DE112006003595T5 - Prüfvorrichtung, Prüfverfahren und Programm - Google Patents

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Masaru Doi
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Abstract

Prüfvorrichtung, die eine geprüfte Vorrichtung prüft, welche aufweist:
einen Periodengenerator, der ein Ratensignal erzeugt, das eine Prüfperiode entsprechend einer Operationsperiode der geprüften Vorrichtung bestimmt;
eine Phasenvergleichsschaltung, die ein von der geprüften Vorrichtung erzeugtes Operationstaktsignal für die geprüfte Vorrichtung aufnimmt und eine Phasendifferenz zwischen dem Operationstaktsignal und dem Ratensignal unter Verwendung des Ratensignals als eines Standards erfasst;
eine Prüfsignal-Erzeugungsschaltung, die synchron mit dem Signal zu der geprüften Vorrichtung zu lieferndes Prüfsignal erzeugt;
eine Verzögerungsschaltung, die das Prüfsignal gemäß der Phasendifferenz verzögert, um im Wesentlichen das verzögerte Signal mit dem Operationstaktsignal zu synchronisieren; und
eine Prüfsignal-Zuführungsschaltung, die das verzögerte Prüfsignal zu der geprüften Vorrichtung liefert.

Description

  • TECHNISCHES GEBIET
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Prüfvorrichtung, ein Prüfverfahren und ein Programm hierfür. Genauer gesagt, bezieht sich die vorliegende Erfindung auf eine Prüfvorrichtung, ein Prüfverfahren und ein Programm hierfür zum Regeln eines Zeitpunkts eines zu einer geprüften Vorrichtung zu liefernden Prüfsignals. Die vorliegende Patentanmeldung beansprucht die Priorität auf der Grundlage einer Japanischen Patentanmeldung Nr. 2005-378716 , die am 28. Dezember 2005 eingereicht wurde und deren Inhalt hier einbezogen wird.
  • STAND DER TECHNIK
  • Herkömmliche hat eine Prüfvorrichtung Operationstaktsignale in eine geprüfte Vorrichtung eingegeben und hat die geprüfte Vorrichtung mittels der Operationstaktsignale betrieben. D. h., die Operationstaktsignale sind zwischen der Prüfvorrichtung und der geprüften Vorrichtung synchronisiert, und somit kann die Prüfvorrichtung Prüfsignale zu der geprüften Vorrichtung auf der Grundlage der Operationstaktsignale liefern und Ausgangssignale von der geprüften Vorrichtung auf der Grundlage der Operationstaktsignale erhalten. Zusätzlich bestehen die folgenden Patentdokumente als relevante Dokumente des Standes der Technik.
    • Japanische Patentanmeldungs-Veröffentlichung Nr. 1994-188635
    • Japanische Patentanmeldungs-Veröffentlichung Nr. 2003-149305
  • OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
  • DURCH DIE ERFINDUNG ZU LÖSENDE PROBLEME
  • Jedoch erzeugt die geprüfte Vorrichtung in Abhängigkeit von einem Typ der geprüften Vorrichtung Operationstaktsignale mittels einer unabhängigen Oszillationsschaltung, um die Prüfvorrichtung in einigen Fällen unabhängig zu betreiben. Da Operationstaktsignale zwischen einer derartigen geprüften Vorrichtung der Prüfvorrichtung nicht synchronisiert sind, kann die Prüfvorrichtung die Prüfsignale nicht zu der geprüften Vorrichtung liefern und kann auch nicht in einigen Fällen Ausgangssignale von der geprüften Vorrichtung erhalten.
  • Darüber hinaus können, wenn in die geprüfte Vorrichtung eingegebene Eingangssignale Störungen (so genanntes Jitter) für eine Zeitkomponente enthalten, Phasen der Eingangssignale unabhängig von Operationstakten der geprüften Vorrichtung abweichen. Um die Zulässigkeit für die Abweichung einer derartigen Phase zu prüfen, hat die Prüfvorrichtung herkömmlich Prüfsignale moduliert und die Signale in die geprüfte Vorrichtung eingegeben, und sie hat geprüft, ob die geprüfte Vorrichtung normal arbeitet. Um diese Prüfung zu realisieren, wurde herkömmlich ein Verfahren zum Einstellen eines Modifizierungsbetrags einer Phase für jeden Zyklus des Prüfsignals angewendet. Wenn jedoch die Frequenz des Jitters niedrig ist, da der Typ von Modifizierungsbeträgen der Phase, die für jeden Zyklus eingestellt sind, zunimmt und somit eine Anforderungsmenge für Hardwareressourcen wie ein Register groß wird, ist dies nicht realistisch.
  • Als eine Referenztechnik wird eine Technik zum Formen einer Signalwellenform mittels der Steuerung eines Teilers mit einem in einem Speicher gespeicherten Wert in der Japanischen Patent-Veröffentlichung Nr. 1994-188635 vorgeschlagen. Gemäß dieser Technik ist es möglich, da es bevorzugt ist, dass der Speicher eine Periode von Daten speichert, die für die Wellenformformung erforderliche Speicherkapazität herabzusetzen. Jedoch zeigt dieses Dokument nur ein Verfahren zum Formen einer Wellenform und offenbart somit nicht, wie Signale mittels der Anwendung der Wellenformformung synchronisiert werden.
  • Es ist daher eine Aufgabe einiger Aspekte der vorliegenden Erfindung, eine Prüfvorrichtung, ein Prüfverfahren und ein Programm hierfür vorzusehen, die die vorgenannten Probleme lösen können. Die vorgenannte und andere Aufgaben können durch in den unabhängigen Ansprüchen beschriebene Kombinationen gelöst werden. Die abhängigen Ansprüche definieren weitere vorteil hafte und beispielhafte Kombinationen der vorliegenden Erfindung.
  • MITTEL ZUM LÖSEN DER PROBLEME
  • Um diese Aufgabe zu lösen, ist gemäß dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung eine Prüfvorrichtung, die eine geprüfte Vorrichtung prüft, vorgesehen. Die Prüfvorrichtung enthält: einen Periodengenerator, der ein Ratensignal erzeugt, das eine Prüfperiode gemäß einer Operationsperiode der geprüften Vorrichtung bestimmt; eine Phasenvergleichsschaltung, die ein von der geprüften Vorrichtung erzeugtes Operationstaktsignal für die geprüfte Vorrichtung aufnimmt und eine Phasendifferenz zwischen dem Operationstaktsignal und dem Ratensignal unter Verwendung des Ratensignals als einen Standard erfasst; eine Prüfsignal-Erzeugungsschaltung, die ein zu der geprüften Vorrichtung synchron mit dem Ratensignal zu lieferndes Prüfsignal erzeugt; eine Verzögerungsschaltung, die das Prüfsignal gemäß der Phasendifferenz verzögert, um im Wesentlichen das verzögerte Signal mit dem Operationstaktsignal zu synchronisieren; und eine Prüfsignal-Zuführungsschaltung, die das verzögerte Prüfsignal zu der geprüften Vorrichtung liefert.
  • Die Phasenvergleichsschaltung kann enthalten: eine Abtasterzeugungsschaltung, die Abtastsignale erzeugt, während eine Phase für das Ratensignal aufeinander folgend geändert wird; einen Zeitkomparator, der das Operationstaktsignal zu einem von jedem der Abtastsignale bezeichneten Zeitpunkt erwirbt; eine Flankenerfassungsschaltung, die eine Flanke des Operationstaktsignals auf der Grundlage eines Wertes des Operationstaktsignals zu jedem Zeitpunkt erfasst; und eine Phasendifferenz-Ausgabeschaltung, die die Phasendif ferenz auf der Grundlage einer Position der Flanke des Operationstaktsignals für eine Flanke des Ratensignals ausgibt.
  • Die Abtasterzeugungsschaltung kann die mehreren Abtastsignale für jeweils eine erste Phase und eine zweite Phase des Ratensignals erzeugen, der Zeitkomparator kann das Operationstaktsignal zu den mehreren Zeitpunkten erwerben, die durch die mehreren Abtastsignale für jeweils die erste Phase und die zweite Phase bezeichnet sind, und die Flankenerfassungsschaltung kann erfassen, dass die Flanke des Operationstaktsignals zwischen der ersten Phase und der zweiten Phase unter der Bedingung ist, dass in dem Fall der ersten Phase ein Verhältnis, dass das Operationstaktsignal ein erster logischer Wert ist, nicht mehr als ein Verhältnis, dass das Operationstaktsignal ein zweiter logischer Wert ist, ist, und in dem Fall der zweiten Phase das Verhältnis, dass das Operationstaktsignal der erste logische Wert ist, nicht geringer als das Verhältnis, dass das Operationstaktsignal der zweite logische Wert ist, ist.
  • Die Abtasterzeugungsschaltung kann die vorbestimmte Anzahl der Abtastsignale für die jeweils die erste Phase und die zweite Phase des Ratensignals erzeugen, der Zeitkomparator kann das Operationstaktsignal zu den mehreren Zeitpunkten, die durch jedes der Abtastsignale für jeweils die erste Phase und die zweite Phase bezeichnet sind, erwerben, die Phasenvergleichsschaltung kann weiterhin eine Zählschaltung enthalten, die die Anzahl von Malen zählt, bei denen das Operationstaktsignal einen vorbestimmten logischen Wert für jeweils die erste Phase und die zweite Phase hat, und die Flankenerfassungsschaltung kann erfassen, dass die Flanke des Operationstaktsignals zwischen der ersten Phase und der zweiten Phase unter der Bedingung ist, dass für den Fall der ersten Phase die gezählte Anzahl von Malen nicht größer als ein voreingestellter Schwellenwert ist, und für den Fall der zweiten Phasen die gezählte Anzahl von Malen nicht geringer als der Schwellenwert ist.
  • Die Abtasterzeugungsschaltung kann die vorbestimmte Anzahl der Abtastsignale für jede der Phasen erzeugen, während die Phase aufeinander folgend vergrößert oder verkleinert wird, und die Flankenerfassungsschaltung kann erfassen, dass die Flanke des Operationstaktsignals an einer Position ist, die im Wesentlichen gleich derjenigen der einen Phase gemäß dem Umstand ist, dass die von der Zählschaltung gezählte Anzahl von Malen für die eine Phase nicht geringer als der Schwellenwert ist.
  • Die Abtasterzeugungsschaltung kann weiterhin enthalten: einen Modulationsspeicher, der einen Modulationsbetrag der Phase des Ratensignals speichert; und ein Adressenregister, das eine zu dem Modulationsspeicher zu liefernde Adresse ausgibt, und die Abtasterzeugungsschaltung kann das Abtastsignal erzeugen, durch das eine Phase des Ratensignals bestimmt ist auf der Grundlage des gemäß aufeinander folgender Erhöhung oder Erniedrigung der Adresse aus dem Modulationsspeicher gelesenen Modulationsbetrags.
  • Darüber hinaus kann die Phasendifferenz-Ausgabeschaltung ein Register enthalt, das die Phasendifferenz zeigende Phasendifferenzinformationen speichert.
  • Darüber hinaus kann die Prüfvorrichtung weiterhin eine Steuerschaltung enthalten, die eine Prüfung der geprüften Vorrichtung durch die Prüfvorrichtung steu ert, die Phasendifferenz-Ausgabeschaltung kann der Steuerschaltung mitteilen, dass die Phasendifferenz erfasst wurde, wenn die Phasendifferenz erfasst wird, und die Steuerschaltung kann gemäß der Mitteilung über die Erfassung der Phasendifferenz, die in dem Register gespeicherten Phasendifferenzinformationen lesen, um einen Verzögerungsbetrag der Verzögerungsschaltung einzustellen und die Prüfsignal-Erzeugungsschaltung anzuweisen, das Prüfsignal zum Prüfen der geprüften Vorrichtung zu erzeugen.
  • Darüber hinaus kann die Prüfsignal-Erzeugungsschaltung mit der Erzeugung des Prüfsignals zum Prüfen der geprüften Vorrichtung unter der Bedingung beginnen, dass die Phasendifferenz von der Phasenvergleichsschaltung erfasst wurde.
  • Darüber hinaus kann die Prüfvorrichtung weiterhin enthalten: einen Modulationsspeicher, der mehrere Modulationsbeträge für das Prüfsignal aufzeichnet; ein Adressenregister, das eine Adresse des Modulationsspeichers bezeichnet; und eine Steuerschaltung, die aufeinander folgend einen Adressenwert des Adressenregisters ändert, um zu bewirken, dass der Modulationsspeicher aufeinander folgend die verschiedenen Modulationsbeträge ausgibt, und die Verzögerungsschaltung kann den von dem Modulationsspeicher ausgegebenen Modulationsbetrag zu oder von dem gemäß der Phasendifferenz eingestellten Verzögerungsbetrag addieren oder Subtrahieren, um das Prüfsignal zu modulieren.
