DE10026005B4 - Piezoaktor - Google Patents
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Abstract
Piezoaktor, mit einem Mehrschichtaufbau von Piezolagen und dazwischen angeordneten Innenelektroden (2, 3), einer wechselseitigen seitlichen Kontaktierung der Innenelektroden (2, 3) über Außenelektroden (4, 5), über die eine elektrische Spannung zuführbar ist, wobei die Außenelektroden (4, 5) netz- oder gewebeartig auf jeweils einer Seitenfläche verteilt aufgebracht sind und zumindest punktweise mit den jeweiligen Innenelektroden (2, 3) kontaktiert sind und zwischen den Kontaktierungen ein dehnbarer Bereich zu liegen kommt, wobei die netz- oder gewebeartigen Außenelektroden (4, 5) derart über den Mehrschichtaufbau der Piezolagen hinaus verlängert sind, dass an den Verlängerungen (8, 9) die Zuführung der elektrischen Spannung erfolgt, und wobei die Verlängerungen (8, 9) elektrisch isoliert (10) durch ein Fußteil (6) des Piezoaktors (1) geführt sind.
Description
- Die Erfindung betrifft einen Piezoaktor, beispielsweise zur Betätigung eines mechanischen Bauteils wie ein Ventil oder dergleichen, nach den Merkmalen des Hauptanspruchs.
- Es ist allgemein bekannt, dass unter Ausnutzung des sogenannten Piezoeffekts ein Piezoelement aus einem Material mit einer geeigneten Kristallstruktur aufgebaut werden kann. Bei Anlage einer äußeren elektrischen Spannung erfolgt eine mechanische Reaktion des Piezoelements, die in Abhängigkeit von der Kristallstruktur und der Anlagebereiche der elektrischen Spannung einen Druck oder Zug in eine vorgebbare Richtung darstellt. Der Aufbau dieses Piezoaktors kann hier in mehreren Schichten erfolgen (Multilayer-Aktoren), wobei die Elektroden, über die die elektrische Spannung aufgebracht wird, jeweils zwischen den Schichten angeordnet werden.
- Solche Piezoaktoren können beispielsweise für den Antrieb von Schaltventilen bei Kraftstoffeinspritzsystemen in Kraftfahrzeugen vorgesehen werden. Beim Betrieb des Piezoaktors ist hier insbesondere darauf zu achten, dass durch mechanische Spannungen im Lagenaufbau auch keine störenden Rissbildungen im Bereich der äußeren Anschlusselektroden entstehen. Da die jeweils an einer Seite kontaktierten Innenelektroden kammartig in den Lagenaufbau integriert sind, müssen die in Richtung des Lageraufbaus aufeinanderfolgenden Elektroden jeweils abwechselnd an gegenüberliegen Seiten kontaktiert werden.
- Bei einer Betätigung des Piezoaktors, d.h. bei Anlage einer Spannung zwischen den im Lagenaufbau gegenüberliegenden Innenelektroden treten unterschiedliche mechanische Kräfte im Bereich der Innenelektroden sowie im Bereich der Kontaktierungen an den Außenelektroden auf, die zu mechanischen Spannungen und dadurch zu Rissen in den Außenehektroden führen können. Die Außenelektroden müssen dann wiederum mit Anschlusselektroden versehen werden, die in der Regel auch mechanischen Spannungen standhalten müssen.
- Aus den Druckschriften
DE 197 53 930 A1 ,DE 196 48 545 A1 undDE 33 30 538 A1 sind Piezoaktoren bekannt, die elastische netz- und gewebeartige oder gewelte Außenelektroden haben. Die Außenelektroden werden im Bereich aktiver Schichten des Aktors kontaktiert. - Aus der Druckschrift
DE 199 09 452 A1 ist ein Piezoaktor bekannt, bei dein der Anschlussleiter aus dem aktiven Bereich des Aktors herausgenommen ist und in den Bereich inaktiver Schichten verlegt wurde. Aus derJP 2-266 578 A - Vorteile der Erfindung
- Der eingangs beschriebene Piezoaktor, der beispielsweise zur Betätigung eines mechanischen Bauteils verwendbar sein kann, ist in vorteilhafter Weise so ausgebildet, dass mindestens eine Schicht der jeweiligen Außenelektrode netz- oder gewebeartig auf jeweils einer Seitenfläche verteilt aufgebaut und zumindest punktweise mit den jeweiligen Innenelektroden kontaktiert ist. Die netz- oder gewebeartigen Außenelektroden sind dabei derart über den Mehrschichtaufbau der Piezolagen verlängert, dass an den Verlängerungen die Zuführung der elektrischen Spannung über entsprechende Anschlüsse erfolgt.
