DE1490539A1 - Induktionsfreie,bifilare Feldplatte - Google Patents

Induktionsfreie,bifilare Feldplatte

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DE1490539A1
DE1490539A1 DE19641490539 DE1490539A DE1490539A1 DE 1490539 A1 DE1490539 A1 DE 1490539A1 DE 19641490539 DE19641490539 DE 19641490539 DE 1490539 A DE1490539 A DE 1490539A DE 1490539 A1 DE1490539 A1 DE 1490539A1
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DE
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semiconductor
carrier
cover plate
magnetic
field
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DE19641490539
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Paul Hini
Hans Martens
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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N50/00Galvanomagnetic devices
    • H10N50/10Magnetoresistive devices

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  • Electromagnets (AREA)

Description

  • Induktionsfreie, bifilare Feldplatte.
  • Bringt man einen magnetfeldabhängigen Halbleiterwiderstand in ein magnetisches Wechselfeld, so treten am Ausgang solcher "Feldplatten" im allgemeinen neben der Nutzspannung überlagerte, nach dem Induktionsgesetz in dem Halbleitermaterial induzierte Spannungen auf.
  • Zur Kompensation dieser induzierten Spannungen sind bereits einige Vorschläge bekannt. Beispielsweise werden in den beiden deutschen Gebrauchsmustern 1856 580 und (Anm.S 42 ¢06/21g-PLA 62/1612) Anordnungen von magnetfeldabhängigen Widerständen beschrieben, die ähnlich wie bei bifilaren Wicklungen mit Drähten, im Magnetfeld eine möglichst kleine für die Spannungserzeugung wirksame Fläche bilden.
  • Zu diesem Zweck werden zwei im gleichen Magnetfeld befindliche Halb-Leiterkörper verwendet und so in Reihe geschaltet, dal3 sich die in den beiden Halbleiterkörpern induzierten Spannungen voneinander sub-
    trahieren, wenn die Flächen der beiden fialbleiterkörper weitgehend
    gleich sind. Infolge von Fertigungstoleranzen ist es jedoch sehr
    schwierig, die Flächen der beiden Halbleiterkörper so genau gleich.
    und das Magnetfeld über beide Halbleiterkörper :,o weitgehend ho:no"@,n
    zu machen, da( durch die gegensinnige Schaltung der beiden H311)-
    Leiterkörper die Spannung auf beispielsweise 1 % reduziert wird.
    Gegenstand der Erfindung ist ein Verfuhren zur Komf)en:,ztion der im
    magnetischen Wechselfeld in ei^,#r Halblciteranordnizrg induziurt@r
    Spannungen, wobei die magnetf(@ Ld@ibh,;ingige Halbleiteranordnung @Lu:i
    mindestens °_ inem Paar nebeneinander' ier?end-2r, bi f i l zrer Ha'_ b l ei te.r-
    widerstände be:tetit. Die i:rfindung besterit darin, der r.:=ir@t@:o.i.e
    Nechselflui3 gegenüber der Hal b1ei teranordnung räumlich unymmet r,ir,-c':
    geführt wird.
    Durch das Verfahren nach der Erfindung i:;t es möglich, die GrundweLl.@
    und Oberwellen der induzierten Spannung auf weniger als 0,1 io zu ko.:.-
    pensieren, wobei jeweils diejenigen Oberwellen ausgeglichen werden,
    die bei einer Anwendung der Feldplatte am meisten stören.
    Liegen beispielsweise Anordnungen von zwei Halbleiterköppern oder Teilen eines Halbleiterkörpers, die in bekannter Weise gegensinnig .in Reihe oder parallel geschaltet sind, in einem magnetischen Wechselfeld, so ermöglicht es das erfindungsgemäße Verfahren, Fertigungsabweichungen in der Größe der Fläche der Sinzelnalbleiterkörper, ungleiche Kraftflußdichte in den beiden Halbleiterkbrpern u,w. durch Jugtierung des jeden Halbleiterkörper durchsetzenden magnetischen Flusses zu kompensieren.
  • Während der Justierung werden die beiden gegensinnig geschalteten Halbleiterkörper in ein magnetisches Wechselfeld gebracht und ihre Gesamtspannung gemessen, z.8. oszillographisch sichtbar gemacht. Die Halbleiteranordnungen lassen sich dann so justieren, daß die Gesamtspannung der Halbleitereinzelwiderstände praktisch zu Null wird.