  • Gemäß dem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Prüfverfahren zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung vorgesehen. Das Prüfverfahren enthält: Erzeugen eines Ratensignals, das eine Prüfperiode gemäß einer Operationsperiode der geprüften Vorrichtung bestimmt; Eingeben eines von der geprüften Vorrichtung erzeugten Operationstaktsignals für die geprüfte Vorrichtung und Erfassen einer Phasendifferenz zwischen dem Operationstaktsignal und dem Ratensignal unter Verwendung des Ratensignals als eines Standards; Erzeugen eines Prüfsignals, das synchron mit dem Ratensignal zu der geprüften Vorrichtung zu liefern ist; Verzögern des Prüfsignals gemäß der Phasendifferenz, um das verzögerte Signal im Wesentlichen mit dem Operationstaktsignal zu synchronisieren; und Zuführen des verzögerten Prüfsignals zu der geprüften Vorrichtung.
  • Gemäß dem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Programm für eine Prüfvorrichtung, die eine geprüfte Vorrichtung prüft, vorgesehen. Das Programm bewirkt, dass die Prüfvorrichtung funktioniert als: ein Periodengenerator, der ein Ratensignal, das eine Prüfperiode gemäß einer Operationsperiode der geprüften Vorrichtung bestimmt, erzeugt; eine Phasenvergleichsschaltung, die ein von der geprüften Vorrichtung erzeugtes Operationstaktsignal für die geprüfte Vorrichtung aufnimmt und eine Phasendifferenz zwischen dem Operationstaktsignal und dem Ratensignal erfasst unter Verwendung des Ratensignals als eines Standards; eine Prüfsignal-Erzeugungsschaltung, die ein zu der geprüften Vorrichtung synchron mit dem Ratensignal zu lieferndes Prüfsignal erzeugt; eine Verzögerungsschaltung, die das Prüfsignal gemäß der Phasendifferenz verzögert, um das verzögerte Signal im Wesentlichen mit dem Operationstaktsignal zu synchronisieren; und eine Prüfsignal-Zuführungsschaltung, die das verzögerte Prüfsignal zu der geprüften Vorrichtung liefert.
  • Gemäß dem vierten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Prüfvorrichtung vorgesehen, die eine geprüfte Vorrichtung prüft. Die Prüfvorrichtung enthält: einen Periodengenerator, der ein Ratensignal, das eine Prüfperiode gemäß einer Operationsperiode der geprüften Vorrichtung bestimmt, erzeugt; eine Abtasterzeugungsschaltung, die ein Abtastsignal mit einer für das Ratensignal eingestellten relativen Phase erzeugt; einen Zeitkomparator, der eine Phase eines von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen Ausgangssignals und eine Phase des Abtastsignals vergleicht; eine Treiberschaltung, die ein zu der geprüften Vorrichtung zu lieferndes Prüfsignal erzeugt, um das Prüfsignal zu der geprüften Vorrichtung zu liefern; eine Treibertakt-Erzeugungsschaltung, die einen Zeitpunkt steuert, zu welchem die Treiberschaltung das Prüfsignal zu einem Treibertakt mit der für das Ratensignal eingestellten relativen Phase ausgibt; und eine Steuerschaltung, die aufeinander folgend die Einstellung einer relativen Phase des Abtastsignals für das Ratensignal ändert und aufeinander folgend die Einstellung einer relativen Phase des Treibertakts für das Ratensignal um den im Allgemeinen gleichen Änderungsbetrag ändert, bis der Zeitkomparator erfasst, dass die Phase des Ausgangssignals und die Phase des Abtastsignals im Wesentlichen einander identisch sind.
  • Gemäß dem fünften Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Prüfvorrichtung vorgesehen, die eine geprüfte Vorrichtung prüft. Die Prüfvorrichtung enthält: einen Periodengenerator, der ein Ratensignal, das eine Prüfperiode gemäß einer Operationsperiode der geprüften Vorrichtung bestimmt, erzeugt; eine erste Abtasterzeugungsschaltung, die ein erstes Abtastsignal mit einer für das Ratensignal eingestellten relativen Phase erzeugt; einen ersten Zeitkomparator, der eine Phase des von der geprüften Vorrichtung erzeugten Operationstaktsignals der geprüften Vorrichtung und eine Phase des ersten Abtastsignals vergleicht; eine zweite Abtasterzeugungsschaltung, die ein zweites Abtastsignal mit einer für das Ratensignal eingestellten relativen Phase erzeugt; einen zweiten Zeitkomparator, der eine Phase eines von der geprüften Vorrichtung gemäß einem einzugebenden Prüfsignal ausgegebenen Datensignals und eine Phase des zweiten Abtastsignals vergleicht; und eine Steuerschaltung, die aufeinander folgend die Einstellung einer relativen Phase des ersten Abtastsignals für das Ratensignal ändert und aufeinander folgend die Einstellung einer relativen Phase des zweiten Abtastsignals für das Ratensignal um den im Allgemeinen gleichen Änderungsbetrag ändert, bis der erste Zeitkomparator erfasst, dass die Phase des Operationstaktsignals und die Phase des ersten Abtastsignals im Wesentlichen einander gleich sind.
  • Gemäß dem sechsten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Programm für eine Prüfvorrichtung vorgesehen, die eine geprüfte Vorrichtung prüft. Das Programm bewirkt, dass die Prüfvorrichtung funktioniert als: ein Periodengenerator, der ein Ratensignal, das eine Prüfperiode gemäß einer Operationsperiode der geprüften Vorrichtung bestimmt, erzeugt; eine Abtasterzeugungsschaltung, die ein Abtastsignal mit einer für das Ratensignal eingestellten relativen Phase erzeugt; einen Zeitkomparator, der eine Phase eines von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen Ausgangssignals und eine Phase des Abtastsignals vergleicht; eine Treiberschaltung, die ein zu der geprüften Vorrichtung zu lieferndes Prüfsignal erzeugt, um das Prüfsignal zu der geprüften Vorrichtung zu liefern; eine Treibertakt-Erzeugungsschaltung, die einen Zeitpunkt steuert, zu welchem die Treiberschaltung das Prüfsignal zu einem Treibertakt mit der für das Ratensignal eingestellten relativen Phase ausgibt; und eine Steuerschaltung, die aufeinander folgend die Einstellung einer relativen Phase des Abtastsignals für das Ratensignal ändert und aufeinander folgend die Einstellung einer relativen Phase des Treibertakts für das Ratensignal mit dem im Allgemeinen gleichen Änderungsbetrag ändert, bis der Zeitkomparator erfasst, dass die Phase des Ausgangssignals und die Phase des Abtastsignals im Wesentlichen einander identisch sind.
  • Gemäß dem siebenten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Programm für eine Prüfvorrichtung vorgesehen, die eine geprüfte Vorrichtung prüft. Das Programm bewirkt, dass die Prüfvorrichtung funktioniert als: ein Periodengenerator, der ein Ratensignal, das eine Prüfperiode gemäß einer Operationsperiode der geprüften Vorrichtung bestimmt, erzeugt; eine erste Abtasterzeugungsschaltung, die ein erstes Abtastsignal mit einer für das Ratensignal eingestellten relativen Phase erzeugt; ein erster Zeitkomparator, der eine Phase eines von der geprüften Vorrichtung erzeugten Operationstaktsignals der geprüften Vorrichtung und eine Phase des ersten Abtastsignals vergleicht; eine zweite Abtasterzeugungsschaltung, die ein zweites Abtastsignal mit einer für das Ratensignal eingestellten relativen Phasen erzeugt; einen zweiten Zeitkomparator, der eine Phase eines von der geprüften Vorrichtung gemäß einem einzugebenden Prüfsignal ausgegebenen Datensignals und eine Phase des zweiten Abtastsignals vergleicht; und eine Steuerschaltung, die aufeinander folgend die Einstellung einer relativen Phase des ersten Abtastsignals für das Ratensignal ändert und aufeinander folgend die Einstellung einer relativen Phase des zweiten Abtastsignals für das Ratensignal mit dem im Allgemeinen gleichen Änderungsbetrag ändert, bis der erste Zeitkomparator erfasst, dass die Phase des Operationstaktsignals und die Phase des ersten Abtastsignals im Wesentlichen einander identisch sind.
  • Die Zusammenfassung beschreibt nicht notwendigerweise alle erforderlichen Merkmale der vorliegenden Erfindung. Die vorliegende Erfindung kann auch eine Unterkombination der vorbeschriebenen Merkmale sein.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist eine Ansicht, die eine Gesamtkonfiguration einer Prüfvorrichtung 100 zeigt.
  • 2 ist eine Ansicht, die eine funktionelle Konfiguration einer Phasenvergleichsschaltung 18 zeigt.
  • 3 ist eine Ansicht, die einen Vorgang des Erfassens einer Flanke eines Operationstaktsignals erläutert.
  • 4 ist eine Ansicht, die eine funktionelle Konfiguration einer Wellenform-Formungsvorrichtung 14 zeigt.
  • 5 ist eine Ansicht, die eine funktionelle Konfiguration einer Vergleichsschaltung 16 zeigt.
  • 6 ist ein Flussdiagramm, das eine Arbeitsweise einer Prüfvorrichtung 100 zeigt.
  • 7 ist eine Ansicht, die ein anderes Beispiel für eine Konfiguration einer Prüfvorrichtung 100 zeigt.
  • 8 ist ein Zeitdiagramm, das beispielhaft eine Arbeitsweise einer Prüfvorrichtung 100 zeigt.
  • 9 ist eine Ansicht, die beispielhaft eine Konfiguration einer ersten Komparatorschaltung 550-1 und einer zweiten Komparatorschaltung 550-2 zeigt.
  • 10 ist eine Ansicht, die beispielhaft eine Konfiguration einer in 7 gezeigten Wellenform-Formungsvorrichtung 14 zeigt.
  • 11 ist eine Ansicht, die beispielhaft eine in einem zu einer Steuerschaltung 30 gegebenen Programm enthaltene Befehlsgruppe zeigt.
  • BESTE ART DER AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNG
  • Die Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nun auf der Grundlage der bevorzugten Ausführungsbeispiele beschrieben, die den Bereich der vorliegenden Erfindung nicht beschränken, sondern nur die Erfindung veranschaulichen sollen. Alle Merkmale und deren Kombinationen, die in dem Ausführungsbeispiel beschrieben sind, sind nicht notwendigerweise wesentlich für die Erfindung.
  • 1 zeigt eine Gesamtkonfiguration einer Prüfvorrichtung 100. Gemäß einer Aufgabe der Erfindung er fasst die Prüfvorrichtung 100 eine Phasendifferenz zwischen einem Operationstaktsignal einer elektronischen Vorrichtung 20 von der Prüfvorrichtung 100 erzeugten Ratensignal und verzögert ein in die elektronische Vorrichtung 20 einzugebendes Prüfsignal mittels der Phasendifferenz, um die elektronische Vorrichtung 20 in geeigneter Weise zu prüfen. Hierdurch kann, obgleich die elektronische Vorrichtung 20 eine unabhängige Oszillationsschaltung hat, die Prüfvorrichtung die elektronische Vorrichtung 20 zweckmäßig prüfen. Zusätzlich wird, in 1, da die elektronische Vorrichtung 20 eine zu prüfende Vorrichtung ist, die elektronische Vorrichtung 20 als eine geprüfte Vorrichtung (DUT) bezeichnet.
  • Die Prüfvorrichtung 100 enthält einen Taktgenerator 10, einen Mustergenerator 12, eine Wellenform-Formungsvorrichtung 14, eine Vergleichsschaltung 16, eine Phasenvergleichsschaltung 18, eine Steuerschaltung 30, und einen Periodengenerator 32. Der Taktgenerator 10 wirkt zusammen mit dem Mustergenerator 12 als eine Prüfsignal-Erzeugungsschaltung gemäß der vorliegenden Erfindung. Der Taktgenerator 10 erzeugt ein synchron mit einem von dem Periodengenerator 32 erzeugten Ratensignal zu der elektronischen Vorrichtung 20 zu lieferndes Prüfsignal. Insbesondere erzeugt der Taktgenerator 10 ein Taktsignal, um die Prüfvorrichtung 100 zu betreiben. Beispielsweise empfängt der Taktgenerator 10 ein Prüfeinstellsignal, das einen Zeitpunkt anzeigt, zu welchem ein Prüfmuster zu der elektronischen Vorrichtung 20 geliefert wird, von dem Mustergenerator 12 und liefert das Signal, das einen Zeitpunkt, zu welchem ein Prüfmuster zu der elektronischen Vorrichtung 20 geliefert wird, anzeigt, zu der Wellenform-Formungsschaltung 14. Der Mustergenerator 12 erzeugt ein Prüfmuster, um die e lektronische Vorrichtung 20 zu prüfen, und liefert es zu der Wellenform-Formungsschaltung 14.
  • Die Wellenform-Formungsvorrichtung 14 formt das Prüfmuster gemäß dem von dem Taktgenerator 10 empfangenen Signal und liefert es als ein Prüfsignal zu der elektronischen Vorrichtung 20. Die Vergleichsschaltung 16 entscheidet über gut oder schlecht der elektronischen Vorrichtung 20 auf der Grundlage eines von der elektronischen Vorrichtung 20 als Antwort auf das gegebene Prüfmuster ausgegebenen Ausgangssignals. Die Phasenvergleichsschaltung 18 empfängt ein von der elektronischen Vorrichtung 20 erzeugtes Operationstaktsignal der elektronischen Vorrichtung 20 und erfasst eine Phasendifferenz zwischen dem Operationstaktsignal und dem Ratensignal, wobei das von dem Periodengenerator 32 erzeugte Ratensignal als ein Standard verwendet wird. Wenn die Phasenvergleichsschaltung die Phasendifferenz erfasst, informiert die Phasenvergleichsschaltung 18 die Steuerschaltung 30 hierüber.
