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KREUZVERWEIS AUF VERWANDTE ANMELDUNGEN
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Die vorliegende Anmeldung beansprucht die Priorität laut 35 U.S.C. §119 der
japanischen Anmeldung Nr. 2014-148286 , eingereicht am 18. Juli 2014, deren Offenbarung hiermit ausdrücklich zur Bezugnahme vollständig übernommen wird.
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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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Gebiet der Erfindung
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Die vorliegende Offenbarung betrifft ein Bildmessgerät und insbesondere ein Bildmessgerät, das günstigerweise in einer Bildmessvorrichtung, einem quantitativen Mikroskop mit einer installierten Bildgebungseinheit oder dergleichen verwendet wird. Das Bildmessgerät ist derart konfiguriert, dass ein Bild eines Messobjekts, das auf einen Objekttisch gelegt wird, von einer Kamera aufgenommen wird, das aufgenommene Bild an einem Bildschirm zum Anzeigen von aufgenommenen Bildern angezeigt wird und Bestimmungsergebnisse, die auf Ergebnissen einer Messung basieren, in einer Übersichtsliste getrennt von dem aufgenommenen Bild des Messobjekts angezeigt werden.
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Beschreibung der verwandten Technik
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Eine typische Bildmessvorrichtung, wie sie etwa in der
japanischen Patentschrift Nr. H03-57403 und der
japanischen Offenlegungsschrift Nr. 2003-139520 beschrieben wird, umfasst ein Teileprogramm, das in der Lage ist, einen Messarbeitsablauf aufzuzeichnen, der einmal ausgeführt wurde, und wenn ein Messobjekt (auch als Werkstück bezeichnet) gemessen wird, das eine identische Form aufweist, in der Lage ist, den aufgezeichneten Messarbeitsablauf automatisch wiederherzustellen. Zusätzlich, wie in der
japanischen Offenlegungsschrift Nr. 2001-319219 beschrieben, umfasst das Bildmessgerät einen Toleranzvergleich, bei dem, nachdem ein Messobjekt gemessen wurde, die gemessenen Werte mit theoretischen Werten verglichen werden, um zu bestimmen, ob die gemessenen Werte innerhalb einer vorbestimmten Toleranz liegen. Typischerweise führt in einem Fall, bei dem eine durchgehende Messung einer Vielzahl von Werkstücken, die identische Formen aufweisen, von der Bildmessvorrichtung unter Verwendung des Teileprogramms ausgeführt wird, ein Bediener das Teileprogramm für jedes Werkstück aus und überprüft die ausgegebenen Toleranzbestimmungsergebnisse, um die Qualität des Werkstücks zu bestimmen.
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Die Anzeige der Bestimmungsergebnisse des Toleranzvergleichs („OK” oder „NG” (fehlgeschlagen)) erfolgt durch das Vorlegen von Bewertungen für die gemessenen Werte und die theoretischen Werte in einem Bereich zum Anzeigen von Messergebnissen, wie beispielsweise in
1 gezeigt. Die Toleranzbestimmungsergebnisse sind jedoch mit dieser Anzeige schwer verständlich, und somit wird, wie in der
japanischen Offenlegungsschrift Nr. 2001-59708 beschrieben, eine Übersichtsanzeige bereitgestellt, bei der die Bestimmungsergebnisse in einer Liste getrennt von einem Bild des Messobjekts angegeben werden.
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Die Bestimmungsergebnisse des Toleranzvergleichs werden typischerweise mit Buchstaben, wie etwa „OK” und „NG” zusammen mit den Messergebnissen angezeigt, wie in 1 gezeigt. Daher ist es für den Bediener schwierig, intuitiv zu verstehen, ob sich die Messergebnisse dem theoretischen Wert nähern oder am Rand des Toleranzbereichs liegen, ob die Messergebnisse größer oder kleiner als der theoretische Wert sind, und dergleichen.
