DE112016006546T5 - Qualitätskontrollvorrichtung, qualitätskontrollverfahren und qualitätskontrollprogramm - Google Patents

Abstract

Eine Qualitätskontrollvorrichtung (20) umfasst: einen Regressionsanalysator (33) zum Berechnen einer Regressionsformel auf der Grundlage von Messwerten, die aus einem vorgeschalteten Schritt erworben wurden, und Vergleichsmesswerten, die aus einem nachgeschalteten Schritt erworben wurden; eine Toleranzbestimmungseinheit (34) zum Berechnen eines Vorhersagewerts durch Ersetzen eines Bestimmungsreferenzwerts, der einen Bestimmungsreferenzbereich im vorgeschalteten Schritt definiert, durch eine erklärende Variable der Regressionsformel, Vergleichen des Vorhersagewerts mit einem Vergleichsbestimmungsreferenzbereich in einem nachgeschalteten Schritt, und Bestimmen, ob die Messwerte akzeptiert werden; und einen Referenzwertberechner (35) zum Berechnen eines neuen Bestimmungsreferenzwertes, um den Bestimmungsreferenzwert gemäß dem Bestimmungsergebnis zu ersetzen.

Description

• TECHNISCHES GEBIET
• Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Qualitätskontrolltechnik in einem Herstellungsprozess mit einer Vielzahl von Schritten und insbesondere auf eine Qualitätskontrolltechnik, die in einem Prüfschritt verwendet wird, der einen Teil des Herstellungsprozesses bildet.
• HINTERGRUND ZUM STAND DER TECHNIK
• In vielen Fällen werden Produkte in Fabriken durch einen Herstellungsprozess hergestellt, der eine Vielzahl von Schritten umfasst. In einem solchen Herstellungsprozess werden verschiedene Arten von Arbeitsgängen (z.B. Zusammenbau von Teilen oder Bearbeitung von Teilen in jedem Schritt) nacheinander von einem Schritt in einem vorgeschalteten Schritt bis zu einem anderen Schritt in einem nachgeschalteten Schritt ausgeführt. Darüber hinaus kann in einen solchen Herstellungsprozess ein Prüfschritt einbezogen werden, um zu bestimmen, ob die Qualität eines Zwischenprodukts oder eines Produkts (das heißt eines Endprodukts) gut ist. In einem Prüfschritt wird beispielsweise ein Messwert, der den Zustand eines Zwischenprodukts oder Produkts anzeigt (zum Beispiel Abmessungen, wie Dicke oder elektrischer Kennwert), mit einem Messinstrument, wie einem Sensor, gemessen. Wenn der Messwert einer vorgeschriebenen Bestimmungsreferenz genügt, wird bestimmt, dass die Qualität einwandfrei ist. Wenn der Messwert der Bestimmungsreferenz nicht genügt, wird bestimmt, dass die Qualität mangelhaft ist. Ein Produkt, dessen Qualität als mangelhaft bestimmt wird (im Folgenden auch als „mangelhaftes Produkt“ bezeichnet), wird vorübergehend aus der Fertigungslinie genommen und einer Anpassung, wie beispielsweise einer Korrektur, unterzogen. Danach wird die Überführung des Produkts in die Fertigungslinie erneut durchgeführt oder das Produkt wird entsorgt. Die Bestimmungsreferenz kann zum Beispiel von einem Konstrukteur oder einem Verwalter des Fertigungsprozesses auf der Grundlage eigener Erfahrungen aus der Vergangenheit oder Konstruktionswissen festgelegt werden.
• Andererseits wird in Patentliteratur 1 (Veröffentlichung der japanischen Patentanmeldung Nr. 2009-99960) ein Verfahren zur Bestimmung, ob die Qualität gut ist oder nicht, durch ein statistisches Verfahren, das als Mehrfachregressionsanalyse bezeichnet wird, offenbart. In dem Verfahren gemäß Patentliteratur 1 wird eine Mehrfachregressionsformel entwickelt, indem die Mehrfachregressionsanalyse ausgeführt wird, die als die erklärende Variable Messwerte verwendet, die in einer Vielzahl von Schritten (einschließlich eines Verarbeitungsschritts und eines Prüfschritts), die einen Herstellungsprozess bilden, erworben wurden, und die elektrische Kennwerte eines Produkts als Zielvariable verwendet. Nachdem die Mehrfachregressionsformel entwickelt wurde, wird ein Vorhersagewert als ein elektrischer Kennwert des Produkts berechnet, indem der erklärenden Variablen der Mehrfachregressionsformel Messwerte zugeordnet werden. Das Auftreten eines Qualitätsmangels kann vorhergesagt werden, wenn der Vorhersagewert von einem Kontrollbereich abweicht.
• LISTE ZITIERTER SCHRIFTEN
• PATENTLITERATUR
• Patentliteratur 1: Veröffentlichung der japanischen Patentanmeldung Nr. 2009-99960 .
• ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
• TECHNISCHES PROBLEM
• In einem Fall, bei dem ein Prüfschritt in einer vorgeschalteten Stufe eines Herstellungsprozesses vorgesehen ist, wenn die Bestimmungsreferenz für den Prüfschritt zu locker ist, sind häufig Nacharbeiten aufgrund einer Erhöhung der Anzahl an mangelhaften Produkten in einem nachgeschalteten Schritt erforderlich, was möglicherweise zu einer Verringerung der Ausbeute führt. Umgekehrt, wenn die Bestimmungsreferenz für den Prüfschritt in der vorgeschalteten Stufe zu streng ist, steigt die Anzahl der mangelhaften Produkte aufgrund der Anforderung einer übermäßig hohen Qualität im Prüfschritt in der vorgeschalteten Stufe, was möglicherweise zu einer Verringerung der Ausbeute führt. In dem Verfahren gemäß Patentliteratur 1 ist es schwierig, eine Bestimmungsreferenz für einen Prüfschritt in einer vorgeschalteten Stufe abhängig von der Bedingung eines nachgeschalteten Schrittes flexibel zu ändern. Daher kann es zu einer Verringerung der Ausbeute durch eine zu strenge oder zu lockere Bestimmungsreferenz im Prüfschritt kommen.
• In Anbetracht des Vorgenannten ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Qualitätskontrollvorrichtung, ein Qualitätskontrollverfahren und ein Qualitätskontrollprogramm bereitzustellen, die in der Lage sind, eine Bestimmungsreferenz für einen vorgeschalteten Schritt in Abhängigkeit von der Bedingung eines nachgeschalteten Schritts flexibel festzulegen.
• LÖSUNG DES PROBLEMS
• Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Qualitätskontrollvorrichtung bereitgestellt, die Folgendes umfasst: einen Messwertempfänger, der konfiguriert ist, um eine Reihe von Messwerten aus einem vorgeschalteten Schritt zu erwerben, der einer von einem Prüfschritt und einem Fertigungsschritt aus einer Vielzahl von Schritten ist, die einen Herstellungsprozess bilden, und der konfiguriert ist, um eine Reihe von Vergleichsmesswerten zu erwerben, die der Reihe der Messwerte entsprechen, aus einem nachgeschalteten Schritt, der ein weiterer Prüfschritt aus der Vielzahl von Schritten in nachgeschalteten Stufen in Bezug auf den vorgeschalteten Schritt ist; einen Regressionsanalysator, der konfiguriert ist, um eine Regressionsanalyse durchzuführen unter Verwendung der Messwerte als Werte einer erklärenden Variablen und unter Verwendung der Vergleichsmesswerte als Werte einer Zielvariablen, um dadurch eine Regressformel zu berechnen; eine Toleranzbestimmungseinheit, die konfiguriert ist, um einen Vorhersagewert zu berechnen durch Zuordnen eines Bestimmungsreferenzwerts, der einen Bestimmungsreferenzbereich für die Qualitätsbestimmung in dem vorgeschalteten Schritt definiert, zu der erklärenden Variablen der Regressionsformel, und die konfiguriert ist, um den Vorhersagewert mit einem Vergleichsbestimmungsreferenzbereich für die Qualitätsbestimmung in dem vorgeschalteten Schritt zu vergleichen, um zu bestimmen, ob die Messwerte akzeptiert werden; und einen Referenzwertberechner, der konfiguriert ist, um einen neuen Bestimmungsreferenzwert zum Ersetzen des Bestimmungsreferenzwerts gemäß dem Bestimmungsergebnis der Toleranzbestimmungseinheit zu berechnen.
• Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Qualitätskontrollverfahren bereitgestellt, das in einer Qualitätskontrollvorrichtung zum Kontrollieren der Qualität in einer Vielzahl von Schritten, die einen Herstellungsprozess bilden, auszuführen ist. Das Qualitätskontrollverfahren umfasst: Erwerben einer Reihe von Messwerten aus einem vorgeschalteten Schritt, der einer von einem Prüfschritt und einem Fertigungsschritt aus einer Vielzahl von Schritten ist, die einen Herstellungsprozess bilden; Erwerben einer Reihe von Vergleichsmesswerten, die der Reihe der Messwerte entsprechen, aus einem nachgeschalteten Schritt, der ein weiterer Prüfschritt aus der Vielzahl von Schritten in nachgeschalteten Stufen in Bezug auf den vorgeschalteten Schritt ist; Ausführen einer Regressionsanalyse unter Verwendung der Messwerte als Werte einer erklärenden Variablen und unter Verwendung der Vergleichsmesswerte als Werte einer Zielvariablen, um dadurch eine Regressionsformel zu berechnen; Berechnen eines Vorhersagewertes durch Zuordnen eines Bestimmungsreferenzwertes, der einen Bestimmungsreferenzbereich für die Qualitätsbestimmung im vorgeschalteten Schritt definiert, zu der erklärenden Variablen der Regressionsformel; Vergleichen des Vorhersagewertes mit einem Vergleichsbestimmungsreferenzbereich für die Qualitätsbestimmung in dem nachgeschalteten Schritt, um zu bestimmen, ob die Messwerte akzeptiert werden; und Berechnen eines neuen Bestimmungsreferenzwertes zum Ersetzen des Bestimmungsreferenzwertes gemäß dem Bestimmungsergebnis.
• Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Qualitätskontrollprogramm zum Kontrollieren der Qualität in einer Vielzahl von Schritten, die einen Herstellungsprozesses bilden, bereitgestellt. Das Qualitätskontrollprogramm veranlasst einen Computer, die folgenden Operationen auszuführen: Erwerben einer Reihe von Messwerten aus einem vorgeschalteten Schritt, der einer von einem Prüfschritt und einem Fertigungsschritt aus einer Vielzahl von Schritten ist, die einen Herstellungsprozess bilden; Erwerben einer Reihe von Vergleichsmesswerten, die der Reihe der Messwerte entsprechen, aus einem nachgeschalteten Schritt, der ein weiterer Prüfschritt aus der Vielzahl von Schritten in nachgeschalteten Stufen in Bezug auf den vorgeschalteten Schritt ist; Ausführen einer Regressionsanalyse unter Verwendung der Messwerte als Werte einer erklärenden Variablen und unter Verwendung der Vergleichsmesswerte als Werte einer Zielvariablen, um dadurch eine Regressionsformel zu berechnen; Berechnen eines Vorhersagewertes durch Zuordnen eines Bestimmungsreferenzwertes, der einen Bestimmungsreferenzbereich für die Qualitätsbestimmung in dem vorgeschalteten Schritt definiert, zu der erklärenden Variablen der Regressionsformel; Vergleichen des Vorhersagewertes mit einem Vergleichsbestimmungsreferenzbereich für die Qualitätsbestimmung in dem nachgeschalteten Schritt, um zu bestimmen, ob die Messwerte akzeptiert werden; und Berechnen eines neuen Bestimmungsreferenzwertes zum Ersetzen des Bestimmungsreferenzwertes gemäß dem Bestimmungsergebnis.
• VORTEILHAFTE WIRKUNGEN DER ERFINDUNG
• Gemäß der vorliegenden Erfindung kann ein Bestimmungsreferenzbereich in einem vorgeschalteten Schritt in einer vorgeschalteten Stufe in Abhängigkeit von der Bedingung eines nachgeschalteten Schrittes eingestellt werden, wodurch es ermöglicht wird, dessen Ausbeute zu verbessern.
• Figurenliste
• 1 ist ein Diagramm, das schematisch ein exemplarisches Herstellungssystem gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt.
• 2 ist ein Blockdiagramm, das eine schematische Konfiguration einer Qualitätskontrollvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform darstellt.
• 3 ist ein Diagramm, das ein exemplarisches Format von Messdaten darstellt, die in einer Messwertaufzeichnungseinheit gemäß der ersten Ausführungsform gespeichert sind.
• 4 ist ein Diagramm, das ein exemplarisches Format von Schrittreihenfolgendaten darstellt, die gemäß der ersten Ausführungsform in einem Prozessspeicher gespeichert sind.
• 5 ist ein Diagramm, das ein exemplarisches Format von Bestimmungsreferenzdaten darstellt, die in einer Referenzwertaufzeichnungseinheit gemäß der ersten Ausführungsform gespeichert sind.
• 6 ist ein Diagramm, das ein weiteres exemplarisches Format von Bestimmungsreferenzdaten darstellt, die in der Referenzwertaufzeichnungseinheit gemäß der ersten Ausführungsform gespeichert sind.
• 7 ist ein Flussdiagramm, das einen exemplarischen Vorgang der strengen Referenzberechnungsverarbeitung gemäß der ersten Ausführungsform darstellt.
• 8 ist eine grafische Darstellung, die eine exemplarische Regressionsformel darstellt.
• 9A und 9B sind grafische Darstellungen, die eine exemplarische Änderung eines Bestimmungsreferenzbereichs darstellen.
• 10 ist ein Flussdiagramm, das einen exemplarischen Vorgang zur Berechnung der lockeren Referenzberechnungsverarbeitung gemäß der ersten Ausführungsform darstellt.
• 11 ist ein Blockdiagramm, das eine exemplarische Hardwarekonfiguration der Qualitätskontrollvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform darstellt.
• BILD 12 ist ein Blockdiagramm, das eine weitere exemplarische Hardwarekonfiguration der Qualitätskontrollvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform darstellt.
• 13 ist ein Blockdiagramm, das eine schematische Konfiguration einer Qualitätskontrollvorrichtung in einem Herstellungssystem gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt.
• 14 ist ein Flussdiagramm, das einen exemplarischen Vorgang der Prozessüberwachungsverarbeitung gemäß der zweiten Ausführungsform schematisch darstellt.
• 15A bis 15C sind Diagramme, die exemplarische Bildinformationen darstellen, die erzeugt werden, wenn in einem vorgeschalteten Schritt für eine bestimmte Messgröße ein strenger Referenzwert neu berechnet wird.
• 16A bis 16C sind Diagramme, die exemplarische Bildinformationen darstellen, die erzeugt werden, wenn in einem vorgeschalteten Schritt für eine bestimmte Messgröße ein lockerer Referenzwert neu berechnet wird.
• BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSFORMEN
• Im Folgenden werden Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen ausführlich beschrieben. Komponenten, die in den Zeichnungen durchgängig mit dem gleichen Symbol bezeichnet sind, haben die gleiche Konfiguration und die Funktion.
• Erste Ausführungsform.
• 1 ist ein Blockdiagramm, das eine exemplarische Konfiguration eines Herstellungssystems 1 gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung schematisch darstellt. Wie in 1 dargestellt, umfasst das Herstellungssystem 1 R-Fertigungseinrichtungen 10₁ , ...., 10_r,..., 10_R ,..., und Q-Prüfeinrichtungen 11₁ ,..., 11_q ,..., 11_Q zum sequentiellen Ausführen von N Schritten (wobei N eine positive ganze Zahl ist) von einem ersten Schritt bis zu einem N-ten Schritt, die einen Herstellungsprozess bilden. Hier sind R und Q ganze Zahlen von 3 oder mehr. Die Fertigungseinrichtungen 10₁ bis 10_R sind eine Gruppe von Einrichtungen, die jeweils einen Fertigungsschritt ausführen und jeweils Messdaten N₁ bis N_R liefern, die den Zustand des Fertigungsschritts repräsentieren. Die Prüfeinrichtungen 11₁ bis 11_Q sind eine Gruppe von Einrichtungen, die jeweils einen Prüfschritt ausführen und jeweils Messdaten M₁ bis M_Q liefern, die im Prüfschritt erworben wurden.
• Im Konfigurationsbeispiel gemäß 1 wird der erste Schritt von der Fertigungseinrichtung 10₁ , der zweite Schritt von der Prüfeinrichtung 11₁ , der n-te Schritt von der Fertigungseinrichtung 10_r , der (n+1)-te Schritt von der Prüfeinrichtung 11_q , der (N-1)-te Schritt von der Fertigungseinrichtung 10_R und der N-te Schritt von der Prüfvorrichtung 11_Q ausgeführt. Es ist zu beachten, dass die vorliegende Erfindung nicht auf eine solche Korrespondenzbeziehung zwischen dem ersten Schritt bis zum N-ten Schritt, die Fertigungseinrichtungen 10₁ bis 10_R und die Prüfeinrichtungen 11₁ bis 11_Q beschränkt ist. Darüber hinaus sind in der vorliegenden Ausführungsform die Fertigungseinrichtungen 10₁ bis 10_R und die Prüfeinrichtungen 11₁ bis 11_Q so angeordnet, dass sie voneinander getrennt sind, jedoch ohne darauf beschränkt zu sein. Die Prüfeinrichtungen können in die Fertigungseinrichtungen integriert werden.