- Gegenüber einer üblichen Lötung dieser äußeren Anschlussdrähte direkt auf der Außenelektrode nahe des Piezoaktorfußes im aktiven oder inaktiven Bereich ist erfindungsgemäß in vorteilhafter Weise erreicht, dass mit dem Anschluss an die Verlängerung der Außenelektrode eine verbesserte und mechanisch robustere Kontaktierung hergestellt ist. Bei der üblichen Lötung auf dem netz- oder siebartigen Gewebe ist die Haftung der Elektroden auf dem Piezoaktor sehr gering, so dass selbst geringe Kräfte ein Abschälen der Außenelektrode vom Piezoaktor hervorrufen können. Gemäß der Erfindung kann dann auch die Anzahl der notwendigen elektrischen Verbindungen im Bereich des Mehrschichtaufbaus verringert werden.
- Dadurch, dass die Außenelektroden über den Piezoaktorfuß hinaus, im Idealfall bis zum Stecker verlängert werden, können diese somit in einem unkritischen Bereich kontaktiert werden. Weiterhin ermöglicht dies zum einen eine kostengünstige Fertigung, zum anderen wird das Prozess- und Ausfallrisiko an dieser Stelle reduziert. Vorteilhaft ist außerdem, dass auch auf einen, ev. sonst notwendigen zusätzlichen inaktiven Bereich am Mehrschichtaufbau zur Kontaktierung verzichtet werden kann, wodurch eine geringere Baulänge ermöglicht und weitere Kosten gespart werden können.
- Bei einer bevorzugten Ausführungsform sind die Verlängerungen elektrisch isoliert durch das Fußteil, z.B. aus Stahl oder Al2O3, des Piezoaktors geführt, an dem der Mehrschichtaufbau der Piezolagen befestigt ist. Hierbei ist es auch vorteilhaft, wenn die Verlängerungen zur Fixierung und zur Zugentlastung der Außenelektroden in einer Vergussmasse gehalten sind, welche in eine Ausnehmung des Fußteils, ggf. von einem Formteil aus Stahl oder Polymer umgeben, eingebracht sind.
- Die Verlängerungen können in vorteilhafter Weise auch dadurch realisiert werden, dass die Außenelektroden im Bereich der Verlängerungen verjüngt sind. Weiterhin können die Außenelektroden auch im Bereich der Verlängerungen gefaltet oder gerollt sein.
- Auf einfache Weise können die netz- oder gewebeartigen Außenelektroden aus gekreuzten horizontal und vertikal verlegten oder unter 45° geneigt verlegten Drähten bestehen, die durch verkupfern oder verzinnen miteinander kontaktiert sind.
- Diese und weitere Merkmale von bevorzugten Weiterbildungen der Erfindung gehen außer aus den Ansprüchen auch aus der Beschreibung und den Zeichnungen hervor, wobei die einzelnen Merkmale jeweils für sich allein oder zu mehreren in Form von Unterkombinationen bei der Ausführungsform der Erfindung und auf anderen Gebieten verwirklicht sein und vorteilhafte sowie für sich schutzfähige Ausführungen darstellen können, für die hier Schutz beansprucht wird.
