DE112019006966T5 - Drahterodiermaschine - Google Patents

Drahterodiermaschine Download PDF

Info

Publication number
DE112019006966T5
DE112019006966T5 DE112019006966.7T DE112019006966T DE112019006966T5 DE 112019006966 T5 DE112019006966 T5 DE 112019006966T5 DE 112019006966 T DE112019006966 T DE 112019006966T DE 112019006966 T5 DE112019006966 T5 DE 112019006966T5
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
axis
workpiece
wire
wire edm
working fluid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE112019006966.7T
Other languages
English (en)
Other versions
DE112019006966B4 (de
Inventor
Takashi Yuzawa
Yoichi Otomo
Junichi Shibata
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Publication of DE112019006966T5 publication Critical patent/DE112019006966T5/de
Application granted granted Critical
Publication of DE112019006966B4 publication Critical patent/DE112019006966B4/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23HWORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H7/00Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
    • B23H7/02Wire-cutting
    • B23H7/08Wire electrodes
    • B23H7/10Supporting, winding or electrical connection of wire-electrode
    • B23H7/105Wire guides
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23HWORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H1/00Electrical discharge machining, i.e. removing metal with a series of rapidly recurring electrical discharges between an electrode and a workpiece in the presence of a fluid dielectric
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23HWORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H1/00Electrical discharge machining, i.e. removing metal with a series of rapidly recurring electrical discharges between an electrode and a workpiece in the presence of a fluid dielectric
    • B23H1/02Electric circuits specially adapted therefor, e.g. power supply, control, preventing short circuits or other abnormal discharges
    • B23H1/028Electric circuits specially adapted therefor, e.g. power supply, control, preventing short circuits or other abnormal discharges for multiple gap machining
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23HWORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H11/00Auxiliary apparatus or details, not otherwise provided for
    • B23H11/003Mounting of workpieces, e.g. working-tables
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23HWORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H7/00Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
    • B23H7/02Wire-cutting
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23HWORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H2500/00Holding and positioning of tool electrodes
    • B23H2500/20Methods or devices for detecting wire or workpiece position
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23HWORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H7/00Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
    • B23H7/26Apparatus for moving or positioning electrode relatively to workpiece; Mounting of electrode

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Abstract

Eine Drahterodiermaschine (100) zum Schneiden eines Werkstücks (4) durch Erzeugen einer elektrischen Entladung in einem dielektrischen Arbeitsfluid (25) zwischen parallel angeordneten Drahtelektroden (1) und dem Werkstück (4) weist auf: einen Arbeitstank (16), der das dielektrische Arbeitsfluid (25) speichert; einen Z-Achsen-Tisch (17), der in einem unteren Abschnitt des Arbeitstanks (16) angeordnet ist und das Werkstück (4) in eine Z-Achsen-Richtung bewegt, die eine vertikale Richtung ist; eine Säule (21), die sich von dem Z-Achsen-Tisch (17) nach oben erstreckt und einen oberen Endabschnitt aufweist, der sich oberhalb des höchsten Pegels eines Fluidstands des dielektrischen Arbeitsfluids (25) in dem Arbeitstank (16) befindet; eine Einstellvorrichtung (22), die von einem Abschnitt der Säule (21) aus, der sich oberhalb des höchsten Pegels des Fluidstands befindet, nach unten befestigt ist, oberhalb des höchsten Pegels des Fluidstands angeordnet ist und die Position oder Orientierung des Werkstücks (4) in eine andere Richtung als die vertikale Richtung einstellt; und eine Aufhängung, die von der Einstellvorrichtung (22) abgehängt ist und das Werkstück (4) hält.

