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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Absaugvorrichtung sowie
auf eine Vorrichtung zur Behandlung, insbesondere zur Abreinigung
von Oberflächen
mittels eines CO2-Schnee-Strahles. Derartige
Absaugvorrichtungen und Vorrichtungen werden in der optischen Industrie,
der Medizintechnik, der pharmazeutischen Industrie, der Lackiertechnik,
der Mikro- und Feinwerktechnik zur Behandlung von Oberflächen, u.a.
zur Behandlung weicher Oberflächenbeschichtungen,
Gele und dergleichen verwendet. Die Basis dieses Behandlungs- bzw.
Reinigungsverfahrens ist die Reinigung mittels CO2-Eiskristallen.
Das Verfahren wird auch zur trockenen lokalen Abreinigung teilchenförmiger und
filmischer Verunreigigung von strukturierten sowie aus Elementen
unterschiedlicher Materialien zusammengesetzten Oberflächen bis
in den Submikrometerbereich eingesetzt.
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Die
fortschreitendene Miniaturisierung bei gleichzeitiger Hybridisierung
von Baugruppen verlangt nach einem Reinigungsverfahren, welches
ein lokales Reinigen von Funktionsflächen erlaubt, ohne dabei angrenzende
Bereiche durch Querkontamination zu verunreinigen. Der Einsatz herkömmlicher Reinigungsverfahren,
wie z.B. Ultraschall oder der Einsatz agressiver Chemikalien ist
aufgrund von Materialunverträglichkeiten
nur noch selten möglich. Das
Strahlen mit CO2-Partikeln stellt hier eine
interessante Alternative dar.
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Die
CO2-Eisreinigung ist ein trockenes, tiefkaltes,
rückstandsfreies
Strahlverfahren mit breitem Anwendungsgebiet. Prinzipiell läßt sich
das Trockeneisstrahlen in zwei verschiedene Verfahren einteilen – dem Reinigen
mit luftgetragenen Trockeneispellets und der Reinigung mittels CO2-Schnee.
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Das
Strahlen mit Trockeneispellets wird seit 1987 zum Entlacken und
Reinigen von Flugzeugkomponenten und Flugzeugen verwendet. Vor allem aufgrund
der Eigenschaft von Trockeneis, während des Reinigungsprozesses
zu sublimieren und somit kein kontaminiertes Reinigungsmittel zu
hinterlassen, konnten Teile in eingebautem Zustand gereinigt und
die Reinigungskosten an Flugzeugen bis zu 50 % gesenkt werden.
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Heute
hat sich das Strahlen mit Trockeneispellets bereits in vielen Bereichen
wie z. B. der Entlackung von Flugzeugen, der Fassadenreinigung oder dem
Beseitigen grober Verschmutzungen an Maschinen durchgesetzt. Seine
Stärke
der rückstandsfreien Reinigung
spielt es besonders in der Baugruppen reinigung bereits installierter
Anlagen aus.
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Die
Reinigungswirkung stützt
sich dabei grundsätzlich
auf drei Mechanismen. Zum einen werden beim Auftreffen der CO2-Kristalle auf die Oberfläche die
Verunreinigung bzw. die Beschichtung auf der Oberfläche stark
unterkühlt,
wodurch diese schrumpfen und verspröden. Aufgrund der unterschiedlichen
Wärmeausdehnung
von Grundmaterial und Verschmutzung bzw. Beschichtung entstehen Spannungen
so daß die
Verbindung zwischen der Verschmutzung und dem Grundmaterial gelockert bzw.
gelöst
wird. Weiterhin wird durch den von den CO2-Pellets übertragenen
Impuls die versprödeten Verunreinigung
weiter gelöst
und mechanisch abgetragen. Zuletzt wird das durch die Trockeneispellets abgelöste Material
durch das sublimierte CO2 und ggf. weiteres
Stützgas
in der Schwebe gehalten und von der Reinigungszone abtransportiert.
