DE2019913A1 - Koordinatenmessmaschine - Google Patents

Description

WO.

HELMUT GORTZ

6 Frankfurt

Crounse Corporation, 2626 Broadway, Paducah, Kentucky, U.S.A.

Koordinatenmeßmaschine

• Die vorliegende Erfindung betrifft'eine Koordinatenmeßmaschine oder -gerät zum Messen von Gegenständen oder zum Markieren oder Auslegen von Musfern auf einem Werkstück. Vorzugsweise "bewirkt die Maschine oder das Gerät Bewegung eines Musters in irgendeiner der drei zueinander senkrechten Koordinatenrichtungen. Indessen sind auch verschiedene Merkmale dieser Erfindung in gleicher Weise bei Meßeinrichtungen anwendbar, die weniger Koordinatenachsen haben.

Koordinatenmeßmaschinen oder -geräte sind an sich wohlbekannt und handelsüblich in verschiedenen Ausführungsformen verfügbar. Im allgemeinen aber sind diese Maschinen kompliziert und recht teuer. Ferner ist ihre Genauigkeit infolge von Formänderungen, Deformation oder dergleichen ihrer Teile sowie der Abnutzung durch umfangreichen Gebrauch nicht immer verläßlich.

Eine der einfacheren Ausführungsformen von Meßmaschinen oder -geräten des Standes der Technik bedingt eine Oberflächenplatte, die üblicherweise ein Block aus Granit oder anderem in Hinsicht der Dimension stabilen Material ist. Ein Werkstück und eine Ho-" henmeßlehre werden beide auf der Oberflächenplatte angeordnet und so gehandhabt, daß die Höhe des· Gegenstandes gemessen wird. Dieses Vorgehen bedingt aber das offensichtliche Unvermögen,

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komplizierte Messungen längs mehr als einer einzigen Achse aus-.zuführen, so daß die Maschine oder das Gerät für viele Meßaufgaben nicht geeignet ist. Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Vermeidung der zuvor aufgeführten Unzulänglichkeiten und Mängel.

Nach wesentlichen Merkmalen der vorliegenden Erfindung weist die Koordinatenmeßmaschine oder -gerät eine Reihe von Elementen auf, die mit einer herkömmlichen Oberflächenplatte verbunden werden können, damit ein Gerät geschaffen wird, mittels dessen äußerst genaue Messungen ausgeführt werden können. Dies wird durch eine lineare Führungsleiste ermöglicht, die auf einer normalen Oberflächenplatte liegt, wodurch eine Oberfläche zum Führen eines hier entlang bewegbaren Musterstützsockels geschaffen wird. Eine Ausgestaltung dieses wichtigen Gedankens beruht auf der Anwendung von hydrostatischen Lagern, wie z.B. Luftlager zum Führen und Stützen der Musterstützkonstruktion. Der Sockel kann ein Paar im Abstand voneinander befindliche Schenkel aufweisen, die mit Hilfe von Luftlagern gestützt sind und mittels eines Balkens oder Trägers eine Brücke bilden. Längs des Balkens oder Trägers ist ein Wagen horizontal in einer Richtung senkrecht zum linearen Führungsorgan bewegbar. Die Luftlager auf dem Wagen, welche die Musterstützeinrichtung für vertikale Bewegung führen, sind derart angeordnet, daß eines oder mehrere Lager an nur einer Seite desselben außer Tätigkeit gesetzt werden können, um eine Bremskraft zu schaffen, damit die Musterstutζeinrichtung auf einem konstanten Hub bzw. einer konstanten Höhe gehalten wird. Ein pneumatischer Zylinder übt eine aufwärts gerichtete Kraft aus, um mindestens teilweise .das Gewicht der Musterstützeinrichtung aufzuheben. Eine Bewegung des Musters in jeder der drei Koordinatenrichtungen kann mit Hilfe einer Lehre gemessen werden, die eine Lehrenwalze aufweist," die sich gegen eine Seite eines Bezugsgliedea abstützt, um ein Luftlager vorzubelasten, das an der gegenüberliegenden Seite des Bezugsorgans entlangläuft.

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BAD ORIGINAL

Die Erfindung ermöglicht eine Meßmaschine oder -gerät, das unkompliziert, genau und ohne weiteres in Verbindung mit einer normalen Meßoberflächenplatte bisheriger Art gebrauchsbereit ist.

Ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung ergibt sich dadurch, daß eine äußerst genaue lineare Bewegung bewirkt wird, indem eine Lehrenwalze längs einer Oberfläche eines Bezungsorganes bewegt wird, und gleichlaufend ein hydrostatisches Lager längs der entgegengesetzten Seite des Bezugsorgans vorbewegt wird.

Vorteilhaft 'ist gemäß der Erfindung desweiteren eine neuartige Einrichtung, um eine aufwärts gerichtete Kraft auf eine vertikal bewegbare Musterstützeinrichtung auszuüben.

Desweiteren ergibt sich eine vorteilhafte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung durch neuartige Mittel, um eine vertikal bewegbare, Muster tragende Einrichtung in einer festgelegten Stellung zu halten, indem nur eines von einen entgegengesetzt angeordneten Paar von Luftlagern, welche ihre Vertikalbewegung führen, außer Tätigkeit gesetzt wird.

Weitere Merkmale, Vorteile und Anwendungsmöglichkeiten der neuen Erfindung ergeben sich aus den beiliegenden Darstellungen von Ausführungsbeispielen sowie aus der folgenden Beschreibung.

Es zeigen:

Pig. 1 eine Vorderansicht einer bevorzugten Ausführungsform einer Maschine oder eines Gerätes gemäß der Erfindung,

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Pig. 2 einen Grundriß hierzu,

Fig. 3 einen längsseitigen Aufriß der Maschine oder des Gerätes nach Pig. 1,

Pig. 4 eine teilweise geschnittene Ansicht ähnlich der Pig. 3, und

Pig. 5 eine schematische Wiedergabe der Fluidumverteilanlage für die offenbarte Maschine bzw. Gerät.

Vor den Darlegungen im einzelnen sei noch einmal kurz zusammengefaßt daß die Meßmaschine bzw. das Meßgerät für ein Muster oder eine Probe bestimmt ist, das in irgendeiner oder jeder von drei zueinander senkrechten Richtungen bewegbar ist. Ein Sockel oder Träger für die Probe wird mit Hilfe von Luftlagern gestützt oder getragen und mit Hilfe einer Führungsleiste geführt, die auf einer flachen Bezugsoberfläche liegt. Ein Luftlager auf dem Trögersockel wirkt gegen eine vertikale Außenfläche der Führungsleiste, während eine Walze einer Meßvorrichtung gegen eine gegenüberliegende Außenfläche der Führungsleiste nachgiebig abgestützt ist, um das Luftlager vorzubelasten. Der Sockel oder Träger weist eine Brücke mit einem Paar von Schenkeln sowie einen horizontalen Balken oder Träger auf, der einen horizontal bewegbaren Wagen stützt. Die Probe oder das Muster befindet sich auf einem Stützorgan, das innerhalb von Luftlagern auf dem Wagen vertikal bewegbar ist. Ein pneumatischer Zylinder übt eine aufwärts gerichtete Kraft auf das vertikal bewegbare Musterstützorgan aus, um der Schwerkraft entgegenzuwirken. Luftlager wirken auf gegenüberliegende vertikale Außenflächen des vertikal bewegbaren Teiles des Musterstützorgans, und mit Hilfe von weiteren

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Mitteln werden nur die Luftlagerwirkungen an einer Seite desselben unterbunden, um eine Reibungsbremskraft ausaiiben, damit das vertikal bewegbare Stützorgan in einer festen Stellung gehalten wird.

Viele der Merkmale, die in der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung gemäß den Zeichnungen und der nachfolgenden Beschreibung enthalten sind, sind auch unabhängig von dem offenbarten Ausführungsbeispiel in anderen unterschiedlichen Arten von Meßvorrichtungen verwendbar, ohne daß hierdurch vom Wesen der vor- % liegenden Erfindung abgewichen wird.

Fig. 1 zeigt eine normale oder Standardoberflächenplatte 2 mit einer oberen ebenen Horizontalfläche 4, welche die Unterlage für die Koordinatenmeßmaschine bzw. das -gerät der vorliegenden Erfindung bildet. Solche Oberflächenplatten bestehen üblicherweise aus Granit, können aber auch irgendeinem anderen hinsichtlich, der Dimension stabilen Material bestehen, das mit einer im wesentlichen flachen oberen Oberfläche ausgebildet werden kann.