Description

  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Drahterodiermaschine, die ein Werkstück gleichzeitig in mehrere Stücke schneidet, indem sie zwischen mehreren Drahtelektroden, die parallel aufgespannt sind, und dem Werkstück eine elektrische Entladung erzeugt.
  • Hintergrund
  • In einer Drahterodiermaschine, die ein Werkstück auf einmal in mehrere Stücke schneidet, indem sie in einem dielektrischen Arbeitsfluid zwischen parallel aufgespannten Drahtelektroden und dem Werkstück eine elektrische Entladung erzeugt, ist eine Einstellvorrichtung vorgesehen, die das Werkstück in eine andere Richtung als eine vertikale Richtung bewegt, oder eine Einstellvorrichtung vorgesehen, welche die Orientierung des Werkstücks ändert, um das Werkstück in einer bestimmten Kristallorientierung zu schneiden. Im Folgenden werden beide Einstellvorrichtungen gemeinsam als Einstellvorrichtung bezeichnet.
  • Das Werkstück muss in einen mit dem dielektrischen Arbeitsfluid gefüllten Arbeitstank eingetaucht sein, und die Einstellvorrichtung muss ebenfalls in das dielektrische Arbeitsfluid eingetaucht sein. In dem Fall, in dem die Einstellvorrichtung in das dielektrische Arbeitsfluid eingetaucht ist, ist es jedoch schwierig, nur einen beweglichen Abschnitt wasserdicht zu machen, sodass die gesamte Einstellvorrichtung eine wasserdichte Struktur haben muss. Es ist schwierig, die gesamte komplizierte Einstellvorrichtung wasserdicht zu machen, und führt zu einem Anstieg der Kosten. Selbst wenn die Einstellvorrichtung aus einem rostfreien Material wie Edelstahl besteht, können Oberflächenoxidation, elektrolytische Korrosion und das Anhaften von Rost unter den Bedingungen, unter denen die Einstellvorrichtung in das dielektrische Arbeitsfluid eingetaucht ist, nicht vermieden werden, sodass die Haltbarkeit der Einstellvorrichtung reduziert wird. Daher treten Probleme wie erhöhte Kosten und verringerte Haltbarkeit auf, wenn die Einstellvorrichtung in das dielektrische Arbeitsfluid eingetaucht ist.
  • Patentschrift 1 offenbart eine Drahtsäge, bei der ein Werkstück an einem unteren Abschnitt eines Werkstückhaltemechanismus befestigt ist, ein Arbeitsfluid auf einen Draht zugeführt wird, während der Draht zum Laufen gebracht wird, und in diesem Zustand wird das Werkstück geschnitten, indem es durch den Werkstückhaltemechanismus gegen den Draht gedrückt und mit ihm in Kontakt gebracht wird. Wenn der in der Patentliteratur 1 offenbarte Mechanismus auf die Drahterodiermaschine angewandt wird, kann der Einstellmechanismus außerhalb des Arbeitstanks angeordnet werden und braucht daher keine wasserdichte Struktur aufzuweisen.
  • Zitierliste
  • Patentliteratur
  • Patentliteratur 1: japanische Patentanmeldung Offenlegungsnummer 2002-337137
  • Kurzbeschreibung
  • Technisches Problem
  • In einem Fall, in dem eine Z-Achsen-Bewegungsvorrichtung, die das Werkstück in vertikaler Richtung bewegt, wie in Patentliteratur 1 vom Säulen-Typ ist, kann die Z-Achsen-Bewegungsvorrichtung nicht im Arbeitstank angeordnet werden, weil es schwierig ist, die Z-Achsen-Bewegungsvorrichtung zu einer wasserdichten Struktur zu machen, sodass die Z-Achsen-Bewegungsvorrichtung außerhalb des Arbeitstanks angeordnet werden muss. Die Größe des Arbeitstanks hängt jedoch von der Größe der verschiedenen Bauteile ab, die für die Funkenerosion benötigt werden, wie beispielsweise die Führungsrollen, die im Arbeitstank angeordnet sind. Daher kann der Arbeitstank selbst dann nicht einfach verkleinert werden, wenn die Z-Achsen-Bewegungsvorrichtung außerhalb des Arbeitstanks angeordnet ist, sondern muss eine bestimmte Größe oder mehr aufweisen. Aus diesem Grund wird, wenn die in der Patentliteratur 1 offenbarte Erfindung auf die Drahterodiermaschine angewendet wird, die Z-Achsen-Bewegungsvorrichtung außerhalb des Arbeitstanks angeordnet, wodurch die Größe der gesamten Vorrichtung erhöht wird. Selbst wenn die in der Patentliteratur 1 offenbarte Erfindung auf die Drahterodiermaschine angewandt wird, ist es daher nicht möglich, eine Drahterodiermaschine zu realisieren, bei der die Einstellvorrichtung keine wasserdichte Struktur aufzuweisen braucht und bei der eine Vergrößerung der Vorrichtung verhindert wird.
  • Die vorliegende Erfindung wurde in Anbetracht der vorstehenden Ausführungen gemacht, und es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Drahterodiermaschine bereitzustellen, bei der eine Einstellvorrichtung keine wasserdichte Struktur haben muss, und die eine Erhöhung der Größe einer Maschine unterdrückt.
  • Lösung des Problems
