DE19910368A1 - Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Resonators - Google Patents
Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen ResonatorsInfo
- Publication number
- DE19910368A1 DE19910368A1 DE19910368A DE19910368A DE19910368A1 DE 19910368 A1 DE19910368 A1 DE 19910368A1 DE 19910368 A DE19910368 A DE 19910368A DE 19910368 A DE19910368 A DE 19910368A DE 19910368 A1 DE19910368 A1 DE 19910368A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- base substrate
- electrodes
- piezoelectric
- electrode
- strip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 101
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 27
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 40
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 18
- 230000000638 stimulation Effects 0.000 abstract 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 7
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 244000052769 pathogen Species 0.000 description 3
- 230000001717 pathogenic effect Effects 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 101150107341 RERE gene Proteins 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 241000894007 species Species 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
- H03H3/04—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks for obtaining desired frequency or temperature coefficient
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/177—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator of the energy-trap type
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/178—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator of a laminated structure of multiple piezoelectric layers with inner electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
- H03H3/04—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks for obtaining desired frequency or temperature coefficient
- H03H2003/0414—Resonance frequency
- H03H2003/0421—Modification of the thickness of an element
- H03H2003/0428—Modification of the thickness of an element of an electrode
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/42—Piezoelectric device making
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
Einen piezoelektrischen Resonator erhält man durch die folgenden Schritte: Bereitstellen eines ersten Grundsubstrats 1, in dem erste Streifenelektroden 2a bis 2h so ausgebildet sind, da0 sie sich in eine zweite Richtung senkrecht zu einer ersten Richtung erstrecken, vorausgesetzt daß eine Richtung einer Verbindungslinie zwischen einer Erregerelektrode und einer Bleielektrode als erste Richtung bezeichnet wird; Herstellen eines zweiten Grundsubstrats 3, indem das erste Grundsubstrat 1 in einer Schneidposition B so einschneidet, daß die Länge der ersten Streifenelektroden 2a bis 2h, gemessen in der ersten Richtung, eine optimale Elektrodenüberlappungslänge für eine Zielresonanzfrequenz schafft; Ausbilden von zweiten Streifenelektroden auf dem resultierenden zweiten Grundsubstrat 3 unter Verwendung einer Maske; und anschließend Einschneiden des zweiten Grundsubstrats 3.
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstel
lung eines piezoelektrischen Resonators, der beispielsweise
für einen Oszillator verwendet wird, und insbesondere einen
Energie aufnehmenden piezoelektrischen Resonator, bei dem ei
ne Vielzahl von Erregerelektroden vorgesehen sind die einan
der über einen piezoelektrischen Körper überlappen.
Es ist bereits ein Energie aufnehmender piezoelektrischer Re
sonator bekannt, der so aufgebaut ist, daß eine erste Erre
gerelektrode und eine zweite Erregerelektrode jeweils auf den
Hauptflächen einer piezoelektrischen Platte vorgesehen ist,
und daß eine erste Erregerelektrode und eine zweite Erreger
elektrode einander über die piezoelektrische Platte überlap
pen, so daß ein Erregerabschnitt entsteht. Außerdem ist ein
laminierter, Energie aufnehmender piezoelektrischer Resonator
mit wenigstens einer inneren Elektrode bekannt, bei dem Erre
gerelektroden so auf der piezoelektrischen Platte angeordnet
sind, daß sie einander über die innere Elektrode und eine
piezoelektrische Schicht überlappen, wie dies offenbart ist
in der Japanischen Patentveröffentlichung (kokoku)
Nr. 7-105686.
Mittlerweile hängt bei diesen piezoelektrischen Resonatoren
die Resonanzfrequenz von der Dicke eines piezoelektrischen
Körpers ab. Um piezoelektrische Resonatoren mit unterschied
lichen Resonanzfrequenzen herzustellen, wurden daher piezo
elektrische Körper verwendet, die jeweils eine der Resonanz
frequenz entsprechende Dicke besaßen.
Die Resonanzcharakteristiken eines piezoelektrischen Resona
tors ändern sich je nach dem Überlappungsbereich zwischen Er
regerelektroden, die als Erregerabschnitt dienen. Daher muß
zunächst die Dicke eines piezoelektrischen Körpers bestimmt
werden, und dann wird der Überlappungsbereich der Erreger
elektroden auf einen optimalen Bereich eingestellt, um bei
einer beliebigen Resonanzfrequenz ausgezeichnete Resonanzcha
rakteristiken zu erzielen. Der optimale Überlappungsbereich
von Erregerelektroden ändert sich mit der Resonanzfrequenz.
Um ausgezeichnete Resonanzcharakteristiken bei einer beliebi
gen Resonanzfrequenz zu erzielen, muß ein piezoelektrischer
Körper mit einer Dicke entsprechend der Resonanzfrequenz be
reitgestellt werden, und anschließend müssen Erregerelektro
den bereitgestellt werden, um den oben genannten optimalen
Überlappungsbereich der Erregerelektroden in dem piezoelek
trischen Resonator zu erzielen.
Während der Herstellung piezoelektrischer Resonatoren werden
jedoch herkömmlicherweise eine Vielzahl von Erregerelektroden
gleichzeitig auf einem Grundsubstrat ausgebildet, das aus ei
nem piezoelektrischen Material besteht. Dies wird anhand ei
nes beispielhaften Verfahrens zur Herstellung eines herkömm
lichen piezoelektrischen Resonators 70 beschrieben, der in
einem Dickenscherungsschwingungsmodus schwingen kann, wie
dies in Fig. 13 dargestellt ist.
Wenn ein piezoelektrischer Resonator 70 hergestellt wird,
werden Streifenelektroden mit Lücken dazwischen auf der Ober
seite und der Unterseite eines Grundsubstrats ausgebildet,
das aus einem piezoelektrischen Material besteht. Die Strei
fenelektroden auf der Oberseite werden vorgesehen, um eine
Erregerelektrode 72a und eine Bleielektrode 72 auszubilden,
wie in Fig. 13 dargestellt, während die Streifenelektroden
auf der Unterseite vorgesehen werden, um eine Erregerelektro
de 72a und eine Bleielektrode 72d auszubilden.
Kurz gesagt, die Streifenelektroden auf der Oberseite des
Grundsubstrats und jene auf der Unterseite dieses Grund
substrats überlappen einander über das Grundsubstrat, so daß
eine Überlappungslänge L zwischen den Erregerelektroden 72a
und 72c entsteht. Das Grundsubstrat wird dann in Richtung ei
ner Linie eingeschnitten, die die Erregerelektrode 72a und
die Bleielektrode 72b verbindet, und auch in der Richtung
senkrecht zu der Linie, so daß man den piezoelektrischen Re
sonator erhält.
