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Die
Erfindung betrifft eine Einrichtung zum Steuern des Prüfens eines
Loses integrierter Schaltkreise und ein Verfahren zum Steuern des
Prüfens
integrierter Schaltkreise.
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Allgemein
werden integrierte Schaltkreise über
mehrere hundert Verarbeitungsschritte hergestellt und müssen geprüft werden,
um ihre elektrischen Funktionen, ihre Leistung und ihre Verläßlichkeit
vor ihrem Einsatz zu prüfen.
Die Prüfvorgänge umfassen
eine letzte Prüfung
und eine Qualitätssicherungsprüfung (QA-Prüfung). Bei
der letzten Prüfung
werden alle integrierten Schaltkreise, die durch Waferherstellungsschritte
und Montageschritte hergestellt wurden, geprüft und in gute und schlechte Einrichtungen
sortiert. Während
der letzten Prüfung werden
die integrierten Schaltkreise losweise geliefert, wobei jedes Los
eine Anzahl von beispielsweise 2.000 identischen integrierten Schaltkreisen enthält, die
unter den gleichen Verarbeitungsbedingungen hergestellt werden.
Entsprechend dem Ergebnis der letzten Prüfung werden integrierte Schaltkreise
in BIN-Muster bzw. Einstufungskategorien klassifiziert. Wenn beispielsweise
ein IC unter BIN 1 fällt,
ist dieser fehlerfrei und wird daher als gut betrachtet. Während dann,
wenn ein IC beispielsweise in BIN 7 klassifiziert wird, dieser als
defekt betrachtet wird, wobei die Hauptursache hierfür ein übermäßiger Leckagestrom
ist. Die Prüf-BIN-Muster
bzw. Einstufungskategorien variieren in Abhängigkeit vom Halbleiterhersteller
und von den zu prüfenden
integrierten Schaltkreisen. Jedoch ist es üblich, gute IC's in BIN 1 zu klassifizieren.
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Die
QA-Prüfung
dient dazu, die Ergebnisse der letzten Prüfung zu erhärten und die Qualität der integrierten
Schaltkreise sicherzustellen, die von bestimmten Verbrauchern gefordert
wird, indem eine vorbestimmte Anzahl von IC's geprüft werden, die aus solchen
(beispielsweise BIN 1 IC's)
entnommen werden, die die letzte Prüfung durchlaufen haben. Nach
der QA-Prüfung
werden die durchgelaufenen IC's
schließlich
an die Verbraucher geliefert.
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Auf
der anderen Seite neigt der heutige Halbleitermarkt immer mehr zu
multifunktionalen Bauteilen in geringer Menge, hoher Technologie
und Kurzzeitzyklus. Daher wird es für Hersteller, die neue IC's entwickeln und
diese auf den Markt bringen, sehr wichtig, wie schnell Produktionslinien
aufbaubar sind und wie genau man in kurzer Zeit die Gründe für Fehler
auffinden und analysieren kann. Außerdem muß die Prüfzeit reduziert werden. Damit
dies geschieht, ist es notwendig, die Gesamtprüfungen zu steuern und die Prüfdaten als
Ganzes zu handhaben. Um die Produktionslinien zu stabilisieren,
sollte Information von der Fehleranalyse bei dem Schaltkreisentwurf, der
Waferfabrikation und bei den Montagestufen berücksichtigt werden.
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Aus
DE 4446966 A1 ist
eine Einrichtung zum Steuern des Prüfens integrierter Schaltkreise
bekannt, bei der eine zentrale Auswerteeinrichtung die Meßergebnisse
auswertet und bei Überschreiten
fest vorgegebener Grenzwerte sofort eine elektronische Meldung,
die auch Befehle an Datenverarbeitungs- oder Steuereinrichtungen
enthalten kann, an über
ein Netzwerk angeschlossene verteilte Computer übermittelt. In Reaktion auf
diese Meldung kann die Prüfung
angehalten, das Problem analysiert und gegebenenfalls können weitere
Prüfmaßnahmen
eingeleitet werden.
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Aus
WO 97/09629 A1 ist ein Verfahren zum Steuern des Prüfens integrierter
Schaltkreise bekannt, bei dem die Schaltkreise abhängig von
den Prüfergebnissen
in Kategorien sortiert werden und nach Abschluß der Prüfung eine oder mehrere Kategorien
abhängig
von den Prüfergebnissen
erneut geprüft
werden. Dieser Nachtest kann manuell oder bei Schaltkreisen, die
in die "nicht auslegungskonformen" Kategorien eingestuft
worden sind, automatisch veranlaßt werden, während "auslegungskonforme" Schaltkreise nicht
erneut geprüft
werden.
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Das
bekannte Verfahren sieht keine abschließende Qualitätssicherungsprüfung der "auslegungskonformen" Schaltkreise vor
deren Versand an den Abnehmer vor.
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Der
Erfindung liegt demnach die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung bzw.
ein Verfahren nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 bzw. 6 zu schaffen, welche
bzw. welches eine möglichst
effiziente abschließende
Qualitätssicherungsprüfung ermöglicht.
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Diese
Aufgabe wird entsprechend den Merkmalen des Anspruchs 1 bzw. 6 gelöst.
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Weitere
Ausgestaltungen der Erfindung sind der nachfolgenden Beschreibung
und den Unteransprüchen
zu entnehmen.
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Die
Einrichtung zum Steuern des Prüfens
eines Loses integrierter Schaltkreise umfaßt eine Vielzahl von Prüfgeräten zum
Prüfen
von elektrischen Eigenschaften der IC's, einen Hostrechner zum Verarbeiten
von Daten, die von der Vielzahl von Prüfgeräten übermittelt werden, und zum
Erzeugen einer Anzahl von Datenbasen sowie eine Vielzahl von verteilten
Computern zum Überwachen
des Prüffortschritts und
zum Analysieren der Prüfergebnisse
unter Verwendung der in dem Hostrechner gespeicherten Datenbasen.
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Die
in dem Hostrechner gespeicherten Datenbasen umfassen eine Losentscheidungsdatenbasis,
die zum Bestimmen nach einer letzten Prüfung verwendet wird, eine Prüffortschrittüberwachungsdatenbasis
und eine Prüfdatenanalysedatenbasis.
Die Losentscheidungsdatenbasis besitzt Daten eines Prüfprogrammnamens,
einer Losanzahl und der Anzahl von IC's, die in jede der Einstufungskategorien sortiert
sind. Die Datenbasis zum Überwachen
des Prüffortschritts
besitzt Daten eines Prüfernamens,
eines Prüfermodus,
der Gesamtzahl, der Totalausfälle, der
guten Bausteine, der Stromkreisunterbrechungen, der Kurzschlüsse und
anderer Fehler. Die Datenbasis zum Analysieren der Prüfergebnisse
hat Daten eines Bausteinnamens, eines Prüfprogrammnamens, einer Prüfbaugruppenidentifikation,
einer Prüfstartzeit,
einer Losgröße, der
Gesamtzahl, der Gesamtausfälle,
der Anzahl von in jedes der Einstufungskategorien sortierten IC's.