  • Um das vorstehende Problem zu lösen und die Aufgabe zu erfüllen, stellt die vorliegende Erfindung eine Drahterodiermaschine bereit, die ein Werkstück durch Erzeugen einer elektrischen Entladung in einem dielektrischen Arbeitsfluid zwischen parallel angeordneten Drahtelektroden und dem Werkstück schneidet, wobei die Drahterodiermaschine umfasst: einen Schneiddraht, in dem die Drahtelektroden parallel um mehrere Führungsrollen gespannt und parallel angeordnet sind; einen Arbeitstank, der das dielektrische Arbeitsfluid speichert; eine Z-Achsen-Bewegungsvorrichtung, die in einem unteren Abschnitt des Arbeitstanks angeordnet ist und das Werkstück in eine Z-Achsen-Richtung bewegt, die eine vertikale Richtung ist; und eine Säule, die sich von der Z-Achsen-Bewegungsvorrichtung nach oben erstreckt und einen oberen Endabschnitt aufweist, der oberhalb des höchsten Pegels eines Fluidstands des dielektrischen Arbeitsfluids in dem Arbeitstank angeordnet ist. Die vorliegende Erfindung umfasst ferner: mindestens eine Einstellvorrichtung, die ausgehend von einem Abschnitt der Säule, der sich oberhalb des höchsten Pegels des Fluidstands befindet, nach unten angeordnet ist, welche Einstellvorrichtung oberhalb des höchsten Pegels des Fluidstands angeordnet ist, und die Position oder Orientierung des Werkstücks in einer anderen Richtung als der vertikalen Richtung anpasst; und eine Aufhängung, die von der Einstellvorrichtung abgehängt ist und das Werkstück hält.
  • Vorteilhafte Wirkungen der Erfindung
  • Die Drahterodiermaschine gemäß der vorliegenden Erfindung weist die Wirkung auf, dass die Einstellvorrichtung keine wasserdichte Struktur aufweisen muss und eine Vergrößerung der Vorrichtung unterdrückt werden kann.
  • Figurenliste
    • 1 ist ein Diagramm, das einen Aufbau einer Drahterodiermaschine gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
    • 2 ist eine perspektivische Ansicht, die einen Schneiddraht der Drahterodiermaschine gemäß der ersten Ausführungsform zeigt.
    • 3 ist eine vergrößerte Ansicht einer Einstellvorrichtung der Drahterodiermaschine gemäß der ersten Ausführungsform.
    • 4 ist ein Diagramm, das eine Lagebeziehung zwischen dem Schneiddraht und einem Werkstück in der Drahterodiermaschine gemäß der ersten Ausführungsform zeigt.
    • 5 ist ein Diagramm, das ein Beispiel für einen Aufbau der Einstellvorrichtung der Drahterodiermaschine gemäß der ersten Ausführungsform zeigt.
    • 6 ist eine perspektivische Explosionsansicht einer Fixiereinrichtung zwischen der Einstellvorrichtung und einer Grundplatte der Drahterodiermaschine gemäß der ersten Ausführungsform.
    • 7 ist eine perspektivische Ansicht der Fixiereinrichtung zwischen der Einstellvorrichtung und der Grundplatte der Drahterodiermaschine gemäß der ersten Ausführungsform.
    • 8 ist ein Diagramm, das eine Abwandlung der Einstellvorrichtung der Drahterodiermaschine gemäß der ersten Ausführungsform zeigt.
  • Beschreibung der Ausführungsform
  • Eine Drahterodiermaschine gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nun unter Bezugnahme auf die Zeichnungen im Detail beschrieben. Es wird betont, dass die vorliegende Erfindung nicht auf die Ausführungsform beschränkt ist.
  • Erste Ausführungsform
  • 1 ist ein Diagramm, das einen Aufbau einer Drahterodiermaschine gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. 2 ist eine perspektivische Ansicht, die einen Schneiddraht der Drahterodiermaschine gemäß der ersten Ausführungsform zeigt. 3 ist eine vergrößerte Ansicht einer Einstellvorrichtung der Drahterodiermaschine gemäß der ersten Ausführungsform. Eine Drahterodiermaschine 100 gemäß der ersten Ausführungsform umfasst: eine Drahtelektroden 1 zuführende Drahtzuführspule 13; eine die Drahtelektroden 1 aufnehmende Drahtaufnahmespule 14; Führungsrollen 2a, 2b, 2c und 2d, die den Lauf der Drahtelektroden 1 ermöglichen; ein Paar Düsen für dielektrisches Arbeitsfluid 5a und 5b, die ein dielektrisches Arbeitsfluid 25, das von einer (nicht dargestellten) Zuführungsvorrichtung für dielektrisches Arbeitsfluid zugeführt wird, in Richtung eines Werkstücks 4 spritzen; die Drahtelektroden 1 kontaktierende Stromzuführungskontakte 6a und 6b; und ein das Werkstück 4 haltendes Werkstück-Haltewerkzeug 10. Es wird darauf hingewiesen, dass die Drahterodiermaschine 100 ein rechtwinkliges Koordinatensystem aufweist, in dem eine vertikale Richtung eine Z-Achsen-Richtung ist und zwei zueinander orthogonale Richtungen in einer horizontalen Ebene eine X-Achsen-Richtung und eine Y-Achsen-Richtung sind.
  • Die vier Führungsrollen 2a, 2b, 2c und 2d sind so voneinander beabstandet, dass ihre axialen Richtungen parallel sind. Die von der Drahtzuführspule 13 zugeführte Drahtelektrode 1 ist unter Einhaltung von Abständen mehrfach um die Führungsrollen 2a, 2b, 2c und 2d gewickelt und wird dann von der Drahtaufnahmespule 14 aufgenommen. Dabei dient ein Abschnitt der Drahtelektroden 1, der parallel zwischen der Führungsrolle 2b und der Führungsrolle 2c gespannt ist, als Schneiddraht 15.
  • Die Lagebeziehung des Werkstücks 4 zu dem Schneiddraht 15 wird durch einen (nicht dargestellten) Positionsregler relativ zu diesem verändert. Daher wird das Werkstück 4 geschnitten, indem das Werkstück 4 mittels des (nicht dargestellten) Positionsreglers nahe an den Schneiddraht 15 bewegt wird. Da zum Zeitpunkt der Bearbeitung außerdem eine elektrische Entladung ordnungsgemäß erzeugt werden muss, wird der Abstand zwischen dem Werkstück 4 und dem Schneiddraht 15 so gesteuert, dass er konstant gehalten wird.