  • An fiand von einigen schematischen Zeichnungen wird da:- erfindungsgemäße Verfahren näher erläutert. Es zeigen: Fig. 1 zwei bifilar in Reihe geochaltete Halbleiterkörper, Fig. 2 eine Feldl!l.,itte mit :,chrcil- geschliffener Deckplntte, Fig. 3 Feldplatten mit ferromagnetischem Zusatzteil im Luftipalt eine: Magneten, Fig. 4 eine Anordnung, bei der zwei Bleichgroße Teile einer Feldplatte von'en'tgegengesetzten magnetischen Flüssen durchsetzt werden, Fig. 5 und6 zwei Auiführungsformen von Feldplatten für die Anordnung häch Pig. 4, Fig: @`I @ei@i@Doppelmagnetsystem, Fig. 8 eine Feldplatte mit einer-Deckplatte, deren magnetische Teile der Form der Halbleiterstreifen angepaßt sind, Pig. 9 die Aufsicht einer Feldplatte für die. Anordnung nach Fig. B. In@Fig. 1 wird eine Anordnung von zwei bifilar in Reihe geschalteten Halbleiterkörpern gezeigt, die sich sowohl durch verhältnismäßig nied-Yige Herstellungskosten als auch durch gute Justierbarkeit nach dem erfindungsgemäßen Verfahren auszeichnet. Die beiden auf einer Trägere platte 1 aufgekitteten Halbleiterkörper 2 können sowohl, wie gezeichnet, bereits in sich bifilar geschaltet sein, z.H. mit einer Halbleiterbrücke 3, so daß nur zwei Aneehlu81ötungen 4 für die Zulei-, tungen 5 erforderlich sind. Es können auch von jedem Halbleiterkörper zwei verdrillte Drähte herausgeführt und im richtigen Polungssinne miteinander verbunden werden. Über. der Trägerplatte mit den beiden Halbleiterkörpern ist eine Deckplatte 6 angebracht. Die Deckplatte ist vor der-Justierung noch nicht fest mit der Trägerplatte-zusammengefügt. Träger- und Deckplatte bestehen in diesem Beispiel aus ferro-oder ferrimagnetischenWerkstoffen, z.H. Eisen,/u=metall-oder Ferrit. Die ganze Anordnung nach.Pigur 1 wird zur Justierung einem magneti-schen Wechselfeld ausgesetzt, dessen Richtung senkrecht auf den Trä- ger und Deckplatten steht; zum Beispiel kann die Anordnung in den Luft. spalt eines Elektromagneten eingesetzt werden. Dies geschieht zweckmäßig unter etwa den gleichen Verhältnissen, unter denen die magnet-feldabhängigen widerstände später betrieben werden sollen.
  • Ganz älMlioh kann eine Feldplatte auch unmittelbar in den Luftspalt eines Magneten eingesetzt, justiert und in der justierten Lage befeetigt werden. 'Dabei kann die Deckplatte auch fehlen; ebenso braucht die Trägerplatte nicht aus magnetischem Material zu bestehen. #Befinden sieh im magnetischen Kreis des den Halbleiter durchsetzendbn.Wecheelferldea magnetische Stoffe, z.8. die Träger- und Deckplat-, ten, so werden.in den beiden Halbleiterkörpern Spannungen induziert, die infolge von Sättigung, Remanenz und anderen magnetischen Materialeigenaehaften von der Kurvenform der Erregerspannung für das magnetische Wechselfeld mehr oder weniger abweichen. Solche Störungen des Magnetfeldes können unter anderem@dadurch entstehen, daß Träger und/o.der Deckplatten nicht völlig homogen sind und daß sich in ihnen .begrenzte übersättigte Bereiche bilden. Wird z.8. das magnetische Wechselfeld mit einer sinuaförmigen Spannung oder einem sinusförmigen Strom der Frequenz f erregt, dann induziert das Magnetfeld in jedem der beiden Halbleiterkörper eine Spannung, die außer der Grundfrequenz fauch Oberwellen enthält.
