angereicherte Luft vorhanden ist.In the vacuum rotary vane pump according to the invention, the suction chamber is connected to an oil chamber via an ejection channel, wherein a valve device is arranged between the oil chamber and the ejection channel. The valve device serves to prevent backflow of medium, i. H. Usually a mixture of oil and air to prevent from the oil chamber into the suction chamber. Furthermore, at least one compensation channel is provided, which connects the discharge channel with a region in which substantially atmospheric pressure prevails. Preferably, the compensation channel is connected to an air space of the oil chamber, wherein the air space of the oil chamber is the area of the oil chamber, which is above the oil bath and in which substantially enriched with oil air is present.

Durch das Vorsehen eines derartigen Ausgleichkanals in Verbindung mit einer zwischen der Ölkammer und dem Ausstoßkanal angeordneten Ventileinrichtung erfolgt im Betrieb ein Herausdrücken des Mediums aus dem Schöpfraum in den Ausstoßkanal, wobei das Medium, bei dem es sich üblicherweise um ein Gemisch aus Gas wie Luft und Öl handelt, durch die Ventileinrichtung in die Ölkammer gelangt. Ein Teil des in dem Medium vorhandenen Öls wird in den Ausgleichskanal gedrückt bzw. von diesem angesaugt und dichtet diesen somit ab. Es ist hierdurch sichergestellt, dass während des Betriebs über den Ausgleichskanal keine frische Luft angesaugt wird, bzw. Luft mit Umgebungsdruck in den Ausstoßkanal gelangt. Erfolgt ein Ausfall der Vakuum-Drehschieberpumpe oder auch ein bewusstes Anhalten der Vakuum-Drehschieberpumpe, so wird durch den Ausgleichskanal auf Grund des in dem Schöpfraum herrschenden geringeren Drucks das Öl aus der Kapillare gedrückt wird und Luft angesaugt. Dies führt zu einem schnellen Druckausgleich in dem Schöpfraum, so dass der Schöpfraum schnell auf Atmosphärendruck gebracht wird. Dies hat zur Folge, dass der Schöpfraum nicht über die Schmiermittelversorgung mit Öl voll läuft. Hierdurch sind die Nachteile eines erhöhten Drehmoments beim nächsten Start und ein hierdurch ggf. hervorgerufenes Beschädigen der Schieber vermieden. Auch ein Öl- oder Schmiermitteleintritt in den zu vakuumierenden Raum ist hierdurch vermieden. Die Zeitspanne zum Ausgleich des Drucks in dem Schöpfraum ist sehr gering.By providing such a compensation channel in conjunction with a valve device arranged between the oil chamber and the discharge channel, during operation, the medium is expelled from the pump chamber into the discharge channel, the medium, which is usually a mixture of gas such as air and oil acts, passes through the valve means in the oil chamber. A part of the oil present in the medium is pressed into the compensation channel or sucked in by it and thus seals it off. It is thereby ensured that no fresh air is sucked in during operation via the compensation channel, or air at ambient pressure reaches the discharge channel. If a failure of the vacuum rotary vane pump or a deliberate stop the vacuum rotary vane pump, the oil is forced out of the capillary and sucked air through the compensation channel due to the prevailing in the suction chamber lower pressure, the oil. This leads to a rapid pressure equalization in the pump chamber, so that the pump chamber is quickly brought to atmospheric pressure. This has the consequence that the pump chamber does not run over the lubricant supply with oil. As a result, the disadvantages of increased torque at the next start and thereby possibly caused Damage to the slide avoided. An oil or lubricant entry into the room to be vacuumed is thereby avoided. The period of time to equalize the pressure in the pump chamber is very small.

Erfindungsgemäß ist der Ausgleichskanal in die Ventileinrichtung integriert. Hierdurch ist es beispielsweise möglich die Ventileinrichtung unabhängig von dem Gehäuse, insbesondere einer in dem Gehäuse vorgesehene Nut herzustellen. Dies hat den Vorteil, dass eine erfindungsgemäße ausgestaltete den Ausgleichskanal aufweisende Ventileinrichtung für unterschiedlich ausgestaltete Drehschieberpumpen verwendet werden kann. Desweiteren ist es möglich, bestehende Drehschieberpumpen durch einfaches Austauschen der Ventileinrichtung nachzurüsten.According to the compensation channel is integrated into the valve device. As a result, it is possible, for example, to produce the valve device independently of the housing, in particular a groove provided in the housing. This has the advantage that a designed according to the invention the compensation channel having valve device can be used for differently designed rotary vane pumps. Furthermore, it is possible to retrofit existing rotary vane pumps by simply replacing the valve device.

Vorzugsweise weist die Ventileinrichtung ein den Ausstoßkanal verschließendes Ventilplättchen auf, das mit einem Federelement zusammenwirkt. Durch das Federelement wird auf das Ventilplättchen eine Verschlusskraft ausgeübt. Das Federelement ist vorzugsweise ebenfalls plattenförmig ausgebildet und weist ein zum Erzeugen der Federkraft elastisches Material auf.The valve device preferably has a valve plate which closes the discharge channel and which cooperates with a spring element. By the spring element, a closure force is exerted on the valve plate. The spring element is preferably also plate-shaped and has an elastic material for generating the spring force.