  • Der Schneiddraht 15 ist in dem dielektrischen Arbeitsfluid 25 in einem Arbeitstank 16 angeordnet, und die Funkenerosionsbearbeitung wird in dem dielektrischen Arbeitsfluid 25 durchgeführt.
  • Ein Z-Achsen-Tisch 17, der eine Z-Achsen-Bewegungsvorrichtung zum Bewegen des Werkstücks 4 in vertikaler Richtung ist, ist an einem unteren Abschnitt des Arbeitstanks 16 angeordnet. Der Z-Achsen-Tisch 17 weist in einem Ausdehnungs-/Zusammenziehungsabschnitt einen Faltenbalg auf und besitzt eine wasserdichte Struktur. Eine Säule 21 erstreckt sich von dem Z-Achsen-Tisch 17 nach oben. Die Säule 21 weist eine Form mit hoher Steifigkeit auf, um eine Verlagerung aufgrund einer externen Belastung zu vermeiden. Ein oberer Endabschnitt der Säule 21 befindet sich oberhalb des höchsten Pegels eines Fluidstands 25s des dielektrischen Arbeitsfluids 25 im Arbeitstank 16. Daher befindet sich der obere Endabschnitt der Säule 21 selbst in einem Zustand, in dem das dielektrische Arbeitsfluid 25 im Arbeitstank 16 bis zum höchsten Pegel des Fluidstands 25s gefüllt ist, in der Luft, ohne in das dielektrische Arbeitsfluid 25 eingetaucht zu sein. An einem Abschnitt der Säule 21, der sich oberhalb des höchsten Pegels des Fluidstands 25s des dielektrischen Arbeitsfluids 25 befindet, ist mindestens eine Einstellvorrichtung 22 vorgesehen. Die Einstellvorrichtung 22 ist ein Mechanismus, der die Position oder Orientierung des Werkstücks 4 in einer von der vertikalen Richtung verschiedenen Richtung einstellt. Die Einstellvorrichtung 22 ist von dem Abschnitt der Säule 21, der sich oberhalb des höchsten Pegels des Fluidstands 25s des dielektrischen Arbeitsfluids 25 befindet, nach unten befestigt und ist oberhalb des höchsten Pegels des Fluidstands 25s des dielektrischen Arbeitsfluids 25 angeordnet. Die Drahterodiermaschine 100 gemäß der ersten Ausführungsform umfasst als Einstellvorrichtung 22 eine Y-Achsen-Bewegungsvorrichtung 22a, einen Z-Achsen-Rotor 22b und einen X-Achsen-Rotor 22c. Die Y-Achsen-Bewegungsvorrichtung 22a ist ein Mechanismus, der die Position des Werkstücks 4 ändert, indem er das Werkstück 4 in Richtung der Y-Achse bewegt. Der Z-Achsen-Rotor 22b ist ein Mechanismus, der die Orientierung des Werkstücks 4 durch Drehen des Werkstücks 4 um die Z-Achse ändert. Der X-Achsen-Rotor 22c ist ein Mechanismus, der die Orientierung des Werkstücks 4 durch Drehen des Werkstücks 4 um die X-Achse verändert.
  • An einer Unterseite der Einstellvorrichtung 22 ist eine Aufhängung 40 angebracht, die von der Einstellvorrichtung 22 abgehängt ist und das Werkstück 4 hält. Die Aufhängung 40 umfasst: eine Grundplatte 26, die auf einer Seite befestigt ist, die dem Abschnitt der Säule 21 gegenüberliegt, der sich oberhalb des höchsten Pegels des Fluidstands 25s des dielektrischen Arbeitsfluids 25 befindet, wobei die Einstellvorrichtung 22 dazwischen angeordnet ist; ein Werkstück-Haltewerkzeug 10, welches das Werkstück 4 hält; ein Haltewerkzeug-Montagetisch 24, an dem das Werkstück-Haltewerkzeug 10 befestigt ist; und ein Verbindungsstück 23, das sich von der Grundplatte 26 aus nach unten erstreckt und an dessen unterem Endabschnitt der Haltewerkzeug-Montagetisch 24 befestigt ist. Das Verbindungsstück 23 hängt und hält das Werkstück-Haltewerkzeug 10 in das dielektrische Arbeitsfluid 25 im Arbeitstank 16. Das Verbindungsstück 23 umfasst mehrere Strukturen, die jeweils die Form eines Rundstabs haben. Das Verbindungsstück 23 weist die Form eines Rundstabs auf, um den Einfluss einer Strömung des dielektrischen Arbeitsfluids 25 im Arbeitstank 16 unterdrücken zu können. Das bedeutet, wenn die Strömung des dielektrischen Arbeitsfluids 25, die dem Werkstück 4 während der Bearbeitung zugeführt wird, auf das Verbindungsstück 23 trifft, kann die auf das Verbindungsstück 23 ausgeübte Last reduziert werden, sodass eine Verschlechterung der Bearbeitungsgenauigkeit aufgrund einer Verlagerung des Verbindungsstücks 23 vermieden werden kann. Es wird darauf hingewiesen, dass die Aufhängung 40 nur von der Einstellvorrichtung 22 abgehängt werden muss, um das Werkstück 4 zu halten, und nicht auf die oben exemplarisch beschriebene Struktur beschränkt ist.
  • Durch die Verwendung der Einstellvorrichtung 22 kann das Werkstück 4 über die Aufhängung 40 in Y-Achsen-Richtung bewegt, um die Z-Achse gedreht und um die X-Achse gedreht werden.
  • Über die Stromzuführungskontakte 6a und 6b wird an die Drahtelektroden 1 eine Spannung angelegt. Um Bearbeitungsabfälle, die während der Bearbeitung aus dem Werkstück 4 austreten, in geeigneter Weise zu entfernen und einen Bereich zwischen den Elektroden zu kühlen, wird das dielektrische Arbeitsfluid 25 durch die Düsen für dielektrisches Arbeitsfluid 5a und 5b zwischen die Elektroden geleitet. Die Position des Drahtes wird durch Positionier-Führungsrollen 2e und 2f so gehalten, dass die Bearbeitungsgenauigkeit nicht durch Vibrationen der Drahtelektroden 1 während der Bearbeitung beeinträchtigt wird.
