DE19651592A1 - Beschichtetes Schneidwerkzeug - Google Patents
Beschichtetes SchneidwerkzeugInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein beschichtetes Schneidwerkzeug und
insbesondere ein beschichtetes Schneidwerkzeug, bei dem der
Beschichtungsaufbau für das Schneidwerkzeug eine durch phy
sikalisches Aufdampfen (PVD) aufgebrachte Schicht aus einer
Legierung eines Metalls der Gruppe IVB und Aluminium sowie
eine Schicht aus Aluminiumoxid umfaßt, die durch ein PVD-
Verfahren auf die Schicht aus der Legierung des Metalls der
Gruppe IVB und Aluminium aufgebracht ist.
Aluminiumoxid zeigt als Rohmaterial eine hohe Oxidationsbe
ständigkeit, eine hohe chemische Stabilität, eine hohe Härte
und eine gute Verschleißfestigkeit. Aluminiumoxid weist
daher wünschenswerte Eigenschaften für eine Verwendung bei
materialentfernenden Anwendungen, z. B. beim Entfernen von
Metall, auf. Trotz dieser wünschenswerten Eigenschaften ist
die Verwendung von Schneidwerkzeugen aus Aluminiumoxid wegen
der geringen Zähigkeit und der schlechten Formbarkeit von
Aluminiumoxid mit Nachteilen behaftet. Zur Verbesserung der
Schneidleistung haben einige Hersteller Zusätze, wie z. B.
Chromoxid, Magnesiumoxid, Titanoxid, Nickeloxid und hoch
schmelzende Metallcarbide, zu dem Schneidwerkzeug auf Alumi
niumoxidgrundlage zugefügt. Die Anwesenheit dieser Zusätze
ergab Schneidwerkzeuge aus Aluminiumoxid mit verbesserten
Schneideigenschaften.
Ein weiterer Weg zur Überwindung der Nachteile von Alumini
umoxid unter Beibehaltung seiner vorteilhaften Eigenschaften
besteht darin, daß zähere und leichter formbare Schneidwerk
zeugsubstrate mit Hilfe von physikalischen Aufdampf-Verfah
ren (PVD-Verfahren) mit einem Aluminiumoxidüberzug beschich
tet werden. Das Ergebnis dieser Verfahren ist ein mit Alumi
niumoxid beschichtetes Schneidwerkzeug.
Obwohl mit Aluminiumoxid beschichtete Schneidwerkzeuge einen
gewissen Leistungsgrad erreichen, weisen diese Schneidwerk
zeuge noch Nachteile auf. Die folgenden Druckschriften
betreffen in diesem Zusammenhang das Aufbringen einer amor
phen Aluminiumoxidbeschichtung auf ein Substrat.
Der Artikel von Knotek et al. mit dem Titel "Sputtered hard
materials based on titanium and aluminium for wear
protection", International Pulvermet. Tagung., DDR, Dresden
(1985), Seiten 181-196, erwähnt das Aufbringen von mehreren
separaten Beschichtungen aus Aluminiumoxid, TIN und TiAlN
durch PVD (Magnetron-Ionenzerstäubung). Der Artikel führt
aus, daß diese Beschichtungen eine gleichwertige oder im
Fall von TiAlN sogar bessere Leistung als CVD-Beschichtungen
erbringen.
Der Artikel von Sumomogi et al., "Adhesion Evaluation of
RF-Sputtered Aluminium Oxide and Titanium Carbide Thick Films
Grown on Carbide Tools", Thin Solid Films, 79 (1981), Seiten
91-100, erörtert das Aufbringen von Aluminiumoxidbeschich
tungen auf Hartmetall-Werkzeugen (ISO P 20) durch PVD.
Der Artikel von Shinzato et al., "Internal Stress in
Sputter-Deposited Al₂O₃ Films", Thin Solid Films, 97 (1982),
Seiten 333-337, erwähnt das Aufbringen einer Aluminiumoxid
beschichtung auf Hartmetall- (ISO P20), Schnelldrehstahl-
und Pyrexglas-Substrate von Corning über entweder ein kon
ventionelles Hochfrequenzgerät oder ein Hochfrequenzgerät
vom Typ des planaren Magnetrons.
Der Artikel von Kazama et al., "Alumina Films Prepared by
Ion Plating" (Aluminiumoxid auf einem Wolframcarbid-
Schneidwerkzeug) erwähnt das Aufbringen einer Aluminiumoxid
beschichtung auf ein WC-Substrate durch Ionenplattieren
unter Bildung eines Überzugs aus alpha-Aluminiumoxid.
Die japanische Patentanmeldung S54-2982 von Murayama et al.
spricht die Verwendung des Ionenplattierens zum Aufbringen
einer Aluminiumoxidbeschichtung (oder einer Beschichtung aus
Aluminiumoxid und TiC) auf ein Substrat an. Das Praxisbei
spiel II betrifft einen Aluminiumoxidüberzug auf einem
Schneidwerkzeug (ISO P30-Legierung).
Ein Nachteil von mit Aluminiumoxid beschichteten Schneid
werkzeugen besteht darin, daß die Haftung zwischen dem Sub
strat und dem Aluminiumoxidüberzug oder der Aluminiumoxid
schicht unzureichend ist. Ein Weg zur Verbesserung des Haft
vermögens der Aluminiumoxidbeschichtung sieht vor, daß eine
Zwischenschicht oder Zwischenschichten bereitgestellt wer
den. Die folgenden Druckschriften erörtern die Verwendung
einer Zwischenschicht.
Ramos et al., "Adhesion improvement of RF-sputtered alumina
coatings as determined by the scratch test", Jour. Adhesion
Sci. Technol., Band 7, Nr. 8, Seiten 801-811 (1993),
beschreiben die Verwendung einer Zwischenschicht aus Titan
oder Titannitrid zwischen einem Substrat aus Schnelldreh
stahl (AISI M2) und einer durch eine Hochfrequenzzerstäubung
aufgebrachten Aluminiumoxidschicht. Zusammengefaßt ergab
sich, daß die Anwesenheit einer Zwischenschicht aus Titan
oder Titannitrid die Haftung der Aluminiumoxidbeschichtung
an das Substrat aus Schnelldrehstahl verbesserte.
In der japanischen Patentschrift Nr. 57-120667 (Doi et al.)
ist im Zusammenhang mit einem Schneidwerkzeug das Aufbringen
einer Zwischenschicht aus Aluminiumoxid über einer TiC-
Grundschicht mit Hilfe eines PVD-Verfahrens beschrieben. Die
äußere Schicht besteht aus TiN. Dieses Patent offenbart
außerdem einen sechsschichtigen Beschichtungsaufbau, der
Aluminiumoxid als äußere Schicht mit TiC, Aluminiumoxid und
TiCO als Zwischenschichten unter Verwendung einer Plasma-
CVD-Vorrichtung umfaßt. Beispiel Nr. 3 dieses Patents umfaßt
einen achtschichtigen Beschichtungsaufbau, bei dem die
äußere Schicht aus Aluminiumoxid besteht und die Zwischen
schichten TiC, Aluminiumoxid, TiCO und TiCN umfassen.
Die japanische Patentanmeldung Nr. H4-308075 (Matsuda et
al.), erörtert das Aufbringen einer Aluminiumoxidbeschich
tung auf ein Substrat durch Ionenplattieren. Das Aluminium
oxid kann direkt auf die Oberfläche des Substrats aufge
bracht werden. Das Aluminiumoxid kann außerdem auf eine vor
her auf dem Substrat gebildetete Zwischenschicht aufgebracht
werden. Die Zwischenschicht kann Titan, Titancarbid oder
Titannitrid sein.
Aufgabe der Erfindung ist die Bereitstellung eines verbes
serten beschichteten Schneidwerkzeugs, bei dem der Beschich
tungsaufbau eine Schicht aus einer durch PVD aufgebrachten
Legierung aus einem Metall der Gruppe IVB und Aluminium
sowie eine Schicht aus Aluminiumoxid umfaßt, die durch ein
PVD-Verfahren auf die Schicht aus der Legierung des Metalls
der Gruppe IVB und Aluminium aufgebracht ist.
Ein weiteres Ziel der Erfindung ist die Bereitstellung eines
verbesserten Schneidwerkzeugs, bei dem der Beschichtungsauf
bau wenigstens eine entweder durch chemisches oder durch
physikalisches Aufdampfen auf das Substrat aufgebrachte Zwi
schenschicht aus einer Zusammensetzung auf der Grundlage von
Titan, eine durch ein PVD-Verfahren auf die äußerste Zwi
schenschicht aus der Zusammensetzung auf der Grundlage von
Titan aufgebrachte Schicht aus einer Legierung eines Metalls
der Gruppe IVB und Aluminium und eine durch ein PVD-Verfah
ren auf die Schicht aus der Legierung des Metalls der Gruppe
IVB und Aluminium aufgebrachte Aluminiumoxidschicht umfaßt.