- Ausführungsbeispiele des erfindungsgemäßen Piezoaktors werden anhand der Zeichnung erläutert. Es zeigen:
-
1 einen Schnitt durch einen Piezoaktor mit einem Mehrschichtaufbau von Lagen aus Pizokeramik und Innenelektroden sowie einer netzartigen durch ein Fußteil verlängerten Außenelektrode; -
2 einen Schnitt an der Linie A-A im Ausführungsbeispiel nach der1 ; -
3 einen Detailschnitt im Bereich der Durchführung der verlängerten Außenelektrode durch das Fußteil; -
4 eine Abwandlung des Beispiels nach den1 bis3 mit einem zusätzlichen Formteil im Bereich der Verlängerungen; -
5 eine Abwandlung der vorhergehenden Beispiele mit einer in der Verlängerung verjüngten Außenelektrode; -
6 ein Ausführungsbeispiel mit einer in der Verlängerung gefalteten Außenelektrode; -
7 ein Ausführungsbeispiel mit einer in der Verlängerung gerollten Außenelektrode; -
8 und9 Ausführungsbeispiele der netz- oder gewebeartigen Außenelektroden und; -
10 einen Detailschnitt durch die verkupferten oder verzinnten Drähte der netz- oder gewebeartigen Außenelektrode. - Beschreibung der Ausführungsbeispiele
- In
1 und2 ist in verschiedenen Schnitten ein Piezoaktor1 gezeigt, der in an sich bekannter Weise aus Piezofolien eines Keramikmaterials mit einer geeigneten Kristallstruktur aufgebaut ist, so dass unter Ausnutzung des sogenannten Piezoeffekts bei Anlage einer äußeren elektrischen Spannung an Innenelektroden2 und3 jeweils über Außenelektroden4 und5 eine mechanische Reaktion des Piezoaktors1 in axialer Richtung erfolgt. - Der Piezoaktor ist über ein Fußteil
6 fest in ein Gehäuse7 , beispielsweise das Gehäuse eines Einspritzventils für Kraftfahrzeuge, eingebettet. Die Außenelektroden4 und5 weisen Verlängerungen8 und9 auf, an deren unterem Ende jeweils ein elektrischer Anschluss für eine Spannungsversorgung angebracht werden kann. Im Bereich der Durchführung der Verlängerungen8 und9 durch das Fußteil6 und ggf. darüber hinaus sind die Verlängerungen8 und9 elektrisch isoliert, beispielsweise mittels eines Schrumpfschlauchs10 . Zur Fixierung und zur Zugentlastung der Außenelektroden4 und5 bzw. der Verlängerungen8 und9 sind diese in einer Ausnehmung11 des Fußteils6 mit einer Vergussmasse12 umhüllt. In3 ist der Bereich der Durchführung der Verlängerungen8 oder9 anhand eines Ausführungsbeispiels im Detail gezeigt. - Ein Ausführungsbeispiel nach
4 zeigt eine Abwandlung zur Fixierung und zur Zugentlastung der Außenelektroden4 und5 bzw. der Verlängerungen8 und9 mit einem, im Fußteil6 liegenden, Formteil13 , in das die Vergussmasse12 eingefügt ist. - Verschiedene Ausführungsbeispiele der Elektrodenverlängerungen
8 und9 sind in den5 bis7 dargestellt. Nach der5 sind die Verlängerungen8 und9 lediglich verjüngt, was auch dem unten gezeichneten Querschnitt der Verlängerung9 zu entnehmen ist. Die6 zeigt eine Verlängerung9 , die gefaltet ist und die7 zeigt eine Verlängerung9 , die gerollt ist, was wiederum den darunter gezeichneten Querschnitten der Verlängerung9 zu entnehmen ist. - Aus
8 ist ein netzartiger Aufbau der Außenelektrode4 oder5 mit horizontal und vertikal verlaufenden Drähten14 und15 und aus9 ist ein vergleichbarer Aufbau mit 45° geneigten Drähten14 und15 zu entnehmen. Im Schnitt nach10 ist die Lage der gekreuzten Drähte14 und15 mit Kontaktstellen16 , z.B. durch Verkupfern oder Verzinnen der Drähte14 und15 , erkennbar.
Claims (9)
- Piezoaktor, mit einem Mehrschichtaufbau von Piezolagen und dazwischen angeordneten Innenelektroden (
2 ,3 ), einer wechselseitigen seitlichen Kontaktierung der Innenelektroden (2 ,3 ) über Außenelektroden (4 ,5 ), über die eine elektrische Spannung zuführbar ist, wobei die Außenelektroden (4 ,5 ) netz- oder gewebeartig auf jeweils einer Seitenfläche verteilt aufgebracht sind und zumindest punktweise mit den jeweiligen Innenelektroden (2 ,3 ) kontaktiert sind und zwischen den Kontaktierungen ein dehnbarer Bereich zu liegen kommt, wobei die netz- oder gewebeartigen Außenelektroden (4 ,5 ) derart über den Mehrschichtaufbau der Piezolagen hinaus verlängert sind, dass an den Verlängerungen (8 ,9 ) die Zuführung der elektrischen Spannung erfolgt, und wobei die Verlängerungen (8 ,9 ) elektrisch isoliert (10 ) durch ein Fußteil (6 ) des Piezoaktors (1 ) geführt sind. - Piezoaktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass – die Verlängerungen (
8 ,9 ) in einer Vergussmasse (12 ) gehalten sind, welche in eine Ausnehmung (11 ) des Fußteils (6 ) eingebracht ist. - Piezoaktor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass – die Vergussmasse (
12 ) von einem Formteil (13 ) umgeben ist. - Piezoaktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass – die Außenelektroden (
4 ,5 ) im Bereich der Verlängerungen (9 ,10 ) verjüngt sind. - Piezoaktor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass – die Außenelektroden (
4 ,5 ) im Bereich der Verlängerungen (8 ,9 ) gefaltet sind. - Piezoaktor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass – die Außenelektroden (
4 ,5 ) im Bereich der Verlängerungen (8 ,9 ) gerollt sind. - Piezoaktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass – die netz- oder gewebeartigen Außenelektroden (
4 ,5 ) aus gekreuzten unter 45° geneigt verlegten Drähten (14 ,15 ) bestehen. - Piezoaktor nach einem der Ansprüchen 1 bis 6 dadurch gekennzeichnet, dass – die netz- oder gewebeartigen Außenelektroden (
4 ,5 ) aus gekreuzten horizontal und vertikal verlegten Drähten (14 ,15 ) bestehen. - Piezoaktor nach einem der Ansprüche 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass – die Drähte (
14 ,15 ) untereinander durch verkupfern oder verzinnen miteinander kontaktiert sind.