  • Die Steuerschaltung 30 steuert, dass die Prüfvorrichtung 100 die elektronische Vorrichtung 20 prüft. Beispielsweise liest die Steuerschaltung 30 in einem Register in der Phasenvergleichsschaltung 18 gespeicherte Phasendifferenzinformationen gemäß einer Nachricht über die Erfassung der Phasendifferenz. Dann stellt die Steuerschaltung 30 einen Verzögerungsbetrag in der Wellenform-Formungsvorrichtung 14 und der Vergleichsschaltung 16 auf der Grundlage der Phasendifferenzinformationen ein. Darüber hinaus weist die Steuerschaltung 30 den Mustergenerator 12 an, ein Prüfsignal zum Prüfen der elektronischen Vorrichtung 20 zu erzeugen. Der Periodengenerator 32 liefert einen Bezugstakt zu jeder Komponente der Prüfvorrich tung 100. Darüber hinaus erzeugt der Periodengenerator 32 ein Ratensignal, das eine Prüfperiode gemäß einer Operationsperiode der elektronischen Vorrichtung 20 bestimmt, und liefert es zu jeder Komponente der Prüfvorrichtung 100.
  • Ein Programm zum Realisieren jeder vorstehend beschriebenen Funktion wird aus einem CD-ROM 150 gelesen und in der Prüfvorrichtung 100 installiert, um ausgeführt zu werden. Alternativ kann das Programm in einem Speichermedium wie einer Diskette oder einer IC-Karte, die von einem Benutzer zu liefern ist, gespeichert werden. Ein Speichermedium kann ein optisches Aufzeichnungsmedium wie eine DVD oder eine PD, ein magnetooptisches Aufzeichnungsmedium wie eine MD, ein Bandmedium und einen Halbleiterspeicher zusätzlich zu dem CD-ROM 150, der Diskette und der IC-Karte enthalten. Darüber hinaus kann eine Speichervorrichtung wie eine Platte oder ein RAM, die in einem Serversystem, das mit einem privaten Kommunikationsnetzwerk oder dem Internet verbunden ist, vorgesehen ist, als ein Aufzeichnungsmedium verwendet werden, und ein Programm kann über ein Netzwerk zu der Prüfvorrichtung 100 geliefert werden. Dieses Programm bewirkt, dass die Prüfvorrichtung 100 als die mit Bezug auf 1 bis 11 beschriebene Prüfvorrichtung 100 funktioniert. Dieses Programm kann bewirken, dass die Prüfvorrichtung 100 als die Prüfvorrichtung 100 mit jeder mit Bezug auf 1 bis 11 zu beschreibenden Konfiguration funktioniert. Beispielsweise kann die Steuerschaltung 30 jeden in dem Programm enthaltenen Befehl ausführen, um jede Komponente der Prüfvorrichtung 100 zu betätigen. Dieses Programm kann Befehle enthalten, die bewirken, dass jede Komponente der Prüfvorrichtung wie in 1 bis 11 beschrieben funktioniert. Die Steuerschaltung 30 kann eine arithmetische Einheit zum Ausführen dieser Befehle für die Steuerung jeder Komponente haben.
  • 2 zeigt eine funktionelle Konfiguration der Phasenvergleichsschaltung 18. Die Phasenvergleichsschaltung 18 enthält eine Abtasterzeugungsschaltung 200, einen Zeitkomparator 220, eine Flankenerfassungsschaltung 230 und eine Phasendifferenz-Ausgabeschaltung 240. Die Abtasterzeugungsschaltung 200 erzeugt ein Abtastsignal, während eine Phase für das Ratensignal aufeinander folgend geändert wird. Insbesondere hat die Abtasterzeugungsschaltung 200 ein Adressenregister 202, einen Modulationsspeicher 205 und ein Verzögerungselement 210.
  • Der Modulationsspeicher 205 speichert einen Modulationsbetrag der Phase für das Ratensignal. Das Adressenregister 202 gibt eine zu dem Modulationsspeicher 205 zu liefernde Adresse aus. Auf der Grundlage der gelieferten Adresse wird der Modulationsbetrag der Phase von dem Modulationsspeicher 205 ausgegeben. Dieser ausgegebene Modulationsbetraq wird von einem Addierer zu einem Taktsignal addiert, und das Additionsergebnis wird zu dem Verzögerungselement 210 ausgegeben. Das Verzögerungselement 210 verzögert das Ratensignal gemäß dem Eingangssignal, um ein Abtastsignal zu dem Zeitkomparator 220 auszugeben. Die Abtasterzeugungsschaltung 200 erzeugt ein Abtastsignal, das eine Phase für ein Ratensignal auf der Grundlage des aus dem Modulationsspeicher 205 gelesenen Modulationsbetrags gemäß aufeinander folgender Erhöhung oder Erniedrigung der gelieferten Adresse bestimmt.
  • Der Zeitkomparator 220 erwirbt das Operationstaktsignal von der elektronischen Vorrichtung 20 zu einem durch jedes Abtastsignal bezeichneten Zeitpunkt. Die Flankenerfassungsschaltung 230 erfasst eine Flanke des Operationstaktsignals auf der Grundlage eines Operationstaktsignalwerts zu jedem der Zeitpunkte.
  • Die Flankenerfassungsschaltung 230 hat eine Zählschaltung 232, ein Schwellenwertregister 234 und einen Komparator 236. Die Zählschaltung 232 zählt die Anzahl von Malen, bei denen die von dem Zeitkomparator 220 erhaltenen Operationstaktsignale einem vorbestimmten logischen Wert entsprechen (z. B. einem positiven logischen Wert eins oder einem negativen logischen Wert null). D. h., die Zählschaltung 232 erhöht die Anzahl von Malen um eins, wenn das erhaltene Operationstaktsignal jeweils den vorbestimmten logischen Wert hat. Darüber hinaus kann die Zählschaltung 232 die gezählte Anzahl von Malen gemäß der Eingabe des TM_INC-Signals zurücksetzen.
  • Das Schwellenwertregister 234 zeichnet einen Schwellenwert auf, der mit der von der Zählschaltung 232 gezählten Anzahl von Malen verglichen wird. Der Komparator 236 vergleicht die von der Zählschaltung 232 gemessene Anzahl von Malen und den Schwellenwert. Die Phasendifferenz-Ausgabeschaltung 240 gibt eine Phasendifferenz auf der Grundlage einer Position einer Flanke des Operationstaktsignals für eine Flanke des Ratensignals zu der Steuerschaltung 30 aus. Insbesondere hat die Phasendifferenz-Ausgabeschaltung 240 ein Register 245 zum Aufzeichnen von eine Phasendifferenz anzeigenden Phasendifferenzinformationen. Dann zeichnet als Antwort auf den Umstand, dass die von der Zählschaltung 232 gezählte Anzahl von Malen nicht kleiner als der Schwellenwert ist, die Phasendifferenz-Ausgabeschaltung 240 einen in dem Adressenregister 202 aufgezeichneten Adressenwert an diesem Punkt in dem Register 245 als Phasendifferenzinformationen auf. Dann gibt, um die Steuerschaltung 30 über die Erfassung der Phasendifferenz zu informieren, die Phasendifferenz-Ausgabeschaltung 240 ein diesen Vorgang anzeigendes Flankenerfassungssignal aus.
  • 3 zeigt eine Ansicht, die einen Vorgang des Erfassens einer Flanke eines Operationstaktsignals erläutert. Die elektronische Vorrichtung 20 oszilliert das Operationstaktsignal mittels einer unabhängigen Oszillationsschaltung auf der Grundlage des von der Prüfvorrichtung 100 empfangenen Taktsignals. Andererseits bewirkt die Prüfvorrichtung 100, dass der Periodengenerator 32 ein Ratensignal erzeugt, das eine Prüfperiode gemäß einer Operationsperiode der elektronischen Vorrichtung 20 bestimmt. In diesem Fall können das Operationstaktsignal und das Ratensignal unterschiedliche Phasen haben, selbst wenn sie dieselbe Periode haben. Um diese Phasendifferenzen zu erfassen, erzeugt die Abtasterzeugungsschaltung 200 ein Abtastsignal. Die Abtasterzeugungsschaltung 200 erzeugt mehrere Abtastsignale für mehrere Phasen des Ratensignals. Beispielsweise sind Abtastsignale entsprechend Phasen (a) bis (d) des Ratensignals gleich Abtastsignalen (a) bis (d).
  • Die Abtasterzeugungsschaltung 200 erzeugt mehrere vorbestimmte Abtastsignale für jede Phase, während eine Phase für das Ratensignal aufeinander folgend vergrößert (oder verringert) wird. D. h., dass die Abtasterzeugungsschaltung 200 beispielsweise zuerst ein Abtastsignal für die Phase (a) erzeugt, wenn jeweils das Ratensignal ansteigt, und wenn die erzeugte Anzahl von Malen die vorbestimmte Anzahl von Malen (z. B. 100 mal) erreicht, ein Abtastsignal für die Phase (b) erzeugt, wenn jeweils das Ratensignal ansteigt. Als Nächstes erzeugt die Abtasterzeugungs schaltung 200 ein Abtastsignal für die Phase (c), das ein Beispiel für die erste Phase ist, wenn jeweils das Ratensignal ansteigt, und erzeugt dann ein Abtastsignal für die Phase (d), das ein Beispiel für die zweite Phase ist, wenn jeweils das Ratensignal ansteigt.
  • Der Zeitkomparator 220 erwirbt Operationstaktsignale zu Zeitpunkten, die durch die Abtastsignale bezeichnet werden, die bei jedem Zyklus für die mehreren Phasen aufeinander folgend ausgegeben werden. Z. B. erwirbt der Zeitkomparator 220 zuerst Operationstaktsignale zu den mehreren Zeitpunkten, die durch mehrere Abtastsignale bezeichnet sind, mit Bezug auf die Phase (c). Mit Bezug auf die Phase (c) wird ein vorbestimmter logischer Wert (z. B. ein positiver logischer Wert 1) an der ersten und der vierten ansteigenden Flanke erworben, aber wird nicht an der zweiten, der dritten und der fünften ansteigenden Flanke erworben. Als Nächstes erwirbt der Zeitkomparator 220 Operationstaktsignale zu den mehreren Zeitpunkten, die durch die mehreren Abtastsignale bezeichnet wurden, mit Bezug auf die Phase (d). Mit Bezug auf die Phase (d) wird ein vorbestimmter logischer Wert erhalten, der die zweite ansteigende Flanke ausnimmt.
  • Das Register 245 zählt die Anzahl von Malen, bei denen das Operationstaktsignal ein vorbestimmter logischer Wert wird, mit Bezug auf jede Phase. D. h., bei einem Beispiel nach 3 ist die für die Phase (c) gezählte Anzahl von Malen gleich zwei, und die für die Phase (d) gezählte Anzahl von Malen ist gleich vier.
  • Die Flankenerfassungsschaltung 230 erfasst, dass die Flanke des Operationstaktsignals zwischen der Phase (c) und der Phase (d) ist, unter der Bedingung, dass die für die Phase (c) gezählte Anzahl von Malen nicht größer als ein vorbestimmter Schwellenwert (z. B. dreimal) ist und die für die Phase (d) gezählte Anzahl von Malen nicht geringer als der vorbestimmte Schwellenwert ist. D. h., bei einem Beispiel nach 3 wird erfasst, dass die Flanke des Operationstaktsignals zwischen der Phase (c) und der Phase (d) ist. Zusätzlich kann dieser Schwellenwert nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel beispielsweise die Hälfte der Anzahl von Malen sein, die durch Zählen des logischen Werts des Operationstaktsignals erhalten wurde. Wenn beispielsweise die Flankenerfassungsschaltung 230 den logischen Wert 100 mal für eine bestimmte Phase erfasst, kann der Schwellenwert gleich 50 mal sein.
  • Alternativ kann als Antwort auf den Umstand, dass die von dem Zeitkomparator 220 gezählte Anzahl von Malen für eine bestimmte Phase nicht geringer als der Schwellenwert wird, während die Phase aufeinander folgend vergrößert wird, die Flankenerfassungsschaltung 230 erfassen, dass die Flanke des Operationstaktsignals an im Wesentlichen derselben Position wie die Phase ist. D. h., bei einem Beispiel der vorliegenden Zeichnung wird, da die für die Phase (d) gezählte Anzahl von Malen zuerst nicht geringer wird als der Schwellenwert, erfasst, dass die Flanke des Operationstaktsignals im Wesentlichen an derselben Position wie die Phase (d) ist. Wenn eine Vergrößerung einer Phase, die aufeinander folgend vergrößert wird, angemessen klein ist, ist es möglich, eine Flanke mittels dieses Verfahrens mit hoher Genauigkeit zu erfassen.