  • Die Justierung des Magnetfeldes nach dem erfindungsgemäßen Verfahren kann in der Anordnung nach Figur 1 entweder durch seitliches Ver- schieben oder durch Verdrehen der Deckplatte 6 erfolgen. - Im allge- meinen ist die Dicke D der Deckplatte groß im Verhältnis zum-Luftspalt d zwischen Deck- und Trägerplatte. Dann ist folglich die Flußdichte des Streufeldes, das die beiden Halbleiterkörper 2 außerhalb der Deckplatte 6 in der Nähe der Anechlußlötungen 4 trifft, klein im .Verhältnis zur Flußdichte des Magnetfeldes unter der Deckplatte. Aue diesem Grunde bewirkt eine Verdrehung der Deckplatte eine starke Vergrößerung des magnetischen Flusses in der einen Halbleiterschleife und eine entsprechende Verringerung in der anderen.
  • In einem Auqführungebeiapiel beträgt die.Dicke de r.Deckplatte D @# 0,5 mm und der Luftspalt d =-0,03 an. Durch Verdrehen der@Deekplatte löQt sieh in diesem Falle die Spannung am Ausgang de»/ bifilar in Reihe geschalteten Halbleiterkörper um mehr als ± 10 % der Spannung eines Halbleiterkörpers abgleichen. Als Genauigkeit des Abgleichs ein- schließlich der Veränderung während der späteren Befestigung der Deckplatte auf der Trägerplatte durch Verkittung oder andere Verfahren wurden bei dieser Ausführungsform Fehler von weniger als ein Tausendstel der Spannung in einem Halbleiterkörper bei Magnetfeldfrequenzen zwischen 50 und 5000 Hz erreicht. Der Abgleich von Oberwellen beruht darauf, daß Oberwellen erzeugende Bereiche der ferro- oder ferrimagnetischen Träger- oder Deckplatten 'hei der Justierung in eine solche Zage gebracht werden, daß in beiden Halbleiterkörpern insgesamt ein gleich großer Anteil an Oberwellenspannungen induziert wird. - Bei der Kompensierung der induzierten Oberwellenspannungen kann auch das konzentrierte Streufeld an den Kanten von Deckplatte oder Trägerplatte ausgenutzt werden. Bei Verdrehen oder Verschieben der Platten gegeneinander wird die Wirkung dieses Streufelds auf die Halbleiterstreifen geändert und trägt somit zur Justierung des Magnetfeldes bei.
  • Die Figur 2 zeigt eine Anordnung mit auf den Winkel a schräg geschliffene-Deckplatte 7 zwischen den Polschuhen 8 und 9 eines Elektromagneten. Mit 1 ist wieder»die Trägerplatte und mit 2 sind die Halbleiterkörper bezeichnet.. Ebenso wie bei nichtparallelem Luftspalt d am Ausgang der bifilaren Anordnung die Grundwelle und Oberwellen erscheinen, lassen sich mit einem absichtlich nicht parallel gehaltenen Luftspalt Grundwellen und Oberwellen abgleichen. Die Deckplatte 7 kann in diesem lalle auch eoheibenföraig rund sein, um bei Verdrehung nur die Dickenänderung und damit die Änderung des Luftspaltes d über den Halbleiterkörpern wirksam werden zu lassen und nicht die Schrägslellung der Kanten. Durch Verdrehen und Verschieben lassen sich bei nicht planparallelen Deckplatten Grundwelle und Oberwellen in mannigfacher Koobination einstellen.
  • In Figur 5 sind zwei übereinander angeordnete, bifilar geschaltete Halbleiterkörper 10 und 11 gezeichnet, die auf Trägerplatten 12 auf-gebracht sind und sich im Luftspalt zwischen den Polschuhen '13 eines Elektromagneten befinden. Die Justierung erfolgt in diesem Ausführungebeispiel dadurch, daß ferro- oder ferrimagnetische Abgleichkörper 14 geeigneter Form und Größe zusätzlich in den Luftspalt ein-gesetzt werden.
