JPS62135705A - 画像処理式測定装置 - Google Patents
画像処理式測定装置Info
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- JPS62135705A JPS62135705A JP27651585A JP27651585A JPS62135705A JP S62135705 A JPS62135705 A JP S62135705A JP 27651585 A JP27651585 A JP 27651585A JP 27651585 A JP27651585 A JP 27651585A JP S62135705 A JPS62135705 A JP S62135705A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【産業上の利用分野１
本発明は、画像処理式測定装置に係り、特に、テレビカ
メラを使用した画像処理型測定間に用いるのに好適な、
載物台上に配置したエリ定対象物と関与した光を受けて
、前記載物台と相対移動される拡大光学系により所定の
測定対象部分の倣を拡大し、該測定対象部分の拡大像を
評価して、」１１定対象物の司法や形状等を測定するよ
うにした両１り；処理式測定装置に関する。 【従来の技術】 近年、テレビカメラを使用した両’１９ハｙ！１へ°４
の測定機が研究されている。この画像処理型のＪＩＩ定
１；１において、テレビカメラ撮像面の大きさ、分割膜
は限られているため、測定殿として使用するには、測定
対象物乃至その部分を対物レンズ等の拡大光学系により
拡大し、拡大像を画像処理して、測定対象物の寸法や形
状等を測定する必要がある。
メラを使用した画像処理型測定間に用いるのに好適な、
載物台上に配置したエリ定対象物と関与した光を受けて
、前記載物台と相対移動される拡大光学系により所定の
測定対象部分の倣を拡大し、該測定対象部分の拡大像を
評価して、」１１定対象物の司法や形状等を測定するよ
うにした両１り；処理式測定装置に関する。 【従来の技術】 近年、テレビカメラを使用した両’１９ハｙ！１へ°４
の測定機が研究されている。この画像処理型のＪＩＩ定
１；１において、テレビカメラ撮像面の大きさ、分割膜
は限られているため、測定殿として使用するには、測定
対象物乃至その部分を対物レンズ等の拡大光学系により
拡大し、拡大像を画像処理して、測定対象物の寸法や形
状等を測定する必要がある。
しかしがら、拡大すると視野範囲が狭くなるため、例え
ば測定対象物の！！！Ｉｌ隔づ゛る２点間の寸法等を測
定する３９合に、同一画面上に前記２点を同時に表示す
ることができなくなり、操作性が悪くなると同時に、光
学側定義の最大長所である目で観察できるという利点が
制限されるという問題点を有していた。 即ち、出願人が、載物台上に配置された測定対象物に光
照射する照明光学系と、前記測定対象物と関与した光（
反射光、通過光あるいは透過光）を受けて、測定対象部
分の像を拡大する拡大光学系と、所定の測定対象部分を
拡大ずべく、前記載物台と拡大光学系とを相対移動させ
る移動（４構と、＋ｉｉｊ記拡大光学系に光電結合され
、測定対象部分の拡大（象を映すモニタ装置と、該拡大
像を処理して、測定対象物の寸法や形状等を求める計測
手段とを備えた画像処理型Ｗ、１１定償を試作ＴＩＩ′
ｌ究したところ、迅速な測定を可能として実効を１！７
１するためには、’＜ｆ４大な問題が内在していること
を認識できた。 即ち、通常、拡大光学系と載物台を相対移動させるｕｌ
ＩＭは、２次元の場合、Ｘ−Ｙ方向に独立移動できる
よう形成される。従って、載物台に測定対象物を取付け
る場合、両名の軸線を合￥ｌｔ！シめることが求められ
る。 しかしながら、０．１μｍオーダで評価しにうとする画
殻処理型測定践にＪ３いて、軸線を合わし゛た取付けは
、例え治具を準備したとしても、事実上至難である。又
、これを強制ずれば、その測定埠（（１１作業が煩随ず
ぎ、長時間を要し極めて作Ｖ’ｓ ｌｕ亭が悪いものと
なってしまう。 １追って、ある程度の位置ずれ取付けは許容ＵざるをＩ
＋７な、いが、その程度を定量的に規定できず、人によ
っても異なるので、結果として拡大像が七二タ装買に傾
斜映像され、所定拡大像のｊぢ択操１′１：に支障をき
たすほか、一段に両測定、Ｌツジが映像ざ机ない場合に
あっては、一方側で慎重にエツジ検出しても、他方側で
検出誤着が発生したり、１．スしい場合には検知不能と
なるという事態も招来した。 又、拡大光学系において測定対象物の測定対象部分が基
準姿態でモニタ装置に映された（すは、１！ＩＩ定対粂
部分のエツジ演出等を１１って、所定の画（（（ミ処理
を行うことは、電子技術の発達から明らかな通り容易で
あり、迅速且つ正確な測定を行うことができるが、その
前に、所定の測定対象部分を選択して、これをモニタ装
置に拡大表示するまでの、いわゆる準備工桿に多大な時
間や労力を右し、又拡大像の選択を誤る場合も多かった
。 これは、通常、数十倍の拡大率をもってモニタ装置に表
示される拡大性が、測定対象物のいずれの個所に該当す
るのか見極めるのが困難である１ζめ、操作者が、測定
対象物とモニタ装置とを比較確認しつつ、載物台と拡大
光学系との相対移動作業をｉテリなければならないから
であるつしかも、拡大像と測定対象物との対応させた形
状や模様、更には測定点の順序等を確実に記憶しておか
なければ、比較確認すら行い梵いので、熟練者１ノか１
モ作できないという問題もある。従って、特にｔＣパタ
ーンのように繰返し形状のある測定対象物の場合や、載
物台上に測定対象物を傾斜して取付けた場合には更に作
業困難となり、又、光透過あるいは通′Ａ型の照明光学
系を選択したときには、目？５１確認が困到となるとい
う事態も１Ｂ＜。更に又、確認困難のため、１ｔｔ作名
が数冊本体に近付き過ざる危険性もあった。 このような問題点は、測定手順の各ステップＦｎに操作
者が操作する手動型だけでなく、測定千阿ｉプログラム
に基づいて前期相対移動を自動的に行う自動型にあって
も、測定手順プログラム作成上のテーチング作業中に手
動型のそれと全く同様の手順を踏まなければならないの