• Jede der Fertigungseinrichtungen 10_r (wobei r eine beliebige ganze Zahl von 1 bis R ist) ist in der Lage, eine oder mehrere Arten von Messwerten, die eine Prozessbedingung definieren, und eine oder mehrere Arten von Messwerten, die den Betriebszustand von jeder der Fertigungseinrichtungen anzeigen, zu messen, unter Verwendung eines Messinstruments, wie einem Sensor, und Messdaten N_r , umfassend diese Messwerte, an eine Qualitätskontrollvorrichtung 20 zu liefern. Im Folgenden wird eine Art von Messwert als eine „Messgröße“ bezeichnet. Beispiele für Messgrößen zum Definieren einer Prozessbedingung umfassen die Substrattemperatur, die Strömungsrate des Reaktionsgases oder den Druck in einer Kammer bei der Halbleiterfertigungstechnik und den Pressendruck bei der Pressenbearbeitungstechnik. Beispiele für Messgrößen, die den Betriebszustand von jeder der Fertigungseinrichtungen anzeigen, umfassen den Energieverbrauch von jeder der Fertigungseinrichtungen.
• Unterdessen ist jede der Prüfeinrichtungen 11_q (wobei q eine beliebige ganze Zahl von 1 bis Q ist) in der Lage, einen Messwert von einem oder mehreren Messgrößen zu messen, die den Zustand eines gefertigten Teils (d.h. eines Zwischenprodukts oder Endprodukts) anzeigen, unter Verwendung eines Messinstruments, wie einem Sensor, und Messdaten M_q , aufweisend den Messwert, an die Qualitätskontrollvorrichtung 20 zu liefern. Beispiele für Messgrößen, die den Zustand eines gefertigten Teils anzeigen, umfassen eine Abmessung, wie die Dicke des gefertigten Teils, die Temperatur oder einen elektrischen Kennwert, wie einen elektrischen Widerstand. Im Folgenden wird eine Messgröße, der von den Prüfeinrichtungen 11₁ bis 11_Q erworben werden kann, auch als eine „Prüfgröße“ bezeichnet.
• Jede der Prüfeinrichtungen 11_q hat eine Funktion des Bestimmens, ob die Qualität eines gefertigten Teils innerhalb einer Bestimmungsreferenz (gut) liegt oder von der Bestimmungsreferenz (mangelhaft) in Bezug auf eine Prüfgröße abweicht, für die ein Bestimmungsreferenzbereich eingestellt ist. Das heißt, wenn ein Messwert einer Prüfgröße innerhalb des Bestimmungsreferenzbereichs liegt, wird für das gefertigte Teil bestimmt, ein einwandfreies Teil zu sein, das der Bestimmungsreferenz für die Prüfgröße genügt. Liegt dagegen ein Messwert der Prüfgröße außerhalb des Bestimmungsreferenzbereichs, wird für das gefertigte Teil bestimmt, ein mangelhaftes Teil zu sein, das der Bestimmungsreferenz für die Prüfgröße nicht genügt. In der vorliegenden Ausführungsform wird ein Bestimmungsreferenzbereich eingestellt, wenn eine von einer Kombination aus einem oberen Grenzreferenzwert und einem unteren Grenzreferenzwert, nur einem oberen Grenzreferenzwert und nur einem unteren Grenzreferenzwert gegeben ist. So kann beispielsweise in einem Fall, bei dem die Prüfeinrichtung 11₁ Messwerte von zwei Prüfgrößen der „Dicke“ und des „elektrischen Widerstands“ eines Zwischenprodukts messen kann, zumindest einer von einem Bestimmungsreferenzbereich für die Qualitätsprüfung der „Dicke“ und einem Bestimmungsreferenzbereich für die Qualitätsprüfung des „elektrischen Widerstands“ eingestellt werden. Für jede Prüfgröße kann die Prüfeinrichtung 11_q die Messdaten M_q , die sowohl einen Messwert als auch ein Bestimmungsergebnis zum Anzeigen der Qualität eines gefertigten Teils umfassen, an die Qualitätskontrollvorrichtung 20 liefern. Eine Datenstruktur der Messdaten M_q wird später beschrieben.
• Wie in 1 dargestellt, umfasst das Herstellungssystem 1 weiterhin die Qualitätskontrollvorrichtung 20. Die Qualitätskontrollvorrichtung 20 erwirbt eine Datengruppe MV mit Messdaten M₁ bis M_Q , die von den Prüfeinrichtungen 11₁ bis 11_Q übertragen werden, und erwirbt die Datengruppe NV mit Messdaten N₁ bis N_R , die von den Fertigungseinrichtungen 10₁ bis 10_R übertragen werden. Die Qualitätskontrollvorrichtung 20 ist in der Lage, die Datengruppe RV einschließlich der Bestimmungsreferenzdaten R₁ bis R_Q weiter zu übertragen, um einen Bestimmungsreferenzbereich für die Prüfeinrichtungen 11₁ bis 11_Q einzustellen. Die Bestimmungsreferenzdaten R₁ bis R_Q werden den Prüfeinrichtungen 11₁ bis 11_Q jeweils zugeführt. Die Prüfeinrichtungen 11₁ bis 11_Q sind in der Lage, einen eigenen Bestimmungsreferenzbereich unter Verwendung der Bestimmungsreferenzdaten R₁ bis R_Q einzustellen.
• Als nächstes wird eine Konfiguration der Qualitätskontrollvorrichtung 20 gemäß der vorliegenden Ausführungsform beschrieben. 2 ist ein Blockdiagramm, das eine schematische Konfiguration der Qualitätskontrollvorrichtung 20 gemäß der ersten Ausführungsform darstellt. Wie in 2 dargestellt, umfasst die Qualitätskontrollvorrichtung 20 einen Messwertempfänger 21, einen Messwertspeicher 22, einen Prozessspeicher 23, einen Referenzwertspeicher 24, einen Bedingungsspeicher 25, einen Schrittselektierer 31, einen Elementselektierer 32, einen Regressionsanalysator 33, eine Toleranzbestimmungseinheit 34, einen Referenzwertberechner 35, eine Datenausgabesteuereinheit 36, eine Referenzwerteinstellungseinheit 38, eine Bedingungseinstellungseinheit 39 und eine Schnittstelleneinheit (I/F Einheit) 40.
• Der Messwertempfänger 21 erwirbt die Messdaten N₁ bis N_R und M₁ bis M_Q von den Fertigungseinrichtungen 10₁ bis 10_R und den Prüfeinrichtungen 11₁ bis 11Q und sammelt die Messdaten N₁ bis N_R und M₁ bis M_Q im Messwertspeicher 22. 3 ist ein Diagramm, das ein Beispiel für eine Datenstruktur 200 der im Messwertspeicher 22 gespeicherten Messdaten N₁ bis N_R und M₁ bis M_Q darstellt. Die in 3 dargestellte Datenstruktur 200 weist einen Datenspeicherbereich 201 zum Speichern einer seriellen ID auf, die ein Identifikationscode zum Identifizieren jedes gefertigten Teils ist, einen Datenspeicherbereich 202 zum Speichern einer Schritt-ID, die ein Identifikationscode zum Identifizieren eines Prüfschritts ist, einen Datenspeicherbereich 203 zum Speichern von Identifikationsinformationen einer Messgröße, einen Datenspeicherbereich 204 zum Speichern eines Messwertes, einen Datenspeicherbereich 205 zum Speichern eines Qualitätsbestimmungsergebnisses und einen Datenspeicherbereich 206 zum Speichern der Anzahl der Überführungen des gefertigten Teils in einen Prüfschritt. In diesem Zusammenhang, da die Fertigungseinrichtungen 10₁ bis 10_R nicht die Funktion haben, die Qualitätsbestimmung an einem gefertigten Teil durchzuführen, wird das Qualitätsbestimmungsergebnis im Datenspeicherbereich 205 der Messdaten N₁ bis N_R nicht gespeichert.
• Jedes gefertigte Teil, das in einem Prüfschritt als ein mangelhaftes Teil bestimmt wird, kann nach seiner Anpassung wieder in eine Fertigungslinie überführt werden, so dass das gleiche Teil im gleichen Prüfschritt mehr als einmal geprüft werden kann. Daher wird die Anzahl der Male, die das gleiche Teil in einem bestimmten Prüfschritt geprüft wurde, im Datenspeicherbereich 206 als „Anzahl der Überführungen“ gespeichert. Die Anzahl der Überführungen kann eine mit 1 beginnende Seriennummer sein. In diesem Zusammenhang können die Chargennummer des gefertigten Teils, das Datum und die Zeit der Prüfung oder andere Informationen im Messwertspeicher 22 gespeichert werden.
• Darüber hinaus speichert der Prozessspeicher 23 Schrittreihenfolgedaten, die eine Reihenfolgebeziehung der Vielzahl von Schritten, die den Herstellungsprozess bilden, anzeigen. 4 ist ein Diagramm, das ein Beispiel für eine Datenstruktur 300 der Schrittreihenfolgedaten darstellt. Die in 4 dargestellte Datenstruktur 300 weist einen Datenspeicherbereich 301 zum Speichern eines Wertes eines Reihenfolge-Identifizierers, der die Reihenfolge des Schrittes anzeigt, und einen Datenspeicherbereich 302 zum Speichern einer Schritt-ID auf. Die Schritt-ID gemäß 4 ist ein Identifizierungscode vom gleichen Typ wie jener der in 3 dargestellten Schritt-ID. So ist es beispielsweise ausreichend, dass ein Wert eines einem bestimmten Schritt zugeordneten Reihenfolge-Identifizierers immer größer ist als ein Wert eines Reihenfolge-Identifizierers, der einem Schritt in einer nachgeschalteten Stufe in Bezug auf den bestimmten Schritt zugeordnet ist. In diesem Zusammenhang ist die in 4 dargestellte Datenstruktur 300 das einfachste Beispiel, in dem es kein Zusammenführen von einer Vielzahl von Fertigungslinien oder Abzweigung zu einer Vielzahl von Fertigungslinien gibt. Die Datenstruktur 300 kann modifiziert werden, um die Verwaltung des Zusammenführens und Verzweigens von Fertigungslinien zu ermöglichen.
• Darüber hinaus speichert der Referenzwertspeicher 24 Bestimmungsreferenzdaten zur Einstellung eines oberen Grenzreferenzwertes (im Folgenden auch als ein „oberer Grenzwert“ bezeichnet) und eines unteren Grenzreferenzwertes (im Folgenden auch als „unterer Grenzwert“ bezeichnet), die in jedem der Schritte einen Bestimmungsreferenzbereich definieren. 5 ist ein Diagramm, das ein Beispiel für eine Datenstruktur 400 der im Referenzwertspeicher 24 gespeicherten Bestimmungsreferenzdaten darstellt. Die in 5 dargestellte Datenstruktur 400 beinhaltet einen Datenspeicherbereich 401 zum Speichern einer Schritt-ID, einen Datenspeicherbereich 402 zum Speichern eines Identifikationscodes zum Identifizieren einer Messgröße, einen Datenspeicherbereich 403 zum Speichern eines oberen Grenzwertes eines Bestimmungsreferenzbereichs und einen Datenspeicherbereich 404 zum Speichern eines unteren Grenzwertes des Bestimmungsreferenzbereichs.
• Da der Bestimmungsreferenzbereich während des Betriebs des Herstellungsprozesses geändert werden kann, kann die Datenstruktur 400 modifiziert werden, um ein aufgezeichnetes Datum und Zeit zu speichern, die anzeigen, wann ein oberer Grenzwert und ein unterer Grenzwert des Bestimmungsreferenzbereichs eingestellt sind, oder um ein Kennzeichen zu speichern, das unterscheidet, ob oder ob nicht der obere Grenzwert und der untere Grenzwert die neueste Version sind. 6 ist ein Diagramm, das ein Beispiel für eine Datenstruktur 400A darstellt, in der ein Datenspeicherbereich 405 zum Speichern eines aufgezeichneten Datums und Zeit zu der in 5 dargestellten Datenstruktur 400 hinzugefügt wird.
• Der Bedingungsspeicher 25 speichert Bedingungswerte, wie einen Schwellenwert für die Korrelationsbestimmung, der mit einem Absolutwert eines später zu beschreibenden Korrelationskoeffizienten und einem Schwellenwert für die Toleranzbestimmung zu vergleichen ist.
• Anschließend werden unter Bezugnahme auf die 7 bis 10 die Operationen des Schrittselektierers 31, des Elementselektierers 32, des Regressionsanalysators 33, der Toleranzbestimmungseinheit 34, des Referenzwertberechners 35 und der Datenausgabesteuereinheit 36 der Qualitätskontrollvorrichtung 20 beschrieben. 7 ist ein Flussdiagramm, das einen exemplarischen Vorgang der strengen Referenzberechnungsverarbeitung gemäß der ersten Ausführungsform schematisch darstellt.
• Unter Bezugnahme auf 7 bezieht sich der Schrittselektierer 31 zunächst auf die im Prozessspeicher 23 gespeicherten Schrittreihenfolgedaten (4) und selektiert einen den Herstellungsprozess bildenden Prüfschritt als einen nachgeschalteten Schritt, der zu analysieren ist (Schritt ST11). Auf der Grundlage einer Kombination aus einem Reihenfolge-Identifizierer und einer Schritt-ID in den Schrittreihenfolgedaten kann der Schrittselektierer 31 beispielsweise einen Prüfschritt in einer nachgeschalteten Stufe in Bezug auf den ersten Prüfschritt als den nachgeschalteten Schritt selektieren. Anschließend bezieht sich der Schrittselektierer 31 auf die im Prozessspeicher 23 gespeicherten Schrittreihenfolgendaten und selektiert einen von einem Prüfschritt und einem Fertigungsschritt in vorschalteten Stufen in Bezug auf den in Schritt ST11 selektierten nachgeschalteten Schritt als einen vorgeschalteten Schritt (Schritt ST12).
• Anschließend bezieht sich der Elementselektierer 32 auf die im Referenzwertspeicher 24 gespeicherten Bestimmungsreferenzdaten (5) und selektiert ein Paar (X, Y) einer Messgröße X im selektierten vorgeschalteten Schritt und einer Prüfgröße Y einer Messgröße im selektierten nachgeschalteten Schritt (Schritt ST13). Wenn klar ist, dass im nachgeschalteten Schritt kein Qualitätsmangel in der selektierten Prüfgröße auftritt, muss der Elementselektierer 32 die Prüfgröße nicht selektieren.
• Anschließend liest der Regressionsanalysator 33 eine Reihe von Messwerten der Messungsgröße X und eine Reihe von Messwerten der Prüfgröße Y aus dem Messwertspeicher 22 (Schritt ST14). Genauer gesagt, in einem Fall, in dem eine serielle ID jedes gefertigten Teils durch eine ganze Zahl i bezeichnet ist, ein Messwert der Messgröße X durch x_α (i) bezeichnet ist, und ein Messwert der Prüfgröße Y durch y_β (i) bezeichnet ist, liest der Regressionsanalysator 33 eine Reihe von Messwerten x_α (1), x_α (2), x_α(3), .... der Messgröße X und einer Reihe von Messwerten y_β (1), y_β (2), y_β (3), ... der Prüfgröße Y aus dem Messwertspeicher 22 (Schritt ST14), wobei α und β Identifikationscodes der Messgrößen X und Y sind.
• In einem Fall, bei dem eine Vielzahl von Messwerten für eine Messgröße in einem Schritt in Bezug auf jedes gefertigte Teil vorhanden sind, muss der Regressionsanalysator 33 nur den neuesten Messwert, für den bestimmt wurde, eine gute Qualität aufzuweisen, aus der Vielzahl von Messwerten für die Messgröße X im vorgeschalteten Schritt selektieren und lesen. Wie für die Prüfgröße Y im nachgeschalteten Schritt kann der Regressionsanalysator 33 einen Messwert zum Zeitpunkt des ersten Überführens in die Fertigungslinie (wenn die Anzahl der Überführungen „1“ ist) aus einer solchen Vielzahl von Messwerten selektieren und lesen.
• Nach Schritt ST14 berechnet der Regressionsanalysator 33 einen Korrelationskoeffizienten c₁ zwischen der Reihe von Messwerten der Messgröße X und der Reihe von Messwerten der Prüfgröße Y (Schritt ST15). Der Korrelationskoeffizient c₁ kann zum Beispiel mit einer bekannten Kreuzkorrelationsfunktion berechnet werden. Anschließend erwirbt der Regressionsanalysator 33 aus dem Bedingungsspeicher 25 einen Schwellenwert TH₁ zur Korrelationsbestimmung und bestimmt, ob ein Absolutwert des Korrelationskoeffizienten c₁ größer als oder gleich wie der Schwellenwert TH₁ ist (Schritt ST16). Wenn bestimmt wird, dass der Absolutwert des Korrelationskoeffizienten c₁ nicht größer als oder gleich wie der Schwellenwert TH₁ (NEIN in Schritt ST16) ist, verschiebt der Regressionsanalysator 33 die Verarbeitung zu Schritt ST22. In diesem Zusammenhang kann ein anderer statistischer Index als der Korrelationskoeffizient verwendet werden, vorausgesetzt, dass der statistische Index ein Zahlenwert ist, der den Korrelationsgrad zwischen der Reihe von Messwerten der Messgröße X und der Reihe von Messwerten der Prüfgröße Y repräsentiert.
• Andererseits, wenn bestimmt wird, dass der Absolutwert des Korrelationskoeffizienten c₁ größer als oder gleich wie der Schwellenwert TH₁ (JA in Schritt ST16), bestimmt der Regressionsanalysator 33, dass der Korrelationsgrad zwischen der Reihe von Messwerten der Messgröße X und der Reihe von Messwerten der Prüfgröße Y hoch ist, und führt die Regressionsanalyse unter Verwendung der Messwerte x_α (i) der Messgröße X als Werte der erklärenden Variablen und unter Verwendung der Messwerte y_β (i) der Prüfgröße Y als Werte der Zielvariablen durch, um dadurch eine Regressformel zu berechnen (Schritt ST17).
• Anschließend bestimmt der Regressionsanalysator 33 auf der Grundlage der Bestimmungsreferenzdaten des vorgeschalteten Schrittes, ob für die Messgröße X ein Bestimmungsreferenzbereich vorliegt, das heißt, ob ein Zahlenwert, der den Bestimmungsreferenzbereich definiert (eine Kombination aus einem oberen Grenzwert und einem unteren Grenzwert, nur einem oberen Grenzwert oder nur einem unteren Grenzwert) eingestellt ist (Schritt ST18). Wenn bestimmt wird, dass der Bestimmungsreferenzbereich vorhanden ist (JA in Schritt ST18), verwendet die erste Toleranzbestimmungseinheit 34A in der Toleranzbestimmungseinheit 34A die in Schritt ST17 berechnete Regressionsformel, um zu bestimmen, ob die Messgröße X eine Toleranz (akzeptabler Bereich) überschreitet, das heißt, ob der Messwert der Messgröße X akzeptiert wird (Schritt ST19). Insbesondere bestimmt die erste Toleranzbestimmungseinheit 34A, ob mindestens eine von einer oberen Toleranz und einer unteren Toleranz überschritten wird (Schritt ST19). Die obere Toleranz und die untere Toleranz werden im Folgenden beschrieben. In einem Fall, bei dem die in Schritt ST17 berechnete Regressionsformel eine lineare Regressionsformel ist, kann diese Regressionsformel durch die folgende Formel (1) ausgedrückt werden. $$\text{y}=\text{a}\cdot \text{x}+\text{b}$$

