DE19804596C2 - Verfahren und Schaltungsanordnung zum Test von über Teiladreßdekoder adressierbaren Halbleiterspeichern - Google Patents

Abstract

Es wird ein Verfahren und eine Schaltungsanordnung zum Test von Halbleiterspeichern beschrieben, bei dem alle Speicherplätze wenigstens einmal adressiert und in den Speicherplätzen vorhandene oder eingeschriebene Daten durch Vergleich mit Referenzdaten ausgewertet werden. DOLLAR A Wenigstens bei einem Durchlauf aller Adressen der Speicherplätze wird für jeden Teiladreßdekoder des Speichers jeder Adreßübergang der Adreßfolge mit der Hamming-Distanz gleich eins ausgeführt und der Speicherinhalt wird jeweils vor und nach diesem Adreßübergang ausgewertet. DOLLAR A Das Verfahren kann mit herkömmlichen March-Tests kombiniert werden und ermöglicht es, dann mit Hilfe dieser Tests zusätzlich zu den von March-Tests angesprochenen Fehlertypen auch alle Adreßdekoder-Open-Fehler zu detektieren, ohne daß die Testzeit erhöht wird. Eine On-Chip Realisierung benötigt nur einen geringen zeitlichen Schaltungsaufwand.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Test von Halbleiter­ speichern nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 und eine Schaltungsanordnung zum Test von Halbleiterspeichern nach dem Oberbegriff des Anspruchs 10.

Halbleiterspeicher bilden eine bedeutende Gruppe der Halblei­ terschaltungen und werden eigenständig oder als Teil komple­ xer integrierter Schaltungen eingesetzt. Durch die fort­ schreitende Miniaturisierung in der Halbleiterschaltungstech­ nik wird die Speicherdichte erhöht und es werden Speicher mit immer größerer Speicherkapazität hergestellt. Halbleiterspei­ cher lassen sich durch die folgenden Funktionsblöcke be­ schreiben. Ein Speicherfeld, bestehend aus hochregulär ange­ ordneten Speicherzellen, eine Schreib/Lese-Logik, die die ex­ ternen Datenleitungen mit dem Speicherfeld verbindet, und ei­ ne Adreßdekoderlogik, die auswertet, welche Speicherzellen beschrieben bzw. gelesen werden sollen.

Um die Funktion dieser Speicher sicherzustellen, müssen alle Funktionsblöcke dieser Speicher im Anschluß an die Produktion getestet werden. Die reguläre Struktur der Speicher in bezug auf Layout und Funktion hat in der Vergangenheit zur Entwick­ lung eigenständiger Testkonzepte geführt. Die zum Test be­ nutzten Testmuster werden dabei entweder über eine externe Testapparatur dem Speicher zugeführt oder durch eine inte­ grierte Selbsttestlogik erzeugt und an den Speicher angelegt sowie die resultierenden Testergebnisse ausgewertet.

Mit steigender Speichergröße steigt auch der Zeitbedarf für den Test. Um diesen Anstieg zu begrenzen, werden überwiegend deterministische Speichertests angewendet. Dabei wurden zur Aufdeckung von Fehlern verschiedener Fehlerklassen charakte­ ristische Testmuster entwickelt. Aus A. Van de Goor, Testing Semiconductor Memories - Theory and Practice, John Wiley, New York, 1991 sind sogenannte March-Tests bekannt, deren Test­ zeiten nur linear mit der Speichergröße steigen. Weitere Cha­ rakteristika dieser March-Tests sind feste Adreßreihenfolgen, die in einem Test einmal oder mehrfach aufsteigend und ab­ steigend durchlaufen werden, sowie eine Auswertung der Test­ daten durch direkten Vergleich mit den zuvor in den Speicher eingeschriebenen deterministischen Testdaten. March-Tests de­ tektieren eine Vielzahl von Fehlerklassen in Halbleiterspei­ chern, sowohl im Speicherfeld, als auch in der Schreib/Lese- Logik und den Adreßdekodern.

Zwar werden bei den bekannten March-Tests alle Speicherplätze wenigstens einmal adressiert, es hat sich jedoch herausge­ stellt, daß diese Tests nicht zur Erkennung von in CMOS- Schaltungen in der Praxis auftretenden Adreßdekoder-Open- Fehlern geeignet sind, wie sie in M. Sachdev, "Open Defects in CMOS RAM Address Decoders", IEEE Design & Test of Compu­ ters, Seiten 26-33, April-Juni 1997, beschrieben sind.