  • 4 ist ein Diagramm, das eine Lagebeziehung zwischen dem Schneiddraht und dem Werkstück in der Drahterodiermaschine gemäß der ersten Ausführungsform darstellt. 5 ist ein Diagramm, das ein Beispiel eines Aufbaus der Einstellvorrichtung der Drahterodiermaschine gemäß der ersten Ausführungsform zeigt. Wenn das Werkstück 4 durch den Schneiddraht 15 geschnitten wird, bei dem die Drahtelektroden 1 parallel gespannt sind, muss die Lage des Werkstücks 4 vor der Bearbeitung in Bezug auf eine Referenzebene 20 des Werkstück-Haltewerkzeugs 10 eingestellt werden, damit die Drahtelektroden 1 das Werkstück 4 in einer bestimmten Position und unter einem bestimmten Winkel schneiden. Die Einstellvorrichtung 22, die an dem Abschnitt der Säule 21 befestigt ist, der sich oberhalb des höchsten Pegels des Fluidstands 25s des dielektrischen Arbeitsfluids 25 befindet, kann die Position und Orientierung in Bezug auf drei Achsen durch Bewegung entlang der Y-Achse, Rotation um die Z-Achse und Rotation um die X-Achse einstellen. Durch die Kombination der Y-Achsen-Bewegung, der Z-Achsen-Rotation und der X-Achsen-Rotation können die Position und die Orientierung des Werkstücks 4 in Bezug auf die Referenzebene 20 eingestellt werden. Nachdem die Einstellung der Position und Orientierung des Werkstücks 4 abgeschlossen ist, wird ein Schneidvorgang durchgeführt.
  • Im Falle einer Drahterodiermaschine, bei der die Einstellvorrichtung direkt auf dem Z-Achsen-Tisch angeordnet ist, ist die Einstellvorrichtung in das dielektrische Arbeitsfluid eingetaucht. Andererseits ist, wie in 1 dargestellt, bei der Drahterodiermaschine 100 gemäß der ersten Ausführungsform die Einstellvorrichtung 22 mittels der Säule 21 oberhalb des Fluidstands 25s des dielektrischen Arbeitsfluids 25 angeordnet, sodass die Einstellvorrichtung 22 selbst in einem Zustand, in dem sich das Werkstück 4 in der Flüssigkeit befindet, nicht in das dielektrische Arbeitsfluid 25 eingetaucht ist.
  • Es wird darauf hingewiesen, dass der Z-Achsen-Tisch 17 ein einfacher Antriebsmechanismus in vertikaler Richtung ist und daher leicht als wasserdichter Mechanismus ausgestaltet werden kann, indem der Faltenbalg im Ausdehnungs-/Zusammenziehungsabschnitt vorgesehen wird. Andererseits ist die Einstellvorrichtung 22 ein komplizierter Mechanismus, und es ist im Hinblick auf die Kosten und die Aufrechterhaltung der Genauigkeit schwierig, die Einstellvorrichtung 22 als wasserdichten Mechanismus auszugestalten. Es wurde auch ein Verfahren versucht, bei dem der Z-Achsen-Tisch außerhalb des Arbeitstanks angeordnet ist, sodass die Größe des Arbeitstanks entsprechend verkleinert ist. Wie in den 1 und 2 dargestellt, sind jedoch verschiedene für die Funkenerosion notwendige Bauteile, wie die Führungsrollen 2b und 2c, die Stromzuführungskontakte 6a und 6b und die Düsen für dielektrisches Arbeitsfluid 5a und 5b, im Arbeitstank 16 angeordnet. Auch wenn der Z-Achsen-Tisch außerhalb des Arbeitstanks 16 angeordnet ist, müssen die verschiedenen für die Funkenerosion erforderlichen Bauteile in ähnlicher Weise wie in den 1 und 2 angeordnet werden, sodass es schwierig ist, die Größe des Arbeitstanks 16 zu verringern. Das bedeutet, wenn der Z-Achsen-Tisch außerhalb des Arbeitstanks 16 angeordnet ist, lässt sich eine Vergrößerung der gesamten Vorrichtung nicht vermeiden.
  • Wenn die Drahterodiermaschine 100 gemäß der ersten Ausführungsform durch Bewegen des Werkstücks 4 in Richtung der Z-Achse das Schneiden durchführt, kann die Vorrichtung eine qualitativ hochwertige Positionseinstellung über einen langen Zeitraum erreichen, da die Einstellvorrichtung 22 an der Position angeordnet ist, die nicht in das dielektrische Arbeitsfluid 25 eingetaucht ist. Da die Einstellvorrichtung 22 nicht in das dielektrische Arbeitsfluid 25 eingetaucht ist, sind außerdem keine besonderen Maßnahmen für die Wasserdichtheit erforderlich, und die Kosten können reduziert werden. Da der Z-Achsen-Tisch 17 weiter im unteren Abschnitt des Arbeitstanks 16 angeordnet ist, kann die Größe der gesamten Vorrichtung reduziert werden.
  • 6 ist eine perspektivische Explosionsansicht einer Fixiereinrichtung zwischen der Einstellvorrichtung und der Grundplatte der Drahterodiermaschine gemäß der ersten Ausführungsform. 7 ist eine perspektivische Ansicht der Fixiereinrichtung zwischen der Einstellvorrichtung und der Grundplatte der Drahterodiermaschine gemäß der ersten Ausführungsform. Bei einer Struktur, bei der ein rotierendes Strukturteil 27 auf der Grundplatte 26 befestigt ist, ist ein Befestigungsblock 28 mit der Grundplatte 26 verbunden, und eine Scheibenplatte (englisch: disk plate) 29 ist mit dem rotierenden Strukturteil 27 verbunden, der einen Teil der Einstellvorrichtung 22 bildet. Der Befestigungsblock 28 und die Scheibenplatte 29 sind über einen Klemmhebel 30 befestigt. Die Einstellvorrichtung 22 ist mit einer Fixiereinrichtung versehen, welche die Einstellposition fixiert und dadurch eine Änderung der Position oder Orientierung des Werkstücks 4 aufgrund einer darauf ausgeübten externen Last verhindern kann.