Bei dem piezoelektrischen Resonator 70 werden die Bleielek
troden 72b und 72d in entgegengesetzten Richtungen von den
Erregerabschnitten in einen piezoelektrischen Körper 71 ge
führt, der in Richtung eines Pfeiles P polarisiert ist. Kurz
gesagt, die Bleielektrode 72 ist so angeordnet, daß sie bis
zu einer Kantenfläche 71a reicht, und die Bleielektrode 72d
ist so angeordnet, daß sie bis zu einer Kantenfläche 71b
reicht.
Wie oben beschrieben, wurde der herkömmliche, Energie aufneh
mende piezoelektrische Resonator 70 im allgemeinen dadurch
hergestellt, daß gleichzeitig eine Vielzahl von Streifenelek
troden auf den jeweiligen Oberflächen des Grundsubstrats aus
gebildet wurde.
Um ausgezeichnete Charakteristiken bei einer spezifischen Re
sonanzfrequenz zu erhalten, muß, wie oben erwähnt, ein über
lappungsbereich zwischen den Erregerelektroden in einem pie
zoelektrischen Resonator, d. h. eine Überlappungslänge L zwi
schen den Erregerelektroden 72a und 72c in dem piezoelektri
schen Resonator 70 optimiert werden. Daher muß in dem Fall,
wo piezoelektrische Resonatoren mit einer Vielzahl von Fre
quenzen nach Ausbildung von Streifenelektroden auf einem
Grundsubstrat hergestellt werden sollen, für jede Frequenz
eine eigene Maske bereitgestellt werden, die die Realisierung
einer optimalen Elektrodenüberlappungslänge L ermöglicht.
Die Kosten für die Bereitstellung einer Vielzahl von Masken
entsprechend den jeweiligen Resonanzfrequenzen sind jedoch
recht hoch. In der Praxis werden somit die Frequenzen in meh
rere Frequenzbereiche unterteilt, und es wird eine gemeinsame
Maske in einem Frequenzbereich verwendet, um auf diese Weise
die oben beschriebenen Streifenelektroden auf einem Grund
substrat auszubilden.
Dies hat folgenden Nachteil: bei den herkömmlichen, Energie
aufnehmenden piezoelektrischen Resonatoren war nämlich die
Elektrodenüberlappungslänge L nicht immer optimale in bezug
auf die entsprechenden Resonanzfrequenzen. Wenn eine Elektro
denüberlappungslänge L so ausgelegt ist, daß sie einer spezi
fischen Resonanzfrequenz in einem Frequenzbereich entspricht,
ist die Elektrodenüberlappungslänge nicht optimal in bezug
auf eine andere Resonanzfrequenz, und es könnte sein, daß
keine besonders hervorragenden Resonanzcharakteristiken rea
lisiert werden.
Um die oben beschriebenen Nachteile zu überwinden, stellt die
vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines
piezoelektrischen Resonators mit ausgezeichneten Resonanzcha
rakteristiken bereit, wobei das Verfahren eine optimale Elek
trodenüberlappung erreicht durch Verwendung einer Art von
Maske zur Ausbildung von Elektroden und einen optimalen Elek
trodenüberlappungsbereich realisiert, der einer Vielzahl von
Resonanzfrequenzen entspricht.
Eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung
stellt ein Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen
Resonators bereit, der einen piezoelektrischen Körper umfaßt;
eine Vielzahl von ersten und zweiten Erregerelektroden, die
einander über den piezoelektrischen Körper überlappen, um ei
nen Erregerabschnitt zu bilden; eine erste Bleielektrode, die
sich von den entsprechenden ersten Erregerelektroden zu einem
Kantenabschnitt des piezoelektrischen Körpers erstreckt und
mit einem ersten elektrischen Potential verbunden ist; und
eine zweite Bleielektrode, die sich in eine Richtung er
streckt, die der Richtung entgegengesetzt ist, in die sich
die erste Bleielektrode erstreckt, und die mit einem zweiten
elektrischen Potential verbunden ist;
umfassend die folgenden Schritte:
Bereitstellen eines ersten Grundsubstrats, auf dem eine Viel zahl von ersten Streifenelektroden mit in einer ersten Rich tung verlaufenden Lücken dazwischen angeordnet sind und sich in einer zweiten Richtung erstrecken, vorausgesetzt die erste Richtung verläuft in der Richtung einer Verbindungslinie zwi schen den Erregerelektroden und den Bleielektroden, und die zweite Richtung ist im wesentlichen senkrecht zu der ersten Richtung;
Herstellen eines zweiten Grundsubstrats, indem man das erste Grundsubstrat in der zweiten Richtung so einschneidet, daß die Länge der ersten Streifenelektroden in der ersten Rich tung einer Zielresonanzfrequenz entspricht;
Ausbilden, mit Hilfe einer Maske, einer Vielzahl von zweiten Streifenelektroden auf einer Hauptfläche des zweiten Grund substrats, wobei jede der zweiten Streifenelektroden die zweite Erregerelektrode bildet, und die zweite Bleielektrode in der zweiten Richtung mit dem zweiten elektrischen Potenti al verbunden ist; und
Herstellen einer Vielzahl von piezoelektrischen Resonatoren, indem man das zweite Grundsubstrat in der ersten Richtung einschneidet.
Bereitstellen eines ersten Grundsubstrats, auf dem eine Viel zahl von ersten Streifenelektroden mit in einer ersten Rich tung verlaufenden Lücken dazwischen angeordnet sind und sich in einer zweiten Richtung erstrecken, vorausgesetzt die erste Richtung verläuft in der Richtung einer Verbindungslinie zwi schen den Erregerelektroden und den Bleielektroden, und die zweite Richtung ist im wesentlichen senkrecht zu der ersten Richtung;
Herstellen eines zweiten Grundsubstrats, indem man das erste Grundsubstrat in der zweiten Richtung so einschneidet, daß die Länge der ersten Streifenelektroden in der ersten Rich tung einer Zielresonanzfrequenz entspricht;
Ausbilden, mit Hilfe einer Maske, einer Vielzahl von zweiten Streifenelektroden auf einer Hauptfläche des zweiten Grund substrats, wobei jede der zweiten Streifenelektroden die zweite Erregerelektrode bildet, und die zweite Bleielektrode in der zweiten Richtung mit dem zweiten elektrischen Potenti al verbunden ist; und
Herstellen einer Vielzahl von piezoelektrischen Resonatoren, indem man das zweite Grundsubstrat in der ersten Richtung einschneidet.
