DE102018127598A1

DE102018127598A1 - Vorrichtung zur Laminatformung

Info

Publication number: DE102018127598A1
Application number: DE102018127598.6A
Authority: DE
Inventors: Shuichi Kawada; Katsuhiro Nakano
Original assignee: Sodick Co Ltd
Current assignee: Sodick Co Ltd
Priority date: 2017-11-16
Filing date: 2018-11-06
Publication date: 2019-05-16
Also published as: JP6410912B1; US10987737B2; JP2019090090A; US20190143410A1

Abstract

Es wird eine Vorrichtung zur Laminatformung bereitgestellt, welche Leckage von einem Inertgas, welches Dämpfe enthält, verhindert. Die Vorrichtung zur Laminatformung umfasst eine Kammer, ein Laserbestrahlungsgerät, ein Inertgaseinleitungsgerät, einen Dampfsammler, und ein Evakuiergerät. Das Evakuierungsgerät umfasst einen Einlassanschluss, einen Evakuatmengenregelabschnitt, eine Steuerung, und einen Evakuierungsanschluss. Der Einlassanschluss ist mit einem beliebigen Teil von der Vorrichtung zur Laminatformung, durch welchen das Inertgas strömt, verbunden, und nimmt das Inertgas auf. Der Evakuatmengenregelabschnitt regelt eine Evakuatmenge des Inertgases. Die Steuerung steuert den Evakuatmengenregelabschnitt, um das Inertgas so zu evakuieren, dass ein atmosphärischer Druck in der Kammer und ein externer atmosphärischer Druck innerhalb eines Bereichs, in dem das Austreten des Inertgases aus der Kammer unterdrückt wird, gleichmäßig werden. Der Evakuierungsanschluss evakuiert das Inertgas, aus dem die Dämpfe entfernt wurden, an die Außenseite der Vorrichtung zur Laminatformung.

Description

GEBIET DER ERFINDUNG
TECHNISCHES GEBIET
Die Beschreibung betrifft eine Vorrichtung zur Laminatformung.
STAND DER TECHNIK
In einem Verfahren zum Fusionieren eines Pulverbetts, wird ein Materialpulver gleichförmig auf einem Formungstisch verteilt, um eine Materialpulverschicht zu bilden, eine gesinterte Schicht wird durch Bestrahlen mit einem Laserstrahl und Sintern eines vorbestimmten Abschnitts von der Materialpulverschicht gebildet, ein Metallmaterialpulver wird gleichmäßig auf der gesinterten Schicht verteilt, um eine neue Pulvermaterialschicht zu bilden, eine neue gesinterten Schicht, die mit der unteren gesinterten Schicht verbunden ist, wird durch Bestrahlen mit dem Laserstrahl und Sintern der neuen Materialpulverschicht gebildet, und eine Vielzahl von gesinterten Schichten werden laminiert, um ein erwünschtes dreidimensionales Objekt zu bilden, das aus einem Sinterkörper durch Wiederholen dieser Prozesse integral gebildet wird.
Wenn das Metallmaterialpulver durch den Laserstrahl gesintert ist, müssen die Umgebungen von einer vorbestimmten Formungsregion in einem Zustand gehalten werden, in dem es so wenig Sauerstoff wie möglich gibt, um das Materialpulver vor Degeneration zu schützen und mit dem Laserstrahl von erforderlicher Energie stabil zu bestrahlen. Demnach ist eine Vorrichtung zur Laminatformung zum Ausführen von einem Verfahren zum Fusionieren eines Pulverbetts konfiguriert, um ein Inertgas in eine abgedichtete Kammer einzuleiten, und eine vorbestimmte Bestrahlungsregion in einer Atmosphäre mit einem ausreichend niedrigen Sauerstoffkonzentration in der Kammer mit einem Laserstrahl zu bestrahlen.
Ebenso wird, wenn das Metallmaterialpulver durch Bestrahlung mit dem Laserstrahl gesintert wird, spezifischer Rauch erzeugt, welcher als Dämpfe bezeichnet wird. Wenn das Innere der Kammer mit Dämpfen gefüllt ist, ist der Laserstrahl abgeschirmt, der Laserstrahl von erforderlicher Energie erreicht ein Sinterteil nicht, und demnach können Sinterfehler auftreten.
Demnach ist die Vorrichtung zur Laminatformung zum Ausführen von einem Verfahren zum Fusionieren eines Pulverbetts konfiguriert, um das Innere der Kammer in einer reinen Inertgasatmosphäre zu halten durch Einleiten eines reinen Inertgases in die Kammer und Ausleiten des Inertgases, das die Dämpfe enthält, aus dem Inneren der Kammer. Hier, wie in Patentschrift 1 beschrieben, ist eine Vorrichtung zur Laminatformung bekannt, in welcher ein Dampfsammler Dämpfe aus einem Inertgas entfernt, das Dämpfe enthält, einschließlich Dämpfen, die zu der Außenseite einer Kammer ausgeleitet wurden, und das Inertgas wieder in die Kammer zurückführt, um das Inertgas in der Kammer zu zirkulieren. Auf diese Weise kann, da das Inertgas wiederverwendet werden kann, eine Menge von verwendetem Inertgas reduziert werden.
Patentschriften
[Patentschrift 1] Japanische Patentveröffentlichung Nr. 598204
KURZE BESCHREIBUNG
In einer solchen Vorrichtung zur Laminatformung gibt es einen Spalt, der nicht vermieden werden kann, und demnach kann Leckage von dem Inertgas oder Einlass von Außenluft auftreten. Da eine erforderliche Menge von Inertgas, die eine Leckagemenge übersteigt, immer während mindestens der Formung geliefert wird, um die Dämpfe aus der Formungsregion zuverlässig und wirksam zu entfernen, und um Degeneration von dem Materialpulver zu verhindern, tendiert ein atmosphärischer Druck in der Kammer dazu, unter Druck zu stehen.
Wenn der atmosphärische Druck in der Kammer höher ist als ein externer atmosphärischer Druck, leckt das Inertgas in der Kammer über den winzigen Spalt aus der Vorrichtung zur Laminatformung. Da das aus der Kammer leckende Inertgas die Dämpfe enthalten kann, ist es für die Gesundheit am Arbeitsplatz nicht bevorzugt.
Die Beschreibung wurde in Anbetracht solcher Umstände gemacht, und ein Gegenstand davon ist es, eine Vorrichtung zur Laminatformung bereitzustellen, welche das Lecken von einem Inertgas, das Dämpfe enthält, durch Evakuieren des Inertgases, aus welchem die Dämpfe entfernt wurden, verhindert, so dass ein atmosphärischer Druck in einer Kammer einen externen atmosphärischen Druck so wenig wie möglich übersteigt.
