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Stand der Technik
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Die
Erfindung geht aus von einer mikromechanischen Struktur nachdem
Oberbegriff des Anspruchs 1.
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Solche
mikromechanischen Strukturen sind allgemein bekannt. Beispielsweise
ist aus der Druckschrift
DE
198 17 357 A1 ein Beschleunigungssensor bekannt, welcher
ein Substrat ein Federelement und eine seismische Masse aufweist.
Das Federelement ist mit einem ersten Ende am Substrat und mit einem zweiten
Ende an der seismischen Masse verbunden, so dass durch eine Beschleunigung
des Beschleunigungssensors parallel zu einer Oberfläche
des Substrats eine Bewegung der Masse relativ zum Substrat verursachbar
ist. Für das Federelement ist ein Federanschlag vorgesehen,
der eine Verformung des Federelements bei einer Beschleunigung parallel
zur Oberfläche des Substrats begrenzt. Der Federanschlag
muss dabei fest mit dem Substrat verbunden sein. Ein ähnlicher
Beschleunigungssensor ist aus der Druckschrift
DE 100 38 761 A1 bekannt,
welcher zur Ausschlagbegrenzung der seismischen Masse ebenfalls
Anschläge aufweist, wobei die Anschläge hierbei
als Teil des Federelements ausgebildet sind.
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Offenbarung der Erfindung
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Die
erfindungsgemäßen mikromechanischen Strukturen
gemäß den nebengeordneten Ansprüchen
haben gegenüber dem Stand der Technik den Vorteil, dass
durch das Zusammenwirken des Anschlagselements und des Gegenanschlagselements
eine Auslenkung der seismischen Masse relativ zum Substrat wirksam
begrenzt wird, ohne dass für das Anschlagselement eine
eigene Substratanbin dung erforderlich ist und ohne dass die Federeigenschaften
des Federelements von dem Anschlagselement beeinflusst werden. Durch
die Einsparung der eigenen Substratanbindung und die mögliche Verwendung
von Standardfederelementen wird eine im Vergleich zum Stand der
Technik deutlich bauraumkompaktere und kostengünstigere
Herstellung der erfindungsgemäßen mikromechanischen
Struktur ermöglicht. Dies wird dadurch erreicht, dass das Anschlagselement
als Teil des Verankerungselements ausgebildet ist, während
das komplementäre Gegenanschlagselement als Teil der seismischen Masse
ausgebildet ist. In vorteilhafter Weise dient das Verankerungselement
gleichzeitig der Befestigung der seismischen Masse, als auch der
Befestigung des Anschlagselements jeweils am Substrat. Die Federelemente
dienen dazu, die Beweglichkeit der seismischen Masse gegenüber
dem Substrat und auch gegenüber dem Verankerungselement
zu gewährleisten. Die maximale Auslenkung der seismischen
Masse gegenüber dem Substrat wird durch einen mechanischen
Kontakt zwischen dem Anschlagselement und dem Gegenanschlagselement
begrenzt. Durch die Verbindung zwischen der seismischen Masse und
dem Verankerungselement in Form des Federelements liegen das Anschlagselement
und das Gegenanschlagselement insbesondere auf dem gleichen elektrischen
Potential, so dass eine Kraftwirkung und insbesondere eine Haftung zwischen
dem Anschlagselement und dem Gegenanschlagselement aufgrund von
elektrostatischen Wechselwirkungen sicher ausgeschlossen wird. Die Integration
des Anschlagselements in das Verankerungselement hat ferner gegenüber
dem Stand der Technik den Vorteil, dass eine vergleichsweise bauraumkompakte
Integration des Anschlagselements realisiert wird, wodurch insbesondere
die Herstellungskosten durch die Einsparung von Waferfläche reduziert
werden. Ferner wird der Herstellungsprozess der mikromechanischen
Struktur vereinfacht, da das Anschlagselement keine eigene Substratverankerung
benötigt. Ein weiterer Vorteil gegenüber dem Stand
der Technik ist, dass das Anschlagselement nicht im Bereich des
Federelements angeordnet ist bzw. nicht ein Teil des Federelements
ist, da in diesem Fall die Federeigenschaften, insbesondere im Hinblick
auf gewünschte und ungewünschte Schwingungsmoden,
stark verändert und somit neue Federgeometrien erforderlich
würden. Bei der erfindungsgemäßen mikromechanischen
Struktur bleibt das Design des Federelements von dem Anschlagselement
unbeeinflusst, so dass die mikromechanische Struktur mit bereits
bekannten und bewährten Federgeometrien auszustatten ist.