Den gleichen Mangel zeigen auch die aus R. David, A. Fuentes, B. Courtois, "Random Pattern Testing versus Deterministic Te­ sting of RAMs", IEEE Transactions on Computers, Vol. C-38, Seiten 637-650, Mai 1990 bekannten pseudozufälligen Speicher­ testverfahren.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Schaltungsanordnung zum Test von über Teiladreßdekoder adressierbaren Halbleiterspeichern da­ hingehend zu verbessern, daß mit nur geringem zeitlichen und/oder schaltungstechnischen Mehraufwand auch Adreßdekoder- Open-Fehler ermittelt werden können.

Diese Aufgabe wird bei einem Verfahren zum Test von Halblei­ terspeichern nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 und bei ei­ ner Schaltungsanordnung zum Test von Halbleiterspeichern nach dem Oberbegriff des Anspruchs 10 mit den jeweils im kenn­ zeichnenden Teil angegebenen Merkmalen gelöst.

Weiterbildungen und vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfin­ dung ergeben sich aus den Unteransprüchen.

Adreßdekoder-Open-Fehler lassen sich durch Zwei-Muster- Testsequenzen auffinden. Im fehlerfreien Fall zeigt der Adreßdekoder kombinatorisches Verhalten, d. h. er verhält sich der Schaltungslogik entsprechend, während er im fehler­ haften Fall sequentielles Verhalten zeigt, d. h. sein Zustand folgt nicht der Schaltungslogik entsprechend, sondern bleibt gleich. Somit können im fehlerfreien Fall beide Muster unter­ schieden werden, während im fehlerhaften Fall nur eines der Muster auftritt.

Dabei ist die Bedingung, daß alle Speicherplätze wenigstens einmal adressiert werden müssen, nicht hinreichend. Es ist zusätzlich eine ganz bestimmte Reihenfolge bei der Adressie­ rung notwendig, nämlich daß während wenigstens eines Durch­ laufs aller Adressen der Speicherplätze jeder einzelne Adreß­ übergang der Adreßfolge mit der Hamming-Distanz gleich eins ausgeführt werden muß. Das bedeutet, daß bei dem Adreßüber­ gang nur jeweils ein Bit zur Zeit verändert werden darf.

Andere Tests, die an sich mit beliebigen Adreßfolgen durchge­ führt werden können, lassen sich mit der Adreßfolge nach der Erfindung kombinieren, so daß der Test auf Adreßdekoder-Open- Fehler zeitlich gemeinsam mit einem anderen Test ablaufen kann. Die Erkennungseigenschaften für andere Fehlerklassen bleiben dabei erhalten.

Handelt es sich bei dem Halbleiterspeicher um einen be­ schreibbaren Typ, so kann man sich darauf beschränken, Daten in die Speicherplätze zu schreiben, die sich lediglich je­ weils vor und nach einem Adreßübergang mit der Hamming- Distanz gleich eins unterscheiden. Auf diese Weise lassen sich sehr einfache Zwei-Muster-Sequenzen bilden, die trotzdem eindeutig die Änderung des Adreßdekoders vom kombinatorischen Verhalten im fehlerfreien Fall zum sequentiellen Verhalten im fehlerhaften Fall detektieren lassen.

Die in die Speicherplätze geschriebenen Daten können durch Paritätsbestimmung der Adressen der Speicherplätze gewonnen werden. Hierdurch wird automatisch das Ziel erreicht, Daten zu schreiben, die sich nach einem Adreßübergang mit der Ham­ ming-Distanz gleich eins unterscheiden.

Bei über Teiladreßdekoder kombiniert adressierbaren Speicher­ plätzen werden die Adreßübergänge mit der Hamming-Distanz gleich eins unabhängig voneinander für die Teiladreßdekoder ausgeführt. Bei Halbleiterspeichern ist unabhängig von der Datenwortbreite, die der Anzahl der Dateneingänge entspricht, zur Erzielung eines günstigen Formfaktors des Speichers der Adreßdekoder in mindestens zwei getrennte Dekoder, nämlich Spalten- bzw. Zeilendekoder aufgeteilt. Daher muß auch die Adreßsequenz zur Detektion aller Adreßdekoder-Open-Fehler die notwendigen Testsequenzen für alle Dekoder enthalten. Das heißt, es müssen alle Adreßübergänge enthalten sein, bei de­ nen sich jeweils eine Teiladresse um genau ein Bit gegenüber der vorangegangenen Teiladresse ändert.