Da der mindestens eine Ausgleichskanal erfindungsgemäß in die Ventileinrichtung integriert ist, weist das Ventilplättchen in besonders bevorzugter Ausführungsform, eine mit dem Ausstoßkanal verbundene Verbindungsöffnung auf. Die Verbindungsöffnung mündet in den Ausgleichskanal. Die Querschnittsfläche der Verbindungsöffnung sowie vorzugsweise auch des Ausgleichskanals ist vorzugsweise in Abhängigkeit der Viskosität des Schmiermittels derart gewählt, dass der mindestens eine Ausgleichskanal einen Kapillarkanal ausbildet, in dem während des Betriebs Öl eingesaugt wird. Hierdurch erfolgt während des Betriebs ein Verschließen des Ausgleichskanals.Since the at least one compensation channel is integrated into the valve device according to the invention, in a particularly preferred embodiment, the valve plate has a connection opening connected to the discharge channel. The connection opening opens into the compensation channel. The cross-sectional area of the connection opening and preferably also of the compensation channel is preferably chosen as a function of the viscosity of the lubricant such that the at least one compensation channel forms a capillary channel in which oil is sucked in during operation. This results in a closing of the compensation channel during operation.

Ein weiteres Problem von Vakuum-Drehschieberpumpen besteht darin, dass bei Rotationsgeschwindigkeiten des Rotors im Grenzbereich eine erhöhte Geräuschentwicklung festzustellen ist. Zur Reduzierung der Geräuschentwicklung weist das Gehäuse im Kompressionsbereich eine kleine Öffnung auf, durch die Luft einströmen kann. Hierdurch entsteht eine Öl-Emulsion, durch die die Geräuschentwicklung verringert werden kann. Da die Luftzufuhr sehr ungenau ist und somit auch der Grad der Emulsion des Öls ungenau ist, kann die Geräuschentwicklung nur geringfügig reduziert werden.Another problem of vacuum rotary vane pumps is that at rotational speeds of the rotor in the boundary region increased noise is noted. To reduce noise, the housing has a small opening in the compression area, through which air can flow. This results in an oil emulsion, through which the noise can be reduced. Since the air supply is very inaccurate and thus the degree of emulsion of the oil is inaccurate, the noise can be reduced only slightly.

Ein kontrolliertes und definiertes Emulgieren des Öls wird durch das Vorsehen des Ausgleichskanals ebenfalls erreicht. Wie beschrieben, wird der Ausgleichskanal zumindest teilweise mit Öl gefüllt, während des Medium aus einem Bereich des Schöpfraums zwischen zwei benachbarten Schiebern in den Ausstoßkanal gefördert wird. Passiert der nachlaufende Schieber nun hieran anschließend die mit dem Schöpfraum verbundene Öffnung des Ausstoßkanals, wird der in dem Ausgleichskanal gespeicherte Ölvorrat in diesen Raum gefördert. Hierbei wird eine geringe Menge Luft aus dem Ausgleichskanal mitgesogen, die zur Emulsion des Öls führt. Insbesondere durch die Anzahl und die Formgestaltung der Ausgleichskanäle kann in Abhängigkeit des verwendeten Schmiermittels ein gutes Emulgieren des Schmiermittels gewährleistet werden. Das erfindungsgemäße Vorsehen mindestens eines Ausgleichskanals führt somit auch zu einer Geräuschreduzierung in Drehzahl-Grenzbereichen der Vakuum-Drehschieberpumpe.Controlled and defined emulsification of the oil is also achieved by providing the equalization channel. As described, the compensation channel is at least partially filled with oil, while the medium is conveyed from a region of the pumping space between two adjacent slides into the discharge channel. If the trailing slide now subsequently passes through the opening of the ejection channel connected to the suction chamber, the oil reservoir stored in the compensation channel is conveyed into this space. In this case, a small amount of air is sucked out of the compensation channel, which leads to the emulsion of the oil. In particular, by the number and shape design of the compensation channels, a good emulsification of the lubricant can be ensured depending on the lubricant used. The inventive provision of at least one compensation channel thus also leads to a reduction in noise in speed limits of the vacuum rotary vane pump.

Auf Grund der geringen Querschnittfläche des mindestens einen Ausgleichkanals ist gewährleistet, dass nur eine geringe Menge Luft in die Pumpe gelangt. Insbesondere kann durch die Anzahl und durch die Querschnittsfläche sowie die Formgestaltung des mindestens einen Ausgleichskanals die in dem bzw. den Ausgleichskanälen zwischengespeicherte Ölmenge sowie die angesaugte Luftmenge bestimmt werden.Due to the small cross-sectional area of the at least one compensation channel ensures that only a small amount of air enters the pump. In particular, can be determined by the number and by the cross-sectional area and the shape of the at least one compensation channel, the cached in the compensation channels or the amount of oil and the intake air quantity.

Bei einer besonders bevorzugten Weiterbildung der Erfindung ist zwischen dem Ventilplättchen und dem Federelement der Ventileinrichtung ein Zwischenelement vorgesehen. Durch das Zwischenelement wird der mindestens eine Ausgleichskanal ausgebildet. Vorzugsweise begrenzt das Zwischenelement den Ausgleichskanal seitlich und unten, sodass in einem oberen Bereich des Zwischenelements eine Ausgleichskanal-Öffnung ausgebildet ist. Die Ausgleichskanal-Öffnung ist mit der Ölkammer verbunden, wobei die Verbindung in dem Bereich der Ölkammer erfolgt, in dem Gas bzw. Luft ist. Der untere Bereich ist somit der dem oberen Bereich gegenüberliegende Bereich, wobei der untere Bereich vorzugsweise in dem Ölbad der Ölkammer angeordnet ist.In a particularly preferred embodiment of the invention, an intermediate element is provided between the valve plate and the spring element of the valve device. By means of the intermediate element, the at least one compensation channel is formed. The intermediate element preferably limits the compensation channel laterally and downwardly so that a compensation channel opening is formed in an upper region of the intermediate element. The equalizing passage opening is connected to the oil chamber, the connection being made in the region of the oil chamber in which gas or air is. The lower region is thus the region opposite the upper region, wherein the lower region is preferably arranged in the oil bath of the oil chamber.

