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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellen einer
Transistoranordnung mit mindestens einer Trench-Transistorzelle mit Feldelektrode, bei
welchem
- – in
eine Prozessschicht eines Halbleitersubstrats mindestens ein Graben
eingebracht wird,
- – im
Graben jeweils voneinander und von der Prozessschicht elektrisch
isoliert eine Feldelektrode und eine Gate-Elektrode vorgesehen werden und
- – in
der Prozessschicht mindestens jeweils eine Driftzone, eine Kanalzone
und eine Sourcezone ausgebildet werden.
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Heute übliche Trench-MOS-Leitungstransistoren
(UMOSFET, u-shaped
metal Oxide semiconductor field effect transistor) zeichnen sich
gegenüber älteren Typen
von MOS-Leistungstransistoren (DMOSFET, double diffused MOSFET,
VMOSFET, v-shaped
MOSFET) durch einen sehr geringen spezifischen Einschaltwiderstand
(rDS,On) aus.
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Dabei
ist die Gate-Elektrode einer Trench-Transistorzelle in einem Graben
(Trench) im Halbleitersubstrat angeordnet. Die Source- und Drainzonen
der Trench-Transistorzelle sind in einander gegenüberliegenden
Bereichen des Halbleitersubstrats ausgebildet. Eine durch die Gate-Elektrode gesteuerte
Kanalstrecke erstreckt sich dann in einer vertikalen Richtung durch
das Halbleitersubstrat. Dadurch wird der Einschaltwiderstand durch
eine deutliche Vergrößerung der
Kanalweite pro Flächeneinheit deutlich
vermindert.
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Eine
weitere Verbesserung der Eigenschaften von Trench-MOS-Leistungstransistoren
wird durch die Anordnung einer Feldelektrode im Trench erzielt.
Gate-Elektrode und Feldelektrode sind dabei im Trench so angeordnet,
dass die Gate-Elektrode der Kanalzone und die Feldelektrode im Wesentlichen
einer an die Kanalzone anschließenden
Driftstrecke gegenüberliegen.
Die Feldelektrode schirmt die Gate-Elektrode gegen die Drainzone
ab, wodurch die Gate-Drain-Kapazität stark verringert bzw., bei
einem Anschluss der Feldelektrode an das Source-Potential, in eine weniger kritische
Gate-Source-Kapazität
umgewandelt wird.
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Die 2 stellt
den prinzipiellen Aufbau einer Trench-Transistorzelle herkömmlicher Trench-MOS-Leistungstransistoren
(UMOSFET) dar. Ein Halbleitersubstrat eines Trench-MOS-Leistungstransistors
besteht aus einem n++-dotierten Grundsubstrat 1 sowie
aus einer auf dem Grundsubstrat 1 in der Regel epitaktisch
aufgewachsenen, n-dotierten Prozessschicht 2. Das Grundsubstrat 1 bildet
eine Drainzone 10 aus. Die Prozessschicht (im Folgenden epitaktische
Schicht) 2 weist anschließend an das Grundsubstrat 1 eine
n-dotierte Driftzone 21, daran anschließend eine p-dotierte Kanalzone 22 und
zwischen der Kanalzone 22 und der dem Grundsubstrat 1 gegenüberliegenden
Substratoberfläche 20 eine n++-dotierte Sourcezone 23 auf. In
der epitaktischen Schicht 2 sind Gräben (Trenches) 6 angeordnet,
welche bis in das Grundsubstrat reichen können. Innerhalb der Gräben 6 sind
jeweils etwa der Driftzone 22 gegenüberliegend eine Feldelektrode 63 und
etwa der Kanalzone 22 gegenüberliegend eine Gate-Elektrode 62 angeordnet.
Die Feldelektrode 63 ist mit einer ersten dielektrischen
Schicht (Feldplatte) 321 elektrisch gegen die epitaktische
Schicht 2 isoliert. Die Gate-Elektrode 62 ist
gegen die epitaktische Schicht 2 mittels der Gate-Dielektrikumsschicht (Gateoxid) 33 und
gegen die Feldelektrode 63 mit einer zweiten dielektri schen
Schicht 322 isoliert. Die Sourcezone 23 und für gewöhnlich die
Kanalzone 22 sind mit dem Source-Anschluss des Trench-MOS-Leistungstransistors,
die Drainzone 10 mit dem Drain-Anschluss und die Gate-Elektrode 62 mit
dem Gate-Anschluss
verbunden.
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Die
Gräben 6 können als
Streifen, als Gitter, oder in Form anderer Polygone ausgebildet
sein, wodurch streifenförmige
bzw. wabenförmige Trench-Transistorzellen
entstehen.
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Der
in der 2 dargestellte Trench-MOS-Leistungstransistor
ist vom Typ n-Kanal-MOS-Transistor für den Anreicherungsbetrieb. Dabei
lässt sich
der Aufbau bei entsprechend geänderten
Dotierungen auch auf die anderen drei gebräuchlichen Ausführungsformen
(p-Kanal, Verarmungsbetrieb) von MOS-Transistoren übertragen.
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Bei
dem in 2 dargestellten Trench-MOS-Leistungstransistor
wird der Strom zwischen dem Source-Anschluss und dem Drain-Anschluss
durch ein Potential UGS zwischen dem Gate-Anschluss und dem
Source-Anschluss gesteuert. Ist UGS ≤ 0, so fließt kein
Strom zwischen Source und Drain, da die Kanalzone 22 einen
Ladungsträgertransport
blockiert. Wird die Gate-Elektrode 62 im Trench
mit einer positiven Spannung beaufschlagt, so sammeln sich Minoritätsträger in der
p-dotierten Kanalzone 22 (Elektronen) in einer dünnen Schicht entlang
des Gateoxids 33 gegenüber
der Gate-Elektrode 62. Dieser n-leitende Kanal 221 (Inversionsschicht)
bildet einen leitenden Übergang
zwischen der Sourcezone 23 und der Driftzone 21,
dessen Ausdehnung in die Kanalzone hinein von der Höhe des an
der Gate-Elektrode 62 angelegten Potentials abhängt. Die
Feldelektrode 63, die hier mit dem Source-Anschluss verbunden
ist, verhindert eine kapazitive Kopplung der Gate-Elektrode 62 mit
der Drainzone 10 bzw. der Driftzone 21. Eine Gate- Drain-Kapazität CGD wird dadurch in eine Gate-Source-Kapazität CGS und eine Drain-Source-Kapazität CDS transformiert, deren jeweiliger Einfluss
auf Schaltverluste des Trench-MOS-Leistungstransistors wesentlich geringer
ist.
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Bei
der Optimierung der Ausprägung
von Trench-MOS-Leistungstransistoren sind neben einer geringen Gate-Drain-Kapazität ein möglichst
niederohmiger Anschluss der Gate-Elektroden, eine gleichmäßige Dicke
der Gate-Dielektrikumsschicht sowie stetige Übergänge dielektrischer Schichten, insbesondere
an Ecken und Kanten des Reliefs, von Bedeutung.
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Ein
Verfahren zur Herstellung einer Trench-Transistoranordnung mit zwei
Gate-Polysiliziumbereichen ist in der
US
5,283,201 (Tsang et al.) beschrieben. Ein weiteres Verfahren
ist aus der
US 5,801,417 (Tsang
et al.) bekannt. In beiden Verfahren werden Gräben in ein Halbleitersubstrat
eingebracht, in dem bereits dotierte Schichten für eine Sourcezone und eine
Kanalzone ausgeprägt
sind.
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Aus
der
US 6,051,468 (Hsieh)
ist ein Verfahren zur Herstellung einer Transistoranordnung mit Trench-Transistorzellen
bekannt, bei dem zur Ausbildung der Gateelektroden eine Polysiliziumschicht
abgeschieden und anschließend
in die Gräben
bis unterhalb der Siliziumkante zurückgeätzt wird. Durch Ausbilden von
Spacermasken entlang der Grabenwandung oberhalb der Gateelektroden
wird eine asymmetrische Ausbildung der Sourcezonen im Zuge einer
zur Vermeidung eines Kanalisierungseffekts (channel effects) notwendigen
Schrägimplantation über die
vertikale Grabenwandung im Abschnitt oberhalb der Gateelektroden
vermieden.
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Die
US 6,198,127 B1 (Kocon)
beschreibt ein weiteres Verfahren zur Herstellung einer Transistoranordnung
mit Trench-Transistorzellen
mit einer im Trench angeordneten Gateelektrode.
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Aus
der
WO 97/00536 A1 ist
ein Verfahren zur Ausformung einer dotierten Grabenwandung im Zuge
eines Fertigungsverfahrens für
Halbleitereinrichtungen bekannt. Dabei wird in einem Halbleitersubstrat
mittels einer Maske ein Graben ausgebildet. Der Graben wird teilweise
mit einem Füllmaterial
gefüllt
und die Seitenwände
des Grabens oberhalb der Füllung
bei noch aufliegender Maske durch Schrägimplantation dotiert.
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In
der
WO 2001/71817
A2 (Hsieh et al.) ist ein Verfahren zur Herstellung einer
Transistoranordnung mit Trench-Transistorzellen beschrieben, bei dem
das Gateoxid im Trench zunächst
als dicke Gateoxidschicht aufgebracht wird. In einem oberen Abschnitt
des Grabens wird die dicke Gateoxidschicht entfernt und anschließend eine
dünne Gateoxidschicht
aufgebracht. Das abschnittsweise Entfernen der dicken Gateoxidschicht
bzw. das Aufbringen der dünnen
Gateoxidschicht erfolgen jeweils durch eine abschnittsweise Füllung des
Grabens maskiert.
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Ein
weiteres bekanntes Verfahren zur Herstellung eines UMOS-Trench-Transistors
ist aus der
US 5,998,833 (Baliga)
bekannt. Das dort beschriebene Verfahren ist in der
3 in
den neun Teilschritten
3a bis
3i schematisch
dargestellt. Dabei zeigen die Teilfiguren
3a bis
3i jeweils
einen schematischen Querschnitt durch den Bereich zweier streifenförmig ausgeprägter Trench-Transistorzellen.
Es handelt sich dabei um Trench-Transistorzellen
vom Typ n-Kanal mit Anreicherungsverhalten.
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Die
US 5,242,845 bezieht sich
auf eine Trench-Transistorzelle,
bei der die Gate-Elektrode eine floatende Siliziumstruktur im Trench
hufeisenartig umgreift.
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Wie
in 3a dargestellt ist, wird auf einem stark n++-dotierten
Grundsubstrat 1 eine epitaktische Schicht 2 aufgewachsen.
Die epitaktische Schicht 2 wird während des Aufwachsens in situ
n-dotiert.
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In
zwei aufeinanderfolgenden Schritten werden dann jeweils mit Hilfe
von Implantationsmasken ausgehend von einer dem Grundsubstrat 1 gegenüberliegenden
Substratoberfläche 20 der
epitaktischen Schicht 2 Dotierstoffe in die epitaktische Schicht 2 implantiert
und ausdiffundiert.
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Es
ergeben sich jeweils eine horizontal zur Substratoberfläche 20 geschichtete
Sourcezone 23 unterhalb der Substratoberfläche 20 und
eine Kanalzone 22 unterhalb der Sourcezone 23.
Zwischen der Kanalzone 22 und dem Grundsubstrat 1 bildet
der verbleibende Anteil der epitaktischen Schicht 2 eine Driftzone 21 aus.
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Anschließend wird
auf der Substratoberfläche 20 eine
Hartmaske 30 abgeschieden. Die Hartmaske 30 besteht
dabei aus einer Oxidschicht 301 und einer Oxidationsbarriere 302.
