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TECHNISCHES GEBIET
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Die vorliegende Erfindung gehört zu dem technischen Gebiet, das die Prüfung von Artikeln, die mit Komponenten versehen sind, betrifft.
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ALLGEMEINER STAND DER TECHNIK
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Als Vorrichtungen, um den Montagezustand von Komponenten an einem Substrat oder dergleichen zu prüfen, werden verbreitet automatische Aussehensprüfvorrichtungen verwendet. Bei einer solchen Vorrichtung werden Aussehensinformationen eines Substrats, an dem Komponenten montiert wurden (auch Objekte im Zustand vor einem Löten) durch einen Sensor erlangt und wird für jede Komponente eine Messung von Punkten, die der Komponente entsprechen, vorgenommen. Dann wird durch einen Vergleich des erhaltenen Ergebnisses mit bestimmten Prüfstandards eine Unterscheidung zwischen einem guten Artikel und einem mangelhaften Artikel vorgenommen.
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Wenn nun die festgelegten Prüfpunkte und/oder Prüfstandards nicht passend sind, kommt es zu einem „Überbewerten“, bei dem ein tatsächlich guter Artikel als mangelhafter Artikel beurteilt wird, oder zu einem „Übersehen“, bei dem ein tatsächlich mangelhafter Artikel als guter Artikel beurteilt wird. Das „Überbewerten“ bringt eine Verschlechterung der Prüfeffizienz mit sich, während das „Übersehen“ die Verlässlichkeit des Produktionsprozesses verringert und die Arbeitseffizienz bei späteren Prozessen verschlechtert. Da beides einen Grund für einen Anstieg der Kosten des Produktionsprozesses darstellt, ist erwünscht, das „Überbewerten“ und das „Übersehen“ auf ein Mindestmaß zu verringern.
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Doch wenn die Prüfstandards verschärft werden, um das „Übersehen“ zu verringern, nimmt das „Überbewerten“ zu, und wenn die Prüfstandards gelockert werden, um das „Überbewerten“ zu verringern, nimmt das „Übersehen“ zu. Daher ist es nötig, passende Prüfpunkte und Prüfstandards festzulegen.
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Daher wird vor der Ausführung der Prüfung bei Massenprodukten eine Einstellung der Prüfpunkte und Prüfstandards durch ein Prüfbild des Substrats und der Komponenten vorgenommen und werden die Prüfpunkte und Prüfstandards nach dem Abschluss dieser Einstellung auf die tatsächliche Fertigungsstraße angewendet. Doch da herkömmlich nach der Einstellung der Prüfpunkte und Prüfstandards für alle Komponentenbauteilnummern, die auf einem einzelnen Substrat angeordnet wurden, ein Einsatz bei einem Massenproduktionsprogramm, das bei einer Massenproduktionsprüfung angewendet werden kann, vorgenommen wird, besteht das Problem, dass je nach der Komponentenbauteilnummer auch Artikel, deren Qualität nicht einheitlich ist, vorhanden sein können und ein „Überbewerten“ oder ein „Übersehen“ auftritt.
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Was Techniken, die eine Erkennung der Verlässlichkeit der Daten für jede Komponente ermöglichen, betrifft, wurde eine Technik vorgeschlagen, wobei bei der Erstellung von Daten einer Komponentenbibliothek von elektronischen Komponenten, die für ein Musterprogramm einer Vorrichtung zur Montage elektronischer Komponenten verwendet wird, eine Rangeinteilung der Verlässlichkeit gemäß einem Herstellungszustand vorgenommen wird und der mit der Rangeinteilung versehene Herstellungszustand den Daten hinzugefügt wird, wodurch bei Verwendung der Komponentenbibliothek bei Vorbereitungstätigkeiten und dergleichen auf einen Blick erkennbar wird, welche elektronischen Komponenten verlässlich sind (siehe das Patentliteraturbeispiel 1). Doch die oben beschriebene herkömmliche Technik ermöglicht keine Optimierung der Prüfpunkte und Prüfstandards bei einer Substratprüfung oder dergleichen für die einzelnen Komponenten.
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LITERATUR DES STANDES DER TECHNIK
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PATENTLITERATUR
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- Patentliteraturbeispiel 1: Patentoffenlegungsschrift 2014-183216 (Patent Nr. 6219579)
- Patentliteraturbeispiel 2: Patentoffenlegungsschrift 2008-45952
- Patentliteraturbeispiel 3: Patentoffenlegungsschrift 2006-250610
- Patentliteraturbeispiel 4: Patentoffenlegungsschrift 2001-24321
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KURZDARSTELLUNG -DER ERFINDUNG
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AUFGABE, DIE DIE ERFINDUNG LÖSEN SOLL
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Die vorliegende Erfindung erfolgte angesichts der oben beschriebenen Umstände und hat die Aufgabe, eine Technik bereitzustellen, die durch Ermöglichen einer Verwaltung der Qualität der Prüfpunkte und/oder der Prüfstandards für einzelne Komponenten eine Optimierung der Prüfpunkte und Prüfstandards bei einer Substratprüfung oder dergleichen für die einzelnen Komponenten ermöglicht.
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MITTEL ZUR LÖSUNG DER AUFGABE
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Zur Erfüllung dieser Aufgabe ist die vorliegende Erfindung wie folgt ausgeführt.
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Ein Prüfverfahren nach der vorliegenden Erfindung ist ein Prüfverfahren, das durch ein Prüfprogramm, das die Qualität eines Artikels, der mit Komponenten versehen ist, bestimmt, eine Prüfung des Artikels vornimmt, wobei das Prüfverfahren dadurch gekennzeichnet ist, dass es
einen Festlegeschritt, bei dem für die einzelnen Komponenten Prüfinformationen, die Prüfpunkte und/oder Prüfstandards für die Komponente bei der Prüfung enthalten, festgelegt werden; und
einen Bestimmungsschritt, bei dem die Qualität des Artikels durch das Prüfprogramm bestimmt wird,
umfasst,
wobei die Prüfinformationen ferner eine Prüfqualitätsgradinformation enthalten, die einen Index für die Verlässlichkeit der Prüfinformationen darstellt,
wobei die Prüfinformationen bei dem Festlegeschritt auf Basis einer Bauteilnummerdatengruppe, die für jede Komponentenbauteilnummer bereitgestellt wird und mit jeder Änderung der Prüfinformationen aktualisiert wird, festgelegt werden,
wobei die Qualität für jede Komponente bei dem Bestimmungsschritt auf Basis der unter Bezugnahme auf die Bauteilnummerdatengruppe erlangten Prüfinformationen bestimmt wird.
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Dadurch wird es bei der Prüfung eines Artikels, der mit Komponenten versehen ist, möglich, die Prüfpunkte oder die Prüfstandards für jede Komponente zu optimieren, und kann die Prüfqualität für jede Komponente verwaltet werden. Außerdem wird es möglich, die für die einzelnen Komponenten festgelegten Prüfinformationen auf Basis von Qualitätsgraden, die als Prüfqualitätsgradinformation festgelegt wurden, zu verwalten.
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Bei der vorliegenden Ausführungsform kann die Prüfqualitätsgradinformation einen ersten Grad, der einen hohen Qualitätsgrad anzeigt, und einen zweiten Grad, der einen niedrigen Qualitätsgrad anzeigt, umfassen, und kann die Prüfqualitätsgradinformation bei dem Festlegeschritt bei einer Änderung der Prüfinformationen und einer Aktualisierung der Bauteilnummerdatengruppe auf den zweiten Grad festgelegt werden.
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Da die Prüfqualitätsgradinformation dadurch auf den zweiten Grad festgelegt wird, wenn die Prüfpunkte oder die Prüfstandards geändert wurden und der Qualitätsgrad der darauf beruhenden Prüfung unklar ist, kann der Benutzer den Qualitätsgrad der betreffenden Prüfpunkte oder Prüfinformationen leicht überprüfen. Beispielsweise kann als Prüfqualitätsgradinformation im Fall des ersten Grads „OK“ und im Fall des zweiten Grads „NG“ oder dergleichen festgelegt werden. Dadurch wird es möglich, dass der Benutzer den Qualitätsgrad der betreffenden Prüfpunkte oder Prüfstandards intuitiv erkennt.
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Bei der vorliegenden Erfindung können die Prüfinformationen bei der Bauteilnummerdatengruppe durch mehrere Benutzer festlegbar sein, und
kann bei dem Festlegeschritt dann, wenn die Prüfqualitätsgradinformation durch einen bestimmten Benutzer auf einen anderen als den ersten Grad festgelegt wurde, eine Änderung der Prüfqualitätsgradinformation durch einen anderen Benutzer als den bestimmten Benutzer auf den ersten Grad beschränkt werden.
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Dadurch kann dann, wenn eine Festlegung der Prüfinformationen durch mehrere Benutzer möglich ist, eine Änderung der Prüfqualität durch einen anderen Benutzer, der nicht mit der Sachlage vertraut ist, unterdrückt werden, wenn die Prüfqualität durch einen bestimmten Benutzer auf einen anderen als den ersten Grad (z.B. „NG“) festgelegt wurde. Dadurch kann verhindert werden, dass bei der Prüfung unbeabsichtigt Prüfpunkte oder Prüfstandards mit einem niedrigen Qualitätsgrad verwendet werden.