  • Bei einem weitern anderen Beispiel kann die Flankenerfassungsschaltung 230 erfassen, dass die Flanke des Operationstaktsignals zwischen einer ersten Phase und einer zweiten Phase unter der Bedingung ist, dass in dem Fall der ersten Phase ein Verhältnis, dass das Operationstaktsignal ein erster logischer Wert ist (z. B. eine binäre Eins) nicht größer als ein Verhältnis, dass das Operationstaktsignal ein zweiter logischer Wert (z. B. eine binäre Null) ist, und in dem Fall der zweiten Phase das Verhältnis, dass das Operationstaktsignal der erste logische Wert ist, nicht kleiner als das Verhältnis, dass das Operationstaktsignal der zweite logische Wert ist. Gemäß diesem Verfahren ist es möglich, obgleich ein Schwellenwert nicht besonders vorgesehen ist und auch die Anzahl von Malen von Abtastsignalen, die für jede der mehreren Phasen erzeugt werden, unterschiedlich ist, eine Flanke eines Operationstaktsignals angemessen zu erfassen.
  • 4 zeigt eine funktionelle Konfiguration der Wellenform-Formungsvorrichtung 14. Gemäß einer Aufgabe des vorliegenden Ausführungsbeispiels liefert die Wellenform-Formungsvorrichtung 14 ein in die elektronische Vorrichtung 20 einzugebendes Prüfsignal, um über gut oder schlecht der elektronischen Vorrichtung 20 zu entscheiden, zu einem mit einem Operationstaktsignal der elektronischen Vorrichtung 20 synchronisierten Zeitpunkt zu der elektronischen Vorrichtung 20. Die Wellenform-Formungsschaltung 14 hat eine setzseitige Einheit 42, eine rücksetzseitige Einheit 45 und eine Prüfsignal-Zuführungsschaltung 420 für jeden Eingangsstift der elektronischen Vorrichtung 20. Die setzseitige Einheit 42 bestimmt einen Zeitpunkt, zu welchem das Prüfsignal von dem ersten logischen Wert zu dem zweiten logischen Wert geändert wird. Andererseits bestimmt die rücksetzseitige Einheit 45 einen Zeitpunkt, zu welchem das Prüfsignal von dem zweien logischen Wert zu dem ersten logischen Wert geändert wird.
  • Die Prüfsignal-Zuführungsschaltung 420 ändert einen logischen Wert des Prüfsignals in Übereinstimmung mit einem von der setzseitigen Einheit 42 empfangenen Signal. Darüber hinaus ändert die Prüfsignal-Zuführungsschaltung 420 einen logischen Wert des Prüfsignals in Übereinstimmung mit einem von der rücksetzseitigen Einheit 45 empfangenen Signal. Hierdurch gibt die Prüfsignal-Zuführungsschaltung 420 ein von dem Mustergenerator 12 eingegebenes Mustersignal zu einem Zeitpunkt aus, zu welchem eine Phasendifferenz zwischen dem Mustersignal und dem Ratensignal eine gewünschte Größe wird. Hierdurch wird der elektronischen Vorrichtung 20 das Prüfsignal, das um die Phasendifferenz mit einer gewünschten Größe verzögert ist, zugeführt.
  • Die setzseitige Einheit 42 hat ein Verzögerungselement 405 und eine Verzögerungsschaltung 410. Die setzseitige Einheit 42 erhält ein Mustersignal von dem Mustergenerator 12, erhält einen Bezugstakt von dem Periodengenerator 32 und erhält ein Taktsignal von dem Taktgenerator 10. Darüber hinaus empfängt die setzseitige Einheit 42 die Einstellung eines Verzögerungsbetrags auf der Grundlage der von der Phasenvergleichsschaltung 18 erfassten Phasendifferenz von der Steuerschaltung 30.
  • Die Verzögerungsschaltung 410 verzögert das Prüfsignal gemäß der von der Phasenvergleichsschaltung 18 erfassten Phasendifferenz und verzögert den Bezugstakt, um den Takt im Wesentlichen mit dem Operationstaktsignal zu synchronisieren. Daher erzeugt die Verzögerungsschaltung ein Signal, bei dem eine Phasen differenz zwischen dem Signal und dem von dem Periodengenerator 32 erzeugten Ratensignal eine gewünschte Größe wird. Insbesondere hat die Verzögerungsschaltung 410 ein Verzögerungsbetragsregister 412 und einen Addierer 414. Das Verzögerungsbetragsregister 412 empfängt die Einstellung eines Verzögerungsbetrags auf der Grundlage der von der Phasenvergleichsschaltung 18 erfassten Phasendifferenz von der Steuerschaltung 30. Der Addierer 414 addiert den Verzögerungsbetrag zu dem von dem Taktgenerator 10 eingegebenen Taktsignal und gibt das Ergebnis aus. Das Verzögerungselement 405 erzeugt ein Signal, das durch Verzögern eines logischen Produkts aus dem Mustersignal und dem Bezugstakt gemäß einem durch Addieren des Verzögerungsbetrags erhaltenen Taktsignals erhalten wird.
  • Zusätzlich kann die Wellenform-Formungsschaltung 14 weiterhin ein Adressenregister 430 und einen Modulationsspeicher 440 enthalten. Der Modulationsspeicher 440 zeichnet mehrere Modulationsbeträge für das Prüfsignal auf. Dieser Modulationsbetrag kann als eine Phasendifferenz für das Ratensignal gegeben sein. Das Adressenregister 430 zeichnet eine zu dem Modulationsspeicher 440 zu liefernde Adresse auf und gibt die Adresse zu dem Modulationsspeicher 440 aus. Ein Adressenwert dieser Adresse kann von der Steuerschaltung 30 gesetzt sein. D. h. beispielsweise, dass die Steuerschaltung 30 aufeinander folgend einen Adressenwert des Adressenregisters 430 ändert, um zu bewirken, dass der Modulationsspeicher 440 aufeinander folgend einen unterschiedlichen Modulationsbetrag ausgibt. Dieser Modulationsbetrag kann ein positiver Wert oder ein negativer Wert sein. Der Verzögerungsbetrag addiert oder subtrahiert (mit anderen Worten, Addition, wenn der Modulationsbetrag positiv ist, und Subtraktion, wenn negativ) den von dem Modulationsspeicher 440 ausgegebenen Modulationsbetrag zu oder von einem Verzögerungsbetrag, der bereits in dem Verzögerungsbetragsregister 412 gesetzt ist, gemäß der Phasendifferenz des Bezugstakts, um das Prüfsignal zu modulieren.
  • Zusätzlich wird, da die rücksetzseitige Einheit 45 im Wesentlichen dieselbe Konfiguration wie die der setzseitigen Einheit 42 mit Ausnahme der Zuführung eines Signals zu einem rücksetzseitigen Anschluss der Prüfsignal-Zuführungsschaltung 420 hat, deren Beschreibung weggelassen.
  • Gemäß dieser Konfiguration kann die Zulässigkeit eines Eingangssignals für Jitter geprüft werden durch aufeinander folgendes Ändern eines in dem Adressenregister 430 aufzuzeichnenden Adressenwerts. Darüber hinaus kann, da dieser Adressenwert durch die Steuerschaltung 30 geändert werden kann, die Flexibilität von Jitter für eine Steuerung erhöht werden. D. h., die Steuerung unter Verwendung herkömmlicher Zeiteinstellung (TS) erfordert die Einstellung eines Wertes in jedem Steuerregister nach der Befestigung des Steuerregisters oder dergleichen gemäß der Frequenz von Jitter in der Prüfvorrichtung. Jedoch kann die Prüfvorrichtung gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel die Erzeugung von Jitter mittels eines Programms, das die Steuerschaltung 30 anweist, eine Operation durchzuführen, dynamisch steuern.
  • Zusätzlich kann, wenn zwei Prüfsignale in einer Periode des Ratensignals ausgegeben werden, die Wellenform-Formungsschaltung 14 einen ersten Modulationsspeicher zum Liefern von Jitter zu einem ersten Prüfsignal und einen zweiten Modulationsspeicher zum Lie fern von Jitter zu einem zweiten Prüfsignal aufweisen. Gemäß einer derartigen Konfiguration ist es möglich, Jitter unabhängig zu jedem Prüfsignal zu liefern und die Variation der Prüfung zu erweitern.
  • 5 zeigt eine funktionelle Konfiguration der Vergleichsschaltung 16. Gemäß einer Aufgabe des vorliegenden Ausführungsbeispiels erhält die Vergleichsschaltung 16 ein von der elektronischen Vorrichtung 20 gemäß einem Eingangsprüfsignal ausgegebenes Ausgangssignal von dieser zu einem mit einem Operationstaktsignal der elektronischen Vorrichtung 20 synchronisierten Zeitpunkt. Die Vergleichsschaltung 16 hat ein Verzögerungsbetragsregister 500, einen Addierer 510, ein Verzögerungselement 520, eine Signalerwerbsschaltung 530 und eine Entscheidungsschaltung 540, für jeden Ausgangsstift der elektronischen Vorrichtung 20. Das Verzögerungsbetragsregister 500 empfängt die Einstellung eines Verzögerungsbetrags auf der Grundlage der von der Phasenvergleichsschaltung 18 erfassten Phasendifferenz von der Steuerschaltung 30.
  • Der Addierer 510 addiert den Verzögerungsbetrag zu dem von dem Taktgenerator 10 eingegebenen Taktsignal und gibt das Ergebnis aus. Das Verzögerungselement 520 verzögert das von dem Periodengenerator 32 erzeugte Ratensignal gemäß dem eingegebenen Verzögerungsbetrag und gibt das verzögerte Signal in die Signalerwerbsschaltung 530 ein. Die Signalerwerbsschaltung 530 erhält das Ausgangssignal von der elektronischen Vorrichtung 20 gemäß dem verzögerten Ratensignal. Die Entscheidungsschaltung 540 entscheidet über den Erfolg oder das Versagen der Prüfung auf der Grundlage des erhaltenen Ausgangssignals, um über gut oder schlecht der elektronischen Vorrichtung 20 zu urteilen. Das Beurteilungsergebnis kann zu der Steuervorrichtung 30 oder dergleichen ausgegeben werden.
  • 6 zeigt ein Flussdiagramm, das eine Arbeitsweise der Prüfvorrichtung 100 zeigt. Zuerst beginnt der Periodengenerator 32 mit der Erzeugung eines Ratensignals, das eine Prüfperiode gemäß einer Operationsperiode der elektronischen Vorrichtung 20 bestimmt (S600). Als Nächstes nimmt die Phasenvergleichsschaltung 18 das von der elektronischen Vorrichtung 20 erzeugte Operationstaktsignal der elektronischen Vorrichtung 20 auf und erfasst eine Phasendifferenz zwischen dem Operationstaktsignal und dem Ratensignal unter Verwendung des Ratensignals als eines Standards (S610). Wenn die Phasendifferenz erfasst wurde, informiert die Phasendifferenz-Ausgabeschaltung 240 die Steuerschaltung 30 hierüber. Hierdurch weist die Steuerschaltung 30 den Mustergenerator 12 oder dergleichen an, mit der Erzeugung eines Prüfsignals zu beginnen. D. h., der Mustergenerator 12 beginnt mit der Erzeugung des Prüfsignals, um die elektronische Vorrichtung 20 unter der Bedingung zu prüfen, dass die Phasendifferenz von der Phasenvergleichsschaltung 18 erfasst wurde (S620). Die Verzögerungsschaltung 410 verzögert das Prüfsignal gemäß der erfassten Phasendifferenz, um es im Wesentlichen mit dem Operationstaktsignal zu synchronisieren (S630). Die Prüfsignal-Zuführungsschaltung 420 liefert das verzögerte Prüfsignal zu der elektronischen Vorrichtung 20 (S640).
  • Wie vorstehend beschrieben ist, kann bei der Prüfvorrichtung 100 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel, obgleich die elektronische Vorrichtung 20 ein Operationstaktsignal mittels einer unabhängigen Oszillationsschaltung erzeugt, ein von der Prüfvorrich tung 100 erzeugtes Ratensignal mit dem Operationstaktsignal synchronisiert werden. Hierdurch kann, da die Zuführung und der Erwerb des Signals zu und von der elektronischen Vorrichtung 20 zweckmäßig durchgeführt werden, die elektronische Vorrichtung 20 angemessen geprüft werden. Die Synchronisation des Signals wird realisiert durch Erfassen einer Flanke eines Operationstaktsignals mittels der mehreren Abtastsignale. Hierdurch ist es möglich, ein Ratensignal und ein Operationstaktsignal genau und wirksam zu synchronisieren.
  • 7 ist eine Ansicht, die eine andere Konfiguration einer Prüfvorrichtung 100 zeigt. Die mit Bezug auf 1 beschriebene Prüfvorrichtung 100 erfasst eine Phasendifferenz zwischen einem Operationstaktsignal und einem Ratensignal durch aufeinander folgendes Verschieben einer Phase eines Abtastsignals. Dann werden, da ein Verzögerungsbetrag des Verzögerungselements 405 auf der Grundlage der erfassten Phasendifferenz eingestellt wird, Operationen der Prüfvorrichtung 100 und der elektronischen Vorrichtung 20 synchronisiert. Demgegenüber verschiebt die Prüfvorrichtung 100 nach dem vorliegenden Beispiel aufeinander folgend eine Phase eines Abtastsignals und verschiebt gleichzeitig einen Verzögerungsbetrag eines Verzögerungselements zum Verzögern eines Prüfsignals um den im Allgemeinen selben Schiebebetrag.