Das Verankerungselement umfasst insbesondere nicht nur einen senkrecht
zum Substrat un mittelbar mit dem Substrat verbundenen Bereich, sondern
auch einen Verbindungsbereich zwischen diesem senkrecht zum Substrat
unmittelbar mit dem Substrat verbundenen Bereich und dem Federelement,
wobei dieser Verbindungsbereich beispielsweise freistehend bzw.
unterätzt ausgebildet ist.
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Vorteilhafte
Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung sind den Unteransprüchen,
sowie der Beschreibung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen entnehmbar.
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Gemäß einer
bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass das Anschlagselement
und das Gegenanschlagselement entlang und/oder senkrecht zu einer
Sensierrichtung der mikromechanischen Struktur gegenüberliegend
angeordnet ist. In vorteilhafter Weise wird somit eine maximale
Auslenkung der mikromechanischen Struktur gegenüber dem Substrat
entlang der Sensierrichtung begrenzt. Bei einem Beschleunigungssensor
entspricht die Sensierrichtung beispielsweise derjenigen Richtung,
entlang welcher eine Beschleunigung gemessen wird. Durch die Begrenzung
der maximalen Auslenkung wird insbesondere eine Beschädigung
der mikromechanischen Struktur durch zu große Beschleunigungskräfte
unterbunden, wobei zu große Beschleunigungskräfte
beispielsweise ein Abreißen der Federelemente oder die
Ausbildung einer mechanischen oder elektrostatischen Haftung zwischen
den Festelektroden und den Gegenelektroden nach einem mechanischen
Kontakt zwischen den Festelektroden und den Gegenelektroden, wodurch
die seismische Masse nicht mehr in ihre Nulllage zurückkehren
kann, bewirken können. Alternativ oder zusätzlich
ist eine maximale Auslenkung der seismischen Masse senkrecht zur
Sensierrichtung mittels eines Anschlagselements und eines Gegenanschlagselements
realisierbar, welche senkrecht zur Sensierrichtung gegenüberliegend
angeordnet sind, wodurch beispielsweise die Wirkungen von mechanischen und/oder
elektrostatischen äußeren Kräften auf
den Beschleunigungssensor reduziert werden.
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Gemäß einer
weiteren bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass das Anschlagselement als
Ausbuchtung des Verankerungselements und/oder das Gegenanschlagselement
als Ausbuchtung der seismischen Masse ausgebildet sind. In vorteilhafter
Weise werden das Anschlagselement und das Gegenanschlagselement
in einer vergleichsweise einfachen und bauraumkompakten Weise realisiert.
In einer bevorzugten Ausführungsform weisen das Anschlagselement und/oder
das Gegenanschlagselement eine Antihaftbeschichtung auf, welche
ein Aneinanderhaften des Anschlags- und Gegenanschlagselement unterbindet.
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Gemäß einer
weiteren bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass das Anschlagselement und/oder
das Gegenanschlagselement teilweise elastisch und vorzugsweise L-förmig
ausgebildet ist. In vorteilhafter Weise wird dadurch kurz vor dem
Erreichen der Maximalauslenkung der seismischen Masse kinetische
Energie der seismischen Masse in Verformungsenergie umgewandelt
und somit die seismische Masse vor dem Erreichen der Maximalauslenkung
abgebremst. Die auf die mikromechanische Struktur einwirkenden mechanischen
Kräfte beim Erreichen der Maximalauslenkung werden folglich
reduziert.