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Zusätzlich, für den Fall, dass eine durchgehende Messung von Werkstücken identischer Form von einem herkömmlichen Bildmesssystem ausgeführt wird, muss dagegen zum Überprüfen einer Verschiebung der Messergebnisse eine Auslegung jedes Messergebnisses unter Verwendung einer statistischen/analytischen Funktion, die in dem Bildmesssystem installiert ist, oder eines externen Programms, das eine statistische/analytische Funktion aufweist, getrennt ausgeführt werden, was es für den Bediener schwierig macht, eine Verschiebung der Messergebnisse in Echtzeit zu überprüfen.
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Entsprechend ist es für den Bediener schwierig, die Abweichungen und Variationen der Form eines Werkstücks zu überprüfen. Selbst wenn beispielsweise ein Werkzeug, das ein Werkstück verarbeitet, Verschleiß und dergleichen erfährt, und sich die Verarbeitungsgenauigkeit der Werkstücke mit der Zeit verschlechtert, ist es für einen Bediener, der die Messung ausführt, schwierig, eine derartige Verschlechterung zu bemerken, und er ist nicht in der Lage, die Verschlechterung zu ermitteln, bis die Toleranzbestimmungsergebnisse ein „NG” zurückgeben.
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KURZDARSTELLUNG DER ERFINDUNG
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Die vorliegende Offenbarung wurde erdacht, um die zuvor beschriebenen herkömmlichen Umstände zu berücksichtigen, und ist daher konfiguriert, um es einem Bediener zu ermöglichen, auf intuitive und verständliche Art und Weise über Einzelheiten von Bestimmungsergebnissen und eine Verschiebung der Messergebnisse beispielsweise während einer durchgehenden Messung von Messobjekten identischer Form unter Verwendung eines Teileprogramms benachrichtigt zu werden.
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Die vorliegende Offenbarung geht die obigen Umstände mit einem Bildmessgerät an, das derart konfiguriert ist, dass ein Bild eines Messobjekts, das auf einen Objekttisch gelegt wird, von einer Kamera aufgenommen wird, das aufgenommene Bild an einem Bildschirm zum Anzeigen von aufgenommenen Bildern angezeigt wird und Bestimmungsergebnisse, die auf Ergebnissen einer Messung basieren, in einer Übersichtsliste getrennt von dem aufgenommenen Bild des Messobjekts angezeigt werden. Wie in 2 gezeigt, umfasst das Bildmessgerät einen Bereich zum Anzeigen von einzelnen Bestimmungsergebnissen, der einzelne Bestimmungsergebnisse für jede Messposition anzeigt; und einen Bereich zum Anzeigen von globalen Bestimmungsergebnissen, der globale Bestimmungsergebnisse für das Messobjekt als eine Einheit anzeigt. Das Bildmessgerät ist konfiguriert, um die einzelnen Bestimmungsergebnisse und die globalen Bestimmungsergebnisse zusammen anzuzeigen.
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Dabei kann eine Position eines Messwertes mit Bezug auf einen Bestimmungsbereich in analoger Form in dem Bereich zum Anzeigen von globalen Bestimmungsergebnissen angezeigt werden.
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Zusätzlich kann eine Zunahme-/Abnahmerichtung eines aktuellen Messwertes mit Bezug auf einen vorhergehenden Messwert in der Nähe des Bereichs zum Anzeigen von globalen Bestimmungsergebnissen angezeigt werden.
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Zusätzlich kann eine Trenddarstellung, die Verschiebungen des Messwertes abbildet, ebenfalls im Hintergrund des Bereichs zum Anzeigen von globalen Bestimmungsergebnissen angezeigt werden.
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Zusätzlich kann die Trenddarstellung zusammen mit dem Bestimmungsbereich im Hintergrund des Bereichs zum Anzeigen von globalen Bestimmungsergebnissen angezeigt werden.
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Zusätzlich kann mindestens eine Anzahl von NGs zahlenmäßig in dem Bereich zum Anzeigen von globalen Bestimmungsergebnissen angezeigt werden.