  
• Hier ist y eine Zielvariable, x ist eine erklärende Variable, a ist ein Regressionskoeffizient und b ist eine Konstante. Weiterhin wird ein oberer Grenzwert des Bestimmungsreferenzbereichs der Messgröße X mit Ux bezeichnet, der untere Grenzwert des Bestimmungsreferenzbereichs der Messgröße X mit Lx bezeichnet. Ein oberer Grenzreferenzwert des Bestimmungsreferenzbereichs der Prüfgröße Y wird durch Uy bezeichnet, ein unterer Grenzreferenzwert des Bestimmungsreferenzbereichs der Messgröße X wird durch Ly bezeichnet. Unter dieser Bedingung wird, wie in 8 beispielhaft dargestellt, bestimmt, dass die Messgröße X die obere Toleranz nicht überschreitet, wenn ein Vorhersagewert (= a · Ux + b), wobei x = Ux, der Regressionsformel vollständig oder im Wesentlichen innerhalb des Bestimmungsreferenzbereichs zwischen dem oberen Grenzreferenzwert Uy und dem unteren Grenzreferenzwert Ly liegt. Andernfalls wird bestimmt, dass die Messgröße X die obere Toleranz überschreitet. Liegt dagegen ein Vorhersagewert (= a · Lx + b) der Regressionsformel, wobei x = Lx, vollständig oder im Wesentlichen innerhalb des Bestimmungsreferenzbereichs zwischen dem oberen Grenzreferenzwert Uy und dem unteren Grenzreferenzwert Ly, wird bestimmt, dass die Messgröße X die untere Toleranz nicht überschreitet. Andernfalls wird bestimmt, dass die Messgröße X die untere Toleranz überschreitet.
• Insbesondere in dem Fall, bei dem eine positive Korrelation zwischen der Reihe von Messwerten der Messgröße X und der Reihe von Messwerten der Prüfgröße Y festgestellt wird (wobei der Regressionskoeffizient a positiv ist), ist eine Bedingung dafür, dass die Messgröße X die obere Toleranz nicht überschreitet, beispielsweise, dass die folgende Ungleichung (2A) gilt, und eine Bedingung dafür, dass die Messgröße X die untere Toleranz nicht überschreitet, beispielsweise, dass die folgende Ungleichung (3A) gilt. $$\left(\text{a}\cdot \text{Ux}+\text{b}\right)-\text{Uy}\le {\mathrm{\delta }}_1$$