  • Es ist auch möglich, auf ähnliche Weise in nur einer Feldplatte, die z.H. ein Paar bifilarer Halbleiterstreifen besitzt, die in ihr im magnetischen Wechselfeld induzierten Spannungen zu kompensieren. Dazu kann in der Deckplatte (oder der Trägerpl=ttte) ein Einschnitt ange-bracht werden, so daß.sich in dem entstehenden verbreiterten Luft-spalt unmittelbar über oder neben den Halbleiterstreifen ein magnetisches Streufeld ausbildet. Nach der ersten Justierung und Befestigung der Deckplatte kann man mit einem in den genannten Einschnitt eingeschobenen aus magnetischem Material bestehenden Schieber einen Feinabgleich ausführen.. Eventuell ist diese Methode auch für sich allein zu einer Justierung des Magnetfeldes nach dem erfindungsgemäßen Verfahren geeignet. Die Träger- und Deckplatten.brauchen hierzu, ebenso wie im Beispiel nach Figur 3, nicht aus magnetischem Material zu bestehen. Die im erfindungsgemäßen Verfahren verwendeten Halbleiterstreifen sind gegenüber dem magnetischen Wechselfeld bifilar angeordnet. Man erreicht im,Prinzip denselben Effekt, wenn ein Halbleiterstreifen U-förmig gebogen ist und das Magnetfeld den einen Schenkel dieses Halbleiters mit entgegengesetzter Richtung durchsetzt wie den anderen. Auch dann resultiert bei nach Größe, Form@und Qualität völlig gleichen Schenkeln keine induzierte Spannung am Ausgang der Halbleiteranordnung. - Da es aber wegen der Fertigungsschwierigkeiten nicht gelingt, völlig homogene Halbleiterplatten herzustellen, kann auch in diesem .Falle das Verfahren nach der Erfindung mit Vorteil angewendet werden. Die Figur 4 zeigt eine justierbare Anordnung eines Einzelhalbleiterkörpers auf einem Träger 15, wobei das Magnetfeld im linken (16) und rechten (17) Teil des Halbleiterkörpers entgegengesetzt gerichtet ist. -Der Halbleiter mit den Schenkeln 16 und 17 ist mit den Zuleitungen 5 und dem Träger 15 in Figur 5 in der Aufsicht gezeichnet. Auch kann der Halbleiter - wie in Figur 6 dargestellt ist - mehrfach gewunden sein. Gleiche Teile in Figur 6 sind ebenso bezeichnet wie in Figur 5. - Das Joch des erregenden Elektromagneten in Figur 4 ist mit 18 und' dessen Spulen sind mit 19 und 20 bezeichnet. Die Ausgangsspännung läßt sich durch Verdrehen und Verschieben des Jochs 18 auf ein Mini-mum abgleichen. Zur Vermeidung von Wirbelströmen können diejenigen Teile des Jochs, die eine zu große Dicke aufweisen, lamelliert sein. Für die Anordnung nach Figur 4 brauchen die Halbleiterkörper nicht unmittelbar auf der Trägerplatte 15 aufgekittet zu sein, sondern sie können auf weiteren kleineren Trägerplättchen, insbesondere aus Ferrit, angebracht sein. Hei dieser Hauart ist es möglich, die Trägerplättchen zunächst noch nicht mit den Trägerplatten 15 zu verkitten, vielmehr können zir Justierung des Magnetfeldes die beiden kleinen Trägerplättchen einzeln verschoben oder verdreht werden. - Es kann in diesem Falle zweckmäßig sein, die beiden Halbleiterkörper jeden für sich bereits bifilar auszubilden. Dann kann.jede der kleinen Trägerplättchen für sich justiert werden.
  • Die Figur 7 gibt ein Beispiel eines Doppelmagnetsystems an, das nach dem bei der Diskussion der Figur 4 erläuterten Prinzip arbeitet. Mit 22 sind die Spulen-, mit 23 der Magnetkern und mit 24 die Polschuhe des Magnetsystems bezeichnet. Die Halbleiterkörper 26 sind auf den Trägerplatten 27 angebracht und in ähnlicher Weise wie in Figur 4 vor die Polschuhe 24 gesetzt. Dadurch, daß die Erregerspulen 22 mehr an den Luftspalt 25 herangeführt sind, werden die für die magnetische Streuung wirksamen Polschuhe 24 kürzer und das Streufeld in der Umgebung des Magneten geringer.
