DE102009017231A1 - Horde und Verfahren zum Sandstrahlen von elektrischen Bauelementen - Google Patents
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Abstract
Es wird eine Horde (1) angegeben, die zwei Teilhorden (2, 2') umfasst, wobei die Teilhorden (2, 2') jeweils wenigstens einen Rahmen (3, 3') aufweisen. Jeder Rahmen (3, 3') weist wenigstens zwei Haltevorrichtungen (4, 4') auf, die auf gegenüberliegenden Seiten des Rahmens (3, 3') angeordnet sind. Des Weiteren wird ein Verfahren zum Sandstrahlen wenigstens eines elektrischen Bauelements (8) mit folgenden Merkmalen angegeben. Das Bauelement (8) weist eine Vielzahl von Keramikschichten (9) mit dazwischen angeordneten metallischen Innenelektroden (10, 10') auf, wobei die Innenelektroden (10, 10') abwechselnd über Metallisierungsflächen (11, 11') auf gegenüberliegenden Außenseiten des Bauelements (8) elektrisch kontaktiert sind. Das Bauelement (8) weist an den jeweiligen Enden Endbereiche (12, 12') auf, die wenigstens eine Keramikschicht (9) umfassen, wobei die Endbereiche (12, 12') frei von Innenelektroden sind. Für das Verfahren wird eine zuvor beschriebene Horde (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche verwendet, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist. A) Das Bauelement (8) wird in den Haltevorrichtungen (4, 4') der Teilhorden (2, 2') angeordnet, B) die zwei Teilhorden (2, 2') werden miteinander mechanisch verbunden, C) das Bauelement (8) wird wenigstens in Teilbereichen seiner Umfangsflächen sandgestrahlt.
Description
- Zur Oberflächenbehandlung oder Prozessierung von elektrischen Bauelementen, wie beispielsweise Piezostacks, werden die Bauelemente beispielsweise in Horden eingelegt.
- Eine zu lösende Aufgabe ist es, eine Horde anzugeben, mit der die Umfangsflächen von elektrischen Bauelementen bearbeitet werden können, wobei möglichst wenig Verfahrensschritte erforderlich sind, die ein Umlagern der elektrischen Bauelemente erfordern.
- Die Aufgabe wird durch eine Horde nach Anspruch 1 gelöst. Des Weiteren wird ein Verfahren zum Sandstrahlen von elektrischen Bauelementen nach Anspruch 10 angegeben. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Horde sowie des Verfahrens sind Gegenstand von Unteransprüchen.
- Es wird eine Horde angegeben, die zwei Teilhorden umfasst. Die Teilhorden bilden jeweils eine Halterung für wenigstens einen Rahmen. Die Teilhorde umgibt den Rahmen wenigstens lateral.
- In einer Ausführungsform ist der Rahmen ein fester Bestandteil der Teilhorde. Der Rahmen und die Teilhorde sind als ein einteiliges Bauteil ausgeführt.
- In einer weiteren Ausführungsform der Horde ist der Rahmen austauschbar in der Teilhorde angeordnet. Der Rahmen ist vorzugsweise in einer Aufnahme der Teilhorde eingelegt und in dieser vorzugsweise temporär oder dauerhaft fixiert. Der Rahmen ist somit an das zu bearbeitende Bauelement anpassbar, beziehungsweise der zu dem Bauelement passende Rahmen ist in die Teilhorde positionierbar.
- Ein Rahmen der Teilhorde umfasst wenigstens zwei Haltevorrichtungen, die auf gegenüberliegenden Seiten des Rahmens angeordnet sind.
- In einer Ausführungsform der Horde sind die Haltevorrichtungen durch vorzugsweise symmetrisch angeordnete Vertiefungen im Rahmen der Teilhorde gebildet. Vorzugsweise sind die Vertiefungen auf gegenüberliegenden Seiten auf gleicher Höhe des Rahmens angeordnet.
- Die Vertiefungen weisen vorzugsweise wenigstens eine Auflagefläche auf, wobei die Vertiefung durch wenigstens zwei ebene oder wenigstens eine gekrümmte Auflagefläche gebildet ist.