Ein Muster oder Probestück 18 ist in irgendeiner der drei zueinander senkrechten Koordinatenrichtungen von irgendeiner Stelle M in der Nachbarschaft der Obenflächenplatte aus bewegbar, wodurch Messungen längs einer oder mehrerer der drei Koordinatenachsen möglich sind. Viele Arten von Mustern oder Proben, die nach elektrischen, mechanischen oder optischen Prinzipien wirksam sind, kommen für die Anwendung in Betracht. Das veranschaulichte Muster ist ein solches, welches mit verschiedenen Teilen eines auf der Oberfläche 4 abgestutzten Werkstücks in Kontakt gebracht wird.

Eine lineare Führungsstange oder Leiste 6, die aus Granit bestehen kann, ist an der Oberflache 4 der Oberflächenplatte 2 an-

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geordnet. Der Zweck der Führungsleiste 6 besteht darin, einen Musterstützsockel 8 in einem linearen X-Achsenweg längs der Oberfläche 4 zu lenken.

Der Sockel 8 weist ein Paar von im Abstand zueinander befindlichen aufrechten Schenkeln 1o und 12 sowie einen Granitbalken.14 auf, der sich zwischen den zwei Schenkeln horizontal erstreckt. Ein Wagen 16 ist längs, des Balkens 14 in einem horizontalen Weg rechtwinklig zur Achse des linearen Führungsorganes 6 bewegbar. Das Muster 18 ist an einer vertikal bewegbaren Einrichtung 2o angebracht, die vom Wagen 16 gestützt wird.

Vorzugsweise werden hydrostatische Lager, wie Luftlager verwendet, um die verschiedenen, zwischen der Oberflächenplatte 2 und dem Muster 18 angeordneten Teile zu stützen und zu führen. Ein Vorteil solcher Lager besteht darin, daß sie mit Granit oder anderem steinartigen MaterMei gut zusammenarbeiten, die sehr kleine Ritzen oder Risse haben, dafür aber den Vorteil besitzen, daß sie in hochgenaue ebene und lineare Körper verformbar sind. Ein weiterer Vorteil von hydrostatischen Lagern ist, daß wenn sie richtig eingestellt sind, sie einen konstanten Abstand von g| der Oberfläche einhalten, auf die sie einwirken, wodurch beliebige Messungen mit solchen Maschinen oder Geräten wiederholbar sind. Ein weiterer Vorteil ist, daß sie Abrieb eliminieren, indem körperlicher Kontakt zwischen den im Verhältnis zueinander bewegbaren Elementen unterbunden wird. Hydrostatische Lager gestatten auch, das Abbremsen der relativ zueinander bewegbaren Elemente einfach dadurch, daß die Zufuhr von unter Druck befindlichem Fluidum zu den Lagern abgeschaltet wird.

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Wie "bei allen Koordinatenmeßmaschinen ist es notwendig, Mittel vorzusehen, um die zusätzlichen Abstände oder Strecken anzuzeigen, die von dem Muster durchschritten werden. Das offenbarte Ausführungsbeispiel der Erfindung weist drei Lehren oder Kaliber des unter dem Handelsnamen TRAV-A-DIAL verkauften Typs auf, der von der Southwestern Industries, Inc., Los Angeles, Californien in den Handel gebracht wird. Eine solche Meßvorrichtung ist den manufactures bulletin SV/I 193 zu entnehmen. Diese Kaliber oder Lehren weisen ein· Wälzkontaktlehrenrad auf, das gegen die Bezugsoberflache an dem angrenzenden und relativ dazu bewegbaren M Körper nachgiebig abgestützt ist.

Nach Mg. 1 hat das Kaliber 24 eine Kaliberwalze 26, die an der Oberfläche 28 des Führungsorganes 6 entlangläuft. Das Ausmaß der Bewegung zwischen dem Schenkel 1o und dem Organ 6 wird auf der Oberfläche des Anzeigers 3o angezeigt. Eine Bewegung zwischen dem Mihrungsorgan 6 und dem Schenkel 1o des Mustertragsockels läßt sich fein einstellen, indem der Handknopf 32 gedreht wird, der über ein Reduziergetriebe so wirkt, daß die · Kaliberwalze 26 formschlüssig in Drehung versetzt wird.