Unter der Voraussetzung der Länge der größten Teiladresse, die einem bestimmten Adreßdekoder zugeordnet ist, kleiner oder gleich (N + 1)/2 mit N als Anzahl der Adreßleitungen kann die Adreßfolge mit Hilfe eines rückgekoppelten Schieberegi­ sters erzeugt werden. Das Rückkoppelpolynom muß dann so ge­ wählt werden, daß die vorgenannte Bedingung erfüllt ist, nach der alle Adreßübergänge enthalten sein müssen, bei denen sich jeweils eine Teiladresse um genau ein Bit gegenüber der vor­ angegangenen Teiladresse ändert. Es können dann alle notwen­ digen aufeinanderfolgenden Muster für fast alle in der Praxis auftretenden Adreßdekoderaufteilungen mit nach bestimmten Kriterien ausgewählter Rückkopplung und Adreßbitzuordnung er­ zeugt werden. Diese Auswahl hat weder Einfluß auf die Test­ länge noch auf die Fehlerabdeckung für andere Fehlerklassen. Der bei der "on-chip" Realisierung zusätzlich benötigte Schaltungsaufwand beschränkt sich auf wenige zusätzliche Gat­ ter in der Rückkopplung.

Vorzugsweise wird eine erweiterte lineare Rückkopplung mit primitivem Rückkoppelpolynom angewendet, die auch den singu­ lären Zustand des rückgekoppelten Schieberegisters in der Adreßfolge umfaßt. Es lassen sich dann auch mit dieser Art der Rückkopplung alle relevanten Adressen erzeugen.

Die Adreßfolge kann in einer festen Reihenfolge aufsteigend und absteigend durchlaufen werden. Diese Vorgehensweise ist bei einer ungeraden Anzahl von Adreßleitungen notwendig.

Vorzugsweise werden alle Bits einer Teiladresse jeweils von nicht-benachbarten Stufen des rückgekoppelten Schieberegi­ sters erzeugt. Es ist dadurch sichergestellt, daß die Teila­ dreßübergänge mit der Hamming-Distanz gleich eins erzeugt werden.

Bei der Durchführung des Tests kann ein an sich bekannter March-Speichertest mit Adreßübergängen einer Adreßfolge aus­ geführt werden, die alle Teiladreßübergänge mit der Hamming- Distanz gleich eins aufweist.

Ferner kann ein an sich bekannter pseudozufälliger Speicher­ test mit Adreßübergängen der Adreßfolge ausgeführt werden, die alle Teiladreßübergänge mit der die Hamming-Distanz gleich eins aufweist.

Der Test auf Adreßdekoder-Open-Fehler kann so mit einem der bekannten anderen Testverfahren zeitsparend kombiniert wer­ den, ohne daß die diese Testverfahren charakterisierende Feh­ lererkennung beeinflußt wird.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispie­ len näher erläutert, die in der Zeichnung dargestellt sind. In der Zeichnung zeigen:

Fig. 1 einen Schaltungsteil eines Adreßdekoders,

Fig. 2 einen Aufbau eines Gatters des Adreßdeko­ ders,

Fig. 3 einen schematischen Aufbau einer Schal­ tungsanordnung zum Test von Halbleiter­ speichern,

Fig. 4 ein erstes rückgekoppeltes Schieberegi­ ster und

Fig. 5 ein zweites rückgekoppeltes Schieberegi­ ster.

Fig. 1 zeigt einen Schaltungsteil eines Adreßdekoders mit NAND-Gattern am Eingang, wie er zum Selektieren von Zeilen- oder Spaltenleitungen eines Halbleiterspeichers verwendet wird. Im fehlerfreien Zustand nimm der Ausgang eines NAND- Gatters nur dann 0-Potential an, wenn alle Eingänge auf 1- Potential liegen. Wenn nur einer oder mehrere Eingänge auf 0- Potential wechseln, wechselt der Ausgang immer auf 1- Potential.