- In einer Ausführungsform der Vertiefung mit zwei ebenen Auflageflächen sind die Auflageflächen im Winkel von 90° zueinander und vorzugsweise im Winkel von 45° zur Oberkante des Rahmens angeordnet. Die Vertiefung weist hierbei im Querschnitt die Form eines rechtwinkligen und gleichschenkligen Dreiecks auf.
- In einer weiteren Ausführungsform sind die Vertiefungen als halbrunde beziehungsweise mehreckige Vertiefungen ausgebildet. Vorzugsweise weist die Vertiefung die halbe Umfangsform des einzulegenden Bauelements auf.
- In einer Ausführungsform weist die Teilhorde wenigstens einen Schutzsteg auf. Der Schutzsteg ist vorzugsweise zwischen zwei gegenüberliegenden Haltevorrichtungen angeordnet. In einer Ausführungsform überspannt der Schutzsteg wenigstens zwei benachbarte Rahmen einer Teilhorde.
- Der Schutzsteg ist vorzugsweise parallel zu wenigstens einer Auflagefläche der Vertiefung angeordnet. In einer Ausführungsform, in der der Rahmen dreieckförmige Vertiefungen im Winkel von 45° aufweist, ist der Schutzsteg vorzugsweise im Winkel von 45° zur Oberfläche des Rahmens angeordnet. Vorzugsweise weist der Schutzsteg eine Breite auf, die in etwa einem Drittel der Auflagefläche einer Vertiefung entspricht.
- In einer Ausführungsform sind die Schutzstege austauschbar. Die Schutzstege können aber auch dauerhaft fixiert sein.
- In einer weiteren Ausführungsform können die Schutzstege auch als elementarer Bestandteil des Rahmens ausgeführt sein und in den Rahmen integriert sein, wobei der Rahmen zusammen mit den Schutzstegen, beispielsweise mittels eines Spritzgussverfahrens, als einstückiges Teil hergestellt ist.
- Des Weiteren wird ein Verfahren zum Sandstrahlen wenigstens eines elektrischen Bauelements angegeben. Das Bauelement weist eine Vielzahl von Keramikschichten mit dazwischen angeordneten metallischen Innenelektroden auf. Die Innenelektroden sind abwechselnd über Metallisierungsflächen auf gegenüberliegenden Außenseiten des Bauelements elektrisch kontaktiert. Das Bauelement weist an den jeweiligen Enden jeweils einen Endbereich auf, wobei die Endbereiche wenigstens eine Keramikschicht umfassen. Die Endbereiche sind vorzugsweise frei von Innenelektroden.
- Bei dem Verfahren zum Sandstrahlen wenigstens eines elektrischen Bauelements wird eine zuvor beschriebene Horde verwendet. Das elektrische Bauelement wird in einer der Teilhorden angeordnet, wobei die Endbereiche der Bauelemente in den Haltevorrichtungen zu liegen kommen. Die zweite Teilhorde wird auf der ersten Teilhorde angeordnet. Die zwei Teilhorden werden mechanisch miteinander verbunden. Das eingelegte Bauelement wird wenigstens im Teilbereich seiner Umfangflächen sandgestrahlt.
- Das elektrische Bauelement wird während des Sandstrahlens an den Seitenflächen der Endbereiche in den Haltevorrichtungen der Teilhorden gehalten. Das Bauelement liegt mit den Endbereichen in den Vertiefungen der Haltevorrichtung auf.
- In einer Variante des Verfahrens weisen die Teilhorden Schutzstege auf, wobei wenigstens Teilbereiche der Umfangsflächen des elektrischen Bauelements mit einer Metallisierungsfläche versehen sind, die durch die Schutzstege vor dem Sandstrahlen größtenteils geschützt werden.
- Nach dem Sintern von elektrischen Vielschichtbauelementen müssen die Umfangsseiten vor dem Aufbringen der Metallisierungsflächen plan und rechtwinklig geschliffen werden. Aus diesem Zweck werden die gesinterten Bauelemente in Längsrichtung an den Umfangsflächen geschliffen. Hierbei treten während des Schleifens so genannte metallische Verschmierungen der Innenelektroden auf, welche zu elektrischen Kurzschlüssen oder elektrischen Überschlägen führen können. Zu diesem Zweck werden die Umfangflächen des elektrischen Vielschichtbauelements nach dem Schleifprozess sandgestrahlt. Durch eine zuvor beschriebene Horde können alle Umfangsseiten in einem Arbeitsschritt gesandstrahlt werden, wobei gegebenenfalls zuvor aufgebrachte Außenmetallisierungen durch einen Schutzsteg geschützt werden.