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Bei der vorliegenden Erfindung können die Prüfinformationen ferner eine Bezugnahmeaktivierungs/deaktivierungsinformation enthalten, die angibt, ob eine Bezugnahme durch das Prüfprogramm auf die Bauteilnummerdatengruppe aktiviert ist oder nicht. Dadurch kann das Prüfprogramm auf Basis der Bezugnahmeaktivierungs/deaktivierungsinformation bestimmen, ob eine Prüfung unter Bezugnahme auf die Prüfpunkte oder die Prüfstandards bei der betreffenden Bauteilnummerdatengruppe vorgenommen wird oder nicht. Außerdem kann der Benutzer die Anwendung der Prüfpunkte oder der Prüfstandards bei der betreffenden Bauteilnummerdatengruppe auf die tatsächliche Prüfung durch Ändern dieser Bezugnahmeaktivierungs/deaktivierungsinformation leicht verwalten.
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Bei der vorliegenden Erfindung kann die Bezugnahmeaktivierungs/deaktivierungsinformation eine ON-Information, die eine Bezugnahme durch das Prüfprogramm auf die Bauteilnummerdatengruppe aktiviert, und eine OFF-Information, die eine Bezugnahme durch das Prüfprogramm auf die Bauteilnummerdatengruppe deaktiviert, enthalten, und kann die Bezugnahmeaktivierungs/deaktivierungsinformation bei dem Festlegeschritt bei einer Änderung der Prüfinformationen und einer Aktualisierung der Bauteilnummerdatengruppe auf die OFF-Information eingerichtet werden.
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Dadurch wird die Bezugnahmeaktivierungs/deaktivierungsinformation bei einer Änderung der Prüfinformationen und einer Aktualisierung der Bauteilnummerdatengruppe automatisch auf die OFF-Information festgelegt und kann eine unbedachte Anwendung von noch nicht überprüften Prüfpunkten oder Prüfstandards auf die Prüfung unterdrückt werden.
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Bei der vorliegenden Erfindung kann die Bezugnahmeaktivierungs/deaktivierungsinformation bei der Bauteilnummerdatengruppe durch mehrere Benutzer festlegbar sein, und
kann bei dem Festlegeschritt dann, wenn die Bezugnahmeaktivierungs/deaktivierungsinformation durch einen bestimmten Benutzer auf die OFF-Information festgelegt wurde, eine Änderung der Bezugnahmeaktivierungs/deaktivierungsinformation durch einen anderen Benutzer als den bestimmten Benutzer auf die ON-Information beschränkt werden.
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Dadurch kann dann, wenn eine Festlegung der Prüfinformationen durch mehrere Benutzer möglich ist, eine Änderung der Bezugnahmeaktivierungs/deaktivierungsinformation durch einen anderen Benutzer, der nicht mit der Sachlage vertraut ist, zum Beispiel auf „ON“ unterdrückt werden, wenn die Bezugnahmeaktivierungs/Deaktivierungsinformation durch einen bestimmten Benutzer auf „OFF“ festgelegt wurde. Dadurch kann verhindert werden, dass das Prüfprogramm unbeabsichtigt auf Prüfpunkte oder Prüfstandards mit einem niedrigen Qualitätsgrad Bezug nimmt, und kann verhindert werden, dass Prüfpunkte oder Prüfstandards mit einem niedrigen Qualitätsgrad für die tatsächliche Prüfung verwendet werden.
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Bei der vorliegenden Ausführungsform kann die Prüfqualitätsgradinformation neben dem ersten Grad und dem zweiten Grad ferner einen dritten Grad umfassen, der angibt, dass sich der Prüfqualitätsgrad der Prüfinformationen bei einer betreffenden Bauteilnummerdatengruppe in Überprüfung befindet, indem in einem bestimmten Prüfprogramm auf die betreffende Bauteilnummerdatengruppe Bezug genommen wird, und
kann die Bezugnahmeaktivierungs/deaktivierungsinformation bei dem Festlegeschritt zu der ON-Information geändert werden, wenn die Prüfqualitätsgradinformation bei der Bauteilnummerdatengruppe von dem dritten Grad zu dem ersten Grad geändert wurde.
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Dadurch kann der Umstand, dass die Prüfpunkte oder die Prüfstandards bei der betreffenden Bauteilnummerdatengruppe gerade durch ein bestimmtes Prüfprogramm überprüft werden, leicht erkannt werden. Der dabei bestehende Prüfqualitätsgrad kann etwa auf „TRY“, was den dritten Grad darstellt, festgelegt werden. Außerdem kann dadurch dafür gesorgt werden, dass die Bezugnahmeaktivierungs/deaktivierungsinformation automatisch auf „ON“ eingerichtet wird, wenn die Prüfpunkte oder die Prüfstandards von dem in Überprüfung befindlichen Zustand (zum Beispiel dem durch „TRY“ festgelegten Zustand) zu dem Zustand, der eine hohe Qualität anzeigt, (zum Beispiel dem durch „OK“ festgelegten Zustand‟) verändert wurden, und automatisch Prüfpunkte oder Prüfstandards mit einer hohen Qualität auf das Prüfprogramm angewendet werden.
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Bei der vorliegenden Erfindung kann die Prüfqualitätsgradinformation auf einen ersten Grad, der einen hohen Qualitätsgrad anzeigt, und einen zweiten Grad, der einen niedrigen Qualitätsgrad anzeigt, festgelegt werden,
können die Prüfinformationen ferner eine Bezugnahmeaktivierungs/deaktivierungsinformation enthalten, die angibt, ob eine Bezugnahme durch das Prüfprogramm auf die Bauteilnummerdatengruppe aktiviert ist oder nicht, kann die Bezugnahmeaktivierungs/deaktivierungsinformation auf eine ON-Information, die eine Bezugnahme durch das Prüfprogramm auf die Bauteilnummerdatengruppe aktiviert, und eine OFF-Information, die eine Bezugnahme durch das Prüfprogramm auf die Bauteilnummerdatengruppe deaktiviert, eingerichtet werden, und
kann dafür gesorgt werden, dass die Prüfung von Komponenten, die die Bauteilnummerdatengruppe betreffen, in dem Bestimmungsschritt nicht mittels des Prüfprogramms vorgenommen wird,
wenn der Prüfqualitätsgrad bei der Bauteilnummerdatengruppe in dem Festlegeschritt auf den zweiten Grad festgelegt wird und die Bezugnahmeaktivierungs/deaktivierungsinformation auf die ON-Information eingerichtet ist.
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Dadurch wird die Prüfung der Komponenten unter Anwendung der betreffenden Prüfpunkte oder Prüfstandards dann, wenn der zweite Grad (z.B. „NG“), der eine niedrige Qualität der Prüfpunkte oder der Prüfstandards anzeigt, festgelegt ist und die Bezugnahmeaktivierungs/deaktivierungsinformation auf „ON“ eingerichtet ist, nicht durch eine automatische Prüfung mittels des Prüfprogramms vorgenommen, sondern kann sie durch eine Prüfung von Hand durchgeführt werden. Als Folge kann unterdrückt werden, dass eine automatische Prüfung nach Prüfpunkten oder Prüfstandards mit einer niedrigen Qualität vorgenommen wird und ein „Übersehen“ oder ein „Überbewerten“ auftritt, und wird es möglich, die Qualität der betreffenden Prüfpunkte oder Prüfstandards durch eine Prüfung von Hand im Produktionsprozess zu überprüfen.
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Ferner kann es sich bei der vorliegenden Erfindung um ein Prüfsystem, das durch ein Prüfprogramm, das die Qualität eines Artikels, der mit Komponenten versehen ist, bestimmt, eine Prüfung des Artikels vornimmt, handeln, wobei das Prüfsystem eine Speichereinheit, die eine Bauteilnummerdatengruppe speichert, in die Prüfinformationen, die Prüfpunkte und/oder Prüfstandards der Komponente bei der Prüfung enthalten, aufgenommen sind; und
eine Verarbeitungseinheit, die das Prüfprogramm die Qualität des Artikels prüfen lässt,
aufweist,
wobei die Prüfinformationen ferner eine Prüfqualitätsgradinformation enthalten, die einen Index für die Verlässlichkeit der Prüfinformationen darstellt,
wobei für jede Komponentenbauteilnummer eine Bauteilnummerdatengruppe bereitgestellt wird und mit jeder Änderung der Prüfinformationen aktualisiert wird, und wobei das Prüfprogramm die Qualität für jede Komponente auf Basis der unter Bezugnahme auf die Bauteilnummerdatengruppe erlangten Prüfinformationen bestimmt.
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Außerdem können bei dem oben beschriebenen Prüfsystem die Prüfinformationen ferner eine Bezugnahmeaktivierungs/deaktivierungsinformation enthalten, die angibt, ob durch das Prüfprogramm auf die Bauteilnummerdatengruppe Bezug genommen wird oder nicht.
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Außerdem kann die Prüfqualitätsgradinformation bei dem oben beschriebenen Prüfsystem einen ersten Grad, der einen hohen Qualitätsgrad anzeigt, und einen zweiten Grad, der einen niedrigen Qualitätsgrad anzeigt, umfassen, und kann ferner eine Datenverwaltungseinheit bereitgestellt sein, die die Prüfqualitätsgradinformation bei einer Änderung der Prüfinformationen und einer Aktualisierung der Bauteilnummerdatengruppe auf den zweiten Grad einrichtet.
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Außerdem kann die Bezugnahmeaktivierungs/deaktivierungsinformation bei dem oben beschriebenen Prüfsystem eine ON-Information, die eine Bezugnahme durch das Prüfprogramm auf die Bauteilnummerdatengruppe aktiviert, und eine OFF-Information, die eine Bezugnahme durch das Prüfprogramm auf die Bauteilnummerdatengruppe deaktiviert, enthalten, und kann die Datenverwaltungseinheit die Bezugnahmeaktivierungs/deaktivierungsinformation bei einer Änderung der Prüfinformationen und einer Aktualisierung der Bauteilnummerdatengruppe auf die OFF-Information einrichten.