Dieses Verhalten ändert sich jedoch bei einem Open-Defekt, wie er für eines der in Fig. 1 dargestellten NAND-Gatter in Fig. 2 veranschaulicht ist. Wenn dort die Eingänge E1, E2 und E3 auf 1-Potential liegen, weist der Ausgang Y 0-Potential auf, wie es auch im fehlerfreien Fall wäre. Wechselt dann aber der Eingang E3 auf 0-Potential, so ändert der Ausgang Y seinen Zustand nicht, sondern bleibt auf 0-Potential. Wech­ selt bei gleichem Ausgangszustand, also mit allen Eingängen auf E1, E2 und E3 auf 1-Potential, aber statt dessen der Ein­ gang E1 und/oder der Eingang E2 auf 0-Potential, so wechselt der Zustand des Ausgangs Y auf 1-Potential, wie es dem feh­ lerfreien Fall entspricht.

Der Fehler tritt somit nur auf, wenn zuvor alle Eingänge auf 1-Potential gelegen haben und dann der Eingang E3 als einzi­ ger auf 0-Potential wechselt. Bei allen anderen Zuständen und Übergängen entspricht das Verhalten dem fehlerfreien Zustand eines NAND-Gatters. Somit muß für eine Prüfung immer der Da­ teninhalt vor und nach einem Adreßübergang ausgewertet wer­ den, was Zwei-Muster-Testsequenzen erfordert. Außerdem müssen Adreßübergänge verwendet werden, die sich jeweils nur um ein Adreßbit unterscheiden.

Fig. 3 zeigt einen schematischen Aufbau einer Schaltungsan­ ordnung zum Test von Halbleiterspeichern, die zusammen mit dem Speicher selbst und den zu seinem Zugriff benötigten Pe­ riferiebausteinen auf einem Halbleiterchip angeordnet ist. Solche Schaltungsanordnungen dienen zum Test von Speichern auf hochintegrierten Mikrochips, z. B. Prozessorchips bei de­ nen die Speicherplätze des oder der internen Speicher nicht mehr separat getestet werden können.

Bei dem dargestellten Halbleiterspeicher HS handelt es sich um einen Mehrbitspeicher mit der Speicheranordnung 2^N . b Bit. Eine vor dem Eingang des Halbleiterspeichers HS liegende Multiplexschaltung MUX dient zur Umschaltung zwischen einer­ seits Testadressen und -daten zur Durchführung eines Funkti­ onstests sowie andererseits externen Adressen und Daten für den normalen bestimmungsgemäßen Betrieb des Halbleiterspei­ chers. Zur Erzeugung von Testadressen dient eine Teilschal­ tung AE und zur Erzeugung von Testdaten eine Teilschaltung DE. Dabei kann die Teilschaltung DE aus EXOR-Gattern beste­ hen, deren Eingänge mit Ausgängen der Teilschaltung AE zur Erzeugung von Testadressen verbunden sind und so die nötigen Zwei-Muster-Testsequenzen direkt aus den Testadressen erzeu­ gen. Mit dem Ausgang des Speichers HS ist eine Teilschaltung zur Testantwortauswertung TAA verbunden. Die Teilschaltung zur Testantwortauswertung TAA enthält entweder einen Verglei­ cher zum direkten Vergleich von ausgelesenen und erwarteten Daten des Halbleiterspeichers HS oder eine Signaturauswertung z. B. mit Hilfe eines sogenannten MISRs (Multiple Input Signa­ ture Registers). Die Teilschaltungen AE und DE zur Erzeugung von Testdaten und Testadressen, die Multiplexschaltung MUX, der Speicher HS und die Teilschaltung TAA zur Testantwortaus­ wertung werden durch eine Teilschaltung AS zur Ablaufsteue­ rung gesteuert und an Teilschaltung AS wird auch das Ergebnis der Datenüberprüfung zurückgeben. Die Teilschaltung AS zur Ablaufsteuerung besteht im Kern aus einer Finite-State- Machine, welche die einzelnen Testphasen zum Test des Halb­ leiterspeichers HS initiiert. Daneben werden in der Teil­ schaltung AS die Signale der anderen Teilschaltungen aus der jeweiligen Testphase auswertet. Am Ende des Tests wird ein Gesamtergebnis des Tests generiert.