Ein weiteres Ziel der Erfindung besteht in der Bereitstel
lung eines verbesserten beschichteten Schneidwerkzeugs, bei
dem der Beschichtungsaufbau wenigstens eine entweder durch
ein CVD- oder ein PVD-Verfahren auf das Substrat aufgebrach
te Schicht aus einer Zusammensetzung auf Titangrundlage,
eine durch PVD auf die äußerste Zwischenschicht aus der
Zusammensetzung auf Titangrundlage aufgebrachte Schicht aus
einer Legierung eines Metalls der Gruppe IVB und Aluminium,
eine durch PVD auf die Schicht aus der Legierung des Metalls
der Gruppe IVB und Aluminium aufgebrachte Aluminiumoxid
schicht und wenigstens eine Schicht aus der Zusammensetzung
auf Titangrundlage umfaßt, die entweder mit Hilfe eines CVD-
oder eines PVD-Verfahrens auf die Aluminiumoxidschicht auf
gebracht ist.
Ein weiteres Ziel der Erfindung besteht in der Bereitstel
lung eines verbesserten beschichteten Schneidwerkzeugs, bei
dem der Beschichtungsaufbau eine Grundschicht aus einer mit
Hilfe eines PVD-Verfahrens auf das Substrat aufgebrachten
Legierung aus einem Metall der Gruppe IVB und Aluminium
sowie eine äußere Aluminiumoxidschicht umfaßt, die mit Hilfe
eines PVD-Verfahrens auf die Legierungsschicht aus dem
Metall der Gruppe IVB und Aluminium aufgebracht ist.
Ein weiteres Ziel der Erfindung besteht in der Bereitstel
lung eines verbesserten beschichteten Schneidwerkzeugs, bei
dem der Beschichtungsaufbau eine Grundschicht aus einer auf
das Substrat mit Hilfe eines PVD-Verfahrens aufgebrachten
Legierung eines Metalls der Gruppe IVB und Aluminium, eine
mit Hilfe eines PVD-Verfahrens auf die Legierungsschicht des
Metalls der Gruppe IVB und Aluminium aufgebrachte Aluminium
oxidschicht und wenigstens eine entweder mit Hilfe eines
CVD- oder PVD-Verfahrens auf die Aluminiumoxidschicht aufge
brachte Schicht aus einer Zusammensetzung auf der Grundlage
von Titan umfaßt.
Ein weiteres Ziel der Erfindung besteht in der Bereitstel
lung eines verbesserten beschichteten Schneidwerkzeugs, bei
dem der Beschichtungsaufbau wenigstens eine Zwischenschicht
aus einer Zusammensetzung auf Titangrundlage, die entweder
mit Hilfe eines CVD- oder PVD-Verfahrens auf das Substrat
aufgebracht ist, eine durch ein PVD-Verfahren auf die äußer
ste Zwischenschicht aus der Zusammensetzung auf Titangrund
lage aufgebrachte Schicht aus einer Legierung eines Metalls
der Gruppe IVB und Aluminium und eine Außenschicht aus Alu
miniumoxid umfaßt, die mit Hilfe eines PVD-Verfahrens auf
die Legierungsschicht des Metalls der Gruppe IVB und Alumi
nium aufgebracht ist.
Ein weiteres Ziel der Erfindung besteht in der Bereitstel
lung eines verbesserten Schneidwerkzeugs, wobei der
Beschichtungsaufbau eine mit Hilfe eines PVD-Verfahrens auf
gebrachte Schicht aus einer Legierung eines Metalls der
Gruppe IVB und Aluminium und einer durch ein PVD-Verfahren
auf die Legierungsschicht des Metalls der Gruppe IVB und
Aluminium aufgebrachte Aluminiumoxidschicht umfaßt, wobei
die Legierung des Metalls der Gruppe IVB und Aluminium eines
oder mehrere der Elemente Titan, Zirkonium oder Hafnium,
umfaßt.
Ein weiteres Ziel der Erfindung besteht in der Bereitstel
lung eines verbesserten beschichteten Schneidwerkzeugs, bei
dem der Beschichtungsaufbau eine durch ein PVD-Verfahren
aufgebrachte Schicht aus einer Legierung eines Metalls der
Gruppe IVB und Aluminium und eine durch ein PVD-Verfahren
auf die Legierungsschicht des Metalls der Gruppe IVB und
Aluminium aufgebrachte Aluminiumoxidschicht umfaßt, wobei
die Legierung des Metalls der Gruppe IVB und Aluminium
gegebenenfalls eines oder mehrere der Elemente Vanadium,
Tantal und Niob der Gruppe VB beinhaltet.
Ein weiteres Ziel der Erfindung besteht in der Bereitstel
lung eines verbesserten beschichteten Schneidwerkzeugs, bei
dem der Beschichtungsaufbau eine durch ein PVD-Verfahren
aufgebrachte Schicht aus einer Legierung eines Metalls der
Gruppe IVB und Aluminium und eine durch ein PVD-Verfahren
auf die Legierungsschicht des Metalls der Gruppe IVB und
Aluminium aufgebrachte Aluminiumoxidschicht umfaßt, wobei
die Legierungsschicht des Metalls der Gruppe IVB und Alumi
nium in bezug auf ihre Zusammensetzung einen Konzentrations
gradienten aufweist.
Eine Ausführungsform der Erfindung besteht aus einem
beschichteten Schneidwerkzeug, das eine Spanfläche, eine
Freifläche und eine am Zusammentreffen der Spanfläche und
der Freifläche gebildete Schneidkante umfaßt. Das Schneid
werkzeug umfaßt ferner ein Substrat und eine an das Substrat
gebundene Beschichtung. Die Beschichtung weist einen
Beschichtungsaufbau auf, der eine erste Schicht aus einer
durch physikalisches Aufdampfen aufgebrachten Schicht aus
einer Titan-Aluminium-Legierung und eine durch physikali
sches Aufdampfen direkt auf die erste Schicht aus der Titan-
Aluminium-Legierung aufgebrachte Aluminiumoxidschicht um
faßt.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung wird ein
beschichtetes Schneidwerkzeug bereitgestellt, das eine Span
fläche und eine Freifläche mit einer am Zusammentreffen der
Spanfläche und der Freifläche gebildeten Schneidkante
umfaßt. Das Schneidwerkzeug umfaßt ferner ein Substrat und
eine an das Substrat gebundene Beschichtung. Die Beschich
tung weist einen Beschichtungsaufbau auf, die eine erste
Schicht umfaßt, wobei die erste Schicht durch physikalisches
Aufdampfen aufgebracht ist und eine Zusammensetzung gemäß
der folgenden Gleichung aufweist:
(Tia Zrb Hfc Vd Tae Nbf Al₁-(a+b+c+d+e+f)) (Nx O1-x)
worin 0 a < 1; 0 b < 1; 0 c < 1; 0 d < 1; 0 e < 1;
0 f < 1; 0 x 1; und 0 < (a + b + c + d + e + f) < 1
ist. Der Beschichtungsaufbau umfaßt ferner eine an die erste
Schicht gebundene Aluminiumoxidschicht.
Eine weitere erfindungsgemäße Ausführungsform besteht aus
einem beschichteten Schneidwerkzeug, das eine Spanfläche und
eine Freifläche mit einer am Zusammentreffen der Spanfläche
und der Freifläche gebildeten Schneidkante umfaßt. Das
Schneidwerkzeug umfaßt ferner ein Substrat und eine an das
Substrat gebundene Beschichtung. Die Beschichtung weist
einen Beschichtungsaufbau auf, der eine erste Schicht aus
einer durch physikalisches Aufdampfen aufgebrachten Legie
rung aus einem Metall der Gruppe IVB und Aluminium sowie
eine durch physikalisches Aufdampfen direkt auf die erste
Schicht aus der Legierung des Metalls der Gruppe IVB und
Aluminium aufgebrachte Aluminiumoxidschicht umfaßt.
Im folgenden wird eine kurze Beschreibung der Zeichnungen
gegeben, die einen Teil dieser Patentanmeldung bilden. In
den Zeichnungen zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer besonderen Ausfüh
rungsform des erfindungsgemäßen Schneidwerkzeugs, das eine
Grundschicht und eine Außenschicht aufweist;
Fig. 2 einen Querschnitt durch das Schneidwerkzeug der Fig.
1 entlang der Linie 2-2, der ein Substrat, eine Grundschicht
und eine Außenschicht zeigt;
Fig. 3 einen Querschnitt durch eine weitere Ausführungsform
des erfindungsgemäßen Schneidwerkzeugs, der ein Substrat,
eine Grundschicht, eine Zwischenschicht und eine Außen
schicht zeigt;
Fig. 4 einen Querschnitt durch eine weitere Ausführungsform
eines erfindungsgemäßen Schneidwerkzeugs, der ein Substrat,
zwei Zwischenschichten, eine Schicht aus einer Legierung
eines Metalls der Gruppe IVB und Aluminium sowie eine Außen
schicht aus Aluminiumoxid zeigt;
Fig. 5 einen Querschnitt durch eine weitere Ausführungsform
eines erfindungsgemäßen Schneidwerkzeugs, der ein Substrat,
zwei Zwischenschichten, eine Schicht aus einer Legierung
eines Metalls der Gruppe IVB und Aluminium, eine Aluminium
oxidschicht und zwei Außenschichten zeigt;
Fig. 6 einen Querschnitt durch eine weitere Ausführungsform
eines erfindungsgemäßen Schneidwerkzeugs, der ein Substrat,
zwei Zwischenschichten, eine Schicht aus einer Legierung
eines Metalls der Gruppe IVB und Aluminium, eine weitere
Schicht aus einer Legierung eines Metalls der Gruppe IVB und
Aluminium sowie eine Außenschicht aus Aluminiumoxid zeigt;
und
Fig. 7 einen Querschnitt durch eine weitere Ausführungsform
eines erfindungsgemäßen Schneidwerkzeugs, der ein Substrat,
zwei Zwischenschichten, eine Schicht aus einer Legierung
eines Metalls der Gruppe IVB und Aluminium, eine weitere
Schicht aus einer Legierung eines Metalls der Gruppe IVB und
Aluminium, eine Aluminiumoxidschicht und zwei Außenschichten
zeigt.