  • Dann werden Operationen der Prüfvorrichtung 100 und der elektronischen Vorrichtung 20 mittels Verwendung einer Phase eines Abtastsignals und eines Verzögerungsbetrags eines Verzögerungselements als eines Bezugswerts synchronisiert, wenn das Abtastsignal die Flanke des Operationstaktsignals erfasst. Mit anderen Worten, ein Vorgang, der die Phase des Abtastsignals verschiebt und es mit dem Operationstaktsignal synchronisiert, entspricht einem Vorgang, der die Phasendifferenz zwischen dem Ratensignal und dem Operationstakt in der in 1 gezeigten Prüfvorrichtung 100 erfasst, und ein Vorgang, der gleichzeitig einen Verzögerungsbetrag des Verzögerungselements verschiebt, entspricht einem Vorgang, der ein Prüfsignal gemäß der Phasendifferenz in der in 1 gezeigten Prüfvorrichtung 100 verzögert.
  • Die Prüfvorrichtung 100 enthält eine Treiberschaltung 560 (einen Mustergenerator 12 und eine Wellenform-Formungsvorrichtung 14), die einen Periodengenerator 32, eine Steuerschaltung 30, eine erste Komparatorschaltung 550-1, eine zweite Komparatorschaltung 550-2 und eine Entscheidungsschaltung 540. Der Taktgenerator 10, der Mustergenerator 12, der Periodengenerator 32 und die Wellenform-Formungsvorrichtung 14 können gleich den Komponenten sein, die dieselben Bezugszahlen wie in 1 dargestellt haben. Jedoch wird ein anderes Beispiel für die Konfiguration der Wellenform-Formungsvorrichtung 14 nachfolgend in 10 beschrieben.
  • Die Treiberschaltung 560 erzeugt ein zu der elektronischen Vorrichtung 20 zu lieferndes Prüfsignal und liefert es zu der elektronischen Vorrichtung 20. Zusätzlich gibt die Treiberschaltung 560 ein Prüfsignal gemäß einem von einer Treibertakt-Erzeugungsschaltung 300, die nachfolgend in 10 beschrieben ist, erzeugten Treibertakt aus. Ein Treibertakt ist ein Takt mit einer für ein Ratensignal einzustellenden relativen Phase.
  • Die erste Komparatorschaltung 550-1 und die zweite Komparatorschaltung 550-2 vergleichen eine Phase ei nes von der elektronischen Vorrichtung 20 ausgegebenen Ausgangssignals und eine Phase eines gegebenen Abtastsignals. Ein Abtastsignal ist ein Signal, das einen Zeitpunkt zeigt, der eine für ein Ratensignal einzustellende relative Phase hat.
  • Bei dem vorliegenden Beispiel empfängt die erste Komparatorschaltung 550-1 ein Operationstaktsignal DQS der elektronischen Vorrichtung 20 als dieses Ausgangssignal und vergleicht es mit einem ersten Abtastsignal. Darüber hinaus empfängt die zweite Komparatorschaltung 550-2 ein Datensignal DQ, das von der elektronischen Vorrichtung 20 gemäß dem Prüfsignal ausgegeben wurde, als dieses Ausgangssignal und vergleicht es mit einem zweiten Abtastsignal. Hier kann der Phasenvergleich ein Vorgang zur Erfassung eines logischen Werts eines Ausgangssignals zu einem Zeitpunkt eines Abtastsignals sein. Beispielsweise können die erste Komparatorschaltung 550-1 und die zweite Komparatorschaltung 550-2 für jeden Zyklus eines Ratensignals einen logischen Wert eines Ausgangssignals der elektronischen Vorrichtung 20 zu einem Zeitpunkt eines gegebenen Abtastsignals abtasten.
  • Die Entscheidungsschaltung 540 bestimmt über gut oder schlecht der elektronischen Vorrichtung 20 auf der Grundlage eines logischen Werts des von der ersten Komparatorschaltung 550-1 und der zweiten Komparatorschaltung 550-2 erfassten Ausgangssignals. Beispielsweise kann die Entscheidungsschaltung 540 über gut oder schlecht der elektronischen Vorrichtung 20 entscheiden, indem ein logisches Muster des Datensignals DQ und ein zu erwartendes logisches Muster verglichen werden. Darüber hinaus kann die Entscheidungsschaltung 540 eine Phasendifferenz zwischen dem Operationstaktsignal DQS und dem Datensignal DQ auf der Grundlage einer Differenz zwischen Übergangszeitpunkten von logischen Werten, die von der ersten Komparatorschaltung 550-1 und der zweiten Komparatorschaltung 550-2 erfasst wurden, erfassen. Die Entscheidungsschaltung 50 kann über gut oder schlecht der elektronischen Vorrichtung 20 auf der Grundlage dessen entscheiden, ob diese Phasendifferenz innerhalb eines vorbestimmten Bereichs ist.
  • Die Steuerschaltung 30 steuert die Prüfvorrichtung 100, um die elektronische Vorrichtung 20 auf der Grundlage eines gegebenen Programms zu prüfen. Darüber hinaus synchronisiert die Steuerschaltung 30 Operationen der Prüfvorrichtung 100 und der elektronischen Vorrichtung 20 miteinander auf der Grundlage des gegebenen Programms, wie vorstehend beschrieben ist. Die Synchronisation zwischen der Prüfvorrichtung 100 elektronischen Vorrichtung 20 kann durchgeführt werden, bevor ein Prüfsignal in die Elektronische Vorrichtung 20 eingegeben wird. Ein Operationstaktsignal kann ein Signal sein, das unabhängig von der elektronischen Vorrichtung 20 erzeugt wird. In diesem Fall können die Prüfvorrichtung 100 und die elektronische Vorrichtung 20 miteinander synchronisiert werden auf der Grundlage eines Operationstaktsignals, ohne ein Prüfsignal in die elektronische Vorrichtung 20 einzugeben.
  • Darüber hinaus kann die elektronische Vorrichtung 20 eine Vorrichtung sein, die gemäß einem von der Prüfvorrichtung 100 gelieferten Takt arbeitet. In diesem Fall kann die Prüfvorrichtung 100 das Operationstaktsignal in die elektronische Vorrichtung 20 eingeben und einen Vorgang durchführen, durch den die Prüfvorrichtung 100 und die elektronische Vorrichtung 20 miteinander synchronisiert werden. Darüber hinaus kann ein Programm, das diese Vorgänge durchführt, beispielsweise von einem Benutzer geliefert werden. Zusätzlich kann die Steuerschaltung 30 in dem Mustergenerator 12 oder dergleichen enthalten sein.
  • 8 ist ein Zeitdiagramm, das beispielhaft eine Arbeitsweise der Prüfvorrichtung 100 zeigt. Der Periodengenerator 32 erzeugt ein mit dem Operationstaktsignal DQS der elektronischen Vorrichtung 20 synchronisiertes Ratensignal. Da das Operationstaktsignal DQS und das Ratensignal unabhängig erzeugt werden, kann eine Phasendifferenz wie in 8 gezeigt zwischen ihnen erzeugt werden.
  • Zuerst verschiebt die Steuerschaltung 30 das erste Abtastsignal, das zweite Abtastsignal und den Treibertakt um den im Allgemeinen selben Schiebebetrag, um jeden Takt oder Zeitpunkt zweckmäßig einzustellen, bevor das Prüfsignal in die elektronische Vorrichtung 20 eingegeben wird. Es ist bevorzugt, dass die Verschiebungen des ersten Abtastsignals, des zweiten Abtastsignals und des Treibertakts gleichzeitig durchgeführt werden.
  • Im Fall des ersten Abtastsignals, des zweiten Abtastsignals und des Treibertakts werden relative Phasen (Abtastpositionen) für das Ratensignal vorher durch ein von einem Benutzer geliefertes Programm oder dergleichen eingestellt. Bei dem vorliegenden Beispiel hat das erste Abtastsignal T1 (= 0) als eine Phasendifferenz für ein Ratensignal, das zweite Abtastsignal hat T2 als diese Phasendifferenz und das dritte Abtastsignal hat T3 als diese Phasendifferenz.
  • Die Steuerschaltung 30 ändert aufeinander folgend die Einstellung der relativen Phase des ersten Abtastsig nals für jeden Zyklus des Ratensignals. Bei dem vorliegenden Beispiel vergrößert die Steuerschaltung 30 die Einstellung der relativen Phase des ersten Abtastsignals für jeden Zyklus des Ratensignals um "a". Die Steuerschaltung 30 ändert gleichzeitig die Einstellung der relativen Phase des zweiten Abtastsignals und des Treibertakts um den im Allgemeinen selben Änderungsbetrag (bei dem vorliegenden Beispiel ein Vergrößerungsbetrag a).
  • Zu dieser Zeit erfasst die erste Komparatorschaltung 550-1 einen logischen Wert von DQS bei einer Phase (einem Zeitpunkt) des ersten Abtastsignals. Bei diesem Beispiel wird ein logischer Wert L in dem ersten Zyklus und dem zweiten Zyklus des Ratensignals erfasst. Darüber hinaus wird ein logischer Wert H in dem dritten Zyklus des Ratensignals erfasst.
  • Die Steuerschaltung 30 kann ein Vergleichsergebnis empfangen, das durch Vergleichen des von der ersten Komparatorschaltung 550-1 erfassten logischen Werts und eines vorbestimmten erwarteten Werts durch die Entscheidungsschaltung 540 erhalten wurde, und auf der Grundlage dieses Vergleichsergebnisses entscheiden, ob Phasen des ersten Abtastsignals und des DQS im Wesentlichen identisch miteinander sind. Beispielsweise wird ein hoher logischer Wert in der Entscheidungsschaltung 540 als ein erwarteter Wert entsprechend der ersten Komparatorschaltung 550-1 eingestellt. Die Steuerschaltung 30 kann bestimmen, dass Phasen im Wesentlichen identisch sind, wenn das Entscheidungsergebnis durch die Entscheidungsschaltung 540 von schlecht (Nichtübereinstimmung) in gut (Übereinstimmung) geändert wird.
  • Zusätzlich kann, während ein die Prüfvorrichtung 100 und die elektronische Vorrichtung 20 synchronisierender durchgeführt wird, ein erwarteter Wert entsprechend der zweiten Komparatorschaltung 550-2 nicht in der Entscheidungsschaltung 540 eingestellt sein (d. h., es kann ein unbeachtlicher erwarteter Wert sein). Darüber hinaus ist in 7 die Entscheidungsschaltung 540 gemeinsam für die Komparatorschaltungen 550 vorgesehen. Jedoch kann die Entscheidungsschaltung 540 jeweils für die Komparatorschaltungen 550 vorgesehen sein. Darüber hinaus kann die Steuerschaltung 30 in dem Mustergenerator 12 enthalten sein. Wenn eine die Prüfvorrichtung 100 und die elektronische Vorrichtung 20 synchronisierender Vorgang durchgeführt wird, stellt die Steuerschaltung 30 einen Zeitpunkt jedes Stifts auf der Grundlage eines Zeitpunkts ein, zu welchem ein Vergleichsergebnis entsprechend der vorher bezeichneten Komparatorschaltung 550 (in diesem Fall der ersten Komparatorschaltung 550-1) gut wird.
  • Darüber hinaus kann die Steuerschaltung 30 den von der ersten Komparatorschaltung 550-1 erfassten logischen Wert empfangen und auf der Grundlage dieses logischen Werts entscheiden, ob Phasen des ersten Abtastsignals und des DQS im Wesentlichen identisch sind. Wenn beispielsweise der von der ersten Komparatorschaltung 550-1 erfasste logische Wert des DQS in einen vorbestimmten logischen Wert geändert wird, entscheidet die Steuerschaltung 30, dass Phasen des ersten Abtastsignals und des DQS im Wesentlichen miteinander identisch sind. Bei dem vorliegenden Beispiel entscheidet, wenn der logische Wert des DQS in den hohen logischen Wert geändert wird, die erste Komparatorschaltung 550-1, dass Phasen des ersten Abtastsignals und des DQS im Wesentlichen identisch miteinander sind.
  • Wenn Phasen des ersten Abtastsignals und des DQS im Wesentlichen einander identisch sind, hält die Steuerschaltung 30 die Änderung der Einstellung der relativen Phasen des ersten Abtastsignals, des zweiten Abtastsignals und des Treibertakts an. Zu dieser Zeit halten die erste Komparatorschaltung 550-1, die zweite Komparatorschaltung 550-2 und die Treiberschaltung 560 diese relativen Phasen. In einem Beispiel nach 8 hält die erste Komparatorschaltung 550-1 eine relative Phase 2a. Darüber hinaus hält die zweite Komparatorschaltung 550-2 eine relative Phase T2 + 2a. Darüber hinaus hält die Treiberschaltung 560 eine relative Phase T3 + 2a.