  

  $$\text{Ly}-\left(\text{a}\cdot \text{Lx}+\text{b}\right)\le {\mathrm{\delta }}_2$$

  
• δ₁ und δ₂ sind hier positive Schwellenwerte von Null oder um Null für die Toleranzbestimmung. Die Ungleichung (2A) drückt einen Fall aus, bei dem ein Differenzwert, der durch Subtrahieren des oberen Grenzwertes Uy vom Vorhersagewert (= a · Ux + b), wobei x = Ux, erhalten wird, kleiner ist als oder gleich ist wie der Schwellenwert δ₁. Die Ungleichung (3A) drückt einen Fall aus, bei dem ein Differenzwert, der durch Subtrahieren des Vorhersagewertes (= a · Lx + b), wobei x = Lx, vom unteren Grenzwert Ly erhalten wird, kleiner ist als oder gleich ist wie der Schwellenwert δ₂ .
• In dem Fall, bei dem eine positive Korrelation festgestellt wird (wobei der Regressionskoeffizient a positiv ist), ist eine Bedingung dafür, dass die Messgröße X die obere Toleranz überschreitet, beispielsweise, dass die folgende Ungleichung (2B) gilt, und eine Bedingung dafür, dass die Messgröße X die untere Toleranz überschreitet, beispielsweise, dass die folgende Ungleichung (3B) gilt. $$\left(\text{a}\cdot \text{Ux}+\text{b}\right)-\text{Uy}\le {\mathrm{\delta }}_1$$

  

  $$\text{Ly}-\left(\text{a}\cdot \text{Lx}+\text{b}\right)>{\mathrm{\delta }}_2$$

  
• Die Ungleichheit (2B) drückt einen Fall aus, bei dem ein Differenzwert, der durch Subtrahieren des oberen Grenzwertes Uy vom Vorhersagewert (= a · Ux + b), wobei x = Ux, erhalten wird, größer ist als der Schwellenwert δ₁ . Die Ungleichheit (3B) drückt einen Fall aus, bei dem ein Differenzwert, der durch Subtrahieren des Vorhersagewertes (= a · Lx + b), wobei x = Lx, vom unteren Grenzwert Ly erhalten wird, größer ist als der Schwellenwert δ₂ .
• Andererseits, wenn eine negative Korrelation zwischen der Reihe von Messwerten der Messgröße X und der Reihe von Messwerten der Prüfgröße Y festgestellt wird (wobei der Regressionskoeffizient a negativ ist), ist eine Bedingung dafür, dass die Messgröße X die obere Toleranz nicht überschreitet, beispielsweise, dass die folgende Ungleichung (4A) gilt, und eine Bedingung dafür, dass die Messgröße X die untere Toleranz nicht überschreitet, beispielsweise, dass die folgende Ungleichung (5A) gilt. $$\text{Ly}-\left(\text{a}\cdot \text{Ux}+\text{b}\right)\le {\mathrm{\delta }}_3$$

  

  $$\left(\text{a}\cdot \text{Lx}+\text{b}\right)-\text{Uy}\le {\mathrm{\delta }}_4$$

  
• Hier sind δ₃ und δ₄ positive Schwellenwerte von Null oder um Null für die Toleranzbestimmung. Die Ungleichung (4A) drückt einen Fall aus, bei dem ein Differenzwert, der durch Subtrahieren des Vorhersagewertes (= a · Ux + b), wobei x = Ux, vom unteren Grenzwert Ly erhalten wird, kleiner als oder gleich ist wie der Schwellenwert δ₃. Die Ungleichung (5A) drückt einen Fall aus, bei dem ein Differenzwert, der durch Subtrahieren des oberen Grenzwertes Uy vom Vorhersagewert (= a · Lx + b), wobei x = Lx, erhalten wird, kleiner ist als oder gleich ist wie der Schwellenwert δ₄.
• In dem Fall, bei dem eine negative Korrelation festgestellt wird (wobei der Regressionskoeffizient a negativ ist), ist eine Bedingung dafür, dass die Messgröße X die untere Toleranz überschreitet, beispielsweise, dass die folgende Ungleichung (4B) gilt, und eine Bedingung dafür, dass die Messgröße X die obere Toleranz überschreitet, beispielsweise, dass die folgende Ungleichung (5B) gilt. $$\text{Ly}-\left(\text{a}\cdot \text{Ux}+\text{b}\right)>{\mathrm{\delta }}_3$$

  

  $$\left(\text{a}\cdot \text{Lx}+\text{b}\right)-\text{Uy}>{\mathrm{\delta }}_4$$

  
• Die Ungleichheit (4B) drückt einen Fall aus, bei dem ein Differenzwert, der durch Subtrahieren des Vorhersagewertes (= a · Ux + b), wobei x = Ux, vom unteren Grenzwert Ly erhalten wird, größer ist als der Schwellenwert δ₃ . Die Ungleichung (5B) drückt einen Fall aus, bei dem ein Differenzwert, der durch Subtrahieren des oberen Grenzwertes Uy vom Vorhersagewert (= a · Lx + b), wobei x = Lx, erhalten wird, größer ist als der Schwellenwert δ₄ .
• Die Schwellenwerte δ₁ , δ₂ , δ₃ und δ₄ werden im Bedingungsspeicher 25 gespeichert. Die Bedingungseinstellungseinheit 39 kann die von der manuellen Eingabeeinrichtung 42 über die I/F-Einheit 40 als die Schwellenwerte δ₁ , δ₂ , δ₃ und δ₄ eingegebenen Werte im Bedingungsspeicher 25 speichern. Alternativ können, wie in den folgenden mathematischen Formeln dargestellt, Werte der Koeffizienten ε₁(0≤ε₁≤1), ε₂(0≤ε₂≤1), ε₃(0≤ε₃≤1) und ε₄(0≤ ε₄≤1), die die Schwellenwerte δ₁ bis δ₄ definieren, im Bedingungsspeicher 25 gespeichert werden. $${\mathrm{\delta }}_1=\left(\text{Uy}-\text{Ly}\right)\times {\mathrm{\epsilon }}_1$$

  

  $${\mathrm{\delta }}_2=\left(\text{Uy}-\text{Ly}\right)\times {\mathrm{\epsilon }}_2$$

  

  $${\mathrm{\delta }}_3=\left(\text{Uy}-\text{Ly}\right)\times {\mathrm{\epsilon }}_3$$

  

  $${\mathrm{\delta }}_4=\left(\text{Uy}-\text{Ly}\right)\times {\mathrm{\epsilon }}_4$$

  
• Wie vorstehend beschrieben, berechnet der strenge Referenzwertberechner 35A im Referenzwertberechner 35A bei Überschreitung einer Toleranz (JA in Schritt ST19) einen strengen Referenzwert neu, so dass der Bestimmungsreferenzbereich der Messgröße X eingeschränkt wird und die Messgröße X die Toleranz nicht überschreitet (Schritt ST20). Insbesondere, zum Beispiel in dem Fall, bei dem die obige Ungleichung (2B) gilt und damit die Messgröße X die obere Toleranz überschreitet, muss der strenge Referenzwertberechner 35A nur einen neuen oberen Grenzreferenzwert Uz berechnen, der der folgenden Ungleichung (6) als einen strengen Referenzwert genügt, so dass der Bestimmungsreferenzbereich der Messgröße X, wie in 9A dargestellt, eingeschränkt wird. $$0\le \left(\text{a}\cdot \text{Uz}+\text{b}\right)-\text{Uy}\le {\mathrm{\delta }}_1$$

  
• Andererseits, in dem Fall, bei dem die vorstehende Ungleichung (3B) gilt und daher die Messgröße X die untere Toleranz überschreitet, muss der strenge Referenzwertberechner 35A nur einen neuen unteren Grenzreferenzwert Lz berechnen, der die folgende Ungleichung (7) erfüllt, als einen strengen Referenzwert, so dass der Bestimmungsreferenzbereich der Messgröße X, wie in 9B dargestellt, eingeschränkt wird. $$0\le \text{Ly}-\left(\text{a}\cdot \text{Lz}+\text{b}\right)\le {\mathrm{\delta }}_2$$

  
• Wenn unterdessen in Schritt ST18 bestimmt wird, dass kein Bestimmungsreferenzbereich vorhanden ist (NEIN in Schritt ST18), berechnet der strenge Referenzwertberechner 35A einen strengen Referenzwert neu, so dass die Messgröße X eine Toleranz nicht überschreitet (Schritt ST21). Eine Bedingung für das Bestimmen, dass kein Bestimmungsreferenzbereich vorhanden ist, ist beispielsweise ein Fall, bei dem sowohl der obere Grenzwert Ux als auch der untere Grenzwert Lx auf Null gesetzt sind (Ux = Lx = 0).
• Der strenge Referenzwertberechner 35A gibt den in den obigen Schritten ST20 und ST21 neu berechneten strengen Referenzwert an die Datenausgabesteuereinrichtung 36 aus.
• Wenn in Schritt ST18 bestimmt wird, dass die Messgröße X eine Toleranz nicht überschreitet (NEIN in Schritt ST19), oder wenn in Schritt ST20 ein strenger Referenzwert berechnet wird, bestimmt die Datenausgabesteuereinheit 36, ob alle Paare der Messgrößen X und Y selektiert wurden (Schritt ST22).
• Wenn nicht alle Paare der Messgrößen X und Y selektiert wurden (NEIN in Schritt ST22), veranlasst die Datenausgabesteuereinheit 36 den Elementselektierer 32, eine nicht selektierte Kombination (X, Y) zu selektieren (Schritt ST13). Danach werden die Schritte ST14 bis ST20 ausgeführt. Wenn andererseits alle Paare der Messgrößen X und Y selektiert wurden (JA in Schritt ST22), bestimmt die Datenausgabesteuereinheit 36, ob alle vorgeschalteten Schritte selektiert wurden (Schritt ST23). Wenn bestimmt wird, dass nicht alle vorgeschalteten Schritte selektiert wurden (NEIN in Schritt ST23), veranlasst die Datenausgabesteuereinheit 36 den Schrittselektierer 31, einen nicht selektierten vorgeschalteten Schritt zu selektieren (Schritt ST12). Danach werden die Schritte ST13 bis ST22 ausgeführt.
• Wenn bestimmt wird, dass alle vorgeschalteten Schritte in Schritt ST23 selektiert wurden (JA in Schritt ST23), bestimmt die Datenausgabesteuereinheit 36, ob alle der nachgeschalteten Schritte selektiert wurden (Schritt ST24). Wenn bestimmt wird, dass nicht alle der nachgeschalteten Schritte selektiert wurden (NEIN in Schritt ST24), veranlasst die Datenausgabesteuereinheit 36 den Schrittselektierer 31, einen nicht selektierten nachgeschalteten Schritt zu selektieren (Schritt ST11). Danach werden die Schritte ST12 bis ST23 ausgeführt.
• Wenn alle Kombinationen der vorgeschalteten und nachgeschalteten Schritte endgültig selektiert wurden (JA in Schritt ST24), beendet die Datenausgabesteuereinheit 36 die obige strenge Referenzberechnungsverarbeitung.
• Die Datenausgabesteuereinheit 36 liefert das Paar der Messgrößen X und Y und den strengen Referenzwert an die Sollwerteinstellungseinheit 38. Zu diesem Zeitpunkt kann die Referenzwerteinstellungseinheit 38 ein Bild anzeigen, das das Paar der Messgrößen X und Y und den strengen Referenzwert auf der Anzeigevorrichtung 41 über die I/F-Einheit 40 repräsentiert. Auf diese Weise kann ein Anwender, wie ein Produktdesigner oder ein Prüfexperte, die Gültigkeit des strengen Referenzwertes beurteilen. Darüber hinaus kann die Referenzwerteinstellungseinheit 38 einen Bestimmungsreferenzbereich im Referenzwertspeicher 24 gemäß einer Anweisung, die vom Benutzer, der die Gültigkeit des strengen Referenzwertes bewertet hat, in die manuelle Eingabevorrichtung 42 eingegeben wurde, ändern oder neu einstellen. Die Referenzwerteinstellungseinheit 38 kann weiterhin den strengen Referenzwert an eine Prüfeinrichtung liefern, um einen Bestimmungsreferenzbereich zu aktualisieren oder neu einzustellen.
• Als nächstes wird unter Bezugnahme auf 10 eine lockere Referenzberechnungsverarbeitung beschrieben. 10 ist ein Flussdiagramm, das einen exemplarischen Vorgang von lockerer Referenzberechnungsverarbeitung gemäß der ersten Ausführungsform darstellt.
• Unter Bezugnahme auf 10 bezieht sich der Schrittselektierer 31 auf die im Prozessspeicher 23 gespeicherten Schrittreihenfolgedaten (4) und selektiert einen von einem Prüfschritt und einem Fertigungsschritt, die einen Teil des Herstellungsprozesses bilden, als einen zu analysierenden vorgeschalteten Schritt (Schritt ST31). Auf der Grundlage einer Kombination aus einem Reihenfolge-Identifizierer und einem Schritt-ID in den Schrittreihenfolgedaten kann der Schrittselektierer 31 beispielsweise einen von einem Prüfschritt und einem Fertigungsschritt in einer vorgeschalteten Stufe in Bezug auf den letzten Prüfschritt als vorgeschalteten Schritt selektieren. Anschließend selektiert der Elementselektierer 32 eine Messgröße X des selektierten vorgeschalteten Schrittes (Schritt ST32). Danach bezieht sich der Schrittselektierer 31 auf die im Prozessspeicher 23 gespeicherten Schrittreihenfolgendaten und selektiert einen Prüfschritt in einer nachgeschalteten Stufe in Bezug auf den selektierten vorgeschalteten Schritt als einen nachgeschalteten Schritt (Schritt ST33). Anschließend selektiert der Elementselektierer 32 im selektierten nachgeschalteten Schritt (Schritt ST34) eine Prüfgröße Y.
• Anschließend liest der Regressionsanalysator 33 wie in Schritt ST14 eine Reihe von Messwerten x_α (i) der Messgröße X und eine Reihe von Messwerten y_β (i) der Prüfgröße Y aus dem Messwertspeicher 22 (Schritt ST35). Hierfür muss der Regressionsanalysator 33 in einem Fall, bei dem eine Vielzahl von Messwerten für eine Messgröße in einem Schritt in Bezug auf jedes gefertigte Teil vorhanden sind, nur den neuesten Messwert, für den bestimmt wurde, eine gute Qualität aufzuweisen, aus der Vielzahl von Messwerten für die Messgröße X im vorgeschalteten Schritt selektieren und lesen. Wie für die Prüfgröße Y im nachgeschalteten Schritt kann der Regressionsanalysator 33 einen Messwert zum Zeitpunkt der ersten Überführung in die Fertigungslinie (wenn die Anzahl der Überführungen „1“ ist) aus einer solchen Vielzahl von Messwerten selektieren und lesen.
• Nach Schritt ST35 berechnet der Regressionsanalysator 33 einen Korrelationskoeffizienten c₂ zwischen der Reihe von Messwerten der Messgröße X und der Reihe von Messwerten der Prüfgröße Y (Schritt ST36). Der Korrelationskoeffizient c₂ kann zum Beispiel mit einer bekannten Kreuzkorrelationsfunktion berechnet werden. Anschließend erwirbt der Regressionsanalysator 33 aus dem Bedingungsspeicher 25 einen Schwellenwert TH₂ für die Korrelationsbestimmung und bestimmt, ob ein Absolutwert des Korrelationskoeffizienten c₂ größer ist als oder gleich ist wie der Schwellenwert TH₂ (Schritt ST37). Wenn bestimmt wird, dass der Absolutwert des Korrelationskoeffizienten c₂ nicht größer als oder gleich wie der Schwellenwert TH₂ ist (NEIN in Schritt ST37), verschiebt der Regressionsanalysator 33 die Verarbeitung zu Schritt ST42. In diesem Zusammenhang kann ein anderer statistischer Index als der Korrelationskoeffizient verwendet werden, vorausgesetzt, dass der statistische Index ein Zahlenwert ist, der den Korrelationsgrad zwischen der Reihe von Messwerten der Messgröße X und der Reihe von Messwerten der Prüfgröße Y darstellt.
• Wenn andererseits bestimmt wird, dass der Absolutwert des Korrelationskoeffizienten c₂ größer als oder gleich wie der Schwellenwert TH₂ ist (JA in Schritt ST37) ist, bestimmt der Regressionsanalysator 33, dass der Korrelationsgrad zwischen der Reihe der Messwert der Messgröße X und der Reihe der Messwerte der Prüfgröße Y hoch ist, und führt die Regressionsanalyse unter Verwendung der Messwerte x_α (i) der Messgröße X als Werte der erklärenden Variablen und unter Verwendung der Messwerte y_β (i) der Prüfgröße Y als Werte der Zielvariablen durch, um dadurch eine Regressionsformel zu berechnen (Schritt ST38).
• Danach bestimmt die zweite Toleranzbestimmungseinheit 34B in der Toleranzbestimmungseinheit 34, ob die Messgröße X einer Toleranz genügt, das heißt, ob die Messwerte der Messgröße X akzeptiert werden, unter Verwendung dieser Regressionsformel (Schritt ST39). Insbesondere bestimmt die zweite Toleranzbestimmungseinheit 34B, ob sowohl einer oberen Toleranz als auch einer unteren Toleranz für die Messgröße X gleichzeitig genügt wird (Schritt ST39). Die obere Toleranz und die untere Toleranz für die lockere Referenzberechnungsverarbeitung werden im Folgenden beschrieben. Zuerst kann eine Regressionsformel durch die folgende mathematische Formel (1) ausgedrückt werden, wie in dem Fall der oben beschriebenen strengen Referenzberechnungsverarbeitung. $$\text{y}=\text{a}\cdot \text{x}+\text{b}$$

  
• In dem Fall, bei dem eine positive Korrelation zwischen der Reihe von Messwerten der Messgröße X und der Reihe von Messwerten der Prüfgröße Y festgestellt wird (wobei der Regressionskoeffizient a positiv ist), ist eine Bedingung für die Messgröße X, der oberen Toleranz zu genügen, beispielsweise, dass die folgende Ungleichung (8) gilt, und eine Bedingung für die Messgröße X, der unteren Toleranz zu genügen, beispielsweise, dass die folgende Ungleichung (9) gilt. $$\text{Uy}-\left(\text{a}\cdot \text{Ux}+\text{b}\right)>{\mathrm{\delta }}_1$$

  

  $$\left(\text{a}\cdot \text{Lx}+\text{b}\right)-\text{Ly}>{\mathrm{\delta }}_2$$

  
• Andererseits, in einem Fall, bei dem eine negative Korrelation zwischen der Reihe von Messwerten der Messgröße X und der Reihe von Messwerten der Prüfgröße Y festgestellt wird (wobei der Regressionskoeffizient a negativ ist), ist eine Bedingung, dass die Messgröße X der unteren Toleranz genügt, beispielsweise, dass die folgende Ungleichung (10) gilt, und eine Bedingung, dass die Messgröße X der oberen Toleranz genügt, beispielsweise, dass die folgende Ungleichung (11) gilt. $$\left(\text{a}\cdot \text{Ux}+\text{b}\right)-\text{Ly}>{\mathrm{\delta }}_3$$

  

  $$\text{Uy}-\left(\text{a}\cdot \text{Lx}+\text{b}\right)>{\mathrm{\delta }}_4$$

  
• Die Werte δ₁ , δ₂ , δ₃ und δ₄ sind die gleichen wie die Schwellenwerte, die bei der oben beschriebenen strengen Referenzberechnungsverarbeitung verwendet werden.
• Als nächstes bestimmt die zweite Toleranzbestimmungseinheit 34B, ob alle Prüfgrößen Y selektiert wurden (Schritt ST40). Wenn bestimmt wird, dass nicht alle Prüfgrößen Y selektiert wurden (NEIN in Schritt ST40), verschiebt die zweite Toleranzbestimmungseinheit 34B die Verarbeitung zu Schritt ST34. Danach wird eine nicht selektierte Prüfgröße Y selektiert (Schritt ST34) und die Schritte ST35 bis ST39 werden ausgeführt.
• Wenn die Messgröße X der Toleranz für alle Prüfgrößen Y im nachgeschalteten Schritt genügt (JA in Schritt ST39 und JA in Schritt ST40), berechnet der lockere Referenzwertberechner 35B im Referenzwertberechner 35 einen lockeren Referenzwert neu, so dass der Bestimmungsreferenzbereich der Messgröße X erweitert wird (Schritt ST41). Insbesondere kann beispielsweise der lockere Referenzwertberechner 35B aus der folgenden mathematischen Formel (12) einen neuen oberen Grenzreferenzwert Uk als einen lockeren Referenzwert berechnen. $$\text{Uk}=\text{MIN}\left\{\text{x}|\text{y}=\text{a}\cdot \text{x}+\text{b},\text{ y}=\left\{\text{Uy}\text{,Ly}\right\}\text{ und x}>\text{Ux}\right\}$$

  
• Klammern {} auf der rechten Seite der obigen mathematischen Formel (12) repräsentieren eine Gruppe {x} von x-Koordinatenwerten (> Ux), die größer ist als der obere Grenzwert Ux des Bestimmungsreferenzbereichs der Messgröße X aus einer Gruppe von x Koordinatenwerten von Schnittpunkten der Regressionslinie (y = a · x + b) und y = {Uy} und x Koordinatenwerten von Schnittpunkten der Regressionslinie und einer linearen Linie y = {Ly}. {Uy} bedeutet hier eine Gruppe von oberen Grenzwerten Uy von Bestimmungsreferenzbereichen aller in Schritt ST34 selektierten Prüfgrößen Y für eine bestimmte Messgröße X und {Ly} bedeutet eine Gruppe von unteren Grenzwerten Ly von Bestimmungsreferenzbereichen aller in Schritt ST34 selektierten Prüfgrößen Y für die bestimmte Messgröße X. Der lockere Referenzwert Uk auf der linken Seite der mathematischen Formel (12) ist der Minimalwert in der Gruppe {x} der x Koordinatenwerte auf der rechten Seite der obigen mathematischen Formel (12).
• Der lockere Referenzwertberechner 35B kann weiterhin einen neuen unteren Grenzwertreferenzwert Lk als einen lockeren Referenzwert aus der folgenden mathematischen Formel (13) neu berechnen. $$\text{Lk}=\text{MIN}\{\text{x}|\text{y}=\text{a}\cdot \text{x}+\text{b},\text{ y}=\left\{\text{Uy}\text{,Ly}\right\}\text{ und x}<\text{Ux}$$

  
• Klammern {} auf der rechten Seite der obigen mathematischen Formel (13) repräsentieren eine Gruppe {x} von x Koordinatenwerten (< Lx), die kleiner ist als der untere Grenzwert Lx des Bestimmungsreferenzbereichs der Messgröße X aus einer Gruppe von x Koordinatenwerten von Schnittpunkten der Regressionslinie (y = a · x + b) und y = {Uy} und x Koordinatenwerten von Schnittpunkten der Regressionslinie und y = {Ly}. {Uy} bedeutet hier eine Gruppe von oberen Grenzwerten Uy von Bestimmungsreferenzbereichen aller in Schritt ST34 selektierten Prüfgrößen Y für eine bestimmte Messgröße X und {Ly} bedeutet eine Gruppe von unteren Grenzwerten Ly von Bestimmungsreferenzbereichen aller in Schritt ST34 selektierten Prüfgrößen Y für die bestimmte Prüfgröße X. Der lockere Referenzwert Lk auf der linken Seite der mathematischen Formel (13) ist der Maximalwert in der Gruppe {x} der x Koordinatenwerte auf der rechten Seite der obigen mathematischen Formel (13).
• Wenn in Schritt ST39 bestimmt wird, dass die Messgröße X keiner Toleranz genügt (NEIN in Schritt ST39), oder wenn in Schritt ST41 ein lockerer Referenzwert berechnet wird, bestimmt die Datenausgabesteuereinheit 36, ob alle nachgeschalteten Schritte selektiert wurden (Schritt ST42). Wenn bestimmt wird, dass nicht alle nachgeschalteten Schritte selektiert wurden (NEIN in Schritt ST42), veranlasst die Datenausgabesteuereinheit 36 den Schrittselektierer 31, einen nicht selektierten nachgeschalteten Schritt zu selektieren (Schritt ST33). Danach wird der Schritt ST34 ausgeführt.
• Wenn bestimmt wird, dass alle nachgeschalteten Schritte in Schritt ST42 selektiert wurden (JA in Schritt ST42), bestimmt die Datenausgabesteuereinheit 36, ob alle Messgrößen X selektiert wurden (Schritt ST43). Wenn bestimmt wird, dass nicht alle Messgrößen X selektiert wurden (NEIN in Schritt ST43), veranlasst die Datenausgabesteuereinheit 36 den Elementselektierer 32, eine nicht selektierte Messgröße X zu selektieren (Schritt ST32). Danach wird der Schritt ST33 ausgeführt.
• Wenn bestimmt wird, dass alle Messgrößen X in Schritt ST43 selektiert wurden (JA in Schritt ST43), bestimmt die Datenausgabesteuereinheit 36, ob alle vorgeschalteten Schritte selektiert wurden (Schritt ST44). Wenn bestimmt wird, dass nicht alle vorgeschalteten Schritte selektiert wurden (NEIN in Schritt ST44), veranlasst die Datenausgabesteuereinheit 36 den Schrittselektierer 31, einen nicht selektierten vorgeschalteten Schritt zu selektieren (Schritt ST31). Danach wird der Schritt ST32 ausgeführt.
• Wenn alle Kombinationen der vorgeschalteten und nachgeschalteten Schritte endgültig selektiert wurden (JA in Schritt ST44), beendet die Datenausgabesteuereinheit 36 die obige lockere Referenzberechnungsverarbeitung.
• Die Datenausgabesteuereinheit 36 liefert das Paar der Messgrößen X und Y und den lockeren Referenzwert an die Referenzwerteinstellungseinheit 38. Zu diesem Zeitpunkt kann die Referenzwerteinstellungseinheit 38 ein Bild anzeigen, das das Paar der Messgrößen X und Y und den lockeren Referenzwert auf der Anzeigeeinrichtung 41 über die I/F-Einheit 40 darstellt. Dadurch kann ein Anwender, wie ein Produktdesigner oder ein Prüfexperte, die Gültigkeit des lockeren Referenzwertes beurteilen. Darüber hinaus kann die Referenzwerteinstellungseinheit 38 einen Bestimmungsreferenzbereich im Referenzwertspeicher 24 gemäß einer Anweisung, die von einem Benutzer, der die Gültigkeit des lockeren Referenzwertes bewertet hat, in die manuelle Eingabeeinrichtung 42 eingegeben wird, ändern oder neu einstellen. Die Referenzwerteinstellungseinheit 38 kann den lockeren Referenzwert weiterhin an eine Prüfeinrichtung liefern, um einen Bestimmungsreferenzbereich zu aktualisieren oder neu einzustellen.
• Eine Hardwarekonfiguration der vorstehend beschriebenen Qualitätskontrollvorrichtung 20 kann durch eine Informationsverarbeitungseinrichtung mit einer Computerkonfiguration implementiert werden, die eine zentrale Verarbeitungseinheit (CPU), wie beispielsweise eine Arbeitsstation oder einen Hauptrechner, umfasst. Alternativ kann eine Hardwarekonfiguration der Qualitätskontrollvorrichtung 20 durch eine Informationsverarbeitungseinrichtung mit einer integrierten Schaltung, wie einem digitalen Signalprozessor (DSP), einer anwendungsspezifischen integrierten Schaltung (ASIC) oder einer feldprogrammierbaren Gateanordnung (FPGA) implementiert werden.
• Der Messwertempfänger 21, der Messwertspeicher 22, der Prozessspeicher 23, der Referenzwertspeicher 24 und der Bedingungsspeicher 25 können ganz oder teilweise unter Verwendung einer Funktion eines Datenverwaltungsprogramms, wie beispielsweise eines relationalen Datenbankverwaltungssystems (RDBMS) konfiguriert sein, oder können unter Verwendung von Computersystemen oder Informationsverarbeitungseinrichtungen konfiguriert sein, die über ein Kommunikationsnetzwerk miteinander verbunden sind.
• 11 ist ein Blockdiagramm, das eine schematische Konfiguration einer Informationsverarbeitungseinrichtung 20A als eine exemplarische Hardwarekonfiguration der Qualitätskontrollvorrichtung 20 darstellt. Die Informationsverarbeitungseinrichtung 20A umfasst einen Prozessor 50 mit einer CPU 50c, einen Direktzugriffsspeicher (RAM) 51, einen Nur-Lese-Speicher (ROM) 52, eine Eingabeschnittstelle (Eingabe-I/F) 53, eine Anzeigeschnittstelle (Anzeige- I/F) 54, eine Speichereinrichtung 55 und eine Ausgabeschnittstelle (Ausgabe-I/F) 56. Der Prozessor 50, der RAM 51, der ROM 52, die Eingabe-I/F 53, die Anzeige-I/F 54, die Speichereinrichtung 55 und die Ausgabe-I/F 56 sind über einen Signalweg 57, wie beispielsweise eine Busschaltung, miteinander verbunden. Der Prozessor 50 liest ein Qualitätskontrollprogramm, das ein Computerprogramm ist, aus dem ROM 52 und arbeitet gemäß dem Qualitätskontrollprogramm, wodurch die Funktionen der Qualitätskontrollvorrichtung 20 implementiert werden können. Jeder der Eingang-I/F 53, der Anzeige-I/F 54 und der Ausgang-I/F 56 ist eine Schaltung mit einer Funktion zum Senden und Empfangen von Signalen an und von einer externen Hardwareeinrichtung.
• Als Speichereinrichtung 55 ist es möglich, beispielsweise ein Aufzeichnungsmedium, wie eine Festplatte (HDD) oder eine Solid-State-Festplatte (SSD), zu verwenden. Alternativ kann auch ein abnehmbares Aufzeichnungsmedium, wie beispielsweise ein Flash-Speicher, als Speichereinrichtung 55 verwendet werden.
• In einem Fall, bei dem die Qualitätskontrollvorrichtung 20 gemäß 2 unter Verwendung der Informationsverarbeitungseinrichtung 20A gemäß 11 konfiguriert ist, können die Komponenten 21, 31 bis 36, 38 und 39 der Qualitätskontrollvorrichtung 20 durch den in 11 dargestellten Prozessor 50 und ein Qualitätskontrollprogramm implementiert werden. Die Komponenten 22 bis 25 der Qualitätskontrollvorrichtung 20 können durch die in 11 dargestellte Speichereinrichtung 55 implementiert werden. Gleichzeitig kann die Funktion des Lieferns der Ausgangsdatengruppe RV der Referenzwerteinstellungseinheit 38 an die Prüfeinrichtungen 11₁ bis 11_Q durch die in 11 dargestellte Ausgang-I/F 56 realisiert werden. Darüber hinaus kann die I/F-Einheit 40 gemäß 2 durch die Eingang-I/F 53 und die in 11 dargestellte Anzeige-I/F 54 realisiert werden.
• 12 ist ein Blockdiagramm, das eine schematische Konfiguration einer Informationsverarbeitungseinrichtung 20B als weitere exemplarische Hardwarekonfiguration der Qualitätskontrollvorrichtung 20 darstellt. Die Informationsverarbeitungseinrichtung 20B umfasst eine Signalverarbeitungsschaltung 60, die durch ein LSI gebildet wird, wie beispielsweise einen DSP, ein ASIC oder ein FPGA, eine Eingang-I/F 53, eine Anzeige-I/F 54, eine Speichereinrichtung 55 und eine Ausgang-I/F 56. Die Signalverarbeitungsschaltung 60, die Eingang-I/F 53, die Anzeige-I/F 54, die Speichereinrichtung 55 und die Ausgang-I/F 56 sind über einen Signalweg 57 miteinander verbunden. In einem Fall, bei dem die Qualitätskontrollvorrichtung 20 gemäß 2 unter Verwendung der Informationsverarbeitungseinrichtung 20B gemäß 12 konfiguriert ist, können die Komponenten 21, 31 bis 36, 38 und 39 der Qualitätskontrollvorrichtung 20 durch die in 12 dargestellte Signalverarbeitungsschaltung 60 implementiert werden. Die Komponenten 22 bis 25 der Qualitätskontrollvorrichtung 20 können durch die in 12 dargestellte Speichereinrichtung 55 implementiert werden. Gleichzeitig kann die Funktion des Lieferns der Ausgangsdatengruppe RV der Referenzwerteinstellungseinheit 38 an die Prüfeinrichtungen 11₁ bis 11_Q durch die in 12 dargestellte Ausgang-I/F 56 realisiert werden. Darüber hinaus kann die I/F-Einheit 40 gemäß 2 durch die Eingang-I/F 53 und die in 12 dargestellte Anzeige-I/F 54 realisiert werden.
• Wie vorstehend beschrieben, ermöglicht die Qualitätskontrollvorrichtung 20 gemäß der vorliegenden Ausführungsform eine geeignete Anpassung des Bestimmungsreferenzbereichs in einem Schritt in der nachgeschalteten Stufe entsprechend der Bedingung des nachgeschalteten Schrittes, und es ist somit möglich, die Ausbeute zu verbessern. Da die strenge Referenzberechnungsverarbeitung und die lockere Referenzberechnungsverarbeitung gemäß der vorliegenden Ausführungsform auf Kombinationen von Schritten ausgeführt werden, die den Herstellungsprozess bilden, ist es außerdem möglich, die Bestimmungsreferenzen für die gesamte Vielzahl von Schritten im Herstellungsprozess zu optimieren.
• Zweite Ausführungsform.
• Als nächstes wird ein Herstellungssystem nach einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben. 13 ist ein Blockdiagramm, das eine schematische Konfiguration einer Qualitätskontrollvorrichtung 20C in einem Herstellungssystem der zweiten Ausführungsform darstellt. Eine Konfiguration des Herstellungssystems der zweiten Ausführungsform ist die gleiche wie die des Herstellungssystems 1 der ersten Ausführungsform, mit der Ausnahme, dass die Qualitätskontrollvorrichtung 20C gemäß 13 anstelle der Qualitätskontrollvorrichtung 20 gemäß 2 umfasst ist. Die Konfiguration der Qualitätskontrollvorrichtung 20C gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die gleiche wie die der Qualitätskontrollvorrichtung 20 der ersten Ausführungsform, mit der Ausnahme, dass ein Prozessüberwacher 27 umfasst ist.