Nach dem oben beschriebenen Verfahren erhält man eine Viel
zahl von piezoelektrischen Resonatoren. Und die Länge in der
ersten Richtung der mit dem ersten elektrischen Potential
verbundenen ersten Streifenelektrode wird bestimmt durch Än
dern der Schneidposition während eines Schneidvorgangs bei
der Herstellung eines zweiten Grundsubstrats. Da die Länge in
der ersten Richtung der mit dem ersten elektrischen Potential
verbundenen ersten Erregerelektrode bei einem schließlich
hergestellten piezoelektrischen Resonator während des
Schneidvorgangs bei der Herstellung eines zweiten Grund
substrats reguliert wird, läßt sich die Länge der einander
überlappenden Erregerelektroden leicht auf eine geeignete
Länge regulieren, um auf diese Weise ausgezeichnete Reso
nanzcharakteristiken bei einer Vielzahl von Frequenzen zu er
halten.
Während der Herstellung der oben beschriebenen zweiten Strei
fenelektroden, wo die mit dem zweiten elektrischen Potential
verbundenen zweiten Erregerelektroden und die zweiten Blei
elektroden in der zweiten Richtung ausgerichtet werden, kann
des weiteren selbst bei Änderung einer Resonanzfrequenz eine
einzigartige Maske verwendet werden, um die Anzahl und die
Arten der bei diesem Schritt verwendeten Masken zu reduzie
ren.
Bei dem oben beschriebenen Verfahren kann der piezoelektri
sche Körper eine langgestreckte Streifenform aufweisen, und
seine Längsrichtung entspricht der ersten Richtung.
Gemäß der oben beschriebenen Anordnung kann eine Vielzahl von
piezoelektrischen Resonatoren leicht unter Verwendung eines
rechteckigen ersten und zweiten Grundsubstrats hergestellt
werden.
Bei dem oben beschriebenen Verfahren kann die Vielzahl von
ersten Streifenelektroden auf einer ersten Hauptfläche des
ersten Grundsubstrats angeordnet werden; und
die Vielzahl von zweiten Streifenelektroden wird auf einer zweiten Hauptfläche des zweiten Grundsubstrats angeordnet, wenn die Vielzahl von zweiten Streifenelektroden unter Ver wendung einer Maske ausgebildet werden.
die Vielzahl von zweiten Streifenelektroden wird auf einer zweiten Hauptfläche des zweiten Grundsubstrats angeordnet, wenn die Vielzahl von zweiten Streifenelektroden unter Ver wendung einer Maske ausgebildet werden.
Nach dem oben beschriebenen Verfahren kann ein Energie auf
nehmender piezoelektrischer Einschicht-Resonator hergestellt
werden, der beispielsweise in einem Dickenlängsschwingungsmo
dus oder in einem Dickenscherungsschwingungsmodus schwingen
kann.
Bei dem oben beschriebenen Verfahren kann das erste Grund
substrat in einer Dickenrichtung desselben polarisiert sein,
so daß man einen piezoelektrischen Resonator erhält, der im
Dickenlängsschwingungsmodus schwingen kann.
Bei dem oben beschriebenen Verfahren kann das erste Grund
substrat in der ersten Richtung polarisiert sein, so daß man
einen piezoelektrischen Resonator erhält, der in einem Sche
rungsmodus schwingen kann.
Bei dem oben beschriebenen Verfahren können die ersten Strei
fenelektroden als innere Elektroden dienen, die zweiten
Streifenelektroden sind bei der Ausbildung der Vielzahl von
zweiten Streifenelektroden unter Verwendung einer Maske auf
der ersten und zweiten Hauptfläche des zweiten Grundsubstrats
angeordnet, und somit erhält man einen piezoelektrischen Re
sonator, der in einer Oberschwingung eines Dickenlängsschwin
gungsmodus schwingen kann.
Nach dem oben beschriebenen Verfahren ist es möglich, einen
Energie aufnehmenden piezoelektrischen Resonator zu erhalten,
der in einer hohen Oberschwingung eines Dickenlängsschwin
gungsmodus schwingen kann. Daher wird ein kleiner piezoelek
trischer Resonator bereitgestellt, der in einem Hochfrequenz
bereich verwendet wird.
Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung wer
den aus der folgenden Beschreibung der Erfindung offensicht
lich, die sich auf die beiliegenden Zeichnungen bezieht. Dar
in zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht eines ersten Grund
substrats gemäß einer ersten bevorzugten Ausführungsform;
Fig. 2 eine Querschnittsansicht zum besseren Verständnis des
Schrittes der Ausbildung einer Elektrode auf der Unterseite
eines zweiten Grundsubstrats, das aus einem ersten Grund
substrat geschnitten wurde;
Fig. 3 eine Querschnittsansicht zum besseren Verständnis des
Schrittes der Ausbildung einer Elektrode auf der Unterseite
eines zweiten Grundsubstrats, um einen piezoelektrischen Re
sonator gemäß einer ersten bevorzugten Ausführungsform herzu
stellen, der eine höhere Resonanzfrequenz besitzt;
Fig. 4 eine Querschnittsansicht eines piezoelektrischen Re
sonators gemäß einer ersten bevorzugten Ausführungsform, der
in einem Dickenlängsschwingungsmodus schwingen kann;
Fig. 5 eine perspektivische Ansicht eines zweiten Grund
substrats gemäß einer zweiten bevorzugten Ausführungsform;
Fig. 6 eine Querschnittsansicht zum besseren Verständnis des
Schrittes der Ausbildung einer Elektrode auf der Unterseite
eines zweiten Grundsubstrats, das aus einem ersten Grund
substrat geschnitten wurde;
Fig. 7 eine Querschnittsansicht zum besseren Verständnis des
Schrittes der Ausbildung einer Elektrode auf der Unterseite
eines zweiten Grundsubstrats, um einen piezoelektrischen Re
sonator gemäß einer zweiten bevorzugten Ausführungsform her
zustellen, der eine höhere Resonanzfrequenz besitzt;
Fig. 8 eine Querschnittsansicht eines piezoelektrischen Re
sonators gemäß einer zweiten bevorzugten Ausführungsform, der
in einem Dickenlängsschwingungsmodus schwingen kann;
Fig. 9 eine perspektivische Ansicht eines ersten Grund
substrats gemäß einer dritten bevorzugten Ausführungsform.
Fig. 10 eine Querschnittsansicht zum besseren Verständnis des
Schrittes der Ausbildung einer Elektrode auf der Unterseite
eines zweiten Grundsubstrats, das aus einem ersten Grund
substrat geschnitten wurde;
Fig. 11 eine Querschnittsansicht zum besseren Verständnis des
Schrittes der Ausbildung einer Elektrode auf der Unterseite
eines zweiten Grundsubstrats, um einen piezoelektrischen Re
sonator gemäß einer dritten bevorzugten Ausführungsform her
zustellen, der eine höhere Resonanzfrequenz besitzt;
Fig. 12 eine perspektivische Ansicht eines piezoelektrischen
Resonators gemäß einer dritten bevorzugten Ausführungsform,
der in einem Dickenlängsschwingungsmodus schwingen kann;
Fig. 13 eine perspektivische Ansicht zur Veranschaulichung
eines Beispiels für einen herkömmlichen, Energie aufnehmenden
piezoelektrischen Resonator.