  • Es wird darauf hingewiesen, dass die Fixiereinrichtung, welche die Einstellposition der Einstellvorrichtung 22 fixiert, einen Aufbau aufweisen kann, bei der ein am Befestigungsblock 28 befestigtes Element und ein am rotierenden Strukturteil 27 befestigtes Element sandwichartig angeordnet und fixiert sind.
  • Die Drahterodiermaschine 100 gemäß der ersten Ausführungsform bringt den Befestigungsblock 28 und die Scheibenplatte 29 miteinander in Oberflächenkontakt und kann dadurch eine Positionsverschiebung zwischen der Grundplatte 26 und dem rotierenden Strukturteil 27 verhindern. Dies kann eine Verschlechterung der Bearbeitungsgenauigkeit aufgrund einer externen Belastung verhindern.
  • Es wird darauf hingewiesen, dass die Einstellvorrichtung 22 in der vorstehenden Beschreibung die Y-Achsen-Bewegungsvorrichtung 22a, den Z-Achsen-Rotor 22b und den X-Achsen-Rotor 22c umfasst; allerdings kann die Einstellvorrichtung 22 aus einem oder mehreren von einer X-Achsen-Bewegungsvorrichtung, der Y-Achsen-Bewegungsvorrichtung 22a, dem X-Achsen-Rotor 22c, einem Y-Achsen-Rotor und dem Z-Achsen-Rotor 22b ausgewählt werden. Wenn die Einstellvorrichtung 22 die X-Achsen-Bewegungsvorrichtung, die Y-Achsen-Bewegungsvorrichtung 22a, den X-Achsen-Rotor 22c, den Y-Achsen-Rotor und den Z-Achsen-Rotor 22b umfasst, kann die Drahterodiermaschine 100 eine Positionseinstellung in der XY-Achsen-Richtung und auch in der Drehrichtung jeder Achse durchführen. Da die Bewegung der Z-Achse durch eine Antriebswelle des Z-Achsen-Tisches 17 ausgeführt werden kann, braucht die Einstellvorrichtung 22 nicht mit einer Z-Achsen-Bewegungsvorrichtung ausgestattet zu sein. Die Drahterodiermaschine 100 kann die Positionseinstellung in jeder Richtung durch eine Kombination von Einstellachsen vornehmen.
  • 8 ist ein Diagramm, das eine Abwandlung der Einstellvorrichtung der Drahterodiermaschine gemäß der ersten Ausführungsform zeigt. Die Einstellvorrichtung 22 gemäß der Abwandlung umfasst einen Y-Achsen-Bewegungsvorrichtung-Antriebsmotor 51, einen Z-Achsen-Rotor-Antriebsmotor 52, einen X-Achsen-Rotor-Antriebsmotor 53, Motorsteuerungsverstärker 54, 55 und 56 sowie ein Antriebssteuergerät 57. Die Hinzufügung des Y-Achsen-Bewegungsvorrichtung-Antriebsmotors 51, des Z-Achsen-Rotor-Antriebsmotors 52, des X-Achsen-Rotor-Antriebsmotors 53, der Motorsteuerungsverstärker 54, 55 und 56 und des Antriebssteuergeräts 57 zu der Einstellvorrichtung 22 ermöglicht die Positions- und Winkelsteuerung auf der Grundlage eines voreingestellten Programms. Das bedeutet, dass das Antriebssteuergerät 57 die Positionssteuerung und die Winkelsteuerung auf der Grundlage des voreingestellten Programms durchführt, indem sie den Y-Achsen-Bewegungsvorrichtung-Antriebsmotor 51, den Z-Achsen-Rotor-Antriebsmotor 52 und den X-Achsen-Rotor-Antriebsmotor 53 mittels der Motorsteuerungsverstärker 54, 55 und 56 steuert, wodurch die Arbeit der Einstellung der Position und der Orientierung des Werkstücks 4 automatisiert werden kann.
  • Der in der vorstehenden Ausführungsform dargestellte Aufbau stellt lediglich ein Beispiel für den Inhalt der vorliegenden Erfindung dar und kann daher mit einer anderen bekannten Technik kombiniert oder teilweise weggelassen und/oder modifiziert werden, ohne den Bereich der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
  • Bezugszeichenliste
  • 1
    Drahtelektrode;
    2a, 2b, 2c, 2d
    Führungsrolle;
    2e, 2f
    Positionier-Führungsrolle;
    4
    Werkstück;
    5a, 5b
    Düse für dielektrisches Arbeitsfluid;
    6a, 6b
    Stromzuführungskontakt;
    10
    Werkstück-Haltewerkzeug;
    13
    Drahtzuführspule;
    14
    Drahtaufnahmespule;
    15
    Schneiddraht;
    16
    Arbeitstank;
    17
    Z-Achsen-Tisch;
    20
    Referenzebene;
    21
    Säule;
    22
    Einstellvorrichtung;
    22a
    Y-Achsen-Bewegungsvorrichtung;
    22b
    Z-Achsen-Rotor;
    22c
    X-Achsen-Rotor;
    23
    Verbindungsstück;
    24
    Haltewerkzeug-Montagetisch;
    25
    dielektrisches Arbeitsfluid;
    25s
    Fluidstand;
    26
    Grundplatte;
    27
    rotierender Strukturteil;
    28
    Befestigungsblock;
    29
    Scheibenplatte;
    30
    Klemmhebel;
    40
    Aufhängung;
    51
    Y-Achsen-Bewegungsvorrichtung-Antriebsmotor;
    52
    Z-Achsen-Rotor-Antriebsmotor;
    53
    X-Achsen-Rotor-Antriebsmotor;
    54, 55, 56
    Motorsteuerungsverstärker;
    57
    Antriebssteuergerät;
    100
    Drahterodiermaschine.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • JP 2002337137 [0005]