Fig. 1 zeigt eine erste besondere Ausführungsform eines
erfindungsgemäßen Schneidwerkzeugs, das allgemein mit dem
Bezugszeichen 10 bezeichnet ist. Das Schneidwerkzeug 10
weist eine Spanfläche 12 und eine Freifläche 14 auf. Am
Zusammentreffen der Spanfläche 12 und der Freifläche 14 ist
eine Schneidkante 16 gebildet.
Das Schneidwerkzeug weist ein Substrat mit einem mehrschich
tigen Beschichtungsaufbau auf, wobei in den ausgewählten
Ausführungsformen einige oder alle der Überzugsschichten
durch physikalisches Aufdampfen aufgebracht sind. Es gibt
eine Vielzahl von PVD-Verfahren, mit deren Hilfe man zur
Erzeugung eines beschichteten Schneidwerkzeugs eine
Beschichtung auf ein Substrat aufbringen kann. Diese Verfah
ren umfassen alle Verfahren mit hoher Ionendichte, wie z. B.
das Ionenplattieren, das Magnetronzerstäuben und die Lichtbo
genverdampfung.
In weiteren ausgewählten Ausführungsformen können einige der
Überzugsschichten durch chemisches Aufdampfen (CVD) aufge
bracht sein. Es gibt eine Vielzahl von CVD-Verfahren die
eine zufriedenstellende CVD-Schicht ergeben.
In Fig. 2 ist ein Schneidwerkzeug 10 dargestellt, das ein
Substrat 18 zusammen mit einem zweischichtigen Beschich
tungsaufbau aufweist.
Die Grundschicht 20 ist ein durch physikalisches Aufdampfen
aufgebrachtes Titanaluminiumnitrid. Die TiAlN-Grundschicht
20 ist zwischen 1 und 6 Mikrometer dick. Die Verwendung der
TiAlN-Schicht ergibt eine gute metallurgische Bindung zwi
schen dem Wolframcarbid-Cobalt-Substrat und der TiAlN-
Grundschicht.
Das in Fig. 2 dargestellte Schneidwerkzeug 10 weist außer
dem eine Außenschicht 22 aus Aluminiumoxid auf, die durch
physikalisches Aufdampfen aufgebracht ist. Die Außenschicht
22 ist zwischen 1 und 6 Mikrometer dick. Die Anwesenheit des
Aluminiums in dem TiAlN fördert zudem die Keimbildung von
Aluminiumoxidkörnern in der äußeren Aluminiumoxidbeschich
tung auf der Oberfläche der Titanaluminiumnitridschicht.
Es wird davon ausgegangen, daß der Ersatz des Titanalumini
umnitrids in der ersten besonderen Ausführungsform durch
Titan, Aluminium oder Titanaluminium mit einer Dicke von
weniger als 0,5 Mikrometern ebenfalls von der Erfindung
umfaßt wird, obwohl dies nicht als besondere Ausführungsform
dargestellt ist. Durch eine derartige Abänderung würde ein
Schneidwerkzeug erhalten werden, das ein Substrat, eine mit
Hilfe eines PVD-Verfahrens aufgebrachte Grundschicht aus
Titanaluminium und einer durch ein PVD-Verfahren aufge
brachte Außenschicht aus Aluminiumoxid umfaßt.
Das in Fig. 3 dargestellte Schneidwerkzeug 30 weist eine
Spanfläche 32 und eine Freifläche 34 auf. Am Zusammentreffen
der Spanfläche 32 und der Freifläche 34 ist eine Schneid
kante 36 gebildet.
Das Schneidwerkzeug 30 umfaßt ferner ein Substrat 40. Darü
ber hinaus umfaßt das Schneidwerkzeug 30 eine Grundschicht
42 aus Titanaluminiumnitrid, die durch physikalisches Auf
dampfen auf der Oberfläche des Substrats 40 aufgebracht ist.
Die Grundschicht 42 ist zwischen 1 und 6 Mikrometer dick.
Wie oben erwähnt, bildet diese Grundschicht eine metallurgi
sche Bindung mit dem Substrat aus.
Das Schneidwerkzeug 30 umfaßt ferner eine Zwischenschicht 44
aus Titan, Aluminium oder Titanaluminium, die durch PVD auf
die Oberfläche der Titanaluminiumnitridschicht 42 aufge
bracht ist. Die Zwischenschicht 44 weist eine Dicke von
weniger als 0,5 Mikrometer auf.
Das Schneidwerkzeug umfaßt schließlich noch eine Außen
schicht 46 aus Aluminiumoxid, die durch physikalisches Auf
dampfen auf die Oberfläche der Zwischenschicht 44 aus Titan
aluminium aufgebracht ist. Die Außenschicht 46 ist zwischen
1 und 6 Mikrometer dick. Die Gegenwart von Aluminium in der
Zwischenschicht trägt dazu bei, die Keimbildung von Alumini
umoxidkörnern in der äußeren Aluminiumoxidschicht auf der
Oberfläche der Titanaluminiumschicht 44 zu fördern.
Das in Fig. 4 veranschaulichte und allgemein mit dem
Bezugszeichen 50 versehene Schneidwerkzeug 50 umfaßt eine
Spanfläche 52, ein Freifläche 54 und eine am Schnittpunkt
der Spanfläche 52 und der Freifläche 54 gebildete Schneid
kante 56. Darüber hinaus umfaßt das Schneidwerkzeug 50 ein
Substrat 58.
Der Beschichtungsaufbau weist zwei Zwischenschichten 60, 62
aus einer Zusammensetzung auf Titangrundlage auf, wobei die
Zwischenschicht 60 (z. B. Titannitrid) auf die Oberfläche des
Substrats aufgebracht ist. Die Zwischenschichten 60, 62 kön
nen entweder durch chemisches Aufdampfen (CVD) oder physika
lisches Aufdampfen (PVD) aufgebracht sein. Die Zwischen
schicht 60 ist zwischen 1 und 4 Mikrometer dick. Die Zwi
schenschicht 62 (z. B. Titancarbonitrid) ist zwischen 1 und 4
Mikrometer dick.
Auf die Oberfläche der Zwischenschicht 62 ist eine Schicht
64 aus einer Titan-Aluminium-Legierung (z. B. Titanaluminium
nitrid) mit Hilfe eines PVD-Verfahrens aufgebracht. Die
Schicht 64 ist zwischen 1 und 6 Mikrometer dick.
Auf die Oberfläche der Schicht 64 aus der Titan-Aluminium-
Legierung ist mit Hilfe eines PVD-Verfahrens eine Schicht 66
aus Aluminiumoxid aufgebracht. Die Schicht 66 ist zwischen 1
und 6 Mikrometer dick.
Bei der in Fig. 5 gezeigten Ausführungsform umfaßt das
Schneidwerkzeug 70 eine Spanfläche 72, eine Freifläche 74
und eine am Schnittpunkt der Spanfläche 72 und Freifläche 74
gebildete Schneidkante 76. Darüber hinaus umfaßt das
Schneidwerkzeug 70 ein Substrat 78.
Der Beschichtungsaufbau weist zwei Zwischenschichten 80, 82
aus einer Zusammensetzung auf Titangrundlage auf, wobei die
Zwischenschicht 80 (z. B. Titannitrid) auf die Oberfläche des
Substrats aufgebracht ist. Die Zwischenschichten 80, 82 kön
nen entweder mit Hilfe eines CVD- oder eines PVD-Verfahrens
aufgebracht sein. Die Zwischenschicht 80 weist eine Dicke
von zwischen 1 und 4 Mikrometern auf. Die Zwischenschicht 82
(z. B. Titancarbonnitrid) ist zwischen 1 und 4 Mikrometer
dick.
Auf die Zwischenschicht 82 ist mit Hilfe eines PVD-
Verfahrens eine Schicht 84 aus einer Titan-Aluminium-Legie
rung (z. B. Titanaluminiumnitrid) aufgebracht. Die Schicht 84
ist zwischen 1 und 6 Mikrometer dick.
Auf die Schicht 84 aus der Titan-Aluminium-Legierung ist mit
Hilfe eines PVD-Verfahrens eine Aluminiumoxidschicht 86 auf
gebracht. Die Schicht 86 ist 1 bis 6 Mikrometer dick.
Auf die Aluminiumoxidschicht 86 sind entweder mit Hilfe
eines CVD- oder eines PVD-Verfahrens zwei Außenschichten 88,
90 aus einer Zusammensetzung auf Titangrundlage aufgebracht.
Die Dicke der Außenschicht 88 (z. B. Titan) beträgt weniger
als 0,5 Mikrometer. Die Außenschicht 90 (z. B. Titannitrid)
ist zwischen 1 und 4 Mikrometer dick. Die Außenschicht 88
ist direkt auf die Oberfläche der Aluminiumoxidschicht 86
aufgebracht.
In Fig. 6 ist eine weitere Ausführungsform eines Schneid
werkzeugs 100 dargestellt, welches eine Spanfläche 102, eine
Freifläche 104 und eine am Schnittpunkt der Spanfläche 102
und der Freifläche 104 gebildete Schneidkante 106 umfaßt.