で、問題は同じである。
ば測定対象物の！！！Ｉｌ隔づ゛る２点間の寸法等を測
定する３９合に、同一画面上に前記２点を同時に表示す
ることができなくなり、操作性が悪くなると同時に、光
学側定義の最大長所である目で観察できるという利点が
制限されるという問題点を有していた。 即ち、出願人が、載物台上に配置された測定対象物に光
照射する照明光学系と、前記測定対象物と関与した光（
反射光、通過光あるいは透過光）を受けて、測定対象部
分の像を拡大する拡大光学系と、所定の測定対象部分を
拡大ずべく、前記載物台と拡大光学系とを相対移動させ
る移動（４構と、＋ｉｉｊ記拡大光学系に光電結合され
、測定対象部分の拡大（象を映すモニタ装置と、該拡大
像を処理して、測定対象物の寸法や形状等を求める計測
手段とを備えた画像処理型Ｗ、１１定償を試作ＴＩＩ′
ｌ究したところ、迅速な測定を可能として実効を１！７
１するためには、’＜ｆ４大な問題が内在していること
を認識できた。 即ち、通常、拡大光学系と載物台を相対移動させるｕｌ
ＩＭは、２次元の場合、Ｘ−Ｙ方向に独立移動できる
よう形成される。従って、載物台に測定対象物を取付け
る場合、両名の軸線を合￥ｌｔ！シめることが求められ
る。 しかしながら、０．１μｍオーダで評価しにうとする画
殻処理型測定践にＪ３いて、軸線を合わし゛た取付けは
、例え治具を準備したとしても、事実上至難である。又
、これを強制ずれば、その測定埠（（１１作業が煩随ず
ぎ、長時間を要し極めて作Ｖ’ｓ ｌｕ亭が悪いものと
なってしまう。 １追って、ある程度の位置ずれ取付けは許容ＵざるをＩ
＋７な、いが、その程度を定量的に規定できず、人によ
っても異なるので、結果として拡大像が七二タ装買に傾
斜映像され、所定拡大像のｊぢ択操１′１：に支障をき
たすほか、一段に両測定、Ｌツジが映像ざ机ない場合に
あっては、一方側で慎重にエツジ検出しても、他方側で
検出誤着が発生したり、１．スしい場合には検知不能と
なるという事態も招来した。 又、拡大光学系において測定対象物の測定対象部分が基
準姿態でモニタ装置に映された（すは、１！ＩＩ定対粂
部分のエツジ演出等を１１って、所定の画（（（ミ処理
を行うことは、電子技術の発達から明らかな通り容易で
あり、迅速且つ正確な測定を行うことができるが、その
前に、所定の測定対象部分を選択して、これをモニタ装
置に拡大表示するまでの、いわゆる準備工桿に多大な時
間や労力を右し、又拡大像の選択を誤る場合も多かった
。 これは、通常、数十倍の拡大率をもってモニタ装置に表
示される拡大性が、測定対象物のいずれの個所に該当す
るのか見極めるのが困難である１ζめ、操作者が、測定
対象物とモニタ装置とを比較確認しつつ、載物台と拡大
光学系との相対移動作業をｉテリなければならないから
であるつしかも、拡大像と測定対象物との対応させた形
状や模様、更には測定点の順序等を確実に記憶しておか
なければ、比較確認すら行い梵いので、熟練者１ノか１
モ作できないという問題もある。従って、特にｔＣパタ
ーンのように繰返し形状のある測定対象物の場合や、載
物台上に測定対象物を傾斜して取付けた場合には更に作
業困難となり、又、光透過あるいは通′Ａ型の照明光学
系を選択したときには、目？５１確認が困到となるとい
う事態も１Ｂ＜。更に又、確認困難のため、１ｔｔ作名
が数冊本体に近付き過ざる危険性もあった。 このような問題点は、測定手順の各ステップＦｎに操作
者が操作する手動型だけでなく、測定千阿ｉプログラム
に基づいて前期相対移動を自動的に行う自動型にあって
も、測定手順プログラム作成上のテーチング作業中に手
動型のそれと全く同様の手順を踏まなければならないの
で、問題は同じである。
【発明の目的１
本発明は、前期従来の問題点を解消するべくなされたも
ので、測定対象物の取付姿態に拘りら１ノ゛、拡大像に
よる測定を正確、迅速１つ容易に行うことができる画像
処理式測定装置を１ヱ供することを第１の目的どする。 本発明は、更に、測定対象物上の拡大像の位置を容易に
確認することができる画像処理式測定装置を提供するこ
とを第２の目的とする。 【問題点を解決するための手段】 本発明は、第１図にその要旨構成を示す如く、載物台１
ｏ上に配置された測定対象物１２に光照射する照明光学
系１４と、前記測定対客物１２と関与した光を受けて、
測定対象部分の象を拡大する拡大光学系１６と、所定の
測定対象部分を拡大サベく、前記載物台１０と拡大光学
系１６とを相対移動させる移動機構１８と、前記拡大光
学系１６に例えばテレビカメラ２０を用いて光電結合さ
机、測定対象部分の拡大像を映すモニタ装置２２と、該
拡大像を例えばエツジ検出処理して、測定対象物の寸法
や形状等を求める計測手段とを隔えた画像処理式測定装
置において、前記載物台１０に対する測定対象物１２の
取ｆ１角度と両者の基準相対角度との角度差を、前記拡
大光学系１６による拡大像を評価して求める角度差識別
手段２４と、該角度差識別手段２４出力の角度差１３号
に応じて、前記角度差を打潤す反対方向に前記拡大像を
傾斜させて前記モニタ装置２２に映す゛ための角度補正
手段２６とを設け、前記モニタ装置２２の拡大［ＩＱの
姿態を常に基準姿態に傾斜補正するように構成して、１
）を２第１の目的を達成したものである。 又、本発明は、前記のにうむ画像処理式測定装置におい
て、第２図にその要旨構成を示寸如く、前記測定対象物
１２の全体像を捉える全体光学系２８と、該全体像を固
定的に映す第２のモニタ装置（第２図ではモニタ装置２
２と共用）と、＋１ｉ＋記載物台１０と拡大光学系１６
の相対移動変位量から、前記拡大像の測定対象物１２上
の現在位置を特定する現在位置特定手段３０と、前記載
物台１０に対する測定対象物１２の取付角度と両者の基
準相対角度との角度差を、前記拡大光学系１６による拡
大像又は全体光学系２８にＪ：る仝体１象の少くどもい
ずれか一方を評価して求める角度差識別手段２４ど、該
角度差識別手段２４出力のｆＱ度メｆ１５号に応じて、
前記角度差を打消づ反対方向に前記拡大像及び全体像を
傾斜さ往て前記モニタ装置２２に映寸ための角α補正手
段２６とを設け、前記拡大像の姿態を常に基準姿態に傾
斜補正すると共に、前記載物台１０ど拡大光学系１６の