Eine erste bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfin
dung wird nun anhand von Fig. 1 bis 4 beschrieben.
Zunächst wird ein Grundsubstrat 1 bereitgestellt, das in Fig.
1 in einer perspektivischen Ansicht gezeigt ist. Das Grund
substrat 1 besteht zum Beispiel aus einer-piezoelektrischen
Keramik wie beispielsweise einer PZT-Keramik und besitzt
rechteckige Ebenen.
Das Grundsubstrat 1 ist in einer Dickenrichtung polarisiert,
die mit einem Pfeil P gekennzeichnet ist. Auf einer ersten
Hauptfläche des Grundsubstrats 1, d. h. auf einer Oberseite
1a, sind erste Streifenelektroden 2a bis 2h parallel zueinan
der mit Lücken dazwischen angeordnet. Eine Richtung, in der
jede der ersten Streifenelektroden verläuft, wird als zweite
Richtung bezeichnet, und eine Richtung senkrecht zu der zwei
ten Richtung wird als erste Richtung bezeichnet, in der die
ersten Streifenelektroden nebeneinander angeordnet sind. Um
die erste Streifenelektrode 2a herzustellen, kann ein elek
trisch leitendes Material nach einem Dünnschichtherstellungs
verfahren wie zum Beispiel dem Aufdampfen oder Sputtern her
gestellt werden, das unter Verwendung einer Maske durchge
führt wird, die auf die Oberseite 1a des Grundsubstrats 1 ge
legt wird. Was die Materialien für die erste Streifenelektro
de 2a bis 2h angeht, so können geeignete Metalle wie zum Bei
spiel Ni oder Cu verwendet werden.
Anschließend wird das erste Grundsubstrat 1 an den durch die
gestrichelten Linien A in Fig. 1 dargestellten Stellen einge
schnitten. Die Linien A verlaufen parallel zu der zweiten
Richtung.
Wie unten beschrieben, wird ein Abstand zwischen den
Schneidpositionen A, A festgelegt, um eine Elektrodenüberlap
pungslänge L eines schließlich hergestellten piezoelektri
schen Resonators zu optimieren, die einer Zielresonanzfre
quenz entspricht.
Wie oben beschrieben, erhält man eine Vielzahl von zweiten
Grundsubstraten 3, indem man an den Schneidpositionen A, A
einschneidet.
Wie in Fig. 2 gezeigt, die einen Querschnitt entlang der er
sten Richtung zeigt, werden eine Maske 4 und eine Maske 5 mit
der Oberseite bzw. der Unterseite des zweiten Grundsubstrats
3 in Kontakt gebracht, und ein elektrisch leitendes Material
wird durch ein Dünnschichtherstellungsverfahren wie zum Bei
spiel Aufdampfen oder Sputtern bereitgestellt, um auf diese
Weise eine zweite Streifenelektrode 6a auszubilden.
Die Maske 4 ist so ausgelegt, daß sie die gesamte Oberseite
3a des Grundsubstrats 3 vollständig bedeckt, um zu vermeiden,
daß sich Elektrodenmaterial auf der Oberseite 3a abscheidet.
Eine zweite Elektrode 6a wird gemäß der Form eines Fensters
5a der Maske 5 ausgebildet. Es können die gleichen elektrisch
leitenden Materialien wie bei der Herstellung der ersten
Elektroden 2a bis 2h verwendet werden.
Die zweite Streifenelektrode 6a verläuft in einer Richtung,
die die Vorderseite und die Rückseite der Zeichnung in Fig. 2
verbindet, d. h. in der zweiten Richtung. Die Breite der zwei
ten Elektrode 6a, d. h. die Länge X entlang der ersten Rich
tung, wird bestimmt durch die Länge des Fensters 5a der Maske
5 entlang der ersten Richtung.
Anschließend wird das oben erwähnte zweite Grundsubstrat 3
längs eines Abschnitts eingeschnitten, der einer Linie C-C in
Fig. 1 entspricht, d. h. entlang der ersten Richtung, um auf
diese Weise eine Vielzahl von piezoelektrischen Resonatoren
zu erhalten.
Fig. 4 ist eine Querschnittsansicht von einem der so erhalte
nen piezoelektrischen Resonatoren. Der piezoelektrische Reso
nator 7, der erhalten wurde durch Einschneiden des zweiten
Grundsubstrats 3, ist ein schmaler streifenartiger piezoelek
trischer Körper 3A mit einer Elektrode 2A und einer Elektrode
6A, die auf der Oberseite bzw. der Unterseite desselben aus
gebildet sind. Die Elektrode 2A wird hergestellt durch Ein
schneiden der ersten Streifenelektrode 2a entlang der Linie
C-C; analog dazu wird die Elektrode 6A hergestellt durch Ein
schneiden der zweiten Streifenelektrode 6a entlang der Linie
C-C.
Die Elektrode 2A und die Elektrode 6A überlappen einander
über den piezoelektrischen Körper 3A in einem mittleren Ab
schnitt desselben in Längsrichtung. Die Abschnitte der Elek
troden 2A und 6A, die einander über den piezoelektrischen
Körper 3A überlappen, bilden einen Erregerabschnitt 8, und
die Elektrodenabschnitte, die den Erregerabschnitt 8 bilden,
bilden eine erste Erregerelektrode 2A1 bzw. eine zweite Erre
gereleketrode 6A1. Ein Abschnitt der Elektrode 2A, der sich
von der Erregerelektrode 2A1 zu einer Kantenfläche 3A1 des
piezoelektrischen Körpers 3A erstreckt, bildet eine erste
Bleielektrode 2A2, und ein Abschnitt der Elektrode 6A, der
sich von dem Erregerabschnitt 8 zu einer gegenüberliegenden
Kantenfläche 3A2 des piezoelektrischen Körpers 3A erstreckt,
bildet eine zweite Bleielektrode 6A2.
Mittlerweile hängt eine Resonanzfrequenz des piezoelektri
schen Resonators 7 von der Dicke des piezoelektrischen Kör
pers 3A ab. Um einen piezoelektrischen Resonator herzustel
len, dessen Resonanzfrequenz höher ist als die des obigen
piezoelektrischen Resonators 7, wird daher ein dünneres pie
zoelektrisches Substrat verwendet, das als Grundsubstrat 1
gemäß Fig. 1 dient. In diesem Fall wird die zweite Streifen
elektrode 6a auf der Unterseite des zweiten Grundsubstrats 3
unter Verwendung derselben Maske 5 gemäß Fig. 2 angeordnet,
um eine zweite Erregerelektrode und eine Bleielektrode be
reitzustellen. Dies wird anhand von Fig. 1 und Fig. 3 be
schrieben.