Die Teilschaltung AE zur Erzeugung von Testadressen ist als rückgekoppeltes Schieberegister ausgebildet. Bei der Rück­ kopplung handelt es sich um eine erweiterte lineare Rückkopp­ lung mit primitivem Rückkoppelpolynom, die auch den singulä­ ren Zustand beinhaltet. Da bei Halbleiterspeichern unabhängig von der Datenwortbreite, also der Anzahl der Dateneingänge, zur Erzielung eines günstigen Formfaktors des Speichers der Adreßdekoder in mindestens zwei getrennte Dekoder, nämlich Spalten- bzw. Zeilendekoder aufgeteilt ist, muß die Adreß­ sequenz zur Detektion aller Adreßdekoder-Open-Fehler die not­ wendigen Zwei-Muster-Sequenzen für alle Dekoder enthalten. Das heißt, es müssen alle Adreßübergänge enthalten sein, bei denen sich jeweils eine Teiladresse um genau ein Bit gegen­ über der vorangegangenen Teiladresse ändert.

Bei der Auslegung des linear rückgekoppelten Schieberegisters zur Generierung der Adreßsequenzen sind mehrere Randbedingun­ gen zu beachten. Die mit Hilfe des linear rückgekoppelten Schieberegisters erzeugten Sequenzen müssen alle n = 2^N mög­ lichen Zustände, wobei N der Anzahl der Adreßleitungen ent­ spricht, beinhalten und die Adressen müssen zum Beispiel zur Realisierung von March-Tests sowohl in "aufsteigender" als auch in "absteigender" Reihenfolge erzeugt werden können. Die Ausgänge des linear rückgekoppelten Schieberegisters werden den Adreßleitungen der Dekoder für die Teiladressen so zuge­ ordnet, daß die Adreßbits einer Teiladresse ausschließlich von nicht benachbarten Ausgängen erzeugt werden. Die Ausgänge des linear rückgekoppelten Schieberegisters werden z. B. ab­ wechselnd den zwei Teiladressen TA1 = {A0, A1, A2, A3, A4} und TA2 = {A5, A6, A7, A8} zugeordnet. Um sämtliche benötig­ ten Adreßübergänge zu erhalten, sollte ein Adreßdurchlauf zum Beispiel mit dem Muster 101010. . . begonnen werden, da dieses Muster nicht Teil einer der benötigten Adreßfolgen ist. Zwar beginnt diese Folge dann nicht mit für die Aufdeckung von Adreßdekoder-Open-Fehlern nutzbaren Adressen, nach wenigen Mustern werden dann aber zusammenhängende Adreßfolgen mit al­ len benötigten Adreßübergängen erzeugt.

Eine weitere Voraussetzung für die Anwendbarkeit des linear rückgekoppelten Schieberegisters als Teilschaltung AE zur Er­ zeugung von Testadressen besteht darin, daß die Länge der größten Teiladresse, die einem bestimmten Adreßdekoder zuge­ ordnet ist, z. B. dem Zeilendekoder, kleiner oder gleich (N + 1)/2 ist, wobei N die Anzahl der Adreßleitungen bezeich­ net.

Folgende Fallunterscheidung muß getroffen werden:

• a) (N + 1)/2 < Bitanzahl der größten Teiladresse (gTA).
  Sowohl für gerade als auch für ungerade Adreßbusbreiten N müssen nur obige Bedingungen erfüllt sein. In der erzeugten Adreßfolge sind sowohl für "aufsteigende" als auch "absteigende" Adreßfolgen alle notwendigen Adreßübergänge enthalten. Es reicht also eine "aufsteigende" oder eine "absteigende" Adreßfolge aus.
• b) (N + 1)/2 = gTA (mit N ungerade).
  Im Gegensatz zur Bedingung in a) muß das linear rückgekoppel­ te Schieberegister folgende Anforderung erfüllen: In der Kom­ bination aus "aufsteigenden" und "absteigenden" Adreßfolgen müssen alle notwendigen Adreßübergänge enthalten sein. Ferner muß die Bedingung N = 4 . q + 1 mit q = 1, 2, 3, . . . erfüllt sein, denn für N = 4 . q + 3 mit q = 1, 2, 3, . . . existieren kei­ ne primitiven Rückkopplungen für linear rückgekoppelte Schie­ beregister, die alle erforderlichen Adreßübergänge erzeugen.