  • Die Ausführungsformen nach den Figuren 4 und 7 vermeiden den folgenden Nachteil: Wenn der Luftspalt d in der Anordnung nach Figur 1 über den beiden Halbleiterkörpern etwas verschieden groß ist, dann sind die magnetischen Induktionen .in den beiden Halbleiterkörpern nicht gleich, sondern verhalten sich zueinander umgekehrt proportional wie die Luftspaltlängen..Schrumpft der Kitt beim Aushärten nach der JucitierunR über den beiden Halbleitern um z.B. 1 % unterschiedlich, so-erhält die Ausgangsspannung wieder einen Fehler in Höhe von 1 % der Spannung in einem Einzelhalbleiter. Bei den Bauformen nach den Figuren 4 und 7 kann sich ein ungleicher Luftspalt nur unwesentlich auswirken, da der auf der einen Seite druch den Luftspalt in die Trägerplatte eintretende F1uß taet vollständig über den Luftspalt auf der anderen Seite des Halbleiterkörpers wieder in das Magnetsystem zurückgeht. Die Nutzflüsse der beiden Polschuhe 24 können höchstens infolge von Streuflüssen etwas ungleich werden.
  • Je kleiner die in einem Einzelhalbleiterkörper induzierte Spannung ist, desto kleiner läßt sich auch,die Gesamtspannung ein@;tellen, wenn zwei dieser Einzelhalbleiterkörper in Gegenreihenschaltung betrieben werden. Aus diesem Grunde kann es zweckmäßig sein, sowohl Anordnungen nach Figur 1 als auch nach Figur 4 mit den in Figur 8 abgebildeten Deckplatten oder sonstigen magnetischen Teilen 30 als unmittelbares Gegenstück zu den Halbleiterkörpern 31 auf der Trägerplatte 32 zu. verwenden. Der magnetische Teil 30 kann z.B. aus geschichteten Blechen 33 bestehen und mi.t Isoliermaterial 34, in2be:@ondere Kunstharz, verklebt und vergossen und an den Stirnflächen 35 überschliffen werden. Der Halbleiterkörper 31 ist in Figur 9 in der Aufsicht gezeichnet. Auf einer Trägerplatte 32 liegen die Halbleiterstreifen 31. Die Zuleitungen sind wieder mit 5 bezeichnet. Gemäß dem bei der Disku:3-sion der Figur 4 beschriebenen Prinzip werden in Figur 8 nur die zwischen den vorstehenden Bereichen 36 der magnetischen Körper 33 vorhandenen Streufelder Spannungen im Halbleiterkörper 31 induziert. Die Gesamtspannung kann durch Ju:3tierung der A'hrper 33 auf ein Ii:inimum abgeglichen werden.
  • Nach dem Induktionsgesetz wird in einem Leiter nur dann ein Strom kreis induziert, wenn das erregende Magnetfeld den Leiter durchsetzt. Bei dem Halbleiterkreis nach Figur 9 liegen die beiden mit 37 bezeichneten Streifen außerhalb des Stromkreises, daher können die Teile 34 nach Figur 8, die über den genannten Streifen 37 angeordnet sind, ebenso wie die Bleche 33 aus magnetischem Material -.eventuell lamelliert -.bestehen. Die beschriebenen Ausführungsbeispiele zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens lassen auch folgende Änderungen zu: Fast alle Anordnungen können dahingehend abgewandelt werden, daß die Funk-tion der justierbaren Deckplatte von-einem anderen Teil des Erregersysteme, z.B. einer Kernhälfte oder einem Joch, übernommen wird. Bei der Ausführung der magnetischen Teile, z.B. der Deckplatte, kann es Zweckmäßig sein, die Kanten abzurunden oder durch andere Formgebung die Sättigungserscheinungen in den Kanten herabzusetzen oder abzu-wandeln, insbesondere dann, wenn das Sättigungsfeld nicht oder in einer anderen Form benötigt wird.
  • Zur Vermeidung von undefinierten Störeinflüssen ist es zweckmäßig, Deck- und Trägerplatte oder entsprechend andere Teile des Magnetsystems zu erden oder von wieder anderen Teilen des Magnetsystems zu isolieren. Dadurch werden unsichere Kontakte und nicht konstante Kapazitäten und ohmsche Nebenschlüsse vermieden. Beispielsweise ist es günstig, bei dem Einbau der zusammengekitteten Deck- und Trägerplatten in den Luftspalt eines Magneten Isolierfolien von einigen Tausendstel Millimeter Stärke zwischenzufügen.