Um einen piezoelektrischen Resonator mit einer höheren Reso
nanzfrequenz herzustellen, wird die Dicke des in Fig. 1 dar
gestellten ersten Grundsubstrats reduziert. Wenn das zweite
Grundsubstrat durch Einschneiden des ersten Grundsubstrats
hergestellt wird, werden die Schneidpositionen A, A, . . . so
gewählt, daß man eine Elektrodenüberlappungslänge L erhält,
die für eine Zielresonanzfrequenz optimal ist. Um beispiels
weise piezoelektrische Resonatoren mit einer höheren Frequenz
zu erhalten, wird die Elektrodenüberlappungslänge L redu
ziert; d. h. das Substrat wird an den durch die gestrichelten
Linien A', A', . . . gekennzeichneten Positionen eingeschnit
ten.
Somit erhält man ein zweites Grundsubstrat 13 gemäß Fig. 3.
Da das zweite Grundsubstrat 13 hergestellt wird, indem man es
an den durch die gestrichelten Linien A', A', . . . gekenn
zeichneten Positionen einschneidet, wird die Länge entlang
einer ersten Richtung einer auf einer ersten Hauptfläche 13a
ausgebildeten ersten Streifenelektrode 12b kürzer als die
entlang einer ersten Richtung der in Fig. 2 dargestellten er
sten Streifenelektrode 2b.
Wie in Fig. 3 gezeigt, wird die zweite Streifenelektrode 6a
auf der Unterseite 3b des zweiten Grundsubstrats 13 durch
Verwendung einer mit der Maske 5 gemäß Fig. 2 identischen
Maske 5 angeordnet. Wie in Fig. 3 deutlich gezeigt ist, ist
die Überlappungslänge L entlang der ersten Richtung der obi
gen Elektroden 12b und 6a kürzer als die Überlappungslänge L
entlang der ersten Richtung der Elektroden 2b und 6a gemäß
Fig. 2. Daher wird das zweite Grundsubstrat 13 gemäß Fig. 3
an Abschnitten eingeschnitten, die der in Fig. 1 gezeigten
gestrichelten Linie C-C entsprechen, um auf diese Weise pie
zoelektrische Resonatoren herzustellen, die selbst bei einer
höheren Resonanzfrequenz ausgezeichnete Resonanzcharakteri
stiken besitzen.
In der oben beschriebenen Ausführungsform kann ein piezoelek
trischer Resonator mit einer gewünschten Elektrodenüberlap
pungslänge L hergestellt werden, indem man - wenn das erste
Grundsubstrat 1 so eingeschnitten wird, daß man die zweiten
Grundsubstrate 3 und 13 erhält - die Schneidpositionen A, A
und A', A' gemäß der Elektrodenüberlappungslänge L eines
schließlich erhaltenen piezoelektrischen Resonators wählt. Da
es darüberhinaus in diesem Fall nicht notwendig ist, die
zweite Elektrode 6a dahingehend zu ändern, daß sie für ir
gendeine Resonanzfrequenz auf der Unterseite ausgebildet ist,
wird die zweite Streifenelektrode 6a einfach auf der Unter
seite des zweiten Grundsubstrats durch alleinige Verwendung
der Maske 5 ausgebildet.
Daher kann eine optimale Elektrodenüberlappungslänge L ent
sprechend einer Vielzahl von Resonanzfrequenzen realisiert
werden, und es wird nur eine Art von Maske 5 als Maske benö
tigt, um die auf der zweiten Hauptfläche ausgebildete zweite
Elektrode 6a zu erhalten.
Bei der oben beschriebenen ersten bevorzugten Ausführungsform
wird der piezoelektrische Resonator 7, der in einem Dicken
längsschwingungsmodus schwingen kann, durch Verwendung des
ersten Grundsubstrats 3 hergestellt, das in einer Dickenrich
tung polarisiert ist. Das Verfahren der vorliegenden Erfin
dung zur Herstellung eines piezoelektrischen Resonators ist
jedoch nicht auf einen piezoelektrischen Resonator be
schränkt, der in einem Dickenlängsschwingungsmodus schwingen
kann, und er kann einen piezoelektrischen Resonator umfassen,
der in einem anderen Schwingungsmodus schwingen kann, bei
spielsweise in einem Dickenscherungsschwingungsmodus.
Eine zweite bevorzugte Ausführungsform betrifft ein Verfahren
zur Herstellung eines Energie aufnehmenden piezoelektrischen
Resonators, der in einem Dickenscherungsschwingungsmodus
schwingen kann. Zunächst wird ein erstes Grundsubstrat 21 ge
mäß Fig. 5 bereitgestellt. Das erste Grundsubstrat 21 besteht
beispielsweise aus piezoelektrischer Keramik wie zum Beispiel
einer PZT-Keramik. Das erste Grundsubstrat 21 besitzt recht
eckige Ebenen und ist in einer Richtung parallel zu den
Hauptflächen polarisiert, wie dies durch einen Pfeil P ange
zeigt ist. Auf einer ersten Hauptfläche des Grundsubstrats
21, d. h. auf einer Oberseite 21a, werden erste Streifenelek
troden 22a bis 22c parallel zueinander mit Lücken dazwischen
ausgebildet.
Das obengenannte erste Muttersubstrat 21 wird entlang der Po
sitionen B, B, die durch die gestrichelten Linien in Fig. 5
dargestellt sind, eingeschnitten, so daß man das zweite
Grundsubstrat 23 erhält. In diesem Fall können die Positionen
B, B, ähnlich wie in dem Fall der ersten bevorzugten Ausfüh
rungsform, je nach der in Frage kommenden Resonanzfrequenz
gewählt werden.
Somit erhält man das zweite Grundsubstrat 23 gemäß Fig. 6.
Bei dem zweiten Grundsubstrat 23 ist eine erste Streifenelek
trode 22b auf einer Oberseite 23a ausgebildet. Eine Maske 4
und eine Maske 5 werden mit der Oberseite 23a bzw. einer Un
terseite 23b in Kontakt gebracht, und ein elektrisch leiten
des Material wird durch ein Dünnschichtherstellungsverfahren
wie zum Beispiel Aufdampfen oder Sputtern bereitgestellt, um
auf diese Weise eine zweite Streifenelektrode 6a zu bilden.
Die zweite Elektrode 6a wird auf der Unterseite 23b bereitge
stellt, die als zweite Hauptfläche dient, und das zweite
Grundsubstrat 23 wird dann entlang von Abschnitten, die den
gestrichelten Linien C-C in Fig. 5 entsprechen, eingeschnit
ten, so daß man piezoelektrische Resonatoren erhält, die in
einem Dickenscherungsschwingungsmodus schwingen können.