Ferner ist es bevorzugt, dass der Ausgleichskanal durch das Ventilplättchen und das Federelement begrenzt ist. Hierdurch ist ein vielseitig verschlossener Kanal ausgebildet, der im oberen Bereich eine Ausgleichskanalöffnung aufweist und im unteren Bereich verschlossen ist.Furthermore, it is preferred that the compensation channel is delimited by the valve plate and the spring element. As a result, a versatile closed channel is formed, which has a compensation channel opening in the upper region and is closed in the lower region.

Vorzugsweise ist das Zwischenelement derart ausgebildet, dass es die Verbindungsöffnung teilweise umgibt. Vorzugsweise ist das Zwischenelement U-förmig ausgebildet. Beim Vorsehen mehrerer Ausgleichskanäle können auch mehrere einzelne Zwischenelemente oder ein gemeinsames Zwischenelement vorgesehen sein. Hierbei sind die einzelnen Zwischenelemente vorzugsweise U-förmig ausgebildet oder bei einem gemeinsamen Zwischenelement weisen die Zwischenelemente entsprechende die Ausgleichskanäle ausbildende Schlitze oder Öffnungen auf. Das mindestens eine Zwischenelement kann mit dem Ventilplättchen und/oder dem Federelement oder einem zwischen dem Federelement und dem Zwischenelement angeordneten Zwischenteil verbunden sein. Dies kann bspw. durch Verkleben oder Verschweißen erfolgen. Ebenso ist es möglich, dass das Zwischenelement mit dem Ventilplättchen und/oder dem Federelement einstückig ausgebildet ist. Insbesondere kann eine einstückige Ausbildung mit dem aus einem elastischen Kunststoff hergestellten Federelement erfolgen. Vorzugsweise ist das Zwischenelement ebenfalls aus elastischem Material, um eine gute Abdichtung gewährleisten zu können. Insbesondere ist das mindestens eine Zwischenelement aus elastomerem Kunststoff hergestellt. Hierbei kann es sich um ein gesondertes ein oder mehr Ausgleichskanäle ausbildendes Zwischenelement handeln.Preferably, the intermediate element is formed such that it partially surrounds the connection opening. Preferably, the intermediate element is U-shaped. When providing a plurality of compensation channels, it is also possible to provide a plurality of individual intermediate elements or a common intermediate element. Here, the individual intermediate elements are preferably U-shaped or in a common Intermediate element, the intermediate elements corresponding to the compensation channels forming slots or openings. The at least one intermediate element may be connected to the valve plate and / or the spring element or an intermediate part arranged between the spring element and the intermediate element. This can be done, for example, by gluing or welding. It is also possible that the intermediate element is integrally formed with the valve plate and / or the spring element. In particular, a one-piece design can be made with the spring element made of an elastic plastic. Preferably, the intermediate element is also made of elastic material in order to ensure a good seal can. In particular, the at least one intermediate element is made of elastomeric plastic. This may be a separate one or more compensation channels forming intermediate element.

Bei einer weiteren bevorzugten alternativen Ausführungsform ist der mindestens eine Ausgleichskanal in dem Ventilplättchen vorgesehen. Hierbei kann in dem Ventilplättchen bspw. ein Schlitz oder eine Nut vorgesehen sein. Der hierdurch gebildete mindestens eine Ausgleichskanal ist wiederum nach oben offen und weist eine entsprechende Ausgleichskanal-Öffnung, die insbesondere in der Ölkammer in einen Bereich mündet, in dem Gas bzw. Luft vorhanden ist. Zur Ausbildung des Ausgleichskanals könnte in dem Ventilplättchen auch eine Bohrung vorgesehen sein, wobei aus fertigungstechnischen Gründen das Vorsehen eines Schlitzes oder einer Nut bevorzugt ist. Sofern eine Nut vorgesehen ist, ist diese in eine Richtung offen. Diese Öffnung der Nut kann durch eine Gehäusewand, wie einen Flansch des Gehäuses, verschlossen. Ebenso ist es möglich, dass die Öffnung der Nut in die andere Richtung weist und sodann durch das Federelement oder ein Zwischenteil verschlossen ist. Beim Vorsehen eines Schlitzes in den Ventilplättchen ist diese in beide Richtungen offen und ist sodann auf einer Seite durch die Gehäusewand und auf der anderen Seite durch das Federelement bzw. das Zwischenteil verschlossen.In a further preferred alternative embodiment, the at least one compensation channel is provided in the valve plate. In this case, for example, a slot or a groove may be provided in the valve plate. The at least one compensation channel thus formed is in turn open at the top and has a corresponding compensation channel opening, which opens in particular in the oil chamber into a region in which gas or air is present. To form the compensation channel, a bore could also be provided in the valve plate, wherein for manufacturing reasons, the provision of a slot or a groove is preferred. If a groove is provided, this is open in one direction. This opening of the groove can be closed by a housing wall, such as a flange of the housing. It is also possible that the opening of the groove facing in the other direction and is then closed by the spring element or an intermediate part. When providing a slot in the valve plate, this is open in both directions and is then closed on one side by the housing wall and on the other side by the spring element or the intermediate part.