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Außerdem kann bei dem oben beschriebenen Prüfsystem ferner eine Informationsfestlegeeinheit bereitgestellt sein, die von mehreren Benutzern eine Festlegung der Prüfinformationen bei der Bauteilnummerdatengruppe entgegennimmt, und
kann die Informationsfestlegeeinheit dann, wenn die Prüfqualitätsgradinformation durch einen bestimmten Benutzer auf einen anderen als den ersten Grad eingerichtet wurde, eine Änderung der Prüfqualitätsgradinformation durch einen anderen Benutzer als den bestimmten Benutzer auf den ersten Grad beschränken.
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Bei dem oben beschriebenen Prüfsystem kann ferner eine Informationsfestlegeeinheit bereitgestellt sein, die von mehreren Benutzern eine Festlegung der Prüfinformationen bei der Bauteilnummerdatengruppe entgegennimmt, und
kann die Informationsfestlegeeinheit dann, wenn die Bezugnahmeaktivierungs/deaktivierungsinformation durch einen bestimmten Benutzer auf die OFF-Information eingerichtet wurde, eine Änderung der Bezugnahmeaktivierungs/deaktivierungsinformation durch einen anderen Benutzer als den bestimmten Benutzer auf die ON-Information beschränken.
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Außerdem kann die Prüfqualitätsgradinformation bei dem oben beschriebenen Prüfsystem neben dem ersten Grad und dem zweiten Grad ferner einen dritten Grad umfassen, der angibt, dass sich der Prüfqualitätsgrad der Prüfinformationen bei einer betreffenden Bauteilnummerdatengruppe in Überprüfung befindet, indem in einem bestimmten Prüfprogramm auf die betreffende Bauteilnummerdatengruppe Bezug genommen wird, und
kann die Datenverwaltungseinheit die Bezugnahmeaktivierungs/deaktivierungsinformation zu der ON-Information ändern, wenn die Prüfqualitätsgradinformation bei der Bauteilnummerdatengruppe von dem dritten Grad zu dem ersten Grad geändert wurde.
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Außerdem können bei dem oben beschriebenen Prüfsystem
die Prüfinformationen ferner eine Bezugnahmeaktivierungs/deaktivierungsinformation enthalten, die angibt, ob eine Bezugnahme durch das Prüfprogramm auf die Bauteilnummerdatengruppe aktiviert ist oder nicht,
kann die Prüfqualitätsgradinformation einen ersten Grad, der einen hohen Qualitätsgrad anzeigt, und einen zweiten Grad, der einen niedrigen Qualitätsgrad anzeigt, umfassen, kann die Bezugnahmeaktivierungs/deaktivierungsinformation eine ON-Information, die eine Bezugnahme durch das Prüfprogramm auf die Bauteilnummerdatengruppe aktiviert, und eine OFF-Information, die eine Bezugnahme durch das Prüfprogramm auf die Bauteilnummerdatengruppe deaktiviert, enthalten,
kann ferner eine Informationsfestlegeeinheit bereitgestellt sein, die eine Festlegung der Prüfinformationen bei der Bauteilnummerdatengruppe entgegennimmt, und
kann die Informationsfestlegeeinheit so ausgeführt sein, dass die Prüfqualitätsgradinformation bei der Bauteilnummerdatengruppe auf den zweiten Grad eingerichtet wird und außerdem die Bezugnahmeaktivierungs/deaktivierungsinformation auf die ON-Information eingerichtet werden kann.
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Bei der vorliegenden Erfindung kann es sich auch um ein Programm handeln, das einen Computer zur Ausführung des oben beschriebenen Festlegeschritts und/oder des oben beschriebenen Bestimmungsschritts bringt. Die oben beschriebenen Mittel zur Lösung der Aufgabe können kombiniert verwendet werden, soweit dies möglich ist.
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EFFEKTE DER ERFINDUNG
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Durch die vorliegende Erfindung können die Prüfpunkte oder die Prüfstandards bei einer Substratprüfung oder dergleichen optimiert werden, indem eine Verwaltung der Qualität der Prüfpunkte und/oder der Prüfstandards für jede Komponente ermöglicht wird, und kann die Verlässlichkeit der Prüfung von Artikeln, die mit den betreffenden Komponenten versehen sind, verbessert werden.
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Figurenliste
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- 1 ist eine Ansicht, die den Hardwareaufbau eines Substratprüfsystems nach einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
- 2 ist ein Blockdiagramm, das die Funktionen bei dem Substratprüfsystem nach der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
- 3 ist eine Ansicht, die ein Beispiel für eine Bauteilnummerdatentabelle bei der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
- 4 ist eine Ansicht, die Beispiele für Bauteilnummerreferenzdatentabellen von Prüfprogrammen bei der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
- 5 ist ein Ablaufdiagramm, das die Verarbeitung eines Prüfinformationsverwaltungsprogramms bei Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung zeigt.
- 6 ist eine Ansicht, die ein Zustandsbeispiel für die Aktualisierung der Bauteilnummerreferenzdatentabellen bei Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung zeigt.
- 7 ist ein Ablaufdiagramm, das die Verarbeitung eines Prüfinformationsverwaltungsprogramms 2 bei Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfindung zeigt.
- 8 ist ein Ablaufdiagramm, das die Verarbeitung eines Prüfsystemsteuerprogramms bei Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfindung zeigt.
- 9 ist eine Ansicht, die ein Zustandsbeispiel für die Aktualisierung der Bauteilnummerreferenzdatentabellen bei Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfindung zeigt.
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AUSFÜHRUNGSFORMEN DER ERFINDUNG
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Anwendungsbeispiel
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Nachstehend wird unter Bezugnahme auf die Figuren ein Anwendungsbeispiel dieser Erfindung erklärt. Im Folgenden wird ein Beispiel erklärt, bei dem die vorliegende Erfindung auf ein System zur Prüfung von Substraten, die mit elektronischen Komponenten versehen sind, angewendet wurde, doch ist der Gegenstand der vorliegenden Erfindung nicht auf die Prüfung von Substraten beschränkt, sondern kann er auch ein System sein, bei dem andere Artikel das Prüfobjekt darstellen. Sofern nicht ausdrücklich anders angegeben, ist der Umfang dieser Erfindung nicht auf den bei diesem Anwendungsbeispiel beschriebenen konkreten Aufbau beschränkt.
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1 zeigt ein Hardwareaufbaubeispiel eines Prüfsystems 9 nach dem vorliegenden Anwendungsbeispiel. Das Prüfsystem 9 nach dieser Ausführungsform ist so aufgebaut, dass ein Steuerterminal 1, ein Datenverwaltungsserver 2 und eine Substratprüfvorrichtung 3 über eine Kommunikationsleitung verbunden sind. Das Steuerterminal 1 ist ein stationäres Terminal, das eine Ausgabeeinheit 101 wie etwa einen Anzeigemonitor, einen Drucker oder dergleichen, eine Eingabeeinheit 102 wie etwa eine Tastatur, eine Maus oder dergleichen, einen Speicher 103 wie etwa ein Festplattenlaufwerk, einen RAM oder dergleichen und eine Verarbeitungseinheit 104 wie etwa eine CPU oder dergleichen umfasst, doch kann es auch ein mobiles Terminal oder ein Tablet-Terminal sein und kann es auch einstückig mit der Substratprüfvorrichtung 3 ausgeführt sein.
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Das Steuerterminal 1 ist ein Terminal zur Vornahme von Tätigkeiten wie der Erstellung (einschließlich der Korrektur, auch im Folgenden) von in der Substratprüfvorrichtung ausgeführten Prüfprogrammen und der Festlegung und Speicherung von Bauteilnummerdatengruppen, auf die in den einzelnen Prüfprogrammen Bezug genommen wird. In den Bauteilnummerdatengruppen sind Prüfpunkte, die bei den Komponenten geprüft werden sollen, Prüfstandards bei den einzelnen Prüfpunkten, Komponenteninformationen wie die Abmessungen und die Komponentenart der betreffenden Komponenten, Informationen zu Bauteilnummern, mit denen die betreffenden Komponenten versehen sind, und dergleichen enthalten. Außerdem enthalten sie auch später beschriebene Prüfinformationen wie die Prüfpunkte und die Prüfstandards der einzelnen Komponenten und dergleichen.
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Auf dem Datenverwaltungsserver 2 sind verschiedene Arten von Daten gespeichert und werden neben einer Speicherung der oben beschriebenen Prüfprogramme und Bauteilnummerdatengruppen verschiedene Informationen, die für die Verarbeitungen in dem Steuerterminal 1 nötig sind, verwaltet.
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Die Substratprüfvorrichtung 3 (nachstehend einfach als „Prüfvorrichtung 3“ bezeichnet) nimmt Bilder von mit Komponenten versehenen Substraten, die einen Komponentenanbringungsprozess oder einen Aufschmelzprozess durchlaufen haben, auf und bestimmt durch Verarbeiten der erzeugten Bilder unter Verwendung eines vorab gespeicherten Prüfprogramms, ob der Anbringungszustand der Komponenten auf dem Substrat gut oder mangelhaft ist. Als Hardwareaufbau für diesen Zweck umfasst sie einen Bildaufnahmesensor, eine Beleuchtungsvorrichtung, eine Substrathalteeinheit, einen RAM, eine CPU und dergleichen. Außerdem kann die Prüfvorrichtung 3 auch mit einer Ausgabeeinheit wie etwa einem Monitor und einer Eingabeeinheit wie etwa einer Maus oder einer Tastatur versehen sein.