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Das
Strahlverfahren unter Verwendung von Trockeneispellets ist beispielsweise
in "Kantig oder rund,
Metallsalze und Kohlendioxidpellets sind exotische Mittel in der
Strahltechnik" von
Reinhold Schäfer
in Maschinenmarkt Würzburg
98 (1992) beschrieben.
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Nachteilig
an der Strahltechnik unter Verwendung von Trockeneispellets ist,
daß die
Abkühlung
während
und nach der erfolgten Reinigung eine Rekontamination der Oberfläche durch
Abscheidung vormals in der Luft enthaltener und während der
Abtrocknung des CO2-Eis-Films zurückbleibender Stoffe bewirkt.
Insbesondere schlägt
sich auf der abgekühlten
Oberfläche
im Anschluß an
die Abstrahlung die Umgebungsfeuchtigkeit nieder, so daß der zu
reinigende Gegenstand feucht wird.
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Alternativ
können
als Strahlmittel statt Trockeneispellets auch Trockeneiskristalle
verwendet werden. In diesem Falle wird ein Strahl aus CO2-Schnee erzeugt, der unter hoher Geschwindigkeit
auf die zu reinigende Oberfläche
gestrahlt wird.
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Zur
Verhinderung der durch Resublimieren der Luftfeuchtigkeit während der
Reinigung stattfindenden Vereisung der Oberfläche, durch die ein weiteres
reinigendes Einwirken der CO
2-Schnee-Kristalle
erschwert bis verhindert wird, sind nach dem Stand der Technik zwei
Methoden bekannt. Zum einen wird eine beheizte Platte als Unterlage
des Reinigungsgutes verwendet, um das Reinigungsgut möglichst rasch
nach dem Überstreichen
des Trockeneisstrahles wieder zu erwärmen. Die Wirksamkeit dieses
Verfahrens als Einzelmaßnahme
ist durch das Material, die Geometrie und die Baugröße des Reinigungsgutes
teilweise stark beeinträchtigt
oder gar nicht gegeben. Alternativ kann der CO
2-Schnee-Strahl
von einem Hüllstrahl
umgeben werden, der beheizt wird. Damit wird beim Überstreichen
einer Oberfläche durch
den CO
2-Strahl unmittelbar anschließend die Oberfläche wieder
durch den Stützstrahl
aufgewärmt,
so daß die
Kondensation der Luftfeuchtigkeit verringert bzw. verhindert wird.
Dieses Verfahren bewirkt jedoch eine unerwünschte Aufheizung des CO
2-Eis-Strahles durch den warmen Stützstrahl,
so daß die
Wirksamkeit des Strahlverfahrens beeinträchtigt wird. Ein derartiges
Verfahren ist in der
US 5,725,154
A beschrieben.
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Nachteilig
am Strahlverfahren unter Verwendung von CO2-Schneekristallen
ist, daß diese
einen erheblich geringeren Impuls als die Trockeneispellets mit
einem Durchmesser von mehreren Millimetern besitzen, so daß die Reinigungswirkung
verglichen mit Trockeneispellets erheblich geringer ist.
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In
der
US 5 725 154 A wird
vorgeschlagen, ein induktives Magnetfeld zu erzeugen, um die Aufladung
des heranfließenden
flüssigen
CO
2 zu kompensieren. Die durch Ladungstrennung
bei der Expansion des CO
2 und der Auskristallisierung
des CO
2-Schnees erfolgende Ionisierung wird
nicht kompensiert.
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Problematisch
bei all diesen Verfahren nach dem Stand der Technik ist die Querkontamination
von Oberflächenbereichen
durch den Abtrag, der an anderer Stelle durch den CO2-Eisstrahl
erzeugt wird.
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Die
US 4,594,747 offenbart eine
Vorrichtung, mittels der beispielsweise Tierhaare von einem Tisch abgesaugt
werden können.
Hierzu ist der Tisch mit einer umlaufenden Borde versehen, die unterhalb des
Tisches trichterförmig
auf eine Saugpumpe zuläuft.
Auf diese Weise werden seitlich von der Tischkante her die Tierhaare
nach unten abgesaugt.
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Die
DE 28 31 961 A1 betrifft
ein Teilewaschgerät
mit einer Wanne, in der zu reinigende Teile mittels lösungsmittelhaltiger
Reinigungsmittel gewaschen werden. Die Wanne weist längs ihres
Randes eine U- bzw. C-förmige
Rinne auf, die Dämpfe,
die schwerer als Luft sind, am Überlaufen über den
Rand der Wanne hindern sollen.
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Aufgabe
der vorliegenden Erfindung ist es, eine Absaugvorrichtung und eine
diese enthaltende Strahlvorrichtung zur Verfügung zu stellen, mit der Oberflächen einfach
und zuverlässig
ohne Rekondensation von Wasser oder Querkontamination behandelt,
insbesondere abgestrahlt werden können.
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Diese
Aufgabe wird durch die Absaugvorrichtung nach Anspruch 1 und die
Vorrichtung nach Anspruch 14 gelöst.
Vorteilhafte Weiterbildungen des erfindungsgemäßen Strahlwerkzeugs und der
erfindungsgemäßen Vorrichtung
werden in den abhängigen
Ansprüchen
gegeben. Erfindungsgemäß können die
erfindungsgemäße Absaugvorrichtung
und die erfindungsgemäße Vorrichtung
wie in den Ansprüchen
42 bis 44 angegeben, verwendet werden.
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Durch
die erfindungsgemäße Absaugvorrichtung
wird vorteilhafterweise das aufgestrahlte, sublimierte CO2 und der volumenstarke Stütz- bzw. Druckstrahl,
der ohne weitere Umlenkung vom Probentisch abströmt, aufgefangen und anschließend von
dort abgesaugt, wodurch eine Querkontamination anderer Oberflächenbereiche
zuverlässig
minimiert wird. Die erfindungsgemäße Absaugvorrichtung erzeugt
auch keinerlei Wirbel oder dergleichen außerhalb der Absaugvorrichtung
selbst, so daß die Laminarströmung der
anfließenden
Luft nicht gestört wird
und deren Reinheit zuverlässig
erhalten bleibt.
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Insgesamt
ergibt sich ein sehr hoher Wirkungsgrad bei kurzer Behandlungsdauer
unter Verwendung der erfindungsgemäßen Vorrichtung und der erfindungsgemäßen Absaugvorrichtung.
Weitere vorteilhafte Eigenschaften sind ein einfacher, kompakter
Geräteaufbau,
eine hohe Gerätesicherheit, geringe
Anlagen,- Betriebs- und Wartungskosten, ein hoher Automatisierungsgrad,
gute Reproduzierbarkeit des Reinigungsergebnisses sowie eine einfache Handhabung
der Vorrichtung und der Absaugvorrichtung.
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Durch
die erfindungsgemäße Weiterbildung der
Strahlvorrichtung mit dem erfindungsgemäßen Strahlwerkzeug werden folgende
Verbesserungen erzielt:
Zum einen wird eine sehr hohe Strahlgeschwindigkeit
durch Verwendung einer Lavaldüse
erzielt, so daß die
sehr kleinen Eiskristalle durch das sich auf der zu reinigenden
Oberfläche
bildende Gaspolster geschossen werden können. Weiterhin wird die statische
Aufladung des festen Kohlendioxid-Schnees, die ein Problem bei der
Reinigung elektronischer Bauteile darstellt, mittels der Ionisierungsvorrichtung aufgehoben.
Weiterhin wird durch die Düse
und durch die erfindungsgemäße Einrichtung
der Reinigungsvorrichtung eine Laminarströmung in der Reinigungskammer
erzeugt, so daß keine
Schmutznester innerhalb der Reinigungsanlage gebildet werden. Insbesondere
ist der Strahldurchmesser äußerst gering,
so daß er
sich für
Anwendung in der Mikrosystem- bzw. Feinwerktechnik eignet und die
Anlage flexibel in der Produktion von Mikrosystemen eingesetzt werden
kann. Das Strahlwerkzeug ist voll beweglich und der Reinigungsablauf
ist ohne weiteres automatisierbar. Insgesamt ergibt sich ein hoher
Wirkungsgrad bei einer kurzen Reinigungszeit.
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Insgesamt
ist durch die erfindungsgemäße Vorrichtung
eine schnelle und vereisungsfreie Reinigung von Bauteilen während der
Produktion möglich unter
Wegfall komplizierter und aufwendiger Reinigungsvorbereitungen.
Mit dem erfindungsgemäßen Trockeneisstrahlverfahren
kann eine Vielzahl von Materialien gereinigt werden, sofern sie
dem kurzzeitig auftretenden Temperaturschock widerstehen. Bei den
auftretenden Strukturen gibt es nur geringfügige Einschränkungen,
da es sich beim Trockeneisstrahlen wie bei allen Strahlverfahren
um ein Sichtlinienverfahren handelt. Daher können nur Oberflächen abgereinigt
werden, die in Strahlrichtung liegen. Das Reinigen von uneinsehbaren
Hinterschneidungen ist somit nicht oder nur sehr eingeschränkt möglich. Gleiches
gilt für
Vertiefungen mit relativ großem
Aspektverhältnis,
die sich relativ rasch mit sublimiertem CO2 füllen und
so das weitere Eindringen der Eiskristalle behindern oder gar verhindern.
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Im
folgenden wird ein Beispiel einer erfindungsgemäßen Absaugvorrichtung und einer
erfindungsgemäßen Vorrichtung
beschrieben. Dabei werden in sämtlichen
Figuren gleiche Teile mit denselben Bezugszeichen bezeichnet.
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Es
zeigen
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1 das
erfindungsgemäße Strahlverfahren;
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2 eine
erfindungsgemäße Vorrichtung;
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3 eine
erfindungsgemäße Absaugvorrichtung;
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4 einen
Schnitt durch die erfindungsgemäße Absaugvorrichtung
nach 3;
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5 ein
erfindungsgemäßes Strahlwerkzeug;
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6 ein
Reinigungsergebnis nach dem erfindungsgemäßen Verfahren; und
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7 ein
weiteres Reinigungsergebnis nach dem erfindungsgemäßen Verfahren.
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1 zeigt
schematisch das erfindungsgemäße Verfahren.
Eine Oberfläche
eines Objektes 1, beispielsweise eines Probentisches wird
mit CO2-Eiskristallen (CO2-Schnee) 3 aus
einer Sprühdüse 2 bestrahlt.
Der CO2-Schnee bildet dabei einen CO2-Strahl 5, der eine Verunreinigung 4 von
der Oberfläche
des Objektes 1 abstrahlt. Dabei treten zwei Wirkmechanismen
auf. Mit a ist ein Wirkmechanismus beschrieben, bei dem ein CO2-Kristall 3 auf die Oberfläche des
Objektes 1 auftrifft und dabei die Verunreinigung 4 absprengt.
Mit b ist ein anderer Mechanismus beschrieben, bei dem der CO2-Schneekristall auf die Oberfläche des
Objektes 1 auftrifft und dort sublimiert. Bei dieser Sublimation
wird durch den Gasdruck die Verunreinigung 4 von der Oberfläche des
Objektes 1 gelöst
und wird von dem abfließenden
CO2 mitgenommen.
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2 zeigt
eine erfindungsgemäße Vorrichtung
zum Behandeln, insbesondere zum Abstrahlen von Oberflächen.
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Diese
erfindungsgemäße Vorrichtung
weist eine Reinigungskammer 36 auf, in der ein Probentisch 1 und
ein Strahlwerkzeug 2 zur Erzeugung eines CO2-Schnee-Strahles 5 angeordnet
sind und von laminar anfließender
Luft umströmt
sind. Der gewöhnlich
senkrecht zum Probenträger 1 ausgerichtete
Gasstrahl 5 aus dem Strahlwerkzeug 2 wird an den meist
flachen Reinigungsobjekten bzw. am Probentisch 1 selbst
um 90° umgelenkt
und strömt
radial vom Auftreffpunkt und parallel zum Probentisch 1 ab. Durch
die hohe Strömungsgeschwindigkeit
und das entstehende Gasvolumen ist es nicht möglich, das abgelöste Material
lokal an der Wirkungsstelle abzusaugen. Die Absaugung der Prozeßgase erfolgt
daher außerhalb
des Probentisches 1 mittels der Strömungsfalle 21, die
seitlich zu dem Probentisch 1 in der Ebene seiner Oberfläche und
den Probentisch vollständig
umgebend angeordnet ist. Diese Strömungsfalle 21 fängt das
als Oberflächenströmung 35 abströmende CO2, das von dem CO2-Schnee-Strahl 5 auf
der Oberfläche
des Probentisches 1 erzeugt wird, seitlich auf.
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Der
Probentisch 1 ist in allen drei Dimensionen beweglich, über eine
Heizung 22 beheizbar und ist von unterhalb über ein
Ventil 24 und einen Vakuumanschluß 23 an einer Vakuumleitung
angeschlossen. Der Probentisch 1 besteht aus einer metallischen
Lochplatte, so daß mittels
dieses Unterdruckes abzustrahlende Objekte auf der Oberfläche des Probentisches 1 fixiert
werden können.
Weiterhin ist ein Regler 25 für die Heizung 22 des
Probentisches 1 vorgesehen, um diesen auf eine konstante
Temperatur zu bringen.
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In
der Probenkammer wird eine Laminarströmung 6 erzeugt, die
längs der
Wände 36 der
Reinigungskammer und in Richtung des CO2-Schnee-Strahles 5 fließt.
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Dem
Strahlwerkzeug 2 wird über
einen Kühler 26,
einen Filter 27 und ein Hochdruckventil 28 flüssiges CO2 aus einem CO2-Behälter 34 zugeführt. In
gleicher Weise wird der Strahlvorrichtung 2 über eine
Armatur mit Druckminderer 32, ein Hochdruckventil 30 und
ein weiteres Ventil 31 gasförmiges N2 aus
einem N2-Behälter 33 zugeführt. Die
beiden Hochdruckventile 28 und 30 sind an eine
Steuerung 29 angeschlossen.
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Damit
besteht die beschriebene erfindungsgemäße Vorrichtung im Kern aus
folgenden Komponenten:
- 1. Eine mit Reinstluft
durchströmte
Reinigungskammer 36 (z.B. Reinheitsklasse 1 gemäß VDI 2083
Blatt 1, Strömungsgeschwindigkeit
0,4 m/s),
- 2. ein Strahlwerkzeug 2 mit einer Beschleunigungs- und Mischdüse sowie
einer Ionisierungseinheit (nicht gezeigt),
- 3. der Absaugvorrichtung 21,
- 4. einer Aufbereitungsanlage (nicht gezeigt) für das von
der Absaugvorrichtung 21 abgesogene Gas, und
- 5. einem beheizten Probentisch 1.
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Diese
erfindungsgemäße Vorrichtung
erzeugt eine turbulenzarme Reinstluftströmung in der Reinigungskammer 36,
die so gerichtet ist, daß das Strahlwerkzeug 2 vor
dem Probentisch 1 liegt und der Probentisch 1 senkrecht
prallend angeströmt
wird. In Kombination mit der Absaugvorrichtung 21 wird
daher eine durch die Injektionswirkung des Reinigungsstrahles erfolgende
unkontrollierbare Verunreinigung aus der Luft vermieden. Zugleich
wird verhindert, daß sich
mit der Zeit Schmutznester im Bereich der gesamten Anlage bilden.
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Das
Strahlwerkzeug 2 setzt sich im wesentlichen aus zwei ineinander
integrierten Düsen
zusammen: Zum einen als erste Düse
eine Kapillare, durch die das unter hohem Druck verflüssigte Kohlendioxid geleitet
wird. Am konisch erweiterten Ende der Kapillare tritt das flüssige Kohlendioxid
aus, wobei etwa 55 % der Masse durch Expansion verdampft und etwa 45
% sich durch Resublimation zu kleinen Kristallen, zu dem CO2-Eisschnee, verfestigt. Die Menge des ausströmenden CO2 kann durch Variation und des Kapillardurchmessers
eingestellt werden.
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Zum
anderen weist das Strahlwerkzeug 2 eine zweite Düse auf,
die konzentrisch die erste Düse und
die Kapillare umschließt.
Diese zweite Düse
ist eine Lavaldüse,
die bei Raumtemperatur überschallschnelles,
trockenes Druckgas (N2) ausstößt. Durch dieses
Druckgas wird zum einen der Trockeneisschnee-Strahl gestützt und weiterhin zu einem
parallelen Strahl gebündelt
und beschleunigt.
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Dieser
Druck- bzw. Stützstrahl
kann zeitversetzt zu dem CO2-Schnee-Strahl
gestartet bzw. beendet werden, so daß bei einem Zuschalten des CO2-Schnee-Strahls nach dem Start des Druckgasstrahles
die Umgebungsluft vom Reinigungspunkt ferngehalten wird. Damit wird
die Kondensation von Luftfeuchtigkeit an dem durch den Reinigungsstrahl gekühlten Reinigungspunkt
erfolg reich unterbunden. Zum selben Zweck kann der Stützstrahl
erst nach dem CO2-Schnee-Strahl abgeschaltet
werden.
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Der
Stützstrahl
aus trockenem Druckgas führt
weiterhin dazu, daß die
Substratoberfläche nach
erfolgter Reinigung am Reinigungspunkt rasch wieder erwärmt wird.
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Die
Absaugung des vom Trockeneisstrahl abgelösten Materials direkt an der
Wirkungsstelle, ist aufgrund der hohen Strömungsgeschwindigkeit und des
entstehenden Gasvolumens mit einer herkömmlichen Absaugvorrichtung
nicht möglich.
Daher wurde eine erfindungsgemäße Absaugvorrichtung 21 eingesetzt.
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3 zeigt
einen Querschnitt durch die Ebene des Probentisches 1.
Der Probentisch 1 ist vollständig von einem Absaugrohr 65 der
Absaugvorrichtung 21 in der Ebene des Probentisches 1 umgeben.
Der gewöhnlich
senkrecht zum Probenträger ausgerichtete
Gasstrahl 5 wird an den meist flachen Reinigungsobjekten
bzw. am Probentisch selbst um 90° umgelenkt
und strömt
radial vom Auftreffpunkt auf der Oberfläche des Objektes oder des Probentisches
als laminare Strömung 35 ab.
Die Absaugung der Prozeßgase
erfolgt bei der erfindungsgemäßen Absaugvorrichtung 21 daher
nur außerhalb
des Probentisches. Wie in 4 zu erkennen
ist, weist das Absaugrohr 65 einen nierenförmigen Querschnitt
mit Einbuchtungen in der Ebene des Probentisches 1 auf.
Auf der Seite des Probentisches 1 ist diese Einbuchtung
als Gaseinlaßöffnung geöffnet. Das
vom Probentisch 1 abströmende
Gas 35 trifft folglich auf die Innenwand des Absaugringes 65 und
wird, unterstützt
durch den Mittenknick 66 aufgrund der nierenförmigen Einschnürung in
der Ebene des Probentisches 1, nach oben bzw. nach unten
umgelenkt. Durch die Geometrie dieser Strömungsfalle 21 wird das
mit hoher Geschwindigkeit vom Probentisch 1 abströmende Prozeßgas 35 (Druckgas,
CO2-Gas, abgetragene Partikel 4) in eine
zu den Ecken des Absaugringes 65 fließende Drallströmung 63 überführt. In
den Ecken des Absaugringes 65 befinden sich Ventilatoren 61,
die mit dem Absaugring 65 über Absaugöffnungen 64 in Verbindung
stehen. Diese Ventilatoren erzeugen einen Absaugvolumenstrom über einen
Absaugkanal 60, der den Fluß dieser Strahlströmung unterstützt und
ein Rückfließen zum
Probenträger
verhindert.
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Die Öffnungen 64 zwischen
dem Absaugring 65 und dem Absaugkanal 60 befinden
sich dabei ober- und unterhalb des Mittenknicks 66, so
daß die
gebildeten Wirbel 63 abgesaugt werden.
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Das
Absaugvolumen der Ventilatoren 61 wird über eine Drehzahlsteuerung
ständig
der Summe von laminarem Zuluft-Gasstrom 6 (siehe 2) und
Reinigungsgasstrom 5 angepaßt. Der Zuluftstrom ermittelt
sich über
die freie Querschnittsfläche des
Absaugringes 65 und die Zuluftgeschwindigkeit (Geschwindigkeit
des Reinstgasstromes 6). Die Berechnung des Reinigungsgasstromes 5 erfolgt
im wesentlichen anhand des Durchmesseres der Kapillare 42 der
CO2-Zuführung,
der Geometrie der Lavaldüse 51 sowie
des Vordruckes des Druck/Stützgases
in herkömmlicher
Weise.
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Das
abgesaugte Gas wird anschließend
von den Ventilatoren 61 zu einer Prozeßabluftanlage 62 geblasen,
wo die abgesaugte Luft gereinigt, aufbereitet und/oder weiterverwertet
werden kann.
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5 zeigt
einen Querschnitt durch ein erfindungsgemäßes Strahlwerkzeug, das nunmehr
genauer beschrieben werden soll.
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Das
Strahlwerkzeug setzt sich im wesentlichen aus zwei ineinander integrierte
Düsen zusammen:
Eine Kapillare 42, durch die das unter hohem Druck verflüssigte CO2 geleitet wird und an deren konisch erweitertem
Ende 49 das CO2 expandiert. Hierbei
entsteht ein Gemisch aus Gas- und Trockeneisschnee. Der Schneeanteil
beträgt
ungefähr
45 % der ausströmenden
Gesamtmasse. Die Menge des ausströmenden CO2 kann
durch Variation des Durchmessers der Kapillare 42 eingestellt
werden.
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Weiterhin
wird die Kapillare 42 konzentrisch von einer speziellen
Lavaldüse 51 umschlossen,
aus der über
eine Leitung 56 zugeführtes
trockenes Druckgas (Reinstluft oder Reinststickstoff) überschallschnell
ausströmt.
Dieser Druckgasstrahl bündelt
den Stahl aus Trockeneisschnee zu einem Parallelstrahl und beschleunigt
diesen. Zusätzlich
wird durch diesen Druckgas-Stützstrahl
die Umgebungsluft vom Reinigungspunkt ferngehalten und die Substratoberfläche nach
erfolgter Reinigung recht schnell wieder erwärmt. Die Kondensation von Luftfeuchtigkeit
wird somit erfolgreich unterbunden.
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Die
Lavaldüse 51 wird
durch die Außenkontur
einer Düsennadel 45,
die die Kapillare 42 enthält und durch die Innenkontur
eines Düsenkopfes 46 gebildet.
Die Lavaldüse 51 kann
durch Veränderung des
minimalen Querschnitts mittels Verschiebens der Düsennadel 45 relativ
zum Düsenkopf 46 feinjustiert und
optimal eingestellt werden. Die Fixierung erfolgt dann durch Unterlegen
von geeigneten Distanzscheiben zwischen einem an der Düsennadel 45 angeordneten
Flansch 43 und dem Düsenkopf 46.
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Sowohl
das flüssige
CO2 als auch das Druckgas wird über die
Düsennadel 45 zugeführt. Das Druckgas
strömt
dann zur Beruhigung über
vier einlaßseitig
an der Lavaldüse 51 angeordnete
sternförmigen
Bohrungen in die Vorkammer der Lavaldüse 51. Aus der Lavaldüse strömt das Druckgas
mit Überschall,
drallfrei und symmetrisch aus.
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Das
CO2 wird über die Kapillare 42 zugeführt, die
im Kanal der Düsennadel 45 geführt wird. Ein
Stopfen 48 am unteren Ende der Düsennadel 45 zentriert
die Kapillare 42 und dichtet zugleich den Druckgaskanal
nach unten ab. Am oberen Ende wird der Druckgaskanal durch die CO2-Leitung 40 und deren Verschraubung 41 verschlossen.
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Da
das CO2 aufgrund von Druckänderung
innerhalb der Geometrie der Lavaldüse 51 den Aggregatzustand
wechsen würde,
sind die beiden Düsen, die
Lavaldüse 41 und
die am Ende der Kapillare 42 ausgebildete Schnee-Düse 49 so
angeordnet, daß das
Stützgas
erst dem fertigen Trockeneisschnee-Strahl zugemischt wird. Ansonsten
wäre die Funktion
des Strahlwerkzeugs nicht gewährleistet.
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Abgedichtet
wird das ganze System durch zwei Dichtungen, nämlich einer Packung 44 mit Flansch 43 sowie
einer dünnen
Metallfolie zwischen Düsenkopf 46 und
einer Anschlußplatte 55.
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Am
Düsenende
ist ein Metallring 50 mit drei Ionisationsspitzen durch
einen Isolator 47 isoliert angebracht, der über ein
Hochspannungkabel 53 mit einem regelbaren Ionisator verbunden
ist. Über
die Ionisationsspitzen des Metallrings 50 wird die stark
negative Aufladung des CO2-Strahles beim
Kristallisieren des CO2 am Ausgang der Kapillare 42 durch
kontinuierliches Deionisieren kompensiert.
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Weiterhin
ist die Kapillare 42 mittels eines Massekabels geerdet,
so daß die
Ladungstrennung in der Randschicht des durch die Kapillare strömenden flüssigen CO2 hineichend aufgehoben wird.
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Mit
diesem System wurden bereits verschiedene Teile aus der Mikrosystem-
bzw. Feinwerktechnik erfolgreich gereinigt. Dazu gehören beispielsweise
Kontaktflächen
von Mikroschaltern, Düsenelemente
aus der Drucktechnik, auf einem Keramikträger aufgebaute Mikrochips und
Stanzteile für
den Bau von Schaltelementen. Dabei wurden sowohl partikuläre Ablagerungen
als auch biotische und/oder abiotische Beschichtung wie beispielsweise
Fingerabdrücke
oder dünne
Lackschichten entfernt.
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Als
weitere vorteilhafte Ausgestaltung, ist die CO2-Zuführung so
ausgebildet, daß kurze CO2-Strahlstöße erzeugt werden können. Diese
sind verglichen mit einem kontinuierlichen CO2-Strahl
wesentlich effektiver, da hier im Vergleich zu der längeren Einwirkzeit
des Trockeneisstrahles höhere
Thermospannungen erzeugt werden.
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6 zeigt
ein Beispiel für
eine Reinigung mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung. Oben sind verkrustetet
Düsen eines
Tintenstrahldruckkopfes dargestellt, die erfindungsgemäß gereinigt
wurden. Im unteren Teil der Abbildung ist ein Mikrochip auf einem
Keramikträger
dargestellt, dessen Verzunderung auf der rechten Seite zu sehen
ist. Linksseitig ist in diesem Bild der gereinigte Bereich zu erkennen.
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7 zeigt
eine Lackschicht, die mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung behandelt wurde.
Die Darstellung in 7 ist 50fach vergößert. Wie
zu erkennen ist, ist die Lackschicht teilweise mit dem erfindungsgemäßen Verfahren
abgetragen worden. Deutlich ist die Rißbildung und die Absprengung
vom Grundmaterial zu erkennen.