相対移動に伴って変位する拡大像の現在位置を、同じく
基準姿態に傾斜補正した全体像上に重複表示させるよう
に構成することにより、前記第２の目的を）構成したも
のである。 又、本発明の実ＩＭ態様は、前記拡大像の傾斜ｉＩｉ正
角度と前記全体俄の傾斜補正角度を、各々独立に調整可
能どするようにしたものである。 又、本発明の実施態様は、前記モニタ装置と第２のモニ
タ装置を、表示両面を同一として形成したものである。 （作用］ 本発明は、前記のよう′な画像処理式測定装置において
、載物台に対する測定対染物の取付角度と両９１のｊＱ
ｌ ｉｌ＋相対角度との角度差を、拡大光学系による拡
大像を評価して求める角度差識別手段と、該角度差識別
手段出力の角度差信号に応じて、前記角度差を打消す反
対方向に前記拡大像を傾斜させてモニタ装置に映すため
の角度補正手段とを設け、前記モニタ装置の拡大代の姿
態を常に基？（−姿態に傾斜補正するように（７＋１成
している。従って、測定対象物の取付姿態に拘わらず、
拡大像を水平姿態、垂直姿態等の所定のも１ハｆ姿（ぶ
で映し出づことができ、拡大像による測定を正確、迅速
且つ容易に行うことができる。 本発明は、又、前記のような画像タハ理式測定装置にお
いて、測定対象物の全体（象を捉える全体光学系と、該
全体１′ＣＡを固定的に映す第２のモニタ装置と、載物
台と拡大光学系の相対移動変位量から、拡大□□□の測
定対象物上の現在位置を特定する現在位置特定手段と、
前記載物台に対する測定対ｅ−１均の取付角度と両者の
コ；木姑相対角度との角１夏着を、前記拡大光学系によ
る拡大像又は全体光学系による全体像の少くともいずれ
か一方を評価して求める角度差識別手段と、該角麿差識
別手［Ω出力の角度差１８号に応じて、１）ａ記角度丹
を打消１１−反え１方向に前記拡大（〜及び全体像をｌ
１ｈｉ斜さｕでモニク哀「に１ｌｌＪＢ−、ｌための角
度補正手段とを；９け、前記拡大ｉ矛の姿態を常に基準
姿態に傾斜補正すると共に、前記載物台と拡大光学系の
相対移動に伴って変位する拡大像の現在１ヴ首を、同じ
く阜ｔｉ姿態に傾斜？＋（ｉ正した全体像上に重複表示
させるように１１う成している。従って、拡大像及び全
体像を基ｉｐ姿態で映し出すことができるだけでイ≧く
、載物台と拡大光学系の相対移動に伴って変位する拡大
像の位置を確認することができ、拡大像による測定を迅
速りつ容易に行うことができる。 又、前記拡大像の傾斜補正角度と前記全体像のＫｉｊ：
ｌ ？ｉｌｉ正角度を、各々独立に調整可能とした場合
には、拡大１悦と全体像の基準姿態が異なる場合にも容
易に対応できる。 又、前記モニタ装置と第２のモニタ装置を、表示両面を
同一として形成した場合には、装置の構成が比較的単純
となり、小型化できる。 （実施例１ 以下図面を参照して、本発明が採用された両１ｆｆｉ処
理型測定（大の実施例を詳細に説明する。 本発明の第１実施例は、第３図に示づ如く、載物台であ
るＸ−Ｙテーブル４０、該Ｘ−Ｙテーブル／１０をＸ−
Ｙ方向に移動自在に支持する、側面にＪす定３−１象物
を１．１Ｑ入出するための１肴入出口４２△が形成され
たテーブル栗白４２、照明光学系、４１１、大光学系、
全体光学系、テレビカメラ等が内蔵された、Ｚ＠方向に
移動自在む測定ヘッド４４、該測定ヘッド４４をＸ−Ｙ
テーブル４０上ぐ支持ヅる支持アーム４６答を有し、前
記Ｘ−Ｙテーブル４０の位置を制ｔ）［１するための駆
動制御系、ｆｌｉｔ記×−Ｙテーブル４０の位置を検出
するための直線■１変位検出器をＣむ位置検出系、前記
照明光学系を制御するための照明制御系、前記拡大光学
系や全体光学系のレンズを制御づ゛るためのレンズＩｉ
’ｌ １ｌｌｎ系、前記テレビカメラで１７られた画像
を処理するための、本発明による角度差識別回路どｉ１
４斜補正補正を含むビデオα理系、前記テレビカメラの
焦点を自動的に調節覆るためのオートフォーカス系等が
内蔵された測定台３８ど、前記テレビカメラで捉えられ
、傾斜補正された１ｑ：人像及び全体像を（ＩＨＩＨづ
モニタ装置４８と、ハードデスクやフロッピーデスク及
び中央処理ユニットを合むコンピュータ５０ど、該コン
ピュータ５０に必要イア指令を与えたりあるいは前記Ｘ
−Ｙテーブル４０を操作したｔつするためのジョイステ
ィック５２、操作＝、ｐ ５４及びデジタイザ５６と、
測定対象物の全体像の輪郭等を必要に応じて描くための
プロッタ５８とから主に溝成されている。 前記測定ヘッド４／Ｉの内部では、′ｆ３４図に詳細に
示した如く、少くとも１木の拡大光学系６０及び全体光
学系６２が軸６４Ａ廻りに回動可能とされたレボルバ６
４上に固定され、例えばベルト６６を介して光学系切換
モークロ８にｊ：り該レボルバ６４の位置を切換えるこ
とによって、拡大光学系６０と仝体光学系６２が切換え
可能とされ、単一のテレビカメラ７０の受光部７０Ａに
像が入力覆るようにされている。図にＪ３いて、７２は
、光軸の位置決めを行うためのクリック、７４は、どの
光学系が使用されているかを検出器るだめの光学系検出
センサである。 以下第１実施例の作用を説明する。 まず、Ｘ−Ｙテーブル４０上に測定対柔物をセットづ゛
る。次いで、ヌーＹテーブル４０の位置を大略調整した
後、光学系切換モータ６８を駆動して全体光学系６２を
テレビカメラ７０の前面に挿入し、測定対象物の全体像
を捉えて、傾斜補正を行った後、モニタ装置４８の画面
の一部分、例えば第５図に示づ如く左−ヒ部に固定的に
表示づ゛ろ。 この全体像の表示は、以後測定が終了するまで床持して
おく。 次いで、光学系切換モータ６８を駆動してレボルバ６４
を回転させ、所定倍率の拡大光学系６０をテレビカメラ
７０の前面に押入り゛る。ｊ広大光学系６ｏによって捉
えられ、傾斜補正されＩζ拡大像は、第５図に示した如
く、モニタ装置／Ｉ８の例えば左下部に表示される。 Ｘ−Ｙテーブル４０の位γ、即ち拡大光学系６０の測定
対象物に対する位置は、例えばテーブル架台４２に内蔵
された直線型変位検出器で検出されており、これによっ
て検出された拡大光学系６０とＸ−Ｙテーブル４０の位
置間係が、前記全体■上に例えば輝点の現在位置マーク
で重複表示される。 従って測定者は、望む目標値に向【ノて、全体Ｒｆ上に