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Das
Steuern umfaßt
folgende Schritte: Vorbereiten von zu testenden IC's und Prüfprogrammen; Durchführen der
letzten Prüfung
in der Einheit eines Loses; Überwachen
des Status des Fortschritts der letzten Prüfung, während Prüfdaten während der letzten Prüfung gespeichert
werden; Bestimmen, ob die letzte Prüfung abgeschlossen ist; Durchführen einer
Losentscheidung, nachdem die letzte Prüfung abgeschlossen ist, basierend
auf Grenzwerten, die durch einen Grenzkriteriumalgorithmus erstellt
werden; Anzeigen des Losentscheidungsergebnisses und Speichern der
Prüfdaten;
Anfordern einer Eingangsinspektion entsprechend dem Losentscheidungsergebnis
und Durchführen
einer Qualitätssicherheitsüberwachung.
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In
der Losentscheidung wird bestimmt, ob irgendeine Einstufungskategorie, das
seine Grenzwerte überschreitet,
größer als
ein bestimmter vorbestimmter Wert ist, obwohl das Los die Ausbeuteanforderung
erfüllt.
Alle während
der letzten Prüfung
erzeugten Prüfdaten
werden in einem zentralen Hostrechner gespeichert, wobei die gespeicherten
Daten durch die Einstufungskategorien datenbasiert sind, so daß die Prüfdaten mit
ihren Grenzwerten verglichen werden.
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Zum
Erstellen der Grenzwerte werde verschiedene Kriterien in Abhängigkeit
davon angewendet, ob die Einstufungskategorien auf die Ausbeuteanforderung
(beispielsweise BIN 1) oder auf elektrische Eigenschaften bezogen
sind oder nicht (beispielsweise Stromkreisunterbrechungen, Kurzschlüsse oder
Leckageströme).
Die Grenzwerte sollten auf der Basis von guten Bausteinen in einem
Los mit einer Ausbeute im Bereich von 95 bis 100 % und nach Prüfung einer
genügenden
Menge von Losen und nach Speichern einer bestimmten Anzahl von Prüfergebnissen
definiert werden. Weiterhin werden die Grenzwerte in Abhängigkeit
von der tatsächlichen Fehlerrate
der entsprechenden Einstufungskategorien angewendet.
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Neben
der Verbesserung der Effizienz des Prüfvorganges läßt sich
die Prüfzeit
reduzieren, über eine
Analyse der Prüfdaten
lassen sich die Produktionslinien stabilisieren, die QA-Prüfung kann
bei Verwendung der Prüfdaten
der letzten Prüfung
ausfallen und die letzte Prüfung
kann wirksam durch Analysieren der Prüfergebnisse während der
letzten Prüfung in
Realzeit gesteuert werden.
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Die
Erfindung wird nachstehend anhand der beigefügten Abbildungen näher erläutert.
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1 zeigt
schematisch ein Blockdiagramm einer Einrichtung zum Steuern des
Prüfens
von integrierten Schaltkreisen.
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2 zeigt
schematisch ein Prüfgerät zum Prüfen von
IC's.
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3 zeigt
ein Flußdiagramm
zum Steuern des Prüfens
von IC's.
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4 bis 6 zeigen
die Strukturen von Datenbasen, die zur Verwendung im Los, bei der Überwachung
bzw. in der Datenanalyse geeignet sind.
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7 zeigt
ein Flußdiagramm
zum Installieren eines Prüfprogramms.
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8 zeigt
ein Flußdiagramm
für den Überwachungsalgorithmus
der letzten Prüfung.
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9 zeigt
ein Flußdiagramm
für den
Grenzkriteriumalgorithmus.
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10 zeigt
ein Flußdiagramm
zur Losentscheidung.
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11 zeigt
ein Flußdiagramm
eines QA-Überwachungsalgorithmus.
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12 zeigt
ein Flußdiagramm
zur Datenanalyse.
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13 zeigt
ein Beispiel eines Ergebnisses der Datenanalyse.
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Gemäß 1 ist
eine Vielzahl von Prüfgeräten 12 mit
einem Hostrechner 14 verbunden. Bei dem Hostrechner 14 kann
es sich um ein Computersystem handeln, das UNIX oder VAX als Betriebssystem verwendet.
Das UNIX-System ist wegen seiner Kompatibilität mit allgemeinen Personalcomputern
geeignet.
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Die
Prüfgeräte sind
mit dem Hostrechner 14 über
ein Netzwerk 18 verbunden. Zum Organisieren eines Lokalbereichsnetzwerks
kann ein Ethernet verwendet werden. Andererseits kann dann, wenn
die Prüfgeräte 12 weit
von dem Hostrechner 14 entfernt sind, ein Telekommunikationsnetz
unter Verwendung von normalen Telefonleitungen verwendet werden. Das
Ethernet besitzt Eigenschaften wie eine Datenübertragungsrate von maximal
10M Byte/s Verbindungsknoten (die Testgeräte) von über mehreren Hundert, erfordert
geringe Kosten und ist leicht kapazitätsmäßig erweiterbar.
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Eine
Vielzahl von verteilten Computern 16 wird verwendet, um
die Prüfdaten
zu analysieren und Alarmmeldungen zum Prüfoperator in anormalen Situationen
zu senden, und ist mit dem Hostrechner 14 über ein
Netzwerk 17 verbunden. Die verteilten Computer 16 können gemeine
Personalcomputer oder Arbeitsplätze
sein. Das Netzwerk 17 kann durch das Ethernet oder ein
Telekommunikationsnetz unter Verwendung von Telefonleitungen gebildet
werden.
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Das
Prüfgerät 12 umfaßt gemäß 2 eine Prüfeinrichtung 20 und
eine Handhabungseinrichtung 30. Die Handhabungseinrichtung 30 umfaßt ein Bauteilladeteil 36 zum
automatischen und aufeinanderfolgenden Laden von zu prüfenden IC's, ein Prüfteil 37,
wo eine Testbaugruppe 32 ange ordnet ist, die ein vorbestimmtes
Schaltkreismuster aufweist und elektrisch mit der Prüfeinrichtung 20 über Kabel 28 verbunden
ist, sowie ein Sortierteil 38 zum Sortieren der geprüften Bausteine
entsprechend den Einstufungskategorie-Ergebnissen.
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Die
Prüfeinrichtung 20 umfaßt einen
Prüfkopf 26,
der eine Anzahl von Modulen aufweist, um Prüfsignale an einen zu prüfenden IC 34,
der auf der Testbaugruppe 32 montiert ist, anzulegen und
Ausgangssignale vom IC 34 zu messen, einen Mikroprozessor 22 zum
Steuern des Prüfkopfes 26 entsprechend
einem vorerstellten Prüfprogramm
und eine Eingangs-Ausgangseinheit 24 als
Datenkommunikationsinterface zwischen den Operatoren und der Prüfeinrichtung 20.
Die Eingangs-Ausgangseinheit 24 kann eine Tastatur, einen
Bildschirm und einen Alarmsignalgenerator umfassen.