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Gemäß einer
weiteren bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass das Verankerungselement
in einem Zentralbereich der mikromechanischen Struktur angeordnet
ist. In vorteilhafter Weise wird somit eine vergleichsweise bauraumkompakte Ausbildung
der mikromechanischen Struktur ermöglicht. Darüberhinaus
wird ein gegenüber einer Symmetrieebene spiegelsymmetrischer
Aufbau der mikromechanischen Struktur realisiert, wobei die Symmetrieebene
einerseits senkrecht zur Substratebene und andererseits parallel
oder senkrecht zur Sensierrichtung verläuft und wobei durch
einen derartig spiegelsymmetrischen Aufbau die Messgenauigkeit der mikromechanischen
Struktur insgesamt erhöht wird.
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Gemäß einer
weiteren bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass die mikromechanische Struktur
Festelektroden zum Zusammenwirken mit Gegenelektroden der seismischen
Masse aufweist, wobei die Festelektroden und die Gegenelektroden vorzugsweise
als senkrecht zur Sensierrichtung ineinandergreifende Kammelektroden
ausgebildet sind. Die Sensierrichtung verläuft dabei insbesondere
parallel zur Substratebene. Bei einer Beschleunigung des Beschleunigungssensors
entlang der Sensierrichtung bewegt sich die seismische Masse relativ
zum Substrat antiparallel zur Beschleunigung aufgrund von Trägheitskräften.
Dies führt zu einer Abstandsänderung zwischen
den Festelektroden und den Gegenelektroden parallel zur Sensierrichtung, wodurch
eine messbare Änderung der elektrischen Kapazität
zwischen den Festelektroden und den Gegenelektroden hervorgerufen
wird, welche als Maß für die Beschleunigung dient.
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Ein
weiterer Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist eine mikromechanische
Struktur, insbesondere ein Beschleunigungssensor, mit einem Substrat,
einer relativ zum Substrat beweglichen seismischen Masse und wenigstens
einem fest mit dem Substrat verbundenen Verankerungselement, wobei die
seismische Masse mittels des Verankerungselements am Substrat befestigt
ist und wobei zwischen der seismischen Masse und dem Verankerungselement
wenigstens ein Federelement angeordnet ist, wobei die mikromechanische
Struktur Festelektroden zum Zusammenwirken mit Gegenelektroden der seismischen
Masse aufweist, wobei die seismische Masse wenigstens ein weiteres
Anschlagselement und wenigstens ein weiteres Gegenanschlagselement
aufweist und wobei das weitere Gegenanschlagselement fest mit einer
Festelektrode verbunden ist. In vorteilhafter Weise ist somit das
weitere Gegenanschlagselement fest mit der Festelektrodenstruktur
verbunden, welche insbesondere mittels eines weiteren Verankerungselements
am Substrat befestigt ist. Durch die Anbindung des weiteren Gegenanschlagselement
an die Festelektrodenstruktur wird für die Befestigung
des weiteren Gegenanschlagselements keine weitere Substratanbindung
benötigt, so dass eine im Vergleich zum Stand der Technik
erheblich einfachere, kostengünstigere und bauraumkompaktere
Ausbildung der mikromechanischen Struktur ermöglicht wird.
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Gemäß einer
bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass das weitere Anschlagselement und/oder
das weitere Gegenanschlagselement bevorzugt elastisch und besonders
bevorzugt L-förmig ausgebildet ist, so dass in vorteilhafter
Weise ein behutsameres Abbremsen der seismischen Masse vor dem Erreichen
der Maximalauslenkung erzielt wird.
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Gemäß einer
weiteren bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass das weitere
Gegenanschlagselement eine Festelektrode und/oder ein weiteres Verankerungselement
umfasst, wobei das weitere Verankerungselement vorzugsweise zur
Befestigung der Festelektroden am Substrat vorgesehen ist, so dass
das Gegenanschlagselement in vorteilhafter Weise keine eigene Substratanbindung
benötigt.