Nach dieser Beschreibung wird eine Vorrichtung zur Laminatformung einschließlich einer Kammer bereitgestellt, die eine Formungsregion, ein Laserbestrahlungsgerät, welches eine vorbestimmte Bestrahlungsregion von einer Materialpulverschicht bestrahlt, die für jedes von einer Vielzahl von Teilschichten gebildet wird, die durch Teilen eines erwünschten dreidimensionalen Objekts in einer vorbestimmten Höhe mit Bezug auf die Formungsregion mit einem Laserstrahl erhalten werden und eine gesinterten Schicht bilden, ein Inertgas-Einleitungsgerät, welches ein Inertgas in die Kammer einleitet, einen Dampfsammler, welcher eine Staubsammelvorrichtung zum Entfernen von Dämpfen aus dem Inertgas, die aus der Kammer ausgeleitet wurden, umfasst und das Inertgas, aus welchem die Dämpfe entfernt wurden zu der Kammer zurückführt, und ein Evakuierungsgerät, welches das Inertgas zu einer Außenseite von der Vorrichtung zur Laminatformung evakuiert, wobei das Evakuierungsgerät einen Einlassanschluss umfasst, welcher an einen beliebigen Teil von der Vorrichtung zur Laminatformung, durch welche das Inertgas strömt, angeschlossen ist und das Inertgas aufnimmt, einen Evakuatmengenregelabschnitt, welcher eine Evakuatmenge von dem Inertgas zu der Außenseite von der Vorrichtung zur Laminatformung regelt, eine Steuerung, welches den Evakuatmengenregelabschnitt steuert, um Evakuieren von dem Inertgas zu der Außenseite von der Vorrichtung zur Laminatformung auszuführen, derart, dass ein atmosphärischer Druck in der Kammer und ein externer atmosphärischer Druck gleichförmig werden in einem Bereich, in welchem Leckage von dem Inertgas aus der Kammer unterdrückt wird, und einen Evakuatanschluss, welcher das Inertgas, aus welchem die Dämpfe entfernt wurden, zu der Außenseite von der Vorrichtung zur Laminatformung evakuiert.
In der Vorrichtung zur Laminatformung nach dieser Beschreibung kann, da das Inertgas, aus welchem die Dämpfe entfernt wurden, evakuiert wird, so dass der atmosphärische Druck in der Kammer den externen atmosphärischen Druck so wenig wie möglich übersteigt, Leckage von dem Inertgas, das die Dämpfe enthält, verhindert werden.
Figurenliste

1 ist ein Konfigurationsdiagramm von einer Vorrichtung zur Laminatformung nach einer ersten Ausführungsform von der Beschreibung.
2 ist eine Querschnittansicht, aufgenommen entlang Pfeilen D-D von 1.
3 ist eine Perspektivansicht von einem Wiederbeschichtungskopf.
4 ist eine Perspektivansicht von einem Wiederbeschichtungskopf.
5 ist ein Konfigurationsdiagramm, das Einzelheiten von einem Dampfsammler zeigt.
6 ist ein Konfigurationsdiagramm, das Einzelheiten von einem Evakuiergerät zeigt.
7 ist ein Konfigurationsdiagramm von einer Vorrichtung zur Laminatformung 1 nach einer zweiten Ausführungsform von der Beschreibung.

BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSFORMEN
Nachstehend werden Ausführungsformen nach der Beschreibung mit Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. Modifizierte Beispiele von einer Vielzahl von nachstehend beschriebenen Elementen können frei kombiniert und implementiert werden. Wo nichts anderes spezifiziert ist, bedeutet in dieser Spezifikation „evakuieren“ Senden von einem Inertgas zu der Außenseite von einer Vorrichtung zur Laminatformung, die eine Kammer und einen Dampfsammler umfasst. In anderen Worten bedeutet das „Evakuieren“ das Senden von dem Inertgas, das zwischen der Kammer und dem Dampfsammler zirkuliert, zu der Außenseite von der Vorrichtung zur Laminatformung. Außerdem bedeutet „Leckage“ ein unbeabsichtigtes Ausströmen von dem Inertgas aus der Vorrichtung zur Laminatformung, insbesondere aus der Kammer, zu der Außenseite von der Vorrichtung zur Laminatformung.
Wie in 1 und 2 gezeigt, umfasst eine Vorrichtung zur Laminatformung 1 nach einer ersten Ausführungsform der Beschreibung eine Kammer 10, die konfiguriert ist, um im Wesentlichen abgedichtet zu sein. Die Vorrichtung zur Laminatformung 1 nach der Ausführungsform umfasst ein Schneidgerät 2, welches Schneiden auf einer gesinterten Schicht 95 ausführt. Zu diesem Zeitpunkt ist die Kammer 10 durch einen Balg 13 unterteilt in eine Formungskammer 11, in welcher ein dreidimensionales Objekt geformt wird, und eine Antriebskammer 12, in welcher große Abschnitte von einem X-Achsen-Antriebsgerät 25 und einem Y-Achsen-Antriebsgerät 27 von dem Schneidgerät 2 angeordnet sind. Ein Kommunikationsabschnitt 14, welcher ein kleiner Spalt ist, durch welchen ein Inertgas durchströmen kann, ist zwischen der Formungskammer 11 und der Antriebskammer 12 vorhanden.
Das Schneidgerät 2 umfasst einen Bearbeitungskopf 21, der in der Formungskammer 11 angeordnet ist, und eine eingebaute Spindel 23, ein Z-Achsen-Antriebsgerät 29, welches den Bearbeitungskopf 21 in einer Z-Achsenrichtung bewegt, das Y-Achsen-Antriebsgerät 27, welches den Bearbeitungskopf 21 einschließlich dem Z-Achsen-Antriebsgerät 29 in eine Y-Achsenrichtung bewegt, und das X-Achsen-Antriebsgerät 25, welches den Bearbeitungskopf 21 zusammen mit dem Y-Achsen-Antriebsgerät 27 bewegt, und das Z-Achsen-Antriebsgerät 29 in einer X-Achsenrichtung, hat. Die Spindel 23 ist konfiguriert, um zum Rotieren eines Schneidwerkzeugs wie zum Beispiel eines Kantenfräsers, der auf der Spindel 23 installiert ist, fähig zu sein. Mit einer solchen Konfiguration kann der Bearbeitungskopf 21 die Spindel 23 zu irgendeiner Position in der Formungskammer 11 bewegen und kann eine Schneidarbeit auf der gesinterten Schicht 95 ausführen. Die Schneidarbeit kann jedes Mal auf einer Endfläche von der gesinterten Schicht 95 ausgeführt werden, wenn eine vorbestimmte Anzahl von gesinterten Schichten 95 unter Verwendung von diesem Schneidwerkzeug gebildet wird. Ebenso kann, wenn der Wiederbeschichtungskopf 33 mit einem erhöhten Abschnitt von der gesinterten Schicht 95 kollidiert, die Schneidarbeit auf einer oberen Fläche von der gesinterten Schicht 95 ausgeführt werden, um den erhöhten Abschnitt zu entfernen.
Ein pulverschichtformendes Gerät 3 wird in der Formungskammer 11 bereitgestellt. Das pulverschichtformende Gerät 3 umfasst einen Basistisch 31 mit einer Formungsregion R, und ein Wiederbeschichtungskopf 33 ist auf dem Basistisch 31 angeordnet und konfiguriert, um in einer horizontalen Ein-Achsenrichtung (der Richtung von einem Pfeil B) beweglich zu sein. Ein Formungstisch 39, welcher in einer vertikalen Richtung (der Richtung von einem Pfeil A) beweglich ist, wird in der Formungsregion R bereitgestellt. Wenn die Vorrichtung zur Laminatformung 1 verwendet wird, ist die Formungsplatte 91 auf dem Formungstisch 39 angeordnet, und eine Materialpulverschicht 93 wird auf dem Formungstisch 39geformt. Die Formungsregion R repräsentiert einen Arbeitsbereich, in welchem die Formung ausgeführt wird, das heißt die größte Region im Ganzen, in welcher die Materialpulverschicht 93 gebildet werden kann, um die gesinterte Schicht 95 zu bilden, damit das dreidimensionale Objekt gebildet werden kann, und entspricht einer ganzen oberen Fläche von dem Formungstisch 39.
Wie in 3 und 4 gezeigt, umfasst der Wiederbeschichtungskopf 33 einen Materiallagerabschnitt 331, welcher das Materialpulver speichert, das von einem Materialeinleitungsgerät (nicht gezeigt) eingeleitet wird, einen Materialzufuhrabschnitt 332, welcher auf einer oberen Fläche von dem Materiallagerabschnitt 331 bereitgestellt wird und als ein Einführungsanschluss für das Materialpulver dient, und einen Materialentladeabschnitt 333, welcher auf einer unteren Fläche von dem Materiallagerabschnitt 331 bereitgestellt wird und das Materialpulver in einen Materiallagerabschnitt 331 entlädt. Der Materialentladeabschnitt 333 hat eine Schlitzform, welche sich in einer horizontalen Ein-Achsenrichtung (der Richtung von einem Pfeil C) orthogonal zu einer Bewegungsrichtung (der Richtung von einem Pfeil B) von dem Wiederbeschichtungskopf 33 erstreckt. Des Weiteren wird eine Klinge 35 an einer Seite des Wiederbeschichtungskopfes 33 bereitgestellt und eine Klinge 37 auf der anderen Seite des Wiederbeschichtungskopfes 33 bereitgestellt. Die Klingen 35 und 37 ebnen das Materialpulver, das aus dem Materialentladeabschnitt 333 ausgeleitet wurde, und bilden die Materialpulverschicht 93. Das Materialpulver ist zum Beispiel ein Metallpulver, wie zum Beispiel Eisenpulver, und hat zum Beispiel eine sphärische Form mit einem mittleren Partikeldurchmesser von 20 µm.
Ein Laserbestrahlungsgerät 4 wird über der Formungskammer 11 bereitgestellt, und eine Laserstrahl L Ausgabe aus dem Laserbestrahlungsgerät 4 geht durch ein Fenster 15, das in der Kammer 10 bereitgestellt ist, und bestrahlt eine vorbestimmte Bestrahlungsregion von der Materialpulverschicht 93, die in der Formungsregion R gebildet ist, um die gesinterte Schicht 95 zu bilden. Die vorbestimmte Bestrahlungsregion ist in der Formungsregion R vorhanden und koinzidiert grob mit einer Region, die eine Konturform von dem gewünschten dreidimensionalen Objekt umgibt. Das Laserbestrahlungsgerät 4 kann konfiguriert werden, um fähig zu sein, den Laserstrahl L in der Formungsregion R zweidimensional abzutasten, und umfasst zum Beispiel eine Laserstrahlquelle, welche den Laserstrahl L erzeugt, und ein Paar von Galvanoscannern, die fähig sind, den Laserstrahl L in der Formungsregion R zweidimensional abzutasten. Ein Typ von dem Laserstrahl L ist nicht beschränkt, solange er das Materialpulver sintern kann, und er kann zum Beispiel ein CO2-Laser, ein Faserlaser, ein YAG-Laser sein. Das Fenster 15 wird aus einem Material geformt, das fähig ist, den Laserstrahl L zu übertragen. Zum Beispiel kann, wenn der Laserstrahl L ein Faserlaser oder ein YAG-Laser ist, das Fenster 15 aus Quarzglas gebildet werden.
Ein Dampfdiffusionsgerät 5 wird auf einer oberen Fläche der Kammer 10 bereitgestellt, um das Fenster 15 abzudecken. Das Dampfdiffusionsgerät 5 umfasst ein zylindrisches Gehäuse 51 und ein zylindrisches Diffusionselement 52, das in dem Gehäuse 51 angeordnet ist. Ein Inertgas-Einleitungsraum 53 wird zwischen dem Gehäuse 51 und dem Diffusionselement 52 bereitgestellt. Des Weiteren wird eine Öffnung 54 in einer unteren Fläche von dem Gehäuse 51 in dem Diffussionselement unter Verwendung von Element 52 bereitgestellt. Eine große Anzahl von Poren 55 wird in dem Diffusionselement 52 bereitgestellt, und ein reines Inertgas, das in den Inertgas-Zufuhrraum 53 eingeleitet wurde, wird in einen Reinraum 56 durch die Poren 55 gefüllt. Zusätzlich wird das reine Inertgas, das in den Reinraum 56 gefüllt wurde, von dem Dampfdiffusionsgerät 5 abwärts durch die Öffnung 54 ausgestoßen. Das Dampfdiffusionsgerät 5 verhindert, dass das Fenster 15 von Dämpfen kontaminiert wird, die während der Bildung von der gesinterten Schicht 95 erzeugt werden, und hilft bei dem Entfernen der Dämpfe, welche einen Bestrahlungspfad von dem Laserstrahl L kreuzen könnten, aus dem Bestrahlungspfad.
Ein Sauerstoffanalysegerät 16, das eine Sauerstoffkonzentration misst, wird in der Formungskammer 11 der Kammer 10 bereitgestellt. Zum Beispiel kann das Sauerstoffanalysegerät 16 die Sauerstoffkonzentration direkt messen, oder es kann die Sauerstoffkonzentration relativ berechnen durch Messen einer Konzentration von dem Inertgas. Die gesinterte Schicht wird durch den Laserstrahl L geformt, wenn die Sauerstoffkonzentration in der Kammer 10 in einer Konzentration gehalten wird, bei welcher das Materialpulver nicht wesentlich degeneriert. Zum Beispiel wird, wenn die Sauerstoffkonzentration 3,0 Vol.-% oder weniger ist, die gesinterte Schicht geformt.
Als nächstes wird ein Inertgas Einleitungs-/Ausleitungspfad beschrieben. Ein oder mehrere Einleitungsanschlüsse von dem Inertgas, das aus einem Inertgaseinleitungsgerät 71 eingeleitet wird, oder dem Inertgas, das aus dem Dampfsammler 73 zurückgeführt wird, und ein oder mehrere Ausleitungsanschlüsse, welche das Inertgas, das die Dämpfe enthält, aus der Kammer 10 zu dem Dampfsammler 73 ausleiten, werden in der Kammer 10 bereitgestellt. In der Ausführungsform werden ein erster Einleitungsanschluss 611, ein zweiter Einleitungsanschluss 612, ein dritter Einleitungsanschluss 613, ein vierter Einleitungsanschluss 614, und ein fünfter Einleitungsanschluss 615 als die Einleitungsanschlüsse bereitgestellt, und ein erster Ausleitungsanschluss 621, ein zweiter Ausleitungsanschluss 622, und ein dritter Ausleitungsanschluss 623 werden als die Ausleitungsanschlüsse bereitgestellt. Obwohl später Einzelheiten beschrieben werden, umfasst das Inertgaseinleitungsgerät 71 ein erstes Inertgaseinleitungsgerät 711 und ein zweites Inertgaseinleitungsgerät 712. Jedes Teil ist durch eine Pipeline wie zum Beispiel einen Schlauch, ein Rohr, oder ähnliches verbunden.
Der erste Einleitungsanschluss 611 wird in einer Seitenfläche von dem Wiederbeschichtungskopf 33 bereitgestellt. Der zweite Einleitungsanschluss 612 wird in Rohrleitungen bereitgestellt, die auf einer Endfläche von dem Basistisch 31 auf einer Seite gegenüber zu der Seite, auf welcher der erste Einleitungsanschluss 611 bereitgestellt wird, bereitgestellt werden. Der erste Einleitungsanschluss 611 und der zweite Einleitungsanschluss 612 sind mit dem ersten Inertgaseinleitungsgerät 711 verbunden, und das Inertgas, das einen vorbestimmten Druck und Strömungsgeschwindigkeit hat, wird selektiv in die Kammer 10 durch den ersten Einleitungsanschluss 611 oder den zweiten Einleitungsanschluss 612 eingeleitet, entsprechend zu einer Bewegungsposition von dem Wiederbeschichtungskopf 33. Das heißt, wenn der erste Einleitungsanschluss 611 an einer Position angeordnet ist, an welcher der erste Einleitungsanschluss 611 der Bestrahlungsregion gegenüberliegt, wird das Inertgas durch den ersten Einleitungsanschluss 611 eingeleitet. Wenn der erste Einleitungsanschluss 611 an einer Position angeordnet ist, an welcher der erste Einleitungsanschluss 611der Bestrahlungsregion nicht gegenüberliegt, wird das Inertgas durch den zweiten Einleitungsanschluss 612 eingeleitet. Der dritte Einleitungsanschluss 613 wird in einer Seitenwand der Kammer 10 auf der Seite bereitgestellt, auf welcher der zweite Einleitungsanschluss 612 bereitgestellt wird, und ist auf einer Höhe angeordnet, die niedriger ist als ein Zentrum von der Formungskammer 11. Der dritte Einleitungsanschluss 613 ist mit dem Dampfsammler 73 verbunden, und das reine Inertgas, aus welchem die Dämpfe entfernt wurden, wird durch den dritten Einleitungsanschluss 613 zu der Kammer 10 zurückgeführt. Der vierte Einleitungsanschluss 614 wird in einem oberen Abschnitt von der Antriebskammer 12 bereitgestellt. Das Inertgas, das von dem zweiten Inertgaseinleitungsgerät 712 zu der Antriebskammer 12 geleitet wird, wird in die Formungskammer 111 durch den Kommunikationsabschnitt 14 eingeleitet. Der fünfte Einleitungsanschluss 615 wird in einem oberen Abschnitt von dem Dampfdiffusionsgerät 5 bereitgestellt, und das Inertgas wird aus dem ersten Inertgaseinleitungsgerät 711 zu dem Inertgaszufuhrraum 53 von dem Dampfdiffusionsgerät 5 eingeleitet.
Eine Trennplatte 63 wird bereitgestellt, um eine Seitenwand der Kammer 10 gegenüber der Seitenwand, auf welcher der zweite Einleitungsanschluss 612 und der dritte Einleitungsanschluss 613 bereitgestellt werden, abzudecken. Der erste Ausleitungsanschluss 621 wird an einem oberen Ende der Kammer 10 bereitgestellt in einem Raum, der durch die Trennplatte 63 und die Seitenwand abgeteilt ist. Der zweite Ausleitungsanschluss 622 wird an dem oberen Ende der Kammer 10 auf der Bestrahlungsregionsseite nahe der Trennplatte 63 bereitgestellt. Des Weiteren wird eine obere Führungsplatte 64 bereitgestellt, die sich in einem L-förmigen Querschnitt unter dem zweiten Ausleitungsanschluss 622 auf der Trennplattenseite 63 erstreckt, um den zweite Ausleitungsanschluss 622 zu ergeben. Eine untere Führungsplatte 65, von welcher ein unterer Abschnitt sich zu der Bestrahlungsregion erstreckt, wird an einem unteren Ende von der Trennplatte 63 bereitgestellt, und ein vorbestimmter Spalt 66 wird zwischen der Trennplatte 63 und der unteren Führungsplatte 65 geformt. Der Spalt 66 ist auf einer Höhe angeordnet, die niedriger ist als ein Zentrum von der Formungskammer 11. Eine Vielzahl von Ventilatoren 67, welche das Inertgas absaugen, werden in der Nähe von dem Spalt 66 bereitgestellt in dem Raum, der durch die Trennplatte 63 und die Seitenwand abgeteilt ist, und Begradigungsplatten 68, die sich aufwärts erstrecken, werden an beiden Enden von jedem von den Ventilatoren 67 bereitgestellt. Das Inertgas, das in die Nähe von der Trennplatte 63 geleitet wird, strömt durch den Spalt 66 oder einen Raum unter der Führungsplatte 65 und passiert dann durch die Raum, der durch die Trennplatte 63 und die Seitenwand getrennt ist, und wird zu dem ersten Ausleitungsanschluss 621 geleitet. Des Weiteren steigt das Inertgas, das nicht aus dem Spalt 66 gesammelt wurde, entlang der Trennplatte 63 auf, wird durch die obere Führungsplatte 64 und dann zu dem den zweiten Ausleitungsanschluss 622 geführt. Der dritte Ausleitungsanschluss 623 wird in einer Seitenfläche von dem Wiederbeschichtungskopf 33 bereitgestellt, in welchem der erste Einleitungsanschluss 611 nicht bereitgestellt wird. Das Inertgas wird aus der Kammer 10 durch den ersten Ausleitungsanschluss 621, den zweiten Ausleitungsanschluss 622 und den dritten Ausleitungsanschluss 623 ausgeleitet, und zu dem Dampfsammler 73 geleitet.
Das Inertgaseinleitungsgerät 71 leitet das Inertgas, wie zum Beispiel Stickstoff, in die Kammer 10. Als das Inertgaseinleitungsgerät 71 kann jedes Gerät wie zum Beispiel ein Gaszylinder oder ein gaserzeugendes Gerät verwendet werden, solange es ein Inertgas leiten kann, das eine vorbestimmte Konzentration hat. Die Ausführungsform umfasst das erste Inertgaseinleitungsgerät 711 und das zweite Inertgaseinleitungsgerät 712. Es wird bevorzugt, dass das erste Inertgaseinleitungsgerät 711 fähig ist zum Leiten eines Inertgases mit einer höheren Konzentration als die in dem zweiten Inertgaseinleitungsgerät 712. Das erste Inertgaseinleitungsgerät 711 ist zum Beispiel ein stickstofferzeugendes Gerät vom PSA-Typ. Das zweite Inertgaseinleitungsgerät 712 ist zum Beispiel ein stickstofferzeugendes Gerät vom Membranseparationstyp. Wie vorstehend beschrieben, ist das erste Inertgaseinleitungsgerät 711 mit dem ersten Einleitungsanschluss 611, dem zweiten Einleitungsanschluss 612, und dem fünften Einleitungsanschluss 615 verbunden, und der zweite Inertgaseinleitungsgerät 712 ist mit dem vierten Einleitungsanschluss 614 verbunden. Mit einer solchen Konfiguration kann ein Inertgas mit einer höheren Konzentration in die Formungskammer 11 eingeleitet werden, in welcher die Inertgaskonzentration die Formung direkt beeinflusst, und eine erforderliche Inertgaszufuhrmenge kann aufrechterhalten werden. Das Inertgas ist ein Gas, das nicht wesentlich mit dem Materialpulver reagiert, und ein geeignetes ist ausgewählt aus Stickstoffgas, Argongas, Heliumgas, und so weiter entsprechend zu einem Typ von dem Materialpulver.
Der Dampfsammler 73 ist zum Beispiel ein elektrisches Trockenstaubsammelgerät. Wie in 5 gezeigt, umfasst der Dampfsammler 73 eine Staubsammelvorrichtung 732 mit einem Ladeabschnitt 733, welcher die Dämpfe lädt, und einen Staubsammelabschnitt 734, der die geladenen Dämpfe sammelt, und entfernt die Dämpfe aus dem Inertgas unter Verwendung von dem Staubsammelgerät 732. Des Weiteren werden Rohrleitungskästen 75 und 77 jeweils auf der vorgelagerten Seite und der nachgelagerten Seite von dem Dampfsammler 73 bereitgestellt. Das Inertgas einschließlich der Dämpfe, die aus der Kammer ausgeleitet wurden 10, wird an einen vorgelagerten Anschluss 731 von dem Dampfsammler 73 durch den Rohrleitungskasten 75 geleitet, die Dämpfe werden durch das Staubsammelgerät 732 entfernt, und das reine Inertgas wird aus einem nachgelagerten Anschluss 735 des Dampfsammlers 73 ausgeleitet und zu dem dritten Einleitungsanschluss 613 der Kammer 10 durch den Rohrleitungskasten 77 geleitet. Mit einer solchen Konfiguration kann das Inertgas wiederverwendet werden. Ebenso wird in der Ausführungsform ein Abzweigungspfad 736, durch welchen das reine Inertgas abgezweigt wird, zwischen dem Staubsammelgerät 732 und dem nachgelagerten Anschluss 735 bereitgestellt, und der Abzweigungspfad 736 und ein Evakuierungsgerät 8 sind miteinander verbunden, wie später beschrieben wird. Der Dampfsammler 73 kann ein anderer Typ sein, beispielsweise ein Filtertyp-Staubsammelgerät einschließlich eines Filters als eine Staubsammelvorrichtung. Des Weiteren kann, um das Inertgas in dem Dampfsammler 73 effizient zu zirkulieren, ein Ventilatormotor in dem Dampfsammler 73 bereitgestellt werden.
Hier wird die Konfiguration von dem Evakuierungsgerät 8 mit Bezugnahme auf 6 beschrieben. Das Evakuierungsgerät 8 umfasst einen Einlassanschluss 82, einen Filterabschnitt 83, einen Evakuatmengenregelabschnitt 84, eine Steuerung 85, und einen Evakuatanschluss 86.
Der Einlassanschluss 82 ist mit der nachgelagerten Seite verbunden, in welcher das Inertgas aus dem Staubsammelgerät 732 zu der Kammer 10 zurückgeführt wird, und das Inertgas, aus welchem das Meiste der Dämpfe durch das Staubsammelgerät 732 entfernt wurde, wird aus dem Einlassanschluss 82 zu dem Inneren von dem Evakuierungsgerät 8 transportiert. In der Ausführungsform ist der Einlassanschluss 82 mit dem Abzweigungspfad 736 von dem Dampfsammler 73 über ein Einlassrohr 81 verbunden, es können aber auch andere Formen verwendet werden. Zum Beispiel kann der Einlassanschluss 82 mit einer Rohrleitung verbunden sein, die den nachgelagerten Anschluss 735 von dem Dampfsammler 73 mit der Kammer 10 verbindet, oder kann mit dem dritten Einleitungsanschluss 613 der Kammer 10 verbunden sein. Des Weiteren kann das Evakuierungsgerät 8 in dem Dampfsammler 73 bereitgestellt sein, und das Inertgas, welches durch das Staubsammelgerät 732 durch geströmt ist, kann direkt zu dem Einlassanschluss 82 verzweigt werden und zu dem Evakuierungsgerät 8 gesendet werden.
Der Filterabschnitt 83 entfernt die Dämpfe aus dem Inertgas. Der Filterabschnitt 83 umfasst einen Vorfilter 831, bevorzugt mit einer relativ niedrigen Sammelrate, und einen Hauptfilter 833 mit einer relativ hohen Sammelrate. Der Vorfilter 831 ist zum Beispiel ein Nonwoven-Textilfilter. Der Hauptfilter 833 ist zum Beispiel ein HEPA-Filter. Mit einer solchen Konfiguration können die Dämpfe geeigneterweise durch den Hauptfilter 833 mit der hohen Sammelrate entfernt werden, und Kontaminierung von dem Hauptfilter 833 kann unterdrückt werden. Der Filterabschnitt 83 kann an einer optionalen Position in dem Evakuierungsgerät 8 bereitgestellt werden, es ist aber erwünscht, den Filterabschnitt 83 relativ vorgelagert bereitzustellen um zu verhindern, dass jedes Element in dem Evakuierungsgerät 8 durch die Dämpfe kontaminiert wird. Insbesondere kann der Filterabschnitt 83 einem Luftgebläse 847 vorgelagert sein. Des Weiteren kann ein Verstopfungserkennungssensor (nicht gezeigt) bereitgestellt werden, welcher Verstopfung von dem Filterabschnitt 83 erkennt. Der Verstopfungserkennungssensor kann konfiguriert sein um eine Strömungsgeschwindigkeit von dem Inertgas zu erkennen, oder kann konfiguriert sein, um einen Differenzialdruck zwischen einer Stromaufwärtsseite und einer Stromabwärtsseite des Vorfilters 831 und dem Hauptfilter 833zu erkennen. In der Ausführungsform ist es, da das Inertgas, aus welchem das Meiste der Dämpfe durch das Staubsammelgerät 732 entfernt wurde, im Voraus zu dem Evakuierungsgerät 8 transportiert wird, nicht zwingend notwendig, den Filterabschnitt 83 bereitzustellen. Da ist es möglich ist, das zu evakuierende Inertgas zu reinigen, ist es bevorzugt, den Filterabschnitt 83 bereitzustellen.
Der Evakuatmengenregelabschnitt 84 regelt die zu evakuierende Menge von dem Inertgas. In der Ausführungsform ist der Evakuatmengenregelabschnitt 84 ein Ventilkörper 841, der das Evakuieren von dem Inertgas und dem Luftgebläse 847, welches eine Luftströmung in einer Evakuierrichtung erzeugt, zu begrenzen. Der Evakuatmengenregelabschnitt 84 kann so konfiguriert sein, dass die zu evakuierende Menge von dem Inertgas geregelt werden kann, und zum Beispiel kann nur einer von dem Ventilkörper 841 und dem Luftgebläse 847 bereitgestellt sein. Der Ventilkörper 841 umfasst ein Stellventil 843, welches die zu evakuierende Menge von dem Inertgas regelt, und ein EIN-AUS-Ventil 845, das einen Strömungspfad von dem Inertgas öffnet und schließt. Das Stellventil 843 ist zum Beispiel ein Kugelventil, und das EIN-AUS-Ventil 845 ist zum Beispiel ein elektromagnetisches Ventil. Da eine Leckagemenge von dem Inertgas sich für jede der Vorrichtungen zur Laminatformung 1 unterscheidet, ist es erwünscht, die zu evakuierende Menge durch das Stellventil 843 einzustellen. Das Stellventil 843 ist so eingestellt, dass a eine Gesamtmenge von der zu evakuierenden Menge und der Leckagemenge pro Zeiteinheit von dem Evakuierungsgerät 8 gleich ist zu oder größer als eine Zufuhrmenge pro Zeiteinheit aus dem Inertgaseinleitungsgerät 71. In der Ausführungsform ist der Ventilkörper 841 konfiguriert werden, um das Stellventil 843 und das EIN-AUS-Ventil 845 zu haben. Jedoch kann es zum Beispiel mit einem Proportionalventil konfiguriert, welches als beide von dem Stellventil 843 und dem EIN-AUS-Ventil 845dient, und welches auch die Strömungsgeschwindigkeit in Proportion zu einem Steuerungssignal steuern kann. Des Weiteren ist in der Ausführungsform das Luftgebläse 847 mit zwei Ventilatormotoren konfiguriert, es können aber auch andere Konfigurationen verwendet werden, solange eine erwünschte Luftströmung in der Evakuierrichtung gebildet werden kann.
Die Steuerung 85 steuert den Evakuatmengenregelabschnitt 84. Spezifisch ist die Steuerung 85 mit dem EIN-AUS-Ventil 845 und dem Luftgebläse 847 und AN/AUS-Schaltern von dem Evakuat verbunden. Das Innere der Kammer 10 sollte auf einer vorbestimmten Sauerstoffkonzentration gehalten werden, damit das Materialpulver nicht degeneriert. Demnach ist das Steuerungsgerät 85 des Weiteren mit dem Sauerstoffanalysegerät 16 verbunden und steuert das Evakuat entsprechend zu der Sauerstoffkonzentration in der Kammer 10. Das heißt, wenn die Sauerstoffkonzentration in der Kammer 10, die durch das Sauerstoffanalysegerät16 gemessen wird, gleich ist zu oder niedriger als ein vorbestimmter Wert, wird das EIN-AUS-Ventil 845 geöffnet und das Luftgebläse 847 wird betrieben, um die Luftströmung in der Evakuierrichtung zu erzeugen. Andererseits wird, wenn die Sauerstoffkonzentration den vorbestimmten Wert übersteigt, das EIN-AUS-Ventil 845 geschlossen und das Luftgebläse 847 wird gestoppt. Demnach ist es möglich, Druckanstieg in der Kammer 10 so weit wie möglich zu verhindern. Das heißt, die Steuerung 85 steuert den Evakuatmengenregelabschnitt 84, um Evakuieren von mehr als die Zufuhrmenge von dem Inertgas auszuführen, während die vorbestimmte Konzentration aufrechterhalten wird, in welcher das Inertgas in der Kammer 10 nicht wesentlich mit dem Materialpulver reagiert. Der vorbestimmte Wert der Sauerstoffkonzentration, der als Kriterium für EIN/AUS-Schalten des Evakuierens dient, ist auf gleich einem oder mehr als ein Wert einzustellen, an welchem das Materialpulver nicht wesentlich degeneriert, zum Beispiel, 3,2 Vol.-%. Die Steuerung 85 von dem Evakuierungsgerät 8 kann separat bereitgestellt werden oder in eine numerische Steuerung eingearbeitet werden, welches die Laminatformung steuert.
Der Evakuatanschluss 86 evakuiert das reine Inertgas, aus welchem die Dämpfe entfernt wurden, zu der Außenseite von der Vorrichtung zur Laminatformung 1 über ein Evakuatrohr 87. Da das reine Inertgas evakuiert wird, kann es direkt in einen Raum evakuiert werden, in welchem die Vorrichtung zur Laminatformung 1 installiert ist, und selbst in diesem Fall gibt es keine Bedenken wegen Kontaminierung der umgebenden Atmosphäre.
Das Evakuierungsgerät 8 ist konfiguriert wie vorstehend beschrieben, und das Evakuieren wird so gesteuert, dass ein interner atmosphärischer Druck, welcher der atmosphärischer Druck in der Kammer 10 ist, gleich einem oder niedriger ist als ein externer atmosphärischer Druck, welcher der atmosphärischer Druck außerhalb der Vorrichtung zur Laminatformung 1 ist. Demnach werden der interne atmosphärische Druck und der externe atmosphärischer Druck im Wesentlichen gleichförmig gehalten. Da das Evakuieren über die Zufuhrmenge von dem Inertgas hinaus ausgeführt wird, steigt der atmosphärische Druck in der Kammer 10 während mindestens dem Evakuieren nicht an. Des Weiteren tritt, wenn das Innere der Kammer 10 in einem Negativdruckzustand ist, Außenluft leicht in die Kammer 10 ein, wenn aber die Sauerstoffkonzentration den vorbestimmten Wert übersteigt, wird das Evakuieren unterbrochen, und demnach wird der atmosphärischer Druck in der Kammer 10 nicht übermäßig reduziert. Der interne atmosphärische Druck und der externe atmosphärische Druck können gleichförmig sein, solange die Leckage von Inertgas aus der Kammer 10 unterdrückt wird.
Als nächstes wird eine Vorrichtung zur Laminatformung 1 nach einer zweiten Ausführungsform unter Bezugnahme auf 7 beschrieben. In 7 wird, wie in 2, die Formungskammer 11 auf der Vorderseite von der Zeichnung gezeigt. Elemente, die äquivalent zu denjenigen in der ersten Ausführungsform sind, werden mit den gleichen Referenzziffern bezeichnet, und eine ausführlichere Beschreibung davon entfällt.
In der Ausführungsform wird ein Ventilationsanschluss 17 in der Kammer 10 bereitgestellt, und der Ventilationsanschluss 17 und der Einlassanschluss 82 sind mit einander über das Einlassrohr 81 verbunden. In einer solchen Konfiguration kann das Inertgas, das zu dem Evakuierungsgerät 8 transportiert wird, viele Dämpfe enthalten. Demnach ist es notwendig, einen Staubsammelabschnitt bereitzustellen, welcher die Dämpfe aus dem Inertgas in mindestens einem von dem Ventilationsanschluss 17, dem Einlassrohr 81, und dem Evakuierungsgerät 8 entfernt. In der Ausführungsform dient der Filterabschnitt, 83, der in dem Evakuierungsgerät 8 bereitgestellt wird, als der Staubsammelabschnitt. Wie in der ersten Ausführungsform umfasst der Filterabschnitt 83 bevorzugt den Vorfilter 831 und den Hauptfilter 833.
Des Weiteren ist er in der Ausführungsform konfiguriert zum Steuern des Evakuierens durch Messen eines Werts von dem internen atmosphärischen Druck. Spezifisch umfasst die Vorrichtung zur Laminatformung 1 ein Messgerät für internen atmosphärischen Druck 18, welches den internen atmosphärischen Druck misst, und die Steuerung 85 von dem Evakuierungsgerät 8 steuert den Evakuatmengenregelabschnitt 84 und schaltet das EIN/AUS von dem Evakuieren, so dass eine Differenz zwischen einem von dem Messgerät für internen atmosphärischen Druck 18 gemessenen Wert und einem Wert von dem externen atmosphärischen Druck innerhalb eines vorbestimmten Bereichs ist. Ein vorbestimmter Wert (zum Beispiel, 1 atm) kann als der Wert von dem externen atmosphärischen Druck voreingestellt werden, wenn aber ein Messgerät für externen atmosphärischen Druck 19, welches den externen atmosphärischen Druck misst, des Weiteren bereitgestellt wird, und das EIN/AUS des Evakuierens geschaltet wird, so dass eine Differenz zwischen dem von dem Messgerät für internen atmosphärischen Druck 18 gemessenen Wert und der von dem Messgerät für externen atmosphärischen Druck 19 gemessenen Wert innerhalb eines vorbestimmten Bereichs ist, so ist es möglich, den internen atmosphärischen Druck und den externen atmosphärischen Druck genauer abzugleichen, was bevorzugt ist. Der vorbestimmte Bereich der Differenz zwischen dem externen atmosphärischen Druck und dem externen atmosphärischen Druck, welcher das Kriterium für das EIN/Aus-Schalten des Evakuierens ist, kann in einem Bereich eingestellt werden, in welchem die Leckage von dem Inertgas aus der Kammer 10 unterdrückt wird.
Hinsichtlich dem EIN/AUS des Evakuierens wird es in der ersten Ausführungsform bezogen auf die Sauerstoffkonzentration in der Kammer 10 gesteuert, und in der zweiten Ausführungsform wird es mit Bezugnahme auf den Wert von dem internen atmosphärischen Druck gesteuert. Jedoch können auch andere Steuerungsverfahren verwendet werden, solange der interne atmosphärische Druck und der externe atmosphärische Druck im Wesentlichen in einem Bereich, in welchem die Leckage von dem Inertgas unterdrückt wird, gleichförmig gehalten werden können. Des Weiteren können beide Steuerungsverfahren kombiniert werden, das heißt das Evakuieren kann ausgeführt werden, wenn die Sauerstoffkonzentration in der Kammer 10 gleich einem oder weniger als ein vorbestimmter Wert ist, und die Differenz zwischen dem internen atmosphärischen Druck und dem externen atmosphärischen Druck außerhalb des vorbestimmten Bereichs ist. Außerdem kann der Dampfsammler 73 konfiguriert sein, um die Dämpfe zu reinigen, die während der Formung an dem Inneren von dem Staubsammelgerät 732 haften, da aber die Dämpfe während des Reinigens nicht entfernt werden können, kann das Evakuieren wegen dem Evakuierungsgerät 8 während des Reinigens gestoppt werden.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

JP 598204 [0006]

Claims

Vorrichtung zur Laminatformung (1), dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung zur Laminatformung (1) umfasst: eine Kammer (10), welche eine Formungsregion (R) abdeckt; ein Laserbestrahlungsgerät (4), welches eine vorbestimmte Bestrahlungsregion von einer Materialpulverschicht (93) bestrahlt, die für jede von einer Vielzahl von Teilschichten gebildet wird, die durch Teilen eines erwünschten dreidimensionalen Objekts in einer vorbestimmten Höhe mit Bezug auf die Formungsregion (R) mit einem Laserstrahl (L) erhalten werden, und eine gesinterte Schicht (95) bildet; ein Inertgas-Einleitungsgerät (71), welches ein Inertgas in die Kammer (10) einleitet; einen Dampfsammler (73), welcher eine Staubsammelvorrichtung (732) zum Entfernen von Dämpfe aus dem Inertgas, die aus der Kammer ausgeleitet wurden (10) umfasst und das Inertgas, aus welchem die Dämpfe entfernt wurden, zu der Kammer (10) zurückführt; und ein Evakuierungsgerät (8), welches das Inertgas zu einer Außenseite von der Vorrichtung zur Laminatformung (1) evakuiert, wobei das Evakuierungsgerät (8) einen Einlassanschluss (82), welcher an einen beliebigen Teil von der Vorrichtung zur Laminatformung (1), durch welche das Inertgas strömt, angeschlossen ist, und das Intertgas aufnimmt, einen Evakuatmengenregelabschnitt (84), welcher eine Evakuatmenge von dem Inertgas zu der Außenseite von der Vorrichtung zur Laminatformung (1) regelt, eine Steuerung (85), welches den Evakuatmengenregelabschnitt (84) steuert, um Evakuieren von dem Inertgas zu der Außenseite von der Vorrichtung zur Laminatformung (1) auszuführen derart, dass ein atmosphärischer Druck in der Kammer (10) und ein externer atmosphärischer Druck in einem Bereich, in welchem Leckage von dem Inertgas aus der Kammer (10) unterdrückt wird, gleichförmig werden, und einen Evakuatanschluss, (86) welcher das Inertgas, aus welchem die Dämpfe entfernt wurden, zu der Außenseite von der Vorrichtung zur Laminatformung (1) evakuiert, umfasst.
Vorrichtung zur Laminatformung (1) nach Anspruch 1, wobei der Einlassanschluss (82) mit einer nachgelagerten Seite verbunden ist, an welcher das Inertgas aus dem Staubsammelgerät (732) zu der Kammer (10) zurückgeführt wird, und der Evakuatanschluss (86) das Inertgas evakuiert, aus welchem die Dämpfe durch mindestens das Staubsammelgerät (732) zu der Außenseite von der Vorrichtung zur Laminatformung (1) entfernt wurden.
Vorrichtung zur Laminatformung (1) nach Anspruch 1, wobei der Einlassanschluss (82) mit der Kammer (10) verbunden ist, und der Evakuatanschluss (86) die Dämpfe aus dem Inertgas entfernt, die aus der Kammer ausgeleitet wurden (10), und dann das Inertgas zu der Außenseite von der Vorrichtung zur Laminatformung (1) evakuiert.
Vorrichtung zur Laminatformung (1) nach Anspruch 1, die des Weiteren ein Sauerstoffanalysegerät (16) umfasst, welches eine Sauerstoffkonzentration in der Kammer (10) misst, wobei das Evakuierungsgerät (8) das Inertgas zu der Außenseite von der Vorrichtung zur Laminatformung (1) evakuiert, wenn die Sauerstoffkonzentration gleich einem der weniger als ein vorbestimmter Wert ist.
Vorrichtung zur Laminatformung (1) nach Anspruch 1, die des Weiteren ein Messgerät für internen atmosphärischen Druck (18) umfasst, welches den atmosphärischen Druck in der Kammer (10) misst, wobei das Evakuierungsgerät (8) das Inertgas zu der Außenseite von der Vorrichtung zur Laminatformung (1) evakuiert, so dass eine Differenz zwischen einem von dem Messgerät für internen atmosphärischen Druck (18) gemessenen Wert und einem von dem Messgerät für externen atmosphärischen Druck gemessenen Wert innerhalb eines vorbestimmten Bereichs ist.
Vorrichtung zur Laminatformung (1) nach Anspruch 5, die des Weiteren ein Messgerät für externen atmosphärischen Druck (19) umfasst, welches einen atmosphärischen Druck außerhalb der Vorrichtung zur Laminatformung (1) misst, wobei das Evakuierungsgerät (8) das Inertgas zu der Außenseite von der Vorrichtung zur Laminatformung (1) evakuiert, so dass eine Differenz zwischen dem von dem Messgerät für internen atmosphärischen Druck (18) gemessenen Wert und einem von dem Messgerät für externen atmosphärischen Druck (19) gemessenen Wert innerhalb eines vorbestimmten Bereichs ist.
Vorrichtung zur Laminatformung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei der Evakuatmengenregelabschnitt (84) einen Ventilkörper (841) hat, welcher das Evakuieren von dem Inertgas zu der Außenseite von der Vorrichtung zur Laminatformung (1) begrenzt.
Vorrichtung zur Laminatformung (1) nach Anspruch 7, wobei der Ventilkörper (841) ein Stellventil (843) hat, welches eine Evakuatmenge von dem Inertgas zu der Außenseite von der Vorrichtung zur Laminatformung (1) regelt, und ein EIN-AUS-Ventil (845), welches einen Strömungspfad von dem Inertgas öffnet und schließt.
Vorrichtung zur Laminatformung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei der Evakuatmengenregelabschnitt (84) ein Luftgebläse (847) hat, welches eine Luftströmung in einer Evakuierrichtung zu der Außenseite von der Vorrichtung zur Laminatformung (1) bildet.
Vorrichtung zur Laminatformung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei das Evakuierungsgerät (8) einen Filterabschnitt (83) umfasst, welcher die Dämpfe entfernt.