- Dadurch, dass die elektrischen Vielschichtbauelemente an den Endbereichen in den Haltevorrichtungen gehalten werden, kann ein Großteil der Umfangsflächen gesandstrahlt werden.
- Die oben beschriebenen Gegenstände und das Verfahren werden anhand der folgenden Figuren und Ausführungsbeispiele näher erläutert.
- Die nachfolgend beschriebenen Zeichnungen sind schematisch und nicht als maßstabsgetreu aufzufassen. Elemente, die einander gleichen oder die die gleichen Funktionen übernehmen, weisen gleiche Bezugszeichen auf.
- Es zeigen:
-
1 den schematischen Aufbau einer zusammengesetzten Horde, die zwei Teilhorden umfasst, -
2 zeigt einen Ausschnitt einer Teilhorde, -
3 zeigt eine Haltevorrichtung einer Teilhorde, -
4 zeigt schematisch die Positionierung eines elektrischen Bauelements in den Haltevorrichtungen zwischen zwei Teilhorden. - Die
1 zeigt eine Sandstrahlhorde1 , die zwei zusammengebaute Teilhorden2 ,2' umfasst. Jede der Teilhorden2 ,2' weist in der dargestellten Ausführungsform fünf nebeneinander angeordnete Rahmen3 ,3' auf. In der dargestellten Ausführungsform der Horde1 weisen die Teilhorden2 ,2' mehrere parallel angeordnete Schutzstege7 auf, die die elektrische Bauelemente in Teilbereichen der Umfangsflächen vor dem Sandstrahlen schützen. -
2 zeigt einen Ausschnitt einer Teilhorde2 . Die Teilhorde2 weist einen Rahmen3 auf, der auf gegenüber liegenden Seiten vorzugsweise auf gleicher Höhe symmetrisch zueinander angeordnete Haltevorrichtungen4 ,4' aufweist. Die Haltevorrichtungen4 ,4' sind in Form von Vertiefungen5 ,5' gebildet. Die Vertiefungen5 ,5' weisen in der dargestellten Ausführungsform jeweils zwei ebene Auflageflächen6 ,6' auf, die in einem Winkel von etwa 90° zueinander sowie in einem Winkel von etwa 45° zur Oberfläche des Rahmens4 ,4' in V-Form angeordnet sind. In einer weiteren Ausführungsform können die Vertiefungen auch das Profil eines Halbkreises oder eines halbierten Mehrecks aufweisen. Vorzugsweise weist die Vertiefung das Profil auf, das dem halben Umfangsprofil des einzulegenden Bauelements entspricht. - Der Rahmen
3 der Teilhorde2 weist mehrere Schutzstege7 auf. Die Schutzstege7 sind im 45°-Winkel zur Oberfläche des Rahmens3 angeordnet. Die Schutzstege7 sind auf den Auflageflächen6 ,6' angeordnet. In der dargestellten Ausführungsform sind die Schutzstege7 im oberen Drittel der Auflagefläche6 ,6' einer Vertiefung5 der Haltevorrichtung4 angeordnet. Die Schutzstege7 überspannen in der dargestellten Ausführungsform wenigstens zwei benachbarte Rahmen. In einer Haltevorrichtung4 ,4' ist ein elektrisches Bauelement8 angeordnet. Das elektrische Bauelement weist Endbereiche12 ,12' auf, die in den Vertiefungen5 ,5' der Haltevorrichtung4 ,4' eingelegt sind. Das elektrische Bauelement weist eine Vielzahl von Keramikschichten9 auf mit dazwischen angeordneten metallischen Innenelektroden10 . Die Innenelektroden10 sind abwechselnd über Metallisierungsflächen11 auf gegenüberliegenden Außenseiten des Bauelements8 elektrisch kontaktiert. Die Metallisierungsflächen11 sind zumindest teilweise durch den Schutzsteg7 geschützt. -
3 zeigt schematisch einen Ausschnitt einer Haltevorrichtung4 im Rahmen3 einer Teilhorde2 . Die Haltevorrichtung4 ist durch eine Vertiefung5 im Rahmen3 gebildet. Die Vertiefung5 weist Auflageflächen6 ,6' auf, die im Winkel von 90° zueinander angeordnet sind. Die Auflageflächen6 ,6' sind im 45°-Winkel zur Oberfläche des Rahmens angeordnet. Auf wenigstens einer Auflagefläche6 ,6' ist ein Schutzsteg7 angeordnet. Der Schutzsteg7 weist in der dargestellten Ausführungsform eine Breite auf, die etwa ein Drittel der Auflagefläche6 der Vertiefung5 entspricht. -
4 zeigt schematisch die Positionierung eines elektrischen Bauelements8 zwischen zwei Teilhorden2 ,2' . Das elektrische Bauelement8 ist in den Haltevorrichtungen4 ,4' der Rahmen3 ,3' der Teilhorden2 ,2' eingelegt. Die Seitenflächen des elektrischen Bauelements8 liegen zumindest mit den Endbereichen12 ,12' in den Vertiefungen5 ,5' der Haltevorrichtungen4 ,4' auf. In der dargestellten Ausführungsform weist die Vertiefung4 ,4' Schutzstege7 auf. Die Schutzstege7 sind jeweils an einer Auflagefläche6 ,6' der Haltevorrichtungen4 ,4' angeordnet. Das elektrische Bauelement8 wird im Bereich der Endbereiche durch die Haltevorrichtungen4 ,4' in den Teilhorden2 ,2' gehalten. - Obwohl in den Ausführungsbeispielen nur eine beschränkte Anzahl möglicher Weiterbildungen der Erfindung beschrieben werden konnte, ist die Erfindung nicht auf diese beschränkt. Es ist prinzipiell möglich, dass die Horde halbkreisförmige Haltevertiefungen aufweist beziehungsweise anderweitig geformte Vertiefungen aufweist, die als Auflage für zylinderförmige beziehungsweise anderweitig geformte Bauteile geeignet sind.
- Die Beschreibung der angegebenen Gegenstände ist nicht auf die einzelnen speziellen Ausführungsformen beschränkt. Vielmehr können die Merkmale der einzelnen Ausführungsformen, soweit technisch sinnvoll, beliebig miteinander kombiniert werden.
-
- 1
- Horde
- 2, 2'
- Teilhorde
- 3, 3'
- Rahmen
- 4, 4'
- Haltevorrichtung
- 5, 5'
- Vertiefung
- 6, 6'
- Auflagefläche
- 7, 7'
- Schutzsteg
- 8
- Bauelement
- 9
- keramische Schicht
- 10
- Innenelektrode
- 11
- Metallisierungsfläche
- 12, 12'
- Endbereiche
des Bauelements
8
Claims (12)
- Horde (
1 ), aufweisend zwei Teilhorden (2 ,2' ), die jeweils wenigstens einen Rahmen (3 ,3' ) aufweisen, wobei jeder Rahmen (3 ,3' ) wenigstens zwei Haltevorrichtungen (4 ,4' ) aufweist, die auf gegenüberliegenden Seiten des Rahmens (3 ,3' ) angeordnet sind. - Horde nach Anspruch 1, wobei die Haltevorrichtungen (
4 ,4' ) Vertiefungen (5 ,5' ) im Rahmen (3 ,3' ) der Teilhorde (2 ,2' ) umfassen. - Horde nach Anspruch 2, wobei die Vertiefung (
5 ,5' ) wenigstens eine Auflagefläche (6 ,6' ) aufweist. - Horde nach Anspruch 3, wobei wenigstens zwei ebene Auflageflächen (
6 ,6' ) der Vertiefung im 90°-Winkel zueinander angeordnet sind. - Horde nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Teilhorde (
2 ,2' ) wenigstens einen Schutzsteg (7 ) aufweist. - Horde nach Anspruch 5, wobei der Schutzsteg (
7 ) wenigstens zwei benachbarte Rahmen (3 ,3' ) einer Teilhorde (2 ,2' ) überspannt. - Horde nach einem der Ansprüche 5 oder 6, wobei der Schutzsteg (
7 ) zwischen zwei gegenüberliegenden Haltevorrichtungen (4 ,4' ) angeordnet ist. - Horde nach Anspruch 7 und einem der Ansprüche 3 bis 4, wobei der Schutzsteg (
7 ) parallel zu einer der Auflageflächen (6 ,6' ) der Vertiefung (5 ,5' ) angeordnet ist. - Horde nach Anspruch 8, wobei die Breite des Schutzstegs (
7 ) in etwa einem Drittel der Auflagefläche (6 ,6' ) einer Vertiefung (5 ,5' ) entspricht. - Verfahren zum Sandstrahlen wenigstens eines elektrischen Bauelements (
8 ) mit folgenden Merkmalen: – das Bauelement (8 ) weist eine Vielzahl von Keramikschichten (9 ) mit dazwischen angeordneten metallischen Innenelektroden (10 ) auf, – wobei die Innenelektroden (10 ) abwechselnd über Metallisierungsflächen (11 ) auf gegenüberliegenden Außenseiten des Bauelements (8 ) elektrisch kontaktiert sind, – wobei das Bauelement (8 ) an den jeweiligen Enden Endbereiche (12 ,12' ) aufweist, die wenigstens eine Keramikschicht (9 ) umfassen, wobei die Endbereiche (12 ,12' ) frei von Innenelektroden sind, unter Verwendung einer Horde (1 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, mit folgenden Schritten: – das Bauelement (8 ) wird in den Haltevorrichtungen (4 ,4' ) der Teilhorden (2 ,2' ) angeordnet, – die zwei Teilhorden (2 ,2' ) werden miteinander mechanisch verbunden, – das Bauelement (8 ) wird wenigstens in Teilbereichen seiner Umfangsflächen sandgestrahlt. - Verfahren nach Anspruch 10, wobei das elektrische Bauelement (
8 ) an den Seitenflächen der Endbereiche (12 ,12' ) in den Haltevorrichtungen (4 ,4' ) der Teilhorden (2 ,2' ) gehalten wird. - Verfahren nach einem der Ansprüche 10 oder 11, wobei wenigstens Teilbereiche der Umfangflächen des elektrischen Bauelements (
8 ) mit einer Metallisierungsfläche (11 ) versehen sind, wobei die Metallisierungsflächen (11 ) vor dem Sandstrahlen größtenteils durch die Schutzstege (7 ) der Teilhorden (2 ,2' ) geschützt sind.
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011014156A1 (de) * | 2011-03-16 | 2012-09-20 | Epcos Ag | Verfahren zur Herstellung von piezoelektrischen Aktuatorbauelementen |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1804713A1 (de) * | 1966-09-28 | 1970-06-11 | Corning Glass Works | Vorrichtung zum materialabtragenden Bearbeiten von Widerstaenden |
DE60003109T2 (de) * | 1999-03-29 | 2004-01-29 | Asahi Glass Co Ltd | Strahlmittel und Strahlverfahren |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2791344B1 (fr) * | 1999-03-25 | 2002-02-15 | Adir | Nouveaux derives dimeriques substitues, leur procede de preparation et les compositions pharmaceutiques qui les contiennent |
-
2009
- 2009-04-09 DE DE102009017231.9A patent/DE102009017231B4/de active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1804713A1 (de) * | 1966-09-28 | 1970-06-11 | Corning Glass Works | Vorrichtung zum materialabtragenden Bearbeiten von Widerstaenden |
DE60003109T2 (de) * | 1999-03-29 | 2004-01-29 | Asahi Glass Co Ltd | Strahlmittel und Strahlverfahren |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011014156A1 (de) * | 2011-03-16 | 2012-09-20 | Epcos Ag | Verfahren zur Herstellung von piezoelektrischen Aktuatorbauelementen |
CN103503186A (zh) * | 2011-03-16 | 2014-01-08 | 埃普科斯股份有限公司 | 用于制造压电激励器部件的方法 |
CN103503186B (zh) * | 2011-03-16 | 2016-02-10 | 埃普科斯股份有限公司 | 用于制造压电激励器部件的方法 |
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