Die Hartmaske 30 wird mit in der Halbleiterprozesstechnologie üblichen Mitteln
strukturiert. Dabei werden in Öffnungen 61 der
Hartmaske Abschnitte der Substratoberfläche freigelegt. Es entsteht
die in 3c dargestellte Struktur.
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Im
darauffolgenden Verfahrensschritt wird die epitaktische Schicht 2 im
Bereich der Öffnungen 61 der
Hartmaske 30 geätzt.
Es entstehen Gräben (Trenches) 6,
die sich durch die Sourcezone 23, die Kanalzone 22 und
mindestens abschnittsweise auch durch die Driftzone 21 erstrecken.
Dabei können
die Gräben 6 eine
Mehrzahl nebeneinander parallel verlaufender Gräben bilden oder durch senkrecht
oder quer dazu verlaufende Gräben
in einer nicht dargestellten Querschnittsebene eine Gitterstruktur
bilden. Anschließend
wird, beispielsweise durch thermische Oxidation der epitaktischen
Schicht 2 und Maskierung durch die Oxidationsbarriere 302,
eine erste dielektrische Schicht 321 (im Folgenden Oxidschicht) gebildet,
die die Innenseite der Gräben
auskleidet.
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Das
Ergebnis dieses Verfahrensschritts ist in 3d dargestellt.
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Daraufhin
wird auf die so gebildete Struktur dotiertes polykristallines Silizium
(Polysilizium) abgeschieden. Die Dicke der abgeschiedenen Schicht
ist dabei mindestens so groß wie
die halbe offene Grabenweite. Danach wird das Polysilizium soweit
zurückgeätzt, dass
es die Gräben 6 nur
noch bis etwa zu einer durch den Übergang Kanalzone/Driftzone 71 definierten
Bodyhöhe 72 füllt. Die
so erzeugte Feldelektrode 63 ist in der 3e dargestellt.
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Es
folgt ein Ätzen
der Oxidschicht 321, wobei die Oxidationsbarriere 302, üblicherweise
Siliziumnitrid, und das Polysilizium der Feldelektrode 63 als Ätzmasken
dienen. Dadurch wird die Oxidschicht 321 oberhalb der Feldelektroden 63 von
der Grabenwandung entfernt. Das Ergebnis dieses Ätzschrittes ist in der 3f dargestellt.
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An
den freigestellten Abschnitten der Grabenwandungen wird nun beispielsweise
erneut durch thermische Oxidation eine zweite dielektrische Schicht 322 erzeugt,
die sich auch über
die Oberfläche
des Polysiliziums der Feldelektrode 63 erstreckt. Die so
erzeugte zweite dielektrische Schicht 322 bildet in Abschnitten
ein Gateoxid 33. Im nächsten Schritt
wird erneut polykristallines Silizium auf der Oberfläche der
Struktur abgeschieden und in der Folge soweit zurückgeätzt, bis
es die Gräben 6 etwa
bis Substratoberfläche 20 füllt.
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Wie
in 3g dargestellt ist, wird auf diese Weise die Gate-Elektrode 62 oberhalb
der Feldelektroden 63 in den Gräben 6 ausgebildet.
Anschließend wird
das freiliegende Polysilizium der Gate-Elektroden 623 thermisch
oxidiert, so dass die Gräben 6 mit einer
dritten dielektrischen Schicht 323 abgedeckt werden.
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Anschließend wird
die Hartmaske 30 durch Ätzen
entfernt.
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Wie
in 3h dargestellt, ist auf der Substratoberfläche 20 die
n++-dotierte Sourcezone 23 freigelegt.
Die Gate-Elektroden 62 sind jeweils durch die dielektrische
Schicht 323 zur Substratoberfläche hin isoliert.
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Im
weiteren Verlauf kann nun auf der Oberseite des Halbleiterkörpers eine
Source-Anschlussmetallisierung 53 aufgebracht werden, die
die Sourcezonen 23 kontaktiert. Auf der Rückseite
des Halbleitersubstrats wird eine Drain-Metallisierung 51 aufgebracht,
die die Drainzone 10 kontaktiert.
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Die
3i stellt
Trench-Transistorzellen im Querschnitt dar, wie sie durch das Verfahren
nach der
US 5,998,833 hervorgehen.
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Nachteilig
an den bekannten Verfahren zur Herstellung eines Trench-MOS-Leistungstransistors mit
in Gräben
angeordneten Gate- und Feldelektroden ist unter anderem der Umstand,
dass durch die frühzeitige
Dotierung von Kanal- und Sourcezonen nachfolgende Prozessschritte
die Ausbildung der dotierten Zonen beeinflussen und die Variabilität nachfolgender
Prozessschritte zugunsten der Stabilität der Struktur von Kanal- und
Sourcezonen eingeschränkt
wird. So weisen etwa Transistoranordnungen, die für niedrige
Betriebsspannungen konzipiert sind, sehr geringe Kanallängen und
einen entsprechend kleinen Einschaltwiderstand RDS(on) auf.
Bei solchen Transistoranordnungen führen bereits geringfügige nachträgliche Beeinflussungen
der Ausprägung
der Kanalzone zu einer nachteiligen Vergrößerung des Einschaltwiderstands
RDS(on). Ein zulässiges thermische Budget für nach der
Ausprägung
der Kanalzone auszuführende
Fertigungsschritte ist dann sehr klein.
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Weiterhin
ergeben sich etwa bei der Ausbildung des Gateoxids durch thermische
Oxidation an den Grabeninnenflächen
bei gleichzeitig auf der Substratoberfläche aufliegender Hartmaske
aufgrund unterschiedlicher Ausdehnungskoeffizienten des oder der
Materialien der Hartmaske und des Substrats thermomechanische Spannungen
in zur Hartmaske benachbarten Bereichen des Substrats. Diese resultieren
in einer Verdünnung
des durch thermische Oxidation erzeugten Gateoxids in den zur Hartmaske
benachbarten Bereichen und damit in einer Reduzierung der Spannungsfestigkeit
des Gateoxids in den an die Hartmaske anschließenden Bereichen des Gateoxids.
Ohne weitere Maßnahmen
ist in der Folge ein Vorbeiführen
der Gate-Elektrode über die
Substratoberfläche
an den Bereichen verminderter Spannungsfestigkeit zur Source-Zone
ohne Einbußen
in der Spezifikation für
die Spannungsfestigkeit der Transistoranordnung nicht realisierbar.
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Es
ist daher Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung einer
Transistoranordnung mit mindestens einer Trench-Transistorzelle
mit in Gräben
angeordneten Gate- und Feldelektroden zur Verfügung zu stellen, bei dem die
Variabilität
der zur Verfügung
stehenden Prozessschritte gegenüber
bekannten Verfahren erhöht
und/oder die Ausbildung von Kanal- und Sourcezonen weitgehend unabhängig von
nachfolgenden Prozessschritten ist; dabei soll ein Herausführen der
Gate-Elektrode und/oder der
Feldelektrode aus den Gräben über die
Substratoberfläche
ohne Einbußen
in der Spannungsfestigkeit der Transistoranordnung möglich sein,
und es sollen eine Trench-Transistorzelle und eine Transistoranordnung
mit niedriger Gate-Source-Kapazität und hoher Gate-Source-Durchbruchspannung
zur Verfügung
gestellt werden.
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Diese
Aufgabe wird bei einem Verfahren der eingangs genannten Art durch
die im Patentanspruch 1 angegebenen Merkmale gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen
des erfindungsgemäßen Verfahrens
ergeben sich aus den nachgeordneten Unteransprüchen.
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Gemäß dem Verfahren
wird mindestens die Sourcezone oder die Kanalzone von Trench-Transistorzellen
einer Transistoranordnung frühestens
nach einem Einbringen von Gräben
in ein Halbleitersubstrat mittels Implantation und Aktivierung oder
Diffusion ausgebildet. Damit unterbleibt eine Beeinflussung der
Source- und Kanalstrukturen durch die vorangegangenen Prozessschritte.
Die thermische Belastung, der die dotierte Source- bzw. Kanalzone
ausgesetzt ist, wird deutlich reduziert. Die Variabilität der dem
Ausprägen
der Source- bzw. Kanalzonen vorangegangenen Prozessschritte ist
erhöht,
da die durch sie implizierte thermische Belastung nicht mehr durch
eine Berücksichtigung
der dotierten Strukturen beschränkt
wird. Da weiterhin alle Prozessschritte bis zur Ausbildung der dotierten
Zonen nicht in deren thermische Budget eingehen, erhöht sich
der zulässige
Anteil nachfolgender Prozessschritte am zulässigen thermischen Budget der
dotierten Strukturen und damit wiederum die Variabilität nachfolgender
Prozessschritte.
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Das
Verfahren umfasst demnach ein Bereitstellen eines Halbleitersubstrats,
bestehend aus einem hochdotierten Grundsubstrat, das zugleich eine Drainzone
ausbildet, sowie einer auf dem Grundsubstrat angeordneten Prozessschicht,
deren dem Grundsubstrat gegenüberliegende
Oberfläche
eine Sub stratoberfläche
ausbildet. Nachfolgend werden in der Prozessschicht von der Substratoberfläche her Gräben eingebracht.
Darauf folgend werden die Gräben
mit einer ersten dielektrischen Schicht ausgekleidet, die mindestens
abschnittsweise auf den zur Grabeninnenseite orientierten Innenflächen (Grabenwandung)
angeordnet wird. Dabei wird der Graben von einem Grabenboden bis
zu einer Bodyhöhe
ausgekleidet, an der im fertig ausgebildeten Halbleitersubstrat
ein Übergang
Driftzone/Kanalzone vorgesehen ist. Neben dieser wannenartigen Gestaltung
der ersten dielektrischen Schicht im unteren Grabenbereich ist an
dieser Stelle des Verfahrens auch eine komplette Auskleidung der
Gräben
mit der ersten dielektrischen Schicht oder auch eine Anordnung der ersten
dielektrischen Schicht mindestens in Abschnitten auf der Substratoberfläche möglich. In
einem weiteren Verfahrensschritt wird im unteren Grabenbereich,
der sich vom Grund eines Grabens bis zur Bodyhöhe erstreckt, eine Feldelektrode
aus einem elektrisch leitfähigem
Material angeordnet. Ist das leitfähige Material der Feldelektrode
beispielsweise hochdotiertes Polysilizium, so erfolgt die Anordnung
der Feldelektrode durch Abscheiden von Polysilizium in den Gräben und
auf der Substratoberfläche
in einer Schichtdicke, die größer ist
als die halbe offene Grabenweite. Daraufhin wird das Material in
einem Ätzschritt
zurückgebildet.
Der Ätzschritt
wird abgebrochen, sobald das leitfähige Material die Gräben nur
noch bis etwa zur Bodyhöhe,
also dem späteren Übergang
Driftzone/Kanalzone, füllt.
Nachfolgend wird in den nicht vom leitfähigen Material der Feldelektrode
gefüllten
Bereichen der Gräben
an den Grabenwandungen eine Gate-Dielektrikumsschicht erzeugt, die
im fertigen Halbleitersubstrat die im Graben angeordnete Gate-Elektrode von der
im Halbleitersubstrat angeordneten Kanalzone elektrisch isoliert.
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Die
Dotierung der Prozessschicht ist schwach gegenüber der des Grundsubstrats.
Eine solche schwach- oder niedrigdotierte Schicht ist beispielsweise
in bekannter Weise durch ein epitaktisches Verfahren herstellbar.
Im Folgenden wird die niedrigdotierte Prozessschicht unabhängig von
deren Herstellungsverfahren auch als epitaktische Schicht bezeichnet,
wie es im Zusammenhang mit Leistungstransistoren gemeinhin üblich ist.
Damit soll aber im folgenden ein Prozess zur Herstellung der Prozessschicht
keineswegs auf epitaktische Verfahren eingeschränkt sein.
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Ist
an den Grabenwandungen des sich zwischen der Bodyhöhe und der
Substratoberfläche
(Siliziumkante) erstreckenden oberen Grabenbereiches noch die erste
dielektrische Schicht angeordnet, deren Dicke gegenüber der
Dicke der Gate-Dielektrikumsschicht in der Regel deutlich größer ist,
so kann die Gate-Dielektrikumsschicht
durch Rückätzen dieser
ersten dielektrischen Schicht ausgeprägt werden.
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Wird
die erste dielektrische Schicht im oberen Grabenbereich vollständig entfernt,
so kann an der Grabenwandung im oberen Grabenbereich die Gate-Dielektrikumsschicht
per thermische Oxidation oder durch Abscheidung vorgesehen werden
(im Folgenden Gateoxid). In der Regel gleichzeitig mit der Bildung
des Gateoxids wird auch eine weitere dielektrische Schicht als Oxidschicht
auf der Oberfläche der
Feldelektrode ausgeprägt.
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Insbesondere
bei Transistoranordnungen mit Trench-Transistorzellen, bei denen
die Feldelektrode mit dem Source-Potential verbunden wird, gewinnt die
Ausgestaltung der dielektrischen Schicht, die die Feldelektrode
von der darüber
und/oder daneben angeordneten Gate-Elektrode elektrisch isoliert,
an Bedeutung. Die aus der Gate-Elektrode, der Feldelektrode und der
dazwischen liegenden dielektrischen Schicht gebildete Anordnung
bestimmt die Gate-Source-Kapazität
der Transistoranordnung. Durch die deutliche Reduzierung der Gate-Drain-Kapazität CGD gewinnt eine Reduzierung der Gate-Source-Kapazität an Bedeutung,
soll das Produkt aus Gateladung und spezifischem Einschaltwiderstand der
Transistoranordnung (Figure of Merit, FOM) weiter reduziert werden.
Weiterhin muss die dielektrische Isolation zwischen der Gate-Elektrode
und der Feldelektrode mindestens eine Qualität aufweisen, die einen Durchbruch
zwischen der Gate-Elektrode und einer mit dem Source-Potential verbundenen Feldelektrode
weniger wahrscheinlich werden lässt als
einen Durchbruch zwischen der Gate-Elektrode und der Drain-Elektrode.
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Die
zweite dielektrische Schicht und die Gate-Dielektrikumsschicht werden jeweils
als Oxidschichten vorgesehen. Dabei umfasst die Ausprägung der
beiden Oxidschichten mindestens einen Prozessschritt, während dem
die beiden Oxidschichten zeitgleich aber mit unterschiedlichen Raten
aufwachsen, so dass die so erzeugte zweite dielektrische Schicht
auf der Feldelektrode (zweite Oxidschicht) an ihrer dünnsten Stelle
eine um etwa mindestens 5% höhere
Schichtdicke aufweist als die dünnste
Stelle der erzeugten Gate-Dielektrikumsschicht
(Gateoxid).
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Ein
solcher Unterschied in der Schichtdicke von Gateoxid und Oxidschicht
auf der Feldelektrode lässt
sich beispielsweise durch einen Oxidationsprozess herbeiführen, bei
dem die Zuführung
von Sauerstoff gegenüber üblichen
Oxidationsverfahren reduziert und die Oxidationsdauer bei einer
Endtemperatur des Oxidationsprozesses verlängert wird.
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Eine
Reduzierung der Gate-Source-Kapazität erfordert eine höhere Schichtdicke
der dielektrischen Schicht zwischen der Gate-Elektrode und der an
Source-Potential angeschlossenen Feldelektrode. Andererseits ist
die Schichtdicke der Gate-Dielektrikumsschicht
aber funktionell vorgegeben, kann also nicht beliebig erhöht werden.
Das erfindungsgemäße Verfahren
ermöglicht
es auf einfache Weise, zum Beispiel ohne zusätzliche Maskierungsschritte,
die Gate-Dielektrikumsschicht und die dielektrische Schicht auf
der Feldelektrode zeitgleich in einem gemeinsamen Prozessschritt
auszubilden und dabei die bezüglich
der Schichtdicke gegensätzlichen
Anforderungen an beide Schichten zu erfüllen.
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Das
Gateoxid und die Oxidschicht auf der Feldelektrode werden beispielsweise
mittels eines HDP (high density plasma)-Prozesses abgeschieden. Eine solche
Abscheidung findet weitaus überwiegend
auf planaren Flächen
statt. Damit lässt
sich selektiv gegenüber
der Grabenwandung eine Oxidschicht auf der Feldelektrode und der
die Feldelektrode umgebenden ersten dielektrischen Schicht abscheiden,
wodurch in besonders einfacher Weise ein ausgeprägter Unterschied zwischen der
Schichtdicke des Gateoxids und der Schichtdicke der Oxidschicht auf
der Feldelektrode erzeugt werden kann.
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Das
Gateoxid und die zweite Oxidschicht können beispielsweise auf der
Feldelektrode durch eine diffusionslimitierte Abscheidung von Siliziumoxid
mittels Tetraethylorthosilan (TEOS) ausgebildet werden. Bei einer
diffusionslimitierten Abscheidung wächst Siliziumoxid bevorzugt
auf horizontalen Flächen
auf. Auf den vertikalen Grabenwänden
wächst das
Siliziumoxid mit gegen den Grabengrund abnehmender Rate auf, so
dass die Schichtdicke eines so erzeugten Gateoxids in Richtung Grabengrund
abnimmt. Es ergibt sich zwar kein Unterschied in der Schichtdicke
des Gateoxids gegenüber
der Schichtdicke der Oxidschicht auf der Feldelektrode. Jedoch wird
auf diese Weise sichergestellt, dass die dünnste Stelle der Oxidschicht
auf der Feldelektrode nicht dünner
ist als die dünnste
Stelle des Gateoxids. Mit der Verwendung von TEOS lassen sich gleiche Schichtdicken
im Bereich des Gateoxids und der Oxidschicht auf der Feldelektrode
mit nur einem gemeinsamen, unmaskierten Prozessschritt erzielen.
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Erfindungsgemäß erfolgt
eine sowohl auf die Grabenwandung als auch auf die Oberfläche der Feldelektrode
bezogene Feuchtoxidation. Zur Feuchtoxidation werden während des
Oxidationsprozesses sowohl Sauerstoff als auch Wasserstoff zugeführt. Die
Anwesenheit von Wasserstoff führt
zu deutlich unterschiedlichen Oxidationsraten auf dem hochdotierten
Polysilizium der Feldelektrode einerseits und etwa einem kristallinem
Silizium der die Grabenwandung bildenden Kanalzone des Halbleitersubstrats
andererseits. Dabei wird der Wasserstoffanteil so bemessen, dass
ein deutlicher Schichtdickenunterschied zwischen dem Gateoxid und
der Oxidschicht auf der Feldelektrode erzielt wird. Da die Anwesenheit
von Wasserstoff den Oxidationsprozess allgemein beschleunigt, erfolgt
die Feuchtoxidation bei einer gegenüber einer üblichen Trockenoxidation verringerten
Temperatur zwischen 500 Grad Celsius und 1000 Grad Celsius. Durch
die verringerte Oxidationstemperatur wird ein Anwachsen der Oxidationsschichten
soweit verlangsamt, dass die Schichtdicke des Gateoxids sicher innerhalb
der spezifizierten Toleranzbreite realisiert werden kann. Auf diese
Weise lassen sich vorteilhafterweise Schichtdickenunterschiede zwischen
dem Gateoxid und der Oxidschicht auf der Feldelektrode um etwa 100%
erzielen. Die Feuchtoxi dation ist auch mit einem vorangehenden HDP-Prozess
kombinierbar.
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Ein
weiterer Vorteil der Feuchtoxidation ist die reduzierte Ausprägung von
Oxiddünnstellen
an den Rändern
der gebildeten Oxidschichten. Oxiddünnstellen entstehen, wenn sich
in Folge unterschiedlicher thermischer Ausdehnungskoeffizienten zweier
benachbarter Materialien im Bereich deren Grenzflächen mechanische
Spannungen in den Materialien aufbauen. Die mechanischen Spannungen reduzieren
lokal die Oxidationsrate, so dass an solchen Stellen Dünnungen
in dort aufwachsenden Schichten auftreten.
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Dem
Prozess, bei dem das Gateoxid und die Oxidschicht auf der Feldelektrode
in unterschiedlichen Dicken ausgeprägt werden, folgt ein Trockenoxidationsprozess.
Dieser Trockenoxidationsprozess erfolgt bei einer Prozesstemperatur,
bei der die gebildeten Oxidschichten beginnen, viskos zu verfließen, wodurch
Oxiddünnstellen
an Ecken und Kanten verdickt bzw. ausgeglichen werden. Die erforderliche Prozesstemperatur
ist abhängig
von weiteren Prozessparametern und beträgt üblicherweise mehr als 1000
Grad Celsius. Folgt ein solcher Trockenoxidationsprozess einem Feuchtoxidationsprozess,
so werden beispielsweise 75% der Gateoxiddicke feucht und die restlichen
25% trocken aufgewachsen. Darüber
hinaus verbessert der Trockenoxidationsprozess die Qualität der Silizium/Siliziumoxidgrenzfläche, etwa
indem der Einbau von Ladungsträgern
oder das Entstehen offener Siliziumbindungen vermindert wird. Durch
die genannte Kombination aus Feuchtoxidation und nachfolgender Trockenoxidation
folgt also in besonders vorteilhafter Weise eine gleichzeitige Ausbildung
von Gateoxid und Oxidschicht auf der Feldelektrode in unterschiedlichen
Schichtdicken und mit verdickten Oxiddünnstellen. Weiterhin ermöglicht der
Prozess eine weitere Opti mierung bezüglich der Gate-Source-Kapazität und der Gate-Drain-Kapazität der Transistoranordnung,
da alternative Ausprägungen
der ersten dielektrischen Schicht (Feldplatte), die sich in Winkel
und Herstellungsprozess unterscheiden, ohne Qualitätseinbußen des
Gateoxids realisierbar werden.
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Die
vorstehend beschriebene erfindungsgemäße Ausführungsform zur Ausbildung eines
Gateoxids und einer Oxidschicht auf der Feldelektrode lässt sich
einfach in ein Verfahren zur Herstellung einer Transistoranordnung
mit Trench-Transistorzellen
mit Feldelektrode integrieren, da die Ausbildung der Kanal- und
Sourcezonen durch Dotieren erst später erfolgt und durch eine
thermische Beaufschlagung im Zuge der Gateoxidausbildung nicht negativ
beeinflusst werden kann.
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In
einem weiteren Schritt des erfindungsgemäßen Verfahrens werden in den
Gräben
die Gate-Elektroden angeordnet, die durch die zweite dielektrische
Schicht von der darunter angeordneten Feldelektrode und durch die
Gate-Dielektrikumsschicht vom umgebenden Halbleitersubstrat elektrisch
isoliert sind.
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Sowohl
die Kanal- als auch die Sourcezone werden nach dem Einbringen der
Gräben
in das Halbleitersubstrat ausgebildet, da dann beide dotierten Bereiche
unabhängig
von den vorausgegangenen Prozessschritten sind.
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Nach
einer besonders bevorzugten Ausführungsform
des erfindungsgemäßen Verfahrens
werden die Kanal- oder die Sourcezone oder beide nach der Anordnung
der Gate-Elektroden in den Gräben ausgebildet.
Damit reduziert sich insbesondere die thermische Belastung der dotierten
Strukturen um einen Betrag, der von den Prozessschritten zwischen dem
Einbringen der Gräben
und dem Anordnen der Gate-Elektrode aufgebracht wird.
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Ein
Einbringen der Dotierungen nach Ausprägen der Gate-Elektroden ist
auch deshalb von Vorteil, da ein Dotieren des Halbleitersubstrats über die
Grabenwandung unterdrückt
wird. Daraus ergeben sich eine homogene Dotierung und eine bessere Steuerbarkeit
des Implantationsvorgangs.
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Nach
einer weiteren besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird
die erste dielektrische Schicht nach dem Einbringen der Gräben in einer
Schichtdicke aufgebracht, die mindestens um den Faktor zwei größer ist
als die des Gateoxids. Nachfolgend werden die Gräben nahezu vollständig mit
dem Material der Feldelektrode gefüllt. Sind die Trench-Transistorzellen
und damit die Gräben
streifenförmig
ausgeprägt,
so ergibt sich in einer Draufsicht auf den mit dem Material der
Feldelektrode und der ersten dielektrischen Schicht gefüllten Graben eine
streifenförmige
Anordnung der Feldelektrode in der Grabenmitte sowie der ersten
dielektrischen Schicht beidseits der Feldelektrode.
-
In
einem folgenden Prozessschritt wird die dielektrische Schicht im
Zwischenraum zwischen der epitaktischen Schicht und der Feldelektrode
bis zu einer Grabentiefe, definiert durch den später ausgeprägten Übergang Kanalzone/Driftzone
(Bodyhöhe), entfernt.
In den durch das Rückätzen der
ersten dielektrischen Schicht entstandenen Zwischenräumen wird
nun jeweils mindestens an den freigestellten Abschnitten der Grabenwandung
und den freigestellten Oberflächen
der Feldelektrode eine zweite dielektrische Schicht ausgebildet,
die an den Grabenwandungen das Gateoxid bildet. Erfolgt das Aufbringen der
zweiten dielektrischen Schicht durch thermische Oxidation, so entsteht
die dielektrische Schicht ausschließlich an den Grabenwandungen
und an den freigestellten Oberflächenabschnitten
der Feldelektrode.
-
Bei
einer Anordnung der zweiten dielektrischen Schicht durch Abscheidung
erstreckt sich die zweite dielektrische Schicht über die Grabenwandung, die
freigestellten Oberflächenabschnitte
der Feldelektrode und über
die zurückgeätzten Oberflächen der
ersten dielektrischen Schichten.
-
In
die bei streifenförmiger
Ausprägung
der Gräben
mit den dielektrischen Schichten ausgekleideten Zwischenräume zwischen
der Feldelektrode und dem Halbleitersubstrat wird anschließend das Material
der Gate-Elektrode eingebracht. Mit diesem Verfahren wird eine Ausbildung
der in der Trench-Transistorzelle
angeordneten Gate- und Feldelektroden erzielt, bei der in einem
oberen Grabenbereich oberhalb der Bodyhöhe eine in Grabenmitte angeordnete
Feldelektrode von Abschnitten der Gate-Elektrode umgeben ist.
-
Nach
einer weiteren bevorzugten Ausführungsform
des erfindungsgemäßen Verfahrens
umfasst das abschnittsweise Auskleiden der Gräben mit einer ersten dielektrischen
Schicht folgende Schritte:
In einem ersten Schritt wird die
erste dielektrische Schicht maskiert mindestens auf die Grabenwandungen
oder unmaskiert auf die gesamte Prozessfläche einschließlich der
Grabenwandungen aufgebracht und maskiert wieder entfernt.
-
Nachfolgend
wird auf der ersten dielektrischen Schicht eine erste Hilfsschicht
aufgebracht, wobei das Material der ersten Hilfsschicht die Gräben vollständig füllt.
-
Anschließend werden
Teile der ersten Hilfsschicht wieder entfernt, wobei die Gräben bis
zur Bodyhöhe
durch remanente Abschnitte der ersten Hilfsschicht gefüllt bleiben.
In der Folge wird die dielektrische Schicht in den nicht von den
remanenten Abschnitten der ersten Hilfsschicht abgedeckten Abschnitten
entweder entfernt oder in ihrer Schichtdicke reduziert, wobei durch
Reduzierung der Schichtdicke der ersten dielektrischen Schicht das
Gateoxid hervorgeht. In nachfolgenden Schritten werden die zunächst remanenten
Abschnitte der ersten Hilfsschicht wieder entfernt.
-
Da
die erste Hilfsschicht nach der Ausprägung der ersten dielektrischen
Schicht bzw. der ersten dielektrischen Schicht und des Gateoxids
wieder vollständig
entfernt wird, kann das Material der Ätzschicht allein unter fertigungstechnischen
Gesichtspunkten gewählt
werden. Durch eine geeignete Wahl des Materials der ersten Hilfsschicht
können
in besonders vorteilhafter Weise graduelle Übergänge zwischen der ersten dielektrischen
Schicht und dem Gateoxid erzeugt werden. Bei einer Realisierung
der ersten Hilfsschicht aus einem Material, dessen Ätzeigenschaften
eine präzise
Steuerung des Ätzvorgangs
zulassen, kann der Übergang
der ersten dielektrischen Schicht zum Gateoxid im Graben in besonders
vorteilhafter Weise mit dem Übergang
Driftzone/Kanalzone im Halbleitersubstrat in Übereinstimmung gebracht werden.
-
In
bevorzugter Weise wird vor der Reduktion bzw. der Entfernung der
ersten dielektrischen Schicht in nicht von der ersten Hilfsschicht
abgedeckten Abschnitten eine zweite Hilfsschicht in Randbereichen von
Gräben
angeordnet, in denen im Weiteren eine der beiden in den Gräben angeordneten
Elektroden über
die Substratoberfläche
geführt
wird. Die zweite Hilfsschicht füllt
die Gräben
in Randbereichen über der
Body höhe
und bedeckt an die Randbereiche der Gräben anschließende Abschnitte
der Substratoberfläche.
-
Bei
einem folgenden Entfernen bzw. Reduzieren der ersten dielektrischen
Schicht bleibt die erste dielektrische Schicht in den von der zweiten
Hilfsschicht abgedeckten Bereichen in der ursprünglichen Schichtdicke erhalten.
Dies ermöglicht
in der Folge ein Herausführen
der Gate-Elektrode und/oder der Feldelektrode aus solcherart während des
Entfernens bzw. des Reduzierens der ersten dielektrischen Schicht
abgedeckten Gräben über die
Substratoberfläche
ohne Einbußen
in der Spannungsfestigkeit der Transistoranordnung.
-
Bei
einer weiteren Ausführungsform
des erfindungsgemäßen Verfahrens
sind nach dem Entfernen der remanenten Abschnitte der Hilfsschicht
die Gräben
vollständig
mit der ersten dielektrischen Schicht ausgekleidet, wobei die erste
dielektrische Schicht in einem oberen, der Substratoberfläche zugewandten
Bereich des Grabens eine Schichtdicke do und
in einem unteren Bereich des Grabens eine Schichtdicke du aufweist, die größer ist als do.
-
Das
Einbringen der Feldelektrode erfolgt nun durch konformes Abscheiden
des Materials der Feldelektrode in einer Schichtdicke dA die
mindestens halb so groß ist
wie die Weite eines von der ersten dielektrischen Schicht im unteren
Grabenbereich bis zur Bodyhöhe
eingefassten Zwischenraumes. Durch das gleichmäßige Anwachsen des Materials
der Feldelektrode bei konformer Abscheidung wird der Zwischenraum
im unteren Grabenbereich komplett gefüllt und von einer Schicht des
Materials der Feldelektrode definierter Dicke abgedeckt. Durch ein nachfolgendes
isotropes Rückätzen des
Materials der Feldelektrode kann nun das Material der Feldelektrode
auf präzise und
dadurch vorteilhafte Weise gerade vollständig aus dem oberen Bereich
des Grabens entfernt werden.
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In
vorteilhafter Weise ist das Material der Hilfsschicht ein Fotolack,
der vor einem abschnittsweisen Rückbilden
der ersten dielektrischen Schicht einem Postbake-Prozess unterzogen
wird.
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Weiterhin
wird in vorteilhafter Weise vor dem Aufbringen der Hilfsschicht
ein Haftvermittler für
das Material der Hilfsschicht vorgesehen, der nach dem Einbringen
der Feldelektrode wieder entfernt wird.
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Das
Ausprägen
der Gate-Dielektrikumsschicht an Abschnitten im oberen Bereich der
Grabenwandung kann durch Abscheidung oder Oxidation des Siliziums
des Halbleitersubstrats erfolgen.
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Nach
einer besonders bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung geht die Gate-Dielektrikumsschicht durch Reduzierung
der Schichtdicke dds der in diesen Bereichen
angeordneten ersten dielektrischen Schicht auf eine Schichtdicke
dGD hervor. Dabei erfolgt die Reduzierung
der Schichtdicke in weder durch die Hilfsschicht noch durch die
Feldelektrode bedeckten Abschnitten der Grabenwandung. Diese Ausführungsform
des erfindungsgemäßen Verfahrens
schließt
ein zusätzliches
Aufbringen einer weiteren dielektrischen Schicht auf der Feldelektrode
ein.
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Die
weitere dielektrische Schicht auf der Feldelektrode kann alternativ
dazu in einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung aus
einem Prozess hervorgehen, bei dem das Material der weiteren dielektrischen
Schicht auch über
die reduzierte erste dielektrische Schicht im oberen Grabenbereich oberhalb
der Bodyhöhe
angeordnet wird. Auf diese Weise entsteht ein mehrschichtiges Gateoxid.
-
Alternativ
zu den beiden vorangegangenen Ausführungsformen der Erfindung
wird die erste dielektrische Schicht in weder durch eine Hilfsschicht noch
durch die Feldelektrode bedeckten Abschnitten der Grabeninnenfläche vollständig entfernt,
so dass die Gate-Dielektrikumsschicht ausschließlich durch Abschnitte einer
in einem folgenden Prozess aufgebrachten zweiten dielektrischen
Schicht gebildet wird.
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Die
erste und die zweite dielektrische Schicht sind dabei jeweils als
thermisches Oxid, als abgeschiedenes Oxid, als Nitrid, als Oxidnitrid
oder als eine Mehrschichtstruktur realisierbar.
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Nach
einer weiteren bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung wird nach einer Reduzierung der Schichtdicke ddS der ersten dielektrischen Schicht bzw.
nach dem Entfernen der ersten dielektrischen Schicht in nicht von
der Feldelektrode abgedeckten Abschnitten in einem zusätzlichen
Schritt die Feldelektrode weiter zurückgeätzt.
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Insbesondere
nach dem Entfernen der ersten dielektrischen Schicht aus dem oberen
Bereich wird, bedingt durch die Ätzeigenschaften
des Materials der ersten dielektrischen Schicht, diese auch im Zwischenraum
zwischen der Feldelektrode und dem Halbleitersubstrat zurückgeätzt. Dadurch
wird in der Mitte des Grabens die Feldelektrode freigelegt. Bei einer
nachfolgenden Anordnung der Gate-Elektrode wird ein oberer Abschnitt
der Feldelektrode in einem Übergangsbereich
zwischen oberem und unterem Bereich des Grabens von der Gate-Elektrode
umgeben.
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Dies
resultiert in einer erhöhten
Kapazität zwischen
der Gate-Elektrode und der Feldelektrode, die durch den erfindungsgemäßen Verfahrensschritt auf
einfache und vorteilhafte Weise reduziert wird.
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Das
Material der Gate-Elektrode bzw. der Feldelektrode ist üblicherweise
ein leitfähiges
Polysilizium. Leitfähiges
Polysilizium weist in der Regel einen relativ hohen spezifischen
ohmschen Widerstand auf.
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Der
Widerstand der Gate-Elektrode bzw. der Feldelektrode kann durch
Vorsehen eines zweiten Materialbestandteils der Gate-Elektrode bzw. Feldelektrode
verringert werden. Vorteilhafter Weise ist der weitere Bestandteil
des Materials der Gate- und/oder Feldelektrode
ein Metallsilizid, dass vorzugsweise durch Silizidierung des Polysiliziums
erzeugt wird.
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Eine
erfindungsgemäße Trench-Transistorzelle
ist in einem Halbleitersubstrat angeordnet, in dem jeweils aufeinander
folgend und im Wesentlichen horizontal geschichtet eine Drainzone,
eine Driftzone, eine Kanalzone und eine Source-Zone ausgeprägt sind. Weiter ist im Halbleitersubstrat
ein Graben vorgesehen der bis im Wesentlichen zu einer Bodyhöhe, die
dem Übergang
zwischen Driftzone und Kanalzone im Halbleitersubstrat gegenüberliegt, mit
einer ersten dielektrischen Schicht und zwischen der Bodyhöhe und der
Substratoberfläche
mit einem Gateoxid ausgekleidet ist. Im Wesentlichen vom Grabenboden
bis zur Oberkante der ersten dielektrischen Schicht reicht eine
Feldelektrode, auf die sich zwischen etwa der Bodyhöhe und der
Substratoberfläche
(20) eine Gate-Elektrode anschließt, wobei zwischen der Gate-Elektrode
und der Feldelektrode eine zweite Oxidschicht angeordnet ist. Erfindungsgemäß weist
dabei die zweite Oxidschicht an jeder Stelle zwischen der Feldelektrode
und der Gate-Elektrode mindestens ei ne Schichtdicke auf, die der
Schichtdicke an der dünnsten
Stelle des Gateoxids entspricht. Aus der erfindungsgemäßen Trench-Transistorzelle
lassen sich Transistoranordnungen wie MOS-Leistungstransistoren
und IGBTs realisieren.
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Das
erfindungsgemäße Verfahren
und die erfindungsgemäße Trench-Transistorzelle
sind im Vorausgegangenen im Zusammenhang mit n-Kanal MOS-Transistoren
dargestellt. Jedoch lassen sich das erfindungsgemäße Verfahren
sowie die erfindungsgemäße Trench-Transistorzelle
auch ohne Weiteres auf p-Kanal MOS-Transistoren oder IGBTs übertragen.
-
Auch
eine Integration in einen IC-Prozess nach bekannter Art, etwa durch
einen leitfähigen
Sinker im Halbleitersubstrat, ist in einer dem Fachmann naheliegende
Weise ausführbar.
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Nachfolgend
wird die Erfindung anhand der Figuren näher erläutert, wobei für einander
entsprechende Komponenten identische Bezugszeichen verwendet werden.
-
Es
zeigen:
-
1 den Ablauf des erfindungsgemäßen Verfahrens
nach einem ersten Ausführungsbeispiel,
-
2 eine
Prinzipdarstellung eines Trench-MOS-Leistungstransistors,
-
3 ein bekanntes Verfahren zur Herstellung
eines Trench-MOS-Leistungstransistors,
-
4 einen Abschnitt des erfindungsgemäßen Verfahrens
nach einem zweiten Ausführungsbeispiel,
-
5 einen Abschnitt des erfindungsgemäßen Verfahrens
nach einem dritten Ausführungsbeispiel,
-
6 einen Abschnitt des erfindungsgemäßen Verfahrens
nach einem vierten Ausführungsbeispiel
und der Erfindung,
-
7 einen Abschnitt des erfindungsgemäßen Verfahrens
nach einem fünften
Ausführungsbeispiel
und
-
8 Ausführungsbeispiele
zur Anordnung der Gate-Dielektrikumsschicht
und der dielektrischen Schicht zwischen Feldelektrode und Gate-Elektrode.
-
In
den Teilfiguren 1a bis 1n ist
das erfindungsgemäße Verfahren
nach einem ersten Ausführungsbeispiel
in elf Verfahrensschritten dargestellt. Dabei stellen die Figuren
jeweils einen Querschnitt durch dieselbe Trench-Transistorzelle
jeweils in einem aktiven Zellenbereich (links) und einem Randbereich
(rechts) in zwei zueinander parallelen Querschnittsebenen dar. Im
Randbereich sind dabei Strukturen zur Kontaktierung der in Gräben (Trenches)
angeordneten Feldelektroden und Gate-Elektroden vorgesehen.
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Gemäß einem
ersten Ausführungsbeispiel des
erfindungsgemäßen Verfahrens
wird also auf einem n+-dotiertem Grundsubstrat 1 durch
ein epitaktisches Verfahren eine epitaktische Schicht 2 erzeugt. Während des
Anwachsens (in situ) der epitaktischen Schicht 2 wird diese
n-dotiert. Danach wird auf der dem Grundsubstrat 1 gegenüberliegenden
Substratoberfläche 20 der
epitaktischen Schicht 2 eine Hartmaske 30 erzeugt,
beispielsweise durch Abscheiden von TEOS in einer Schichtstärke von 400
nm. Auf der Hartmaske 30 wiederum wird eine erste Photolackschicht 43 abgeschieden
und durch photolithographische Technik strukturiert. Das Ergebnis
der vorangegangenen Verfahrensschritte ist in der 1a dargestellt.
-
Anschließend wird
die Hartmaske 30 an den durch die strukturierte Photolackschicht 43 freigestellten
Abschnitten geätzt.
Es entsteht eine strukturierte Hartmaske 30 mit Öffnungen 61,
an denen die epitaktische Schicht 2, wie in der 1b dargestellt, freiliegt.
-
Anschließend werden
Gräben 6 in
die epitaktische Schicht 2 geätzt und remanente Abschnitte
der Hartmaske 30 bzw. der ersten Photolackschicht 43 entfernt.
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In 1c ist
die so erhaltene Struktur dargestellt, wobei in der auf dem Grundsubstrat 1 angeordneten
epitaktischen Schicht 2 die Gräben 6 angeordnet sind.
Die Gräben 6 können eine
streifenartige Struktur, gebildet aus einer Mehrzahl von parallel
verlaufenden Gräben 6,
oder eine Netzstruktur aufweisen. Eine Netzstruktur wird dadurch
erzeugt, dass in einer Querschnittsebene parallel zur dargestellten Ebene
Quergräben
die im Querschnitt dargestellten Gräben 6 miteinander
verbinden.
-
Im
folgenden Verfahrensschritt wird auf der durch die Gräben 6 strukturierten
epitaktischen Schicht 2 eine erste dielektrische Schicht 321 abgeschieden
oder durch thermische Oxidation erzeugt.
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In 1d ist
die auf der Oberfläche
der epitaktischen Schicht 2 und auf den Innenflächen der Gräben 6 abgeschiedene
oder erzeugte dielektrische Schicht 321 zusammen mit der
epitaktischen Schicht 2 und dem Grundsubstrat 1 dargestellt.
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Es
folgt in einem nächsten
Verfahrensschritt ein Abscheiden von polykristallinen Silizium (Polysilizium).
Das Abscheiden erfolgt mit einer Schichtdicke, die größer ist
als die halbe Grabenweite. Dann ist sichergestellt, dass die Gräben 6 vollständig mit
dem Polysilizium gefüllt
werden. Auf das in dieser Weise abgeschiedene Polysilizium 631 (Feldpolysilizium) wird
eine zweite Photolackschicht 44 abgeschieden und in einem
photolithographischen Verfahren strukturiert.
-
In 1e sind
die mit dem Polysilizium 631 gefüllte Gräben 6 dargestellt. Über dem
rechten Graben 6'', der einen
Graben im Randbereich darstellt, liegt dabei ein remanenter Abschnitt
der Photolackschicht 44 auf.
-
An
den nicht durch remanente Abschnitte des Photolacks 44 abgedeckten
Abschnitten der Polysiliziumschicht 631 wird ein Ätzschritt
ausgeführt. Der Ätzschritt
wird abgebrochen, sobald das Material der Polysiliziumschicht 631 in
nicht abgedeckten Gräben 6 bis
zur gewünschten
Tiefe, typischerweise der Bodyhöhe,
zurückgeätzt ist.
-
In 1f sind
verbleibende Abschnitte 63, 632 der Polysiliziumschicht 631 dargestellt.
Dabei bildet der Abschnitt 63 im linken Graben 6' eine Feldelektrode
aus. Der Abschnitt 632 im rechten Graben 6'' dient zur Kontaktierung der Feld-Elektrode 63 in einer
zur Querschnittsebene senkrechten, vertikalen Verlängerung
des linken Grabens 6'
-
Im
nächsten
Verfahrensschritt wird die dielektrische Schicht 321 zurückgeätzt, wobei
das die Abschnitte 63 und 632 bildende Feld-Polysilizium eine
Maske bildet.
-
Nach
dem Ätzschritt
ergibt sich die in 1g dargestellte Anordnung. Die
dielektrische Schicht 321 liegt hier noch in Abschnitten 32,
unterhalb des Feld-Polysiliziums 63, 632 vor.
-
Darauf
wird die Gate-Dielektrikumsschicht 331 (im Folgenden auch
Gateoxid) abgeschieden bzw. durch thermische Oxidation erzeugt.
-
In 1h ist
die Gate-Dielektrikumsschicht 331 dargestellt, die abschnittsweise
die Oberfläche der
epitaktischen Schicht 2, die polykristallinen Abschnitte 63 und 632,
sowie die freigestellten Abschnitte der Innenflächen der Gräben 6 bedeckt. In unteren
Bereichen (Feldbereichen) der Gräben 6 unterhalb
der Bodyhöhe 72 sind
Feldelektroden 63 angeordnet, die über polykristalline Strukturen 632 über die
Substratoberfläche 20 der
epitaktischen Schicht 2 geführt sind.
-
Es
folgt das Abscheiden einer zweiten Schicht 621 aus einem
polykristallinen Silizium (Gate-Polysilizium) 621. Auch
diese Abscheidung erfolgt in einer Schichtstärke, die größer ist als die halbe offene
Grabenweite. In Randbereichen kann die polykristalline Schicht 621 durch
eine dritte Photolackschicht 45 wieder in einem photolithographischen
Verfahren maskiert und strukturiert werden.
-
In
der 1i ist das Ergebnis dieses Verfahrensschrittes
dargestellt. Das Gate-Polysilizium 621 bedeckt die Substratoberfläche und
wird abschnittsweise durch eine dritte Photolackschicht 45 maskiert.
-
Anschließend wird
das Gate-Polysilizium 621 in den nicht durch remanente
Abschnitte der Photolackschicht 45 abgedeckten Bereichen
soweit zurückgeätzt, dass
es die Gräben 6' nur noch knapp bis
zur Substratoberfläche 20 (im
Folgenden auch Siliziumkante) füllt.
Im Anschluss werden remanente Abschnitte der Photolackschicht 45 entfernt.
Das Ergebnis ist in der 1j dargestellt.
Aus dem Gate-Polysilizium 621 sind Gate-Elektroden 62 in den oberen
Bereichen der Gräben 6' des aktiven
Zellenfeldes und weitere Abschnitte 622 im Randbereich entstanden. Über die
Abschnitte 622 wird die Gate-Elekrode 62 über die
Substratoberfläche 20 geführt.
-
Eine
erste Variante des durch die 1 dargestellten
ersten Ausführungsbeispiels
des erfindungsgemäßen Verfahrens
sieht nun das Aufbringen einer hochleitfähigen Schicht (Silizidschicht,
z. B. Wolframsilizid) 41 mindestens auf dem Gate-Polysilizium 62 vor.
Eine solche Silizidschicht weist eine sehr gute Leitfähigkeit
auf und verringert den ohmschen Widerstand in der Zuführung zu
den Gate-Elektroden 62 der Trench-Transistorzellen. In
einer zweiten Variante des ersten Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen Verfahrens
wird die Gate-Elektrode 62 mit oder ohne hochleitfähige Anteil
mit einer Oxidschicht, einer Nitridschicht oder einem Mehrschichtsystem
als Diffusionsbarriere 42 versiegelt, um ein Ausdiffundieren
von Dotierstoffen aus dem Gate-Polysilizium 62, 622 zu
unterbinden. Die hochleitfähige Schicht 41 und/oder
die Diffusionsbarriere 42 können auch an anderer Stelle
des Verfahrens, etwa nach einem Rückbilden der Gate-Dielektrikumsschicht
oder dem Ausprägen
von Kanal- und Sourcezone 22, 23 angeordnet werden.
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In 1k ist
eine Anordnung dargestellt, bei der sowohl eine hochleitfähige Schicht 41,
als auch die Diffusionsbarriere 42 auf der Gate-Elektrode 62 aufgebracht
wurde. Die Diffusionsbarriere 42 wird an sich ganzflächig aufgetragen.
Dargestellt ist in 1k jedoch nur der funktionswesentliche
Teil dieser Schicht auf der Gate-Elektrode 62.
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Im
nächsten
Verfahrensschritt wird die Implantation der Sourcezone 23 und
der Kanalzone 22 vorbereitet. Dazu wird beispielsweise
das Gateoxid 33 abschnittsweise von der Substratoberfläche 20 entfernt
und ein Streuoxid aufgebracht oder eine Implantationsmaske vorgesehen.
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Wie
in der 1l dargestellt, werden dann
in aufeinanderfolgenden Implantationen-, Aktivierungs- und Diffusionsvorgängen jeweils
die p-leitende Kanalzone 22 sowie die n++-leitende Sourcezone 23 ausgeprägt. Der
unbehandelt gebliebene Abschnitt der epitaktischen Schicht 2 bildet
eine Driftschicht 21 aus. Source- und Kanal-Zonen 23, 22 erstrecken
sich mindestens jeweils im aktiven Zellenfeld zwischen den Gräben 6.
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Alternativ
erfolgt die Implantation auch durch das relativ dünne Gateoxid 33 hindurch.
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Im
folgenden Verfahrensschritt wird eine weitere dielektrische Schicht 35 auf
die Anordnung abgeschieden. Diese dielektrische Schicht bildet ein Zwischenoxid 35 zur
Isolation der Sourcezone, bzw. zu einer verbesserten kapazitiven
Entkopplung des Feld-Polysiliziums 632 und des Gate-Polysiliziums 622 gegen
eine nachfolgend aufgebrachte Metallisierungsebene.
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In
der 1m ist die auf die Struktur abgeschiedene Zwischenoxidschicht 35 dargestellt,
die abschnittsweise die Sourcezone 23 bzw. das Gateoxid 33 bedeckt.
In der dielektrischen Schicht 35 werden Öffnungen 521, 531, 532 geätzt, die
entweder vor der Siliziumschicht enden oder in diese hineinreichen.
Es entstehen Öffnungen 532,
in denen die Sourcezone 23 freigelegt wird, Öffnungen 531,
die das Feld-Polysilizium 532 abschnittsweise öffnen, sowie Öffnungen 521,
die das Gate-Polysilizium 622 abschnittsweise freilegen.
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Weiter
wird über
der Anordnung eine strukturierte Metallisierung aufgebracht, die
eine Source-Anschlussmetallisierungen 53 und eine Gate-Anschlussmetallisierungen 52 aufweist.
Die Gate-Anschlussmetallisierung 52 kontaktiert dabei über Durchkontaktierungen 521 die
Abschnitte 622 des Gate-Polysiliziums. Ferner kontaktiert
in diesem Beispiel die Source-Anschlussmetallisierung 53 über Durchkontaktierungen 532 die
Sourcezonen 23 sowie die Kanalzonen 22 und über Durchkontaktierungen 531 die
Abschnitte 632 des Feld-Polysiliziums. Es folgt das Aufbringen
einer Drain-Anschlussmetallisierung 51 auf der Rückseite
des Halbleitersubstrats, die das Grundsubstrat 1, das eine
Drainzone 10 ausbildet, kontaktiert.
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Alternativ
dazu wird das Feld-Polysilizium 632 von einer von der Source-Anschlussmetallisierung 53 isolierten
zusätzlichen
Feldmetallisierung kontaktiert.
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Die 2 und
die 3 wurden bereits eingangs erläutert.
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Die
beiden 4a und 4b stellen
schematisch den Bereich einer Trench-Transistorzelle vor bzw. nach
einem für
ein zweites Ausführungsbeispiel der
Erfindung charakteristischen Verfahrensschritt dar.
-
Dieser
Verfahrensschritt schließt
sich nach der Ausformung einer Feldelektrode 63 an das
Entfernen oder Reduzieren der ersten dielektrischen Schicht 321 in
nicht von der Feldelektrode 63 abgedeckten Bereichen an.
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Diese
bereits erläuterten
Verfahrensschritte führen
zu einer in der 4a dargestellten Anordnung.
Beim Rückätzen der ersten
dielektrischen Schicht 321 wird ohne weitere Maßnahmen
die erste dielektrische 321 auch im Zwischenraum zwischen der
Feldelektrode 63 und der epitaktischen Schicht 2 bis
unter die Oberfläche
der Feldelektrode 63 zurückgebildet. Dadurch wird die
Feldelektrode 63 in einen oberen, der Substratoberfläche 20 zugewandten
Bereich, teilweise freigelegt.
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Nach
dem zweiten Ausführungsbeispiel
des erfindungsgemäßen Verfahrens
wird nun in einem zusätzlichen
Verfahrensschritt der freigelegte obere Bereich der Feldelektrode 63 bis
unter die zur Substratoberfläche 20 orientierte
Oberfläche
der ersten dielektrischen Schicht 32 zurückgebildet.
Durch die mit diesem Verfahrensschritt einhergehende Reduktion der
Feldelektrode 63 in eine reduzierte Feldelektrode 63' geht vorteilhafterweise
eine Reduzierung einer Kapazität
zwischen der Feldelektrode 63' und einer nachfolgend ausgebildeten
Gate-Elektrode 62 einher.
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In
den 5a bis 5e werden
die ein drittes Ausführungsbeispiel
der Erfindung charakterisierenden Verfahrensschritte anhand eines
Querschnitts durch den Bereich einer Trench-Transistorzelle vereinfacht
und schematisch dargestellt.
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Die
in der 5a dargestellte Anordnung geht
in üblicher
Weise durch Aufbringen einer ersten dielektrischen Schicht 321 auf
die durch Gräben 6 strukturierte
epitaktische Schicht 2 hervor. Nachfolgend wird auf die
erste dielektrische Schicht 321 eine erste Hilfsschicht,
beispielsweise eine Fotolackschicht 46, aufgebracht, die
die Gräben 6 vollständig füllt.
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In
einem folgenden Verfahrensschritt wird die Fotolackschicht 46 zurückgebildet,
so dass remanente Abschnitte der Fotolack schicht 46 ausschließlich in
unteren Bereichen der Gräben 6 verbleiben, wie
in der 5b dargestellt ist.
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In
der 5b ist der Graben 6 der 5a in zwei
verschiedenen Querschnittsebenen dargestellt. Der im linken Teil
gezeichnete Querschnitt 6'' stellt den
Graben 6 im Randbereich einer Transistoranordnung dar,
in dem eine Kontaktierung der im Graben 6 angeordneten
Gate-Elektrode und der Feldelektrode erfolgt. Der rechte Querschnitt 6' stellt den
Graben 6 im aktiven Bereich der Trench-Transistorzelle
dar.
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Im
Randbereich erfolgt eine zusätzliche
Abdeckung des oberen Grabenbereichs und der angrenzenden Substratoberfläche 20 durch
eine zweite Hilfsschicht 47.
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Eine
Bodyhöhe 72,
etwa bis zu der die Gräben 6 mit
dem Material der Fotolackschicht 46 gefüllt sind, korrespondiert mit
einem im späteren
Verfahrensablauf ausgebildeten Übergang
zwischen einer Kanal- und einer Driftzone im Halbleitersubstrat.
Die erforderliche Füllhöhe kann
mit einem Material, das eine kleinere Ätzrate aufweist, mit geringeren
Abweichungen als mit einem Material mit hoher Ätzrate realisiert werden.
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In
einem folgenden Verfahrensschritt wird die erste dielektrische Schicht 321 in
den weder durch die Fotolackschicht 46 noch durch die zweite Hilfsschicht 47 abgedeckten
Bereichen mindestens in ihrer Schichtdicke reduziert oder, wie in
der 5c dargestellt, komplett entfernt. Nach dem Strukturieren
der ersten dielektrischen Schicht 321 werden die remanenten
Abschnitte der beiden Hilfsschichten 46, 47 entfernt.
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Das
Ergebnis dieses Verfahrensschrittes ist in der 5c dargestellt.
Der untere Bereich des Grabens 6' im aktiven Zellenfeld ist mit
der ersten dielektrischen Schicht 321 im bis zur Bodyhöhe reichenden
unteren Bereich wannenförmig
ausgekleidet. Im links dargestellten Randbereich des Grabens 6'' ist die erste dielektrische Schicht 321 in
unverminderter Schichtstärke
aus den Graben 6'' bis über die Substratoberfläche 20 herausgezogen.
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Nachfolgend
wird das Feld-Polysilizium abgeschieden und bis zum Kragen der von
der ersten dielektrischen Schicht 321 im unteren Grabenbereich gebildeten
Wanne zurückgeätzt. Der 5d,
die das Ergebnis dieses Verfahrensschrittes darstellt, sind Abschnitte
der ersten dielektrischen Schicht 321 zu entnehmen, die über die
von der Feldelektrode 63 gebildeten Oberfläche hinausragen.
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In
einer Variante dieses Ausführungsbeispiels
des erfindungsgemäßen Verfahrens
wird ein Verfahrensschritt eingefügt, der die erste dielektrische
Schicht 321 bis mindestens zur Oberfläche der Feldelektrode 63 zurückbildet.
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Aus
diesem Verfahren geht die in der 5e dargestellte
Anordnung hervor, bei der die Feldelektrode 63 die durch
die erste dielektrische Schicht 321 gebildete Wanne im
Wesentlichen vollständig
füllt.
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In
den 6a bis 6e wird
das erfindungsgemäße Verfahren
gemäß einem
vierten Ausführungsbeispiel
anhand eines Querschnitts durch den Bereich einer Trench-Transistorzelle
schematisch dargestellt.
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Gemäß der 6a wird
zunächst
in bekannter Weise eine erste dielektrische Schicht 321 auf
die durch Gräben 6 strukturierte
epitaktische Schicht 2 aufgebracht. Anschließend werden
die unteren Bereiche der Gräben 6 in
bekannter Weise mit ei ner Hilfsschicht, etwa einer Fotolackschicht 46 maskiert, wie
in der 6b dargestellt.
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Mit
der Fotolackschicht 46 als Maske wird die dielektrische
Schicht 321 in ihrer Schichtdicke reduziert. Dabei bildet
sich in nicht durch die Fotolackschicht 46 abgedeckten
Abschnitten auf der Substratoberfläche eine zweite dielektrische
Schicht 331 und an den Innenflächen des Grabens 6 im
oberen Bereich ein Gateoxid 33 oder eine Hilfsschicht.
Danach wird die Fotolackschicht 46 entfernt. In der 6c ist der
Zustand der Anordnung nach dem vorangegangenen Verfahrensschritt
dargestellt.
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Im
folgenden Verfahrensschritt wird ein Feld-Polysilizium 631 konform
auf die Anordnung abgeschieden. Die Abscheidung erfolgt dabei mit
einer Schichtdicke, die größer ist
als die halbe Weite der durch die erste dielektrische Schicht 321 im
unteren Grabenbereich gebildeten Wanne und kleiner ist als die halbe
Kragenweite eines durch das Gateoxid 33 im oberen Grabenbereich
gebildeten Kragens. Bei einer konformen Abscheidung des Feld-Polysiliziums in
der oben erläuterten
Schichtdicke ergibt sich die in der 6d dargestellte
Anordnung.
-
Im
folgenden Verfahrensschritt wird nun das Feld-Polysilizium um einen
Betrag zurückgeätzt, der der
zuvor abgeschiedenen Schichtdicke, ergänzt um eine geringfügige Überätzung (Overetch),
entspricht. Das Feld-Polysilizium wird im Wesentlichen bis zum Übergang
der ersten dielektrischen Schicht 321 zum Gateoxid 33 zurückgebildet,
wie in der 6e dargestellt.
-
In
den 7a bis 7d werden
die maßgeblichen
Verfahrensschritte eines fünften
Ausführungsbeispieles
des erfin dungsgemäßen Verfahrens anhand
eines Querschnitts durch den Bereich einer Trench-Transistorzelle
dargestellt.
-
Dabei
wird, wie aus der 7a hervorgeht, ein Feld-Polysilizium
nach einer Abscheidung lediglich bis etwa zur Substratoberfläche 20 der
epitaktischen Schicht 2 zurückgebildet. Die Feldelektrode 63 füllt dann
zusammen mit der ersten dielektrischen Schicht 321 den
Graben 6 teilweise oder wie hier dargestellt nahezu komplett
aus.
-
Nachfolgend
wird die erste dielektrische Schicht 321 in den durch die
Feldelektrode 63 maskierten Bereichen zurückgeätzt. Dabei
wird, wie aus der 7b hervorgeht, die erste dielektrische Schicht 321 bis
zu einer Bodyhöhe 72 zurückgeätzt und
bildet dabei Abschnitte 32, die mit einem im späteren Verfahrensablauf
ausgebildeten Übergang Driftzone/Kanalzone
im Halbleitersubstrat korrespondiert.
-
In
den sich auf diese Weise zwischen der Feldelektrode 63 und
der epitaktischen Schicht 2 bildenden Zwischenräumen wird
ein im Vergleich zur ersten dielektrischen Schicht 32 dünnes Gateoxid 33 aufgebracht.
Das Aufbringen des Gateoxids 33 kann durch Abscheiden oder
durch thermische Oxidation erfolgen. In der 7c ist
der Zustand der Anordnung nach dem Aufbringen des Gateoxids 33 durch thermische
Oxidation gezeigt. Die durch thermische Oxidation abschnittsweise
gebildeten Schichten 322 auf der Substratoberfläche 20 der
epitaktischen Schicht 2, das an den Innenflächen der
Gräben 6 im oberen
Bereich gebildete Gateoxid 33 sowie die auf der Oberfläche der
Feldelektrode gebildete zweite dielektrische Schicht 322' sind aus der 7c zu
entnehmen.
-
In
die nun mit dem Gateoxid 33 bzw. Abschnitten der zweiten
dielektrischen Schicht 322' gebildeten
Wannen wird in einem folgenden Verfahrensschritt, etwa durch Abscheiden
und Rückätzen, das
Gate-Polysilizium eingebracht, das dann, wie der 7d zu
entnehmen ist, eine die Feldelektrode 63 im oberen Grabenbereich
umschließende
Gate-Elektrode 62 ausbildet.
-
In
den 8a bis 8e werden
die maßgeblichen
Verfahrensschritte zur Ausprägung
eines Gateoxids und einer dielektrischen Schicht auf der Feldelektrode
gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren
anhand eines Querschnitts durch den Bereich einer Trench-Transistorzelle
dargestellt.
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Die 8a zeigt
einen Graben 6 einer Trench-Transistorzelle, die in eine
Prozessschicht 2, ihrerseits angeordnet auf einem Grundsubstrat 1, eingebracht
ist. Der Graben 6 ist unterhalb etwa eines Body-Drainübergangs 201 im
einem Abstand b zu einer Substratoberfläche 20 mit einer ersten
dielektrischen Schicht 32 ausgekleidet. Die erste dielektrische
Schicht 32 isoliert eine Feldelektrode 63 gegen
ein aus dem Grundsubstrat 1 und der Prozessschicht 2 gebildetes
Halbleitersubstrat 7. In Folge eines Rückätzens der ersten dielektrischen
Schicht 32 nach Einbringen der Feldelektrode 63 ist
die erste dielektrische Schicht 32 bis unter die Oberkante
der Feldelektrode 63 zurückgebildet.
-
In
der 8b ist die in 8a gezeigte
Anordnung nach einem üblichen
thermischen Oxidationsschritt dargestellt. Durch die thermische
Oxidation werden jeweils auf dem Material der schwach dotierten
Prozessschicht 2 und der Feldelektrode 63 Oxidschichten
gebildet. Abschnittsweise werden dabei ein Gateoxid 33 an
den freigestellten Abschnitten der Grabenwandung, eine zweite Oxidschicht 36 auf den
freigestellten Abschnitten der Feldelektrode 63 sowie eine
weitere Oxidschicht 322 auf der Substratoberfläche 20 ausgebildet.
Dabei weisen das Gateoxid 33, die Oxidschicht 36 auf
der Feldelektrode 63 und die weitere Oxidsschicht 322 auf
der Substratoberfläche 20 in
etwa die gleiche Schichtdicke auf. Bei einer thermischen Oxidation
mit üblicher
Prozessführung
bilden sich an Übergängen zwischen
der ersten dielektrischen Schicht 32 und dem Gateoxid 33 sowie zwischen
der ersten dielektrischen Schicht 32 und der Oxidschicht 36 auf
der Feldelektrode 63 Oxiddünnstellen A, B aus. Eine weitere
Oxiddünnstelle
C ergibt sich in der Oxidschicht 36 auf der Feldelektrode 63 an
den freigestellten Kanten der Feldelektrode 63.
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Die 8c stellt
die Verhältnisse
nach einer Feuchtoxidation der in der 8a gezeigten
Anordnung dar. Dabei wird die Oxidschicht 36 auf der Feldelektrode 63 mit
einer deutlich höheren
Schichtdicke erzeugt als das Gateoxid 33. Die Dünnungen
der Oxiddünnstellen
A, B, C fallen deutlich geringer aus als nach einer üblichen
thermischen Oxidation.
-
In
der 8d ist der Zustand der in der 8c gezeigten
Trench-Transistorzelle nach einer auf eine Feuchtoxidation folgenden
Trockenoxidation bei etwa 1100 Grad Celsius sowie einem anschließenden Einbringen
einer Gate-Elektrode 62 in den Graben 6 bis etwa
zur Oberkante des Grabens 6 schematisch dargestellt. Die
Dünnungen
der Oxiddünnstellen
A, B, C wurden durch dort vorliegende höhere Oxidationsraten merklich
vermindert.
-
Die 8e gibt
den Zustand einer Anordnung gemäß der 8a wieder,
nachdem auf der Feldelektrode 63 eine Oxidschicht 36 durch
einen HDP-Prozess erzeugt wurde. Dabei kann das dabei gebildete
HDP-Oxid in unterschiedlichen Umfang abgeschieden werden. Im gezeigten
Beispiel reicht das HDP-Oxid bis über eine Unterkante des Gateoxids 33 hinaus.
Bei dieser Ausführung
ist eine gegenüber
der Durchbruchsicherheit des Gate oxids 33 höhere Durchbruchsicherheit
der Oxidschicht 36 auf der Feldelektrode 63 sichergestellt.
-
Beispiele:
-
Bei
allen nachfolgenden Beispielen kann die Reihenfolge einiger Schritte,
zum Beispiel der Implantationsvorgänge, variieren. Die Gate-Elektrode kann
aus mehreren Schichten bestehen oder abschnittsweise mit einem hochleitfähigem Material verstärkt sein.
Im Bereich des Grabens kann die Gate-Elektrode auch über die
Siliziumoberfläche
hinausragen. Auch p-Kanal Transistoren und IGBTs sind möglich. Die
Prozessfolge kann in einen IC-Prozess eingesetzt werden, in dem
die Drainzone über
einen n-Sinker auf die Substratoberfläche geführt wird.
-
Beispiel A:
-
- a) Bereitstellen eines hochdotierten n+-Substrat als Ausgangsmaterial.
- b) Abscheiden einer n-epitaktischen Schicht mit einer Dotierstoffkonzentration
von 1 × 1014 cm–3 bis 1 × 1018 cm–3.
- c) Ätzen
der Gräben
mit einer strukturierten Trenchmaske (Oxid, TEOS 400 nm, Fotolack). Entfernen
der Trenchmaske. Ausprägen
des Trenches als Streifen oder als Gitter für eine Zellenstruktur.
- d) Aufbringen einer Isolationsschicht von wenigen nm bis einige μm Dicke.
Die Isolationsschicht kann dabei auch ein Mehrschichtsystem (thermisches
Oxid, abgeschiedenes Oxid, Nitrid) sein.
- e) Abscheiden einer Feldelektrode, wobei das Material der Feldelektrode
dotiertes Polysilizium, Silizide (Wolframsilizid) und andere leitfähige Materialien
enthalten kann. Ein Polysilizium wird dabei mit einer Schichtdicke
abgeschieden, die mindestens der halben Trenchweite, vermindert
um die Dicke der Isolationsschicht, beträgt.
- f) Maskiertes oder unmaskiertes Rückätzen der Feldelektrode bis
deutlich unter die Substratoberfläche der epitaktischen Schicht.
- g) Optional Maskieren eines Teils der Isolationsschicht, etwa
durch Fotolack.
- h) Teilweises oder vollständiges
Entfernen der Isolationsschicht in nicht von der Feldelektrode oder
Fotolack bedeckten Bereichen. Aufwachsen des Gateoxids in einer
Dicke von wenigen nm bis über
100 nm entsprechend den Anforderungen an eine Einsatzspannung.
- i) Abscheiden der Gate-Elektrode (dotiertes Polysilizium, Silizid,
Wolframsilizid).
- j) Maskiertes oder unmaskiertes Zurückätzen des Materials der Gate-Elektrode
bis unter die Substratoberfläche
(Siliziumoberkante).
- k) Optional Aufbringen einer hoch leitfähigen Schicht (Silizidschicht,
Wolframsilizid) auf das Material der Gateelektrode zur Erhöhung deren Leitfähigkeit.
- l) Optional Versiegelung des Gatematerials mit einer Oxidschicht
(abgeschiedenes Oxid, Nitrid, Mehrschichtsystem) zur Vermeidung
einer Ausdiffusion von Dotierstoffen.
- m) Implantation, unmaskiert oder durch Feldoxid oder eine eigene
Fototechnik maskiert, und anschließende Ausdiffusion der Kanalzone.
- n) Implantation der Sourcezone unmaskiert oder durch Feldoxid
oder eine eigene Fototechnik maskiert und Aktivierung oder Ausdiffusion.
- o) Abscheiden eines Dielektrikums zur Isolation von Gate- und Sourcemetallisierung.
- p) Ätzen
der Kontaktlöcher.
Dabei kann die Ätzung
auf der Substratoberfläche
stoppen oder alternativ die Sourcezone vollständig oder fast vollständig durchätzen.
- q) Maskierte Implantation des p++ Bodykontakts entweder
in jeder Zelle oder bei streifenartiger Ausprägung der Zellen nur stückweise.
Dabei wird bei einer nachfolgenden Metallabscheidung sowohl die
Sourcezone als auch das Bodykontaktgebiet in jeder Zelle bzw. in
jedem Streifen angeschlossen. Bei einer Ätzung des Kontaktlochs in das
Silizium erfolgt optional die Implantation unmaskiert, sofern die
Sourcezone an den Grabenwandungen nicht umdotiert wird.
- r) Abscheiden und Strukturieren der Metallisierung.
- s) Optional Abscheiden und Strukturieren der Passivierung.
-
Beispiel B:
-
Wie
Beispiel A, jedoch wird nach dem Zurückätzen der Feldelektrode und
einem teilweisen oder vollständigen
Entfernen der ersten dielektrischen Schicht die Feldelektrode ein
weiteres Mal zurückgeätzt, um
die Gate-Source-Kapazität
zu reduzieren. Optional ist dabei eine Nitridschicht Bestandteil
der ersten dielektrischen Schicht. Die Nitridschicht wird strukturiert
und nach der Rückätzung der Feldelektrode
als Ätzmaske
zur Ätzung
der ersten dielektrischen Schicht genutzt.
-
Beispiel C:
-
- a) Bereitstellen eines hochdotierten n+-Grundsubstrats.
- b) Abscheiden einer n-epitaktischen Schicht mit einer Dotierstoffkonzentration
von 1 × 1014 cm–3 bis 1 × 1018 cm–3
- c) Ätzen
der Gräben
mittels einer strukturierten Trenchmaske (Oxid, zum Beispiel TEOS
400 nm, Fotolack). Entfernen der Trenchmaske. Dabei können die
Gräben
streifenförmig
oder als Gitter für
eine Zellenstruktur ausge führt.
- d) Aufbringen einer ersten dielektrischen Schicht von wenigen
nm bis einigen μm
Dicke. Die erste dielektrische Schicht kann auch ein Mehrschichtsystem
sein.
- e) Optional Aufbringen eines Haftvermittlers (zum Beispiel Nitride).
- f) Optional Aufbringen einer Hilfsschicht bis über die
Siliziumkante und Rückätzen derselben
bis in den Bereich der Unterkante der Kanalzone (p-Wanne). Ist das
Material der Hilfsschicht ein Fotolack, so erfolgt ein Postback.
- g) Optional zusätzliches
Maskieren einer Randkonstruktion.
- h) Optional Ätzung
des Oxids.
- i) Optional Entfernen der Hilfsschicht.
- j) Optional Anwachsen eines Hilfsoxids.
- k) Optional Entfernen des Haftvermittlers.
- l) Abscheiden und maskiertes Rückätzen des Materials der Feldelektrode.
- m) Optional Entfernen der nicht durch die Feldelektrode maskierten
Abschnitte der ersten dielektrischen Schicht und Aufwachsen des
Gateoxids in einer Dicke von wenigen nm bis über 100 nm gemäß der Einsatzspannung.
- n) Abscheiden und Dotieren des Materials der Gate-Elektrode.
- o) Maskiertes oder unmaskiertes Zurückätzen des Materials der Gate-Elektrode
bis unter die Siliziumoberkante.
- p) Optional Versiegelung der Gate-Elektrode mit einer Diffussionsbarriere
(abgeschiedenes Oxid, Nitrid, Mehrschichtsystem) zum Vermeiden eines Ausdiffundieren
von Dotierstoffen.
- q) Implantation und Ausdiffusion bzw. Ausheilen der Kanal- und Sourcezone,
jeweils unmaskiert oder durch Feldoxid, Polysilizium oder eine eigene
Fototechnik maskiert.
- r) Abscheiden eines Dielektrikums zur Isolation von Gate- und Sourcemetallisierung.
- s) Ätzen
der Kontaktlöcher.
- t) Abscheiden und Strukturieren der Metallisierung.
- u) Optional Abscheiden und Strukturieren der Passivierung.
-
Beispiel D:
-
- a) Bereitstellen eines n+-Grundsubstrats
- b) Abscheiden einer n-epitaktischen Schicht mit einer Dotierstoffkonzentration
vom 1 × 1014 cm–3 bis 1 × 1018 cm–3.
- c) Ätzen
der Gräben
mit einer strukturierten Trenchmaske (Oxid, zum Beispiel TEOS 400
nm, Fotolack), Entfernen der Trenchmaske. Ausführung der Gräben als
Streifen oder als Gitter einer Zellenstruktur.
- d) Aufbringen einer ersten dielektrischen Schicht von wenigen
nm bis einigen μm
Dicke. Die erste dielektrische Schicht kann auch ein Mehrschichtsystem
sein.
- e) Aufbringen einer Hilfsschicht (zum Beispiel Fotolack) bis über die
Siliziumkante und Rückätzen derselben
bis unter die Unterkante der Kanalzone (p-Wanne); ist das Material
der Hilfsschicht ein Fotolack, so erfolgt ein Postback.
- f) Optional zusätzliches
Maskieren einer Randkonstruktion.
- g) Teilweises oder vollständiges Ätzen der
ersten dielektrischen Schicht.
- h) Entfernen der Hilfsschicht.
- i) Optional Anwachsen eines Hilfsoxids bzw. einer Hilfsschicht.
- j) Konformes Abscheiden der Feldelektrode (Polysilizium, Silizid)
wobei die Schichtdicke der Abscheidung dicker ist als (Grabenweite/2 – Dicke der
ersten dielektrischen Schicht im unteren Teil) und dünner als
(Grabenweite/2 – Dicke
der ersten dielektrischen Schicht im oberen Teil). Maskiertes isotropes
Rückätzen, wobei
das Material der Feldelektrode durch eine isotrope Rückätzung aus dem
oberen Teil entfernt wird und im unteren Teil verbleibt.
- k) Optional Entfernen der nicht durch die Feldelektrode maskierten
ersten dielektrischen Schicht und Aufwachsen des Gateoxids gemäß der Einsatzspannung
von wenigen nm bis über
100 nm.
- l) Abscheiden und Dotieren des Materials der Gate-Elektrode
(typischerweise Polysilizium).
- m) Maskiertes oder unmaskiertes Zurückätzen des Materials der Gate-Elektrode
bis unter die Siliziumoberkante.
- n) Optional Versiegelung des Gatematerials mit einer Diffusionsbarriere
(abgeschiedenes Oxid, Nitrid, Mehrschichtsystem).
- o) Implantation und Ausdiffusion bzw. Ausheilen der Kanalzone
und der Sourcezone, jeweils unmaskiert oder durch Feldoxid, Polysilizium
oder eine eigene Fototechnik maskiert.
- p) Abscheiden eines Dielektrikums zur Isolation von Gate- und Sourcemetallisierung.
- q) Ätzen
der Kontaktlöcher.
- r) Abscheiden und Strukturieren der Metallisierungen.
- s) Optional Abschalten und Strukturieren der Passivierung.
-
Beispiel E:
-
Wie
Ausführungsbeispiel
1, jedoch wird die Feldelektrode nur wenig in den Graben zurückgeätzt. Die
anschließende
isotrope Oxidentfernung unterätzt das
Oxid deutlich. Anwachsen eines Oxids im Zwischenraum zwischen Feldelektrode
und epitaktischer Schicht. Einfüllen
des Materials der Gate-Elektrode. Die Gate-Elektrode wird dabei
abschnittsweise neben der Feldelektrode angeordnet.
-
Beispiel F: Teilschritt zum Füllen eines
Grabens und Ausbildung einer dielektrischen Schicht (Oxidschicht) auf
der Feldelektrode bei gleichzeitiger Ausprägung eines Gateoxids.
-
- a) Abscheidung des Materials der Feldelektrode (Phosphordotiertes
Polysilizium)
- b) Rückätzen des
Materials der Feldelektrode in den Graben hinein bis etwa zu einer
Bodyhöhe.
- c) Feuchtchemisches Ätzen
der ersten dielektrischen Schicht (Feldplatte).
- d) Reinigung (HF-B, Standard clean).
- e) Oxidation von Gateoxid und Oxidschicht auf der Feldelektrode.
- f) Abscheidung des Materials der Gate-Elektrode in den Graben.
- g) Rückätzen des
Materials der Gate-Elektrode (Polysilizium) bis unter die Grabenkante.
-
- 1
- Grundsubstrat
- 10
- Drainzone
- 2
- Prozessschicht
(epitaktische Schicht)
- 20
- Substratoberfläche (Siliziumkante)
- 201
- Body-Drainübergang
- 21
- Driftzone
- 22
- Kanalzone
- 221
- Kanal
- 23
- Sourcezone
- 24
- Bodyverstärkungszone
- 30
- Hartmaske
- 301
- Oxidschicht
- 302
- Oxidationsbarriere
- 32
- strukturierte
erste dielektrische Schicht
- 321
- erste
dielektrische Schicht
- 322,
322'
- zweite
dielektrische Schicht
- 323
- dritte
dielektrische Schicht
- 33
- Gateoxid
- 331
- Gate-Dielektrikumsschicht
- 34
- Feldoxid
- 35
- Zwischenoxid
- 36
- Oxidschicht
auf der Feldelektrode
- 41
- Hochleitfähige Schicht
- 42
- Diffusionsbarriere
- 43
- erste
Photolackschicht
- 44
- zweite
Photolackschicht
- 45
- dritte
Photolackschicht
- 46
- erste
Hilfsschicht (Photolack)
- 47
- zweite
Hilfsschicht (Photolack)
- 51
- Drain-Anschlussmetallisierung
- 52
- Gate-Anschlussmetallisierung
- 53
- Source-Anschlussmetallisierung
- 521
- Kontaktloch
- 531
- Kontaktloch
- 532
- Kontaktloch
- 6,
6', 6''
- Graben
(Trench)
- 60
- Trench-Transistorzelle
- 61
- Öffnung
- 62
- Gate-Elektrode
- 621
- abgeschiedenes
Gate-Polysilizium
- 622
- Gate-Randstruktur
- 63
- Feldelektrode
- 63'
- reduzierte
Feldelektrode
- 631
- abgeschiedenes
Feld-Polysilizium
- 632
- Feld-Randstruktur
- 7
- Halbleitersubstrat
- 71
- Übergang
Kanalzone/Driftzone
- 72
- Bodyhöhe
- b
- Abstand