Kurz gesagt, man erhält in ähnlicher Weise wie im Zusammen
hang mit der ersten bevorzugten Ausführungsform beschrieben,
einen Energie aufnehmenden piezoelektrischen Resonator 25 ge
mäß Fig. 8, der in einem Dickenscherungsschwingungsmodus
schwingen kann. Die Vorgehensweise ist die gleiche, nur daß
die Polarisationsrichtung des Energie aufnehmenden piezoelek
trischen Resonators 25 von der des ersten Grundsubstrats 21
verschieden ist. In Fig. 8 bezeichnen die Bezugszeichen 23A
und 22B einen piezoelektrischen Körper bzw. eine Elektrode,
und der Resonator besitzt eine Erregerelektrode 22B1 und eine
erste Bleielektrode 22B2.
Um einen piezoelektrischen Resonator mit einer höheren Fre
quenz zu erhalten, wird in diesem Fall außerdem ein dünnerer
piezoelektrischer Resonator als erstes Grundsubstrat 21 ver
wendet, und die Schneidpositionen werden in die mit B', B'
bezeichneten Positionen gemäß Fig. 5 verschoben. Somit erhält
man ein zweites Grundsubstrat 33 gemäß Fig. 7. Bei dem zwei
ten Grundsubstrat 33 ist infolge der Änderung der obigen
Schneidpositionen die Länge entlang einer ersten Richtung auf
einer ersten Streifenelektrode 32a, die auf einer Oberseite
33a vorgesehen ist, kürzer als die entlang einer ersten Rich
tung der ersten Streifenelektrode 22a gemäß Fig. 6.
Anschließend wird eine Streifenelektrode 6a auf einer Unter
seite 33b unter Verwendung einer Maske 5 bereitgestellt, und
das Substrat wird an Abschnitten, die den gestrichelten Lini
en C-C in Fig. 5 entsprechen, eingeschnitten, so daß man auf
diese Weise piezoelektrische Resonatoren erhält.
In diesem Fall wird auch die Streifenelektrode 6a auf der Un
terseite 33b des zweiten Grundsubstrats 33 unter Verwendung
derselben Maske 5 bereitgestellt, und eine Elektrodenüberlap
pungslänge L kann optimiert werden, indem man die obige
Schneidposition B in die Position B' ändert.
In der oben beschriebenen zweiten bevorzugten Ausführungsform
können somit ebenfalls zweifellos piezoelektrische Resonato
ren mit einer optimalen Elektrodenüberlappungslänge entspre
chend einer Vielzahl von Resonanzfrequenzen hergestellt wer
den.
Ein Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Resona
tors gemäß einer dritten bevorzugten Ausführungsform wird als
nächstes anhand von Fig. 9 bis 12 beschrieben.
Zunächst wird ein Grundsubstrat 41 gemäß Fig. 9 hergestellt.
Das Grundsubstrat 41 besteht beispielsweise aus einer piezo
elektrischen Keramik wie zum Beispiel einer PZT-Keramik und
hat die Form einer rechteckigen Platte. Das Grundsubstrat 41
ist in Dickenrichtung homogen polarisiert.
In dem Grundsubstrat 41 sind eine Vielzahl von inneren Elek
troden 42a bis 42h in einer mittleren Höhe ausgebildet, die
auf diese Weise als erste Streifenelektroden dienen. Jede der
inneren Elektroden 42a bis 42h besitzt eine Streifenform, die
sich in einer zweiten Richtung senkrecht zu einer ersten
Richtung einer Verbindungslinie zwischen einer Erregerelek
trode und einer Bleielektrode in einem schließlich erhaltenen
piezoelektrischen Resonator erstreckt. Kurz gesagt, die inne
ren Elektroden 42a bis 42h werden so ausgebildet, daß sie ei
ne ebene Form ähnlich der von Streifenelektroden 2a bis 2h
aufweisen, die auf dem ersten Grundsubstrat in der ersten be
vorzugten Ausführungsform ausgebildet sind.
Die obigen inneren Elektroden 42a bis 42h erstrecken sich in
der zweiten Richtung und sind mit Lücken dazwischen angeord
net. Die inneren Elektroden 42a bis 42h können aus einem ge
eigneten elektrisch leitenden Material bestehen, und das er
ste Grundsubstrat 41 mit den inneren Elektroden 42a bis 42h
kann beispielsweise nach einer bekannten Technik zum Brennen
eines laminierten Keramikpreßteils hergestellt werden.
Das Grundsubstrat 41 wird entlang von Schneidpositionen ein
geschnitten, die durch die gestrichelten Linien D angezeigt
sind, so daß man das zweite Grundsubstrate 43 erhält. Wie un
ten erwähnt, sind die Schneidpositionen D so gewählt, daß man
eine gewünschte Elektrodenüberlappungslänge erhält.
Wie in einer Querschnittsansicht gemäß Fig. 10 gezeigt, wer
den eine Maske 44 und eine Maske 45 mit einer Oberseite 43a
in Kontakt gebracht, die als erste Hauptfläche dient, und mit
einer Unterseite 43b, die als zweite Hauptfläche des zweiten
Grundsubstrats 43 dient, und ein elektrisch leitendes Materi
al wird nach einem Verfahren wie zum Beispiel dem Aufdampfen
oder Sputtern aufgebracht, um auf diese Weise zweite Strei
fenelektroden 46a und 46b zu bilden.
Die Masken 44 und 45 haben Fenster 44a bzw. 45a. In diesem
Fall haben die Maske 44 und die Maske 45 eine identische
Form.
Die zweiten Streifenelektroden 46a und 46b sind somit auf der
Oberseite 43a bzw. der Unterseite 43b des zweiten Grund
substrats 43 ausgebildet.
Die obengenannten zweiten Streifenelektroden 46a und 46b ver
laufen in einer Richtung in die Zeichnung gemäß Fig. 10, d. h.
in die zweite Richtung.
Als nächstes wird das zweite Grundsubstrat 43 an Abschnitten,
die den gestrichelten Linien C-C in Fig. 9 entsprechen, ein
geschnitten, so daß man einen piezoelektrischen Resonator 47
erhält, der im Querschnitt in Fig. 12 dargestellt ist. In dem
piezoelektrischen Resonator 47 ist eine innere Elektrode 42B
in einem piezoelektrischen Körper 48 angeordnet. Die innere
Elektrode 42B wird hergestellt, indem man die obige innere
Elektrode 42b einschneidet.
Auf der Oberseite und der Unterseite des piezoelektrischen
Körpers 48 werden die Elektroden 46A und 46B ausgebildet, in
dem man die oben beschriebenen zweiten Streifenelektroden 46a
und 46b einschneidet. Die Elektroden 46A und 46B umfassen Er
regerelektrodenabschnitte 46A1 und 46B1, die sich jeweils mit
der inneren Elektrode 42B in Dickenrichtung überlappen; und
Bleielektroden 46A2 und 46B2, die jeweils von den Erreger
elektrodenabschnitten 46A1 und 46B1 ausgehen. Die Bezugszei
chen 49 und 50 bezeichnen Verbindungselektroden, die durch
ein geeignetes Verfahren zum Ausbilden einer elektrisch lei
tenden Schicht nach dem obigen Schritt hergestellt werden.