表示された現在位置マークを近付けよう、ジョイスティ
ック５２、デジタイザ５６又はライトベン（図示省略）
等を用いてＸ−Ｙテーブル４０を駆動する。 第５図に示した如く、測定すべきエツジ線Ｇ−Ｇを含む
所望拡大像がモニタ装置４８に表示された段階で、操作
者が探作車５４のボタン、例えばデジタイザ５６で第５
図の矢印Ａ→Ｂに示づ如く、エツジ検出系路の位置と方
向を定め、エツジ検出ボタンをオンとすると、エツジ点
Ｈでエツジ位置（画面中心からの長さし１）が自動的に
検出される。 次いで、Ｘ−Ｙテーブル移動量を移動させ、第６図に示
す如く、反対側のエツジ線Ｊ−’Ｊを含む所望拡大像を
モニタ装置４８に表示する。次いで、第５図とは逆に、
矢印Ｃ→Ｄの如くエツジ検出系路の位置と方向を定め、
エツジ点にの位置〈画面中心からの長さＬ２）を求める
。 このようにしてエツジ点ＦＩＫ間の寸法を、（寸法Ｌ１
＋寸法Ｌ２＋変位検出器で検出したテーブル移動量）で
求めることができる。なａ３、この場合には、モニタ装
胃４８上でエツジ線Ｇ −ＧとＪ−Ｊが同一線上に位置
付けされたと仮定している。 ここで測定精度は、テレビカメラ７０の分盲了能をＷ５
００ビクセルＸ Ｈ５００ビクセル（受光面の大ぎさを
１０ｘ１０關とする）、拡大光学系６０の侶埠ｔを５０
１８とした時、テレビカメラ７０からの出力信号は、横
方向について、１１５０Ｘ１０．１５００＝１／２５０
０／ビクセルと仕る。従って、測定対象の腺を、０．１
１μｍ／ビクヒルの分解能で評価できることになる。こ
の揚台、前記変位検出器の出力信号の分ガＹ能は０．４
μｍ以上どづ゛る。これは、第７図に示す如く、エツジ
線Ｇ−ＧどＪ−Ｊを同時に映した場合には、土ツジ腺Ｇ
−Ｇ−Ｊ−Ｊ間に入るピクセル攻×０．４μｍがＧ−Ｇ
−Ｊ−Ｊ間寸法となる。 処理データは記憶され、必要に応じてメツレージとして
、前出第５図に示した如くモニタ装置４８の右半分に出
力される。 な３３円の径や仮想中心位置、勾配、角度等も、それぞ
れ同様の手順でエツジを検出して同様に１１１定するこ
とができる。この拡大伝に対するエツジ検出方向、検出
点数、拡大づべき測定対象物の位置等は、各スデツブ毎
に決められた測定プログラムどして記↑０されている。 なお前記全体光学系６２で捕えられた全体代は、輪郭の
みを抽出し、スケッチ図として、プリンタやプロッタ５
８へ出力することができ、従来の手出に比べて正確で速
やかにトレース図が作成でさる。又、トレース図形上に
測定結果を記入づ“ることも可能となる。更に、全体浄
上に、第８図に示づ如く、座標軸や測定点（円の中心Ｃ
１や直線の交点Ｉ＋、Ｉｚ等）を名称付きで重ねて表示
することもできる。この場合には、測定手順の把握や図
面との対比が容易と４にるので、複鉗なデータ処理を行
う場合に便利である。 この第１実施例においては、拡大光学系６０と全体光学
系６２を、倍率の異なる複数組のレンズ系を設けてＶＪ
換え可能に（ｊ４成しているので、各光学系の設訓が容
易である。 又、この第１実施四においては、テレビカメラ７０を共
用としているので、装置を′り、価に（ｊ・１成するこ
とができる。なおテレビカメラ７０を拡大光学系６０と
全体光学系６２のそれぞれに設けることも可能である。 更に、この第１実施例においては、７１−１〜フオ一カ
ス機構を絹み込んでいるので、画像がｊ了明となり測定
精度が高い。なＪ３、オートフォーカス１；１描を省略
することも可能である。 次に本発明の第２実施例を詳細に説明する。 この′？５２実施例は、第９図に示ず如く、全体光学系
をズームレンズ８０で（ｒ１１成するど共に、移動ボッ
クス８２を図の右方向に移動８ぼた時に、Ｊｌ：１定用
レンズ８４即ら拡大レンズとなるようにして拡大光学系
を形成したものである。 第９図において、８６はミラー、８８は、ギ１１９Ｑを
介してズームレンズ８０のズーミングを行うためのズー
ム用モータ、９２はズーム位置を（の出するためのセン
サ、９１及び９６は、それぞれＶレール」ニに支持され
た移！ＦＪＪ板及び固定板、９８は、移動ボックス８２
を光学系切換モータ６８によって駆動するためのラック
である。 面間測定用レンズ８／ｌは、例えばレボルバ（図示省略
）等により、拡大率の異なるものに切換えあるいは、着
脱により交換可能とされている。 他の点については前記第１実施例と同様であるので説明
は省ｉ’１８づ゛る。 この第２実施例においては、第９図に示した状態で測定
用レンズ８４及びズームレンズ８０を介してテレビカメ
ラ７０に入力される像によって、全体象の表示が行われ
る。なａ３、ズームレンズ８０の拡大率は、ズーム用モ
ータ８８で変えられる。 一方、拡大像を覗察する際には、光学系Ｉ、ｌ１７１灸
えモータ６８によりランク９８を介して移動ボックス８
２の全体を図の右方向に移動刃る。すると、光路中から
ズームレンズ８０が外されて測定用レンズ８４による拡
大光学系となる。 この第２実り色間にｉＪ３いては、光学系を切換えるた
めの１ま構が測定ヘッド４４内に完全に収容されている
ので、破損の恐れが少ない。又、全体光学系にズームレ
ンズ８０を用いているので、Ｉｌｌ定対象物の大きさに
合わせて任意の縮小倍率を連携することが容易にできる
。 なお前記実／ＩＩ！ｉ例においては、いずれも、拡大光
学系と全体光学系が独立とされていたが、第１０図に承
り第３実施例の如く、例えば甲−のズームレンズ８０を
用いて、光学系を光軸方向に変ｆ、ｌ、可能なレンズ系
で形成し、該レンズ系の位置を調整することで、例えば
拡大率ｎ倍（ｎ＝３０．２０．４０等）の拡大光学系ど
簡小率１ ／ ｎ １３の全体光学系を共用することも
可能である。この場合に（よ、測定ヘッドを小型化する
ことが可能である。又、全体光学系を省略することも可
能である。 又、＋”＋ｉｆ記実施例においては、いずれも、光学系
の現在位置のみを輝点て表示するようにしていｌこが、
予め記憶しておいた測定プログラムに従つζ、移動すべ
き次の目標位置も合わせてマーク表示又は接近程度によ
って点滅表示することら可能である。更に、現在位置が
目標位置と一致した０）に、へ１測Ｑ’＝ ｆ（ｉ°１
完了信号を出力することも可能である。 これらの場合には、操作名が測定点の順序を熟知してい