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Gemäß der vorliegenden Offenbarung kann ein Bediener auf intuitive und verständliche Art und Weise über Einzelheiten von Bestimmungsergebnissen und eine Verschiebung der Messergebnisse beispielsweise während einer durchgehenden Messung von Messobjekten identischer Form unter Verwendung eines Teileprogramms benachrichtigt werden.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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Die vorliegende Erfindung wird in der nachstehenden ausführlichen Beschreibung mit Bezug auf die beschriftete Vielzahl von Zeichnungen anhand von nicht einschränkenden Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung, in denen die gleichen Bezugszeichen in den mehreren Ansichten der Zeichnungen insgesamt ähnliche Teile darstellen, näher beschrieben. Es zeigen:
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1 eine herkömmliche Anzeige von Toleranzbestimmungsergebnissen in einer Bildmessvorrichtung;
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2 eine beispielhafte Anzeige von Toleranzbestimmungsergebnissen gemäß der vorliegenden Offenbarung;
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3 eine perspektivische Ansicht einer beispielhaften Gesamtkonfiguration einer Bildmessvorrichtung, auf welche die vorliegende Offenbarung angewendet wird;
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4 ein Blockdiagramm, das eine Konfiguration eines Computersystems in der Bildmessvorrichtung abbildet;
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5 ein Ablaufschema, das einen Arbeitsablauf gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung abbildet;
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6 eine beispielhafte Anzeige auf einem Anzeigebildschirm gemäß der ersten Ausführungsform;
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7 eine beispielhafte Anzeige von globalen Bestimmungsergebnissen gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung;
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8 ein Ablaufschema, das einen Arbeitsablauf gemäß der zweiten Ausführungsform abbildet;
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9 eine beispielhafte Anzeige auf einem Anzeigebildschirm gemäß der zweiten Ausführungsform;
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10 ein Ablaufschema, das einen Arbeitsablauf gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung abbildet;
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11 eine beispielhafte Anzeige auf einem Anzeigebildschirm gemäß der dritten Ausführungsform;
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12A und 12B beispielhafte Anzeigen von globalen Bestimmungsergebnissen gemäß der dritten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung;
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13A und 13B beispielhafte Anzeigen von globalen Bestimmungsergebnissen gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung; und
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14A und 14B beispielhafte Anzeigen von globalen Bestimmungsergebnissen gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung.
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AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
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Die hier gezeigten Einzelheiten sind beispielhaft und dienen nur der erläuternden Diskussion der Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung und werden vorgelegt, um bereitzustellen, was als möglichst nützliche und leicht verständliche Beschreibung der Grundlagen und konzeptuellen Aspekte der vorliegenden Erfindung angesehen wird. In dieser Hinsicht wird nicht versucht, strukturelle Einzelheiten der vorliegenden Erfindung ausführlicher als zum grundlegenden Verständnis der vorliegenden Erfindung notwendig zu zeigen, wobei die Beschreibung zusammen mit den Zeichnungen gesehen dem Fachmann nahebringt, wie die Formen der vorliegenden Erfindung in die Praxis umgesetzt werden können.
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Nachstehend werden Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung mit Bezug auf die Zeichnungen ausführlich beschrieben. Des Weiteren ist die vorliegende Erfindung nicht auf den Inhalt eingeschränkt, der in den nachstehenden Ausführungsformen und Beispielen beschrieben wird. Die Konfigurationsvoraussetzungen bei den folgenden Ausführungsformen und Beispielen können auch das umfassen, was für den Fachmann ohne Weiteres erdenkbar ist, was im Wesentlichen ähnlich ist und was einen äquivalenten Umfang einschließt. Ferner können die Konfigurationsvoraussetzungen, die in den nachstehenden Ausführungsformen und Beispielen offenbart werden, je nach Bedarf kombiniert werden oder sie können je nach Bedarf selektiv verwendet werden.
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3 bildet eine Gesamtkonfiguration einer manuell betätigten Bildmessvorrichtung ab, auf welche die vorliegende Offenbarung angewendet wird. Die Bildmessvorrichtung ist konfiguriert durch einen Messvorrichtungs-Hauptkörper 1 von der Art zum kontaktlosen Bildmessen; ein Computersystem 2, das einen Prozess ausführt, der zu einem Objekttisch-Verlagerungsvorgang des Messvorrichtungs-Hauptkörpers 1 beiträgt und die notwendige Messdatenverarbeitung ausführt; eine Befehlseingabevorrichtung 3, die einen notwendigen Messbefehl und Messparameter an den Messvorrichtungs-Hauptkörper 1 gibt; eine Tastatur 32; eine Maus 33; und eine Energiequelle 4, welche die diversen Komponenten mit stabiler elektrischer Energie versorgt.