Wenngleich die vorstehende Erfindung im Wesentlichen anhand eines Ausstoßkanals, der mit einem Ausgleichskanal verbunden ist, beschrieben ist, ist es auch möglich, dass der Schöpfraum über mehrere vorzugsweise parallel zueinander verlaufende Ausstoßkanäle mit der Ölkammer verbunden ist. Die mehreren Ausstoßkanäle können hierbei entweder mit gesonderten Ventileinrichtungen verschlossen sein, wobei es bevorzugt ist, eine gemeinsame Ventileinrichtung vorzusehen. Diese Ventileinrichtung kann ein Ventilplättchen mit mehreren fingerartigen Ansätzen aufweisen, wobei von jedem fingerartigen Ansatz ein Ausstoßkanal verschlossen wird. Das Federelement ist bei dieser Ausführungsform vorzugsweise entsprechend ausgebildet. Zumindestens einer der mehreren Ausstoßkanäle ist mit einem erfindungsgemäß in die Ventileinrichtung integrierten Ausgleichskanal verbunden. Vorzugsweise sind mehrere insbesondere alle Ausstoßkanäle mit einem Ausgleichskanal verbunden. Hierbei kann ein gemeinsamer Ausgleichskanal für mehrere Ausstoßkanäle oder je Ausstoßkanal ein gesonderter Ausgleichskanal vorgesehen sein.Although the above invention is described essentially with reference to a discharge channel which is connected to a compensation channel, it is also possible that the pumping chamber is connected to the oil chamber via a plurality of preferably parallel discharge channels. The plurality of ejection channels may in this case be closed either with separate valve devices, wherein it is preferred to provide a common valve device. This valve device may comprise a valve plate with a plurality of finger-like projections, wherein an ejection channel is closed by each finger-like approach. The spring element is preferably formed accordingly in this embodiment. At least one of the plurality of ejection channels is connected to an integrated according to the invention in the valve means compensation channel. Preferably, several, in particular all, ejection channels are connected to a compensation channel. In this case, a common equalization channel for a plurality of ejection channels or per ejection channel may be provided a separate equalization channel.

Vorzugsweise erfolgt mit Hilfe der Ventilzunge bzw. dem Ventilplättchen, das Öffnen und Verschließen des Ausstoßkanals. Hierzu ist das Ventilplättchen aus einem elastischen, rückfedernden Material ausgebildet. Eine besonders gute Abdichtung des Ventilplättchens kann erreicht werden, wenn sich der Bereich des Ventilplättchens, der den Ausstoßkanal abdichtet, in einem Ölbad befindet, so dass ein zusätzlicher Anpressdruck aufgebaut wird. Auf Grund der erhöhten Dichtigkeit kann ein weiteres und effizienteres Evakuieren durchgeführt werden.Preferably, with the help of the valve tongue or the valve plate, the opening and closing of the ejection channel. For this purpose, the valve plate is formed of an elastic, spring-back material. A particularly good sealing of the valve plate can be achieved if the area of the valve plate which seals the discharge channel is located in an oil bath, so that an additional contact pressure is built up. Due to the increased tightness, a further and more efficient evacuation can be carried out.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand bevorzugter Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen näher erläutert.The invention will be explained in more detail below with reference to preferred embodiments with reference to the accompanying drawings.

Es zeigen:Show it:

1 eine schematische Schnittansicht einer ersten Ausführungsform einer Vakuum-Drehschieberpumpe, 1 a schematic sectional view of a first embodiment of a vacuum rotary vane pump,

2 eine schematische Darstellung der Einzelteile der Ventileinrichtung der ersten Ausführungsform, 2 a schematic representation of the items of the valve device of the first embodiment,

3 eine schematische Schnittansicht einer zweiten Ausführungsform einer Vakuum-Drehschieberpump und 3 a schematic sectional view of a second embodiment of a vacuum rotary valve pump and

4 eine schematische Darstellung der Einzelteile der Ventileinrichtung der zweiten Ausführungsform. 4 a schematic representation of the items of the valve device of the second embodiment.

Eine Vakuum-Drehschieberpumpe (1) weist ein Gehäuse 10 auf. Innerhalb des Gehäuses 10 ist in einem Schöpfraum 12 ein Rotor 14 angeordnet. Der Rotor 14 weist im dargestellten Ausführungsbeispiel drei Schieberschlitze 16 auf, in denen jeweils ein Schieber 18 angeordnet ist. Die Schieber 18 werden durch die Rotation des Rotors 14 auf Grund der Fliehkraft gegen eine Innenwand 20 des Schöpfraums gedrückt.A vacuum rotary vane pump ( 1 ) has a housing 10 on. Inside the case 10 is in a scoop space 12 a rotor 14 arranged. The rotor 14 has in the illustrated embodiment, three slide slots 16 on, in each of which a slider 18 is arranged. The sliders 18 be through the rotation of the rotor 14 due to the centrifugal force against an inner wall 20 of the scoop space.

Über eine Ansaugöffnung 22, die mit dem zu evakuierenden Raum verbunden ist, wird aus dem zu evakuierenden Raum Medium in einen ersten Bereich 24 des Schöpfraums 12 gesogen. Der Bereich 24 des Schöpfraums 12 ist durch zwei benachbarte Schieber 18 begrenzt. Ein in Drehrichtung 26 vor dem Bereich 24 befindlicher Bereich 28 des Schöpfraums 12 wird durch die Drehung des Rotors 14 verkleinert, so dass das darin befindliche Medium komprimiert wird. Aus dem Bereich 28 wird das Medium durch einen Ausstoßkanal 30 aus dem Schöpfraum 12 in Richtung einer Ölkammer 32 gefördert.Via a suction opening 22 , which is connected to the space to be evacuated, is from the space to be evacuated medium in a first area 24 the scoop space 12 sucked. The area 24 the scoop space 12 is by two adjacent sliders 18 limited. One in the direction of rotation 26 in front the area 24 located area 28 the scoop space 12 is due to the rotation of the rotor 14 reduced, so that the medium contained therein is compressed. Out of the area 28 the medium is passed through a discharge channel 30 from the scoop space 12 in the direction of an oil chamber 32 promoted.