Der Schenkel 1o eines Sockels 8 wird auf dem Organ 6 mit Hilfe M von hydrostatischen Lagern geführt und gestützt. Wie aus den Fig. 1 und 2 zu entnehmen ist, ist ein Paar solcher Lager 36 bzw. 38 vorgesehen, die auf der oberen Oberfläche des Organes 6 laufen, um den Schenkel 1o zu stützen. Die Luftlager 4o und 42 laufen auf der vertikalen Oberfläche 44 der Pührungsstange 6, um den Schenkel 1o auf einer linearen Bahn zu führen.

Um richtig zu arbeiten, sollen-die hydrostatischen Lager so vorbelastet sein, daß zwischen der durch das Fluidum, das aus dem Lager austritt, erzeugten Kraft und einer Lastkraft Gleich-

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gewichtsbedingungen verwirklicht werden. Horizontal ausgerichtete Lager, wie 36 und 38, werden mittels des Gewichtes der Konstruktion vorbelastet, die sie abstützen. Andererseits stützen Lager, wie 4o und 42, die auf vertikal ausgerichtete Oberflächen einwirken, kein Gewicht ab und sollen deshalb mittels irgendwelcher nicht der Schwerkraft unterliegender Mittel belastet werden. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeisjiel ist diese Vorbelastung eine zufällige, aber wichtige Funktion der Kaliberwalze 26, die, wie früher erwähnt, gegen die Oberfläche 28 der Führungsleiste 6 nachgiebig abgestützt ist. Auf diese Weise belastet die mittels der Kaliberwalze gegen das Führungsorgan 6 ausgeübte Kraft die Luftlager 4o und 42 so vor, daß sie Gleichgewichtsbedingungen verwirklichen und den Schenkel 1o längs der vertikalen Oberfläche 44 des Führungsorganes 6 genau führen.

Der gegenüberliegende Schenkel 12 des Musterstützsockels hat ein einziges Luftlager 48, das auf einem hindernisfreien Teil der horizontalen Oberfläche 4 der Oberflächenplatte 2 läuft. Es versteht sich, daß die Anordnung der Lager am unteren Ende des Schenkels 1o den gesamten Sockel in einer festen Ausrichtung bezüglich des Führungsorganes 6 Mit und hierdurch die Notwendigkeit für zusätzliche Führungsmittel am unteren Ende des Schenkels 12 entbehrlich macht.

Hydrostatische Lager werden .außerdem benutzt, um den Wagen 16 für die Y-Achsenbewegung längs des Granitbalkens 14 zu stützen und führen. Das Gewicht des Wagens 16 wird von dem hydrostatischen Lager 5o aufgenommen, das auf der oberen horizontalen Oberfläche des Balkens 14 läuft. Ein weiteres Luftlager 52 läuft auf der oberen Oberfläche des Balkens 14. Die hydrostatischen Lager 56 und 58 befinden sich auf dem Wagen 16 und laufen

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längs der Stirnoberfläche-des Balkens 14, während die Lager und 62 längs deren rückwärtiger Oberfläche laufen. Der Zweck dieser Lager besteht natürlich darin, den Wagen 16 für eine Bewegung parallel zur Achse zum Balken 14 zu führen.

Die Stellung des Wagens 16 auf dem Balken 14 wird mit Hilfe einer Kalibriervorrichtung 64 ähnlich der bei 24 erörterten bestimmt. Der Anzeiger 66 zeigt die Einstellung oder den Ort des Wagens 16 an. Der Knopf 68 wird gedreht, um kleine Bewegungen des Wagens hervorzurufen. Die Pig. 1 zeigt ein dünnes Me- ύ tailstuck 72, das am Granitbalken 14 angebracht ist, um eine zweckentsprechende Oberfläche zu verwirklichen, über welche die Kaliberwalze des Kalibers 64 arbeiten kann.