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Der Messvorrichtungs-Hauptkörper 1 umfasst einen Tisch 11 und einen Objekttisch 13, der über dem Tisch 11 montiert ist. Ein Werkstück 12 (Messobjekt) kann auf den Objekttisch 13 gelegt werden. Eine X-Achsenantriebswelle 14 und eine Y-Achsenantriebswelle 15 treiben den Objekttisch 13 jeweils in einer X-Achsenrichtung und einer Y-Achsenrichtung an. Ein sich nach oben erstreckender Rahmen 17 ist an einem hinteren Endabschnitt des Tisches 11 fixiert. Eine Kameraeinheit 18 wird auf dem Rahmen 17 getragen. Die Kameraeinheit 18 kann durch eine Z-Achsenantriebswelle 19 in einer Z-Achsenrichtung entlang einer Führungsschiene, die auf dem Rahmen 17 gebildet ist, verlagert werden. Eine Kamera (z. B. eine CCD-Kamera) 20 ist in einem Innenraum der Kameraeinheit 18 derart montiert, dass sie ein Bild des Objekttisches 13 von oben aufnimmt. Eine ringförmige Beleuchtungsvorrichtung 21, die das Werkstück 12 beleuchtet, wird in der Nähe eines unteren Endes der Kamera 20 bereitgestellt.
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Das Computersystem 2 ist konfiguriert, um einen Computerhauptkörper 31, die Tastatur 32, die Maus 33 und einen Anzeigebildschirm (zum Beispiel einen Flüssigkristall-Anzeigebildschirm oder einen CRT-Anzeigebildschirm) 34 zu umfassen. Dieses System, das auf dem Computerhauptkörper 31 basiert, kann beispielsweise wie in 4 gezeigt konfiguriert sein. Ein Bildsignal für ein Bild des Werkstücks 12, das von der Kamera 20 aufgenommen wird, wird von einem A/D-Wandler 35 in digitale Bilddaten umgewandelt und in einem Bildspeicher 36 abgelegt. Die digitalen Bilddaten, die in dem Bildspeicher 36 abgelegt sind, werden an dem Anzeigebildschirm 34 auf Grund von Vorgängen eines Anzeige-Controllers 37 angezeigt. Eine Befehlseingabe eines Bedieners unter Verwendung der Tastatur 32 und der Maus 33 wird über eine Schnittstelle (I/F) 38 an eine CPU 39 übertragen. Die CPU 39 führt einen Messprozess gemäß einem Befehl des Bedieners oder einem Teileprogramm, das in einem Programmspeicher 40 abgelegt ist, aus. Ein Arbeitsspeicher 41 stellt einen Arbeitsraum für diverse Prozesse der CPU 39 bereit.
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Um jede der X-, Y- und Z-Achsenrichtungspositionen der Kamera 20 mit Bezug auf den Objekttisch 13 zu ermitteln, werden auch ein X-Achsencodierer, ein Y-Achsencodierer 43 und ein Z-Achsencodierer 44 bereitgestellt. Die Ausgabe dieser Codierer 42 bis 44 wird in die CPU 39 gebracht. Basierend auf einem Befehlswert, der durch die CPU 39 generiert wird, generiert ein Beleuchtungs-Controller 45 eine Analoggrößen-Befehlsspannung und steuert die Beleuchtungsvorrichtung 21 an.
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Nachstehend werden die Ausführungsformen ausführlich beschrieben.
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5 bildet einen Arbeitsablauf ab, während 6 eine beispielhafte Anzeige an dem Anzeigebildschirm 34 gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung abbildet. Bei der ersten Ausführungsform, wenn ein Bestimmungsergebnis aus einer Liste ausgewählt wird, wird eine Hervorhebungsanzeige an einer entsprechenden Messposition an einem Bildschirm zum Anzeigen von aufgenommenen Bildern bereitgestellt.
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Bei der ersten Ausführungsform wird zuerst in Schritt 100 ein Messobjekt (Werkstück 12) auf den Objekttisch 13 des Messvorrichtungs-Hauptkörpers 1 gelegt.