Darüber hinaus umfaßt das Schneidwerkzeug 100 ein Substrat
108.
Der Beschichtungsaufbau weist zwei Zwischenschichten 110,
112 aus einer Zusammensetzung auf Titangrundlage auf, wobei
die Zwischenschicht 110 (z. B. Titannitrid) auf die Ober
fläche des Substrats aufgebracht ist. Die Zwischenschichten
110 und 112 können entweder mit Hilfe eines CVD- oder PVD-
Verfahrens aufgebracht sein. Die Zwischenschicht 110 ist
zwischen 1 und 4 Mikrometer dick. Die Zwischenschicht 112
(z. B. Titancarbonnitrid) ist zwischen 1 und 4 Mikrometer
dick.
Auf die Zwischenschicht 112 ist mit Hilfe eines PVD-Verfah
rens eine Schicht 114 aus einer ersten Titan-Aluminium-
Legierung (z. B. Titanaluminiumnitrid) aufgebracht. Die
Schicht 114 weist eine Dicke von zwischen 1 und 4 Mikrometer
auf. Auf die Schicht 114 aus der Titan-Aluminium-Legierung
ist mit Hilfe eines PVD-Verfahrens eine Schicht 116 aus
einer zweiten Titan-Aluminium-Legierung (z . B. Titanalumini
umnitrid) aufgebracht. Die Schicht 116 ist zwischen 1 und 4
Mikrometer dick. Vorzugsweise weist die zweite Schicht aus
der Titan-Aluminium-Legierung einen höheren Aluminiumgehalt
als die erste Schicht aus der Titan-Aluminium-Legierung
auf.
Auf die Schicht 116 aus der Titan-Aluminium-Legierung ist
mit Hilfe eines PVD-Verfahrens eine Aluminiumoxidschicht 118
aufgebracht. Die Schicht 118 ist zwischen 1 und 6 Mikrometer
dick.
In Fig. 7 ist ein Schneidwerkzeug 120 gezeigt, welches eine
Spanfläche 122, eine Freifläche 124 und eine am Schnittpunkt
der Spanfläche 122 und der Freifläche 124 gebildete Schneid
kante 126 umfaßt. Darüber hinaus umfaßt das Schneidwerkzeug
120 ein Substrat 128.
Der Beschichtungsaufbau weist zwei Zwischenschichten 130,
132 aus einer Zusammensetzung auf der Grundlage von Titan
auf, wobei die Zwischenschicht 130 auf die Oberfläche des
Substrats aufgebracht ist. Die Zwischenschichten 130, 132
können entweder mit Hilfe eines CVD- oder eines PVD-Verfah
rens aufgebracht sein. Die Zwischenschicht 130 (z. B. Titan
nitrid) ist zwischen 1 und 4 Mikrometer dick. Die Zwischen
schicht 132 (z. B. Titancarbonnitrid) ist zwischen 1 und 4
Mikrometer dick.
Auf die Zwischenschicht 132 (z. B. Titancarbonnitrid) ist mit
Hilfe eines PVD-Verfahrens eine erste Schicht 134 aus einer
ersten Titan-Aluminium-Legierung (z . B. Titanaluminiumnitrid)
aufgebracht. Die Schicht 134 ist zwischen 1 und 4 Mikrometer
dick. Auf die Schicht 134 aus der ersten Titan-Aluminium-
Legierung ist mit Hilfe eines PVD-Verfahrens eine zweite
Schicht 136 aus einer zweiten Titan-Aluminium-Legierung
(z. B. Titanaluminiumnitrid) aufgebracht. Die Schicht 136 ist
zwischen 1 und 4 Mikrometer dick. Vorzugsweise weist die
Schicht aus der zweiten Titan-Aluminium-Legierung einen
höheren Aluminiumgehalt als die Schicht aus der ersten
Titan-Aluminium-Legierung auf.
Auf die Oberfläche der Schicht 136 aus der zweiten Titan-
Aluminium-Legierung ist mit Hilfe eines PVD-Verfahrens eine
Aluminiumoxidschicht 138 aufgebracht. Die Schicht 138 ist
zwischen 1 und 6 Mikrometer dick. Auf die Aluminiumoxid
schicht 138 sind entweder mit Hilfe eines CVD- oder eines
PVD-Verfahrens zwei Außenschichten 140, 142 aus einer Zusam
mensetzung auf der Grundlage von Titan aufgebracht. Bei Ver
wendung eines PVD-Verfahrens ist die Außenschicht 140 (z. B.
Titan) direkt auf die Oberfläche der Aluminiumoxidschicht
138 aufgebracht. Die Außenschicht 140 weist eine Dicke von
weniger als 0,5 Mikrometer auf. Die Außenschicht 142 (z. B.
Titannitrid) weist eine Dicke von zwischen 1 und 4 Mikrome
tern auf. Bei Verwendung eines CVD-Verfahrens zum Aufbringen
der Außenschicht 140 kann diese aus Titancarbonnitrid gebil
det sein und eine Dicke von zwischen 1 und 4 Mikrometern
aufweisen.
In den oben beschriebenen Ausführungsformen ist das Substrat
ein Hartmetall auf der Grundlage von Wolframcarbid und
Kobalt. Das Substrat kann jedoch auch aus der aus verschie
denen Hartmetallen, Cermets, Keramiken, Werkzeugstählen,
Cermets und Keramiken auf der Grundlage von kubischem Bor
nitrid, Zusammensetzungen auf Diamantgrundlage sowie deren
Kombinationen und Verbundwerkstoffen bestehenden Gruppe aus
gewählt sein.
In den oben beschriebenen Ausführungsformen umfaßt die am
meisten bevorzugte Aluminiumoxidschicht ein im wesentlichen
kristallines Aluminiumoxid aus einer der bekannten Kristall
phasen von Aluminiumoxid. Diese Kristallphasen umfassen
alpha-Aluminiumoxid, gamma-Aluminiumoxid, delta-Aluminium
oxid, theta-Aluminiumoxid, kappa-Aluminiumoxid oder eta-
Aluminiumoxid und chi-Aluminiumoxid. (Siehe Binary alloy
phase diagramms, Massalski (Herausgeber), American Society
for Metals, Metals Park, Ohio (1990), Seite 185). Es wird
jedoch davon ausgegangen, daß auch eine Schicht aus amor
phem Aluminiumoxid, allein oder in Kombination mit kristal
linem Aluminumoxid, von der Erfindung umfaßt wird.
In den oben beschriebenen Ausführungsformen umfaßt die
Titan-Aluminium-Legierung bevorzugt entweder Titanaluminium
oder Titanaluminiumnitrid.
Darüber hinaus umfaßt in den oben beschriebenen Ausführungs
formen die am meisten bevorzugte Zusammensetzung auf der
Grundlage von Titan in der Zwischenschicht oder der Außen
schicht einen oder mehrere Vertreter aus der Gruppe Titan
carbid, Titannitrid, Titancarbonitrid und deren festen
Lösungen.
Mit Bezug auf die Schichten aus der Titan-Aluminium-Legie
rung der oben beschriebenen Ausführungsformen wird davon
ausgegangen, daß als eine alternative Ausführungsform eine
oder mehrere dieser Schichten einen Konzentrationsgradienten
in der Schicht aufweisen können. Beispielsweise kann in der
in Fig. 2 gezeigten Ausführungsform, in der die Grund
schicht 20 eine Titan-Aluminium-Legierung (z. B. Titanalumi
niumnitrid) ist, die Zusammensetzung dieser Titan-Aluminium-
Legierung durch die folgende Gleichung angegeben werden:
(Tia Al1-a N),
worin 0 < a < 1 ist und die Zusammensetzung sich durch die
Dicke der Schicht hindurch verändert. Diese Gleichung ist
auch auf die anderen Schichten aus der Titan-Aluminium-
Legierung anwendbar, die im Zusammenhang mit den obigen Aus
führungsformen beschrieben wurden. Vorzugsweise nimmt der
Aluminiumgehalt der Schicht aus der Titan-Aluminium-Legie
rung in Richtung auf die Aluminiumoxidschicht hin zu.
Hinsichtlich der Verfahren zur Erzeugung eines Konzentra
tionsgradienten offenbaren das US-Patent Nr. 5 330 853 (Hofman
et al.) mit dem Titel "MULTILAYER Ti-Al-N COATING FOR
TOOLS", die EP-A1-0 448 720 (OMORI et al.) mit dem Titel
"SURFACE-COATED HARD MEMBER FOR CUTTING AND ABRASION-
RESISTANT TOOLS" und die japanische Patentanmeldung Nr.
1-151953 (Ikeda et al.) mit dem Titel "ABRASION RESISTANT
FILM" verschiedene Beschichtungsschemata, in denen die Über
zugsschichten einen Konzentrationsgradienten in der Schicht
aufweisen. Die in diesen Druckschriften offenbarten Verfah
ren werden als geeignet für das Aufbringen von Titan-Alumi
nium-Legierungen mit einem Konzentrationsgradienten angese
hen.