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2 ist ein Funktionsblockdiagramm, das die Funktionen des Steuerterminals 1, des Datenverwaltungsservers 2 und der Prüfvorrichtung 3 im Zusammenhang mit der Erstellung der oben beschriebenen Daten für den Inhalt der Prüfung zeigt. In dem Datenverwaltungsserver 2 sind eine Substratinformationsspeichereinheit 21, eine Komponenteninformationsspeichereinheit 22, eine Prüfprogrammspeichereinheit 23, eine Prüfinformationsspeichereinheit 24, eine Prüfgeschichtespeichereinheit 25 und dergleichen ausgebildet.
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In der Substratinformationsspeichereinheit 21 sind Substratinformationen, die Informationen wie die Substratfarbe, die angebrachten Komponenten, die Komponentenpositionen und dergleichen enthalten, Substratbilder, die Bilder guter Modelle von Substraten und Bilder mangelhafter Ergebnisse und dergleichen enthalten, usw. gespeichert. In der Komponenteninformationsspeichereinheit 22 sind Komponenteninformationen, die Informationen wie Komponentenbauteilnummern, Komponentenarten, Farben, Formen, Elektrodeninformationen, verwendete Substrate und dergleichen enthalten, Komponentenbildinformationen, die Bilder guter Modelle für jede Bauteilnummer der Komponenten, Bilder mangelhafter Ergebnisse und dergleichen enthalten, usw. gespeichert. In der Prüfprogrammspeichereinheit 23 sind Prüfprogramme für jedes Substrat, Prüfprogrammgeschichteinformationen, die die Veränderungsgeschichte der Prüfprogramme mit jeder Überarbeitung sammeln, und dergleichen gespeichert.
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In der Prüfinformationsspeichereinheit 24 sind Merkmalsbeträge (auch als Prüfpunkte bezeichnet) und Prüfstandards, die für die einzelnen Bauteilnummern der Komponenten festgelegt wurden, eine Qualitätsgradinformation der Prüfpunkte und Prüfstandards (später beschrieben), eine Information hinsichtlich der Möglichkeit des Einsatzes (später beschrieben) von Prüfinformationen wie den Prüfpunkten und den Prüfstandards und dergleichen bei Prüfprogrammen, Prüfinformationsgeschichteinformationen, die die Geschichte der Festlegung dieser Informationen für die einzelnen Bauteilnummern sowie entsprechende Kommentare mit jeder Überarbeitung sammeln, usw. gespeichert. In der Prüfgeschichtespeichereinheit 25 sind Ergebnisse von Prüfungen, die durch die Prüfvorrichtung 3 vorgenommen wurden, Prüfbilder usw. gespeichert. Diese verschiedenen Informationen können aufeinander Bezug nehmen und miteinander gekoppelt werden und wirken als sogenannte Beziehungsdatenbank.
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Die Prüfvorrichtung 3 liest das Prüfprogramm, das dem Substrat als Prüfobjekt entspricht, aus der Prüfprogrammspeichereinheit 23 und die Prüfinformationen, die dem Substrat als Prüfobjekt entsprechen, aus der Prüfinformationsspeichereinheit 24 und führt die Prüfung durch. Ergebnisse einer Prüfungsabfolge, Bilder, die bei der Prüfung erzeugt wurden, und dergleichen werden von der Prüfvorrichtung 3 zu dem Datenverwaltungsserver 2 übertragen und in der Prüfgeschichtespeichereinheit 25 gespeichert.
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In der Verarbeitungseinheit 104 des Steuerterminals 1 sind Funktionen wie eine Benutzerschnittstellen-Steuereinheit (nachstehend als UI-Steuereinheit 11 bezeichnet), eine Leseverarbeitungseinheit 12, eine Bauteilnummerdatenverarbeitungseinheit 13, eine Registrierungsverarbeitungseinheit 14, eine Prüfprogrammverarbeitungseinheit 15 und dergleichen festgelegt.
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Die UI-Steuereinheit 11 zeigt eine Arbeitsbildschirmdarstellung an, nimmt Bedienungen durch einen Benutzer entgegen und führt gemeinsam mit den anderen Verarbeitungseinheiten 12 bis 14 den Bedienungen entsprechende Verarbeitungen aus. Die Leseverarbeitungseinheit 12 liest die Informationen, die für die Verarbeitungen durch die UI-Steuereinheit 11 und die Prüfprogrammverarbeitungseinheit 15 erforderlich sind, aus der Substratinformationsspeichereinheit 21 und der Komponenteninformationsspeichereinheit 22 und liefert sie der UI-Steuereinheit 11 und der Prüfprogrammverarbeitungseinheit 15. Die Bauteilnummerdatenverarbeitungseinheit 13 liest die Prüfpunkte und Prüfstandards, die Qualitätsgradinformation der Prüfpunkte und Prüfstandards (später beschrieben), die Information hinsichtlich der Einsatzmöglichkeit (später beschrieben) der Prüfinformationen wie der Prüfpunkte und der Prüfstandards und dergleichen bei Prüfprogrammen, Prüfinformationsgeschichteinformationen und dergleichen aus der Prüfinformationsspeichereinheit 24. Außerdem liest sie Komponenteninformationen und dergleichen aus der Komponenteninformationsspeichereinheit 22. Dann erzeugt sie aus diesen Informationen eine Bauteilnummerdatengruppe (später beschrieben) und liefert diese der UI-Steuereinheit 11. Ferner erhält sie Informationen von der Registrierungsverarbeitungseinheit 14 und ändert die Informationen bezüglich der Bauteilnummerdatengruppe.
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Die Registrierungsverarbeitungseinheit 14 erhält von der UI-Steuereinheit 11 Festlegeinformationen, gibt diese an die Bauteilnummerdatenverarbeitungseinheit 13 und die Prüfprogrammverarbeitungseinheit 15 weiter und ändert die einzelnen Informationen, die in der Prüfinformationsspeichereinheit gespeichert werden. Die Prüfprogrammverarbeitungseinheit 15 erhält von der Leseverarbeitungseinheit 12 erforderliche Informationen und die Festlegeinformationen von der Registrierungsverarbeitungseinheit 14, erstellt darauf beruhend ein Prüfprogramm für ein Substrat und trägt die entsprechenden Informationen in die Prüfprogrammspeichereinheit 23 ein. Das Prüfprogramm bei der vorliegenden Ausführungsform ist ein Programm, das auf Basis einer Prüflogik, die einer Bauteilnummerdatengruppe zugeordnet wurde, eine Bestimmung vornimmt, ob ein Substrat gut oder mangelhaft ist.
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Die Erfindung nach dem vorliegenden Anwendungsbeispiel wird auf das oben beschriebene Prüfsystem 9 angewendet. Dann werden zusätzlich zu den Komponenteninformationen, den Prüfpunkten und den Prüfstandards, die wie oben beschrieben für jede Bauteilnummer der auf dem Substrat eingerichteten Komponenten festgelegt wurden, die Prüfqualitätsgradinformation der Prüfpunkte und Prüfstandards sowie die Information im Hinblick auf die Einsatzmöglichkeit der Prüfinformationen, die die Prüfpunkte und Prüfstandards enthalten, bei Prüfprogrammen als Bauteilnummerdatengruppe unter Überarbeitung verwaltet.
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Diese Qualitätsgradinformation wird zum Beispiel dann, wenn sich die Prüfinformationen wie die Prüfpunkte und die Prüfstandards und dergleichen in Erstellung befinden und die Verlässlichkeit noch nicht überprüft ist, durch „NG“, im Zustand der Überprüfung durch ihre Anwendung nur bei einem bestimmten Prüfprogramm durch „TRY“, und dann, wenn die Überprüfung abgeschlossen ist und die Anwendung auf eine Massenherstellung möglich ist, durch „OK“ bezeichnet. Die Information hinsichtlich der Einsatzmöglichkeit wird dann, wenn Prüfinformationen, die Prüfpunkte und Prüfstandards enthalten, nicht bei einem Prüfprogramm, das auf die betreffende Bauteilnummerdatengruppe Bezug nimmt, angewendet werden, durch „OFF“ und im Fall einer Anwendung durch „ON“ bezeichnet. Die einzelnen Prüfprogramme nehmen bei der Prüfung von Komponenten, während die Einsatzmöglichkeitsinformation „ON“ lautet, auf die Bauteilnummerdatengruppe der neuesten Überarbeitung Bezug und nehmen die Prüfung unter Verwendung dieser Informationen vor.
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Bei dem vorliegenden Anwendungsbeispiel ist somit bei der Vornahme der Substratprüfung durch die Prüfvorrichtung 3 des Prüfsystems 9 eine Optimierung der Prüfpunkte und Prüfstandards für jede Komponente möglich und eine Verwaltung der Prüfqualität für jede Komponente möglich. Daher kann bei der Prüfung eines Substrats, auf dem mehrere Komponenten eingerichtet wurden, für alle Komponenten eine Prüfung auf Basis idealer Prüfinformationen vorgenommen werden. Außerdem können die für die einzelnen Komponenten festgelegten Prüfinformationen auf Basis der Qualitätsgradinformation leicht verwaltet werden.