なくても、正確な測定が迅速に行える。 なＣ１５、前記実施例においては、いずれも、Ｘ−Ｙテ
ーブル４０を用いて載物台をＸ−Ｙ方向に移動し、測定
ヘッド４４を用いて光学系をＺ軸方向に移動するように
構成していたが、載物台と光らγ・系を相対移すＪさせ
る構成は、これに限定されず、例えば、載物台を固定し
、光学系のみをＸＹＺ方向に移動するように構成するこ
ともできる。 又、前記実施例においては、いずれも、本発明が２次元
測定（；（に用いられていたが、本発明の適用範囲はこ
れに限定されず、オートフォーカス別格を利用して３次
元測定ｌ凌としたり、あるいは顕微鏡等にも同様に適用
できることが明らかである。 ［発明の効果］ 以上説明した通り、本発明によれば、測定対象１力の取
付姿態に拘わらず、拡大画や全体像を所定の基準￥態で
映し出づ゛ことができ、従って、迅速且つ確実な測定が
可能となるという岡れた効果を有づ゛る。
ので、測定対象物の取付姿態に拘りら１ノ゛、拡大像に
よる測定を正確、迅速１つ容易に行うことができる画像
処理式測定装置を１ヱ供することを第１の目的どする。 本発明は、更に、測定対象物上の拡大像の位置を容易に
確認することができる画像処理式測定装置を提供するこ
とを第２の目的とする。 【問題点を解決するための手段】 本発明は、第１図にその要旨構成を示す如く、載物台１
ｏ上に配置された測定対象物１２に光照射する照明光学
系１４と、前記測定対客物１２と関与した光を受けて、
測定対象部分の象を拡大する拡大光学系１６と、所定の
測定対象部分を拡大サベく、前記載物台１０と拡大光学
系１６とを相対移動させる移動機構１８と、前記拡大光
学系１６に例えばテレビカメラ２０を用いて光電結合さ
机、測定対象部分の拡大像を映すモニタ装置２２と、該
拡大像を例えばエツジ検出処理して、測定対象物の寸法
や形状等を求める計測手段とを隔えた画像処理式測定装
置において、前記載物台１０に対する測定対象物１２の
取ｆ１角度と両者の基準相対角度との角度差を、前記拡
大光学系１６による拡大像を評価して求める角度差識別
手段２４と、該角度差識別手段２４出力の角度差１３号
に応じて、前記角度差を打潤す反対方向に前記拡大像を
傾斜させて前記モニタ装置２２に映す゛ための角度補正
手段２６とを設け、前記モニタ装置２２の拡大［ＩＱの
姿態を常に基準姿態に傾斜補正するように構成して、１
）を２第１の目的を達成したものである。 又、本発明は、前記のにうむ画像処理式測定装置におい
て、第２図にその要旨構成を示寸如く、前記測定対象物
１２の全体像を捉える全体光学系２８と、該全体像を固
定的に映す第２のモニタ装置（第２図ではモニタ装置２
２と共用）と、＋１ｉ＋記載物台１０と拡大光学系１６
の相対移動変位量から、前記拡大像の測定対象物１２上
の現在位置を特定する現在位置特定手段３０と、前記載
物台１０に対する測定対象物１２の取付角度と両者の基
準相対角度との角度差を、前記拡大光学系１６による拡
大像又は全体光学系２８にＪ：る仝体１象の少くどもい
ずれか一方を評価して求める角度差識別手段２４ど、該
角度差識別手段２４出力のｆＱ度メｆ１５号に応じて、
前記角度差を打消づ反対方向に前記拡大像及び全体像を
傾斜さ往て前記モニタ装置２２に映寸ための角α補正手
段２６とを設け、前記拡大像の姿態を常に基準姿態に傾
斜補正すると共に、前記載物台１０ど拡大光学系１６の
相対移動に伴って変位する拡大像の現在位置を、同じく
基準姿態に傾斜補正した全体像上に重複表示させるよう
に構成することにより、前記第２の目的を）構成したも
のである。 又、本発明の実ＩＭ態様は、前記拡大像の傾斜ｉＩｉ正
角度と前記全体俄の傾斜補正角度を、各々独立に調整可
能どするようにしたものである。 又、本発明の実施態様は、前記モニタ装置と第２のモニ
タ装置を、表示両面を同一として形成したものである。 （作用］ 本発明は、前記のよう′な画像処理式測定装置において
、載物台に対する測定対染物の取付角度と両９１のｊＱ
ｌ ｉｌ＋相対角度との角度差を、拡大光学系による拡
大像を評価して求める角度差識別手段と、該角度差識別
手段出力の角度差信号に応じて、前記角度差を打消す反
対方向に前記拡大像を傾斜させてモニタ装置に映すため
の角度補正手段とを設け、前記モニタ装置の拡大代の姿
態を常に基？（−姿態に傾斜補正するように（７＋１成
している。従って、測定対象物の取付姿態に拘わらず、
拡大像を水平姿態、垂直姿態等の所定のも１ハｆ姿（ぶ
で映し出づことができ、拡大像による測定を正確、迅速
且つ容易に行うことができる。 本発明は、又、前記のような画像タハ理式測定装置にお
いて、測定対象物の全体（象を捉える全体光学系と、該
全体１′ＣＡを固定的に映す第２のモニタ装置と、載物
台と拡大光学系の相対移動変位量から、拡大□□□の測
定対象物上の現在位置を特定する現在位置特定手段と、
前記載物台に対する測定対ｅ−１均の取付角度と両者の
コ；木姑相対角度との角１夏着を、前記拡大光学系によ
る拡大像又は全体光学系による全体像の少くともいずれ
か一方を評価して求める角度差識別手段と、該角麿差識
別手［Ω出力の角度差１８号に応じて、１）ａ記角度丹
を打消１１−反え１方向に前記拡大（〜及び全体像をｌ
１ｈｉ斜さｕでモニク哀「に１ｌｌＪＢ−、ｌための角
度補正手段とを；９け、前記拡大ｉ矛の姿態を常に基準
姿態に傾斜補正すると共に、前記載物台と拡大光学系の
相対移動に伴って変位する拡大像の現在１ヴ首を、同じ
く阜ｔｉ姿態に傾斜？＋（ｉ正した全体像上に重複表示
させるように１１う成している。従って、拡大像及び全
体像を基ｉｐ姿態で映し出すことができるだけでイ≧く
、載物台と拡大光学系の相対移動に伴って変位する拡大
像の位置を確認することができ、拡大像による測定を迅
速りつ容易に行うことができる。 又、前記拡大像の傾斜補正角度と前記全体像のＫｉｊ：
ｌ ？ｉｌｉ正角度を、各々独立に調整可能とした場合
には、拡大１悦と全体像の基準姿態が異なる場合にも容
易に対応できる。 又、前記モニタ装置と第２のモニタ装置を、表示両面を
同一として形成した場合には、装置の構成が比較的単純
となり、小型化できる。 （実施例１ 以下図面を参照して、本発明が採用された両１ｆｆｉ処