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Dann wird in Schritt 110 ein Bild des Werkstücks 12 von der Kamera 20 aufgenommen, die an dem Messvorrichtungs-Hauptkörper 1 montiert ist.
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Dann werden in Schritt 120 ein gewünschtes Element und ein Randerkennungs-Tool an einem Bildschirm zum Anzeigen von aufgenommenen Bildern 34A ausgewählt, der das aufgenommene Bild (vergrößertes Bild des Werkstücks 12) von der Kamera 20 anzeigt, das in 6 oben links gezeigt wird, und es wird eine Messung ausgeführt.
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Informationen für Messergebnisse, die Toleranzbestimmungsergebnisse umfassen, werden jedes Mal aufgenommen, wenn eine Messung ausgeführt wird (Schritt 130), und eine Liste mit Toleranzbestimmungsergebnissen 34B wird angelegt, die ein Bediener jederzeit verstehen kann (Schritt 140).
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Bis in Schritt 150 eine Bestimmung erfolgt, dass die Messung beendet ist, fährt der Prozess in Schritt 160 mit der nächsten Messposition fort und wiederholt die Schritte 120 bis 140.
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Die Toleranzbestimmungsergebnisse können mit verschiedenen Farben angezeigt werden, wie etwa OK in grün und Fehlgeschlagen (NG) in rot.
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Nachdem in Schritt 150 eine Bestimmung erfolgt, dass die Messung beendet ist, wenn ein Bediener in Schritt 170 Messergebnisse auswählt (oberste ID1 in 6), welche die gewünschten Bestimmungsergebnisse umfassen, die in der Liste mit Toleranzbestimmungsergebnissen 34B angezeigt werden, die erstellt wurde, wird eine entsprechende Messposition (Linie-1 in 6), die auf dem Bildschirm zum Anzeigen von aufgenommenen Bildern 34A angezeigt wird, mit einer Hervorhebungsanzeige, wie etwa Markieren, in Schritt 180 bereitgestellt.
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Entsprechend kann selbst für den Fall, dass eine Vielzahl von Messergebnissen an einem Bildschirm angezeigt wird (6 zeigt fünf zusätzlich zu ID1: ID2: Kreis-1, ID3: Linie-2, ID4: Distanz-1 und ID5: Kreis-2) und die Auswahl der bezeichneten Messergebnisse (hier ID1) innerhalb des Bildschirms zum Anzeigen von aufgenommenen Bildern 34A schwierig ist, der Bediener durch Auswählen von Messergebnissen, welche die Toleranzbestimmungsergebnisse umfassen, die in eine Liste umgewandelt wurden, mühelos die Messposition auf dem Bildschirm zum Anzeigen von aufgenommenen Bildern 34A, die den Messergebnissen in der Liste 34B entspricht, finden, und es kann verhindert werden, dass es zu einer fehlerhaften Auswahl von Messergebnissen durch den Bediener kommt.
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Bei der ersten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung ist die in 2 gezeigte Liste 34B konfiguriert durch einen Bereich zum Anzeigen von einzelnen Bestimmungsergebnissen 34B1, der Einzelheiten der Toleranzbestimmungsergebnisse für jede Messposition bereitstellt; und einen Bereich zum Anzeigen von globalen Bestimmungsergebnissen 34B2, der globale Bestimmungsergebnisse für das Werkstück 12 als eine Einheit bereitstellt. Zusätzlich ist die vorliegende Ausführungsform konfiguriert, um nicht nur die einzelnen Bestimmungsergebnisse sondern auch die globalen Bestimmungsergebnisse („NG” in den Zeichnungen) anzuzeigen, und daher kann der Bediener die globalen Bestimmungsergebnisse sehr leicht erkennen.
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Bei der vorliegenden Ausführungsform wird eine Anzahl von NGs in dem Bereich zum Anzeigen von globalen Bestimmungsergebnissen 34B2 auch in Klammern angezeigt, und daher kann der Bediener auch das Ausmaß der NGs erkennen.