Die Ölkammer 32 ist an einem Flansch 34 des Gehäuses 10 der Vakuum-Drehschieberpumpe befestigt. Die Ölkammer 32 weist einen Ölraum bzw. ein Ölbad 35 auf, in dem sich das über den Ausstoßkanal 30 insbesondere zusammen mit der aus dem zu evakuierenden Raum entnommenen Luft zugeführte Öl sammelt.The oil chamber 32 is on a flange 34 of the housing 10 attached to the vacuum rotary vane pump. The oil chamber 32 has an oil room or an oil bath 35 on, in which the over the ejection channel 30 collects in particular together with the extracted from the space to be evacuated air supplied oil.

Eine Auslassöffnung 36 des Ausstoßkanals 30 ist mit einer Ventileinrichtung 38 verschlossen. In dem dargestellten besonders bevorzugten Ausführungsbeispiel handelt es sich bei der Ventileinrichtung um ein elastisches Ventilplättchen 48 (2), das beispielsweise mit Hilfe einer Schraube oder Mutter 40 an dem Flansch 34 des Gehäuses 10 befestigt ist. Besonders bevorzugt ist es, im Bereich der Auslassöffnung 36 das Ventilplättchen 48 in einem Ölbad 42 anzuordnen. Hierzu ist in der Ölkammer 32 durch eine Zwischenwand 44 ein gesonderter Ölraum gebildet, wobei bei gefülltem Ölraum das Öl in Richtung eines Pfeils 47 fließt. Durch das Vorsehen eines Ölbads 42 wird auf eine Rückseite des Ventilplättchens, d. h. die in Richtung des Ölbads 42 weisende Seite des Ventilplättchens, Druck ausgeübt. Hierdurch wird die Dichtigkeit der Ventileinrichtung 38 erhöht.An outlet opening 36 of the ejection channel 30 is with a valve device 38 locked. In the illustrated particularly preferred embodiment, the valve device is an elastic valve plate 48 ( 2 ), for example with the help of a screw or nut 40 on the flange 34 of the housing 10 is attached. It is particularly preferred in the region of the outlet opening 36 the valve plate 48 in an oil bath 42 to arrange. This is in the oil chamber 32 through an intermediate wall 44 formed a separate oil space, with filled oil space, the oil in the direction of an arrow 47 flows. By providing an oil bath 42 is on a back of the valve plate, ie in the direction of the oil bath 42 facing side of the valve plate, pressure applied. As a result, the tightness of the valve device 38 elevated.

In die Ventileinrichtung 38 ist erfindungsgemäß ein Ausgleichskanal integriert.In the valve device 38 According to the invention, a compensation channel is integrated.

In der ersten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung (1 und 2) ist ein Ausgleichskanal 50 durch ein Zwischenelement 52 ausgebildet. Bei dem Zwischenelement 52 handelt es sich in bevorzugter Ausführungsform um ein U-förmiges aus elastischem Kunststoff hergestelltes Teil. Zur Ausgestaltung der im darstellten Ausführungsbespiel drei Ausgleichskanäle 50 weist das Ventil ein Ventilplättchen 48 auf. Das Ventilplättchen 48, das im dargestellten Ausführungsbeispiel drei zueinander parallel verlaufende Ausstoßkanäle 30 verschließt, weist hierzu fingerförmige Ansätze 54 auf. Diese nach unten weisenden fingerförmigen Ansätze 54 weisen jeweils eine Verbindungsöffnung 56 auf. Die Verbindungsöffnung 56 stellt eine Verbindung zwischen dem Ausstoßkanal 30 und dem Ausgleichskanal 50 dar. Auf den fingerförmigen Ansätzen 54 werden die Zwischenelemente 52 angeordnet, wobei bspw. durch Verkleben ein Fixieren erfolgen kann. Ein Zwischenteil 58, das Bestandteil des Zwischenelements ist, verschließt den vorderen von einer Flanschfläche 47 wegweisenden Teil der jeweiligen Ausgleichskanäle 50. Das Fixieren des Zwischenteils 58 erfolgt ebenfalls durch die Schraube 46.In the first preferred embodiment of the invention ( 1 and 2 ) is a compensation channel 50 through an intermediate element 52 educated. At the intermediate element 52 In a preferred embodiment, this is a U-shaped part made of elastic plastic. For the design of the illustrated in the exemplary embodiment three equalization channels 50 the valve has a valve plate 48 on. The valve plate 48 in the illustrated embodiment, three mutually parallel discharge channels 30 closes, this has finger-shaped projections 54 on. These downward-pointing finger-shaped approaches 54 each have a connection opening 56 on. The connection opening 56 provides a connection between the ejection channel 30 and the equalization channel 50 dar. On the finger-shaped approaches 54 become the intermediate elements 52 arranged, for example, by gluing can be done fixing. An intermediate part 58 , which is part of the intermediate element, closes the front of a flange 47 pioneering part of the respective balancing channels 50 , Fixing the intermediate part 58 is also done by the screw 46 ,

Desweiteren weist die Ventileinrichtung ein Federelement 60 auf. Dieses insbesondere aus elastischem Kunststoffmaterial hergestellte Federelement bewirkt ein Zurückdrücken des Ventilplättchens 48 und somit ein Verschließen der Ausstoßkanäle 30. Sowohl das Zwischenteil 58 als auch das Federelement 60 weisen den fingerförmigen Ansätzen 54 entsprechende Ansätze 62, 64 auf.Furthermore, the valve device has a spring element 60 on. This spring element, in particular made of elastic plastic material, causes the valve plate to be pressed back 48 and thus closing the ejection channels 30 , Both the intermediate part 58 as well as the spring element 60 have the finger-shaped approaches 54 appropriate approaches 62 . 64 on.