理型測定（大の実施例を詳細に説明する。 本発明の第１実施例は、第３図に示づ如く、載物台であ
るＸ−Ｙテーブル４０、該Ｘ−Ｙテーブル／１０をＸ−
Ｙ方向に移動自在に支持する、側面にＪす定３−１象物
を１．１Ｑ入出するための１肴入出口４２△が形成され
たテーブル栗白４２、照明光学系、４１１、大光学系、
全体光学系、テレビカメラ等が内蔵された、Ｚ＠方向に
移動自在む測定ヘッド４４、該測定ヘッド４４をＸ−Ｙ
テーブル４０上ぐ支持ヅる支持アーム４６答を有し、前
記Ｘ−Ｙテーブル４０の位置を制ｔ）［１するための駆
動制御系、ｆｌｉｔ記×−Ｙテーブル４０の位置を検出
するための直線■１変位検出器をＣむ位置検出系、前記
照明光学系を制御するための照明制御系、前記拡大光学
系や全体光学系のレンズを制御づ゛るためのレンズＩｉ
’ｌ １ｌｌｎ系、前記テレビカメラで１７られた画像
を処理するための、本発明による角度差識別回路どｉ１
４斜補正補正を含むビデオα理系、前記テレビカメラの
焦点を自動的に調節覆るためのオートフォーカス系等が
内蔵された測定台３８ど、前記テレビカメラで捉えられ
、傾斜補正された１ｑ：人像及び全体像を（ＩＨＩＨづ
モニタ装置４８と、ハードデスクやフロッピーデスク及
び中央処理ユニットを合むコンピュータ５０ど、該コン
ピュータ５０に必要イア指令を与えたりあるいは前記Ｘ
−Ｙテーブル４０を操作したｔつするためのジョイステ
ィック５２、操作＝、ｐ ５４及びデジタイザ５６と、
測定対象物の全体像の輪郭等を必要に応じて描くための
プロッタ５８とから主に溝成されている。 前記測定ヘッド４／Ｉの内部では、′ｆ３４図に詳細に
示した如く、少くとも１木の拡大光学系６０及び全体光
学系６２が軸６４Ａ廻りに回動可能とされたレボルバ６
４上に固定され、例えばベルト６６を介して光学系切換
モークロ８にｊ：り該レボルバ６４の位置を切換えるこ
とによって、拡大光学系６０と仝体光学系６２が切換え
可能とされ、単一のテレビカメラ７０の受光部７０Ａに
像が入力覆るようにされている。図にＪ３いて、７２は
、光軸の位置決めを行うためのクリック、７４は、どの
光学系が使用されているかを検出器るだめの光学系検出
センサである。 以下第１実施例の作用を説明する。 まず、Ｘ−Ｙテーブル４０上に測定対柔物をセットづ゛
る。次いで、ヌーＹテーブル４０の位置を大略調整した
後、光学系切換モータ６８を駆動して全体光学系６２を
テレビカメラ７０の前面に挿入し、測定対象物の全体像
を捉えて、傾斜補正を行った後、モニタ装置４８の画面
の一部分、例えば第５図に示づ如く左−ヒ部に固定的に
表示づ゛ろ。 この全体像の表示は、以後測定が終了するまで床持して
おく。 次いで、光学系切換モータ６８を駆動してレボルバ６４
を回転させ、所定倍率の拡大光学系６０をテレビカメラ
７０の前面に押入り゛る。ｊ広大光学系６ｏによって捉
えられ、傾斜補正されＩζ拡大像は、第５図に示した如
く、モニタ装置／Ｉ８の例えば左下部に表示される。 Ｘ−Ｙテーブル４０の位γ、即ち拡大光学系６０の測定
対象物に対する位置は、例えばテーブル架台４２に内蔵
された直線型変位検出器で検出されており、これによっ
て検出された拡大光学系６０とＸ−Ｙテーブル４０の位
置間係が、前記全体■上に例えば輝点の現在位置マーク
で重複表示される。 従って測定者は、望む目標値に向【ノて、全体Ｒｆ上に
表示された現在位置マークを近付けよう、ジョイスティ
ック５２、デジタイザ５６又はライトベン（図示省略）
等を用いてＸ−Ｙテーブル４０を駆動する。 第５図に示した如く、測定すべきエツジ線Ｇ−Ｇを含む
所望拡大像がモニタ装置４８に表示された段階で、操作
者が探作車５４のボタン、例えばデジタイザ５６で第５
図の矢印Ａ→Ｂに示づ如く、エツジ検出系路の位置と方
向を定め、エツジ検出ボタンをオンとすると、エツジ点
Ｈでエツジ位置（画面中心からの長さし１）が自動的に
検出される。 次いで、Ｘ−Ｙテーブル移動量を移動させ、第６図に示
す如く、反対側のエツジ線Ｊ−’Ｊを含む所望拡大像を
モニタ装置４８に表示する。次いで、第５図とは逆に、
矢印Ｃ→Ｄの如くエツジ検出系路の位置と方向を定め、
エツジ点にの位置〈画面中心からの長さＬ２）を求める
。 このようにしてエツジ点ＦＩＫ間の寸法を、（寸法Ｌ１
＋寸法Ｌ２＋変位検出器で検出したテーブル移動量）で
求めることができる。なａ３、この場合には、モニタ装
胃４８上でエツジ線Ｇ −ＧとＪ−Ｊが同一線上に位置
付けされたと仮定している。 ここで測定精度は、テレビカメラ７０の分盲了能をＷ５
００ビクセルＸ Ｈ５００ビクセル（受光面の大ぎさを
１０ｘ１０關とする）、拡大光学系６０の侶埠ｔを５０
１８とした時、テレビカメラ７０からの出力信号は、横
方向について、１１５０Ｘ１０．１５００＝１／２５０
０／ビクセルと仕る。従って、測定対象の腺を、０．１
１μｍ／ビクヒルの分解能で評価できることになる。こ
の揚台、前記変位検出器の出力信号の分ガＹ能は０．４
μｍ以上どづ゛る。これは、第７図に示す如く、エツジ
線Ｇ−ＧどＪ−Ｊを同時に映した場合には、土ツジ腺Ｇ
−Ｇ−Ｊ−Ｊ間に入るピクセル攻×０．４μｍがＧ−Ｇ
−Ｊ−Ｊ間寸法となる。 処理データは記憶され、必要に応じてメツレージとして
、前出第５図に示した如くモニタ装置４８の右半分に出
力される。 な３３円の径や仮想中心位置、勾配、角度等も、それぞ
れ同様の手順でエツジを検出して同様に１１１定するこ
とができる。この拡大伝に対するエツジ検出方向、検出
点数、拡大づべき測定対象物の位置等は、各スデツブ毎
に決められた測定プログラムどして記↑０されている。 なお前記全体光学系６２で捕えられた全体代は、輪郭の
みを抽出し、スケッチ図として、プリンタやプロッタ５
８へ出力することができ、従来の手出に比べて正確で速
やかにトレース図が作成でさる。又、トレース図形上に
測定結果を記入づ“ることも可能となる。更に、全体浄
上に、第８図に示づ如く、座標軸や測定点（円の中心Ｃ
１や直線の交点Ｉ＋、Ｉｚ等）を名称付きで重ねて表示
することもできる。この場合には、測定手順の把握や図
面との対比が容易と４にるので、複鉗なデータ処理を行
う場合に便利である。 この第１実施例においては、拡大光学系６０と全体光学
系６２を、倍率の異なる複数組のレンズ系を設けてＶＪ
換え可能に（ｊ４成しているので、各光学系の設訓が容
易である。 又、この第１実施四においては、テレビカメラ７０を共
用としているので、装置を′り、価に（ｊ・１成するこ
とができる。なおテレビカメラ７０を拡大光学系６０と
全体光学系６２のそれぞれに設けることも可能である。 更に、この第１実施例においては、７１−１〜フオ一カ
ス機構を絹み込んでいるので、画像がｊ了明となり測定
精度が高い。なＪ３、オートフォーカス１；１描を省略
することも可能である。 次に本発明の第２実施例を詳細に説明する。 この′？５２実施例は、第９図に示ず如く、全体光学系
をズームレンズ８０で（ｒ１１成するど共に、移動ボッ
クス８２を図の右方向に移動８ぼた時に、Ｊｌ：１定用
レンズ８４即ら拡大レンズとなるようにして拡大光学系
を形成したものである。 第９図において、８６はミラー、８８は、ギ１１９Ｑを
介してズームレンズ８０のズーミングを行うためのズー
ム用モータ、９２はズーム位置を（の出するためのセン
サ、９１及び９６は、それぞれＶレール」ニに支持され
た移！ＦＪＪ板及び固定板、９８は、移動ボックス８２
を光学系切換モータ６８によって駆動するためのラック
である。 面間測定用レンズ８／ｌは、例えばレボルバ（図示省略
）等により、拡大率の異なるものに切換えあるいは、着
脱により交換可能とされている。 他の点については前記第１実施例と同様であるので説明
は省ｉ’１８づ゛る。 この第２実施例においては、第９図に示した状態で測定
用レンズ８４及びズームレンズ８０を介してテレビカメ
ラ７０に入力される像によって、全体象の表示が行われ
る。なａ３、ズームレンズ８０の拡大率は、ズーム用モ
ータ８８で変えられる。 一方、拡大像を覗察する際には、光学系Ｉ、ｌ１７１灸
えモータ６８によりランク９８を介して移動ボックス８
２の全体を図の右方向に移動刃る。すると、光路中から
ズームレンズ８０が外されて測定用レンズ８４による拡
大光学系となる。 この第２実り色間にｉＪ３いては、光学系を切換えるた
めの１ま構が測定ヘッド４４内に完全に収容されている
ので、破損の恐れが少ない。又、全体光学系にズームレ
ンズ８０を用いているので、Ｉｌｌ定対象物の大きさに
合わせて任意の縮小倍率を連携することが容易にできる
。 なお前記実／ＩＩ！ｉ例においては、いずれも、拡大光
学系と全体光学系が独立とされていたが、第１０図に承
り第３実施例の如く、例えば甲−のズームレンズ８０を
用いて、光学系を光軸方向に変ｆ、ｌ、可能なレンズ系
で形成し、該レンズ系の位置を調整することで、例えば
拡大率ｎ倍（ｎ＝３０．２０．４０等）の拡大光学系ど
簡小率１ ／ ｎ １３の全体光学系を共用することも
可能である。この場合に（よ、測定ヘッドを小型化する
ことが可能である。又、全体光学系を省略することも可
能である。 又、＋”＋ｉｆ記実施例においては、いずれも、光学系
の現在位置のみを輝点て表示するようにしていｌこが、
予め記憶しておいた測定プログラムに従つζ、移動すべ
き次の目標位置も合わせてマーク表示又は接近程度によ
って点滅表示することら可能である。更に、現在位置が
目標位置と一致した０）に、へ１測Ｑ’＝ ｆ（ｉ°１
完了信号を出力することも可能である。 これらの場合には、操作名が測定点の順序を熟知してい
なくても、正確な測定が迅速に行える。 なＣ１５、前記実施例においては、いずれも、Ｘ−Ｙテ
ーブル４０を用いて載物台をＸ−Ｙ方向に移動し、測定
ヘッド４４を用いて光学系をＺ軸方向に移動するように
構成していたが、載物台と光らγ・系を相対移すＪさせ
る構成は、これに限定されず、例えば、載物台を固定し
、光学系のみをＸＹＺ方向に移動するように構成するこ
ともできる。 又、前記実施例においては、いずれも、本発明が２次元
測定（；（に用いられていたが、本発明の適用範囲はこ
れに限定されず、オートフォーカス別格を利用して３次
元測定ｌ凌としたり、あるいは顕微鏡等にも同様に適用
できることが明らかである。 ［発明の効果］ 以上説明した通り、本発明によれば、測定対象１力の取
付姿態に拘わらず、拡大画や全体像を所定の基準￥態で
映し出づ゛ことができ、従って、迅速且つ確実な測定が
可能となるという岡れた効果を有づ゛る。
第１図及び第２図は、本発明に係る画像処］１１ｊ式測
定装置の基本的な構成の例を示づブロック線図、第３図
は、本発明が採用された両（免処理型測定汐の第１実施
例の全体構成を示す斜視図、第４図は、前記第１実施例
の測定ヘッドの構成を示す断面図、第５図は、前記第１
実施例におけるモニタ装置の表示例を示す線図、第６図
及び第７図は、前記第１実施例におけるモニタ装置の拡
大像の表示例泰示１線図、第８図は、同じく全体像の表
示例を示す線図、第９図は、本発明の第２実施例にＪ３
＜ｊる測定ヘッドの構成を示す断面図、第１０図は、同
じく第３実ｒＭ例における光学系の基本的な（１１１成
を示す線図である。 １０・・・載物台、 １２・・・測定対象物、 １４・・・照明光学系、 １６．６０・・・拡大光学系、 １８・・・移動橙描、 ２０．７０・・・テレビカメラ、 ２２．４８・・・モニタ装置、 ２４・・・角度差識別手段、 ２６・・・角度補正手段、 ２８・・・全体光学系、 ３０・・・現在位（支）特定手段、 ３８・・・測定台、 ４０・・・Ｘ−Ｙテーブル、 ４４・・・測定ヘッド、 ５０・・・コンピュータ。
定装置の基本的な構成の例を示づブロック線図、第３図
は、本発明が採用された両（免処理型測定汐の第１実施
例の全体構成を示す斜視図、第４図は、前記第１実施例
の測定ヘッドの構成を示す断面図、第５図は、前記第１
実施例におけるモニタ装置の表示例を示す線図、第６図
及び第７図は、前記第１実施例におけるモニタ装置の拡
大像の表示例泰示１線図、第８図は、同じく全体像の表
示例を示す線図、第９図は、本発明の第２実施例にＪ３
＜ｊる測定ヘッドの構成を示す断面図、第１０図は、同
じく第３実ｒＭ例における光学系の基本的な（１１１成