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Während des
Prüfens übermittelt
das Prüfgerät 12 Prüfdaten zum
Hostrechner 14 über
das Netzwerk 18. Weiterhin steuert das Prüfgerät 12 das Installieren
von zu prüfenden
IC's 34 durch
Empfang von Instruktionen vom Hostrechner 14 und fordert eine
Losentscheidung vom Hostrechner 14 an, wenn die letzte
Prüfung
eines Loses abgeschlossen ist. Basierend auf der Losentscheidung
des Hostrechners 14 informiert das Prüfgerät 12 über die
Eingangs-Ausgangseinheit 24 einen Operator über die Ergebnisse.
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Der
Hostrechner 14 umfaßt
Datenbasen, die durch Prüfdaten
formuliert sind, die von den Prüfgeräten 12 übermittelt
werden, und sendet ein Alarmsignal an die verteilten Computer 16,
wenn eine anormale Situation während
der letzten Prüfung
auftritt. Außerdem
bestimmt der Hostrechner 14 den weiteren Ablauf des geprüften Loses
entsprechend einem Losentscheidungsalgorithmus.
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3 zeigt
eine Abfolge einer Steuerung der Prüfung, wobei durch Start 40 eine
Anzahl von Prüfgeräten 12 installiert
und zu prüfende
IC's in der Einheit
eines Loses zugeführt
werden. Wenn die Prüfgeräte 12 installiert
sind, lädt
der Hostrechner 14 Prüfprogramme
in entsprechende Prüfgeräte 12 und
zu prüfende
IC's werden aufeinanderfolgend
dem Prüfteil 37 zugeführt (Schritt 42).
Das Prüfprogramm
wurde durch Operatoren in Abhängigkeit
von den Eigenschaften des Bausteins und Prüfgrößen entwickelt und programmiert
und dann im Hostrechner 14 ge speichert. Das Prüfprogramm
ist allgemein in spezifischen Programmiersprachen geschrieben, die
durch die Prüfgeräthersteller
vorgesehen sind. Die Prüfprogrammiersprache
besitzt eine von einer allgemeinen C-Sprache oder Compilersprachen
konvertierte Struktur.
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Im
Hostrechner 14 sind Prüflisten
und Bausteinlisten gespeichert. Entsprechend den Prüflisten, Bausteinlisten
und Prüfprogrammen
wählt der
Hostrechner 14 das Prüfprogramm
aus und lädt
dieses in das ausgewählte
Prüfgerät 12 automatisch
oder unter Beihilfe des Operators.
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Nach
dem Installierungsschritt 42 nimmt das Prüfgerät 12 die
letzte Prüfung
durch Anlegen verschiedener Prüfsignale
an IC's, Messen
der Ausgangssignale von den IC's
und Sortieren der geprüften
IC's entsprechend
Einstufungskategorien-Ergebnissen vor (Schritt 44). Wie
vorstehend erläutert,
werden identische IC's,
hergestellt unter den gleichen Arbeitsbedingungen, dem Prüfgerät 12 losweise
zugeführt
und die letzte Prüfung
ebenfalls losweise ausgeführt.
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Die
während
der letzten Prüfung
erzeugten Prüfdaten
werden in Realzeit an den Hostrechner 14 übermittelt
und in diesem gespeichert, wobei der Fortschritt der letzten Prüfung durch
den Hostrechner 14 und die verteilten Computer 16 überwacht
wird (Schritt 46). Im Schritt 46 des Überwachens
des Fortschritts der letzten Prüfung
werden die Operatoren über
den Status des Fortschritts der letzten Prüfung informiert und Alarmmeldungen
an die Operatoren durch die verteilten Computer 16 und
die Eingangs-Ausgangseinheit 24 des Prüfgeräts 12 übermittelt,
wenn eine anormale Situation während
der letzten Prüfung
auftritt. Im Schritt 48 wird bestimmt, ob die letzte Prüfung bezüglich eines
Loses abgeschlossen ist, und wenn dies so ist, liefert der Hostrechner 14 eine
Entscheidung bezüglich
des Loses auf der Basis der gespeicherten Prüfdaten.
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In
dem Losentscheidungsschritt 50 werden Grenzwerte verwendet,
die durch einen Grenzkriteriumalgorithmus 52 bestimmt werden.
Der nächste Fluß des zu
prüfenden
Loses wird durch Analysieren der Einstufungskategorien-Ergebnisse
und Vergleichen von diesen mit den unteren und oberen Grenzen entschieden.
Diese Entscheidung hat, wie oben erläutert, Unterscheidungsmerkmale
zum konventionellen Losentscheidungsschema, in dem Fehler nur analysiert
werden, wenn das geprüfte
Los eine vorbestimmte Ausbeute von beispielsweise 95 % nicht erfüllt.
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Die
Ergebnisse der Losentscheidung werden den Operatoren angezeigt und
die Daten der Ergebnisse der letzten Prüfung werden im Hostrechner 14 in
Abhängigkeit
von der Losentscheidung im Schritt 54 an verschiedenen
Speicherstellen gespeichert. Zum geprüften Los wird im Schritt 56 eine
Eingangsinspektion pro Los gefordert und danach ein Qualitätssicherungsüberwachungsschritt 58 ausgeführt. Diese
Qualitätssicherungsüberwachung
ist unterschiedlich von der üblichen
Qualitätsüberwachungsprüfung, die
Proben aus den endgültig
geprüften
IC's nimmt und prüft, um die
Qualitätsanforderungen
des Verbrauchers bezüglich
durchgelaufener IC's
sicherzustellen, indem das Los nach der letzten Prüfung in Abhängigkeit
von der Losentscheidung behandelt wird. Wenn beispielsweise das
geprüfte
Los eine vorbestimmte Ausbeute von beispielsweise 95 % erfüllt und
keine Einstufungskategorien die Grenzwerte verletzen, kann die Probenahmeprüfung wegfallen,
wobei einfach die Anzahl von geprüften und in dem Los enthaltenen
IC's gezählt wird.
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Im
letzten Schritt 59 werden die guten IC's versandbereit gemacht, während dann,
wenn die geprüften
IC's nicht die Ausbeuteanforderung
erfüllen und
gefunden wurde, daß einige
Einstufungskategorien die Einstufungskategorie-Grenzen verletzen, werden
die Gründe
für die
Fehler durch Verwendung einer Anzahl von im Hostrechner 14 gespeicherten Daten
analysiert und die Analyseergebnisse in entsprechende vorhergehende
Verarbeitungsschritte wie etwa Waferverarbeitungs- und Montageschritte rückgekoppelt
und berücksichtigt.
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Die
Struktur von Datenbasen zum Verarbeiten von Prüfdaten, die während der
letzten Prüfung auftreten,
wird nachstehend beschrieben.
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4 bis 6 zeigen
beispielhaft Datenbasen, die für
die vorliegenden Zwecke verwendbar sind. Eine in 4 dargestellte
Datenbasis 60 dient zur Losentscheidung und verwendet einen
Prüfprogrammnamen
als Dateinamen oder als Datenbasistabellennamen. Die Loszahl 62 wird
durch einen Operator über
die Eingangs-Ausgangseinheit 24 zu Beginn der letzten Prüfung betitelt.
Außerdem
wird die Anzahl von IC's,
die in bestimmte Einstufungskategorien sortiert sind, als nächste Daten 63, 64 und 65 der Datenbasis 60 gespeichert.
Nach Empfang des Signals über
den Abschluß der
letzten Prüfung
von den Testgeräten 12 prüft der Hostrechner 14 den
Programmnamen 61 und die Loszahl 62 und vergleicht dann
die Anzahl von BIN 1 mit der Anzahl von BIN n 63, 64 und 65 mit
den oberen und unteren Grenzwerten, die durch den Grenzkriteriumalgorithmus
bestimmt wurden. In Abhängigkeit
von dem Ergebnis des Vergleichs führt der Hostrechner 14 die
Einstufungskategorie-Entscheidung durch und schickt dann das Ergebnis
hiervon an die Prüfgeräte 12.
Selbst wenn beispielsweise das Ausbeuteerfordernis erfüllt ist,
d.h. die Anzahl von BIN 1 über
95 % der Anzahl von IC's
in einem Los liegt, wird das Los nicht als vollständig gut
betrachtet entschieden, wenn ein bestimmtes BIN die Einstufungskategorie-Grenze
beispielsweise um 3 % überschreitet.
In diesem Fall wird das BIN einer Probenahmeprüfung in der nachfolgenden Qualitätsüberwachungsprüfung, einer
Produktionsverläßlichkeitsprüfung oder
einer Datenanalyse bezüglich
der Einstufungskategorie-Daten unterworfen. 5 zeigt
exemplarisch eine Datenbasis 70 zum Überwachen der letzten Prüfung. Die
Dateien der Datenbasis 70 werden durch den Prüfgerätnamen 71 identifiziert.
Ein Prüfmodus 72 repräsentiert den
derzeitigen Status des Testgeräts 12,
beispielsweise in der letzten Prüfung,
in der Probenahmeprüfung
oder in einem Pausenzustand, und identifiziert die Benutzer oder
die Operatoren. Die Startzeit 73 für die Losprüfung gibt die Zeit an, wann
die letzte Prüfung
eines spezifischen Loses beginnt, und die Losgröße 74 bedeutet die
Gesamtzahl von in einem Los enthaltenen IC's. Die Gesamtzahl 75 bezeichnet
die Anzahl von IC's,
die aktuell durch ein Prüfgerät 12 während der
letzten Prüfung
gezählt
wurden. Wenn die Losgröße 74 nicht
identisch mit der Gesamtzahl 75 ist, wird die letzte Prüfung wiederholt
oder die Stichprobe wird mit zweifach stichprobegenommenen IC's durchgeführt.
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In
der Datenbasis 70 von 5 werden
Fehlerdaten 76 und gute Daten 77 durch die Anzahl
von IC's bestimmt,
die in BIN 1 und in andere Einstufungskategorien einsortiert werden.
Daten von defekten Bausteinen, bei denen der Fehler durch Kontaktfehler
bewirkt wird, werden in den O/S-Fehlerdaten 78 (O/S = Stromkreisunterbrechung/Kurzschluß) gespeichert.
Der O/S-Fehler kann auftreten, wenn die Kontakte zwischen einer
Prüfbaugruppe
und Anschlüssen
der IC's in dem
Prüfkopf 26 oder
wenn die Verbin dung der Prüfbaugruppe
und der Handhabungseinrichtung 30 oder die Verbindungen
zwischen Bonddrähten
und Bondinseln des IC's
nicht gegeben sind. Anders ausgedrückt, hat der O/S-Fehler keine
Beziehung zu den elektrischen Eigenschaften des zu prüfenden IC's. Andere Fehler 79 beziehen
sich auf die elektrischen Eigenschaften der IC's und variieren daher in Abhängigkeit
von den Prüfinformationen
und den Bausteinen.
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Die
Datenbasis 70 zum Überwachen
der letzten Prüfung
sollte jedesmal auf den neusten Stand gebracht werden, wenn der
Hostrechner 14 zugehörige
Daten vom Prüfgerät 12 während der letzten
Prüfung
erhält,
wobei die neusten Daten in Realzeit angezeigt werden, so daß ein Operator
oder ein Berater den fortschreitenden Status der letzten Prüfung beobachten
kann.
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6 zeigt
eine beispielhafte Datenbasis 80 für die Datenanalyse, die einen
Namen eines IC-Bausteins 81 als Dateinamen oder Datenbasistabellennamen
verwendet. Der Hostrechner 14 klassifiziert Prüfdaten,
die von einer Vielzahl von Prüfgeräten 12 entsprechend
den geprüften
IC-Bausteinen und dem Los erzeugt, jedesmal wenn eine bestimmte
Zeitperiode vergangen ist. Der Programmname 82 identifiziert
ein Prüfprogramm
für die
letzte Prüfung
und eine Baugruppen-ID 83 bezeichnet die Identifikationszahl einer
Prüfbaugruppe 32,
die auf einer Handhabungseinrichtung 30 eines Prüfgeräts 12 vorgesehen
ist. Die Datenbasis 80 enthält ferner die Loszahl 84,
die Losprüfstartzeit 85,
die Losgröße 86 und
die Gesamtzahl 87. Die Gesamtfehler 88 und die
Anzahl von IC-Bausteinen,
die in jedes der Einstufungskategorien 89a, 89b und 89c einsortiert
wurden, werden in der Datenbasis 80 gespeichert.
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Die
Datenbasis 80 kann verwendet werden, um die Änderung
oder Variation der Ergebnisse der letzten Prüfung in Abhängigkeit von der Zeit, dem Prüfgerät 12,
der Prüfbaugruppe 32,
dem Los und dem Operator festzustellen. Bei der Prüfergebnisanalyse
kann die Datenbasis 80 eine fundamentale Information zur
statistischen Analyse des Prüfvorgangs oder
zum Vergleichen der Prüfdaten
mit den Einstufungskategorie-Grenzen sein, nachdem Einstufungskategorie-Daten
gespeichert sind.
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7 zeigt
ein Flußdiagramm
bezüglich
der Durchführung
des Prüfprogramms,
wobei beim Start 90 das Prüfgerät 12 stromversorgt
in stalliert wird und in seinen stabilen Zustand gelangt. Der Hostrechner 14 liest
die Liste von zu prüfenden
IC-Bausteinen und zeigt dies über
den Monitor von verteilten Computern 16 an, so daß der Operator
die Liste sehen kann (Schritt 91). Der Operator wählt IC-Bausteine
und das Prüfgerät 12 zum
Prüfen
der IC-Bausteine (Schritt 92). Der Hostrechner 14 wählt und
lädt ein Prüfprogramm
in das ausgewählte
Prüfgerät 12 (Schritt 93).
Im Schritt 94 wird die Installation des Prüfprogramms
und der IC-Bausteine überprüft und dann,
wenn die Installation normal ist, gibt der Operator die Loszahl
und die Losgröße ein,
wenn der erste IC-Baustein
zu prüfen
ist (Schritt 95). Dann wird die letzte Prüfung durchgeführt (Schritt 96).
Die Loszahl und die Losgröße werden
verwendet, um die Datenbasis, wie vorstehend unter Bezugnahme auf
die 4, 5 und 6 beschrieben,
zu bilden. In Schritt 97 wird bestimmt, ob die letzte Prüfung beendet
ist, wobei dann, wenn die Prüfung
weiterzuführen ist, überprüft wird,
ob die IC-Bausteine geändert
sind, Schritt 98. Wenn die IC-Bausteine nicht geändert sind,
geht es im Flußdiagramm
zurück
zu Schritt 96, während
dann, wenn die IC-Bausteine geändert
sind, die letzte Prüfung
zu einem anderen Los fortschreitet und daher im Flußdiagramm
zu Schritt 91 zurückgekehrt
wird, so daß der
Operator einen anderen IC-Baustein und ein anderes Prüfgerät 12,
die auf dem Monitor der verteilten Computer 16 angezeigt werden,
auswählen
kann.
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Wenn
andererseits im Schritt 94 festgestellt wird, daß das Installieren
des Prüfprogramms
und der IC-Bausteine anormal ist, wird der Operator alarmiert, um
die Probleme in Schritt 99 zu finden und zu lösen. Wenn
die letzte Prüfung
fortschreitet, wird der nächste
Vorgang, beispielsweise der Überwachungsvorgang
der letzten Prüfung,
durchgeführt.
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Das überwachen
der letzten Prüfung
entsprechend dem Flußdiagramm
von 8 liefert zwei Funktionen: Überwachung des Arbeitsflusses
der letzten Prüfung
und Alarmierung des Operators bezüglich einer anormalen Situation
in Realzeit. Durch den Schritt Start 120 wird die Vorbereitung
einer letzten Prüfung
vervollständigt,
wonach IC-Bausteine in der Einheit eines Loses angeliefert und geprüft werden,
um ihre elektrischen Eigenschaften in Schritt 122 festzustellen.
Während
der letzten Prüfung
erzeugte Prüfergebnisdaten
werden zum Hostrechner 14 übermittelt und auf den verteilten
Computern 16 angezeigt (Schritt 124). Der Hostrechner 14 analysiert
die Prüfergebnisdaten
und entscheidet, ob der Prüffluß einem
vorgesehenen Pfad folgt (Schritt 126). Wenn eine anormale
Situation auftritt, wird ein Operator gemäß Schritt 128 durch
den Hostrechner 14 informiert. Wenn dagegen kein Problem
auftritt, wird die letzte Prüfung
fortgesetzt. Beispielsweise berechnet der Hostrechner 14 das
O/S-Fehlerverhältnis,
um über
den Prüffortschritt
zu entscheiden, wobei dann, wenn O/S-Fehler aufeinanderfolgend gefunden
werden, der Hostrechner 14 automatisch die letzte Prüfung stoppt
und instruiert, daß die
Kontakte der Prüfbaugruppen 32 und
Handhabungsgeräte 30 überprüft werden
sollen.
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In
Schritt 126 werden die während der letzten Prüfung erzeugten
Einstufungskategorie-Daten, der Dateneingang in der Prüfprogramminstallationsstufe und
die Losprüfstartzeit
zum Hostrechner 14 übermittelt,
so daß ein
Operator den derzeitigen Zustand des im Betrieb befindlichen Prüfgeräts 12 und
das Prüfzwischenresultat
kennenlernen kann.
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In
Schritt 130 wird entschieden, ob die letzte Prüfung beendet
ist. Wenn die Prüfung
fortzusetzen ist, geht es zurück
zu Schritt 122. Wenn jedoch die letzte Prüfung abgeschlossen
ist, sendet das Prüfgerät 12 ein
diesbezügliches
Signal zum Hostrechner 14 und ordert eine Losentscheidung
vom Hostrechner 14.
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Für die Losentscheidung
werden vorbestimmte Einstufungskategorie-Grenzen verwendet. Da die
Einstufungskategorien-Grenzen eine große Wirkung auf die Verläßlichkeit
der Losentscheidungsergebnisse haben, sollten die Einstufungskategorie-Grenzen
sorgfältig
unter Inbetrachtziehung von Parametern wie Kapazität eines
Prüfvorgangs,
Kapazität
des Managements von Operatoren oder Prüfingenieuren und die Fehlerraten
der Einstufungskategorien bestimmt werden.
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9 zeigt
ein Flußdiagramm
für den Prüf-Einstufungskategorie-Grenzkriteriumalgorithmus,
wobei darauf hinzuweisen ist, daß die Einstufungskategorien
und Prozentsätze
wie 95 %, 0,2 %, 0,3 %, 0,6 %, 0,9 % und 1,8 % von 9 lediglich beispielhaft
sind. Gemäß 9 sind
die Einstufungskategorien in BIN 1 bis 32 unterteilt, wobei die
Einstufungskategorie BIN 1 anzeigt, daß alle geprüften IC-Bausteine zufriedenstellend
sind und jede Prüfung
passiert haben, während
die Kategorien BIN 19 bzw. 20 Stromkreisunterbrechungsfehler und
Kurzschlußfehler
darstellen. Die verbleibenden Einstufungskategorien zeigen verschiedene
Fehler an, die sich auf elektrische Eigenschaften der geprüften IC-Bausteine
beziehen. Die verschiedenen Fehler werden anhand eines IC-Bausteins
KS911B der Firma SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. erläutert. Bei
diesem Baustein handelt es sich um eine Logikeinrichtung für einen
CD-Spieler und dient zum Datentransfer zwischen einer CD und einem
Lautsprecher. BIN 3 stellt hierbei sicher, daß ein gewollter Ausgang zu
einem bestimmten Eingang bei dem Baustein herauskommt, während BIN
4 und 5 zum Überprüfen eines
Niederspannungsbetriebs sind. BIN 7 und 8 beziehen sich auf Leckageprüfungen, BIN
14 ist zum Prüfen
eines Ruhestroms (IDS), BIN 15 bezieht sich
auf eine Betriebsstromprüfung
(IDD) und BIN 16 dient zum Prüfen einer
SRAM-Funktion des Bausteins.
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Zunächst werden
die obere und untere Grenze der Einstufungskategorie BIN 1 auf 100
% bzw. 95 % gesetzt (Schritt 102), was bedeutet, daß dann, wenn
IC-Bausteine, die als BIN 1 klassifiziert werden, gleich oder größer als
95 % der Losgröße darstellen, die
IC-Bausteine eine anvisierte Ausbeutebedingung erfüllen und
die Massenproduktion der IC-Bausteine möglich ist. Die obere Grenze
von 100 % in der Kategorie BIN 1 ist notwendig um zu bestimmen,
ob die Anzahl von geprüften
IC-Bausteinen identisch zur Anzahl der IC-Bausteine (Losgröße) ist,
die für
eine Prüfung
vorgesehen ist. Wenn einige IC-Bausteine zweifach getestet werden,
kann die Anzahl von IC-Bausteinen, die in die Kategorie BIN 1 klassifiziert werden,
größer als
die obere Grenze von 100 % sein, wodurch eine spezielle Handhabung
dieses Loses erforderlich ist.