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102020113700A1 (de) | 2020-05-20 | 2021-11-25 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Piezoelektrisches Funktionsnetzwerk |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10259949A1 (de) | 2002-12-20 | 2004-07-01 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor |
DE102005039548A1 (de) | 2005-08-22 | 2007-03-01 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor mit einer Steckverbindung |
DE102005039567A1 (de) | 2005-08-22 | 2007-03-01 | Robert Bosch Gmbh | Anordnung mit einem Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung |
DE102005039911A1 (de) * | 2005-08-24 | 2007-03-08 | Robert Bosch Gmbh | Anordnung mit einem Piezoaktor |
DE102005046122A1 (de) * | 2005-09-27 | 2007-03-29 | Robert Bosch Gmbh | Brennstoffeinspritzventil |
DE102006026643A1 (de) * | 2006-06-08 | 2007-12-13 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelekterischer Aktor |
DE102006045663A1 (de) | 2006-09-27 | 2008-04-03 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor mit einer Ummantelung, zur Anordnung in einem Piezoinjektor |
DE102006051325A1 (de) | 2006-10-31 | 2008-05-08 | Robert Bosch Gmbh | Anordnung eines Piezoaktors in einer Hülse eines Piezoaktormoduls |
DE102007001563A1 (de) | 2007-01-10 | 2008-07-17 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor mit zwischen einem Aktorkopf und einem Aktorfuß eingespannten Piezoelementen |
DE102007001566A1 (de) | 2007-01-10 | 2008-07-17 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Isolierung des aktiven Bereichs eines Piezoaktors und Piezoaktor |
DE102007004552A1 (de) | 2007-01-30 | 2008-07-31 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktormoduls mit einem Schutzschichtsystem |
DE102007004559B4 (de) | 2007-01-30 | 2020-02-27 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktormodul oder Piezoaktor mit einem ummantelnden Schutzschichtsystem und Verfahren zur Herstellung eines solchen Schutzschichtsystems |
KR20080093281A (ko) * | 2007-04-16 | 2008-10-21 | 주식회사 메디슨 | 초음파 진단용 프로브 |
DE102007040509A1 (de) | 2007-08-28 | 2009-03-05 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktormodul mit einer Umhüllung des Piezoaktors und ein Verfahren zu dessen Herstellung |
DE102007042224A1 (de) | 2007-09-05 | 2009-03-12 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktormodul mit mehreren untereinander verbundenen Piezoaktoren |
DE102007044751A1 (de) | 2007-09-19 | 2009-04-09 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktormodul mit mehreren Piezoaktoren |
DE102007046315A1 (de) | 2007-09-27 | 2009-04-02 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktormodul mit mehreren untereinander verbundenen Piezoaktoren und ein Verfahren zu dessen Herstellung |
DE102007046314A1 (de) | 2007-09-27 | 2009-04-02 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktormodul mit mehreren untereinander verbundenen Piezoaktoren und ein Verfahren zu dessen Herstellung |
DE102007056553A1 (de) | 2007-11-23 | 2009-05-28 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktormoduls mit einer Umhüllung und ein so hergestelltes Piezoaktormodul |
DE102007060052A1 (de) | 2007-12-13 | 2009-06-18 | Robert Bosch Gmbh | Anordnung mit einem Piezoaktor mit mehreren Aktiv- und/oder zusätzlichen Sensorbereichen |
DE102008003840A1 (de) | 2008-01-10 | 2009-07-16 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor mit flexiblen Außenelektroden |
DE102008004227A1 (de) | 2008-01-14 | 2009-07-16 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktormodul mit mehreren Piezoaktoren und ein Verfahren zu dessen Herstellung |
JP5180975B2 (ja) * | 2008-02-18 | 2013-04-10 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電振動子の製造方法および圧電振動子 |