Im montierten Zustand sind die Ausgleichskanäle 50 somit durch das Ventilplättchen 48, die U-förmigen Zwischenelemente 52 und das Zwischenteil 48 begrenzt. Über die Verbindungsöffnungen 56 erfolgt ein Verbinden der Ausgleichskanäle 50 mit den Ausstoßkanälen 30. Die Verbindung der Ausgleichskanäle 50 mit einem Luftraum 53 der Ölkammer 32 erfolgt über Ausgleichskanalöffnungen 66, die im oberen Bereich der Zwischenelemente angeordnet sind.When mounted, the compensation channels are 50 thus through the valve plate 48 , the U-shaped intermediate elements 52 and the intermediate part 48 limited. About the connection openings 56 the connection channels are connected 50 with the ejection channels 30 , The connection of the equalization channels 50 with an airspace 53 the oil chamber 32 takes place via compensation channel openings 66 , which are arranged in the upper region of the intermediate elements.

Durch Rotation des Rotors 14 wird im Betrieb ein mit Öl angereichertes Medium aus dem Bereich 28 in Richtung eines Pfeils 68 in den Ausstoßkanal 30 gefördert. Auf Grund des Drucks wird das Ventilplättchen 48 zurückgedrückt, so dass das Medium in Richtung eines Pfeils 70 in das Ölbad 42 bzw. in die Ölkammer 32 gelangt. Ein Teil des Öls wird hierbei in die Ausgleichskanäle 50 gedrückt und bewirkt somit ein Abdichten.By rotation of the rotor 14 In operation, an oil-enriched medium in the area 28 in the direction of an arrow 68 in the discharge channel 30 promoted. Due to the pressure, the valve plate becomes 48 pushed back, leaving the medium in the direction of an arrow 70 in the oil bath 42 or in the oil chamber 32 arrives. Part of the oil is here in the compensation channels 50 pressed and thus causes a seal.

Sobald der Bereich 28 im Wesentlichen entleert ist, wird der in den Kanälen 50 vorhandene Ölvorrat zusammen mit einer geringen Menge an Luft, die durch die Öffnung 66 aus dem Luftraum 53 der Ölkammer 32 angesaugt wird, in den Ausstoßkanal 30 gesogen. Durch das Mitziehen von Luft erfolgt ein Emulgieren des Öls und somit eine Geräuschreduktion.Once the area 28 is essentially emptied, which is in the channels 50 existing oil supply along with a small amount of air passing through the opening 66 from the airspace 53 the oil chamber 32 is sucked into the discharge channel 30 sucked. The entrainment of air emulsifies the oil and thus reduces noise.

Beim Anhalten der Pumpe, beispielsweise durch einen Ausfall, wird über die Öffnung 66 und die Ausgleichskanäle 50 aus dem Luftraum 53 Luft in den Schöpfraum 12 gesaugt, so dass ein Druckausgleich erfolgt und der Schöpfraum 12 im Wesentlichen auf Atmosphärendruck gebracht wird. Hierdurch ist sichergestellt, dass kein oder allenfalls nur geringe Mengen an Schmiermittel in den Schöpfraum gelangt. Ein Volllaufen des Schöpfraums 12 durch Schmiermittel ist hierdurch vermieden.When the pump stops, for example due to a failure, it will go over the opening 66 and the equalization channels 50 from the airspace 53 Air in the pump chamber 12 sucked, so that a pressure equalization takes place and the pump chamber 12 is brought to substantially atmospheric pressure. This ensures that no or at most only small amounts of lubricant passes into the pump chamber. A full run of the scoop space 12 by lubricant is thereby avoided.

Aufgrund der Ölströmung bzw. Ölzirkulation im Bereich der Ventileinrichtung 38, insbesondere des Ventilplättchens 48, ist sichergestellt, dass sich hier keine Ablagerungen bilden. Insbesondere ist eine Verschmutzung der Ventileinrichtung 38 vermieden. Hierdurch ist eine Verklemmung der Ventileinrichtung 38 vermieden. Ferner ist eine gute Abdichtung gewährleistet und ein Einfluss der Ventildichtigkeit auf die Pumpenleistung vermieden. Eine zweite bevorzugte Ausführungsform (3 und 4) weist mit Ausnahme der Ausgestaltung der Ventileinrichtung 38 dieselben Bauteile auf, sodass diese mit denselben Bezugszeichen gekennzeichnet sind. Auch die Funktionsweise entspricht der vorstehend anhand der 1 und 2 beschriebenen Funktionsweise der Vakuum-Drehschieberpumpe.Due to the oil flow or oil circulation in the area of the valve device 38 , in particular of the valve plate 48 , it is ensured that no deposits form here. In particular, a contamination of the valve device 38 avoided. This is a deadlock of the valve device 38 avoided. Furthermore, a good seal is ensured and an influence of the valve tightness on the pump performance is avoided. A second preferred embodiment ( 3 and 4 ), with the exception of the embodiment of valve means 38 the same components, so that they are marked with the same reference numerals. Also, the operation corresponds to the above with reference to the 1 and 2 described operation of the vacuum rotary vane pump.