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Bei dem vorliegenden Anwendungsbeispiel sind die Informationen, die die Bauteilnummerdatengruppe bilden, in der Komponenteninformationsspeichereinheit 22 und der Prüfinformationsspeichereinheit 24 gespeichert. Daher entsprechen die Komponenteninformationsspeichereinheit 22 und die Prüfinformationsspeichereinheit 24 der Speichereinheit. Wenn die an der Ausgabeeinheit 101 angezeigte Bauteilnummerdatengruppe in dem Speicher 103 gespeichert wird, kann auch der Speicher 103 als Speichereinheit angesehen werden. Die Verarbeitungseinheit 104 bei vorliegenden Anwendungsbeispiel bzw. die CPU bei der Prüfvorrichtung 3 entspricht der Verarbeitungseinheit. Das Steuerterminal 1 bei dem vorliegenden Anwendungsbeispiel bildet die Datenverwaltungseinheit und die Informationsfestlegeeinheit.
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Ausführungsform 1
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Als nächstes wird Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung ausführlich erklärt. In 3 ist ein Beispiel für eine Bauteilnummerdatentabelle 30 bei der vorliegenden Ausführungsform gezeigt. Diese Bauteilnummerdatentabelle 30 wird wie vorher beschrieben in der Bauteilnummerdatenverarbeitungseinheit 13 auf Basis von Informationen, die in der Komponenteninformationsspeichereinheit 22 und in der Prüfinformationsspeichereinheit 24 des Datenverwaltungsservers 2 gespeichert wurden, erstellt und durch die Ausgabeeinheit 101 angezeigt. Die Bauteilnummerdatentabelle 30 ist eine Tabelle, in die Bauteilnummerkennungen, die den einzelnen Komponenten, welche auf einem zu prüfenden Substrat eingerichtet werden, entsprechen, und den einzelnen Bauteilnummerkennungen entsprechende Bauteilnummerdatengruppen eingetragen wurden. In 3 sind Bauteilnummerdatengruppen für eine Komponente 1608RS, bei der es sich um einen mit der Bauteilnummer ID001 versehenen Chipwiderstand handelt, und eine Komponente QFP4848, bei der es sich um ein mit der Bauteilnummer ID002 versehenes QFP (Quad Flat Package) handelt, gezeigt. Somit stellt eine Ansammlung von Bauteilnummerdatengruppen von Komponenten im Zusammenhang mit mehreren Bauteilnummerkennungen eine Bauteilnummerdatentabelle bei der vorliegenden Ausführungsform dar.
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Nun wird die Bauteilnummerdatengruppe der von der Bauteilnummerkennung ID001 betroffenen Komponente ausführlich erklärt. Bei der vorliegenden Ausführungsform sind die Form, die Komponentenart, die Prüfpunkte, die Prüfstandards und dergleichen für die von der Bauteilnummerkennung ID0001 betroffene Komponente eingetragen. Die Prüfstandards sind Schwellenwerte und Beurteilungsindizes zur Bestimmung bei der Prüfung, ob die festgelegte Komponente gut oder mangelhaft ist. Außerdem wird mit jeder Änderung der Prüfpunkte und der Prüfstandards für die von der Bauteilnummerkennung ID001 betroffene Komponente die Überarbeitung der Bauteilnummerdatengruppe aktualisiert und in der obersten Stufe der Spalte, die der Bauteilnummerkennung entspricht, eingetragen. Bei der von der Bauteilnummerkennung ID001 betroffenen Komponente in Tabelle 1 erkennt man, dass elf Änderungen der Prüfpunkte und der Prüfstandards vorgenommen wurden und die neueste Überarbeitung die Überarbeitung 12 ist.
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Ferner sind bei der Bauteilnummerdatentabelle der vorliegenden Ausführungsform in den Bauteilnummerdatengruppen, die den einzelnen Komponenten entsprechen, für jede der einzelnen Überarbeitungen Daten hinsichtlich des Qualitätsgrads und der Einsatzmöglichkeit enthalten. Der Qualitätsgrad ist ein Index, der zeigt, ob die Qualität oder die Verlässlichkeit der Prüfpunkte und der Prüfstandards der Bauteilnummerdatengruppe bei jeder Überarbeitung einen für die Prüfung in der Prüfvorrichtung 3 verwendbaren Grad aufweist oder nicht. Wenn der Qualitätsgrad beispielsweise NG lautet, zeigt dies, dass es sich um eine in Erstellung befindliche Bauteilnummerdatengruppe und einen nicht für die tatsächliche Prüfung verwendbaren Grad handelt. Wenn der Qualitätsgrad TRY lautet, handelt es sich um eine Bauteilnummerdatengruppe, deren Verlässlichkeit überprüft wird, indem die Prüfinformationen der Prüfpunkte und Prüfstandards bei einem bestimmten Prüfprogramm eingesetzt werden, und zeigt dies einen Grad, der bald auf eine Massenherstellung anwendbar wird. Wenn der Qualitätsgrad OK lautet, handelt es sich um eine Bauteilnummerdatengruppe, für die die Überprüfung der Verlässlichkeit abgeschlossen wurde, indem die Prüfinformationen der Prüfpunkte und Prüfstandards bei dem bestimmten Prüfprogramm eingesetzt wurden, und zeigt dies einen Grad, der auf eine Massenherstellung anwendbar ist.
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Die Einsatzmöglichkeitsdaten sind ein Index, der zeigt, ob die Bauteilnummerdatengruppen der einzelnen Überarbeitungen bei allen Prüfprogrammen angewendet werden oder nicht. Wenn die Einsatzmöglichkeitsdaten OFF lauten, wird die Bauteilnummerdatengruppe der betreffenden Überarbeitung nicht bei allen Prüfprogrammen angewendet. Wenn die Einsatzmöglichkeitsdaten ON lauten, wird die Bauteilnummerdatengruppe der betreffenden Überarbeitung bei allen Prüfprogrammen angewendet. Diese Einsatzmöglichkeitsdaten können von dem Benutzer unabhängig von den Qualitätsgraddaten festgelegt werden. In 3 entsprechen die Qualitätsgraddaten der Prüfqualitätsgradinformation. Die Einsatzmöglichkeitsdaten entsprechen der Bezugnahmeaktivierungs/deaktivierungsinformation.
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Als nächstes werden in 4 Beispiele für Bauteilnummerreferenzdatentabellen für Prüfprogramme bei der vorliegenden Ausführungsform gezeigt. Bei dem Prüfsystem 9 nach der vorliegenden Ausführungsform werden die oben beschrieben mehreren Prüfprogramme verwendet und Prüfungen von mehreren Komponenten auf einem Substrat vorgenommen. In 4 sind Bauteilnummerreferenzdatentabellen 35a und 35b für Prüfprogramme 1 und 2 unter den mehreren Prüfprogrammen gezeigt. In den Bauteilnummerreferenzdatentabellen 35a und 35b sind Schaltungskennungen, die mehreren Schaltungen auf dem Substrat zugeteilt sind, Bauteilnummerkennungen von Komponenten, die bei den mit den jeweiligen Schaltungskennungen versehenen Schaltungen eingerichtet sind, die Einrichtungsposition der mit den jeweiligen Bauteilnummerkennungen versehenen Komponenten, die Überarbeitung, auf die Bezug genommen wird, wobei es sich um die referenzierte Überarbeitung der von der jeweiligen Bauteilnummerkennung betroffenen Bauteilnummerdatengruppe handelt, den Qualitätsgrad bei der Bauteilnummerdatengruppe der Überarbeitung, auf die Bezug genommen wird, die Einsatzmöglichkeit, die neueste Überarbeitung der von der jeweiligen Bauteilnummerkennung betroffenen Bauteilnummerdatengruppe, Qualitätsgrad- und Einsatzmöglichkeitsdaten bei der Bauteilnummerdatengruppe der neuesten Überarbeitung und der Status der Einsatzmöglichkeit der Bauteilnummer, der den Zustand der Bauteilnummerdatengruppe darstellt, gezeigt.
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Gemäß der in 4(a) gezeigten Bauteilnummerreferenzdatentabelle 35a für das Prüfprogramm 1 erkennt man, das für die von den Schaltungskennungen 1 bis 4 betroffenen Schaltungen eine von der Bauteilnummer ID001 betroffene Komponente verwendet wird, die Einrichtungsposition der betreffenden Komponente auf dem Substrat links und oben ist, und dass die neueste Überarbeitung der Bauteilnummerdatengruppe für die betreffende Komponente die Überarbeitung 12 ist. Außerdem erkennt man, dass bei der Bauteilnummerdatengruppe der Überarbeitung 12 gegenwärtig NG als Qualitätsgrad festgelegt ist, ON für die Einsatzmöglichkeit eingerichtet ist und eine Aktualisierung erforderlich ist. Ferner erkennt man, dass das Prüfprogramm 1 nicht auf die Bauteilnummerdatengruppe der neuesten Überarbeitung, sondern auf die Bauteilnummerdatengruppe der Überarbeitung 9 Bezug nimmt, und dass bei der Bauteilnummerdatengruppe der Überarbeitung 9 der Qualitätsgrad OK lautet und die Einsatzmöglichkeit ON lautet.
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Das heißt, bei dem Prüfsystem 9 der vorliegenden Ausführungsform werden die Prüfpunkte und Prüfstandards für die einzelnen Komponenten auf dem Substrat durch die Bauteilnummerdatengruppen verwaltet. Was die Bauteilnummerdatengruppen betrifft, werden ihre Prüfpunkte und Prüfstandards zusammen mit dem Qualitätsgrad und der Einsatzmöglichkeit der Bauteilnummerdatengruppe selbst mit jeder Überarbeitung verwaltet. Dann werden die Bauteilnummerdatengruppen, auf die in den einzelnen Prüfprogrammen Bezug genommen wird, durch die Bauteilnummerreferenzdatentabelle verwaltet.