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Des Weiteren, wie bei einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung, die in 7 gezeigt wird, wird eine Gesamtanzahl von Messergebnissen (fünf bei diesem Beispiel) als Nenner gesetzt, und die Anzahl von NGs (zwei bei diesem Beispiel) wird als Zähler gezeigt, wodurch ein Verhältnis der Anzahl von NGs zu der Gesamtanzahl von Messergebnissen verständlich wird.
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Ferner wird bei der vorliegenden Ausführungsform zusätzlich zu dem aufgenommenen Bild 34A von der Kamera 20 und der Liste 34B eine Messobjekt-Gesamtansicht 34C, die das gesamte Messobjekt zeigt, ebenfalls angezeigt. Dadurch ist eine Position des aufgenommenen Bildes (34A) mit Bezug auf das gesamte Messobjekt ohne Weiteres zu erkennen. Die Messobjekt-Gesamtansicht 34C kann auch entfallen.
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Es folgt eine ausführliche Beschreibung der zweiten Ausführungsform, die das erneute Messen erleichtert, wenn Messergebnisse ausgewählt werden. Ein Arbeitsablauf gemäß der zweiten Ausführungsform wird in 8 gezeigt, während eine beispielhafte Anzeige an dem Anzeigebildschirm 34 in 9 gezeigt wird.
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Nachdem die Schritte 100 bis 150 wie in 5 ausgeführt wurden und die Messung beendet ist, wenn der Bediener in Schritt 270 die Messergebnisse anklickt (Linie-1 in 9), die auf dem Bildschirm zum Anzeigen von aufgenommenen Bildern 34A angezeigt werden, werden Einzelheiten der Messergebnisse (bei diesem Beispiel X- und Y-Koordinaten, Projektionswinkel, Geradheit) in Schritt 280 angezeigt, wie in 9 gezeigt. Während die Messergebnisse angezeigt werden, wird die Messung durch Anklicken der ausführlichen Anzeige wiederholt (Schritt 290). Wenn die Messung wiederholt wird, wird das Bearbeiten einer Ermittlungsposition des Ermittlungs-Tools, das während der Messung verwendet wird (erneutes Eingeben von theoretischen Werten, die manuell eingegeben wurden, als die Messung begann) aktiviert, sowie das Bearbeiten von theoretischen Werten für die Toleranzbestimmungsergebnisse und die oberen/unteren Grenzwerte, so dass die Messergebnisse aktualisiert werden können.
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Gemäß der vorliegenden Ausführungsform kann die Messung einfach durch Anklicken der Messergebnisse, die an dem Bildschirm zum Anzeigen von aufgenommenen Bildern 34A angezeigt werden, wiederholt werden und die Arbeitseffizienz kann erhöht werden.
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Des Weiteren kann der Bediener anstelle der Messergebnisse, die auf dem Bildschirm zum Anzeigen von aufgenommenen Bildern 34A angezeigt werden, auch Messergebnisse und Bestimmungsergebnisse auswählen, die in dem Bereich zum Anzeigen von einzelnen Bestimmungsergebnissen 34B1 der Liste 34B angezeigt werden, und die Messung wiederholen.
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Es folgt eine ausführliche Beschreibung für eine dritte Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung, bei der die Messergebnisse und eine Objekttischposition verknüpft sind, wodurch eine Navigation der Objekttisch-Verlagerung für den Fall ermöglicht wird, dass sich die Messposition nicht in dem gerade (d. h. soeben) angezeigten Bildschirm zum Anzeigen von aufgenommenen Bildern 34A befindet. Ein Arbeitsablauf gemäß der dritten Ausführungsform wird in 10 gezeigt, während eine beispielhafte Anzeige an dem Anzeigebildschirm 34 in 11 gezeigt wird.
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Nachdem der gleiche Schritt 170 wie bei der ersten Ausführungsform beendet ist, fährt der Prozess mit Schritt 372 fort, und es erfolgt eine Bestimmung, ob sich die bezeichneten (ausgewählten) Messergebnisse (ID5 bei diesem Beispiel) in einem vorliegenden Anzeigebildschirm des aufgenommenen Bildes 34A befinden. Wenn das Bestimmungsergebnis negativ ist, fährt der Prozess mit Schritt 374 fort und ein Bildschirm zur Navigation der Objekttischverlagerung (hier ein Verlagerungsabstand der X-Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung auf ID5) wird am Bildschirm angezeigt, wodurch eine Objekttischverlagerung hervorgerufen wird (Schritt 376). Des Weiteren können Informationen für den verbleibenden Abstand aktualisiert werden, um sich auf die Objekttischverlagerung auszurichten.