Es ist außerdem möglich, daß die Kombination der Schichten
aus den Titan-Aluminium-Legierungen eine durchgehende
Schicht sein kann. Der Gehalt an den verschiedenen Elementen
wird dann so variiert, daß eine geeignete durchgehende
Schicht bereitgestellt wird, in der sich die Zusammensetzung
mit dem Abstand von der Substratoberfläche ändert. Die
Zusammensetzung dieser einen durchgehenden Schicht kann
durch die folgende Gleichung angegeben werden:
(Tix Al1-x) (Ny O1-y)
worin = 0 < x < 1 und 0 y 1 ist, wobei der Aluminiumgehalt
und der Sauerstoffgehalt der Schichten aus der Titan-Alumi
nium-Legierung in Richtung auf die Aluminiumoxidschicht hin
zunehmen.
Gegenstand der Erfindung ist ferner ein Schneidwerkzeug mit
einem Beschichtungsaufbau, in dem die Titan-Aluminium-
Legierung gegebenenfalls eines oder mehrere der Elemente
Zirkonium, Hafnium, Vanadium, Tantal und Niob umfaßt. In
diesem Fall kann die Zusammensetzung der Schicht aus der
Titan-Aluminium-Legierung durch die folgende Gleichung ange
geben werden:
(Tia Zrb Hfc Vd Tae Nbf Al1-(a+b+c+d+e+f)) (N)
worin 0 < a 1; 0 b < 1; 0 c < 1; 0 d < 1; 0 e < 1;
0 f < 1 und 0 < (a + b + c + d + e + f) < 1 ist. Die
Zusammensetzung kann sich durch die Dicke der Schicht hin
durch ändern.
In einer Ausführungsform, in der der Beschichtungsaufbau der
Schichten aus der Titan-Aluminium-Legierung (mit Metallzu
satz) eine durchgehende Schicht umfaßt, kann die Zusammen
setzung durch folgende Gleichung angegeben werden:
(Tia Zrb Hfc Vd Tae Nbf Al1-(a+b+c+d+e+f)) (Nx O1-x)
worin 0 a < 1; 0 b < 1; 0 c < 1; 0 d < 1; 0 e < 1;
0 f < 1; 0 x 1 und 0 < (a + b + c + d + e + f) < 1
ist. Die Zusammensetzung kann sich durch die Dicke der
Schicht hindurch ändern.
Die Erfindung umfaßt darüber hinaus ein Schneidwerkzeug, bei
dem das Titan in den Schichten aus der Titanlegierung ganz
oder teilweise durch Zirkonium und/oder Hafnium ersetzt sein
kann, so daß beispielsweise die Zusammensetzung dieser
Schichten durch die folgende Gleichung angegeben werden
kann:
(Tia Zrb Hfc) (N)
worin 0 a < 1; 0 b < 1; 0 c < 1; und a + b + c < 1
ist. Die Zusammensetzung kann sich durch die Dicke der
Schicht hindurch ändern.
In einem Fall, in dem der Beschichtungsaufbau der Titan
legierungsschichten eine durchgehende Schicht umfaßt, kann
die Zusammensetzung durch die folgende Gleichung angegeben
werden:
(Tia, Zrb, Hfc) (Nx, O1-x)
worin 0 < a 1; 0 < b 1; 0 < c 1; a + b + c = 1 und
0 x 1 ist.
Die in dieser Beschreibung genannten Patente und anderen
Druckschriften werden hiermit durch Inbezugnahme in die
Beschreibung aufgenommen.
Weitere Ausführungsformen der Erfindung ergeben sich für den
Fachmann aus einer Betrachtung der Beschreibung oder der
Ausübung der darin offenbarten Erfindung. Die Beschreibung
und die Beispiele werden aber nur als eine Veranschaulichung
der Erfindung angesehen, wobei sich der wahre Umfang und das
Wesen der Erfindung aus den beigefügten Ansprüchen ergibt.
Claims (33)
1. Beschichtetes Schneidwerkzeug mit einer Spanfläche, einer
Freifläche und einer am Zusammentreffen der Spanfläche und
der Freifläche gebildeten Schneidkante, einem Substrat und
einer an das Substrat gebundenen Beschichtung, wobei die
Beschichtung einen Beschichtungsaufbau aufweist, der eine
durch physikalisches Aufdampfen aufgebrachte erste Schicht
aus einer Titan-Aluminium-Legierung und eine auf die erste
Schicht aus der Titan-Aluminium-Legierung durch physikali
sches Aufdampfen direkt aufgebrachte Aluminiumoxidschicht
umfaßt.
2. Beschichtetes Schneidwerkzeug nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der ersten Schicht
aus der Titan-Aluminium-Legierung der folgenden Gleichung
entspricht:
(Tia Al1-a N)worin 0 < a < 1 ist.
3. Beschichtetes Schneidwerkzeug nach Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, daß der Aluminiumgehalt in Richtung auf die
Aluminiumoxidschicht hin zunimmt.
4. Beschichtetes Schneidwerkzeug nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die erste Schicht aus der Titan-Alumi
nium-Legierung Titanaluminiumnitrid umfaßt.
5. Beschichtetes Schneidwerkzeug nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die erste Schicht aus der Titan-Alumi
nium-Legierung Titanaluminium umfaßt.
6. Beschichtetes Schneidwerkzeug nach Anspruch 5, gekenn
zeichnet durch eine zweite, durch physikalisches Aufdampfen
aufgebrachte Schicht aus einer Titan-Aluminium-Legierung,
wobei die erste Schicht aus dem Titanaluminium direkt auf
die zweite Schicht aus der Titan-Aluminium-Legierung aufge
bracht ist.
7. Beschichtetes Schneidwerkzeug nach Anspruch 6, dadurch
gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der zweiten Schicht
aus der Titan-Aluminium-Legierung der folgenden Gleichung
entspricht:
(Tia Al1-a N)worin 0 < a < 1 ist.
8. Beschichtetes Schneidwerkzeug nach Anspruch 6, dadurch
gekennzeichnet, daß die zweite Schicht aus der Titan-Alumi
nium-Legierung Titanaluminiumnitrid ist.
9. Beschichtetes Schneidwerkzeug nach Anspruch 6, dadurch
gekennzeichnet, daß die zweite Schicht aus der Titan-Alumi
nium-Legierung ferner eines oder mehrere der Elemente Zirko
nium, Hafnium, Vanadium, Tantal und Niob umfaßt.
10. Beschichtetes Schneidwerkzeug nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die erste Schicht aus der Titan-Alumi
nium-Legierung ferner eines oder mehrere der Elemente Zirko
nium, Hafnium, Vanadium, Tantal und Niob umfaßt.
11. Beschichtetes Schneidwerkzeug nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß das Substrat aus der aus Hartmetallen,
Cermets, Keramiken, Werkzeugstählen, Cermets und Keramiken
auf der Grundlage von kubischem Bornitrid und Zusammenset
zungen auf Diamantgrundlage bestehenden Gruppe ausgewählt
ist.
12. Beschichtetes Schneidwerkzeug nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß das Substrat ein Hartmetall auf der
Grundlage von Wolframcarbid und Kobalt ist.
13. Beschichtetes Schneidwerkzeug nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die erste Schicht aus der Titan-Alumi
nium-Legierung direkt auf das Substrat aufgebracht ist.
14. Beschichtetes Schneidwerkzeug nach Anspruch 1, ferner
gekennzeichnet durch wenigstens eine zwischen dem Substrat
und der ersten Schicht aus der Titan-Aluminium-Legierung
angeordneten Zwischenschicht aus einer Legierung auf der
Grundlage von Titan.
15. Beschichtetes Schneidwerkzeug nach Anspruch 14, dadurch
gekennzeichnet, daß die Legierung auf der Grundlage von
Titan eines oder mehrere der folgenden Materialien umfaßt:
Titannitrid, Titancarbid, Titancarbonitrid und deren festen Lösungen.
Titannitrid, Titancarbid, Titancarbonitrid und deren festen Lösungen.
16. Beschichtetes Schneidwerkzeug nach Anspruch 14, ferner
gekennzeichnet durch wenigstens eine Außenschicht aus einer
auf die Aluminiumoxidschicht aufgebrachten Schicht aus einer
Legierung auf der Grundlage von Titan.
17. Beschichtetes Schneidwerkzeug nach Anspruch 1, ferner
gekennzeichnet durch wenigstens eine auf die Aluminiumoxid
schicht aufgebrachte Außenschicht aus einer Legierung auf
der Grundlage von Titan.
18. Beschichtetes Schneidwerkzeug nach Anspruch 17, dadurch
gekennzeichnet, daß die Legierung auf der Grundlage von
Titan eines oder mehrere der folgenden Materialien umfaßt:
Titannitrid, Titancarbid, Titancarbonitrid und deren festen
Lösungen.
19. Beschichtetes Schneidwerkzeug nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der ersten Schicht
aus der Titan-Aluminium-Legierung sich durch die Dicke der
Schicht hindurch ändert.
20. Beschichtetes Schneidwerkzeug nach Anspruch 19, gekenn
zeichnet durch eine zweite, durch physikalisches Aufdampfen
aufgebrachte Schicht aus einer Titan-Aluminium-Legierung,
wobei die erste Schicht aus der Titan-Aluminium-Legierung
direkt auf die zweite Schicht aus der Titan-Aluminium-
Legierung aufgebracht ist und die Zusammensetzung der zwei
ten Schicht aus der Titan-Aluminium-Legierung sich durch die
Dicke der Schicht hindurch ändert.
21. Beschichtetes Schneidwerkzeug nach Anspruch 20, dadurch
gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der ersten Schicht
aus der Titan-Aluminium-Legierung und der zweiten Schicht
aus der Titan-Aluminium-Legierung am Zusammentreffen der
ersten und zweiten Schicht der Titan-Aluminium-Legierung im
wesentlichen gleich ist.