Der piezoelektrische Resonator 47 wirkt daher als piezoelek
trischer Generator, der durch Anlegen einer Wechselspannung
zwischen dem Erregerelektrodenabschnitt 42B1 der inneren
Elektrode 42B und den Erregerelektroden 46A1 und 46A2 in ei
ner dritten Oberschwingung eines Dickenlängsschwingungsmodus
schwingen kann. Das Bezugszeichen 42B2 bezeichnet einen
Bleielektrodenabschnitt.
Um die Resonanzfrequenz zu senken, wird in der vorliegenden
bevorzugten Ausführungsform auch die Dicke des ersten Grund
substrats 41 reduziert; und um ausgezeichnete Resonanzcharak
teristiken zu erhalten, werden einfach die Schneidpositionen
D verschoben.
Wie insbesondere in Fig. 9 gezeigt ist, wird zur Herstellung
des dünnen zweiten Grundsubstrats 43A die Länge in der ersten
Richtung der inneren Elektrode 42b gekürzt, indem man an ei
ner Schneidposition D' einschneidet, die links von der
Schneidposition D gemäß Fig. 9 liegt. Wie in Fig. 11 gezeigt,
wird also die zweite Streifenelektrode 46a bzw. 46b durch
Verwendung derselben Masken 44 und 45 gemäß Fig. 10 herge
stellt, um auf diese Weise einen piezoelektrischen Resonator
mit einer verkürzten Elektrodenüberlappungslänge herzustel
len.
Wenngleich die oben beschriebene dritte bevorzugte Ausfüh
rungsform einen piezoelektrischen Resonator zeigt, bei dem
nur eine Schicht einer inneren Elektrode ausgebildet ist, ist
die vorliegende Erfindung auch auf einen piezoelektrischen
Resonator anwendbar, der in einer Oberschwingung eines Dic
kenlängsschwingungsmodus schwingen kann, und in dem mehr als
eine Schicht einer inneren Elektrode angeordnet ist.
Während die Erfindung anhand bevorzugter Ausführungsformen
derselben besonders dargestellt und beschrieben wurde, ver
steht es sich für den Fachmann, daß die obigen und weitere
Änderungen an Form und Einzelheiten vorgenommen werden kön
nen, ohne vom Geist der Erfindung abzuweichen.
Claims (6)
1. Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Re
sonators mit
einem piezoelektrischen Körper;
einer Vielzahl von ersten und zweiten Erregerelektroden, die einander über den piezoelektrischen Körper überlappen, so daß ein Erreger abschnitt entsteht;
einer ersten Bleielektrode, die sich von den entsprechenden ersten Erregerelektroden zu einem Kanten abschnitt des piezoelektrischen Körpers erstreckt und mit ei nem ersten elektrischen Potential verbunden ist; und
einer zweiten Bleielektrode, die sich in eine Richtung erstreckt, die der Richtung entgegengesetzt ist, in die sich die erste Bleielektrode erstreckt, und die mit dem zweiten elektrischen Potential verbunden ist; umfassend die folgenden Schritte:
Bereitstellen eines ersten Grundsubstrats, auf dem eine Viel zahl von ersten Streifenelektroden mit in einer ersten Rich tung verlaufenden Lücken dazwischen angeordnet sind und sich in einer zweiten Richtung erstrecken, vorausgesetzt die erste Richtung verläuft in der Richtung einer Verbindungslinie zwi schen den Erregerelektroden und den Bleielektroden, und die zweite Richtung ist im wesentlichen senkrecht zu der ersten Richtung;
Herstellen eines zweiten Grundsubstrats, indem man das erste Grundsubstrat in der zweiten Richtung so einschneidet, daß die Länge der ersten Streifenelektroden in der ersten Rich tung einer Zielresonanzfrequenz entspricht;
Ausbilden, mit Hilfe einer Maske, einer Vielzahl von zweiten Streifenelektroden auf einer Hauptfläche des zweiten Grund substrats, wobei jede der zweiten Streifenelektroden die zweite Erregerelektrode bildet, und die zweite Bleielektrode in der zweiten Richtung mit dem zweiten elektrischen Potenti al verbunden ist; und
Herstellen einer Vielzahl von piezoelektrischen Resonatoren, indem man das zweite Grundsubstrat in der ersten Richtung einschneidet.
einem piezoelektrischen Körper;
einer Vielzahl von ersten und zweiten Erregerelektroden, die einander über den piezoelektrischen Körper überlappen, so daß ein Erreger abschnitt entsteht;
einer ersten Bleielektrode, die sich von den entsprechenden ersten Erregerelektroden zu einem Kanten abschnitt des piezoelektrischen Körpers erstreckt und mit ei nem ersten elektrischen Potential verbunden ist; und
einer zweiten Bleielektrode, die sich in eine Richtung erstreckt, die der Richtung entgegengesetzt ist, in die sich die erste Bleielektrode erstreckt, und die mit dem zweiten elektrischen Potential verbunden ist; umfassend die folgenden Schritte:
Bereitstellen eines ersten Grundsubstrats, auf dem eine Viel zahl von ersten Streifenelektroden mit in einer ersten Rich tung verlaufenden Lücken dazwischen angeordnet sind und sich in einer zweiten Richtung erstrecken, vorausgesetzt die erste Richtung verläuft in der Richtung einer Verbindungslinie zwi schen den Erregerelektroden und den Bleielektroden, und die zweite Richtung ist im wesentlichen senkrecht zu der ersten Richtung;
Herstellen eines zweiten Grundsubstrats, indem man das erste Grundsubstrat in der zweiten Richtung so einschneidet, daß die Länge der ersten Streifenelektroden in der ersten Rich tung einer Zielresonanzfrequenz entspricht;
Ausbilden, mit Hilfe einer Maske, einer Vielzahl von zweiten Streifenelektroden auf einer Hauptfläche des zweiten Grund substrats, wobei jede der zweiten Streifenelektroden die zweite Erregerelektrode bildet, und die zweite Bleielektrode in der zweiten Richtung mit dem zweiten elektrischen Potenti al verbunden ist; und
Herstellen einer Vielzahl von piezoelektrischen Resonatoren, indem man das zweite Grundsubstrat in der ersten Richtung einschneidet.