Eine vertikale oder Z-Achsenbewegung des Musters wird durch eine Bewegung der Einrichtung 2o mit Bezug auf den Wagen 16 hervorgerufen. Aus den Pig. 3 und 4 ergibt sich, daß die Einrichtung 2o ein vertikales Arbeitsleistenelement 74 aufweist, das mittels Endstüoken 76 und 78 mit einer Stange 80 verbunden ist. Das Musterstüok 18 ist mit der Arbeitsleiste .74 starr verbunden. Aufwärts gerichtete Kräfte, welche den Gravitationskräften auf die Einrichtung 2o entgegenzuwirken suchen, werden M mittels der in Pig. 4 veranschaulichten Einrichtung hervorgerufen, wo, wie ersichtlich, die Stange 80 einen im Durchmesser vergrößerten oberen Teil 82 und einen im Durchmesser verkleinerten unteren Teil 84 besitzt. Ein zylindrisches hydrostatisches lager 86 führt daa obere Ende 82 der Stange, während das hydrostatische lager 88 das untere Ende 84 der Stange führt. Die Schulter 9o, die an der Verbindung der Teile 82 und 84 der Stange liegt, verwirklicht eine abwärts gerichtete äußere Oberfläche am oberen Ende der im wesentlichen geschlossenen Kammer 92. Bei

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-1ο-

. dieser Einrichtung wird durch die Einführung von Luft in die Kammer 92 eine Kraft erzeugt, welche die Stange 8o aufwärts zu "bewegen sucht. Die Kammer 92 wird für gewöhnlich dank des Luftlecks aus den Lagern 86 und 88 unter einem zumindest leichten Druck gehalten. Außerdem ist eine Lufteinlaßleitung 94 vorgesehen, die mit der Kammer 92 in Verbindung steht, um die häuptsächliche vertikale Vorbelastungskraft hervorzurufen. Der Leitung 94 wird Luft aus einem in Fig. 5 schematisch dargestellten Druckregler 96 zugeführt. Der R_egelhandgriff 98 für den Regler ergibt sich aus den Fig. 1 und 2. ·

Der Zweck dieses Reglers ist die Reglung und Aufrechterhaltung des Druckes innerhalb der Kammer 92 zur Herstellung und Gewährleistung der Größe der aufwärts gerichteten Kraft.

Die Arbeitsleiste 74 hat eine schwalbenschwanzförmige Nut, welche den Unterteil des Musters in der in Fig. 2 veranschaulichten Weise aufnimmt. Die Arbeitsleiste wird mit Hilfe von drei Luftlagern 1oo, 1o2 und 1o4 geführt. Las Luftlager 1oo wird mit Hilfe des Lehrenrades an der Lehre 1o6 vorbelastet, welche der Lehre 24 identisch ist. Die hydrostatischen Lager 1o2 und 1o4 arbeiten an entgegengesetzten Seiten der Arbeitsleiste 74 und belasten einander vor. Die Lehre 1o6 ist mit dem üblichen Feineinstellknopf 1o8 ausgestattet, der, wenn er gedreht wird, bewirkt, daß sich die das Muster tragende Einrichtung vertikal bewegt.

Die Luftlager 86 und 88 weisen Luftkammern 87 und 89 auf, die von porösen luftdurchwanderten Hülsen 91 und 93 abgedeckt sind. Vorzugsweise bestehen die Hülsen aus porösem Kupfer oder Bronze, die mit Hilfe herkömmlicher Elektropolitur - oder TJmkehrplattierverfahren hergestellt sind. Die biegsamen Leitungen 95 und

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97 versorgen diese Kammern 87 und 89 mit Luft. Me anderen in diesem Gerät verwendeten Luftlager arbeiten nach, gleichartigem Prinzip, haben aber poröse Körper mit ebenen Oberflächen. Vorzugsweise sind diese Luftlager mit einem Gehäuse ausgestattet, das an der rückwärtigen Oberfläche des porösen Körpers eine Luftkammer bildet, weil die Gehäuse allseitig so gelagert sind, daß die flache Außenfläche der porösen Oberfläche eine zur Oberfläche, auf der sie läuft, parallele Stellung einnehmen kann.

Unter gewissen Umständen ist erwünscht, ein Muster mit der zy- % lindrischen Stange 8o unmittelbar zu verbinden. Beispielsweise wird das Muster, wenn es auf einer gekrümmten Bahn in horizontalen Ebenen schwingen soll, an der Stange 8o angebracht, welche dann mit den Organen 76 und 78 drehbar verbunden wird.