Bei dem in 3 und 4 dargestellten Ausführungsbeispiel ist der mindestens eine Ausgleichskanal derart in die Ventileinrichtung 38 integriert, dass zur Ausbildung eines Ausgleichskanals 72 in dem Ventilplättchen 48 ein Schlitz vorgesehen ist. Dies erstreckt sich in vertikale Richtung über einen Großteil des Ventilplättchens insbesondere in einen der fingerförmigen Ansätze 54. Die Verbindung zwischen dem Ausstoßkanal 30 und dem Ausgleichskanal 72 erfolgt im unteren Bereich 74 des Schlitzes.At the in 3 and 4 illustrated embodiment, the at least one compensation channel in such a way in the valve device 38 integrated that to form a compensation channel 72 in the valve plate 48 a slot is provided. This extends in the vertical direction over a large part of the valve plate in particular in one of the finger-shaped projections 54 , The connection between the discharge channel 30 and the equalization channel 72 takes place in the lower area 74 of the slot.

Zur Ausgestaltung des Ausgleichskanals 72 ist der Schlitz einerseits seitlich durch das Ventilplättchen 48 begrenzt und andererseits durch die Flanschfläche 47 sowie durch eine entsprechende ausgestaltete Ventilfeder 60. Zusätzlich kann zwischen der Ventilfeder 60 und dem Ventilplättchen 48 ein Zwischenteil entsprechend dem Zwischenteil 58 (2) vorgesehen sein. Die Funktionsweise der in den 3 und 4 dargestellten Drehschieber-Vakuumpumpe entspricht derjenigen der in 1 und 2 dargestellten Drehschieber-Vakuumpumpe.For the design of the compensation channel 72 the slot is on the one hand laterally through the valve plate 48 limited and on the other hand by the flange 47 as well as by a corresponding designed valve spring 60 , In addition, between the valve spring 60 and the valve plate 48 an intermediate part corresponding to the intermediate part 58 ( 2 ) be provided. The functioning of the in the 3 and 4 shown rotary vane vacuum pump corresponds to that of 1 and 2 illustrated rotary vane vacuum pump.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • US 3301474 [0004] US 3301474 [0004]
  • EP 1899608 [0005] EP 1899608 [0005]

Claims (17)