DE102008062021A1 (de) | 2008-08-18 | 2010-03-04 | Epcos Ag | Piezoaktor in Vielschichtbauweise |
DE102008055119A1 (de) | 2008-12-23 | 2010-07-01 | Robert Bosch Gmbh | Piezoinjektor |
DE102009029213B4 (de) | 2009-09-04 | 2017-03-30 | Robert Bosch Gmbh | Anordnung mit einem Aktor |
DE102010022925B4 (de) | 2010-06-07 | 2019-03-07 | Tdk Electronics Ag | Piezoelektrisches Vielschichtbauelement und Verfahren zur Ausbildung einer Außenelektrode bei einem piezoelektrischen Vielschichtbauelement |
JP6017937B2 (ja) * | 2012-11-28 | 2016-11-02 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子およびこれを備えた噴射装置ならびに燃料噴射システム |
JP6062728B2 (ja) * | 2012-11-30 | 2017-01-18 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子およびこれを備えた噴射装置ならびに燃料噴射システム |
DE102013106223A1 (de) * | 2013-06-14 | 2014-12-18 | Epcos Ag | Vielschichtbauelement mit einer Außenkontaktierung, einer Weiterkontaktierung und einem Verbindungselement |
CN106461486B (zh) * | 2014-07-04 | 2019-06-28 | 株式会社村田制作所 | 压电传感器及压电元件 |
DE102015213003A1 (de) * | 2015-07-10 | 2017-01-12 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktormodul und Piezoinjektor |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3330538A1 (de) * | 1983-08-24 | 1985-03-14 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Piezoelektrisches stellglied |
JPH02266578A (ja) * | 1989-04-06 | 1990-10-31 | Nec Corp | 電歪効果素子 |
DE19648545A1 (de) * | 1996-11-25 | 1998-05-28 | Ceramtec Ag | Außenelektrode für einen monolithischen Vielschichtaktor |
DE19753930A1 (de) * | 1997-12-05 | 1999-06-10 | Ceramtec Ag | Verfahren zur Anbringung von Außenelektroden an Festkörperaktoren |
DE19909452C1 (de) * | 1999-03-04 | 2000-03-23 | Bosch Gmbh Robert | Piezoelektrischer Aktor |
DE19928176A1 (de) * | 1999-06-19 | 2001-01-04 | Bosch Gmbh Robert | Piezoaktor |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3223801A1 (de) * | 1982-06-25 | 1983-12-29 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Verfahren zur herstellung eines piezoelektrischen stellgliedes |
-
2000
- 2000-05-25 DE DE2000126005 patent/DE10026005B4/de not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-04-05 KR KR1020027001003A patent/KR20020024309A/ko not_active Application Discontinuation
- 2001-04-05 CZ CZ2002196A patent/CZ2002196A3/cs unknown
- 2001-04-05 WO PCT/DE2001/001328 patent/WO2001091199A1/de not_active Application Discontinuation
- 2001-04-05 EP EP01931409A patent/EP1230688A1/de not_active Withdrawn
- 2001-04-05 US US10/031,788 patent/US20020135275A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3330538A1 (de) * | 1983-08-24 | 1985-03-14 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Piezoelektrisches stellglied |
JPH02266578A (ja) * | 1989-04-06 | 1990-10-31 | Nec Corp | 電歪効果素子 |
DE19648545A1 (de) * | 1996-11-25 | 1998-05-28 | Ceramtec Ag | Außenelektrode für einen monolithischen Vielschichtaktor |
DE19753930A1 (de) * | 1997-12-05 | 1999-06-10 | Ceramtec Ag | Verfahren zur Anbringung von Außenelektroden an Festkörperaktoren |
DE19909452C1 (de) * | 1999-03-04 | 2000-03-23 | Bosch Gmbh Robert | Piezoelektrischer Aktor |
DE19928176A1 (de) * | 1999-06-19 | 2001-01-04 | Bosch Gmbh Robert | Piezoaktor |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102020113700A1 (de) | 2020-05-20 | 2021-11-25 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Piezoelektrisches Funktionsnetzwerk |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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US20020135275A1 (en) | 2002-09-26 |
CZ2002196A3 (cs) | 2002-07-17 |
EP1230688A1 (de) | 2002-08-14 |
DE10026005A1 (de) | 2001-12-06 |
KR20020024309A (ko) | 2002-03-29 |
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