Claims (1)

  1. Patentansprüche .1. Verfahren zur Kompenuation der im magnetischen Wechselfeld in einer Iialbleiteranordnung induzierten Spannungen, wobei die m<agrIetfeldabhängige Halbleiteranordnung aus mindestens einem-Paar nebeneinanderliegender, bifilarer Halbleiterwiderstände besteht, dadurch gekennzeichnet, daß der magnetische Nechselfluß gegenüber der Halbleiteranordnung räumlich unsymmetri-ch geführt wird. 2.Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in an sich bekannter Weise die Halbleiteranordnung auf eine Trägerplatte auf- gebracht und mit einer Deckpl"tte abgeduckt wird, wobei für di<@ Träger- T)r,clcpl"itten forro- oder fcrrim;igneti:,che:; Pdate- rial, insbe::ondere F@irrit, gewählt wird, und da(' der die fi«lt@li@itc@r- teile senkrecht zu deren Fläche durchictzende magnetische ',Nech:;e1- flu3 dadurch justiert, wird, drl:' die l1latten gegeneinander -,-erdrcht und/oder acitl ich ver:3ct,ebE?n Werder. 3. '@,:rfat:ren nach den .tnsprilcr:en 1 und 2, d-durch f,-f=kennzeici-:ri t, zur Justierung de;; T,1@@netf^. ' tes # s.?in Teil d m igneti:#crE:.-: Erre F:r- systems, ingbe^ondere ein Joch oder ein, Kernhälfte einer i;i@@ktro- magneten, verutellt wird. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 3, dadurch gekennzeichr. t, die auf einer Trägerplatte angeordneten ti":tb'ci terwiderst@inde zur Justierung unmittelbar im Luftspalt eine, Elektromaf;neten ;@rdr-:t und/oder verschoben und in der, justierten Lage befestigt @;jcrden.
    5. flach dem Verfahren gemüf.' einem oder mehreren der Anoprüche 1 bio 4 kompensierte Halbleiteranordnung, dadurch gekennzeichnet, da;? zusätzlich zu den auf Trägerplatten aufgebrachten Hatbleiterwi.der- ständen ferro- oder ferrimagnetische j@bgleichk@irpE@r in den Bernich de:> magnetischen Wechselfeldes eingesetzt sind.
    6. Hatbleiteranordnüng nach den Angprüchen 1 bi:, 5, dadurch gekenn- zeichn@-#t, daß Träger- und Deckplatte oder entsprechend andere Teile des Magnetsystems geerdet und gegen die übrigen Teile des Magnet- :;y,t#@ms i:,oliert oind. 7. fi,illil"iteranordnunrr r.-ich den An:-,pri.ichen 1 bis 6, d,idurch Ff:k@@nn- z@@i c:l:net, daß zwei oder mehr^re gleiche, nebenein@inder-l iegendr# "' . . #i1r. eine-, Fis. #lblei tr#r y. ;tcm:; jeweils entgenenTesetzt fr-;(:richtet@,n m<[email protected]@n Wecri:#elfeldcrn "u:;ge",-etzt :;ind. fialbleiteranordnung naci; an:,prueri ',', dadureh f gE'tr@ennt;@n '@'^«r@eru l <@tt^n, ins Boni: re au:, F@:: rri t, in d!ic- :;ind. `a. !i-i;h1.->itero.nordnung nacri den an:::@riichcn 1 bi:; 8, dadurch rekenn- ze:iehnc:t, da'.s die '1'riir_@r- und/odur die I)f,@cnh@att@@ aus p@iral 1 (!l zu Gien m!igneti:,chen Feld, inien angeordneten fer-ro- odr,r ferrimagneti- :-chen Lamellen (33; mit zwischen den @amell @:ri befindlichen 1:o tiun;;ochichten (34) besteht, derart, daf3 im wesentlichen nur die i:al blei terntreifen (31) selbst vom magneti3chen Wechselfeld durch- :;etzt sind (Figuren ss uni c)).
    -10. Halbleiteranordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Teile (34) der Deckplatte bzw.. Trägerplatte, die den, Bereichen (32) der Feldplatte außerhalb des Halbleiterstromkreises zugeordnot sind, aus ferro- oder ferrimagneti:3chem Material bestehen (Figuren 8 und 9). 11. Halbleiteranordnung nach den vorhergehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, daß die, insbe3ondere scrieibonf;irmig runde, Deck- platte schräg geschliffen ist.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2926786A1 (de) * 1979-07-03 1981-01-15 Licentia Gmbh Magnetisch steuerbarer widerstand
DE4219708A1 (de) * 1991-06-17 1992-12-24 Murata Manufacturing Co Magnetischer fuehler zum erfassen grober und feiner magnetischer muster

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