  • Auf diese Weise bewirkt die Steuerschaltung 30 nach der Einstellung des ersten Abtastsignals, des zweiten Abtastsignals und des Treibertakts, dass die Treiberschaltung 560 ein Prüfsignal ausgibt und die elektronische Vorrichtung 20 prüft. Zu dieser Zeit hat, da die Treiberschaltung 560 die relative Phase T3 + 2a hält, das Prüfsignal eine gewünschte Phasendifferenz für DQS (T3 in dem vorliegenden Beispiel). Zusätzlich erzeugt die Prüfvorrichtung 100 kontinuierlich ein Ratensignal über den Vorgang zum Synchronisieren der Prüfvorrichtung 100 und der elektronischen Vorrichtung 20 und dem Vorgang zur Eingabe eines Prüfsignals in die elektronische Vorrichtung 20, um die elektronische Vorrichtung zu prüfen. Demgemäß kann die elektronische Vorrichtung 20 in einem Zustand geprüft werden, in welchem die Prüfvorrichtung 100 und die elektronische Vorrichtung 20 synchronisiert wurden.
  • Dann tastet die zweite Komparatorschaltung 550-2 das von der elektronischen Vorrichtung 20 ausgegebene Datensignal DQ ab. Zu dieser Zeit kann, da die zweite Komparatorschaltung 550-2 die relative Phase T2 + 2a hält, die zweite Komparatorschaltung DQ zu einem gewünschten Zeitpunkt abtasten. Zusätzlich ist das Datensignal DQ ein Signal, das synchron mit dem Operationstaktsignal DQS ausgegeben wird.
  • Durch einen derartigen Vorgang kann die Prüfung durchgeführt werden, nachdem die Prüfvorrichtung 100 und die elektronische Vorrichtung 20 synchronisiert wurden. Aus diesem Grund ist es möglich, die elektronische Vorrichtung 20 angemessen zu prüfen. Darüber hinaus braucht, da die Prüfvorrichtung 100 nach dem vorliegenden Beispiel eine Abtastung in jedem Zyklus eines Ratensignals durchführt, die Prüfvorrichtung die in 2 beschriebene Flankenerfassungsschaltung 230 nicht zu enthalten. Darüber hinaus erfasst die Prüfvorrichtung 100 nicht einen konkreten Phasendifferenzwert zwischen dem Ratensignal und dem Operationstaktsignal. Aus diesem Grund braucht die Prüfvorrichtung nicht die in 2 beschriebene Phasendifferenz-Ausgabeschaltung 240 zu enthalten. Daher kann die Prüfvorrichtung 100 nach dem vorliegenden Beispiel die elektronische Vorrichtung 20 mit einem vergleichsweise geringen Schaltungsaufwand zweckmäßig prüfen.
  • 9 ist eine Ansicht, die beispielhaft eine Konfiguration der ersten Komparatorschaltung 550-1 und der zweiten Komparatorschaltung 550-2 zeigt. Zusätzlich haben die erste Komparatorschaltung 550-1 und die zweite Komparatorschaltung 550-2 jeweils eine in 9 gezeigte Konfiguration. Mit anderen Worten, die erste Komparatorschaltung 550-1 und die zweite Komparatorschaltung 550-2 können dieselbe Konfiguration haben. Nachfolgend werden die erste Komparatorschaltung 550-1 und die zweite Komparatorschaltung 550-2 allgemein als die Komparatorschaltung 550 beschrieben.
  • Die Komparatorschaltung 550 hat eine Abtasterzeugungsschaltung 200 und einen Zeitkomparator 220. Der Zeitkomparator 220 erfasst einen logischen Wert eines Ausgangssignals (DQ oder DQS) der elektronischen Vorrichtung 20 gemäß einem gegebenen Abtastsignal. Der Zeitkomparator 220 gibt den erfassten logischen Wert zu der Entscheidungsschaltung 540 und der Steuerschaltung 30 aus.
  • Die Abtasterzeugungsschaltung 200 hat ein Verzögerungselement 210, einen linearisierten Speicher 250, eine Auflösungseinstellschaltung 252 und eine Abtastschiebeschaltung 270. Darüber hinaus wird der Abtasterzeugungsschaltung 200 ein Taktsignal T, das einen anfänglichen Wert einer relativen Phase für ein Ratensignal zeigt, beispielsweise von dem Taktgenerator 10 zugeführt. Das Taktsignal T entspricht der relativen Phasen T1 (= 0) oder T2, die in 8 gezeigt sind.
  • Die Auflösungseinstellschaltung 252 speichert Auflösungsdaten "a", die einen Einheitsänderungsbetrag für jeden Zyklus zeigen, wenn eine Phase eines Abtastsignals aufeinander folgend für jeden Zyklus eines Ratensignals geändert wird. Das von dem Taktgenerator 10 zugeführte Taktsignal T und die Auflösungsdaten "a" können vorher durch einen Benutzer eingestellt sein. Beispielsweise kann die Steuerschaltung 30 sie gemäß einem von einem Benutzer gelieferten Programm einstellen.
  • Die Abtastschiebeschaltung 270 empfängt das Taktsignal T und die Auflösungsdaten "a" und erzeugt auf der Grundlage der empfangenen Daten Verzögerungseinstelldaten, die einen Verzögerungsbetrag des Verzögerungselements 210 steuern. Das Verzögerungselement 210 verzögert das von dem Periodengenerator 32 gelieferte Ratensignal um einen Verzögerungsbetrag gemäß einem gegebenen Steuersignal und gibt es als ein Abtastsignal aus, ähnlich dem in 2 beschriebenen Verzögerungselement 210.
  • Der linearisierte Speicher 250 liefert ein Steuersignal gemäß den von der Abtastschiebeschaltung 270 erhaltenen Verzögerungseinstelldaten zu dem Verzögerungselement 210. Der linearisierte Speicher 250 kann eine Tabelle speichern, in der jeweils die Verzögerungseinstelldaten und ein zu dem Verzögerungselement 210 geliefertes Steuersignal miteinander assoziiert sind. Beispielsweise assoziiert der linearisierte Speicher 250 das Steuersignal mit den Verzögerungseinstelldaten in der Weise, dass ein durch die jeweiligen Verzögerungseinstelldaten gezeigter Verzögerungsbetrag identisch mit einem Verzögerungsbetrag ist, der tatsächlich von dem Verzögerungselement 210 erzeugt wird.
  • Die Abtastschiebeschaltung 270 ändert aufeinander folgend den Verzögerungsbetrag des Verzögerungselements 210 mit einem Verschiebungsbetrag, der durch die Auflösungsdaten "a" gezeigt ist, gegenüber einem anfänglichen Verzögerungsbetrag, der durch das Taktsignal T gezeigt ist. Beispielsweise gibt die Abtastschiebeschaltung 270 die Verzögerungseinstelldaten aus, die aufeinander folgend wie T, T + a, T + 2a, ... geändert werden.
  • Die Abtastschiebeschaltung 270 hat eine UND-Schaltung 254, eine Schiebeadditionsschaltung 256, eine Daten speicherschaltung 258 und eine Versetzungsadditionsschaltung 262. Die UND-Schaltung 254 gibt ein logisches Produkt der von der Auflösungseinstellschaltung 252 gelieferten Auflösungsdaten "a" und des Steuersignals aus.
  • Die Schiebeadditionsschaltung 256 addiert die durch die UND-Schaltung 254 hindurchgegangenen Auflösungsdaten "a" und einen Datenwert von von der Datenspeicherschaltung 258 ausgegebenen Daten und gibt das Ergebnis aus. Die Datenspeicherschaltung 258 speichert die von der Schiebeadditionsschaltung 256 ausgegebenen Daten und gibt diese aus. Mit anderen Worten, während ein Steuersignal mit hohem logischen Wert zu der UND-Schaltung 254 gegeben wird, wird ein Wert von von der Schiebeadditionsschaltung 256 ausgegebenen Daten um die Auflösungsdaten "a" wie a, 2a, 3a, ... erhöht. Darüber hinaus kann die Schiebeadditionsschaltung 256 die Auflösungsdaten "a" zu den von der Datenspeicherschaltung 258 ausgegebenen Daten addieren und das Ergebnis synchron mit dem Ratensignal ausgeben.
  • Die Steuerschaltung 30 liefert das Steuersignal mit dem hohen logischen Wert zu der UND-Schaltung 254 vom Beginn eines Vorgangs zum Synchronisieren von Operationen der Prüfvorrichtung 100 und der elektronischen Vorrichtung 20 an, um die Phase des ersten Abtastsignals im Wesentlichen an die Phase des DQS anzupassen. Darüber führt, wenn erfasst wird, dass die Phase des ersten Abtastsignals und die Phase des DQS einander identisch sind, die Steuerschaltung einen Übergang des logischen Werts eines Steuersignals auf einen niedrigen logischen Wert durch. Eine relative Phase (bei dem vorliegenden Beispiel ein Schiebebetrag einer relativen Phase) jedes Abtastsignals wird, wenn erfasst wird, dass die Phasen des ersten Abtastsignals und des DQS einander identisch sind, durch den Übergang eines logischen Werts eines Steuersignals auf den niedrigen logischen Wert in der Datenspeicherschaltung 258 gehalten. Durch eine derartige Steuerung können die in 8 beschriebenen Operationen durchgeführt werden. Die Steuerschaltung 30 kann mit einem Programm, das Befehle enthält, die bewirken, dass die Steuerschaltung 30 diesen Prozess ausführt, beliefert werden.
  • Die Versetzungsadditionsschaltung 262 addiert einen von der Datenspeicherschaltung 258 ausgegebenen Datenwert und einen Datenwert des Taktsignals T und gibt das Ergebnis zu dem linearisierten Speicher 250 und der Phasendifferenz-Ausgabeschaltung 240 aus. Durch eine derartige Konfiguration ist es, wie vorstehend beschrieben ist, möglich, die Verzögerungseinstelldaten zu erzeugen, die sich aufeinander folgend wie T, T + a, T + 2a, ... ändern. Durch eine derartige Konfiguration ist es möglich, eine Phase eines Abtastsignals mit einer beliebigen anfänglichen Phase und einer beliebigen Auflösung zu verschieben, um jedes Abtastsignal und den Operationstakt DQS zu synchronisieren.
  • Die Abtasterzeugungsschaltung 200 bei dem vorliegenden Beispiel kann auch in einer in 2 dargestellten Konfiguration verwendet werden. In diesem Fall kann ein Ausgangssignal der Versetzungsadditionsschaltung 262 zu der Phasendifferenz-Ausgabeschaltung 240 geliefert werden.
  • Darüber hinaus kann, wie in 3 gezeigt ist, wenn mehrere Abtastsignale für jede der Phasen (a) bis (d) erzeugt werden, der UND-Schaltung 254 ein Steuersig nal mit niedrigem logischem Wert zugeführt werden, während die mehreren Abtastsignale jeweils erzeugt werden. Während das Steuersignal mit niedrigem logischem Wert zugeführt wird, werden, da die Schiebeadditionsschaltung 256 null zu den von der Datenspeicherschaltung 258 ausgegebenen Daten addiert und das Ergebnis ausgibt, die Verzögerungseinstelldaten nicht verändert. D. h., die mehreren Abtastsignale werden in dieser Phase erzeugt. Dann wird, wenn das Abtastsignal durch die vorbestimmte Anzahl von Malen in dieser Phase erzeugt ist, das Steuersignal mit dem hohen logischen Wert gegeben, und die Auflösungsdaten "a" werden zu den Verzögerungseinstelldaten addiert. Wie in 3 gezeigt ist, ist es möglich, das Abtastsignal mehrere Male in jeder Phase durch Wiederholen eines derartigen Vorgangs zu erzeugen. Darüber hinaus können die Zeiten, in denen das Steuersignal den hohen logischen Wert oder den niedrigen logischen Wert zeigt, gemäß einem von einem Benutzer gelieferten Programm gesteuert werden, ähnlich wie das Taktsignal T und die Auflösungsdaten "a".
  • Darüber hinaus wurde bei dem vorbeschriebenen Beispiel ein Beispiel zum Erzeugen eines Abtastsignals für jeden Zyklus eines Ratensignals erläutert. Jedoch können bei einem anderen Beispiel mehrere Abtastsignale für jeden Zyklus eines Ratensignals erzeugt werden. Beispielsweise kann, da die mehreren in 9 gezeigten Komparatorschaltungen 550 einen Ausgangsstift der elektronischen Vorrichtung 20 zugeteilt sind, der Operationstakt DQS zu mehreren unterschiedlichen Zeitpunkten während jedes Zyklus eines Ratensignals abgetastet werden. In diesem Fall können die mehreren Komparatorschaltungen 550 unterschiedliche Datenwerte des Taktsignals T haben. Dann kann, da die mehreren Komparatorschaltungen 550 den Operationstakt DQS teilen und empfangen, der Operationstakt DQS zu den mehreren Zeitpunkten während jedes Zyklus eines Ratensignals abgetastet werden.