Claims (7)

  1. Drahterodiermaschine zum Schneiden eines Werkstücks durch Erzeugen einer elektrischen Entladung in einem dielektrischen Arbeitsfluid zwischen parallel angeordneten Drahtelektroden und dem Werkstück, wobei die Drahterodiermaschine aufweist: einen Schneiddraht, bei dem die Drahtelektroden parallel um mehrere Führungsrollen gespannt und parallel angeordnet sind; einen Arbeitstank zum Aufnehmen des dielektrischen Arbeitsfluid; eine Z-Achsen-Bewegungsvorrichtung, die in einem unteren Abschnitt des Arbeitstanks angeordnet ist, um das Werkstück in eine Z-Achsen-Richtung, die eine vertikale Richtung ist, zu bewegen; eine Säule, die sich von der Z-Achsen-Bewegungsvorrichtung aus nach oben erstreckt und einen oberen Endabschnitt aufweist, der sich oberhalb des höchsten Pegels des Fluidstands des dielektrischen Arbeitsfluids im Arbeitstank befindet; mindestens eine Einstellvorrichtung, die von einem Abschnitt der Säule aus, der sich oberhalb des höchsten Pegels des Fluidstands befindet, nach unten befestigt ist und oberhalb des höchsten Pegels des Fluidstands angeordnet ist, um eine Position oder Orientierung des Werkstücks in einer von der vertikalen Richtung verschiedenen Richtung einzustellen; und eine Aufhängung, die von der Einstellvorrichtung abgehängt ist, um das Werkstück zu halten.
  2. Drahterodiermaschine nach Anspruch 1, wobei die Aufhängung umfasst: eine Grundplatte, die auf einer Seite befestigt ist, die dem Abschnitt der Säule gegenüberliegt, der sich oberhalb des höchsten Pegels des Fluidstands befindet, wobei die Einstellvorrichtung zwischen dem Abschnitt der Säule, der sich oberhalb des höchsten Pegels des Fluidstands befindet, und der Grundplatte angeordnet ist; ein Werkstück-Haltewerkzeug zum Halten des Werkstücks; einen Haltewerkzeug-Montagetisch, an dem das Werkstück-Haltewerkzeug angebracht ist; und ein Verbindungsstück, das sich von der Grundplatte nach unten erstreckt und an dessen unterem Ende der Haltewerkzeug-Montagetisch angebracht ist.
  3. Drahterodiermaschine nach Anspruch 2, wobei das Verbindungsstück die Form eines Rundstabs aufweist.
  4. Drahterodiermaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 3, ferner aufweisend: einen Antriebsmotor zum Antreiben der Einstellvorrichtung; und ein Antriebssteuergerät zur Steuerung des Antriebsmotors.
  5. Drahterodiermaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die Einstellvorrichtung in einem rechtwinkligen Koordinatensystem mit einer X-Achse, einer Y-Achse und der Z-Achse, wobei die X-Achse und die Y-Achse in einer horizontalen Ebene orthogonal zueinander stehen mindestens eines der folgenden Merkmale aufweist: eine X-Achsen-Bewegungsvorrichtung; eine Y-Achsen-Bewegungsvorrichtung; einen X-Achsen-Rotor; einen Y-Achsen-Rotor; und einen Z-Achsen-Rotor.
  6. Drahterodiermaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 5, ferner aufweisend eine Fixiereinrichtung zum Fixieren einer Einstellposition der Einstellvorrichtung.
  7. Drahterodiermaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die Z-Achsen-Bewegungsvorrichtung in einem Ausdehnungs-/Zusammenziehungsabschnitt einen Faltenbalg aufweist und wasserdicht ausgeführt ist.
DE112019006966.7T 2019-04-05 2019-04-05 Drahterodiermaschine Active DE112019006966B4 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2019/015207 WO2020202570A1 (ja) 2019-04-05 2019-04-05 ワイヤ放電加工機