を示す線図である。 １０・・・載物台、 １２・・・測定対象物、 １４・・・照明光学系、 １６．６０・・・拡大光学系、 １８・・・移動橙描、 ２０．７０・・・テレビカメラ、 ２２．４８・・・モニタ装置、 ２４・・・角度差識別手段、 ２６・・・角度補正手段、 ２８・・・全体光学系、 ３０・・・現在位（支）特定手段、 ３８・・・測定台、 ４０・・・Ｘ−Ｙテーブル、 ４４・・・測定ヘッド、 ５０・・・コンピュータ。
Claims (4)
- （１）載物台上に配置された測定対象物に光照射する照
明光学系と、前記測定対象物と関与した光を受けて、測
定対象部分の像を拡大する拡大光学系と、所定の測定対
象部分を拡大すべく、前記載物台と拡大光学系とを相対
移動させる移動機構と、前記拡大光学系に光電結合され
、測定対象部分の拡大像を映すモニタ装置と、該拡大像
を処理して、測定対象物の寸法や形状等を求める計測手
段とを備えた画像処理式測定装置において、 前記載物台に対する測定対象物の取付角度と両者の基準
相対角度との角度差を、前記拡大光学系による拡大像を
評価して求める角度差識別手段と、該角度差識別手段出
力の角度差信号に応じて、前記角度差を打消す反対方向
に前記拡大像を傾斜させて前記モニタ装置に映すための
角度補正手段とを設け、 前記モニタ装置の拡大像の姿態を常に基準姿態に傾斜補
正するように構成したことを特徴とする画像処理式測定
装置。 - （２）載物台上に配置された測定対象物に光照射する照
明光学系と、前記測定対象物と関与した光を受けて、測
定対象部分の像を拡大する拡大光学系と、所定の測定対
象部分を拡大すべく、前記載物台と拡大光学系とを測定
移動させる移動機構と、前記拡大光学系に光電結合され
、測定対象部分の拡大像を映すモニタ装置と、該拡大像
を処理して、測定対象物の寸法や形状等を求める計測手
段とを備えた画像処理式測定装置において、 前記測定対象物の全体像を捉える全体光学系と、該全体
像を固定的に映す第２のモニタ装置と、前記載物台と拡
大光学系の相対移動変位量から、前記拡大像の測定対象
物上の現在位置を特定する現在位置特定手段と、 前記載物台に対する測定対象物の取付角度と両者の基準
相対角度との角度差を、前記拡大光学系による拡大像又
は全体光学系による全体像の少くともいずれか一方を評
価して求める角度差識別手段と、 該角度差識別手段出力の角度差信号に応じて、前記角度
差を打消す反対方向に前記拡大像及び全体像を傾斜させ
て前記モニタ装置に映すための角度補正手段とを設け、 前記拡大像の姿態を常に基準姿態に傾斜補正すると共に
、前記載物台と拡大光学系の相対移動に伴って変位する
拡大像の現在位置を、同じく基準姿態に傾斜補正した全
体像上に重複表示させるように構成したことを特徴とす
る画像処理式測定装置。 - （３）前記拡大像の傾斜補正角度と前記全体像の傾斜補
正角度が、各々独立に調整可能とされている特許請求の
範囲第２項記載の画像処理式測定装置。 - （４）前記モニタ装置と第２のモニタ装置が、表示画面
を同一として形成されている特許請求の範囲第２項記載
の画像処理式測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27651585A JPS62135705A (ja) | 1985-12-09 | 1985-12-09 | 画像処理式測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27651585A JPS62135705A (ja) | 1985-12-09 | 1985-12-09 | 画像処理式測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62135705A true JPS62135705A (ja) | 1987-06-18 |
| JPH0357403B2 JPH0357403B2 (ja) | 1991-09-02 |
Family
ID=17570544
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27651585A Granted JPS62135705A (ja) | 1985-12-09 | 1985-12-09 | 画像処理式測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62135705A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004036285A1 (ja) * | 2002-08-26 | 2004-04-29 | Japan Science And Technology Agency | 一細胞長期観察装置 |
| JP2008107645A (ja) * | 2006-10-26 | 2008-05-08 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 画像表示装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6554695B2 (ja) | 2014-07-18 | 2019-08-07 | 株式会社ミツトヨ | 画像測定装置 |
-
1985
- 1985-12-09 JP JP27651585A patent/JPS62135705A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004036285A1 (ja) * | 2002-08-26 | 2004-04-29 | Japan Science And Technology Agency | 一細胞長期観察装置 |
| JP2008107645A (ja) * | 2006-10-26 | 2008-05-08 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 画像表示装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0357403B2 (ja) | 1991-09-02 |
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