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Als nächstes wird unter Verwendung von 5 der Ablauf zur Verwaltung der Inhalte des Qualitätsgrads und der Einsatzmöglichkeit der Bauteilnummerdatengruppen bei dem Prüfsystem 9 der vorliegenden Ausführungsform erklärt. Der vorliegende Ablauf kann in dem Speicher 103 des Steuerterminals 1 gespeichert werden, und wenn von der Eingabeeinheit 102 eine Eingabe zur Erzeugung einer neuen Bauteilnummerdatengruppe vorgenommen wurde, können alle Schritte automatisch ausgeführt werden. 5 ist ein Ablaufdiagramm eines Prüfinformationsverwaltungsprogramms. Wenn der vorliegende Ablauf ausgeführt wird, wird zunächst in Schritt S101 eine Bauteilnummer für eine neue Komponente als Prüfobjekt erzeugt. Wenn eine Bauteilnummer erzeugt wird, wird eine der betreffenden Komponente entsprechende Bauteilnummerdatengruppe erstellt. Bei der Bauteilnummerdatengruppe in diesem Zustand wird der Qualitätsgrad auf NG und die Einsatzmöglichkeit auf OFF festgelegt.
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In Schritt S102 wird automatisch eine der erzeugten Bauteilnummerdatengruppe entsprechende Fensterbildschirmdarstellung erzeugt und an der Ausgabeeinheit 101 des Steuerterminals 1 angezeigt. Außerdem werden in Schritt S103 neben einem Bild eines guten Modells und einem Bild eines mangelhaften Ergebnisses für die Komponente, die der erzeugten Bauteilnummerdatengruppe entspricht, die Form der Komponente, die Komponentenart, zu dem gegenwärtigen Zeitpunkt vorläufig festgelegte Prüfpunkte und Prüfstandards und dergleichen in der Komponenteninformationsspeichereinheit 22 registriert. Dadurch werden die Bauteilnummerbezeichnung, die Form, die Komponentenart, die Prüfpunkte, die Prüfstandards und dergleichen in der Bauteilnummerdatentabelle 30 von 3 dargestellt.
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Dann wird in Schritt S104 ein Überprüfungsbild registriert. Noch genauer wird ein Bild eines Versuchsstücks registriert, um vorab zu prüfen, ob es durch die Prüfpunkte und die Prüfstandards, die bei der Verarbeitung von Schritt S103 registriert wurden, zu einem „Überbewerten“ oder einem „Übersehen“ kommt oder nicht. Wenn die Verarbeitung von Schritt S104 abgeschlossen ist, wird zu Schritt S105 übergegangen. In Schritt S105 wird eine Einstellung für die Bauteilnummer vorgenommen. Das heißt, für das in Schritt S104 registrierte Überprüfungsbild werden als passend angesehene Prüfpunkte und Prüfstandards eingestellt. Wenn die Verarbeitung von Schritt S105 abgeschlossen ist, wird zu Schritt S106 übergegangen.
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In Schritt S106 wird bestimmt, ob für die in Schritt S104 registrierte Überprüfungsbildschirmdarstellung kein „Überbewerten“ oder „Übersehen“ vorliegt oder aber doch. Da bestimmt werden kann, dass die Prüfpunkte oder die Prüfstandards bei der Bauteilnummerdatengruppe nicht passend sind, wenn hier ein „Überbewerten“ oder ein „Übersehen“ vorliegt, wird an den Punkt vor der Verarbeitung von Schritt S105 zurückgekehrt und erneut eine Einstellung vorgenommen. Die Verarbeitung von Schritt S105 und Schritt S106 wird wiederholt vorgenommen, bis in Schritt S106 weder ein „Überbewerten“ noch ein „Übersehen“ vorliegt.
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Wenn es in Schritt S106 für die Überprüfungsbildschirmdarstellung weder zu einem „Überbewerten“ noch zu einem „Übersehen“ gekommen ist, wird zu Schritt S107 übergegangen. In Schritt S107 wird der Qualitätsgrad durch den Benutzer zu TRY verändert. Wenn die Verarbeitung von Schritt S107 abgeschlossen ist, wird zu Schritt S108 übergegangen. In Schritt S108 wird die Bauteilnummerdatengruppe bei einem bestimmtem Prüfprogramm angewendet. Noch genauer kann das bestimmte Prüfprogramm, bei dem die betreffende Bauteilnummerdatengruppe angewendet wird, in einem anderen an der Eingabeeinheit 101 dargestellten Fenster bestimmt werden. Dadurch wird die der betreffenden Bauteilnummerdatengruppe entsprechende Einsatzmöglichkeit in der Bauteilnummerreferenzdatentabelle des bestimmten Prüfprogramms auf ON festgelegt. Das bestimmte Prüfprogramm kann ein Programm sein, doch sind auch zwei oder mehr Programme möglich.
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Wenn die Verarbeitung von Schritt S108 abgeschlossen ist, wird zu Schritt S109 übergegangen. In Schritt S109 wird in der Prüfvorrichtung 3 unter Verwendung des Prüfprogramms, wodurch in Schritt S108 die Verarbeitung der Anwendung vorgenommen wurde, eine Substratprüfung vorgenommen. Dann wird in Schritt S110 bestimmt, ob es bei der Prüfung, die in Schritt S109 vorgenommen wurde, zu einem „Überbewerten“ oder einem „Übersehen“ gekommen ist oder nicht. Wenn bestimmt wird, dass es zu einem „Überbewerten“ oder einem „Übersehen“ gekommen ist, wird zu der Verarbeitung von Schritt S109 zurückgekehrt und erneut eine Einstellung der Prüfpunkte oder der Prüfstandards vorgenommen. Wenn bestimmt wird, dass es nicht zu einem „Überbewerten“ oder einem „Übersehen“ gekommen ist, wird zu Schritt S111 übergegangen.
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In Schritt S111 werden die betreffenden Bauteilnummerdaten ferner bei einer großen Vielzahl von Prüfprogrammen angewendet und in der Prüfvorrichtung 3 mehrere Prüfungen vorgenommen. Wenn die Verarbeitung von Schritt S111 abgeschlossen ist, wird zu Schritt S112 übergegangen. Dann wird in Schritt S112 bestimmt, ob es bei den mehreren Prüfungen von Schritt S111 zu einem „Überbewerten“ oder einem „Übersehen“ gekommen ist oder nicht. Wenn es in Schritt S112 zu einem „Überbewerten“ oder einem „Übersehen“ gekommen ist, wird zu der Verarbeitung von Schritt S111 zurückgekehrt und erneut eine Einstellung der Prüfpunkte oder der Prüfstandards vorgenommen. Wenn bestimmt wird, dass es nicht zu einem „Überbewerten“ oder einem „Übersehen“ gekommen ist, wird zu Schritt S113 übergangen.
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In Schritt S113 wird der Qualitätsgrad für die betreffende Bauteilnummerdatengruppe auf OK festgelegt und die Einsatzmöglichkeit auf ON eingerichtet. Daher kommt es dazu, dass die betreffende Bauteilnummerdatengruppe bei allen Prüfprogrammen, die auf die betreffende Bauteilnummerdatengruppe Bezug nehmen sollen, angewendet wird. Wenn die Verarbeitung von Schritt S113 abgeschlossen ist, endet das vorliegende Programm zunächst. Die Schritte S101, S107 und S113 des Prüfinformationsverwaltungsprogramms bei der vorliegenden Ausführungsform entsprechen dem Festlegeschritt. Die Schritte S106, S110 und S112 entsprechen dem Bestimmungsschritt.
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An der rechten Seite des in 5 beschriebenen Ablaufdiagramms sind die Festlegungen für den Qualitätsgrad und die Einsatzmöglichkeit der Bauteilnummerdatengruppe für die Phasen, in denen die einzelnen Schritte ausgeführt werden, dargestellt. Demgemäß wird mit jeder Erzeugung einer neuen Bauteilnummerdatengruppe in Schritt S101 für den Qualitätsgrad NG und für die Einsatzmöglichkeit OFF festgelegt. Wenn es danach bei der Einstellung der Bauteilnummerdatengruppe unter Verwendung des Überprüfungsbilds in Schritt S105 nicht zu einem „Überbewerten“ oder einem „Übersehen“ gekommen ist, wird in Schritt S107 für den Qualitätsgrad TRY und für die Einsatzmöglichkeit OFF festgelegt. Wenn es dann bei den mehreren Prüfprogrammen nicht zu einem „Überbewerten“ oder einem „Übersehen“ gekommen ist, wird in Schritt S113 für den Qualitätsgrad OK und für die Einsatzmöglichkeit ON festgelegt.
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In 6 ist die Veränderung der Bauteilnummerreferenzdatentabellen, wenn die Prüfung der Einstellungen der Prüfpunkte und der Prüfstandards der Bauteilnummerdatengruppe wie auch bei dem oben beschriebenen Ablauf erklärt vorangetrieben wird und der Qualitätsgrad der Bauteilnummern OK erreicht hat, gezeigt. 6 zeigt die Bauteilnummerreferenzdatentabellen für die Prüfprogramme 1 und 2.