Die Erzeugung der Testdaten {D_i, D_j} erfolgt mittels der Teil­ schaltung DE aus den Teiladressen TA durch Bildung der Pari­ tät der Bits der entsprechenden Teiladressen. Bei Teiladres­ sen z. B. TA1 = 10010 und TA2 = 0011 wird das Datum D = {D₁, D₂} in die als zugehörig definierten Bits des Datenwortes ge­ schrieben bzw. abgetestet, bei den Teiladressen TA1 = 11010 und TA2 = 1011 wegen der inversen Parität jedoch das inverse Datum {D_1quer, D_2quer}. Wird gleichzeitig z. B. ein March-Test durchgeführt, ist {D_i, D_j} ein Teil des Datums, das in einem herkömmlichen March-Test in einer bestimmten Testphase als Datenhintergrund geschrieben bzw. gelesen wird. Die Paritäten zum betrachteten Zeitpunkt t_k können, falls nötig, aufgrund der Struktur der erzeugten Muster bereits zum Zeitpunkt t_k-1 vorausberechnet werden.

Um bei der Durchführung eines March-Tests Adreßdekoder-Open- Fehler detektieren zu können, müssen abhängig von den Fällen (N + 1)/2 < Bitanzahl der größten Teiladresse (gTA) und (N + 1)/2 = Bitanzahl der größten Teiladresse (gTA) (mit N ungerade) die nachfolgenden Bedingungen erfüllt sein. Dabei besteht ein Marchelement aus einer Gruppe von einer oder mehreren Lese- oder Schreiboperationen, die in "aufsteigender" bzw. "absteigender" Adreßfolge auf alle Speicherzellen angewendet werden.

Für (N + 1)/2 < gTA muß der March-Test die Marchelemente ↕wD und ↕rD enthalten, so daß keine Einschränkungen bezüglich eines zu wählenden March-Tests bestehen.

Für (N + 1)/2 = gTA mit N ungerade muß der March-Test die Mar­ chelemente ↑wD, ↕rD, ↓wD und ↕rD oder ↓wD, ↕rD, ↑wD und ↕rD enthalten; diese können zum Beispiel in einem March-Test zu der Abfolge ↑wD ↓rDwD ↑rD zusammengestellt werden. Es können somit alle March-Tests integriert werden, die aus drei oder mehr Marchelementen zusammengesetzt sind.

Dabei wurde folgende Nomenklatur verwendet: ↕ für eine Zu­ griffssequenz in beliebiger Adreßreihenfolge, ↑ für "aufsteigende" bzw. ↓ für "absteigende" Reihenfolgen inner­ halb der Sequenz; r bedeutet Lese- und w Schreibzugriff.

Im Sonderfall von Einbitspeichern mit einer Speicheranordnung 2^N . 1 Bit müssen die Teiladreßdekoder nacheinander getestet werden, so daß March-Tests mit mehr March-Elementen als Basis benötigt werden.

Eine geeignete Realisierung des linear rückgekoppelten Schie­ beregisters zur Adreßerzeugung für den Fall (N + 1)/2 < gTA ist in Fig. 4 dargestellt. Zur Vereinfachung sind die Takteingän­ ge und eventuelle Reset- oder Set-Eingänge der Flipflops nicht gezeichnet. Das linear rückgekoppelte Schieberegister besteht aus einem Schieberegister R und einem Rückkoppelnetz­ werk RN, wiederum bestehend aus einer linearen Rückkopplung mit primitivem Rückkoppelpolynom RP sowie einer Schaltung SZ zur zusätzlichen Erzeugung des singulären Zustandes. Die Aus­ gänge sind den Adreßleitungen der einzelnen Teiladreßdekoder zugeordnet werden. Für Fig. 4 gilt TA1 = {A0, A1, A2, A3}, TA2 = {A4, A5, A6, A7}. Das primitive Rückkoppelpolynom lautet x⁸ + x⁶ + x⁵ + x + 1. Die "aufsteigende" Adreßfolge enthält alle not­ wendigen Adreßübergänge.

Eine geeignete Realisierung des linear rückgekoppelten Schie­ beregisters zur Adreßerzeugung für den Fall (N + 1)/2 = gTA mit N = 4 . q + 1 mit q = 1, 2, 3, . . . ist in Fig. 5 dargestellt. Zur Vereinfachung sind die Takteingänge und eventuelle Reset- oder Set-Eingänge der Flipflops ebenfalls nicht gezeichnet. Weiterhin ist das dargestellte Schieberegister darauf be­ schränkt, die vollständigen Adressen "aufsteigend" zu durch­ laufen. Die Ausgänge des ersten Flipflops und des vorletzten Flipflops der Flipflopkette werden nicht zurückgekoppelt. Der Ausgang des letzten Flipflops wird zurückgekoppelt. Von den verbleibenden Flipfloppaaren des linear rückgekoppelten Schieberegisters wird jeweils genau ein Ausgang zurückgekop­ pelt. Nur in der Kombination aus "aufsteigenden" und "absteigenden" Adreßfolgen sind alle notwendigen Teiladreß­ übergänge enthalten.