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Gemäß einer
weiteren bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass sich das
weitere Anschlagselement im Wesentlichen parallel zur den Festelektroden
und den Gegenelektroden erstreckt und entlang der Sensierrichtung
insbesondere zwischen wenigstens einer Festelektrode und dem weiteren
Verankerungselement angeordnet ist. In vorteilhafter Weise wird
das weitere Gegenanschlagselement in diesem Fall automatisch von
der Festelektroden und/oder dem weiteren Verankerungselement gebildet,
so dass keine weiteren Strukturen für die Realisierung
des weiteren Gegenanschlagselement benötigt werden.
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Ausführungsbeispiele
der vorliegenden Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und
in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert.
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Kurze Beschreibung der Zeichnungen
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Es
zeigen
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1 eine
schematische Aufsicht einer mikromechanischen Struktur gemäß dem
Stand der Technik,
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2a und 2b eine
schematische Aufsicht und eine schematische Detailansicht einer
mikromechanischen Struktur gemäß einer ersten
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung,
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2c eine
schematische Detailansicht einer mikromechanischen Struktur gemäß einer
zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung,
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3a und 3b eine
schematische Aufsicht und eine schematische Detailansicht einer
mikromechanischen Struktur gemäß einer Dritten
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung,
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3c eine
schematische Detailansicht einer mikromechanischen Struktur gemäß einer
vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung,
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4 eine
schematische Aufsicht einer mikromechanischen Struktur gemäß einer
fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung,
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5a und 5b eine
schematische Aufsicht und eine schematische Detailansicht einer
mikromechanischen Struktur gemäß einer sechsten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung und
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6a und 6b eine
schematische Aufsicht und eine schematische Detailansicht einer
mikromechanischen Struktur gemäß einer siebten
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
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Ausführungsformen
der Erfindung
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In
den verschiedenen Figuren sind gleiche Teile stets mit den gleichen
Bezugszeichen versehen und werden daher in der Regel auch jeweils
nur einmal benannt bzw. erwähnt.
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In 1 ist
eine schematische Aufsicht einer mikromechanischen Struktur 1' in
Form eines Beschleunigungssensors gemäß dem Stand
der Technik dargestellt, wobei die mikromechanische Struktur 1' ein
Substrat 2 und eine mit dem Substrat 2 über zwei
Verankerungselemente 4 verbundene seismische Masse 3 aufweist.
Zwischen dem jeweiligen Verankerungselement 4 und der seismischen
Masse 3 sind Federelemente 5 angeordnet, so dass
die seismische Masse 3 entlang einer zur Substratebene 101 parallelen
Sensierrichtung 100 gegenüber dem Substrat 2 beweglich
ausgebildet ist. Ferner weist die mikromechanische Struktur 1 mit
dem Substrat 2 fest verbundene Festelektroden 8 auf,
welche zum Zusammenwirken mit komplementären Gegenelektroden 9 der
seismischen Masse 3 vorgesehen sind. Die Festelektroden 8 sind über
ein weiteres Verankerungselement 12 mit dem Substrat 2 verbunden.
Die Festelektroden 8 und die Gegenelektroden 9 sind
als ineinandergreifende Kammelektroden ausgebildet, wobei sich die
Finger der Kammelektroden in Sensierrichtung 100 gegenseitig überlappen
und voneinander beabstandet sind. Bei einer Beschleunigung des Beschleunigungssensors
entlang der Sensierrichtung 100 bewegt sich die seismische
Masse 3 relativ zum Substrat 2 antiparallel zur
Beschleunigungsrichtung aufgrund von Trägheitskräften.