22. Beschichtetes Schneidwerkzeug nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß das Aluminiumoxid im wesentlichen kri
stallines Aluminiumoxid umfaßt, einschließlich einer oder
mehrerer der folgenden Kristallphasen von Aluminiumoxid:
α-Aluminiumoxid, γ-Aluminiumoxid, δ-Aluminiumoxid, θ-Alumi niumoxid, - oder η-Aluminiumoxid und χ-Aluminiumoxid.
α-Aluminiumoxid, γ-Aluminiumoxid, δ-Aluminiumoxid, θ-Alumi niumoxid, - oder η-Aluminiumoxid und χ-Aluminiumoxid.
23. Beschichtetes Schneidwerkzeug mit einer Spanfläche und
einer Freifläche, einer am Zusammentreffen der Spanfläche
und der Freifläche gebildeten Schneidkante, einem Substrat
und einer an das Substrat gebundenen Beschichtung, wobei die
Beschichtung einen Beschichtungsaufbau aufweist, der eine
erste Schicht umfaßt, die durch physikalisches Aufdampfen
aufgebracht ist und eine der folgenden Gleichung entspre
chende Zusammensetzung aufweist:
(Tia Zrb Hfc Vd Tae Nbf Al1-(a+b+c+d+e+f)) (Nx O1-x)worin 0 a < 1; 0 b < 1; 0 c < 1; 0 d < 1; 0 e < 1;
0 f < 1; 0 x 1; und 0 < (a + b + c + d + e + f) < 1
ist und wobei eine Aluminiumoxidschicht an die erste Schicht
gebunden ist.
24. Beschichtetes Schneidwerkzeug nach Anspruch 23, dadurch
gekennzeichnet, daß der Beschichtungsaufbau eine durch phy
sikalisches Aufdampfen aufgebrachte erste Schicht mit einer
Zusammensetzung umfaßt, in der d = 0, e = 0, f = 0 und x = 1
ist.
25. Beschichtetes Schneidwerkzeug nach Anspruch 24, dadurch
gekennzeichnet, daß die erste Schicht eine Zusammensetzung
aufweist, in der b = 0 und c = 0 ist.
26. Beschichtetes Schneidwerkzeug nach Anspruch 23, dadurch
gekennzeichnet, daß der Aluminiumgehalt und der Sauerstoff
gehalt in Richtung auf die Aluminiumoxidschicht hin zunehmen.
27. Beschichtetes Schneidwerkzeug mit einer Spanfläche und
einer Freifläche, einer am Zusammentreffen der Spanfläche
und der Freifläche gebildeten Schneidkante, einem Substrat
und einer an das Substrat gebundenen Beschichtung, wobei die
Beschichtung einen Beschichtungsaufbau aufweist, der eine
durch physikalisches Aufdampfen aufgebrachte erste Schicht
aus einer Legierung eines Metalls der Gruppe IVB und Alumi
nium sowie eine durch physikalisches Aufdampfen auf die
erste Schicht aus der Legierung des Metalls der Gruppe IVB
und Aluminium direkt aufgebrachte Aluminiumoxidschicht
umfaßt.
28. Beschichtetes Schneidwerkzeug nach Anspruch 27, dadurch
gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der ersten Schicht
aus der Legierung des Metalls der Gruppe IVB und Aluminium
der folgenden Gleichung entspricht:
(Tia Zrb Hfc Al1-(a+b+c)) (N),worin 0 a < 1; 0 b < 1; 0 c < 1; und a + b + c < 1
ist.
29. Beschichtetes Schneidwerkzeug nach Anspruch 28, gekenn
zeichnet durch eine zweite, durch physikalisches Aufdampfen
aufgebrachte Schicht aus einer Legierung eines Metalls der
Gruppe IVB und Aluminium, wobei die erste Schicht aus der
Legierung des Metalls der Gruppe IVB und Aluminium direkt
auf die zweite Schicht aus der Legierung des Metalls der
Gruppe IVB und Aluminium aufgebracht ist.
30. Beschichtetes Schneidwerkzeug nach Anspruch 29, dadurch
gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der zweiten Schicht
aus der Legierung des Metalls der Gruppe IVB und Aluminium
der folgenden Gleichung entspricht:
(Tia Zrb Hfc Al1-(a+b+c)) (N)worin 0 a < 1; 0 b < 1; 0 c < 1; und a + b + c < 1
ist.
31. Beschichtetes Schneidwerkzeug nach Anspruch 29, dadurch
gekennzeichnet, daß die zweite Schicht aus der Legierung des
Metalls der Gruppe IVB und Aluminium ferner eines oder meh
rere der Elemente Vanadium, Tantal und Niob umfaßt.
32. Beschichtetes Schneidwerkzeug nach Anspruch 27, dadurch
gekennzeichnet, daß die erste Schicht aus der Legierung des
Metalls der Gruppe IVB und Aluminium ferner eines oder meh
rere der Elemente Vanadium, Tantal und Niob umfaßt.
33. Beschichtetes Schneidwerkezeug nach Anspruch 27, dadurch
gekennzeichnet, daß das Substrat aus der aus Hartmetallen,
Cermets, Keramiken, Werkzeugstählen, Cermets und Keramiken
auf der Grundlage von kubischem Bornitrid und Zusammenset
zungen auf Diamantgrundlage bestehenden Gruppe ausgewählt
ist.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US08/570,852 | 1995-12-12 | ||
US08/570,852 US5879823A (en) | 1995-12-12 | 1995-12-12 | Coated cutting tool |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19651592A1 true DE19651592A1 (de) | 1997-06-19 |
DE19651592B4 DE19651592B4 (de) | 2005-11-24 |
DE19651592C5 DE19651592C5 (de) | 2010-08-19 |
Family
ID=24281317
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19651592A Expired - Fee Related DE19651592C5 (de) | 1995-12-12 | 1996-12-11 | Beschichtetes Schneidwerkzeug |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5879823A (de) |
JP (1) | JP2742049B2 (de) |
DE (1) | DE19651592C5 (de) |
GB (1) | GB2308134B (de) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19811655A1 (de) * | 1998-03-18 | 1999-09-23 | Schaeffler Waelzlager Ohg | Kunststoffbauteil |
DE10109523A1 (de) * | 2001-02-28 | 2002-09-05 | Ceram Tec Ag Innovative Cerami | Hartstoffbeschichtetes Bauteil mit Zwischenschicht zur Verbesserung der Haftfestigkeit der Beschichtung |
WO2009003756A1 (de) | 2007-07-02 | 2009-01-08 | Walter Ag | Beschichtetes werkzeug |
WO2009003755A2 (de) | 2007-07-02 | 2009-01-08 | Walter Ag | Werkzeug mit mehrlagiger metalloxidbeschichtung und verfahren zum herstellen des beschichteten werkzeugs |
DE102008013966A1 (de) * | 2008-03-12 | 2009-09-17 | Kennametal Inc. | Hartstoffbeschichteter Körper |
DE102009001765A1 (de) * | 2009-03-23 | 2010-09-30 | Walter Ag | PVD beschichtetes Werkzeug |
DE102009044927A1 (de) * | 2009-09-23 | 2011-04-07 | Walter Ag | Werkzeugbeschichtung |
US8025991B2 (en) | 2004-09-14 | 2011-09-27 | Walter Ag | Cutting tool with oxide coating |
Families Citing this family (64)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19824212B4 (de) * | 1997-06-13 | 2007-11-15 | Nachi-Fujikoshi Corp. | Hartmetall-Kugelschneidkopfschaftfräser |
SE520802C2 (sv) | 1997-11-06 | 2003-08-26 | Sandvik Ab | Skärverktyg belagt med aluminiumoxid och process för dess tillverkning |
SE518134C2 (sv) * | 1997-12-10 | 2002-09-03 | Sandvik Ab | Multiskiktbelagt skärverktyg |
JP3031907B2 (ja) | 1998-03-16 | 2000-04-10 | 日立ツール株式会社 | 多層膜被覆部材 |
DE69901985T2 (de) * | 1998-07-29 | 2002-12-05 | Toshiba Tungaloy Co Ltd | Aluminiumoxid-beschichteter Werkzeugteil |
US6251508B1 (en) * | 1998-12-09 | 2001-06-26 | Seco Tools Ab | Grade for cast iron |
US6221469B1 (en) * | 1998-12-09 | 2001-04-24 | Seco Tools Ab | Grade for steel |
SE519108C2 (sv) * | 1999-05-06 | 2003-01-14 | Sandvik Ab | Belagt skärverktyg för bearbetning av grått gjutjärn |
SE520795C2 (sv) | 1999-05-06 | 2003-08-26 | Sandvik Ab | Skärverktyg belagt med aluminiumoxid och process för dess tillverkning |
SE521284C2 (sv) * | 1999-05-19 | 2003-10-21 | Sandvik Ab | Aluminiumoxidbelagt skärverktyg för metallbearbetning |
US6599062B1 (en) | 1999-06-11 | 2003-07-29 | Kennametal Pc Inc. | Coated PCBN cutting inserts |
SE9903089D0 (sv) * | 1999-09-01 | 1999-09-01 | Sandvik Ab | Coated grooving or parting insert |
SE9903122D0 (sv) | 1999-09-06 | 1999-09-06 | Sandvik Ab | Coated cemented carbide insert |
DE60012850T2 (de) * | 1999-11-25 | 2005-02-03 | Seco Tools Ab | Beschichteter Schneideinsatz für Fräs- und Drehanwendungen |