Wird ein primitives Polynom eingesetzt, bei dem entweder der Ausgang des ersten Flipflops oder des vorletzten Flipflops sowie der Ausgang des letzten Flipflops und von den verblei­ benden Flipfloppaaren des linear rückgekoppelten Schieberegi­ sters jeweils genau ein Ausgang zurückgekoppelt werden, so können mit einer Abbildungslogik die Zustände des linear rückgekoppelten Schieberegisters so abgebildet werden, daß alle notwendigen Adreßübergänge für den Fall N = 4 . q + 3 in der entstehenden Adreßfolge enthalten sind. Auch hier gilt, daß nur in der Kombination aus "aufsteigenden" und "absteigenden" Adreßfolgen alle notwendigen Teiladreßübergänge enthalten sind.

Mit dem beschriebenen Verfahren und der Schaltungsanordnung wird sichergestellt, daß neben den Speicherfehlern, die von herkömmlichen Speichertests detektiert werden, zusätzlich auch die Adreßdekoder-Open-Fehler ohne eine Verlängerung der Testdauer und mit nur geringfügig höherem Schaltungsaufwand erkannt werden.

Claims (17)

1. Verfahren zum Test von über Teiladreßdekoder adressier­ baren Halbleiterspeichern, bei dem alle Speicherplätze wenig­ stens einmal adressiert und in den Speicherplätzen vorhandene oder eingeschriebene Daten durch Vergleich mit Referenzdaten ausgewertet werden, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens bei einem Durchlauf aller Adressen der Speicherplätze alle zu den Teiladreßdekodern gehörenden Teiladreßfolgen mit der Ham­ ming-Distanz gleich eins erzeugt werden und der Speicherin­ halt jeweils vor und nach diesem Adreßübergang mit der Ham­ ming-Distanz gleich eins auf Abweichungen von den Referenzda­ ten überprüft wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in einen beschreibbaren Halbleiterspeicher Daten in die Spei­ cherplätze geschrieben werden, die sich lediglich jeweils vor und nach einem Teiladreßübergang mit der Hamming-Distanz gleich eins unterscheiden.

3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die in die Speicherplätze geschriebenen Daten durch Paritäts­ bestimmung der Adressen der Speicherplätze gewonnen werden.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch ge­ kennzeichnet, daß unter der Voraussetzung der Länge der größ­ ten Teiladresse, die einem bestimmten Teiladreßdekoder zuge­ ordnet ist, kleiner oder gleich (N + 1)/2 mit N als Anzahl der Adreßleitungen, die Adreßfolge mit Hilfe eines rückgekoppel­ ten Schieberegisters erzeugt wird.

5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Adreßfolge durch eine erweiterte lineare Rückkopplung mit primitivem Rückkoppelpolynom erzeugt wird, welches auch den singulären Zustand des rückgekoppelten Schieberegisters in der Adreßfolge beeinhaltet.

6. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeich­ net, daß die Adreßfolge in einer festen Reihenfolge aufstei­ gend und absteigend durchlaufen wird.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch ge­ kennzeichnet, daß alle Bits einer Teiladresse jeweils von nicht-benachbarten Stufen des rückgekoppelten Schieberegi­ sters erzeugt werden.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch ge­ kennzeichnet, daß ein an sich bekannter March-Speichertest mit Adreßübergängen der Adreßfolge ausgeführt wird, die alle Teiladreßübergänge mit der Hamming-Distanz gleich eins auf­ weisen.

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch ge­ kennzeichnet, daß ein an sich bekannter pseudozufälliger Speichertest mit Adreßübergängen der Adreßfolge ausgeführt wird, die alle Teiladreßübergänge mit der Hamming-Distanz gleich eins aufweisen.