Dies führt zu einer Abstandsänderung zwischen
den Festelektroden 8 und den Gegenelektroden 9 parallel
zur Sensierrichtung 100, wodurch eine messbare Änderung
der elektrischen Kapazität zwischen den Festelektroden 8 und
den Gegenelektroden 9 hervorgerufen wird, welche als Maß für
die Beschleunigung dient. Um die Auslenkung der seismischen Masse 3 gegenüber
dem Substrat 2 senkrecht und parallel zur Sensierrichtung 100 zu
begrenzen umfasst die mikromechanische Struktur 100 zwei
Anschlagseinheiten 20, welche jeweils ein zusätzliches
Verankerungselement 20' zu Verankerung am Substrat 2 umfasst
und welche jeweils in einer Aussparung 21 der seismischen
Masse 3 angeordnet ist. Die Auslenkung der seismischen
Masse 3 wird durch einen mechanischen Kontakt zwischen
der Anschlagseinheit 20 und dem Rand der seismischen Masse 3 im
Bereich der Aussparung 21 begrenzt. Die mikromechanische
Struktur 1 gemäß dem Stand der Technik
benötigt daher zur Bereitstellung der Aussparungen 21 eine
vergrößerte seismische Masse 3 und darüberhinaus
zwei zusätzliche Verankerungselemente 20'.
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In 2a ist
eine schematische Aufsicht einer mikromechanischen Struktur 1 gemäß einer
ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dargestellt,
welche im Wesentlichen der in 1 dargestellten
mikromechanischen Struktur gemäß dem Stand der
Technik entspricht, wobei darüberhinaus die mikromechanische
Struktur 1 gemäß der ersten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zwei Anschlagselemente 6 aufweist,
welche jeweils als Teil eines der beiden Verankerungselemente 4 ausgebildet
sind. Diese Anschlagselemente 6 sind als Ausbuchtung im
jeweiligen Verankerungselement 4 ausgebildet. Jedes der
Anschlagselemente 6 wirken dabei mit einem komplementären
Gegenanschlagselement 7 der seismischen Masse 3 zusammen,
welches dem Anschlagselement 6 entlang der Sensierrichtung 100 gegenüberliegend
ausgebildet ist, so dass die Auslenkung der seismischen Masse 3 relativ zum
Substrat 2 und parallel zur Sensierrichtung 100 begrenzt
wird. Die Gegenanschlagselemente 7 sind daher als komplementäre
Ausbuchtungen in der seismischen Masse 3 ausgebildet. In 2b ist
eine vergrößerte Teilansicht 102 der
in 2a abgebildeten mikromechanischen Struktur 1 gemäß der
ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dargestellt.
In 2c ist eine schematische Detailansicht einer mikromechanischen
Struktur 1 gemäß einer zweiten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung dargestellt, welche im Wesentlichen der
in 2b illustrierten ersten Ausführungsform
identisch ist, wobei jedes der beiden Verankerungselemente 4 zwei
Anschlagselemente 6 aufweist, welche jeweils mit zwei komplementären
Gegenanschlagselementen 7 der seismischen Masse 3 zusammenwirken. Für
einen Fachmann ist selbstverständlich, dass die mikromechanische
Struktur 1 im Sinne der vorliegenden Erfindung alternativ
auch mit jeder anderen beliebigen Mehrzahl von Anschlags- und Gegenanschlagselementen 6, 7 realisierbar
ist.
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In
den 3a und 3b sind
eine schematische Aufsicht und eine schematische Detailansicht 103 einer
mikromechanischen Struktur 1 gemäß einer
dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dargestellt,
wobei die dritte Ausführungsform im Wesentlichen den in 2a und 2b illustrierten ersten
Ausführungsform identisch ist, wobei die Verankerungselemente 4 neben
den sich mit Gegenanschlagselementen 7 entlang der Sensierrichtung 100 gegenüberliegen den
Anschlagselementen 6 zusätzliche Anschlagselemente 6' aufweisen,
welche senkrecht zur Sensierrichtung 100 gegenüber
zusätzlichen komplementären Gegenanschlagselementen 7' der
seismischen Masse 3 angeordnet sind, so dass die Auslenkung
der seismischen Masse 3 relativ zum Substrat 2 auch
senkrecht zur Sensierrichtung 100 begrenzt wird. In 3c ist
eine schematische Detailansicht 103 einer mikromechanischen
Struktur 1 gemäß einer vierten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung dargestellt, welche im Wesentlichen der
in 3b illustrierten dritten Ausführungsform identisch
ist, wobei lediglich die Anzahl der Anschlags- und Gegenanschlagselemente 6, 7, 6', 7' unterschiedlich
ist.