US6410086B1 (en) | 1999-11-26 | 2002-06-25 | Cerel (Ceramic Technologies) Ltd. | Method for forming high performance surface coatings and compositions of same |
US6572991B1 (en) | 2000-02-04 | 2003-06-03 | Seco Tools Ab | Deposition of γ-Al2O3 by means of CVD |
DE60038783D1 (de) * | 2000-03-09 | 2008-06-19 | Sulzer Metaplas Gmbh | Hartschichten auf Komponenten |
DE10115390A1 (de) | 2000-12-22 | 2002-06-27 | Mitsubishi Materials Corp Toki | Beschichtetes Schneidwerkzeug |
JP2002346812A (ja) * | 2001-05-25 | 2002-12-04 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 切削工具及びホルダ付き工具 |
US6862966B2 (en) * | 2001-06-13 | 2005-03-08 | Toledo Metal Spinning Company | Device to cut and deburr metal and method of use thereof |
SE523826C2 (sv) * | 2002-03-20 | 2004-05-25 | Seco Tools Ab | Skär belagt med TiAIN för bearbetning med hög hastighet av legerade stål, sätt att framställa ett skär och användning av skäret |
SE526337C2 (sv) * | 2002-07-16 | 2005-08-23 | Seco Tools Ab | PVD-belagt skärverktyg med åtminstone ett skikt av (Ti, A1) (O, N) samt metod för att framställa detsamma |
AU2003254888A1 (en) | 2002-08-08 | 2004-02-25 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho | PROCESS FOR PRODUCING ALUMINA COATING COMPOSED MAINLY OF Alpha-TYPE CRYSTAL STRUCTURE, ALUMINA COATING COMPOSED MAINLY OF Alpha-TYPE CRYSTAL STRUCTURE, LAMINATE COATING INCLUDING THE ALUMINA COATING, MEMBER CLAD WITH THE ALUMINA COATING OR LAMINATE COATING, PROCESS FOR PRODUCING THE MEMBER, AND PHYSICAL EVAPORATION APPARATU |
WO2004015162A1 (ja) | 2002-08-09 | 2004-02-19 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho | α型結晶構造主体のアルミナ皮膜の製造方法 |
US6906295B2 (en) * | 2003-02-20 | 2005-06-14 | National Material L.P. | Foodware with multilayer stick resistant ceramic coating and method of making |
US6942935B2 (en) | 2003-03-24 | 2005-09-13 | National Material Ip | Foodware with a tarnish-resistant ceramic coating and method of making |
DE10319169A1 (de) * | 2003-04-29 | 2004-12-02 | Fette Gmbh | Verfahren zur Herstellung gewünschter Oberflächen oder Oberflächenmuster für Schneidwerkzeuge |
JP4427271B2 (ja) | 2003-04-30 | 2010-03-03 | 株式会社神戸製鋼所 | アルミナ保護膜およびその製造方法 |
JP4714022B2 (ja) * | 2003-06-27 | 2011-06-29 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 工具用表面被覆高硬度材料 |
JP4205546B2 (ja) * | 2003-09-16 | 2009-01-07 | 株式会社神戸製鋼所 | 耐摩耗性、耐熱性および基材との密着性に優れた積層皮膜の製造方法 |
US7455918B2 (en) * | 2004-03-12 | 2008-11-25 | Kennametal Inc. | Alumina coating, coated product and method of making the same |
KR100665266B1 (ko) * | 2005-03-24 | 2007-01-09 | 대구텍 주식회사 | 복수피복층이 형성된 초경합금 절삭공구 |
ATE541068T1 (de) * | 2005-09-09 | 2012-01-15 | Sandvik Intellectual Property | Pvd-beschichtetes schneidwerkzeug |
SE529015C2 (sv) * | 2005-09-09 | 2007-04-10 | Sandvik Intellectual Property | PVD-belagt skärverktygsskär tillverkat av hårdmetall |
EP2000236A4 (de) * | 2006-03-28 | 2012-01-25 | Sumitomo Metal Ind | Schneidwerkzeug und herstellungsverfahren dafür |
US8080312B2 (en) * | 2006-06-22 | 2011-12-20 | Kennametal Inc. | CVD coating scheme including alumina and/or titanium-containing materials and method of making the same |
CN101110276B (zh) * | 2006-07-21 | 2010-08-25 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 防护膜 |
WO2008041402A1 (fr) * | 2006-10-02 | 2008-04-10 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | outil de découpe d'un revêtement de surface |
US20080090684A1 (en) * | 2006-10-12 | 2008-04-17 | Martinez Kelly M | Dart |
CN101368260A (zh) * | 2007-09-14 | 2009-02-18 | 山特维克知识产权股份有限公司 | 用于在基底上沉积涂层的方法和设备 |
SE531933C2 (sv) | 2007-12-14 | 2009-09-08 | Seco Tools Ab | Belagt hårdmetallskär för bearbetning av stål och rostfria stål |
DE102008013965A1 (de) * | 2008-03-12 | 2009-09-17 | Kennametal Inc. | Hartstoffbeschichteter Körper |
US20100047594A1 (en) * | 2008-08-20 | 2010-02-25 | Aharon Inspektor | Equipment and method for physical vapor deposition |
US8741011B2 (en) * | 2009-04-03 | 2014-06-03 | Sandvik Intellectual Property Ab | Coated cutting tool for metal cutting applications generating high temperatures |
US8021768B2 (en) * | 2009-04-07 | 2011-09-20 | National Material, L.P. | Plain copper foodware and metal articles with durable and tarnish free multiplayer ceramic coating and method of making |
EP2287359B1 (de) * | 2009-07-03 | 2012-05-23 | Sandvik Intellectual Property AB | Beschichteter Schneidewerkzeugeinsatz |
DE102009028577B4 (de) | 2009-08-17 | 2012-02-16 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Beschichtete Körper aus Metall, Hartmetall, Cermet, Keramik oder Halbleiterwerkstoff sowie Verfahren zur Beschichtung derartiger Körper |
IL202549A (en) * | 2009-12-06 | 2015-02-26 | Iscar Ltd | Coated product and method of making coated product |
TWI471444B (zh) * | 2010-11-16 | 2015-02-01 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 殼體及其製作方法 |
TWI467038B (zh) * | 2010-12-09 | 2015-01-01 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 殼體及其製作方法 |
US8507082B2 (en) | 2011-03-25 | 2013-08-13 | Kennametal Inc. | CVD coated polycrystalline c-BN cutting tools |
US9028953B2 (en) | 2013-01-11 | 2015-05-12 | Kennametal Inc. | CVD coated polycrystalline c-BN cutting tools |
DE112014001520B4 (de) | 2013-03-21 | 2023-06-15 | Kennametal Inc. | Beschichtungen für Schneidwerkzeuge |
US9371580B2 (en) | 2013-03-21 | 2016-06-21 | Kennametal Inc. | Coated body wherein the coating scheme includes a coating layer of TiAl2O3 and method of making the same |
DE112014001562B4 (de) | 2013-03-21 | 2019-08-08 | Kennametal Inc. | Beschichtungen für Schneidwerkzeuge |
DE102013104254A1 (de) * | 2013-04-26 | 2014-10-30 | Walter Ag | Werkzeug mit CVD-Beschichtung |
US9643260B2 (en) | 2014-01-22 | 2017-05-09 | The Boeing Company | Systems and methods for forming an opening in a stack |
US9719175B2 (en) | 2014-09-30 | 2017-08-01 | Kennametal Inc. | Multilayer structured coatings for cutting tools |
US9650714B2 (en) | 2014-12-08 | 2017-05-16 | Kennametal Inc. | Nanocomposite refractory coatings and applications thereof |
US9650712B2 (en) | 2014-12-08 | 2017-05-16 | Kennametal Inc. | Inter-anchored multilayer refractory coatings |
US9650713B2 (en) | 2015-03-12 | 2017-05-16 | Kennamtetal Inc. | PVD-coated cutting tools and method for making the same |
DE102016108734B4 (de) | 2016-05-11 | 2023-09-07 | Kennametal Inc. | Beschichteter Körper und Verfahren zur Herstellung des Körpers |
JP6774649B2 (ja) * | 2016-09-28 | 2020-10-28 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐剥離性を発揮する表面被覆切削工具 |
KR102297711B1 (ko) * | 2019-12-20 | 2021-09-03 | 한국야금 주식회사 | 경질 피막이 형성된 절삭공구 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4115616A1 (de) * | 1991-03-16 | 1992-09-17 | Leybold Ag | Oberflaechenschicht fuer substrate insbesondere fuer arbeitswerkzeuge |
DE4408250A1 (de) * | 1993-07-12 | 1995-01-19 | Oriental Engineering Co | Verfahren zum Beschichten der Oberfläche eines Substrats und Beschichtungsmaterial |
Family Cites Families (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH542678A (de) * | 1969-06-02 | 1973-10-15 | Suisse De Rech S Horlogeres La | Verbundwerkstoff für Schneidwerkzeuge |
DE2525185C3 (de) * | 1975-06-06 | 1986-04-17 | Fried. Krupp Gmbh, 4300 Essen | Hartmetallkörper |
JPS542982A (en) * | 1977-06-09 | 1979-01-10 | Yoichi Murayama | Preparation of tool covered with aluminum oxide |