  • 10 ist eine Ansicht, die beispielhaft eine Konfiguration der in 7 gezeigten Wellenform-Formungsvorrichtung 14 zeigt. Die Wellenform-Formungsvorrichtung 14 bei dem vorliegenden Beispiel hat eine Treibertakt-Erzeugungsschaltung 300 anstelle der Verzögerungsschaltung 410 und des Verzögerungselements 405 in der in 4 gezeigten Konfiguration der Wellenform-Formungsvorrichtung 14. Wie vorstehend beschrieben ist, steuert die Treibertakt-Erzeugungsschaltung 300 einen Takt, mit dem die Treiberschaltung 560 ein Prüfsignal zu einem Treibertakt ausgibt, der eine für ein Ratensignal eingestellte relative Phase hat.
  • Die Treibertakt-Erzeugungsschaltung 300 kann eine Konfiguration gleich der der mit Bezug auf 9 beschriebenen Abtasterzeugungsschaltung 200 haben. Jedoch wird ein logisches Produkt eines Mustersignals und eines Bezugstakts in das Verzögerungselement 210 eingegeben. Darüber hinaus ist ein Ausgang des Verzögerungselements 210 mit der Prüfsignal-Zuführungsschaltung 420 verbunden. Mit anderen Worten, das Verzögerungselement 210 entspricht dem in 4 gezeigten Verzögerungselement 405.
  • Die Treibertakt-Erzeugungsschaltung 300 wird von dem Taktgenerator 10 mit dem Taktsignal T beliefert, das beispielsweise einen anfänglichen Wert der relativen Phase des Ratensignals zeigt. Das Taktsignal T entspricht der relativen Phase T3, die in 8 gezeigt ist.
  • Die Auflösungseinstellschaltung 252 speichert die Auflösungsdaten "a", die einen Einheitsänderungsbetrag für jeden Zyklus zeigen, wenn eine Phase eines Treibertakts bei jedem Zyklus des Ratensignals aufeinander folgend geändert wird. Das von dem Taktgenerator 10 gelieferte Taktsignal T und die Auflösungsdaten "a" können vorher durch einen Benutzer eingestellt werden. Beispielsweise kann die Steuerschaltung 30 sie gemäß einem von dem Benutzer gelieferten Programm einstellen. Darüber hinaus können die Auflösungsdaten "a", die in der ersten Komparatorschaltung 550-1, der zweiten Komparatorschaltung 550-2 und der Treiberschaltung 560 gesetzt sind, einander gleich sein.
  • Die Abtastschiebeschaltung 270 kann gleich der in 9 oder 10 gezeigten Abtastschiebeschaltung 270 sein. Die Steuerschaltung 30 liefert ein Steuersignal mit hohem logischem Wert zu der UND-Schaltung 254 der Abtastschiebeschaltung 270 von dem Beginn eines Vorgangs zur Synchronisierung von Operationen der Prüfvorrichtung 100 und der elektronischen Vorrichtung 20 an, um die Phasen des ersten Abtastsignals und des DQS im Wesentlichen einander anzupassen. Darüber hinaus wird, wenn erfasst wird, dass die Phasen des ersten Abtastsignals und des DQS einander identisch sind, der logische Wert des Steuersignals in den niedrigen logischen Wert geändert.
  • Die Datenspeicherschaltung 258 hält eine relative Phase (bei dem vorliegenden Beispiel einen Schiebebetrag einer relativen Phase) eines Treibertakts, wenn sie erfasst hat, dass die Phasen des ersten Abtastsignals und des DQS einander identisch sind, durch Ändern des logischen Werts des Steuersignals in den niedrigen logischen Wert. Durch eine derartige Steue rung ist es möglich, die in 8 dargestellten Operationen durchzuführen. Die Steuerschaltung 30 kann ein Programm erhalten, das Befehle enthält, die bewirken, dass die Steuerschaltung 30 diesen Vorgang ausführt. Durch eine derartige Konfiguration können, da eine Phase eines Abtastsignals in eine beliebige anfängliche Phase und beliebige Auflösung verschoben ist, jedes Abtastsignal und der Operationstakt DQS miteinander synchronisiert werden.
  • 11 ist eine Ansicht, die beispielhaft eine Befehlsgruppe zeigt, die in einem zu der Steuerschaltung 30 gegebenen Programm enthalten ist. Zusätzlich zeigt das vorliegende Beispiel einen Teil zum Synchronisieren der Prüfvorrichtung 100 und der elektronischen Vorrichtung 20 in dem zu der Steuerschaltung 30 gegebenen Programm.
  • Dieses Programm enthält einen Leerschleifenbefehl, der bewirkt, dass die Prüfvorrichtung 100 wartet, bis ein von der elektronischen Vorrichtung 20 ausgegebenes Operationstaktsignal stabil ist. Eine Schleifenzählung kann von dem Benutzer bestimmt werden.
  • Darüber hinaus enthält dieses Programm einen Blindzyklusbefehl, der die Ausführung des Programms an eine Datenübertragung durch eine Pipeline des Mustergenerators 12 nach der Ausführung des Leerschleifenbefehls anpasst. Zwischen diesen vergleicht die Komparatorschaltung 550 die Phase des Abtastsignals und die Phase des Ausgangssignals. Dieses Programm kann einen Vergleichsbefehl enthalten, der bewirkt, dass die Komparatorschaltung 550 Phasen vergleicht.
  • Darüber hinaus enthält dieses Programm einen Schiebebefehl (TM_INC), der relative Phasen des ersten Ab tastsignals, des zweiten Abtastsignals und des Treibertakts verschiebt. Die Steuerschaltung 30 ändert die Einstellung jeder relativen Phase durch Ausführung des Schiebebefehls. Darüber hinaus enthält dieses Programm einen Schleifenbefehl (If(!PASS)JMP LP1), der den Schiebebefehl wiederholt, bis die Phasen des DQS und des ersten Abtastsignals im Wesentlichen einander identisch sind.
  • Beispielhaft kann die Steuerschaltung 30 den Schleifenbefehl ausführen, bis die Phasen des DQS und des ersten Abtastsignals im Wesentlichen einander identisch sind, um eine Operation durchzuführen, die den logischen hohen Wert als ein in 9 gezeigtes Steuersignal auszugeben. Indem ein derartiges Programm ausgeführt wird, ist es möglich, die Prüfvorrichtung 100 und die elektronische Vorrichtung 20 zu synchronisieren.
  • Obgleich die vorliegende Erfindung im Wege eines Ausführungsbeispiels beschrieben wurde, ist darauf hinzuweisen, dass der Fachmann viele Änderungen und Ergänzungen vornehmen kann, ohne den Geist und den Bereich der vorliegenden Erfindung zu verlassen. Es ist augenscheinlich anhand der Definition der angefügten Ansprüche, dass Ausführungsbeispiele mit derartigen Modifikationen auch zu dem Bereich der vorliegenden Erfindung gehören.
  • Wie aus der vorstehenden Beschreibung ersichtlich ist, ist es gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, obgleich der EIN-Widerstand eines FET-Schalters erhöht wird, um eine Prüfung unter Verwendung eines Hochfrequenzsignals durchzuführen, möglich, eine Verschlechterung der Spannungsvergleichsgenauigkeit eines Komparators durch Schwankung dieses EIN-Widerstands zu verringern.
  • Zusammenfassung:
  • Es ist eine Prüfvorrichtung (100) vorgesehen, die eine geprüfte Vorrichtung (20) prüft. Die Prüfvorrichtung enthält einen Periodengenerator (32), der ein Ratensignal, das eine Prüfperiode gemäß einer Operationsperiode der geprüften Vorrichtung bestimmt, erzeugt, eine Phasenvergleichsschaltung (18), die ein von der geprüften Vorrichtung erzeugtes Operationstaktsignal für die geprüfte Vorrichtung aufnimmt und eine Phasendifferenz zwischen dem Operationstaktsignal und dem Ratensignal unter Verwendung des Ratensignals als eines Standards erfasst, eine Prüfsignal-Erzeugungsschaltung, die ein zu der geprüften Vorrichtung synchron mit dem Ratensignal zu lieferndes Prüfsignal erzeugt, eine Verzögerungsschaltung, die das Prüfsignal gemäß der Phasendifferenz verzögert, um im Wesentlichen das verzögerte Signal mit dem Operationstaktsignal zu synchronisieren, und eine Prüfsignal-Zuführungsschaltung, die das verzögerte Prüfsignal zu der geprüften Vorrichtung liefert.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - JP 2005-378716 [0001]
    • - JP 1994-188635 [0002, 0005]
    • - JP 2003-149305 [0002]

Claims (20)

  1. Prüfvorrichtung, die eine geprüfte Vorrichtung prüft, welche aufweist: einen Periodengenerator, der ein Ratensignal erzeugt, das eine Prüfperiode entsprechend einer Operationsperiode der geprüften Vorrichtung bestimmt; eine Phasenvergleichsschaltung, die ein von der geprüften Vorrichtung erzeugtes Operationstaktsignal für die geprüfte Vorrichtung aufnimmt und eine Phasendifferenz zwischen dem Operationstaktsignal und dem Ratensignal unter Verwendung des Ratensignals als eines Standards erfasst; eine Prüfsignal-Erzeugungsschaltung, die synchron mit dem Signal zu der geprüften Vorrichtung zu lieferndes Prüfsignal erzeugt; eine Verzögerungsschaltung, die das Prüfsignal gemäß der Phasendifferenz verzögert, um im Wesentlichen das verzögerte Signal mit dem Operationstaktsignal zu synchronisieren; und eine Prüfsignal-Zuführungsschaltung, die das verzögerte Prüfsignal zu der geprüften Vorrichtung liefert.
  2. Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Phasenvergleichsschaltung aufweist: eine Abtasterzeugungsschaltung, die Abtastsignale erzeugt, während eine Phase für das Ratensignal aufeinander folgend geändert wird; einen Zeitkomparator, der das Operationstaktsignal zu einem Zeitpunkt erwirbt, der durch jedes der Abtastsignale bezeichnet ist; eine Flankenerfassungsschaltung, die eine Flanke des Operationstaktsignals auf der Grundlage eines Wertes des Operationstaktsignals zu jedem Zeitpunkt erfasst; und eine Phasendifferenz-Ausgabeschaltung, die die Phasendifferenz auf der Grundlage einer Position der Flanke des Operationstaktsignals für eine Flanke des Ratensignals ausgibt.
  3. Prüfvorrichtung nach Anspruch 2, bei der die Abtasterzeugungsschaltung mehrere Abtastsignale für jeweils eine erste Phase und eine zweite Phase des Ratensignals erzeugt, der Zeitkomparator das Operationstaktsignal zu den mehreren Zeitpunkten erwirbt, die durch die mehreren Abtastsignale für jeweils die erste Phase und die zweite Phase bezeichnet sind, und die Flankenerfassungsschaltung erfasst, dass die Flanke des Operationstaktsignals zwischen der ersten Phase und der zweiten Phase unter der Bedingung ist, dass im Fall der ersten Phase ein Verhältnis, dass das Operationstaktsignal ein erster logischer Wert ist, nicht größer als ein Verhältnis, dass das Operationstaktsignal ein zweiter logischer Wert ist, ist, und im Fall der zweiten Phase das Verhältnis, dass das Operationstaktsignal der erste logische Wert ist, nicht geringer als das Verhältnis, dass das Operationstaktsignal der zweite logische Wert ist, ist.
  4. Prüfvorrichtung nach Anspruch 2, bei der die Abtasterzeugungsschaltung die vorbestimmte Anzahl der Abtastsignale für jeweils die erste Phase und die zweite Phase für das Ratensignal erzeugt, der Zeitkomparator das Operationstaktsignal zu den mehreren Zeitpunkten, die durch jedes der Abtastsignale für jeweils die erste Phase und die zweite Phase bezeichnet sind, erwirbt, die Phasenvergleichsschaltung weiterhin eine Zählschaltung aufweist, die die Anzahl von Malen, bei denen das Operationstaktsignal einen vorbestimmten logischen Wert für jeweils die erste Phase und die zweite Phase hat, zählt, und die Flankenerfassungsschaltung erfasst, dass die Flanke des Operationstaktsignals zwischen der ersten Phase und der zweiten Phase unter der Bedingung ist, dass für den Fall der ersten Phase die gezählte Anzahl von Malen nicht größer als ein vorgestellter Schwellenwert ist, und in dem Fall der zweiten Phase die gezählte Anzahl von Malen nicht geringer als der Schwellenwert ist.
  5. Prüfvorrichtung nach Anspruch 4, bei der die Abtasterzeugungsschaltung die vorbestimmte Anzahl der Abtastsignale für jede der Phasen erzeugt, während aufeinander folgend die Phase vergrößert oder verkleinert wird, und die Kantenerfassungsschaltung erfasst, dass die Flanke des Operationstaktsignals an einer Position ist, die im Wesentlich gleich der der einen Phase gemäß dem Umstand, dass die von der Zählschaltung gezählte Anzahl von Malen für die eine Phase nicht geringer als der Schwellenwert ist, ist.
  6. Prüfvorrichtung nach Anspruch 2, bei der die Abtasterzeugungsschaltung weiterhin aufweist: einen Modulationsspeicher, der einen Modulationsbetrag der Phase für das Ratensignal speichert; und ein Adressenregister, das eine zu dem Modulationsspeicher zu liefernde Adresse ausgibt, und die Abtasterzeugungsschaltung das Abtastsignal erzeugt, durch das eine Phase für das Ratensignal bestimmt wird auf der Grundlage des aus dem Modulationsspeicher gelesenen Modulationsbetrags gemäß einer aufeinander folgenden Erhöhung oder Verringerung der Adresse.
  7. Prüfvorrichtung nach Anspruch 2, bei der die Phasendifferenz-Ausgabeschaltung ein Register enthält, das die Phasendifferenz zeigende Phasendifferenzinformationen speichert.
  8. Prüfvorrichtung nach Anspruch 7, bei der die Prüfvorrichtung weiterhin eine Steuerschaltung aufweist, die eine Prüfung der geprüften Vorrichtung durch die Prüfvorrichtung steuert, die Phasendifferenz-Ausgabeschaltung die Steuerschaltung darüber informiert, dass die Phasendifferenz erfasst wurde, wenn die Phasendifferenz erfasst wird, und die Steuerschaltung gemäß der Mitteilung der Erfassung der Phasendifferenz die in dem Register gespeicherten Phasendifferenzinformationen liest, um einen Verzögerungsbetrag der Verzögerungsschaltung einzustellen und die Prüfsignal-Erzeugungsschaltung anzuweisen, das Prüfsignal zum Prüfen der geprüften Vorrichtung zu erzeugen.
  9. Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Prüfsignal-Erzeugungsschaltung mit der Erzeugung des Prüfsignals zum Prüfen der geprüften Vorrichtung unter der Bedingung, dass die Phasendifferenz durch die Phasenvergleichsschaltung erfasst wurde, beginnt.
  10. Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Prüfvorrichtung weiterhin aufweist: einen Modulationsspeicher, der mehrere Modulationsbeträge für das Prüfsignal aufzeichnet; ein Adressenregister, das eine Adresse des Modulationsspeichers bezeichnet; und eine Steuerschaltung, die aufeinander folgend einen Adressenwert des Adressenregisters ändert, um zu bewirken, dass der Modulationsspeicher aufeinander folgend die unterschiedlichen Modulationsbeträge ausgibt, und die Verzögerungsschaltung den von dem Modulationsspeicher ausgegebenen Modulationsbetrag zu oder von dem Verzögerungsbetrag, der gemäß der Phasendifferenz eingestellt wurde, addiert oder subtrahiert, um das Prüfsignal zu modulieren.
  11. Prüfverfahren zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung, welches aufweist: Erzeugen eines Ratensignals, das eine Prüfperiode gemäß einer Operationsperiode der geprüften Vorrichtung bestimmt; Eingeben eines von der geprüften Vorrichtung erzeugten Operationstaktsignals für die geprüfte Vorrichtung und Erfassen einer Phasendifferenz zwischen dem Operationstaktsignal und dem Ratensignal unter Verwendung des Ratensignals als eines Standards; Erzeugen eines synchron mit dem Ratensignal zu der geprüften Vorrichtung zu liefernden Prüfsignals; Verzögerung des Prüfsignals gemäß der Phasendifferenz, um das verzögerte Signal im Wesentlichen mit dem Operationstaktsignal zu synchronisieren; und Zuführen des verzögerten Prüfsignals zu der geprüften Vorrichtung.
  12. Programm für eine Prüfvorrichtung, die eine geprüfte Vorrichtung prüft, welches Programm bewirkt, dass die Prüfvorrichtung funktioniert als: ein Periodengenerator, der ein Ratensignal erzeugt, das eine Prüfperiode gemäß einer Operationsperiode der geprüften Vorrichtung bestimmt; eine Phasenvergleichsschaltung, die ein von der geprüften Vorrichtung erzeugtes Operationstaktsignals für die geprüfte Vorrichtung aufnimmt und eine Phasendifferenz zwischen dem Operationstaktsignal und dem Ratensignal unter Verwendung des Ratensignals als eines Standards erfasst; eine Prüfsignal-Erzeugungsschaltung, die ein zu der geprüften Vorrichtung synchron mit dem Ratensignal zu lieferndes Prüfsignal erzeugt; eine Verzögerungsschaltung, die das Prüfsignal gemäß der Phasendifferenz verzögert, um das verzögerte Signal im Wesentlichen mit dem Operationstaktsignal zu synchronisieren; und eine Prüfsignal-Zuführungsschaltung, die das verzögerte Prüfsignal zu der geprüften Vorrichtung liefert.
  13. Prüfvorrichtung, die eine geprüfte Vorrichtung prüft, welche aufweist: einen Periodengenerator, der ein Ratensignal erzeugt, das eine Prüfperiode gemäß einer Operationsperiode der geprüften Vorrichtung bestimmt; eine Abtasterzeugungsschaltung, die ein Abtastsignal mit einer relativen Phase, die für das Ratensignal eingestellt ist, erzeugt; einen Zeitkomparator, der eine Phase eines von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen Ausgangssignals und eine Phase des Abtastsignals vergleicht; eine Treiberschaltung, die ein zu der geprüften Vorrichtung zu lieferndes Prüfsignal erzeugt, um das Prüfsignal zu der geprüften Vorrichtung zu liefern; eine Treibertakt-Erzeugungsschaltung, die einen Zeitpunkt steuert, zu welchem die Treiberschaltung das Prüfsignal zu einem Treibertakt mit der für das Ratensignal eingestellten relativen Phase ausgibt; und eine Steuerschaltung, die aufeinander folgend die Einstellung der relativen Phase des Abtastsignals für das Ratensignal ändert und aufeinander folgend die Einstellung einer relativen Phase des Treibertakts für das Ratensignal mit im Allgemeinen demselben Änderungsbetrag ändert, bis der Zeitkomparator erfasst, dass die Phase des Ausgangssignals und die Phase des Abtastsignals im Wesentlichen einander identisch sind.
  14. Prüfvorrichtung nach Anspruch 13, bei der der Zeitkomparator ein von der geprüften Vorrichtung erzeugtes Operationstaktsignal der geprüften Vorrichtung als das Ausgangssignal empfängt und die Steuerschaltung aufeinander folgend vor der Zuführung des Prüfsignals zu der geprüften Vorrichtung Einstellungen der relativen Phasen des Abtastsignals und des Treibertakts ändert, um zu bewirken, dass die Abtasterzeugungsschaltung und die Treibertakt-Erzeugungsschaltung die eingestellten relativen Phasen halten, wenn die Phase des Operationstaktsignals und die Phase des Ab tastsignals im Wesentlichen einander identisch sind.
  15. Prüfvorrichtung nach Anspruch 13, bei der die Prüfvorrichtung weiterhin aufweist: einen ersten von dem Zeitkomparator, der ein von der geprüften Vorrichtung erzeugtes Operationstaktsignal der geprüften Vorrichtung als das Ausgangssignal empfängt; eine erste von der Abtasterzeugungsschaltung, die ein erstes von dem Abtastsignal zu dem ersten Zeitkomparator liefert; einen zweiten von dem Zeitkomparator, der ein von der geprüften Vorrichtung gemäß dem Prüfsignal ausgegebenes Datensignal als das Ausgangssignal empfängt; und eine zweite von der Abtasterzeugungsschaltung, die ein zweites von dem Abtastsignal zu dem zweiten Zeitkomparator liefert, und die Steuerschaltung aufeinander folgend die Einstellung einer relativen Phase des ersten Abtastsignals für das Ratensignal ändert und aufeinander folgend Einstellungen von relativen Phasen des zweiten Abtastsignals und des Treibertakts für das Ratensignal mit dem im Allgemeinen selben Änderungsbetrag wie dem des ersten Abtastsignals ändert, bis der erste Zeitkomparator erfasst, dass die Phase des Operationstaktsignals und die Phase des ersten Abtastsignals im Wesentlichen einander identisch sind.
  16. Prüfvorrichtung nach Anspruch 13, bei der die Steuerschaltung ein Programm ausführt, welches aufweist: einen Schiebebefehl zum aufeinander folgenden Verschieben der Einstellungen der relativen Phasen des Abtastsignals und des Treiberzeitpunkts; und einen Schleifenbefehl zum Wiederholen des Schiebebefehls, bis die Phase des Ausgangssignals und die Phase des Abtastsignals im Wesentlichen einander identisch sind.
  17. Prüfvorrichtung nach Anspruch 13, bei der der Zeitkomparator einen logischen Wert des Ausgangssignals in der Phase des Abtastsignals erfasst, und die Steuerschaltung bestimmt, dass die Phase des Abtastsignals und die Phase des Ausgangssignals im Wesentlichen einander identisch sind, wenn der logische Wert des von dem Zeitkomparator gemäß der Einstellung jeder relativen Phase des Abtastsignals erfassten Ausgangssignals in einen vorbestimmten logischen Wert geändert wird.
  18. Prüfvorrichtung, die eine geprüfte Vorrichtung prüft, welche aufweist: einen Periodengenerator, der ein Ratensignal, das eine Prüfperiode gemäß einer Operationsperiode der geprüften Vorrichtung bestimmt, erzeugt; eine erste Abtasterzeugungsschaltung, die ein erstes Abtastsignal mit einer für das Ratensignal eingestellten relativen Phase erzeugt; einen ersten Zeitkomparator, der eine Phase eines von der geprüften Vorrichtung erzeugten Operationstaktsignals der geprüften Vorrichtung und eine Phase des ersten Abtastsignals vergleicht; eine zweite Abtasterzeugungsschaltung, die ein zweites Abtastsignal mit einer für das Ratensignal eingestellten relativen Phase erzeugt; einen zweiten Zeitkomparator, der eine Phase eines von der geprüften Vorrichtung gemäß einem einzugebenden Prüfsignal ausgegebenen Datensignals und eine Phase des zweiten Abtastsignals vergleicht; und eine Steuerschaltung, die aufeinander folgend die Einstellung einer relativen Phase des ersten Abtastsignals für das Ratensignal ändert und aufeinander folgend die Einstellung einer relativen Phase des zweiten Abtastsignals für das Ratensignal mit im Allgemeinen demselben Änderungsbetrag ändert, bis der erste Zeitkomparator erfasst, dass die Phase des Operationstaktsignals und die Phase des ersten Abtastsignals im Wesentlichen einander identisch sind.
  19. Programm für eine Prüfvorrichtung, die eine geprüfte Vorrichtung prüft, welches Programm bewirkt, dass die Prüfvorrichtung funktioniert als: ein Periodengenerator, der ein Ratensignal, das eine Prüfperiode gemäß einer Operationsperiode der geprüften Vorrichtung bestimmt, erzeugt; eine Abtasterzeugungsschaltung, die ein Abtastsignal mit einer für das Ratensignal eingestellten relativen Phase erzeugt; einen Zeitkomparator, der eine Phase eines von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen Ausgangssignals und eine Phase des Abtastsignals ausgibt; eine Treiberschaltung, die ein zu der geprüften Vorrichtung zu lieferndes Prüfsignal erzeugt, um das Prüfsignal zu der geprüften Vorrichtung zu liefern; eine Treibertakt-Erzeugungsschaltung, die einen Takt steuert, mit dem die Treiberschaltung das Prüfsignal zu einem Treiberzeitpunkt mit der für das Ratensignal eingestellten relativen Phase ausgibt; und eine Steuerschaltung, die aufeinander folgend die Einstellung einer relativen Phase des Abtastsignals für das Ratensignal ändert und aufeinander folgend die Einstellung einer relativen Phase des Treibertakts für das Ratensignal mit dem im Allgemeinen selben Änderungsbetrag ändert, bis der Zeitkomparator erfasst, dass die Phase des Ausgangssignals und die Phase des Abtastsignals im Wesentlichen einander identisch sind.
  20. Programm für eine Prüfvorrichtung, die eine geprüfte Vorrichtung prüft, welches Programm bewirkt, dass die Prüfvorrichtung funktioniert als: ein Periodengenerator, der ein Ratensignal, das eine Prüfperiode gemäß einer Operationsperiode der geprüften Vorrichtung bestimmt, erzeugt; eine erste Abtasterzeugungsschaltung, die ein erstes Abtastsignal mit einer für das Ratensignal eingestellten relativen Phase erzeugt; ein erster Zeitkomparator, der eine Phase eines von der geprüften Vorrichtung erzeugten Operationstaktsignals für die geprüfte Vorrichtung und eine Phase des ersten Abtastsignals vergleicht; eine zweite Abtasterzeugungsschaltung, die ein zweites Abtastsignal mit einer für das Ratensignal eingestellten relativen Phase erzeugt; ein zweiter Zeitkomparator, der eine Phase eines von der geprüften Vorrichtung gemäß einem einzugebenden Prüfsignal ausgegebenen Datensignals und eine Phase des zweiten Abtastsignals vergleicht; und eine Steuerschaltung, die aufeinander folgend die Einstellung einer relativen Phase des ersten Abtastsignals für das Ratensignal ändert und aufeinander folgend die Einstellung einer rela tiven Phase des zweiten Abtastsignals für das Ratensignal mit dem im Allgemeinen selben Änderungsbetrag ändert, bis der erste Zeitkomparator erfasst, dass die Phase des Operationstaktsignals und die Phase des ersten Abtastsignals im Wesentlichen einander identisch sind.
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