• Wie in 13 dargestellt, umfasst der Prozessüberwacher 27 einen Zustandsanalysator 28 und einen Bildinformationserzeuger 29. Der Zustandsanalysator 28 überwacht, ob ein neuer Bestimmungsreferenzwert (einer aus einem strengen Referenzwert und einem lockeren Referenzwert oder beiden von einem strengen Referenzwert und einem lockeren Referenzwert) vom Referenzwertberechner 35 berechnet wird. Wenn der Referenzwertberechner 35 erfasst, dass ein neuer Bestimmungsreferenzwert berechnet wurde, ist der Zustandsanalysator 28 in der Lage, die Qualitätszustände (zum Beispiel den Zustand, ein einwandfreies Teil oder ein mangelhaftes Teil zu sein) von gefertigten Teilen in vorgeschalteten Schritten vorherzusagen, wenn der neue Bestimmungsreferenzwertes angewendet wird, und weiterhin die Qualitätszustände (zum Beispiel den Zustand, ein einwandfreies Teil und/oder ein mangelhaftes Teil zu sein) der gefertigten Teile in nachgeschalteten Schritten in nachgeschalteten Stufen in Bezug auf den vorgeschalteten Schritt vorherzusagen. Der Bildinformationserzeuger 29 ist in der Lage, Bildinformationen (zum Beispiel statistische Daten, die die Anzahl der einwandfreien Teile oder mangelhaften Teile angeben) zu erzeugen, die die vom Zustandsanalysator 28 vorhergesagten Qualitätszustände der gefertigten Teile im vorgeschalteten Schritt und im nachgeschalteten Schritt anzeigen, die erzeugten Bildinformationen über eine I/F-Einheit 40 an eine Anzeigeeinrichtung 41 liefern und dadurch die Bildinformationen auf der Anzeigeeinrichtung 41 anzeigen. Dadurch kann ein Anwender, wie ein Produktdesigner oder ein Prüfexperte, die Gültigkeit des neuen Bestimmungsreferenzwertes unter Verwendung der Bildinformationen korrekt bewerten.
• Im Folgenden werden Operationen des Prozessüberwachers 27 unter Bezugnahme auf 14 beschrieben. 14 ist ein Flussdiagramm, das einen exemplarischen Vorgang der Prozessüberwachungsverarbeitung gemäß der zweiten Ausführungsform schematisch darstellt.
• Unter Bezugnahme auf 14 erwirbt der Zustandsanalysator 28 zunächst Messdaten in jedem der Schritte von einem Messwertspeicher 22 (Schritt ST51) und erwirbt Bestimmungsreferenzdaten für jeden der Schritte aus dem Referenzwertspeicher 24 (Schritt ST52). Anschließend bestimmt der Zustandsanalysator 28, ob ein vorgeschalteter Schritt vorhanden ist, für den ein neuer Bestimmungsreferenzwert (einer von einem strengen Referenzwert und einem lockeren Referenzwert oder beide von einem strengen Referenzwert und einem lockeren Referenzwert), der sich von einem Bestimmungsreferenzwert (einem oberen Grenzwert oder einem unteren Grenzwert), der in den erworbenen Bestimmungsreferenzdaten umfasst ist, unterscheidet, berechnet wurde (Schritt ST53). Wenn es keinen vorgeschalteten Schritt gibt, für den kein neuer Bestimmungsreferenzwert berechnet wurde (NEIN in Schritt ST53), fährt die Verarbeitung mit Schritt ST58 fort.
• Gibt es dagegen einen vorgeschalteten Schritt, für den ein neuer Bestimmungsreferenzwert berechnet wurde (JA in Schritt ST53), verwendet der Zustandsanalysator 28 Messdaten des in Schritt ST51 erfassten vorgeschalteten Schrittes, um die Qualitätszustände der gefertigten Teile im vorgeschalteten Schritt für den Fall vorherzusagen, bei dem der neue Bestimmungsreferenzwert auf den vorgeschalteten Schritt angewendet wird (Schritt ST54). Der Zustandsanalysator 28 verwendet ferner Messdaten in einem in Schritt ST51 erworbenen nachgeschalteten Schritt, um die Qualitätszustände der gefertigten Teile in einem nachgeschalteten Schritt vorherzusagen (Schritt ST55), und erfasst weiterhin die aktuellen Qualitätszustände der gefertigten Teile im nachgeschalteten Schritt (Schritt ST56).
• Der Bildinformationserzeuger 29 erzeugt Bildinformationen, die den in den Schritten ST54 bis ST56 (Schritt ST57) vorhergesagten und erfassten Qualitätszustand anzeigen und steuert die Anzeigeeinrichtung 41, um die Bildinformationen anzuzeigen (Schritt ST58). Danach, wenn es eine Endanweisung gibt (JA in Schritt ST58), beendet der Prozessüberwacher 27 die Prozessüberwachungsverarbeitung. Wenn es keine Endanweisung gibt (NEIN in Schritt ST58), fährt der Prozessüberwacher 27 mit der Verarbeitung nach Schritt ST51 fort.
• Die 15A bis 15C sind Diagramme, die exemplarische Bildinformationen darstellen, wenn in einem vorgeschalteten Schritt K für eine bestimmte Messgröße ein strenger Referenzwert Uz neu berechnet wird. 15A ist eine grafische Darstellung, die eine aktuelle Häufigkeitsverteilung (Verteilung der Anzahl der Teile) der mangelhaften Teile schematisch darstellt. 15B ist eine grafische Darstellung, die eine Häufigkeitsverteilung (Verteilung der Anzahl der Teile) von mangelhaften Teilen schematisch darstellt, für die vorhergesagt ist, in einem nachgeschalteten Schritt P gemäß der Änderung eines Bestimmungsreferenzwertes im vorgeschalteten Schritt K (Anwendung des strengen Referenzwertes Uz) erzeugt zu werden. Darüber hinaus ist 15C eine grafische Darstellung, die eine Häufigkeitsverteilung (Verteilung der Anzahl der Teile) von mangelhaften Teilen schematisch darstellt, für die vorhergesagt ist, in einem nachgeschalteten Schritt D gemäß der Änderung eines Bestimmungsreferenzwertes im vorgeschalteten Schritt K erzeugt zu werden. In den 15B und 15C wird die aktuelle Häufigkeitsverteilungskurve vor der Änderung des Bestimmungsreferenzwertes durch eine durchgezogene Linie dargestellt, und eine nach der Änderung des Bestimmungsreferenzwertes vorhergesagte Häufigkeitsverteilungskurve durch eine unterbrochene Linie dargestellt. Darüber hinaus wird in den 15B und 15C auch die berechnete Anzahl der mangelhaften Teile angezeigt. Wie in 15A dargestellt, wird bei Anwendung des strengen Referenzwertes Uz auf den vorgeschalteten Schritt K ein gefertigtes Teil, das bisher im vorschalteten Schritt K als einwandfreies Teil passieren konnte, nach Anwendung des strengen Referenzwertes Uz zu einem mangelhaften Teil und darf nicht zu den nachgeschalteten Schritten P und D weitergeleitet werden. Daher wird vorhergesagt, dass die Anzahl der mangelhaften Teile im vorgeschalteten Schritt K zunimmt, und dass die Anzahl der zu den nachgeschalteten Schritten weitergeleiteten Teile und die Anzahl der mangelhaften Teile abnehmen.
• 16A bis 16C sind hingegen Diagramme, die exemplarische Bildinformationen darstellen, wenn im vorgeschalteten Schritt K für eine bestimmte Messgröße ein lockerer Referenzwert Lk neu berechnet wird. 16A ist ein Diagramm, das eine aktuelle Frequenzverteilung (Verteilung der Anzahl der Teile) der mangelhaften Teile schematisch darstellt. 16B ist eine grafische Darstellung, die eine Häufigkeitsverteilung (Verteilung der Anzahl der Teile) von fehlerhaften Teilen schematisch darstellt, für die vorhergesagt ist, in einem nachgeschalteten Schritt P gemäß der Änderung eines Bestimmungsreferenzwertes im vorgeschalteten Schritt K (Anwendung des lockeren Referenzwertes Lk) erzeugt zu werden. Darüber hinaus ist 16C eine grafische Darstellung, die eine Häufigkeitsverteilung (Verteilung der Anzahl der Teile) von mangelhaften Teilen schematisch darstellt, für die vorhergesagt ist, in einem nachgeschalteten Schritt D gemäß der Änderung eines Bestimmungsreferenzwertes im vorgeschalteten Schritt K erzeugt zu werden. In den 16B und 16C wird die aktuelle Häufigkeitsverteilungskurve vor der Änderung des Bestimmungsreferenzwertes durch eine durchgezogene Linie dargestellt, und eine nach der Änderung des Bestimmungsreferenzwertes vorhergesagte Häufigkeitsverteilungskurve durch eine unterbrochene Linie dargestellt. Darüber hinaus wird in den 16B und 16C auch die berechnete Anzahl der mangelhaften Teile angezeigt. Wie in 16A dargestellt, wird bei der Anwendung des lockeren Referenzwertes Lk auf den vorgeschalteten Schritt K für ein gefertigtes Teil, das im vorgeschalteten Schritt K als ein mangelhaftes Teil bestimmt wurde und nicht zugelassen wurde, zu den nachgeschalteten Schritten P und D weitergeführt zu werden, nach Anwendung des lockeren Referenzwertes Lk vorhergesagt, zu einem einwandfreien Teil zu werden und zu den nachgeschalteten Schritten P und D weitergeführt zu werden.
• Wie vorstehend beschrieben, kann der Prozessüberwacher 27 in der zweiten Ausführungsform erfassen, ob für einen vorgeschalteten Schritt in einer vorgeschalteten Stufe ein neuer Bestimmungsreferenzwert berechnet wurde. Wenn der neue Bestimmungsreferenzwert im vorgeschalteten Schritt in der vorgeschalteten Stufe angewendet wird, ist der Prozessüberwacher 27 in der Lage, die Qualitätszustände der gefertigten Teile sowohl im vorgeschalteten Schritt in der vorgeschalteten Stufe als auch in einem nachgeschalteten Schritt in einer nachgeschalteten Stufe vorherzusagen. Ein Anwender, wie ein Produktdesigner oder ein Prüfexperte, kann die Wirkung der Anwendung des neuen Bestimmungsreferenzwerts auf der Grundlage des Vorhersageergebnisses genau beurteilen.
• Der Bildinformationserzeuger 29 kann Bildinformationen, wie ein Streudiagramm, erzeugen und die Bildinformationen auf der Anzeigeeinrichtung 41 anzeigen, ohne auf die in den 15A bis 15C und 16A bis 16C dargestellten Häufigkeitsverteilungen und die Anzahl der mangelhaften Teile beschränkt zu sein. Darüber hinaus kann die Hardwarekonfiguration der Qualitätskontrollvorrichtung 20C der zweiten Ausführungsform durch die Informationsverarbeitungseinrichtung 20B oder 20C wie die Qualitätskontrollvorrichtung 20 der ersten Ausführungsform implementiert werden.
• Obwohl die verschiedenen Ausführungsformen gemäß der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben wurden, sind diese Ausführungsformen Beispiele für die vorliegende Erfindung, so dass daher verschiedene Ausführungsformen, die nicht die oben beschriebenen sind, übernommen werden können. Es ist darauf hinzuweisen, dass im Rahmen der vorliegenden Erfindung eine beliebige Kombination der Komponenten 1 und 2 der oben beschriebenen Ausführungsformen, eine Modifikation einer beliebigen Komponente der oben beschriebenen Ausführungsformen oder das Weglassen einer beliebigen Komponente der oben beschriebenen Ausführungsformen vorgenommen werden kann.
• INDUSTRIELLE ANWENDBARKEIT
• Die Qualitätskontrollvorrichtung und das Herstellungssystem gemäß der vorliegenden Erfindung sind in der Lage, einen Bestimmungsreferenzbereich in einem Prüfschritt eines Herstellungsprozesses anzupassen und eignen sich daher beispielsweise für die Qualitätsprüfung eines im Schritt des Herstellungsprozesses erzeugten Zwischenproduktes oder eines Endproduktes.
• Bezugszeichenliste
• 1: Herstellungssystem; 10₁ bis 10_R : Fertigungseinrichtungen; 11₁ bis 11_Q : Prüfeinrichtungen; 20, 20C: Qualitätskontrollvorrichtungen; 20A, 20B: Informationsverarbeitungseinrichtungen; 21: Messwertempfänger; 22: Messwertspeicher; 23: Prozessspeicher; 24: Referenzwertspeicher; 25: Bedingungsspeicher; 27: Prozessüberwacher; 28: Zustandsanalysator; 29: Bildinformationserzeuger; 31: Schrittselektierer; 32: Elementselektierer; 33: Regressionsanalysator; 34: Toleranzbestimmungseinheit; 34A: Erste Toleranzbestimmungseinheit; 34B: Zweite Toleranzbestimmungseinheit; 35: Referenzwertberechner; 35A: Strenger Referenzwertberechner; 35B: Lockerer Referenzwertberechner; 36: Datenausgabesteuereinheit; 38: Referenzwerteinstellungseinheit; 39: Bedingungseinstellungseinheit; 40: Schnittstelleneinheit (I/F-Einheit); 41: Anzeigeeinrichtung; 42: Manuelle Eingabeeinrichtung; 50: Prozessor; 50c: CPU; 51: RAM; 52: ROM; 53: Eingangsschnittstelle (Eingang-I/F); 54: Anzeigeschnittstelle (Anzeige-I/F); 55: Speichereinrichtung; 56: Ausgangsschnittstelle (Ausgang-I/F); und 60: Signalverarbeitungsschaltung.
• ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
• Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
• Zitierte Patentliteratur
• JP 2009099960 [0004]