Vakuum-Drehschieberpumpe, mit einem einen Schöpfraum (12) aufweisenden Gehäuse (10), einem exzentrisch in dem Schöpfraum (12) angeordneten Rotor (14), mit dem Rotor (14) verschiebbar verbundenen Schiebern (18), einem mit dem Schöpfraum (12) und einer Ölkammer (32) verbundenen Ausstoßkanal (30), einer zwischen der Ölkammer (32) und dem Ausstoßkanal (30) angeordneten Ventileinrichtung (38), um ein Zurückströmen von Medium aus der Ölkammer (32) in den Schöpfraum (12) zu unterbinden und mindestens einem mit dem Ausstoßkanal (30) verbundenen Ausgleichskanal (50, 72), an dem im Wesentlichen Atmosphärendruck anliegt, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Ausgleichskanal (50, 72) in die Ventileinrichtung (38) integriert ist.Vacuum rotary vane pump, with a pump chamber ( 12 ) housing ( 10 ), one eccentrically in the scoop space ( 12 ) arranged rotor ( 14 ), with the rotor ( 14 ) slidably connected sliders ( 18 ), one with the pump chamber ( 12 ) and an oil chamber ( 32 ) associated discharge channel ( 30 ), one between the oil chamber ( 32 ) and the discharge channel ( 30 ) arranged valve device ( 38 ) to prevent backflow of medium from the oil chamber ( 32 ) in the pump chamber ( 12 ) and at least one with the ejection channel ( 30 ) compensation channel ( 50 . 72 ), at which substantially atmospheric pressure is applied, characterized in that the at least one compensation channel ( 50 . 72 ) in the valve device ( 38 ) is integrated. Vakuum-Drehschieberpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Ventileinrichtung (38) ein den mindestens einen Ausstoßkanal (30) verschließendes Ventilplättchen (48) und ein auf das Ventilplättchen (48) einwirkendes Federelement (60) aufweist.Vacuum rotary vane pump according to claim 1, characterized in that the valve device ( 38 ) the at least one discharge channel ( 30 ) closing valve plate ( 48 ) and one on the valve plate ( 48 ) acting spring element ( 60 ) having. Vakuum-Drehschieberpumpe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Ventilplättchen (48) eine in den Ausgleichskanal (30) mündende mit dem Ausgleichskanal (30) verbundene Verbindungsöffnung (56, 74) aufweist.Vacuum rotary vane pump according to claim 2, characterized in that the valve plate ( 48 ) one into the equalization channel ( 30 ) with the equalization channel ( 30 ) connected connection opening ( 56 . 74 ) having. Vakuum-Drehschieberpumpe nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Ausgleichskanal (50) durch ein zwischen dem Ventilplättchen (48) und dem Federelement (60) angeordnetes Zwischenelement (52) ausgebildet ist.Vacuum rotary vane pump according to claim 2 or 3, characterized in that the compensation channel ( 50 ) by a between the valve plate ( 48 ) and the spring element ( 60 ) arranged intermediate element ( 52 ) is trained. Vakuum-Drehschieberpumpe nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Zwischenelement (52) den Ausgleichskanal (50) seitlich und unten begrenzt und im oberen Bereich eine Ausgleichskanal-Öffnung (66) ausgebildet ist.Vacuum rotary vane pump according to claim 4, characterized in that the intermediate element ( 52 ) the equalization channel ( 50 ) bounded laterally and downwardly and in the upper area a compensation channel opening ( 66 ) is trained. Vakuum-Drehschieberpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Ausgleichskanal (50) ferner durch das Ventilplättchen (48) und das Federelement (60) oder ein Zwischenteil (58) begrenzt ist.Vacuum rotary vane pump according to claim 1, characterized in that the compensation channel ( 50 ) further through the valve plate ( 48 ) and the spring element ( 60 ) or an intermediate part ( 58 ) is limited. Vakuum-Drehschieberpumpe nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Zwischenelement (52) die Verbindungsöffnung (56) teilweise umgibt und vorzugsweise U-förmig ausgebildet ist.Vacuum rotary vane pump according to one of claims 4 to 6, characterized in that the intermediate element ( 52 ) the connection opening ( 56 ) partially surrounds and is preferably U-shaped. Vakuum-Drehschieberpumpe nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Zwischenelemente (52) mit dem Ventilplättchen (48) und/oder dem Federelement (60) und/oder dem Zwischenteil (58) verbunden oder mit dem Ventilplättchen (48) und/oder dem Federelement (60) und/oder dem Zwischenteil (58) einstückig ausgebildet ist.Vacuum rotary vane pump according to one of claims 4 to 7, characterized in that the intermediate elements ( 52 ) with the valve plate ( 48 ) and / or the spring element ( 60 ) and / or the intermediate part ( 58 ) or with the valve plate ( 48 ) and / or the spring element ( 60 ) and / or the intermediate part ( 58 ) is integrally formed. Vakuum-Drehschieberpumpe nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Zwischenelement (52) aus elastischem Material, insbesondere elastomerem Kunststoff hergestellt ist.Vacuum rotary vane pump according to one of claims 4 to 8, characterized in that the intermediate element ( 52 ) made of elastic material, in particular elastomeric plastic. Vakuum-Drehschieberpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Ausgleichskanal (72) in dem Ventilplättchen (48) vorsehen ist.Vacuum rotary vane pump according to one of claims 1 to 3, characterized in that the compensation channel ( 72 ) in the valve plate ( 48 ). Vakuum-Drehschieberpumpe nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Ausgleichskanal (72) als Schlitz oder Nut in dem Ventilplättchen (48) vorgesehen ist, der bzw. die seitlich durch das Federelement (60) oder ein Zwischenteil (58) und/oder eine Gehäusewand (47) des Gehäuses (10) verschlossen ist.Vacuum rotary vane pump according to claim 10, characterized in that the compensation channel ( 72 ) as a slot or groove in the valve plate ( 48 ) is provided, the side or by the spring element ( 60 ) or an intermediate part ( 58 ) and / or a housing wall ( 47 ) of the housing ( 10 ) is closed. Vakuum-Drehschieberpumpe nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Schlitz oder die Nut nach oben offen ist.Vacuum rotary vane pump according to claim 11, characterized in that the slot or the groove is open at the top. Vakuum-Drehschieberpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Ausgleichskanal (50, 72) in dem Betrieb der Drehschieber-Vakuumpumpe mit Öl verschlossen ist.Vacuum rotary vane pump according to one of claims 1 to 12, characterized in that the compensation channel ( 50 . 72 ) is closed in the operation of the rotary vane vacuum pump with oil. Vakuum-Drehschieberpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Ausgleichskanal (50, 72) als Kapillarkanal ausgebildet ist.Vacuum rotary vane pump according to one of claims 1 to 13, characterized in that the compensation channel ( 50 . 72 ) is designed as a capillary channel. Vakuum-Drehschieberpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Schöpfraum (12) und der Ölkammer (32) mehrere vorzugsweise parallel zueinander verlaufende Ausstoßkanäle (30) vorgesehen sind, die vorzugsweise von einer gemeinsamen Ventileinrichtung (38) verschlossen sind, wobei mindestens ein vorzugsweise mehrere und besonders bevorzugt alle Ausstoßkanäle (30) mit einem Ausgleichskanal (50, 72) verbunden sind.Vacuum rotary vane pump according to one of claims 1 to 14, characterized in that between the suction chamber ( 12 ) and the oil chamber ( 32 ) a plurality of preferably parallel to each other ejection channels ( 30 ) are provided, preferably by a common valve device ( 38 ) are closed, wherein at least one preferably more and more preferably all ejection channels ( 30 ) with a compensation channel ( 50 . 72 ) are connected. Vakuum-Drehschieberpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Ausgleichskanal (50, 72) mit einem Luftraum (53) der Ölkammer (32) verbunden ist.Vacuum rotary vane pump according to one of claims 1 to 15, characterized in that the at least one compensation channel ( 50 . 72 ) with an airspace ( 53 ) of the oil chamber ( 32 ) connected is. Vakuum-Drehschieberpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass die den mindestens einen Ausstoßkanal (30) verschließende Ventileinrichtung (38) im Bereich des mindestens einen Ausstoßkanals (30) in einem Ölbad (42) angeordnet ist.Vacuum rotary vane pump according to one of claims 1 to 16, characterized in that the at least one discharge channel ( 30 ) closing valve device ( 38 ) in the area of at least one discharge channel ( 30 ) in an oil bath ( 42 ) is arranged.
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