Während des Verlaufes des Messens oder Auslegens eines Werk- . '. stücks mit Hilfe des Gerätes nach der vorliegenden Erfindung ist es oft wünschenswert, das Muster an seiner Bewegung längs einer oder mehrerer seiner Koordinatenachsen zu hindern. Dem offenbarten Gerät kann eine solche Fähigkeit leicht verliehen werden, indem Ventile vorgesehen werden, welche die den ausgewählten Lagern zufließende Luft absperren. Die Betätigungshebel M für diese Ventile sind bei 11o, 112 und 114 (Fig. 1) zu sehen, wo sie am Schenkel 1o angeordnet sind. Die Ventile selbst sind in der schematischen Darstellung der Luftversorgung in Fig. 5 bei 116, 118 und 12o erkennbar. Dort ist zu sehen, daß durch Schließen der Ventile, 116, die vom Vesorgungsabzweigungsstück 122 ankommende Luft von den Lagern 36, 38, 4o, 42 und 48 abgesperrt wird, die für gewöhnlich gestatten, daß sich das Muster in einer Richtung längs der X-Achse bewegt. In gleicher Weise verhindert das Schließen des Ventils 118 die Y-Achsenbewegung des Wagens 16 längs des Balkens 14, wenn die Lager 5o, 52, 56, 58, 6o und 62 außer Wirksamkeit gesetzt werden.

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Eine Z-Achsenbewegung kann jedoch nicht einfach durch Absperren der Luftversorgung zu den entsprechenden Lagern angehalten werden, da der Einfluß der Schwerkraft auf die Musterstützeinrichtung2o zulassen würde, daß das Musterin seine unterste Stellung fällt. TJm dies zu vermeiden, wird die Einrichtung 2o von gravitationsbedingter Bewegung einfach dadurch mittels Reibung abgehalten, daß nur eines der Paare von Lagern außer Tätigkeit gesetzt wird, das auf entgegengesetzte Seiten der Einrichtung 2o wirkt. Bei Anwendung dieser Maßnahmen auf die Ausführungsfirm gemäß der vorliegenden Offenbarung wird der Schalter 12o dazu benutzt, die Luftversorgung zum Bremslager 1o4 abzusperren. Ist dies geschehen, bewegt sich die Arbeitsleiste 74 unter dem Einfluß von durch das ständig wirksame Lager 1o2 erzeugten Kräften eine kleine Strecke weit, bis es unter Reibung eine stationäre Oberfläche angreift, welche das außer Tätigkeit gesetzte Lager 1o4 sein kann. Da die das Muster stützende Einrichtung 2o infolge der früher erläuterten pneumatischen Gegenausgleichseinrichtung ein verhältnismäßig kleines oder negatives wirksames Gewicht hat, reicht diese Reibungskraft aus, sie in einer -festen Stellung zu halten.

Bei der vorliegenden Beschreibung ist nur eine mögliche Ausführungsform behandelt worden, die mehrere wichtige Merkmale und Maßnahmen gemäß der vorliegenden Erfindung aufweist. Es versteht sich aber ohne weiteres, daß ein Fachmann auch Maschinen oder Geräte der vorliegenden Art entwerfen und entwickeln kann, die in vielerlei Hinsjtht wesentlich abweichen. Demzufolge ist die vorliegende Erfindung nicht auf die einzige, oben geschilderte Ausführungsform beschränkt, sondern umfaßt auch diejenigen Abwandlungen, Verbesserungen und Ersatz, die in den Umfang der nachfolgenden Ansprüche fallen.

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Claims (1)

1. Patentansprüche:

   /*Λ '■'-■

   ί 1 J KoordinatenmeßgerMt zur Anordnung an eine Platte ebener .Oberfläche, mit

   a) einem linearen Führungsorgan, das während der Messung in einer festen Stellung an einer Oberflächenplatte liegen kann,

   b) einen bewegbaren Musterstützsockel, der vom linearen Führungsorgan derart geführt wird, daß er einem Weg parallel zum linearen Führungsorgan folgt,

   c) ein auf dem Sockel abgestütztes Meßmuster, und

   d) Mittel zum Anzeigen zusätzlicher Strecken, über welche sich der Sockel längs dieses Weges bewegt.

   2. Gerät nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch den Sockel stützende hydrostatische Lager.

   3. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Sockel einen ersten Schenkel aufweist, der sich längs des linearen Führungsorganes bewegen kann, einen zweiten Sehenkel im Abstand von dem linearen Führungsorgan» einen die Schenkel miteinander verbindenden Balken, und einen längs des Balkens in horizontaler !Richtung rechtwinklig zum

   • linearen Führungsorgan bewegbaren Wagen, wobei das Muster auf dem Wagen abgestützt wird.

   4. Gerät nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch hydrostatische Lager, die zwischen dem Sockel und dem linearen Organ wirksam sind, und hydrootatische Lager, die zwischen dem Balken und dem Wagen wirksam nind.

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   5. Gerät nach Anspruch. 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Muster relativ zum Wagen längs eines Weges rechtwinklig sowohl zur Bewegungsrichtung des Wagens als auch zum linearen Mhrungsorgan bewegbar ist.

   6. Gerät nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch hydrostatische Lager, die zwischen den folgenden Paaren von Teilen angeordnet sind

   a) dem Sockel und dem linearen Organ,

   b) dem Balken und dem Wagen,

   c) dem Muster und dem Wagen. ·

   7. Koordinatenmeßgerät, gekennzeichnet durch

   a) eine ebene Oberfläche zur Abstützung eines Werkstücks,

   b) einen bewegbaren Musterstützsockel mit einem Paar von im Abstand angeordneten Schenkeln und einem sich zwischen den Schenkeln oberhalb der ebenen Oberfläche erstreckenden Balken,

   c) einem auf den Balken abgestützten Muster,

   d) einen der Schenkel bewegbar über einen unbeschränkten Teil der ebenen Oberfläche,

   e) Mittel zur Führung des anderen dieser Schenkel längs eines linearen Weges, während für ihn eine feste Ausrichtung beibehalten wird, und

   f) Mittel zum Anzeigen des Ausmaßes zusätzlicher Bewegung des Sockels längs seines linearen Weges.

   8. Gerät nach Anspruch 7, gekennzeichnet durch hydrostatische Lager, die mindestens einen der S_chenkel abstützen.

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   9. SerHt nach Anspruch. 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Muster auf einem Wagen abgestützt wird, der längs des Balkens auf einem Weg bewegbar ist, der rechtwinklig zum zuvor erwähnten linearen Weg und parallel zur ebenen Oberfläche liegt.

   To. Gerät nach Anspruch 9, gekennzeichnet durch hydrostatische Lager, welche die Schenkel abstützen, sowie durch hydrostatische Lager, die zwischen dem Balken und dem Wagen wirksam sind.

   11. Gerät nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Must ei* auf dem Wagen zur Bewegung auf.einem Weg rechtwinklig zur ebenen Oberfläche abgestützt ist.

   12. Gerät nach Anspruch 11, gekennzeichnet durch hydrostatische' Lager, welche · die Schaikel abstützen, hydrostatische Lager, welche zwischen dem Wagen und dem Balken wirksam sind, und hydrostatische Lager, welche zwischen dem Wagen und dem Muster wirksam sind.

   13. Gerät nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Muster auf dem Wagen mit Hilfe von einem Paar passend dazwischen angeordneten Teleskopgliedern abgestützt ist, von denen das eine an dem Muster angebracht ist und mindestens einen Teil einer Musterträgereinrichtung bildet, während das andere der Teleskoporgane an dem Wagen angebracht ist, ferner eine im wesentlichen geschlossene Kammer zwischen den Teleskoporganen vorgesehen ist, wobei das eine Teleskoporgan eine abwärts weisende Pläcüe innerhalb der Kammer besitzt, deren aufwärts weisende Fläche, falls vorhanden, sich innerhalb der Kammer erstreckt, sowie Mittel zur Regelung des Druckes innerhalb der Kammer, um hierdurch die von dem Fluidum auf das eine Teleskoporgan ausgeübte aufwärts gerichtete Kraft zu regeln.

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   14. Gerät nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel zum Anzeigen des Ausmaßes von zusätzlicher Bewegung dee Sockels aus einer Lehre "bestehen, die eine Walze hat, die gegen eine erste stationäre'Oberfläche vorgespannt ist, die dem linearen Weg parallel liegt, und außerdem hydrostatische Lagermittel am Sockel angebracht sind, die auf eine zweite stationäre Oberfläche einwirken können, die in einer Richtung entgegengesetzt zur ersten stationären Oberfläche weist, wodurch die Vorbelastung der Walzen eine Kraft hervorruft, die gegen das hydrostatische Lager wirkt und es vorbelastet.

   15. Gerät.nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß beide stationäre Oberflächen in vertikalen Ebenen angeordnet sind.

   16. Gerät nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß das Muster unmittelbar mit einem Teil verbunden ist, das sich parallel zu und im seitlichen Abstand von dem einen Teleskoporgan befindet, ferner Mittel vorgesehen sind, welche das Teil und das eine Teleskoporgan verbinden, weiter hydrostatische Lagermittel vorgesehen sind, die auf entgegengesetzte Seiten des Teiles einwirken und es in vertikaler Bewegung führen, sowie daß Mittel vorgesehen sind, um die Lagermittel auf nur einer Sei.te des Teiles außer Tätigkeit zu setzen, um hierdurch an der einen Seite des Teiles eine Reibungsbremswirkung hervorzurufen.

   17. Koordinatenmeßgerät, gekennzeichnet durch eine ebene Oberfläche, ein Musterstützorgan, das parallel der ebenen Oberfläche bewegbar ist, sowie ein_cMuster, das an dem Muster-

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   .- 17 -

   stützorgan mit Hilfe eines Paares von passend dazwischen angeadneten Teleskoporganen angestützt ist, ferner dadurch, daß eines der Teleskoporgane an dem Muster angebracht ist, während das andere der Teleskoporgane an dem Wagen angebracht ist, weiter durch eine im wesentlichen geschlossene Kammer, die zwischen den Teleskoporganen gebildet Js±, wobei das eine Teleskoporgan einen abwärts weisenden Bereich innerhalb der Kammer besitzt, der seinen aufwärts weisenden Bereich, falls vorhanden, innerhalb der Kammer überschreitet, M und Mittel vorgesehen sind, um den Druck innerhalb der Kammer zu regeln, damit die auf das eine Teleskoporgan durch Fluidum in der Kammer ausgeübte aufwärts gerichtete Kraft geregelt wird.

   18. Gerät nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Teleskoporgane relativ zueinander drehbar sind.

   19. Gerät nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß das Muster mit einem Teil unmittelbar verbunden ist, das sich parallel zu und in seitlichem Abstand von dem einen Teleskoporgan befindet, und Mittel vorgesehen sind, um das Element λ und das eine Teleskoporgan zu verbinden. ■ ■ ™

   20. Gerät nach Anspruch 19» dadurch gekennzeichnet, daß hydrostatische lager vorgesehen sind, um die Achse des Teiles in einer festen Ausrichtung zu halten.

   die

   21t Gerät nach Anspruch 2o, dadurch gekennzeichnet, daß hydrostatischen Lager zur Aufrechterhaltung der Achse des Teiles in einer festen Stellung auf entgegengesetzte Seiten dieses Teiles einwirken und Mittel vorgesehen aind, um die Lager-

   BAD ORIGINAL

   mittel an nur einer Seite dieses Teiles außer Tätigkeit zu setzen, wodurch an der einen Seite des Teiles eine Reibungsbremswirkung hervorgerufen wird.

   22. Meßgerät, gekennzeichnet durch ein erstes Teil, das eine konstante Ausrichtung mit Bezug auf ein Werkstück aufrechterhält, ein zweites Teil, das ein Muster trägt und eine Bewegung längs des ersten Teiles ausführen kann, eine Lehre, die einen Körper hat, der an einem der Teile angebracht ist, und eine Lehrenwalze, die gegen eine erste Oberfläche an dem anderen der Teile vorbelastet ist, weiter, hydrostatische Lager vorgesehen sind, die zwischen dem einen Teil und einer zweiten Oberfläche an dem anderen dieser Teile wirken, wobei die ersten und zweiten Oberflächen in entgegengesetzte Richtungen weisen.

   23. Meßgerät, gekennzeichnet durch ein vertikal bewegbares Teil, ein Muster, das mit dem Teil verbunden und mit ihm bewegbar ist, hydrostatische Lagermittel, die gegen entgegengesetzte Seiten des Teiles wirken, um das Teil in vertikaler linearer Bewegung z.u führen, und Mittel, um die Lagermittel

   •an nur einer Seite des Teiles außer Tätigkeit zu setzen, ■
   um hierdurch gegen die eine Seite des Teiles eine Reibungsbremswirkung hervorzurufen.

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