Claims (20)

1. Qualitätskontrollvorrichtung, umfassend: einen Messwertempfänger, der konfiguriert ist, um eine Reihe von Messwerten zu erwerben aus einem vorgeschalteten Schritt, der einer von einem Prüfschritt und einem Fertigungsschritt aus einer Vielzahl von Schritten ist, die einen Herstellungsprozess bilden, und konfiguriert, um eine Reihe von Vergleichsmesswerten, die der Reihe der Messwerte entsprechen, zu erwerben aus einem nachgeschalteten Schritt, der ein weiterer Prüfschritt unter der Vielzahl von Schritten in nachgeschalteten Stufen in Bezug auf den vorgeschalteten Schritt ist; einen Regressionsanalysator, der konfiguriert ist, um eine Regressionsanalyse auszuführen unter Verwendung der Messwerte als Werte einer erklärenden Variablen und unter Verwendung der Vergleichsmesswerte als Werte einer Zielvariablen, um dadurch eine Regressformel zu berechnen; eine Toleranzbestimmungseinheit, die konfiguriert ist, um einen Vorhersagewert zu berechnen durch Zuordnen eines Bestimmungsreferenzwerts, der einen Bestimmungsreferenzbereich für Qualitätsbestimmung im vorgeschalteten Schritt definiert, zur erklärenden Variablen der Regressionsformel, und konfiguriert, um den Vorhersagewert mit einem Vergleichsbestimmungsreferenzbereich für Qualitätsbestimmung im nachgeschalteten Schritt zu vergleichen, um zu bestimmen, ob die Messwerte akzeptiert werden; und einen Referenzwertberechner, der konfiguriert ist, um einen neuen Bestimmungsreferenzwert zum Ersetzen des Bestimmungsreferenzwertes gemäß dem Bestimmungsergebnis der Toleranzbestimmungseinheit zu berechnen.
2. Qualitätskontrollvorrichtung nach Anspruch 1, wobei, wenn für die Messwerte bestimmt wird, nicht akzeptiert zu werden, der Referenzwertberechner den neuen Bestimmungsreferenzwert in einer Weise berechnet, die den Bestimmungsreferenzbereich eingrenzt.
3. Qualitätskontrollvorrichtung nach Anspruch 2, wobei: der Bestimmungsreferenzwert ein oberer Grenzwert des Bestimmungsreferenzbereichs ist; und die Toleranzbestimmungseinheit bestimmt, dass die Messwerte nicht akzeptiert werden, wenn ein erster Differenzwert, der durch Subtrahieren eines oberen Grenzwertes des Vergleichsbestimmungsreferenzbereichs vom Vorhersagewert erhalten wird, größer ist als ein erster Schwellenwert, oder wenn ein zweiter Differenzwert, der durch Subtrahieren des Vorhersagewerts von einem unteren Grenzwert des Vergleichsbestimmungsreferenzbereichs erhalten wird, größer ist als ein zweiter Schwellenwert.
4. Qualitätskontrollvorrichtung nach Anspruch 2, wobei: der Bestimmungsreferenzwert ein unterer Grenzwert des Bestimmungsreferenzbereichs ist; und die Toleranzbestimmungseinheit bestimmt, dass die Messwerte nicht akzeptiert werden, wenn ein dritter Differenzwert, der durch Subtrahieren des Vorhersagewerts von einem unteren Grenzwert des Vergleichsbestimmungsreferenzbereichs erhalten wird, größer ist als ein dritter Schwellenwert, oder wenn ein vierter Differenzwert, der durch Subtrahieren eines oberen Grenzwerts des Vergleichsbestimmungsreferenzbereichs vom Vorhersagewert erhalten wird, größer ist als ein vierter Schwellenwert.
5. Qualitätskontrollvorrichtung nach Anspruch 1, wobei, wenn für die Messwerte bestimmt wird, akzeptiert zu werden, der Referenzwertberechner den neuen Bestimmungsreferenzwert in einer Weise berechnet, die den Bestimmungsreferenzbereich erweitert.
6. Qualitätskontrollvorrichtung nach Anspruch 5, wobei: der Bestimmungsreferenzwert ein oberer Grenzwert des Bestimmungsreferenzbereichs ist; und die Toleranzbestimmungseinheit bestimmt, dass die Messwerte akzeptiert werden, wenn ein erster Differenzwert, der durch Subtrahieren des Vorhersagewerts von einem oberen Grenzwert des Vergleichsbestimmungsreferenzbereichs erhalten wird, größer ist als ein erster Schwellenwert, oder wenn ein zweiter Differenzwert, der durch Subtrahieren eines unteren Grenzwerts des Vergleichsbestimmungsreferenzbereichs vom Vorhersagewert erhalten wird, größer ist als ein zweiter Schwellenwert.
7. Qualitätskontrollvorrichtung nach Anspruch 5, wobei: der Bestimmungsreferenzwert ein unterer Grenzwert des Bestimmungsreferenzbereichs ist; und die Toleranzbestimmungseinheit bestimmt, dass die Messwerte akzeptiert werden, wenn ein dritter Differenzwert, der durch Subtrahieren eines unteren Grenzwertes des Vergleichsbestimmungsreferenzbereichs vom Vorhersagewert erhalten wird, größer ist als ein dritter Schwellenwert, oder wenn ein vierter Differenzwert, der durch Subtrahieren des Vorhersagewerts von einem oberen Grenzwert des Vergleichsbestimmungsreferenzbereichs erhalten wird, größer ist als ein vierter Schwellenwert.
8. Qualitätskontrollvorrichtung nach Anspruch 1, wobei der Regressionsanalysator einen Korrelationsgrad zwischen der Reihe von Messwerten und der Reihe von Vergleichsmesswerten berechnet, und die Regressionsanalyse ausführt, wenn der Korrelationsgrad größer ist als oder gleich ist wie ein vorherbestimmter Schwellenwert.
9. Qualitätskontrollvorrichtung nach Anspruch 1, ferner umfassend einen Zustandsanalysator, der konfiguriert ist, um Qualitätszustände von gefertigten Teilen im vorgeschalteten Schritt vorherzusagen, wenn der neue Bestimmungsreferenzwert angewendet wird.
10. Qualitätskontrollvorrichtung nach Anspruch 9, ferner umfassend einen Bildinformationserzeuger, wobei: der Zustandsanalysator Qualitätszustände der gefertigten Teile im nachgeschalteten Schritt vorhersagt auf einer Grundlage der vorhergesagten Qualitätszustände der gefertigten Teile im vorgeschalteten Schritt; und der Bildinformationserzeuger Bildinformationen erzeugt, die die vorhergesagten Qualitätszustände der gefertigten Teile im nachgeschalteten Schritt anzeigen, und eine Anzeigeeinrichtung steuert, um die Bildinformationen anzuzeigen.
11. Qualitätskontrollverfahren, das in einer Qualitätskontrollvorrichtung zum Kontrollieren der Qualität in einer Vielzahl von Schritten, die einen Herstellungsprozess bilden, auszuführen ist, wobei das Qualitätskontrollverfahren umfasst: Erwerben einer Reihe von Messwerten aus einem vorgeschalteten Schritt, der einer von einem Prüfschritt und einem Fertigungsschritt aus einer Vielzahl von Schritten ist, die einen Herstellungsprozess bilden; Erwerben einer Reihe von Vergleichsmesswerten, die der Reihe der Messwerte entsprechen, von einem nachgeschalteten Schritt, der ein weiterer Prüfschritt aus der Vielzahl von Schritten in nachgeschalteten Stufen in Bezug auf den vorgeschalteten Schritt ist; Ausführen einer Regressionsanalyse unter Verwendung der Messwerte als Werte einer erklärenden Variablen und unter Verwendung der Vergleichsmesswerte als Werte einer Zielvariablen, um dadurch eine Regressionsformel zu berechnen; Berechnen eines Vorhersagewertes durch Zuordnen eines Bestimmungsreferenzwertes, der einen Bestimmungsreferenzbereich für Qualitätsbestimmung im vorgeschalteten Schritt definiert, zur erklärenden Variablen der Regressionsformel; Vergleichen des Vorhersagewertes mit einem Vergleichsbestimmungsreferenzbereich für Qualitätsbestimmung im nachgeschalteten Schritt, um zu bestimmen, ob die Messwerte akzeptiert werden; und Berechnen eines neuen Bestimmungsreferenzwertes zum Ersetzen des Bestimmungsreferenzwertes gemäß dem Bestimmungsergebnis.
12. Qualitätskontrollverfahren nach Anspruch 11, wobei, wenn für die Messwerte bestimmt wird, nicht akzeptiert zu werden, der neue Bestimmungsreferenzwert in einer Weise berechnet wird, die den Bestimmungsreferenzbereich eingrenzt.
13. Qualitätskontrollverfahren nach Anspruch 11, wobei, wenn für die Messwerte bestimmt wird, akzeptiert zu werden, der neue Bestimmungsreferenzwert in einer Weise berechnet wird, die den Bestimmungsreferenzbereich erweitert.
14. Qualitätskontrollverfahren nach Anspruch 11, ferner umfassend das Vorhersagen von Qualitätszuständen von gefertigten Teilen im vorgeschalteten Schritt, wenn der neue Bestimmungsreferenzwert angewendet wird.
15. Qualitätskontrollverfahren nach Anspruch 14, ferner umfassend: Vorhersagen von Qualitätszuständen der gefertigten Teile im nachgeschalteten Schritt auf einer Grundlage der vorhergesagten Qualitätszustände der gefertigten Teile im vorgeschalteten Schritt; Erzeugen von Bildinformationen, die die vorhergesagten Qualitätszustände der gefertigten Teile im nachgeschalteten Schritt anzeigen; und Steuern einer Anzeigeeinrichtung, um die Bildinformationen anzuzeigen.
16. Qualitätskontrollprogramm zum Kontrollieren von Qualität in einer Vielzahl von Schritten, die einen Herstellungsprozess bilden, wobei das Qualitätskontrollprogramm einen Computer veranlasst, die folgenden Operationen auszuführen: Erwerben einer Reihe von Messwerten aus einem vorgeschalteten Schritt, der einer von einem Prüfschritt und einem Fertigungsschritt aus einer Vielzahl von Schritten ist, die einen Herstellungsprozess bilden; Erwerben einer Reihe von Vergleichsmesswerten, die der Reihe der Messwerte entsprechen, aus einem nachgeschalteten Schritt, der ein weiterer Prüfschritt aus der Vielzahl von Schritten in nachgeschalteten Stufen in Bezug auf den vorgeschalteten Schritt ist; Ausführen einer Regressionsanalyse unter Verwendung der Messwerte als Werte einer erklärenden Variablen und unter Verwendung der Vergleichsmesswerte als Werte einer Zielvariablen, um dadurch eine Regressionsformel zu berechnen; Berechnen eines Vorhersagewertes durch Zuordnen eines Bestimmungsreferenzwertes, der einen Bestimmungsreferenzbereich für Qualitätsbestimmung im vorgeschalteten Schritt definiert, zur erklärenden Variablen der Regressionsformel; Vergleichen des Vorhersagewertes mit einem Vergleichsbestimmungsreferenzbereich für Qualitätsbestimmung im nachgeschalteten Schritt, um zu bestimmen, ob die Messwerte akzeptiert werden; und Berechnen eines neuen Bestimmungsreferenzwertes zum Ersetzen des Bestimmungsreferenzwertes gemäß dem Bestimmungsergebnis.
17. Qualitätskontrollprogramm nach Anspruch 16, wobei, wenn für die Messwerte bestimmt wird, nicht akzeptiert zu werden, der neue Bestimmungsreferenzwert in einer Weise berechnet wird, die den Bestimmungsreferenzbereich einschränkt.
18. Qualitätskontrollprogramm nach Anspruch 16, wobei, wenn für die Messwerte bestimmt wird, akzeptiert zu werden, der neue Bestimmungsreferenzwert in einer Weise berechnet wird, die den Bestimmungsreferenzbereich erweitert.
19. Qualitätskontrollprogramm nach Anspruch 16, das Qualitätskontrollprogramm, das den Computer veranlasst, die Operation des Vorhersagens von Qualitätszuständen von gefertigten Teilen im vorgeschalteten Schritt weiterhin auszuführen, wenn der neue Bestimmungsreferenzwert angewendet wird.
20. Qualitätskontrollprogramm nach Anspruch 19, das Qualitätskontrollprogramm, das den Computer veranlasst, weiterhin die folgenden Operationen auszuführen: Vorhersagen von Qualitätszuständen der gefertigten Teile im nachgeschalteten Schritt auf einer Grundlage der vorhergesagten Qualitätszustände der gefertigten Teile im vorgeschalteten Schritt; Erzeugen von Bildinformationen, die die vorhergesagten Qualitätszustände der gefertigten Teile im nachgeschalteten Schritt anzeigen; und Steuern einer Anzeigeeinrichtung, um die Bildinformationen anzuzeigen.

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