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE112019006966T5 true DE112019006966T5 (de) 2021-11-11
DE112019006966B4 DE112019006966B4 (de) 2022-05-12

Family

ID=69568122

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE112019006966.7T Active DE112019006966B4 (de) 2019-04-05 2019-04-05 Drahterodiermaschine

Country Status (6)

Country Link
US (1) US11534846B2 (de)
JP (1) JP6647468B1 (de)
CN (1) CN113646118B (de)
DE (1) DE112019006966B4 (de)
TW (1) TWI720838B (de)
WO (1) WO2020202570A1 (de)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117001090A (zh) * 2023-09-28 2023-11-07 泰州市江南机械制造有限公司 用于线切割的工件表面快速清理机构

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002337137A (ja) 2001-05-16 2002-11-27 Nippei Toyama Corp ワーク装着方法及びワイヤソー及び支持プレート

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH646892A5 (fr) * 1982-04-08 1984-12-28 Charmilles Sa Ateliers Procede de decoupage par decharges electriques.
JPH0611447B2 (ja) 1985-01-25 1994-02-16 株式会社井上ジャパックス研究所 放電加工装置
DE19640790C2 (de) * 1996-10-02 2001-04-26 Agie Sa Verfahren und Vorrichtung zum funkenerosiven Bearbeiten
JPH10217036A (ja) 1997-01-29 1998-08-18 Komatsu Electron Metals Co Ltd 半導体結晶棒の切断装置及び切断方法
JP4083152B2 (ja) * 2004-07-29 2008-04-30 日本碍子株式会社 ワイヤーソー装置
JP5712947B2 (ja) 2012-02-07 2015-05-07 三菱電機株式会社 ワイヤ放電加工装置
JP2013258243A (ja) 2012-06-12 2013-12-26 Sumitomo Electric Ind Ltd 化合物半導体基板の製造方法および製造装置
JP5787956B2 (ja) * 2013-02-15 2015-09-30 株式会社ソディック ワイヤ放電加工装置及びワイヤ放電加工方法
JP5661840B2 (ja) * 2013-03-19 2015-01-28 ファナック株式会社 加工槽内の状態を判別する機能を有するワイヤ放電加工機
US10220459B2 (en) * 2013-05-20 2019-03-05 Mitsubishi Electric Corporation Wire electric discharge machining apparatus and manufacturing method for thin plate and manufacturing method for semiconductor wafer using wire electric discharge machining apparatus
JP5911913B2 (ja) * 2014-06-06 2016-04-27 ファナック株式会社 自動結線時に加工液の液面位置を調整するワイヤ放電加工装置
US10300542B2 (en) * 2014-09-24 2019-05-28 Mitsubishi Electric Corporation Wire electrical discharge machining apparatus and method of manufacturing semiconductor wafer
CN104625267B (zh) * 2015-01-07 2016-11-16 安徽工业大学 一种线锯绕制电极电解-机械微细切割加工方法
JP6208727B2 (ja) * 2015-09-28 2017-10-04 ファナック株式会社 加工液中にワークを浸した状態でのタッチプローブによる測定機能を有するワイヤ放電加工機

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002337137A (ja) 2001-05-16 2002-11-27 Nippei Toyama Corp ワーク装着方法及びワイヤソー及び支持プレート

Also Published As

Publication number Publication date
WO2020202570A1 (ja) 2020-10-08
TWI720838B (zh) 2021-03-01
US11534846B2 (en) 2022-12-27
JPWO2020202570A1 (ja) 2021-05-06
CN113646118B (zh) 2022-06-03
DE112019006966B4 (de) 2022-05-12
TW202037434A (zh) 2020-10-16
JP6647468B1 (ja) 2020-02-14
US20220143724A1 (en) 2022-05-12
CN113646118A (zh) 2021-11-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3041612C1 (de) Vorrichtung zur Winkellage-Orientierung von Drahtfuehrungselementen an polar oder kartesisch gesteuerten funkenerosiven Konisch-Schneidanlagen
DE69632478T2 (de) Stanzpresse und stanzverfahren
DE102005016538B4 (de) Laserbearbeitungsvorrichtung für ein plattenförmiges Werkstück
DE102009006797B4 (de) Linsenbearbeitungsvorrichtung
AT500768A1 (de) Bearbeitungseinrichtung
EP3153270A1 (de) Lötmodul mit mindestens zwei löttiegeln
AT523568B1 (de) Biegemaschine
DE3524377C2 (de)
DE3203605A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum elektroerosiven bearbeiten eines profils in einem werkstueck
DE69625160T2 (de) Leiterplatte-Haltevorrichtung
DE3546130A1 (de) Verfahren zur steuerung der bearbeitung in einer elektroerosionsmaschine mit einer drahtelektrode
DE69008265T2 (de) Laser-Arbeitsmaschine zum Schneiden und Schweissen.
DE112019006966B4 (de) Drahterodiermaschine
EP2952268A1 (de) Biegemaschine
EP3326748A1 (de) Verfahren zum spanabhebenden bearbeiten von turbinenschaufeln
DE3920825A1 (de) Vorrichtung zum beschneiden und stumpfschweissen von baendern oder in ihren abmessungen begrenzten blechen
DE3519045C2 (de)
DE3933195A1 (de) Schraegschnitt-bearbeitungsvorrichtung bei drahtschneidemaschinen durch elektrische entladung
DE2627058A1 (de) Anschlagvorrichtung zum positionieren eines bleches auf einer werkzeugmaschine
DE19757249A1 (de) Industrierobotersystem
EP1614491A1 (de) Elektrodenkappenfräser mit Höhenausgleich
DE102014212706B3 (de) Werkstückauflage zur Lagerung von Werkstücken während einer thermisch trennenden Werkstückbearbeitung sowie Werkzeugmaschine mit einer derartigen Werkstückauflage
DE10352365B3 (de) Vorrichtung zum automatischen Heraustrennen von Einzelleiterplatten aus einem Mehrfachnutzen
DE102017123913A1 (de) Vorrichtung zum Auftragen eines viskosen Materials
DE2158191C3 (de) Vorrichtung zum Entgraten von geraden Blechbändern

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R020 Patent grant now final