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Die Navigation ist nicht nur in der Lage, den verbleibenden Abstand mit einem Zahlenwert anzuzeigen, wie in 11 gezeigt, sondern ist ebenfalls in der Lage, einen Schnittpunkt eines Fadenkreuzes vorzulegen, so dass sich der Schnittpunkt verlagert, um sich beispielsweise in der Mitte des Bildschirms zum Anzeigen von aufgenommenen Bildern 34A zu befinden oder um eine Verlagerungsrichtung mit einem Pfeil oder dergleichen direkt anzuzeigen. Zusätzlich kann für den Fall einer automatisch gesteuerten Bildmessvorrichtung, wie etwa einer CNC, die Objekttischverlagerung von Schritt 376 automatisch erfolgen.
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Wenn in Schritt 372 eine Bestimmung erfolgt, ob auf Grund der Objekttischverlagerung, weil die bezeichneten (ausgewählten) Messergebnisse in Schritt 372 nicht am derzeit angezeigten Bildschirm angezeigt wurden, die bezeichneten (ausgewählten) Messergebnisse nun innerhalb des gerade angezeigten Bildschirms angezeigt werden, oder eine Bestimmung erfolgt, dass die bezeichneten (ausgewählten) Messergebnisse bereits innerhalb des gerade angezeigten Bildschirms angezeigt werden, fährt der Prozess mit Schritt 380 fort und eine Hervorhebungsanzeige, wie etwa eine Markierung, wird auf die Messergebnisse angewendet, die auf dem Bildschirm angezeigt werden.
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Gemäß der vorliegenden Ausführungsform wird durch Bezeichnen (Auswählen) von Messergebnissen, welche die Bestimmungsergebnisse in der Liste umfassen, eine Navigation für eine Verlagerung in Richtung auf die entsprechende Messposition ausgeführt, und dadurch kann die Arbeitseffizienz verbessert werden.
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Des Weiteren werden bei der vorliegenden Ausführungsform die globalen Bestimmungsergebnisse in dem Bereich zum Anzeigen von globalen Bestimmungsergebnissen 34B2 unter Verwendung von einem von einer farblichen Unterscheidung, den Buchstaben „OK” und „NG” und der Anzahl von NGs angezeigt. Wie bei der dritten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung, die in 12A (für OK) und 12B (für NG) gezeigt wird, kann jedoch eine Position eines gemessenen Wertes mit Bezug auf einen Toleranzbereich von MIN bis MAX auch innerhalb des Bereichs zum Anzeigen von globalen Bestimmungsergebnissen 34B2 unter Verwendung einer Zeigernadel 34D, die durch eine senkrechte Linie gebildet wird, die sich von links nach rechts bewegt, wie bei dem abgebildeten Beispiel, als Messgerät angezeigt werden. Dadurch kann der Bediener intuitiv Einzelheiten der Toleranzbestimmungsergebnisse verstehen, d. h. ob sich die Messergebnisse dem theoretischen Wert nähern oder am Rand des Toleranzbereichs liegen, ob die Messergebnisse größer oder kleiner als der theoretische Wert sind, und dergleichen.
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Ferner können die Messergebnisse auch zusammen mit einem Pfeilsymbol 34E angezeigt werden, das eine Zunahme-/Abnahmerichtung eines Wertes für die vorliegenden Messergebnisse mit Bezug auf die vorhergehenden Messergebnisse angibt. Daraufhin kann der Bediener in Echtzeit eine Verschiebung der Messergebnisse überprüfen.