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In 4 ist
eine schematische Aufsicht einer mikromechanischen Struktur 1 gemäß einer
fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung,
wobei die fünfte Ausführungsform im Wesentlichen
einer der ersten, zweiten, dritten oder vierten Ausführungsform
identisch ist, wobei die mikromechanische Struktur 1 gemäß der
fünften Ausführungsform keine Anschlagseinheiten 20 aufweist,
da in diesem Fall die maximale Auslenkung der seismischen Masse 3 relativ
zum Substrat 2 parallel und/oder senkrecht zur Sensierrichtung 100 durch
die Mehrzahl von zusammenwirkenden Anschlags- und Gegenanschlagselementen 6, 7 6', 7' begrenzt
wird. Durch die Einsparung der Anschlagseinheiten 20 werden
ferner auch keine zusätzlichen Verankerungselemente 20' und keine
Aussparungen 21 benötigt, so dass die mikromechanische
Struktur 1 ohne eine Veränderung der Funktionalität
insgesamt deutlich bauraumkompakter ausgebildet ist.
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In 5a und 5b sind
eine schematische Aufsicht und eine schematische Detailansicht 104 einer
mikromechanischen Struktur 1 gemäß einer
sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dargestellt,
wobei die sechste Ausführungsform im Wesentlichen der in 3c dargestellten vierten
Ausführungsform entspricht, wobei die seismische Masse 3 zwei
weitere Anschlagselemente 10 aufweist, welche mit zwei
weiteren Gegenanschlagselement 11 zusammenwirken. Die Gegenanschlagselemente 11 sind
als Teil der weiteren Verankerungselemente 12, welche zur
Befestigung der Festelektroden 8 an dem Substrat 2 dienen,
ausgebildet und umfassen insbesondere eine weitere Ausbuchtung 11' an
den weiteren Verankerungselementen 12. Die weiteren Anschlagselemente 10 umfassen
eine elastische L-Form, welche sich jeweils ausgehend von der seismischen
Masse 3 senkrecht zur Sensierrichtung 100 und
parallel zu den Fest- und Gegenelektroden 8, 9 erstrecken.
Eine Bewegung der seismischen Masse 3 entlang der Sensierrichtung 100 wird vor
dem Erreichen der Maximalauslenkung, d. h. insbesondere vor der
Ausbildung eines mechanischen Kontakts zwischen parallel zur Sensierrichtung 100 gegenüberliegenden
Anschlags- und Gegenanschlagselementen 6, 7, von
den weiteren Anschlags- und Gegenanschlagselementen 10, 11 abgebremst. Die
Verankerungselemente 4 sind insbesondere in einem Zentralbereich
der mikromechanischen Struktur 1 angeordnet, wobei auf
jeder Seite der Verankerungselemente 4 Kammelektrodenstrukturen
und insbesondere jeweils genau ein paar von weiteren Anschlags-
und Gegenanschlagselementen 10, 11 angeordnet
sind.
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In 6a und 6b sind
eine schematische Aufsicht und eine schematische Detailansicht 105 einer
mikromechanischen Struktur 1 gemäß einer
siebten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dargestellt,
wobei die siebte Ausführungsform im Wesentlichen der in 5a und 5b illustrierten
sechsten Ausführungsform entspricht, wobei auf jeder Seite
der Verankerungselemente 4 zwei Paare von weiteren Anschlags-
und Gegenanschlagselemente 10, 11 angeordnet sind.
Besonders vorteilhaft sind die Anschlags- und Gegenanschlagselemente 10, 11 somit
gegenüber einer senkrecht zur Substratebene und mittig
entlang dem jeweiligen weiteren Verankerungselement 12 verlaufenden
Symmetrieebene spiegelsymmetrisch angeordnet, so dass beim Abbremsen
der seismischen Masse 3 vor dem Erreichen der Maximalauslenkung
kein Drehmoment von den weiteren Anschlags- und Gegenanschlagselementen 10, 11 auf
die seismische Masse 3 ausgeübt wird.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - DE 19817357
A1 [0002]
- - DE 10038761 A1 [0002]