10. Schaltungsanordnung zum Test von über Teiladreßdekoder adressierbaren Halbleiterspeichern (HS), bei denen alle Spei­ cherplätze durch eine Teilschaltung zur Adreßerzeugung (AE) wenigstens einmal adressiert und in den Speicherplätzen des Halbleiterspeichers (HS), vorhandene oder eingeschriebene Da­ ten in einer Teilschaltung zur Testantwortauswertung (TAA), durch Vergleich mit Referenzdaten ausgewertet werden, wobei die Teilschaltung zur Adreßerzeugung (AE), der Halbleiter­ speicher (HS), und die Teilschaltung zur Testantwortauswer­ tung (TAA) von einer Teilschaltung zur Ablaufsteuerung (AS) gesteuert sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilschaltung zur Adreßerzeugung (AE) eine logische Binär-Schaltungsanord­ nung umfaßt, die mit der Teilschaltung zur Ablaufsteuerung (AS) über eine bidirektionale Steuerleitung verbunden ist und daß die logische Binär-Schaltungsanordnung der Teilschaltung zur Adreßerzeugung (AE) so ausgebildet ist, daß mittels der Teilschaltung zur Ablaufsteuerung (AS) die Teilschaltung zur Adreßerzeugung (AE) so gesteuert wird, daß wenigstens bei ei­ nem Durchlauf aller Adressen der Speicherplätze des Halblei­ terspeichers (HS) alle zu den Teiladreßdekodern gehörenden Teiladreßfolgen mit der Hamming-Distanz gleich eins erzeugt werden.

11. Schaltungsanordnung nach Anspruch 10 mit einem be­ schreibbaren Halbleiterspeicher, dadurch gekennzeichnet, daß Dateneingänge des Halbleiterspeichers (HS) mit einer Teil­ schaltung zur Datenerzeugung (DE) verbindbar sind, mittels der Daten in die Speicherplätze geschrieben werden, die sich lediglich jeweils vor und nach einem Teiladreßübergang mit der Hamming-Distanz gleich eins unterscheiden.

12. Schaltungsanordnung nach Anspruch 11, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Teilschaltung zur Datenerzeugung (DE) Schaltungen zur Paritätsbestimmung der von der Teilschaltung zur Adreßerzeugung (AE) erzeugten Adressen der Speicherplätze des Halbleiterspeichers (HS) umfaßt.

13. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß unter der Voraussetzung der Länge der größten Teiladresse, die einem bestimmten Teiladreßdeko­ der zugeordnet ist, kleiner oder gleich (N + 1)/2 mit N als An­ zahl der Adreßleitungen, die Teilschaltung zur Adreßerzeugung (AE) als rückgekoppeltes Schieberegister ausgebildet ist und aus einem Register (R) sowie einem Rückkoppelnetzwerk (RN) besteht.

14. Schaltungsanordnung nach Anspruch 13, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Rückkoppelnetzwerk (RN) aus einer linearen Rückkopplung mit primitivem Rückkoppelpolynom (RP) sowie ei­ ner Schaltung (SZ) zur zusätzlichen Erzeugung des singulären Zustandes des rückgekoppelten Schieberegisters (R) besteht.

15. Schaltungsanordnung nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, daß das rückgekoppelte Schieberegister (R) sowie das Rückkoppelnetzwerk (RN) so ausgebildet sind, daß aufsteigende und absteigende Adreßfolgen erzeugbar sind.

16. Schaltung nach einem der Ansprüche 13 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß alle Eingänge desselben Teiladreßdekoders zur Erzeugung der Bits einer Teiladresse für den Halbleiter­ speichers (HS) mit nicht-benachbarten Stufen des Schieberegi­ sters (R) verbunden sind.

17. Schaltung nach Anspruch 16 für einen Halbleiterspeicher (HS) mit einer ungeraden Anzahl von Adreßbits, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Zahl von Adreßbits einer Teiladresse, die einem Teiladreßdekoder des Halbleiterspeichers (HS) zuge­ ordnet sind, gleich der halben um eins erhöhten Breite des Schieberegisters (R) ist und daß das lineare Rückkoppelnetz­ werk (RN) das letzte Bit des Schieberegisters (R) sowie je genau ein Bit aus den Bitpaaren des Schieberegisters (R), die unter Vernachlässigung des ersten und des vorletzten Bits des Schieberegisters (R) verbleiben, auf den Schieberegisterein­ gang rückkoppelt.