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Alternativ kann wie bei einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung, die in 13A (für OK) und 13B (für NG) gezeigt wird, eine Trenddarstellung 34F, welche die Verschiebungen der Messergebnisse abbildet, auch im Hintergrund des Bereichs zum Anzeigen der globalen Bestimmungsergebnisse 34B2 angezeigt werden. In diesem Fall, wenn sie zusammen mit Grenzen für einen maximalen Wert MAX und einen minimalen Wert MIN (oberer Grenzwert 34G, unterer Grenzwert 34H) angezeigt wird, wie in den Zeichnungen gezeigt, kann der Bediener nicht nur einen Trend mühelos erkennen, sondern auch eine Beziehung zu einem oberen Grenzwert und einem unteren Grenzwert. Die Trenddarstellung 34F kann auch alleine verwendet werden.
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Zusätzlich, wie bei einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung, die in 14A (für OK) und 14B (für NG) gezeigt wird, können eine Anzahl von OKs, eine Anzahl von NGs und eine Anzahl von Messfehlern ebenfalls zusammen in dem Bereich zum Anzeigen von globalen Bestimmungsergebnissen 34B2 angezeigt werden. Des Weiteren kann für den Fall, dass die globalen Bestimmungsergebnisse ein OK nur zurückgeben, wenn alle einzelnen Bestimmungsergebnisse OK sind, eine Anzeige auf der rechten Seite entfallen, um die Lesbarkeit für den Fall eines OK-Ergebnisses zu verbessern, wie in 14A gezeigt. Die Fehleranzeige kann ebenfalls entfallen. Des Weiteren kann für den Fall, dass der Fehler ignoriert wird, das Anzeigen der Anzahl von Fehlern unnötig sein.
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Bei jeder der zuvor beschriebenen Ausführungsformen werden die einzelnen Bestimmungsergebnisse und die globalen Bestimmungsergebnisse in der Liste 34B angezeigt, was den Vergleich und die Gegenüberstellung der beiden Ergebnissätze erleichtert. Zusätzlich können die einzelnen Bestimmungsergebnisse und die globalen Bestimmungsergebnisse auch in getrennten Fenstern angezeigt werden.
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Ferner werden bei jeder der zuvor beschriebenen Ausführungsformen die Toleranzbestimmungsergebnisse in der Liste 34B angezeigt; die Bestimmungsergebnisse, die in der Liste angezeigt werden, sind jedoch nicht darauf eingeschränkt. Die Anzeigeposition der Liste 34B ist auch nicht auf die der zuvor beschriebenen Ausführungsformen eingeschränkt, und die Liste 34B kann stattdessen beispielsweise in einer Ecke des Bildschirms zum Anzeigen von aufgenommenen Bildern angezeigt werden.
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Die vorliegende Erfindung ist nicht darauf eingeschränkt, auf eine Bildmessvorrichtung angewendet zu werden, und kann beispielsweise auch auf ein quantitatives Mikroskop, bei dem eine Bildgebungseinheit installiert ist, angewendet werden.
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Es sei zu beachten, dass die vorstehenden Beispiele nur zum Zweck der Erklärung bereitgestellt wurden und keineswegs als die vorliegende Erfindung einschränkend anzusehen sind. Obwohl die vorliegende Erfindung mit Bezug auf Ausführungsbeispiele beschrieben wurde, versteht es sich, dass der Wortlaut, der hier verwendet wurde, beschreibend und erläuternd statt einschränkend ist. Es können Änderungen im Bereich der beiliegenden Ansprüche vorgenommen werden, wie vorliegend angegeben und geändert, ohne Geist und Umfang der vorliegenden Erfindung in ihren Aspekten zu verlassen. Obwohl die vorliegende Erfindung hier mit Bezug auf bestimmte Strukturen, Materialien und Ausführungsformen beschrieben wurde, ist die vorliegende Erfindung nicht dazu gedacht, auf die hier offenbarten Einzelheiten eingeschränkt zu sein; vielmehr deckt die vorliegende Erfindung alle funktionsmäßig äquivalenten Strukturen, Verfahren und Verwendungen ab, die im Umfang der beiliegenden Ansprüche liegen.
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Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die zuvor beschriebenen Ausführungsformen eingeschränkt und diverse Variationen und Änderungen können möglich sein, ohne den Umfang der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
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Zitierte Patentliteratur
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- JP 2014-148286 [0001]
- JP 03-57403 [0003]
- JP 2003-139520 [0003]
- JP 2001-319219 [0003]
- JP 2001-59708 [0004]