2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem der piezoelektri
sche Körper eine langgestreckte Streifenform besitzt, und
dessen Längsrichtung der ersten Richtung entspricht.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei dem
die Viel zahl von ersten Streifenelektroden auf einer ersten Hauptflä che des ersten Grundsubstrats angeordnet werden; und
die Vielzahl von zweiten Streifenelektroden auf einer zweiten Hauptfläche des zweiten Grundsubstrats angeordnet werden, wenn die Vielzahl von zweiten Streifenelektroden unter Ver wendung einer Maske hergestellt werden.
die Viel zahl von ersten Streifenelektroden auf einer ersten Hauptflä che des ersten Grundsubstrats angeordnet werden; und
die Vielzahl von zweiten Streifenelektroden auf einer zweiten Hauptfläche des zweiten Grundsubstrats angeordnet werden, wenn die Vielzahl von zweiten Streifenelektroden unter Ver wendung einer Maske hergestellt werden.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem
das erste Grundsubstrat in Dickenrichtung desselben polari
siert ist, so daß man einen piezoelektrischen Resonator er
hält, der in einem Dickenlängsschwingungsmodus schwingen
kann.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem
das erste Grundsubstrat in der ersten Richtung polarisiert
ist, so daß man einen piezoelektrischen Resonator erhält, der
in einem Scherungsmodus schwingen kann.
6. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei dem die ersten
Streifenelektroden als innere Elektroden dienen, wobei die
zweiten Streifenelektroden auf der ersten und der zweiten
Hauptfläche des zweiten Grundsubstrats angeordnet sind, wenn
die Vielzahl von zweiten Streifenelektroden unter Verwendung
einer Maske ausgebildet werden, so daß man einen piezoelek
trischen Resonator erhält, der in einer Oberschwingung eines
Dickenlängsschwingungsmodus schwingen kann.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP05845498A JP3319378B2 (ja) | 1998-03-10 | 1998-03-10 | 圧電共振子の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19910368A1 true DE19910368A1 (de) | 1999-09-23 |
Family
ID=13084881
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19910368A Withdrawn DE19910368A1 (de) | 1998-03-10 | 1999-03-09 | Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Resonators |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6014799A (de) |
JP (1) | JP3319378B2 (de) |
CN (1) | CN1130017C (de) |
DE (1) | DE19910368A1 (de) |
NL (1) | NL1011521C2 (de) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1998047226A1 (fr) * | 1997-04-14 | 1998-10-22 | Toyo Communication Equipment Co., Ltd. | Resonateur a cristal decoupe selon un angle at |
JP3461453B2 (ja) * | 1998-12-16 | 2003-10-27 | 株式会社村田製作所 | 厚み縦圧電共振子及び圧電共振部品 |
JP3446705B2 (ja) * | 2000-01-20 | 2003-09-16 | 株式会社村田製作所 | 圧電共振子 |
JP4539138B2 (ja) * | 2004-03-29 | 2010-09-08 | 株式会社村田製作所 | 圧電共振子の製造方法 |
JP4434082B2 (ja) * | 2004-09-07 | 2010-03-17 | 株式会社村田製作所 | 圧電共振子の製造方法 |
US7492241B2 (en) | 2005-06-02 | 2009-02-17 | The Regents Of The University Of California | Contour-mode piezoelectric micromechanical resonators |
CN104347794B (zh) * | 2014-09-09 | 2017-01-18 | 清华大学 | 一种基于剪切压电效应的扭振磁电耦合器件 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG83626A1 (en) * | 1989-07-11 | 2001-10-16 | Seiko Epson Corp | Piezoelectric/electrostrictive actuator having at least one piezoelectric/electrostrictive film |
JP3089851B2 (ja) * | 1992-09-16 | 2000-09-18 | 株式会社村田製作所 | チップ型圧電共振子の製造方法 |
US5506463A (en) * | 1993-08-23 | 1996-04-09 | Rohm Co., Ltd. | Packaged piezoelectric oscillator and method of making the same |
-
1998
- 1998-03-10 JP JP05845498A patent/JP3319378B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1999
- 1999-03-08 US US09/264,096 patent/US6014799A/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-03-09 DE DE19910368A patent/DE19910368A1/de not_active Withdrawn
- 1999-03-10 NL NL1011521A patent/NL1011521C2/nl not_active IP Right Cessation
- 1999-03-10 CN CN99103678.6A patent/CN1130017C/zh not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
NL1011521C2 (nl) | 2003-06-24 |
CN1130017C (zh) | 2003-12-03 |
NL1011521A1 (nl) | 1999-09-13 |
JPH11261358A (ja) | 1999-09-24 |
US6014799A (en) | 2000-01-18 |
JP3319378B2 (ja) | 2002-08-26 |
CN1232316A (zh) | 1999-10-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3942623C2 (de) | ||
DE1791285B2 (de) | Verfahren zum Nachstimmen piezoelektrischer Resonatoren und nach dem Verfahren nachgestimmte piezoelektrische Resonatoren | |
DE19923476C2 (de) | Chipförmiger piezoelektrischer Resonator und Verfahren zum Einstellen seiner Resonanzfrequenz | |
DE3245658C2 (de) | ||
DE102006002038A1 (de) | Piezoelektrische Dünnfilmresonatoren | |
DE69124339T2 (de) | Elektroden- und elektrodenleitungsstruktur eines piezoelektrischen resonators aus einer ultradünnen schicht | |
DE1275219B (de) | Elektromechanisches Filter und Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE102014118897B4 (de) | Wandler für SAW mit unterdrückter Modenkonversion | |
DE3026655A1 (de) | Piezoelektrischer schwinger | |
DE102010056572B4 (de) | Elektronisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung des elektronischen Bauelements | |
DE4005184C2 (de) | ||
DE2936225A1 (de) | Piezoelektrischer resonator | |
DE19910368A1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Resonators | |
DE69723212T2 (de) | Kettenfilter | |
DE1466152B2 (de) | Piezoelektrischer biegeschwinger der bimorphbauart und verfahren zur herstellung desselben | |
DE2607837A1 (de) | Wandler fuer elastische oberflaechenwellen | |
DE19917861A1 (de) | Laminierte LC-Komponente | |
DE3234060A1 (de) | Elektrostatischer wandler | |
DE3235772A1 (de) | Mehrschichtkondensator | |
DE102011005249B4 (de) | Vorrichtung zur Wandlung mechanischer Energie in elektrische Energie und Verfahren zu ihrer Herstellung | |
DE10146338A1 (de) | Zirkularpolarisationswellenantenne und Herstellungsverfahren derselben | |
DE102008029185A1 (de) | Piezoelektrisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Kontaktes | |
DE102008062605A1 (de) | Bauelement, welches mit akustischen Wellen arbeitet, und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE69816737T2 (de) | Herstellungsverfahren für piezoelektrischen Resonator | |
DE102008016613B4 (de) | Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Bauelements mit mindestens einer dielektrischen Schicht und ein elektrisches Bauelement mit mindestens einer dielektrischen Schicht |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |