DE19928190A1 - Piezoaktor - Google Patents
PiezoaktorInfo
- Publication number
- DE19928190A1 DE19928190A1 DE19928190A DE19928190A DE19928190A1 DE 19928190 A1 DE19928190 A1 DE 19928190A1 DE 19928190 A DE19928190 A DE 19928190A DE 19928190 A DE19928190 A DE 19928190A DE 19928190 A1 DE19928190 A1 DE 19928190A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- electrodes
- piezo
- outer electrode
- electrode
- piezo actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 10
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 abstract 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 3
- 229910020658 PbSn Inorganic materials 0.000 description 2
- 101150071746 Pbsn gene Proteins 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910020816 Sn Pb Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020922 Sn-Pb Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910008783 Sn—Pb Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 235000013550 pizza Nutrition 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/872—Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Fuel-Injection Apparatus (AREA)
Abstract
Es wird ein Piezoaktor, beispielsweise zur Betätigung eines mechanischen Bauteils, vorgeschlagen, der einen Mehrschichtaufbau von Piezolagen und dazwischen angeordnete Innenelektroden (2, 3) aufweist. Eine erste Außenelektrode (6) ist als eine leitende Fläche auf jeweils einer Seitenfläche angebracht, die mit den jeweiligen Innenelektroden (2, 3) kontaktiert ist und eine zweite netz- oder gewebeartige Außenelektrode (7) ist auf der ersten (6) angeordnet. In den Bereichen der Piezolagen, die jeweils eine an der jeweils gegenüberliegenden Seite kontaktierte Innenelektrode (2, 3) aufweisen, ist eine passive Zone (10) ohne Innenelektrodenschicht vorhanden. Das keramische Piezomaterial zumindest in der passiven Zone (10) und das Material der zweiten Außenelektroden (7) weisen dabei einen nahezu gleichen Temperaturausdehnungskoeffizienten auf, wodurch der Einfluss von mechanischen Spannungen im Piezoaktor vermindert werden kann.
Description
Die Erfindung betrifft einen Piezoaktor, beispielsweise
zur Betätigung eines mechanischen Bauteils wie ein Ventil
oder dergleichen, nach den gattungsgemäßen Merkmalen des
Hauptanspruchs.
Es ist allgemein bekannt, dass unter Ausnutzung des soge
nannten Piezoeffekts ein Piezoelement aus einem Material
mit einer geeigneten Kristallstruktur aufgebaut werden
kann. Bei Anlage einer äußeren elektrischen Spannung er
folgt eine mechanische Reaktion des Piezoelements, die in
Abhängigkeit von der Kristallstruktur und der Anlagebe
reiche der elektrischen Spannung einen Druck oder Zug in
eine vorgebbare Richtung darstellt. Der Aufbau dieses
Piezoaktors kann hier in mehreren Schichten erfolgen
(Multilayer-Aktoren), wobei die Elektroden, über die die
elektrische Spannung aufgebracht wird, jeweils zwischen
den Schichten angeordnet werden.
Solche Piezoaktoren könne beispielsweise für den Antrieb
von Schaltventilen bei Kraftstoffeinspritzsystemen in
Kraftfahrzeugen vorgesehen werden. Beim Betrieb des Pie
zoaktors ist hier insbesondere darauf zu achten, dass
durch mechanische Spannungen im Lagenaufbau auch keine
störenden Rissbildungen im Bereich der äußeren Anschlus
selektroden entstehen. Da die jeweils an einer Seite kon
taktierten Innenelektroden kammartig in den Lagenaufbau
integriert sind, müssen die in Richtung des Lagenaufbaus
aufeinanderfolgenden Elektroden jeweils abwechseln an ge
genüberliegen Seiten kontaktiert werden. Bei einer Betä
tigung des Piezoaktors, d. h. bei Anlage einer Spannung
zwischen den im Lagenaufbau gegenüberliegenden Innenelek
troden treten unterschiedliche mechanische Kräfte im Be
reich der Innenelektroden sowie im Bereich der Kontaktie
rungen an den Außenelektroden auf, die zu mechanischen
Spannungen und dadurch zu Rissen in den Außenelektroden
führen können.
Der eingangs beschriebene Piezoaktor, der beispielsweise
zur Betätigung eines mechanischen Bauteils verwendbar
sein kann, ist in vorteilhafter Weise dadurch weiterge
bildet, dass bei einem Mehrschichtaufbau von keramischen
Piezolagen und dazwischen angeordneten Innenelektroden,
als eine erste Außenelektrode eine leitende Fläche auf
jeweils einer Seitenfläche angebracht ist, die mit den
jeweiligen Innenelektroden kontaktiert ist und eine zwei
te netz-, gewebeartige oder gewellte Außenelektrode auf
der ersten angeordnet ist. Die zweite Außenelektrode ist
zumindest punktweise mit der ersten kontaktiert, wobei
zwischen den Kontaktierungen dehnbare Bereiche zu liegen
kommen.
In den Bereichen zwischen zwei Piezolagen, die jeweils
eine an der jeweils gegenüberliegenden Seite kontaktierte
Innenelektrode aufweisen, ist eine passive Zone ohne In
nenelektrodenschicht vorhanden, wobei erfindungsgemäß das
keramische Piezomaterial zumindest in der passiven Zone
und das Material der zweiten Außenelektrode einen nahezu
gleichen Temperaturausdehnungskoeffizienten aufweisen.
Die erste Außenelektrode kann eine dünne, z. B. einige µm
dicke Schicht aus Ni, Ni+Cu oder Ni+PbSn sein, die direkt
auf der Oberfläche des Piezoaktors haftet; die zweite Au
ßenelektrode ist hier zum Schutz gegen Querrisse angeord
net, die die Stromleitung in der Außenelektrode unterbre
chen kann. Die Querrisse können an der ersten Außenelek
trode durch Delamination in den Innenelektroden, infolge
von Zugspannungen in den Piezolagen in den passiven Zo
nen, entstehen. Durch die Anordnung der netzartigen zwei
ten Außenelektrode werden die Querrisse gestoppt und die
ev. in der ersten Außenelektrode unterbrochene Stromlei
tung überbrückt.
Außerdem kommt es bei schnellen Temperaturwechseln von
beispielsweise -40°C bis +160°C im Piezoaktor auch ev. zu
Ablösungen zwischen der ersten Außenelektrode und der
Piezokeramik infolge zu großer Schubspannungen, wenn die
Temperaturausdehnungskoeffizienten des Piezokeramikmate
rials und des Materials der Außenelektroden zu sehr von
einander abweichen. Insbesondere die zweite Außenelektro
de würde dann wegen der größeren Dicke (ca. 100 µm) im
Vergleich zur ersten Schicht (ca. 5 µm) große Schubkräfte
erzeugen.
In besonders vorteilhafter Weise können die mechanischen
Spannungen im Piezoaktor vermindert werden, wenn die ke
ramischen Piezolagen und die zweiten Außenelektroden ei
nen annähernd übereinstimmenden Temperaturausdehnungs
koeffizienten von ca. 1.10-6.1/K bis 10.10-6.1/K
aufweisen. Als Herstellungsmaterial kommt dabei für die
keramischen Piezolagen Bleizirkonattitanat und für die
zweiten Außenelektroden Eisen-Nickel-Legierungen, z. B.
Invar, in Frage. Zur Verbesserung der Lötbarkeit dieses
Materials kann es zunächst mit einer dünnen (z. B. 5 10 µm)
Schicht aus Kupfer beschichtet werden. Danach kann
eine Sn-Pb-Lotschicht aufgebracht werden, um die zweite
Außenelektrode auf die erste aufzulöten.
Diese und weitere Merkmale von bevorzugten Weiterbildun
gen der Erfindung gehen außer aus den Ansprüchen auch aus
der Beschreibung und den Zeichnungen hervor, wobei die
einzelnen Merkmale jeweils für sich allein oder zu mehre
ren in Form von Unterkombinationen bei der Ausführungs
form der Erfindung und auf anderen Gebieten verwirklicht
sein und vorteilhafte sowie für sich schutzfähige Ausfüh
rungen darstellen können, für die hier Schutz beansprucht
wird.
Ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Piezoaktors
wird anhand der Zeichnung erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 einen Schnitt durch einen Piezoaktor mit ei
nem Mehrschichtaufbau von Lagen aus Pizokeramik und
Innenelektroden sowie einer netzartigen Außenelek
trode auf einer ersten flächigen Außenelektrode;
Fig. 2 eine Draufsicht auf die netzartige Außene
lektrode nach der Fig. 1 und
Fig. 3 einen Detailschnitt durch den Lagenaufbau
und die Außenelektroden in passiven Zonen der Piezo
lagen mit den dort durch auftretende mechanische
Schub- und Querspannungen entstehenden Rissen.
In Fig. 1 ist ein Piezoaktor 1 gezeigt, der in an sich
bekannter Weise aus Piezofolien eines Keramikmaterials
mit einer geeigneten Kristallstruktur aufgebaut ist, so
dass unter Ausnutzung des sogenannten Piezoeffekts bei
Anlage einer äußeren elektrischen Spannung an Innenelek
troden 2 und 3 eine mechanische Reaktion des Piezoaktors
1 erfolgt. Aus Fig. 2 ist eine Seitenansicht dieser An
ordnung zu entnehmen.
Mit den Innenelektroden 2 und 3 steht eine erste flächige
Außenelektrode 6 in Kontakt, die wiederum mit einer zwei
ten netzartigen Außenelektrode 7 über Punktkontakte 8,
beispielsweise durch Löten oder Schweißen, kontaktiert
ist. Die erste Außenelektrode 6 kann eine dünne, z. B. ei
nige µm dicke, Schicht aus Ni, Ni+Cu oder Ni+PbSn sein,
die direkt auf der Oberfläche des Piezoaktors 1 haftet.
Beim Detailschnitt nach Fig. 3 ist der Lagenaufbau und
sind die seitlich anliegenden Außenelektroden 6 und 7
nach den Fig. 1 und 2 deutlich zu erkennen. Es ist
hier eine passive Zone 10 angedeutet, in der das elektri
sche Feld gemäß der Pfeile 11 nicht stark ausgeprägt ist,
wodurch die Dehnung des Piezoaktors 1 nicht frei erfolgt
sondern über Zugspannung im Keramikmaterial des Piezoak
tors 1 erzwungen wird. Dadurch können Delaminationen 12
entstehen, die hier an einigen Innenelektroden 3 angedeu
tet sind. Die Delamination 12 kann dabei in einen Riss 13
in der ersten Außenelektrode 6 übergehen. Allerdings wird
der Riss 13 durch die netzartige zweite Außenelektrode 7
gestoppt und leitend überbrückt.
Weiterhin sind in der Fig. 3 auch Schubrisse 14 angedeu
tet, die zwischen dem Keramikmaterial der Piezolagen und
der ersten Außenelektrode 6 durch unterschiedliche Tempe
raturausdehnung der Pizokeramik und der zweiten Außene
lektrode 7 entstehen können. Die relativ dünne erste Au
ßenelektrode 6 hat hier keinen großen Einfluss.
Claims (4)
1. Piezoaktor, mit
- - einem Mehrschichtaufbau von keramischen Piezolagen und dazwischen angeordneten Innenelektroden (2, 3),
- - einer wechselseitigen seitlichen Kontaktierung der In nenelektroden (2, 3) über Außenelektroden (6, 7), über die eine elektrische Spannung zuführbar ist, wobei
- - als eine erste Außenelektrode (6) eine leitende Fläche auf jeweils einer Seitenfläche angebracht ist, die mit den jeweiligen Innenelektroden (2, 3) kontaktiert ist und eine zweite netz-, gewebeartige oder gewellte Au ßenelektrode (7) auf der ersten (6) angeordnet ist, wobei die zweite Außenelektrode zumindest punktweise mit der ersten (6) kontaktiert ist und wobei zwischen den Kontaktierungen dehnbare Bereiche zu liegen kommen und wobei
- - in den Bereichen der Piezolagen, die jeweils eine an der jeweils gegenüberliegenden Seite kontaktierte In nenelektrode (2, 3) aufweisen eine passive Zone (10) ohne Innenelektrodenschicht vorhanden ist und das ke ramische Piezomaterial zumindest in der passiven Zone (10) und das Material der zweiten Außenelektroden (7) einen nahezu gleichen Temperaturausdehnungskoeffizien ten aufweisen.
2. Piezoaktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass
- - die keramischen Piezolagen und die zweiten Außenelek troden (7) einen Temperaturausdehnungskoeffizienten von ca. 1.10-6.1/K bis 10.10-6.1/K aufweisen.
3. Piezoaktor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
dass
- - die keramischen Piezolagen aus Bleizirkonattitanat sind.
4. Piezoaktor nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekenn
zeichnet, dass
- - die zweiten Außenelektroden (7) aus einer Eisen- Nickel-Legierung, gegebenenfalls mit einer Kupferbe schichtung, hergestellt sind.
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19928190A DE19928190A1 (de) | 1999-06-19 | 1999-06-19 | Piezoaktor |
JP2001505073A JP4996026B2 (ja) | 1999-06-19 | 2000-06-19 | 圧電アクチュエータ |
KR1020017001954A KR100692884B1 (ko) | 1999-06-19 | 2000-06-19 | 열팽창에 적응하는 외부 전극을 갖는 압전 액추에이터 |
US09/763,257 US6507140B1 (en) | 1999-06-19 | 2000-06-19 | Piezoelectric actuator with an outer electrode that is adapted for thermal expansion |
EP00949090A EP1110250B1 (de) | 1999-06-19 | 2000-06-19 | Piezoaktor mit wärmedehnungsangepasster aussenelektrode |
CZ20010578A CZ301214B6 (cs) | 1999-06-19 | 2000-06-19 | Piezoelektrický ovladac |
DE50007677T DE50007677D1 (de) | 1999-06-19 | 2000-06-19 | Piezoaktor mit wärmedehnungsangepasster aussenelektrode |
PCT/DE2000/001930 WO2000079608A1 (de) | 1999-06-19 | 2000-06-19 | Piezoaktor mit wärmedehnungsangepasster aussenelektrode |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19928190A DE19928190A1 (de) | 1999-06-19 | 1999-06-19 | Piezoaktor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19928190A1 true DE19928190A1 (de) | 2001-01-11 |
Family
ID=7911892
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19928190A Ceased DE19928190A1 (de) | 1999-06-19 | 1999-06-19 | Piezoaktor |
DE50007677T Expired - Lifetime DE50007677D1 (de) | 1999-06-19 | 2000-06-19 | Piezoaktor mit wärmedehnungsangepasster aussenelektrode |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE50007677T Expired - Lifetime DE50007677D1 (de) | 1999-06-19 | 2000-06-19 | Piezoaktor mit wärmedehnungsangepasster aussenelektrode |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6507140B1 (de) |
EP (1) | EP1110250B1 (de) |
JP (1) | JP4996026B2 (de) |
KR (1) | KR100692884B1 (de) |
CZ (1) | CZ301214B6 (de) |
DE (2) | DE19928190A1 (de) |
WO (1) | WO2000079608A1 (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1808908A2 (de) * | 2006-01-13 | 2007-07-18 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelektisches Vielschichtbauelement und Herstellungsverfahren dafür |
US7268468B2 (en) | 2002-12-13 | 2007-09-11 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelectric actuator and a method for producing it |
DE102008003840A1 (de) | 2008-01-10 | 2009-07-16 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor mit flexiblen Außenelektroden |
DE102015102866A1 (de) * | 2015-02-27 | 2016-09-01 | Epcos Ag | Elektrischer Anschlusskontakt für ein keramisches Bauelement, keramisches Bauelement und Bauelementanordnung |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10017975A1 (de) * | 2000-04-11 | 2001-10-25 | Bosch Gmbh Robert | Piezoelektrischer Vielschichtaktor |
JP3964184B2 (ja) * | 2000-12-28 | 2007-08-22 | 株式会社デンソー | 積層型圧電アクチュエータ |
DE10207530A1 (de) * | 2002-02-22 | 2003-09-11 | Epcos Ag | Piezoaktor mit strukturierter Außenelektrode |
DE10327902A1 (de) * | 2002-07-19 | 2004-06-24 | Ceramtec Ag Innovative Ceramic Engineering | Außenelektrode an einem piezokeramischen Vielschichtaktor |
DE10259949A1 (de) * | 2002-12-20 | 2004-07-01 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor |
EP2012374B1 (de) * | 2003-09-24 | 2012-04-25 | Kyocera Corporation | Mehrschichtiges piezoelektrisches Element |
US7633214B2 (en) * | 2003-09-24 | 2009-12-15 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element |
DE102004004737A1 (de) * | 2004-01-30 | 2005-08-18 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung |
JP2006303044A (ja) | 2005-04-18 | 2006-11-02 | Denso Corp | 積層型圧電体素子 |
CN101405882B (zh) | 2006-03-31 | 2011-06-15 | 株式会社村田制作所 | 压电致动器 |
DE102006026643A1 (de) * | 2006-06-08 | 2007-12-13 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelekterischer Aktor |
US7679273B2 (en) * | 2006-07-31 | 2010-03-16 | Delphi Technologies, Inc. | Strain tolerant metal electrode design |
JP5139448B2 (ja) * | 2007-12-26 | 2013-02-06 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子、これを用いた噴射装置及び燃料噴射システム |
WO2009125553A1 (ja) * | 2008-04-11 | 2009-10-15 | 株式会社村田製作所 | 積層型圧電アクチュエータ |
DE102008062021A1 (de) * | 2008-08-18 | 2010-03-04 | Epcos Ag | Piezoaktor in Vielschichtbauweise |
DE102014214018A1 (de) | 2014-07-18 | 2016-01-21 | Continental Automotive Gmbh | Piezobauelement, Kontaktierungsbauelement zum elektrischen Kontaktieren eines Piezostapels und Verfahren zum Herstellen eines solchen Piezobauelements |
DE102018104459A1 (de) * | 2018-02-27 | 2019-08-29 | Tdk Electronics Ag | Vielschichtbauelement mit externer Kontaktierung |
JP7211577B2 (ja) * | 2018-02-28 | 2023-01-24 | 太陽誘電株式会社 | 圧電アクチュエータ、振動発生装置、及び電子機器 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19646676C1 (de) * | 1996-11-12 | 1998-04-23 | Siemens Ag | Piezoaktor mit neuartiger Kontaktierung und Herstellverfahren |
EP0844678A1 (de) * | 1996-11-25 | 1998-05-27 | CeramTec AG Innovative Ceramic Engineering | Aussenelektrode für einen monolithischen Vielschichtaktor |
DE19753930A1 (de) * | 1997-12-05 | 1999-06-10 | Ceramtec Ag | Verfahren zur Anbringung von Außenelektroden an Festkörperaktoren |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3378393D1 (en) * | 1982-05-11 | 1988-12-08 | Nec Corp | Multilayer electrostrictive element which withstands repeated application of pulses |
US4871938A (en) * | 1988-06-13 | 1989-10-03 | Digital Instruments, Inc. | Positioning device for a scanning tunneling microscope |
JPH02143474A (ja) * | 1988-11-24 | 1990-06-01 | Nec Corp | 圧電素子の熱膨張特性安定化方法 |
JP2849615B2 (ja) * | 1989-05-31 | 1999-01-20 | 株式会社トーキン | 積層型圧電アクチュエータ |
JP3039971B2 (ja) * | 1989-09-19 | 2000-05-08 | 株式会社日立製作所 | 接合型圧電装置及び製造方法並びに接合型圧電素子 |
JPH04340778A (ja) * | 1991-01-30 | 1992-11-27 | Nec Corp | 積層圧電アクチュエータ素子 |
JPH04343282A (ja) * | 1991-05-21 | 1992-11-30 | Nec Corp | 圧電効果素子および電歪効果素子 |
CZ380591A3 (cs) * | 1991-12-16 | 1993-07-14 | Elektrotechnicky Ustav Sav | Integrovaný senzor fyzikálnych a chemických veli čin |
US5199004A (en) * | 1992-05-28 | 1993-03-30 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Sealed acoustical element using conductive epoxy |
JPH0620874A (ja) * | 1992-07-03 | 1994-01-28 | Hitachi Metals Ltd | 可変静電容量素子 |
JPH06291587A (ja) * | 1992-07-08 | 1994-10-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電振動子 |
JP2915716B2 (ja) * | 1992-08-26 | 1999-07-05 | ティーディーケイ株式会社 | 電子部品 |
US5478978A (en) * | 1993-02-25 | 1995-12-26 | The Center For Innovative Technology | Electrical switches and sensors which use a non-toxic liquid metal composition |
US5406164A (en) * | 1993-06-10 | 1995-04-11 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Multilayer piezoelectric element |
EP0651449B1 (de) * | 1993-11-01 | 2002-02-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Elektronische Anordnung und Verfahren zur Herstellung |
JPH07226544A (ja) * | 1994-02-10 | 1995-08-22 | Nippondenso Co Ltd | 積層型圧電体 |
JPH07226644A (ja) * | 1994-02-16 | 1995-08-22 | Murata Mfg Co Ltd | エネルギー閉じ込め型圧電共振子 |
DE19650900A1 (de) | 1996-12-07 | 1998-06-10 | Bosch Gmbh Robert | Piezoelektrischer Aktuator |
JPH118526A (ja) * | 1997-04-25 | 1999-01-12 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子およびそれを用いた電子部品 |
DE19802302A1 (de) * | 1998-01-22 | 1999-07-29 | Bosch Gmbh Robert | Piezoelektrischer Aktor |
JPH11341838A (ja) * | 1998-05-20 | 1999-12-10 | Tokin Ceramics Corp | 積層型圧電アクチュエータ |
JP2001037262A (ja) * | 1999-07-23 | 2001-02-09 | Minolta Co Ltd | 圧電変換素子及び圧電変換素子を使用したアクチエータ |
-
1999
- 1999-06-19 DE DE19928190A patent/DE19928190A1/de not_active Ceased
-
2000
- 2000-06-19 KR KR1020017001954A patent/KR100692884B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2000-06-19 EP EP00949090A patent/EP1110250B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-06-19 WO PCT/DE2000/001930 patent/WO2000079608A1/de active IP Right Grant
- 2000-06-19 CZ CZ20010578A patent/CZ301214B6/cs not_active IP Right Cessation
- 2000-06-19 JP JP2001505073A patent/JP4996026B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2000-06-19 US US09/763,257 patent/US6507140B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-06-19 DE DE50007677T patent/DE50007677D1/de not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19646676C1 (de) * | 1996-11-12 | 1998-04-23 | Siemens Ag | Piezoaktor mit neuartiger Kontaktierung und Herstellverfahren |
EP0844678A1 (de) * | 1996-11-25 | 1998-05-27 | CeramTec AG Innovative Ceramic Engineering | Aussenelektrode für einen monolithischen Vielschichtaktor |
DE19753930A1 (de) * | 1997-12-05 | 1999-06-10 | Ceramtec Ag | Verfahren zur Anbringung von Außenelektroden an Festkörperaktoren |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7268468B2 (en) | 2002-12-13 | 2007-09-11 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelectric actuator and a method for producing it |
EP1808908A2 (de) * | 2006-01-13 | 2007-07-18 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelektisches Vielschichtbauelement und Herstellungsverfahren dafür |
EP1808908A3 (de) * | 2006-01-13 | 2008-04-09 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelektisches Vielschichtbauelement und Herstellungsverfahren dafür |
US7538475B2 (en) | 2006-01-13 | 2009-05-26 | Ngk Insulators, Ltd. | Multilayer piezoelectric devices and method of producing same |
DE102008003840A1 (de) | 2008-01-10 | 2009-07-16 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor mit flexiblen Außenelektroden |
DE102015102866A1 (de) * | 2015-02-27 | 2016-09-01 | Epcos Ag | Elektrischer Anschlusskontakt für ein keramisches Bauelement, keramisches Bauelement und Bauelementanordnung |
US10395843B2 (en) | 2015-02-27 | 2019-08-27 | Epcos Ag | Electrical connection contact for a ceramic component, a ceramic component, and a component arrangement |
EP3262666B1 (de) * | 2015-02-27 | 2021-02-24 | TDK Electronics AG | Elektrisches bauelement und verfahren zur herstellung eines elektrischen bauelements |
US10943740B2 (en) | 2015-02-27 | 2021-03-09 | Epcos Ag | Electrical connection contact for a ceramic component, a ceramic component, and a component arrangement |
US11342126B2 (en) | 2015-02-27 | 2022-05-24 | Epcos Ag | Electrical component and a method for producing an electrical component |
DE102015102866B4 (de) | 2015-02-27 | 2023-02-02 | Tdk Electronics Ag | Keramisches Bauelement, Bauelementanordnung und Verfahren zur Herstellung eines keramischen Bauelements |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CZ301214B6 (cs) | 2009-12-09 |
KR20010072510A (ko) | 2001-07-31 |
CZ2001578A3 (cs) | 2001-08-15 |
DE50007677D1 (de) | 2004-10-14 |
JP2003502870A (ja) | 2003-01-21 |
EP1110250B1 (de) | 2004-09-08 |
EP1110250A1 (de) | 2001-06-27 |
WO2000079608A1 (de) | 2000-12-28 |
US6507140B1 (en) | 2003-01-14 |
KR100692884B1 (ko) | 2007-03-12 |
JP4996026B2 (ja) | 2012-08-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1110250B1 (de) | Piezoaktor mit wärmedehnungsangepasster aussenelektrode | |
EP1110249B1 (de) | Piezoaktor mit verbesserten elektrodenanschlüssen | |
DE10026005B4 (de) | Piezoaktor | |
DE102007058873A1 (de) | Piezoelektrisches Bauteil mit Außenkontaktierung, die eine Gasphasen-Abscheidung aufweist, Verfahren zum Herstellen des Bauteils und Verwendung des Bauteils | |
EP2345095B1 (de) | Piezoaktor in Vielschichtbauweise und Verfahren zur Befestigung einer Aussenelektrode bei einem Piezoaktor | |
EP1110253B1 (de) | Piezoaktor mit verbesserter wärmeableitung | |
EP2501517B1 (de) | Piezoelektrisches bauelement ein lotmaterial zur befestigung einer aussenelektrode enthaltend | |
EP1579515B1 (de) | Piezoaktor | |
WO2009146987A1 (de) | Kontaktstruktur, elektronisches bauelement mit einer kontaktstruktur und verfahren zu deren herstellung | |
DE19928177A1 (de) | Piezoaktor | |
EP1192376B1 (de) | Piezoaktor | |
EP2319102A1 (de) | Piezoaktor mit sollbruchschicht | |
DE102008048051B4 (de) | Bauelement sowie Verfahren zum Kontaktieren eines Bauelements | |
DE102007058874A1 (de) | Piezoelektrisches Bauteil mit direkt strukturierter Außenkontaktierung, Verfahren zum Herstellen des Bauteils und Verwendung des Bauteils | |
EP3357099A1 (de) | Elektrokeramisches bauelement, insbesondere vielschicht-piezoaktor | |
EP1503435A2 (de) | Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung | |
EP1763901A1 (de) | Piezoaktor | |
EP2011169B1 (de) | Piezoaktor mit aussen kontaktierten innenelektroden eines piezoelements | |
DE19946834A1 (de) | Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE102009013125A1 (de) | Piezoaktor in Vielschichtbauweise und Verfahren zum Befestigen einer Außenelektrode bei einem Piezoaktor | |
DE19951118A1 (de) | Piezoaktor und ein Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE10257952A1 (de) | Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE102005018322B4 (de) | Piezoaktor und Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE19946836A1 (de) | Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE19931927A1 (de) | Verfahren zur Herstellung von Piezoaktoren mit einem Vielschichtaufbau von Piezolagen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8131 | Rejection |