JPS54158775A (en) * | 1978-06-05 | 1979-12-14 | Toshiba Tungaloy Co Ltd | Compound coated cutting tool |
JPS5773178A (en) * | 1980-10-23 | 1982-05-07 | Hitachi Ltd | Production of oxide |
JPS57120667A (en) * | 1981-01-17 | 1982-07-27 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Lamination coating material |
JPS5858273A (ja) * | 1981-10-01 | 1983-04-06 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 被覆超硬合金 |
JPS6179760A (ja) * | 1984-09-27 | 1986-04-23 | Shizuokaken | 活性化反応性イオンプレ−テイングによるアルミニウム酸化物被膜形成法 |
US4761346A (en) * | 1984-11-19 | 1988-08-02 | Avco Corporation | Erosion-resistant coating system |
DE3545636A1 (de) * | 1985-12-21 | 1987-06-25 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Hartstoffbeschichtung auf grundkoerpern |
US4696352A (en) * | 1986-03-17 | 1987-09-29 | Gte Laboratories Incorporated | Insert for a drilling tool bit and a method of drilling therewith |
CH669347A5 (de) * | 1986-05-28 | 1989-03-15 | Vni Instrument Inst | |
US5035923A (en) * | 1987-10-01 | 1991-07-30 | Gte Laboratories Incorporated | Process for the deposition of high temperature stress and oxidation resistant coatings on silicon-based substrates |
US4828612A (en) * | 1987-12-07 | 1989-05-09 | Gte Valenite Corporation | Surface modified cemented carbides |
US5079089A (en) * | 1988-07-28 | 1992-01-07 | Nippon Steel Corporation | Multi ceramic layer-coated metal plate and process for manufacturing same |
JPH0295502A (ja) * | 1988-09-28 | 1990-04-06 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 高速切削用チップ |
US4984940A (en) * | 1989-03-17 | 1991-01-15 | Kennametal Inc. | Multilayer coated cemented carbide cutting insert |
US5075181A (en) * | 1989-05-05 | 1991-12-24 | Kennametal Inc. | High hardness/high compressive stress multilayer coated tool |
JP2580330B2 (ja) * | 1989-06-14 | 1997-02-12 | 神鋼コベルコツール株式会社 | 耐摩耗性皮膜 |
DE69007885T2 (de) * | 1989-07-13 | 1994-07-28 | Seco Tools Ab | Mit mehreren Oxiden beschichteter Karbidkörper und Verfahren zu seiner Herstellung. |
EP0446375B1 (de) * | 1989-09-29 | 1994-04-27 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Oberflächenbeschichtete hartwerkstoffe für schneidende und verschleissfeste werkzeuge |
KR930010710B1 (ko) * | 1989-09-29 | 1993-11-08 | 스미토모 일렉트릭 인더스트리즈, 엘티디. | 절삭공구 또는 내마모성공구용 표면피복 경질부재 |
US5264297A (en) * | 1990-03-09 | 1993-11-23 | Kennametal Inc. | Physical vapor deposition of titanium nitride on a nonconductive substrate |
CA2090854C (en) * | 1990-09-17 | 1998-10-06 | Anakkavur T. Santhanam | Cvd and pvd coated cutting tools |
US5325747A (en) * | 1990-09-17 | 1994-07-05 | Kennametal Inc. | Method of machining using coated cutting tools |
US5250367A (en) * | 1990-09-17 | 1993-10-05 | Kennametal Inc. | Binder enriched CVD and PVD coated cutting tool |
US5266388A (en) * | 1990-09-17 | 1993-11-30 | Kennametal Inc. | Binder enriched coated cutting tool |
JP3251579B2 (ja) * | 1990-11-29 | 2002-01-28 | 株式会社東芝 | 携帯可能電子装置 |
JP2985300B2 (ja) * | 1990-12-25 | 1999-11-29 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質層被覆サーメット |
EP0496053B1 (de) * | 1991-01-21 | 1995-07-26 | Balzers Aktiengesellschaft | Beschichtetes hochverschleissfestes Werkzeug und physikalisches Beschichtungsverfahren zur Beschichtung von hochverschleissfesten Werkzeugen |
US5330853A (en) * | 1991-03-16 | 1994-07-19 | Leybold Ag | Multilayer Ti-Al-N coating for tools |
JPH04308075A (ja) * | 1991-04-05 | 1992-10-30 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 硬物質体 |
US5310607A (en) * | 1991-05-16 | 1994-05-10 | Balzers Aktiengesellschaft | Hard coating; a workpiece coated by such hard coating and a method of coating such workpiece by such hard coating |
US5188489A (en) * | 1991-05-31 | 1993-02-23 | Kennametal Inc. | Coated cutting insert |
JP2816786B2 (ja) * | 1992-09-16 | 1998-10-27 | 健 増本 | Al−Ti系又はAl−Ta系耐摩耗性硬質膜及びその製造方法 |
SE501527C2 (sv) * | 1992-12-18 | 1995-03-06 | Sandvik Ab | Sätt och alster vid beläggning av ett skärande verktyg med ett aluminiumoxidskikt |
EP0616050B1 (de) * | 1993-03-16 | 1997-08-13 | Balzers Aktiengesellschaft | Verfahren zur Standzeiterhöhung von Werkzeugen und Verschleissschutz-beschichtetes Werkzeug |
JP3159572B2 (ja) * | 1993-07-26 | 2001-04-23 | 東芝タンガロイ株式会社 | 高強度被覆物体 |
CH686767A5 (de) * | 1993-07-29 | 1996-06-28 | Balzers Hochvakuum | Beschichtetes Werkzeug und dessen Verwendung. |
EP0709483B1 (de) * | 1994-10-28 | 2002-04-10 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Mehrschichtiges Material |
DE19518779C1 (de) * | 1995-05-22 | 1996-07-18 | Fraunhofer Ges Forschung | Verbundkörper aus vakuumbeschichtetem Sinterwerkstoff und Verfahren zu seiner Herstellung |
-
1995
- 1995-12-12 US US08/570,852 patent/US5879823A/en not_active Expired - Lifetime
-
1996
- 1996-10-25 GB GB9622292A patent/GB2308134B/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-12-11 JP JP8330781A patent/JP2742049B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1996-12-11 DE DE19651592A patent/DE19651592C5/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4115616A1 (de) * | 1991-03-16 | 1992-09-17 | Leybold Ag | Oberflaechenschicht fuer substrate insbesondere fuer arbeitswerkzeuge |
DE4408250A1 (de) * | 1993-07-12 | 1995-01-19 | Oriental Engineering Co | Verfahren zum Beschichten der Oberfläche eines Substrats und Beschichtungsmaterial |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
KNOTEK, et.al.: Internat. Pulvermet. Tagung, DDR, Dresden (1985) S. 181-196 * |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19811655A1 (de) * | 1998-03-18 | 1999-09-23 | Schaeffler Waelzlager Ohg | Kunststoffbauteil |
DE10109523A1 (de) * | 2001-02-28 | 2002-09-05 | Ceram Tec Ag Innovative Cerami | Hartstoffbeschichtetes Bauteil mit Zwischenschicht zur Verbesserung der Haftfestigkeit der Beschichtung |
US8025991B2 (en) | 2004-09-14 | 2011-09-27 | Walter Ag | Cutting tool with oxide coating |
WO2009003755A2 (de) | 2007-07-02 | 2009-01-08 | Walter Ag | Werkzeug mit mehrlagiger metalloxidbeschichtung und verfahren zum herstellen des beschichteten werkzeugs |
DE102007030734A1 (de) | 2007-07-02 | 2009-01-08 | Walter Ag | Beschichtetes Werkzeug |
DE102007030735A1 (de) | 2007-07-02 | 2009-01-08 | Walter Ag | Werkzeug mit mehrlagiger Metalloxidbeschichtung |
WO2009003756A1 (de) | 2007-07-02 | 2009-01-08 | Walter Ag | Beschichtetes werkzeug |
US8491996B2 (en) | 2007-07-02 | 2013-07-23 | Walter Ag | Coated tool |
US8871362B2 (en) | 2007-07-02 | 2014-10-28 | Walter Ag | Tool with multi-layered metal oxide coating |
DE102008013966A1 (de) * | 2008-03-12 | 2009-09-17 | Kennametal Inc. | Hartstoffbeschichteter Körper |
DE102009001765A1 (de) * | 2009-03-23 | 2010-09-30 | Walter Ag | PVD beschichtetes Werkzeug |
US8709583B2 (en) | 2009-03-23 | 2014-04-29 | Walter Ag | PVD coated tool |
DE102009044927A1 (de) * | 2009-09-23 | 2011-04-07 | Walter Ag | Werkzeugbeschichtung |
US8858666B2 (en) | 2009-09-23 | 2014-10-14 | Walter Ag | Tool coating |
EP2480701B1 (de) * | 2009-09-23 | 2017-12-27 | Walter AG | Werkzeugbeschichtung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH09192906A (ja) | 1997-07-29 |
GB2308134B (en) | 1999-09-29 |
US5879823A (en) | 1999-03-09 |
JP2742049B2 (ja) | 1998-04-22 |
GB2308134A (en) | 1997-06-18 |
DE19651592C5 (de) | 2010-08-19 |
DE19651592B4 (de) | 2005-11-24 |
GB9622292D0 (en) | 1996-12-18 |
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