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In 6(a) wird für die von der Bauteilnummer ID001 betroffene Komponente in dem Prüfprogramm 1 auf die Überarbeitung 5 Bezug genommen und in dem Prüfprogramm 2 auf die Überarbeitung 6 Bezug genommen. Außerdem ist der Qualitätsgrad der Bauteilnummerdatengruppe bei der Überarbeitung 5 auf TRY eingerichtet und der Qualitätsgrad der Bauteilnummerdatengruppe bei der Überarbeitung 6 auf OK eingerichtet. Es ist erkennbar, dass die Einsatzmöglichkeit sowohl bei der Überarbeitung 5 als auch bei der Überarbeitung 6 auf ON eingerichtet ist. Für die Bauteilnummerdatengruppe mit der Bauteilnummer ID001 ist die neueste Überarbeitung die Überarbeitung 7 und ist der Qualitätsgrad der Überarbeitung 7 bereits auf OK und die Einsatzmöglichkeit bereits auf ON eingerichtet. Das heißt, es ist erkennbar, dass die Überarbeitung 7 eine bereits abgeschlossene Bauteilnummerdatengruppe ist.
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In diesem Zustand wird für die Bauteilnummerdatengruppe der Bauteilnummer ID001 eine Anwendung der neuesten Überarbeitung bei allen Prüfprogrammen vorgenommen. Noch genauer kann an der Ausgabeeinheit 101 ein gesondertes Fenster angezeigt werden und in dem betreffenden gesonderten Fenster für das Prüfprogramm 1 ein Befehl zur Anwendung der neuesten Überarbeitung für die Bezugnahme ausgeführt werden. Dadurch kommt es dazu, dass wie in 6(b) gezeigt sowohl in dem Prüfprogramm 1 als auch in dem Prüfprogramm 2 auf die Bauteilnummerdatengruppe der Überarbeitung 7, bei der es sich um die neueste Überarbeitung handelt, Bezug genommen wird und der Qualitätsgrad zu OK geändert wird. Auf diese Weise wird es bei der vorliegenden Ausführungsform möglich, eine fertiggestellte Bauteilnummerdatengruppe auf einen Schlag bei allen Prüfprogrammen anzuwenden, und wird es möglich, effizient optimale Prüfpunkte und Prüfstandards anzuwenden.
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Bei der vorliegenden Ausführungsform ist es dann, wenn das Prüfsystem 9 von mehreren Benutzern verwendet werden kann und der Qualitätsgrad durch einen bestimmten Benutzer auf NG oder TRY eingerichtet wurde, möglich, eine Änderung des Qualitätsgrads durch einen anderen Benutzer zu OK zu beschränken. Noch genauer kann gänzlich verboten werden, dass der Qualitätsgrad durch einen anderen Benutzer als den bestimmten Benutzer zu OK geändert wird, oder kann die Vornahme einer Änderung nur einem anderen bestimmten Benutzer, zum Beispiel einem Vorgesetzten des bestimmten Benutzers, erlaubt werden.
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Ebenso ist es dann, wenn das Prüfsystem 9 von mehreren Benutzern verwendet werden kann und die Einsatzmöglichkeit durch einen bestimmten Benutzer auf OFF eingerichtet wurde, möglich, eine Änderung der Einsatzmöglichkeit durch einen anderen Benutzer zu ON zu beschränken. Noch genauer kann gänzlich verboten werden, dass die Einsatzmöglichkeit durch einen anderen Benutzer als den bestimmten Benutzer zu ON geändert wird, oder kann die Vornahme einer Änderung nur einem anderen bestimmten Benutzer, zum Beispiel einem Vorgesetzten des bestimmten Benutzers, erlaubt werden.
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Dadurch kann eine Änderung der Prüfqualität oder der Einsatzmöglichkeit der Bauteilnummerdatengruppe durch einen anderen Benutzer, der nicht mit der Sachlage vertraut ist, unterdrückt werden. Dadurch kann verhindert werden, dass unbeabsichtigt Prüfpunkte oder Prüfstandards mit einem niedrigen Qualitätsgrad verwendet werden.
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Ausführungsform 2
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Als nächstes wird Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfindung erklärt. Bei Ausführungsform 2 wird die Verarbeitung für den Fall, dass es in dem Zustand, in dem eine Bauteilnummerdatengruppe, für die die Überprüfung der Verlässlichkeit abgeschlossen wurde, bereits bei allen Prüfprogrammen angewendet wird, bei dem Herstellungsprozess zu einem „Übersehen“ gekommen ist, erklärt. 7 ist ein Ablaufdiagramm, das die Verarbeitung eines Prüfinformationsverwaltungsprogramms 2, das ausgeführt wird, wenn es in einem Zustand, in dem der Qualitätsgrad der Bauteilnummerdatengruppe auf OK eingerichtet ist und die Einsatzmöglichkeit ON lautet, bei der Prüfung zu einem „Übersehen“ gekommen ist, zeigt. Der vorliegende Ablauf kann in dem Speicher 103 des Steuerterminals 1 gespeichert werden und kann automatisch ausgeführt werden, wenn von der Prüfvorrichtung 3 Daten der Erfassung eines „Übersehens“ gesendet wurden. Bei Schritten, bei denen eine Prüfung von Hand vorgenommen wird, kann sich das Prüfprogramm in einem Wartezustand des Wartens auf eine Eingabe des Ergebnisses durch den Benutzer befinden.
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Wenn das vorliegende Programm ausgeführt wird, wird zunächst in Schritt S201 erfasst, ob es bei der Prüfung zu einem „Übersehen“ gekommen ist. In diesem Fall ist eine dringende Maßnahme erforderlich, da die Gefahr besteht, dass mangelhafte Artikel den Prozess unentdeckt passieren. Daher wird in Schritt S202 der Qualitätsgrad der Bauteilnummerdatengruppe auf NG eingerichtet. Wenn die Verarbeitung von Schritt S202 abgeschlossen ist, wird zu Schritt S203 übergegangen.
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In Schritt S203 wird die Bauteilnummerdatengruppe bei allen Prüfprogramme angewendet. In diesem Fall kommt es dazu, dass bei allen Prüfprogrammen eine Bauteilnummerdatengruppe mit einem Qualitätsgrad von NG angewendet wird. Bei dem System 9 der vorliegenden Ausführungsform wird in einem solchen Fall die automatische Prüfung durch die Prüfprogramme für jene Prüfprogramme, die auf die Bauteilnummerdatengruppe, bei der es zu dem „Übersehen“ gekommen ist, Bezug nehmen, angehalten und eine Prüfung von Hand vorgenommen. Was die dabei erfolgende Anzeige betrifft, kann in dem Fenster, das die an der Ausgabeeinheit 101 des Prüfsystems 9 angezeigte Bauteilnummerdatengruppe betrifft, nur die Qualität der Bauteilnummer als NG angezeigt werden oder überdies auch eine andere Warnanzeige vorgenommen werden. Wenn die Verarbeitung von Schritt S203 abgeschlossen ist, wird zu Schritt S104 übergegangen.
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Bei der Verarbeitung von Schritt S104 bis Schritt S113 besteht der Unterschied zu dem in 5 gezeigten Prüfinformationsverwaltungsprogramm darin, dass bei der Verarbeitung von Schritt S206 der Umstand, ob in Bezug auf die in Schritt S104 registrierte Überprüfungsbildschirmdarstellung kein „Überbewerten“ oder „Übersehen“ vorliegt oder aber doch, durch eine Prüfung von Hand bestimmt wird. Außerdem wird in Schritt S210 durch eine Prüfung von Hand bestimmt, ob es bei der in Schritt S109 vorgenommenen Prüfung zu einem „Überbewerten“ oder einem „Übersehen“ gekommen ist oder nicht. Ferner wird in Schritt S212 durch eine Prüfung von Hand bestimmt, ob es bei den mehreren Prüfungen von Schritt S111 zu einem „Überbewerten“ oder einem „Übersehen“ gekommen ist oder nicht.
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In 8 wird ein Prüfsystemsteuerprogramm erklärt, wodurch eine Prüfung von Hand vorgenommen wird, wenn es wie oben beschrieben im Herstellungsprozess zu einem „Übersehen“ gekommen ist. Der vorliegende Ablauf kann auch in der Prüfprogrammsteuereinheit 23 gespeichert werden und kann zur Zeit der Vornahme einer Prüfung durch die Prüfvorrichtung 3 ausgeführt werden. Wenn das vorliegende Programm ausgeführt wird, wird zunächst in Schritt S301 das Prüfprogramm gelesen. Wenn die Verarbeitung von Schritt S301 abgeschlossen ist, wird zu Schritt S302 übergegangen. In Schritt S302 wird die Bauteilnummerdatengruppe, auf die in dem in Schritt S301 gelesenen Prüfprogramm Bezug genommen wird, gelesen. Wenn die Verarbeitung von Schritt S302 abgeschlossen ist, wird zu Schritt S303 übergegangen. In Schritt S303 wird ein Prüfbild erlangt. Dann wird in Schritt S304 die Prüfung vorgenommen.
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Dann wird in Schritt S305 bestimmt, ob der Qualitätsgrad bei der Bauteilnummerdatengruppe auf OK eingerichtet ist oder nicht. Wenn der Qualitätsgrad bei der Bauteilnummerdatengruppe auf OK eingerichtet ist, wird zu Schritt S309 übergegangen und eine automatische Prüfung vorgenommen. Wenn andererseits in Schritt S305 bestimmt wird, dass der Qualitätsgrad bei der Bauteilnummerdatengruppe nicht auf OK eingerichtet ist, wird zu Schritt S306 übergegangen. In Schritt S306 wird bestimmt, ob der Qualitätsgrad der Bauteilnummerdatengruppe auf TRY eingerichtet ist oder nicht. Wenn bestimmt wird, dass der Qualitätsgrad auf TRY eingerichtet ist, wird zu Schritt S309 übergegangen und eine automatische Prüfung vorgenommen. Wenn andererseits bestimmt wird, dass der Qualitätsgrad nicht auf TRY eingerichtet ist, wird zu Schritt S307 übergegangen.
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In Schritt S307 wird bestimmt, ob der Qualitätsgrad der Bauteilnummerdatengruppe auf NG eingerichtet ist oder nicht. Wenn bestimmt wird, dass der Qualitätsgrad der Bauteilnummerdatengruppe auf NG eingerichtet ist, wird zu Schritt S308 übergegangen und eine Prüfung von Hand vorgenommen. Wenn andererseits bestimmt wird, dass der Qualitätsgrad nicht auf NG eingerichtet ist, wird zu Schritt S309 übergegangen und eine automatische Prüfung vorgenommen. Wenn die automatische Prüfung von Schritt S309 oder die Prüfung von Hand von Schritt S308 abgeschlossen ist, wird zu Schritt S310 übergegangen.
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In Schritt S310 wird bestimmt, ob die Prüfung abgeschlossen ist oder nicht. Wenn in Schritt S310 bestimmt wird, dass die Prüfung abgeschlossen ist, endet das vorliegende Programm vorläufig. Wenn bestimmt wird, dass die Prüfung nicht abgeschlossen ist, wird zu der Verarbeitung von Schritt S304 zurückgekehrt und die Prüfung fortgesetzt. Wenn für die Daten für den Qualitätsgrad der Bauteilnummerdatengruppe lediglich die drei Arten „OK“, „TRY“ und „NG“ vorhanden sind, kann bei dem vorliegenden Programm im Fall der Bestimmung in Schritt S306, dass der Qualitätsgrad der Bauteilnummerdaten nicht „TRY“ lautet, auch zu der Verarbeitung von Schritt S308 übergegangen werden.
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9 zeigt ein Beispiel für die Veränderung der Bauteilnummerdatengruppen, wenn es wie in 7 und 8 erklärt bei dem Prüfsystem 9 zu einem „Übersehen“ gekommen ist. In 9(a) wird für die Komponente mit der Bauteilnummer ID003 in dem Prüfprogramm 3 auf die Bauteilnummerdatengruppe der Überarbeitung 9 Bezug genommen und in dem Prüfprogramm 4 auf die Bauteilnummerdatengruppe der Überarbeitung 10 Bezug genommen. Es ist erkennbar, dass sowohl bei der Überarbeitung 9 als auch bei der Überarbeitung 10 der Qualitätsgrad auf OK und die Einsatzmöglichkeit auf ON eingerichtet ist. Außerdem ist die neueste Überarbeitung für die Bauteilnummerdatengruppe der Komponenten mit der Bauteilnummer ID003 die Überarbeitung 12 und ist der Qualitätsgrad für die Überarbeitung 12 auf NG eingerichtet. Ferner ist erkennbar, dass der Status der Einsatzmöglichkeit der Bauteilnummer als „Aktualisierung erforderlich“ angesetzt ist.
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Da eine dringende Maßnahme erforderlich ist, wenn es in diesem Zustand bei der Prüfung durch irgendeines der Prüfprogramme zu einem „Übersehen“ gekommen ist, wird wie in 9(b) gezeigt für die Komponente mit der Bauteilnummer ID003 zwangsweise auf die Bauteilnummerdatengruppe der neuesten Überarbeitung 12 Bezug genommen. Deren Qualitätsgrad ist auf NG eingerichtet. Dadurch kommt es dazu, dass für die Komponente mit der Bauteilnummer ID003 wie in Schritt S307 und S308 von 8 gezeigt keine automatische Prüfung, sondern eine Prüfung von Hand vorgenommen wird. Dann wird für den Status der Einsatzmöglichkeit der Bauteilnummer „Maßnahme gegen ein Übersehen“ angezeigt.
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Dadurch kann dann, wenn es in dem Prüfsystem 9 zu einem „Übersehen“ gekommen ist, dafür gesorgt werden, dass die automatische Prüfung als dringende Schutzmaßnahme unterbrochen wird und eine Prüfung von Hand vorgenommen wird. Dann wird es möglich, gleichzeitig die Optimierung der Prüfpunkte und der Prüfstandards für die Bauteilnummerdatengruppe fortzusetzen, ohne die Prüfqualität in dem Herstellungsprozess zu beeinflussen. Bei der vorliegenden Ausführungsform kann auch automatisch auf die Bauteilnummerdatengruppe der neuesten Überarbeitung, deren Qualitätsgrad NG lautet, Bezug genommen werden, wenn es bei der Prüfung bei irgendeinem Prüfprogramm zu einem „Übersehen“ gekommen ist, oder kann an der Ausgabeeinheit 101 eine Anzeige vorgenommen werden, dass die Bauteilnummerdatengruppe der neuesten Überarbeitung, deren Qualitätsgrad NG lautet, bei allen Prüfprogramme anwendbar ist, und durch den Benutzer von Hand auf die Bauteilnummerdatengruppe der neuesten Überarbeitung, deren Qualitätsgrad NG lautet, Bezug genommen werden. Bei dem Anwendungsbeispiel und den einzelnen Ausführungsformen, die oben beschrieben wurden, wurde ein Beispiel erklärt, bei dem die Bauteilnummerdatengruppe überarbeitend verwaltet wird und mit jeder Änderung der Prüfinformationen eine Überarbeitung erzeugt wird. Doch die vorliegende Erfindung kann selbstverständlich auch auf einen Fall angewendet werden, bei dem nur die Bauteilnummerdatengruppe überschrieben wird, wenn die Prüfinformationen geändert wurden, aber keine Bauteilnummerdatengruppe einer neuen Überarbeitung erzeugt wird, das heißt, wenn keine überarbeitende Verwaltung der Bauteilnummerdatengruppe erfolgt.
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Um die Aufbauanforderungen der vorliegenden Erfindung und die Aufbauten der Ausführungsformen vergleichbar zu machen, werden die Aufbauanforderungen der vorliegenden Erfindung nachstehend mit den Bezugszeichen der Zeichnungen versehen angeführt.
Erfindung 1
Dabei handelt es sich um ein Prüfverfahren, das durch ein Prüfprogramm, das die Qualität eines Artikels, der mit Komponenten versehen ist, bestimmt, eine Prüfung des Artikels vornimmt, wobei das Prüfverfahren dadurch gekennzeichnet ist, dass es
einen Festlegeschritt (S101, S107, S113), bei dem für die einzelnen Komponenten Prüfinformationen, die Prüfpunkte und/oder Prüfstandards für die Komponenten bei der Prüfung enthalten, festgelegt werden; und
einen Bestimmungsschritt (S106, S110, S112), bei dem die Qualität des Artikels durch das Prüfprogramm bestimmt wird, umfasst,
wobei die Prüfinformationen ferner eine Prüfqualitätsgradinformation enthalten, die einen Index für die Verlässlichkeit der Prüfinformationen darstellt,
wobei die Prüfinformationen bei dem Festlegeschritt auf Basis einer Bauteilnummerdatengruppe, die für jede Komponentenbauteilnummer bereitgestellt ist und mit jeder Änderung der Prüfinformationen aktualisiert wird, festgelegt werden,
wobei die Qualität für jede Komponente bei dem Bestimmungsschritt auf Basis der unter Bezugnahme auf die Bauteilnummerdatengruppe erlangten Prüfinformationen bestimmt wird.
Erfindung 9
Dabei handelt es sich um ein Prüfsystem (9), das durch ein Prüfprogramm, das die Qualität eines Artikels, der mit Komponenten versehen ist, bestimmt, eine Prüfung des Artikels vornimmt, wobei das Prüfsystem dadurch gekennzeichnet ist, dass es
eine Speichereinheit (22, 24, 104), die eine Bauteilnummerdatengruppe speichert, in die Prüfinformationen, die Prüfpunkte und/oder Prüfstandards der Komponente bei der Prüfung enthalten, aufgenommen sind; und
eine Verarbeitungseinheit (1, 104), die das Prüfprogramm die Qualität des Artikels prüfen lässt,
aufweist,
wobei die Prüfinformationen ferner eine Prüfqualitätsgradinformation enthalten, die einen Index für die Verlässlichkeit der Prüfinformationen darstellt,
wobei für jede Komponentenbauteilnummer eine Bauteilnummerdatengruppe bereitgestellt wird und mit jeder Änderung der Prüfinformationen aktualisiert wird, und wobei das Prüfprogramm die Qualität für jede Komponente auf Basis der unter Bezugnahme auf die Bauteilnummerdatengruppe erlangten Prüfinformationen bestimmt.
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Bezugszeichenliste
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- 1
- Steuerterminal
- 2
- Datenverwaltungsserver
- 3
- Substratprüfvorrichtung
- 11
- Benutzerschnittstellen-Steuereinheit
- 12
- Leseverarbeitungseinheit
- 13
- Bauteilnummerdatenverarbeitungseinheit
- 14
- Registrierungsverarbeitungseinheit
- 15
- Prüfprogrammverarbeitungseinheit
- 21
- Substratinformationsspeichereinheit
- 22
- Komponenteninformationsspeichereinheit
- 23
- Prüfprogrammspeichereinheit
- 24
- Prüfinformationsspeichereinheit
- 25
- Prüfgeschichtespeichereinheit