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Die
oberen Grenzen der Kategorien BIN 19 und 20 für O/S-Fehler werden auf 2,5
% (Schritt
104) gesetzt, während die Grenzen der verbleibenden Einstufungskategorien
durch die nachfolgenden Schritte bestimmt werden. Nach Prüfen einer
genügenden
Anzahl von Losen wird ein Mittelwert P von IC-Bausteinen, die in
eine bestimme Einstufungskategorie einsortiert wurden, bestimmt
und dann die Standardabweichung σ durch
Verwendung des Mittelwertes P und der Losgröße n gemäß folgender Gleichung berechnet
(Schritt
106):
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Nach
Bestimmung der Standardabweichung wird bestimmt, ob jeder Mittelwert
P der verbleibenden Einstufungskategorien außer für BIN 1, 19 und 20 über 0,3
% der Losgröße liegt
(Schritt 107), wonach dann, wenn der Mittelwert gleich
oder kleiner als 0,3 % ist, bestimmt wird, ob P + 3 σ gleich oder kleiner
als 0,2 % der Losgröße ist (Schritt 108).
Wenn P + 3 σ gleich
oder kleiner als 0,2 % ist, wird die obere Grenze der entsprechenden
Einstufungskategorie auf 0,2 % gesetzt (Schritt 109), während dann,
wenn P + 30 σ größer als
0,2 % ist, die obere Grenze für
die Einstufungskategorie auf P + 3 σ gesetzt wird (Schritt 110).
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Wenn
in der Zwischenzeit gefunden wird, daß der Mittelwert P größer als
0,3 % in Schritt 107 ist, wird bestimmt, ob der Mittelwert
P gleich oder kleiner als 0,6 % der Losgröße ist (Schritt 111).
Wenn der Mittelwert P nicht über
0,6 % liegt, wird P + 2 σ die
obere Grenze der Einstufungskategorien (Schritt 112), während dann,
wenn der Mittelwert P größer als 0,6
% ist, bestimmt wird, ob der Mittelwert P größer als 0,9 % der Losgröße ist (Schritt 113).
Wenn der Mittelwert P 0,9 % nicht überschreitet, wird die obere Grenze
der entsprechenden Einstufungskategorie auf P + σ gesetzt (Schritt 114),
wobei jedoch dann, wenn der Mittelwert P größer als 0,9 % ist, bestimmt wird,
ob der Mittelwert P gleich oder kleiner als 1,8 % der Losgröße ist (Schritt 115).
Wenn der Mittelwert P 1,8 % nicht überschreitet, wird der Mittelwert
P als die obere Grenze der entsprechenden Einstufungskategorie gesetzt
(Schritt 116). Wenn jedoch der Mittelwert 1,8 % überschreitet,
wird entschieden, daß die obere
Grenze nicht gesetzt werden kann, da diese Einstufungskategorie-Grenze
zu groß ist,
um die Losentscheidung durchzuführen
(Schritt 117). Um zu entscheiden, ob das Los ungeeignet
ist, um die Einstufungskategorie-Grenze zu setzen, werden die Prüfergebnisse
analysiert, um die Gründe
für die Fehler
zu finden, um die Fehler zu beseitigen.
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Der
Hostrechner 14 erzeugt automatisch und periodisch die Einstufungskategorie-Grenzen unter Verwendung
des Grenzkriteriumalgorithmus und die Bestimmung der Einstufungskategorie-Grenzen
folgt der Entscheidungsregel, die unter Berücksichtigung der Managementfähigkeit
von Operatoren und Prüfingenieuren
und der Mittelwerte der Einstufungskategorie-Ergebnisse erstellt
wird, die eine binomiale Verteilung des Mittelwertes P haben. Die
Entscheidungsregel enthält
folgende Elemente. Zunächst sollten
Steuergrenzen oder Einstufungskategorie-Grenzen entsprechend dem
Fehlerverhältnis
Einstufungskategorie-Ergebnisse unterschiedlich angelegt werden.
Zweitens wird ein gutes Los mit einer Ausbeute im Bereich von 95
% bis 100 % verwendet. Drittens werden die Prüf-Einstufungskategorie-Grenzen
bestimmt, nachdem genügend
Lose geprüft
sind. Beispielsweise werden die Einstufungskategorie-Grenzen nach
50 Losen, die die Ausbeuteanforderungen erfüllen und innerhalb von sechs
Monaten gesammelt wurden, bestimmt. Schließlich sollten die Einstufungskategorie-Grenzen
periodisch revidiert werden, nachdem neue Prüfdaten gespeichert sind.
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In
dem Grenzkriteriumalgorithmus werden fünf Bezugsverhältnisse,
beispielsweise 0,3 %, 0,2 %, 0,6 %, 0,9 % und 1,8 %, verwendet.
Jedoch können
diese Bezugsverhältnisse
in Abhängigkeit
von den IC-Bausteinen, den Prüfgrößen und
dem Akzeptanzpegel der Prüfergebnisse
geändert
werden. Unter Verwendung des Grenzkriteriumalgorithmus wird eine
Losentscheidung bezüglich
einer endgültigen Prüfung des
Loses durchgeführt.
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10 zeigt
ein Flußdiagramm
zur Losentscheidung. Beim bisherigen Prüfen von IC-Bausteinen zählte der
Operator die Anzahl von IC-Bausteinen, die in BIN 1 sortiert wurden,
und bestimmte, ob das Ausbeuteerfordernis erfüllt wurde. Wenn die Ausbeute
zu gering war, entschied der Operator, daß dieses Los fehlerhaft sei
und analysierte die Fehlergründe.
Hier werden jedoch zur Losentscheidung Prüfergebnisdaten, die während der
letzten Prüfung erzeugt
wurden, verwendet und die Losentscheidung wird automatisch durch
den Hostrechner 14 unter Verwendung eines Losentscheidungsalgorithmus durchgeführt, so
daß das
Ergebnis der Losentscheidung unmittelbar nach der letzten Prüfung bekannt ist.
Weiterhin werden Entscheidungsgrößen und
Einstufungskategorie-Grenzen gegebenenfalls gewählt, die eine frühe Erkennung
eines anormalen Loses erlauben. Des weiteren wird die Losentscheidung
nicht durch die Ausbeuteentscheidung eingeschränkt, sondern zu einer Entscheidung
auf der Basis aller Einstufungskategorien ausgedehnt, so daß die Fehlerentdeckung
verbessert und eine kontinuierliche Beobachtung von Änderungen
in der Waferherstellung und in der Montage möglich ist. Dies resultiert
in einer leichten Analyse von Fehlern aufgrund der IC-Produktionslinien
(Herstellung und Montage).
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Wenn
die letzte Prüfung
abgeschlossen ist (Schritt 140), wird gemäß 10 zunächst festgestellt,
ob die Ausbeute eine vorbestimmte Anforderung, beispielsweise 95
% der Losgröße, erfüllt (Schritt 142).
Die Ausbeuteentscheidung wird durch Zählen der Anzahl von IC-Bausteinen
durchgeführt, die
in Kategorie BIN 1 einsortiert sind. Wenn das Ausbeuteerfordernis
nicht erfüllt
ist, werden die Prüfdaten,
die während
der letzten Prüfung
erzeugt und durch den Hostrechner 14 gesteuert wurden,
in eine Schlecht-Datenbasis gemäß Schritt 144 gespeichert. In
bezug auf dieses Los analysieren und finden die Operatoren die Fehlergründe gemäß Schritt 146 unter
Verwendung eines Datenanalysewerkzeugs.
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Wenn
das Los den Ausbeuteentscheidungsschritt 142 passiert,
wird bestimmt, ob die Ausbeute 100 % der Losgröße überschreitet (Schritt 148).
Eine Ausbeute größer als
100 % bedeutet, daß mehr IC-Bausteine
als vorgesehen und dem Prüfgerät 12 zugeführt geprüft wurden.
Daher werden die Prüfdaten
für dieses
Los in der Schlecht-Datenbasis gespeichert (Schritt 150).
Dieses Los wird entweder erneut geprüft oder es wird gefordert,
eine Eingangsinspektion durchzuführen
(Schritt 152). Wenn die erneute Prüfung des Loses 100 % überschreitend
zu lange Zeit erfordert, kann eine Doppelstichprobe in der nachfolgenden
Qualitätssicherungsprüfung durchgeführt werden.
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Wenn
die Ausbeute die vorbestimmte Anforderung erfüllt und nicht 100 % überschreitet,
wird bestimmt, ob irgendwelche Einstufungskategorie-Daten die durch
den Grenzkriteriumalgorithmus bestimmten Einstufungskategorie-Grenzen
verletzen (Schritt 154). Wenn alle Einstufungskategorie-Daten
nicht aus den entsprechenden Einstufungskategorie-Grenzen herausfallen,
werden die Prüfdaten
in einer Gut-Datenbasis
gespeichert (Schritt 156), während dann, wenn Einstufungskategorie-Daten
die entsprechenden Einstufungskategorie–Grenzen überschreiten, die Prüfdaten in
der Schlecht-Datenbasis gespeichert werden (Schritt 158)
und dann das entsprechende Los der Eingangsinspektion unterworfen
wird (Schritt 160). Die Gut-Datenbasis und die Schlecht-Datenbasis
entsprechen besonderen Verzeichnissen, die in der Speichereinrichtung
des Hostrechners 14 lokalisiert sind, und haben alle Datenelemente
zur Bildung der Datenbasis, wie unter Bezugnahme auf die 4 bis 6 erläutert wurde.
Beispielsweise enthalten die Gut-Datenbasis und die Schlecht-Datenbasis
Daten elemente wie den Prüfprogrammnamen,
die Losnummer, die Anzahl von IC-Bausteinen,
die in die Einstufungskategorien sortiert wurden, den Testgerätnamen,
den Testmodus, die Losprüfstartzeit,
die Losgröße, die
Gesamtzahl, die Anzahl von guten Bausteinen, die Anzahl von fehlerhaften
Bausteinen und die Prüfbaugruppenidentifikation.
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11 zeigt
ein Flußdiagramm
zur Bestimmung des QA-Überwachungsalgorithmus,
der dazu dient, entsprechend den Losentscheidungsergebnissen die
nächste
Folge des Loses zu bestimmen, das Eingangsinspektion erfordert.
Hierbei wird berücksichtigt,
ob die Ausbeute 100 überschreitet
(Schritt 162), ob ein Fehler in den Prüfdaten vorliegt (Schritt 164),
ob die Nummer des zur Eingangsinspektion vorgesehenen Loses korrekt
ist (Schritt 166), ob die Ausbeute gleich oder größer als
80 % und geringer als 95 % ist (Schritt 168), und ob es
irgendwelche Prüf-Einstufungskategorie-Daten
gibt, die die Einstufungskategorie-Grenzen überschreiten (Schritt 170).
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Die
Bestimmung der 100 % übersteigenden Ausbeute
kann durch Vergleichen des Wertes der Anzahl der guten IC-Bausteine
dividiert durch die Losgröße mit der
numerischen Zahl 1 vorgenommen werden. Wenn die Ausbeute größer als
100 % ist, wird bestimmt, daß die
Anzahl der tatsächlich
fehlerhaften IC-Bausteine gleich oder geringer als 5 ist. Zu dieser
Zeit können
die tatsächlich
fehlerhaften Bausteine durch Abziehen der Anzahl von IC-Bausteinen,
für die
die Eingangsinspektion gefordert wird (d.h. die Anzahl von IC-Bausteinen,
die in BIN 1 sortiert sind) von der Losgröße (d.h. der Anzahl der gesamten
IC-Bausteine, die in einem Los enthalten sind) gezählt werden.
Wenn die tatsächlich
fehlerhaften Bausteine fünf
Stück überschreiten,
besteht die nächste
Folge entweder darin, das entsprechende Los erneut zu prüfen oder
die Doppelstichprobe durchzuführen
(beispielsweise wenn die Losgröße 2.000
beträgt,
werden 232 Bausteine stichprobenmäßig geprüft, doppelt soviel wie bei
der normalen Stichprobe, bei der 116 Bausteine geprüft werden). Wenn
andererseits die Anzahl der tatsächlich
fehlerhaften Bausteine gleich oder kleiner als fünf ist, wird die normale Stichprobe
durchgeführt
(Schritt 178).
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In
Schritt 164 wird bestimmt, ob die Daten keine Information über das
Los besitzen oder ob die Losgröße gleich
Null ist. Wenn ein Fehler in Schritt 164 gefunden wird,
wird die normale Stichprobe durchgeführt (Schritt 178).
Andererseits zeigt in Schritt 166 die unkorrekte Nummer
des zur Eingangsinspektion vorgesehenen Loses an, daß die tatsächlich guten
IC-Bausteine, die persönlich
durch einen Operator gezählt
werden, nicht identisch mit den guten Bausteinen sind, die in den
Prüfergebnisdaten
enthalten sind. Diese Situation erfordert die Durchführung der
normalen Stichprobe gemäß Schritt 178.
Die normale Stichprobe wird durchgeführt, wenn die Ausbeute gleich
oder größer als
80 % und kleiner als 95 % ist.
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Wenn
irgendeine Einstufungskategorie die Einstufungskategorie-Grenze
in Schritt 170 überschreitet,
wird bestimmt, ob die Einstufungskategorie größer als 3 % der Losgröße ist,
Schritt 174. Wenn die Einstufungskategorie größer als
3 % ist, wird die normale Stichprobe und eine Produktionsverläßlichkeitsprüfung in
Schritt 180 durchgeführt.
Wenn ein Einstufungskategorie seine Einstufungskategorie-Grenze
um mehr als 3 % überschreitet,
wird angenommen, daß die
Qualität
der IC-Bausteine nicht verläßlich ist,
selbst wenn das Ausbeuteerfordernis erfüllt ist. Dementsprechend werden
die IC-Bausteine in der Produktionsverläßlichkeitsprüfung erneut
unter einer strikteren Prüfbedingung
geprüft,
beispielsweise unter thermischer und elektrischer Beanspruchung
der IC-Bausteine. Wenn das Los die Produktionsausbeuteprüfung nicht
passiert, kann das Los nicht versandt werden.
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In
diesem Zusammenhang sei angemerkt, daß in Schritt 174 die
Einstufungskategorien BIN 19 und 20 zum Bestimmen von O/S-Fehlern
ausgeschlossen sind, da sich derartige Fehler nicht auf die elektrischen
Eigenschaften der IC-Bausteine beziehen und auf Kontaktierungsfehlern
zwischen den Zuleitungen der IC-Bausteine und einer Prüfbaugruppe 32 oder
zwischen der Prüfbaugruppe 32 und
einer Handhabungseinrichtung 30 oder auf einem Drahtbondfehler
beruhen. Weiterhin wurden die Kontaktierungsfehler in dem vorhergehenden
Prüffolgeüberwachungsschritt
festgestellt.
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Wenn
andererseits das Los nicht unter irgendeines der Losentscheidungskriterien
fällt (Schritte 162 bis 170),
kann dieses Los an einen Verbraucher ohne Vornahme von Stichproben
abgegeben werden (Schritt 182). Anders ausgedrückt, wird bezüglich solcher
IC-Bausteine, die den Schritt 182 passieren, nur die letzte
Prüfung
durchgeführt
und die sonstige Qualitätssicherungsprüfung weggelassen.
Allgemein beträgt die
Anzahl von Losen, bei denen eine Qualitätssicherungsprüfung nicht
notwendig ist, die Hälfte
der hergestellten IC-Bausteine. Dementsprechend wird die Produktivität des Prüfvorgangs
wesentlich verbessert und Arbeitskraft und Ausrüstung für Stichproben eingespart.
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12 zeigt
ein Flußdiagramm
für das
Datenanalysewerkzeug, das dazu beiträgt, die Fehlergründe aufzuspüren, die
Produktionsausbeute und die Bausteinqualität statistisch zu verwalten
und zu steuern, indem Prüfdaten
verwendet werden, die während
des Prüfvorgangs
erzeugt werden. Hierdurch wird es dem Analysierer oder Operator
ermöglicht,
vollständige
Prüfdaten
auf einem Bildschirm zu sehen.
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Durch
den Start gemäß Schritt 190 wird
ein Benutzerinterface (beispielsweise ein Anfangsbild) auf einem
Monitor der verteilten Computer 16 zur Kommunikation zwischen
dem Benutzer und dem verteilten Computer 16 angezeigt.
Der Operator gibt Analysegrößen über eine
Tastatur oder eine Maus ein (Schritt 192) und die Analysegrößen dienen
zum Analysieren der Prüfdaten
durch ein Los, Datum, Operatoren, Monat, Prüflinie und Einstufungskategorien.
Der Operator gibt einen Analyseterm in der Ordnung Jahr, Monat,
Tag und IC-Bausteinnamen ein, um den Analyseterm und den zu analysierenden IC-Baustein
auszuwählen
(Schritt 194) und die Prüf-Einstufungskategorie zu wählen (Schritt 196). Eine
Vielzahl von Prüf-Einstufungskategorien
werden gleichzeitig gewählt.
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Der
Operator kann ein Ausgabeformat, beispielsweise eine Balkengraphik
oder eine Liniengraphik, auswählen
(Schritt 198) und der Computer 16 liest die Prüfdaten des
gewählten
Loses innerhalb des ausgewählten
Prüfterms
von dem Hostrechner 14 aus (Schritt 200). Der
Computer 16 transformiert die vom Hostrechner 14 ausgelesenen
Prüfdaten
in ein ausgewähltes
Graphikformat und gibt diese über die
Anzeigeeinheit aus (Schritt 202).
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Wenn
der Operator die Bereiche der X- und Y-Achsen für die graphischen Prüfdaten oder
das Ausgangsformat zu ändern
wünscht
(Schritt 204), kann der Operator eingeben, was geändert werden soll,
und der Computer 16 transformiert die Prüfdaten und
zeigt diese entsprechend an (Schritt 202). Wenn der Operator
die Analyseangaben, die Prüf-Einstufungskategorie
, den Analyseterm oder die zu analysierenden IC-Bausteine zu ändern wünscht, kann
der Operator eingeben, was zu ändern
ist, und dann liest der Computer 16 die Prüfdaten unter
der geänderten Bedingung
aus dem Hostrechner 14 aus (Schritt 200) und zeigt
die Prüfdaten
in einem graphischen Format an (Schritt 202).
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13 zeigt
ein Beispiel des Ergebnisses des Datenanalysewerkzeugs, das in Form
einer Liniengraphik angezeigt ist. Die Graphik von 13 zeigt
die Änderungen
der Prüfergebnisse
von BIN 7 und 8 bezüglich
der Prüfung
von Leckageströmen
eines IC-Bausteins. Die Zahlenangaben in der X-Achse bezeichnen
das Datum, beispielsweise bedeutet 9x0204 den 4. Februar 199x. Die
Y-Achse zeigt die Anzahl von IC-Bausteinen, die in die Kategorien
BIN 7 und 8 in bezug auf die Losgröße aussortiert wurden.
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Wie
aus 13 ersichtlich, überschreiten die IC-Bausteine,
die den Leckagestromfehler aufweisen, 3 % der Losgröße nach
dem 10. März
199x, welcher Wert abnorm größer als
der Mittelwert von 0,046 % der vorhergehenden Periode (vom 4. Februar
bis 10. März)
ist. Der Hauptgrund des Leckagestromfehlers ist ein Überlappen
des Gatekontakts, weshalb Änderungen
in der Gatekontaktherstellung verfolgt wurden, die vor und nach
dem 10. März
199x stattfanden. Hierbei wurde festgestellt, daß eine um den 10. März 199x
neu eingesetzte Maschine für
den Gatekontakt ein Problem besaß.
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Dementsprechend
ist es möglich,
früh und
im einzelnen ein Problem bei der Waferherstellung und bei der Montage
herauszufinden, da die Analyse der Prüfdaten jede Einstufungskategorie
verwendet. Da die gesammelten Prüfdaten
bei der Analyse verwendet werden, ist es möglich, kontinuierlich die Änderung
in vorhergehenden Verarbeitungsschritten zu beobachten, und die
Fähigkeit,
anormale Lose zu entdecken, wird erheblich verbessert.
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Die
Erfindung kann ferner bei einer Voralterungsprüfung und einer elektrischen
Typsortierungs-(EDS = Electrical Die Sorting)-Prüfung verwendet werden. Die
Voralterungsprüfung
dient dazu, schwache IC-Bausteine durch thermische und elektrische
Beanspruchung hiervon, die die Frühausfallsmechanismen beschleunigen,
auszuschalten. Einige Prüf-Einstufungskategorien
beziehen sich auf den frühen
Ausfallmechanismus, so daß die Fehlerrate dieser
Einstufungskategorien verwendet werden kann, um den Voralterungstest
zu analysieren. Durch Verwendung der Prüf-Einstufungskategorie-Ergebnisse
zusammen mit dem Voralterungstest ist es möglich, die Prüfzeit für den Voralterungstest
zu reduzieren oder diesen sogar überflüssig zu
machen.
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Die
EDS-Prüfung
markiert zurückgewiesene Chips
auf einem Wafer zum Ausschließen
derartiger Chips von der Montage. Die Einstufungskategorie-Prüfergebnisse,
die nach Durchführung
der letzten Prüfung
erhalten werden, können
verwendet werden, um Fehlergrenzen für die EDS-Prüfung zu
definieren.